JPH10185929A - 液体試料の自動連続分析のための装置 - Google Patents

液体試料の自動連続分析のための装置

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JPH10185929A
JPH10185929A JP9323606A JP32360697A JPH10185929A JP H10185929 A JPH10185929 A JP H10185929A JP 9323606 A JP9323606 A JP 9323606A JP 32360697 A JP32360697 A JP 32360697A JP H10185929 A JPH10185929 A JP H10185929A
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chamber
groove
fluid
mixing chamber
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Dietrich Roscher
ロッシャー ディートリヒ
Holger Klingner
クリングナー ホルガー
Peter Heun
ホイン ペーター
Norbert Gebert
ゲベルト ノルベルト
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VERMES MIKROTECHNIK GmbH
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Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 膜ポンプと混合チャンバと連結溝とを共
に配置し、一定の試薬を混合して液体試料を自動的に連
続して分析する装置および異方性エッチング液により作
成された構造物を用いて１００方位シリコンウェハ上の
固有のセンサによる反応結果の評価。台形の横断面を持
つポンプチャンバの前後には、直接Ｖ字形または台形の
断面を持つ、非線形の流体抵抗を示す溝がある。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一定の試薬を混合
し、液体試料を自動的に連続して分析する装置、膜ポン
プと混合チャンバと連結溝との配置および固有のセンサ
を用いた反応結果の評価に関する。
【０００２】
【従来の技術】現況の技術においては、一定の単位時間
に一定の単位体積を運搬し、化学反応に必要な混合比を
確立するという課題のために種々のタイプのポンプや膜
ポンプが知られている。
【０００３】さらにまた、特に少量の試薬を混合するた
めに設けられたポンプも知られている。その場合ミクロ
工学の分野に属する製造技術が利用される。能動素子
は、試料または分析のために必要な試薬の搬送を行うマ
イクロポンプである。このマイクロポンプは駆動装置と
弁とを含む。
【０００４】引例１（Gerlach，Wurmus，TU Ilmenau De
sign Cousiderations on theDynamic Micropump，ACTUA
TOR 96，sth Intern-Conference o New Actuators，26-
28 Juni，1996，Bremen）においては、駆動装置として
珪素ウェハ中に膜が用いられており、該膜はピエゾ―バ
イモルフ−システムとして作成されている。弁は流体の
方向依存性のピラミッド形抵抗で、第２の珪素ウェーハ
中に設けられている。この場合の短所は、正確な位置で
互いに連結されることが求められる二つのウェハを用い
ることである。公差によって正確な配量が達成されな
い。
【０００５】引例２（Bustgens，Bacher，Bier，Ehnes
Keydel Mikrostrukturtechnik，ACTUATOR 96，sth Inte
rn-Conference o New Actuators，26-28 Juni，1996，B
remen）に記載の他の実施の形態は、二つの担持プレー
ト間に挟まれた弾性膜を弁として用いている。この場
合、駆動は加熱と変形によって行われる。この場合も、
正確な位置で互いにつなぎ合わせることが必要な担持部
材を複数個作る必要があることが短所となる。膜の加熱
は、特定の試薬にとっては制限事項となる。搬送量の制
御も難しい。
【０００６】引例３（Temmel，Hermes，Kluge，Woias，
ACTUATOR 96，sth Intern-Conference o New Aktuator
s，26-28 Juni，1996，Bremen）に記載の装置も、正確
な位置で互いにつなぎ合わせることが必要な複数の部材
が用いられる。
【０００７】このシステムは、膜を変形させる静電力に
よって駆動される。弁は流体の方向依存性の抵抗となる
バタフライ弁として作られている。搬送量は制御される
が、その場合製造に高額を要することが短所であり、特
に何ダースかのポンプを設けることを考えている場合に
はなおさらである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明
は、高い精度で作ることができる共通の成形部材中の多
数のポンプと弁と混合室と反応室を有する液体試料を自
動的に継続して分析するための装置を作ることを課題と
している。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題は、１００方位
シリコンウェハ中に、陽極ボンディングによって塗布さ
れたガラス被覆層と共にポンプと弁と混合室と反応器と
が配置された構造物を異方性腐食により作ることによっ
て解決される。
【００１０】このポンプは、駆動装置としてピエゾ−バ
イモルフ−システムを用いており、該システムはガラス
被覆層上またはポンプ室底面上に圧電プレートまたは圧
電活性層を塗布して作られる。
【００１１】ポンプ室は台形の断面を有する矩形をなし
ている。ポンプ室の前後には直接、断面が三角形または
台形の流路があり、該流路は流体の非線形の抵抗になっ
ている。これは、一定の流速Vまで層流が優勢であり、
この流速を超えるとこの層流が渦流に変わり、それによ
って流体の抵抗の急激な変化が起こるという機能をす
る。
【００１２】流入路および流出路の形状は様々であり、
したがって線形および非線形流体の開始点は様々であ
る。
【００１３】振幅が継続的に変化する連続したパルスに
よって膜に撓みが生じる場合には、層流から渦流へ変換
する時点は様々となる。したがって、装置全体にわたっ
てある体積流量をもたらす方向依存性流体抵抗が時間手
段を介して生じることになる。
【００１４】パルスが時間の経過とともに上昇するか下
降するかによって、一方向または他の方向に体積流量が
生じる。搬送する流体の量の正確な配量を行うために、
シリコンウェハ中に定義された流体抵抗となる測定流路
を、ポンプ室に連結させて設けることができる。測定流
路の両端部に生じる流体圧力は測定流路を流れる流体量
の基準となる。
【００１５】したがって圧力差を、ポンプ周波数または
ポンプ振幅の制御変数とし用い、正確な搬送量の調整を
行うことができる。
【００１６】１００シリコンウェハの製造技術に合わせ
て、台形の断面を有する矩形形状に作られた共通のチャ
ンバの出口側で複数のポンプが動作することができる。
このチャンバの非対称な入口側を介して種々の試薬の渦
流が生じ、したがって混合と安定した化学反応が引き起
こされる。
【００１７】混合チャンバは圧力測定のための、または
流量測定のための共通の基準ポテンシャルとして用いる
ことができる。混合チャンバの出口側はV字形または台
形の断面を有する溝を介して反応器と連結している。流
速と溝長は、固有のセンサによる流体の評価の前に充分
な反応時間が実現されるようなものにすることができ
る。
【００１８】本発明は、ミクロポンプと混合チャンバと
反応器とセンサとを用いて種々の試薬を混合して、液体
試料を自動的に連続して分析する装置において、ミクロ
ポンプ（１）と混合チャンバ（５）反応溝（８）と連結
溝（１４）（１５）（１７）は共に、結晶格子構造１０
０方位のシリコンウェハ（２）に配置され、その構造は
異方性エッチングによって作られ、ポンプチャンバ（１
３）のひとつまたは複数の流入溝（１４）の流体に作用
する横断面は、このポンプチャンバ（１３）からの流出
溝（１５）の流体に作用する横断面とは異なり、シリコ
ンウェハ（２）は被覆層（１８）によって閉じられてい
ることを特徴とする装置である。
【００１９】また本発明は、ミクロポンプ（１）は、異
なる流体抵抗を有する、台形の断面をもつ矩形のポンプ
チャンバ（１３）と、被覆層（１８）と、圧電素子（２
０）と、流入溝（１４）と流出溝（１５）とを有するこ
とを特徴とする。
【００２０】また本発明は、流入溝（１４）の流体は層
流と乱流の間で制御されることを特徴とする。
【００２１】また本発明は、圧力チャンバ（１６）は流
出チャンバ（１５）を介してポンプチャンバ（１３）と
連結し、ポンプのアクチュエータ（１２）のための差分
信号を供給する圧力センサ（２１）が、圧力測定チャン
バ（１６）と混合チャンバ（５）上に設けられているこ
とを特徴とする。
【００２２】また本発明は、混合チャンバ（５）は複数
のミクロポンプ（１）と連結していることを特徴とす
る。
【００２３】また本発明は、混合チャンバ（５）と評価
センサ（９）の間に反応溝（８）が設けられていること
を特徴とする。
【００２４】また本発明は、試料液と試薬の導入が行わ
れるシリコンウェハ（２）はチップ担持体（２７）中に
埋め込まれていることを特徴とする。
【００２５】また本発明は、圧電素子（２０）と圧力セ
ンサ（２１）の接触面に接触するスプリング式電気接点
がある担持プレート（３１）がシリコンウェハを介して
配置されていることを特徴とする。
【００２６】また本発明は、シリコンウェハ（２）のた
めの被覆層がガラス層として実施され、陽極ボンディン
グによってシリコンウェハ（２）と結合されていること
を特徴とする。
【００２７】また本発明は、ガラス被覆層上に、発光ダ
イオード（４０）と光学素子（４１）とが接触して設け
られ、セル溝（４２）はシリコンウェハ（２）中にエッ
チングされることを特徴とする。
【００２８】
【発明を実施するための形態】本発明の基礎にある概念
を、図において詳細に述べられた実施の形態に基づき以
下の説明において詳しく説明する。
【００２９】図１はシステムの配置構成の原理を示して
いる。複数のミクロポンプ１が、約５００μｍ厚の１０
０方位シリコンウェハ２上にある。ミクロポンプ１は溝
３を介して流入口４と連結しており、該流入口から流体
試料または試薬が供給される。その場合ミクロポンプ１
は混合チャンバ５に作用し、該チャンバで導入された試
薬の渦流化が起こる。各マイクロポンプ１は約１０ｍｍ
2の面積を占め、連結溝は１００方位シリコンの特性に
制約され、三角形の断面と約１００μｍの構造深さとを
有するように形成され、直角に折れ曲がっている。測定
溝１７を介する三角形の断面を有する矩形の混合チャン
バ５への流入は、横方向側面６で流体試料が導入され、
両長手方向側面７で添加されるべき試薬が少量供給され
る。混合チャンバ５から、混合生成物は比較的長い反応
溝８を介して、シリコンウェハ２の直接上に配置され
た、または他の実施例ではシリコンウェハ２の外側で流
出口１０に続いて配置された、流体の定められた特性に
ついて評価する評価センサ９に送られる。反応溝８の長
さは、評価センサ９によって行われる価の前の体積流の
速度と関連した混合生成物の必要な反応時間によって定
まる。また別のマイクロポンプ１１を、別の流入口３５
および流出口３６と共にシリコンウェハ２上に設けて、
たとえば、設備周辺にあるシステムに液体を供給しても
よい。
【００３０】直径４インチのシリコンウェハ（図２）を
用いる場合、多数のミクロポンプ１と混合チャンバ５と
種々のタイプの分析方法のために組込まれる評価センサ
９とを配置することができる。この実施の形態において
は、４つの方法Ａ１〜Ａ４がただ一つのシリコンウェハ
２で実現される。この場合、各方法は自由になる面の１
／４を使用する。この分析システムの構造は、図１に示
したように、通常のものとすることができ、コスト面で
本質的に不利になることなく重複させて実施することが
できる。必要とされないミクロポンプ１は供給口４で遮
断される。
【００３１】各ミクロポンプ１の構造は図３の平面図に
示されている。実際のポンプチャンバ１３は矩形であ
る。流入溝１４および流出溝１５は異なる横断面を有し
ている。流出溝１５は圧力測定に用いられる別の圧力測
定チャンバ１６に通じている。圧力測定チャンバ１６か
ら、測定溝１７は実質的な混合チャンバ５までを連絡す
る。図４の断面図はポンプシステムの構成を示してい
る。すべてのチャンバ１３、５および連結溝３、８、１
７は異方性深部エッチングによって作られる。これらが
配置された全体は、シリコンウェハ２と陽極結合によっ
て密に結合された約１５０μｍ厚のガラス被覆層１８に
よって覆われる。ガラス被覆層１８上には圧電素子２０
のボンディングのための電気条導体１９がある。ガラス
被覆層１８上に貼り付けられた圧電素子２０は、ガラス
被覆層と共に、電圧を印加した場合、湾曲し、したがっ
てポンプチャンバ１３内の体積流に作用を及ぼすバイモ
ルフシステムとなる。ガラス被覆層１８上には測定チャ
ンバ１６を介して、圧力測定チャンバ１６内の圧力に依
存して生じる湾曲を測定して、電気的に評価できる信号
に変換する圧力センサ２１が設けられている。有利なこ
とに、この圧力センサ２１はピエゾ抵抗層内に設けられ
ている。
【００３２】流入溝１４および流出溝１５は、体積流に
対する流体抵抗として作用する。この流体抵抗のミクロ
領域における特徴は、一定の流体速度において、層流が
渦流に転換するという点にある。図５に示したように、
流体抵抗は、値Ｒ1からＲtに急激に上昇する。流入溝１
４と流出溝１５の異なる配置のために、Ｒ1からＲtへの
移行は色々な流体速度において生じる。圧電素子２０が
比較的急な側面によって制御される場合には、ポンプチ
ャンバ１３に、高速で流体をガイドする急激な体積の変
化が生じる。横断面が比較的小さな流入溝１４内では、
この流体は急激な抵抗の上昇にいたる一方、流出溝１５
内の流体抵抗はおおむね一定である。ポンプチャンバ１
３内で作られる液体流は、流体抵抗に応じて様々に分配
される。比較的大きな成分は、図３に従った実施例にお
いては、流出溝１５を流れる。圧電素子２０とガラス被
覆層１８から形成されたバイモルフの逆送りは、比較的
平らなパルス側面によって行われる。ポンプチャンバ１
３内の体積の変化は、それに応じてゆっくりとしてい
る。ここでも流体抵抗がほぼ一定となるように、流入溝
１４内の流れが乱流になることは避けられる。したがっ
て、ここでも体積流の比較的大きな成分が、逆向きの符
号で流出溝１５を流れるけれども、体積流の分配は、ポ
ンプチャンバ１３の体積の変化が速い場合とは別のもの
である。しかしながら、図６に示したように、鋸歯状制
御パルスの全長にわたって、液体流の優勢な方向はポン
プの作用と同じ意味をもっていることが明らかとなる。
【００３３】測定チャンバ１７はどの場合においても渦
流への移行が起こらないような寸法にされる。したがっ
て、体積流に依存して、流れる量の尺度でもある差圧が
生じる。特別に作られた圧力測定チャンバ１６がガラス
被覆層１８の湾曲化を記録する。測定チャンバ１７に続
く混合チャンバ５はガラス被覆１８上に、二つの差圧を
表わす信号２２、２３を自由に使用することができるよ
うに、湾曲化を記録する圧力センサ２１を有している。
【００３４】図７に示すように、これらの両信号２２、
２３は互いに比較され、生じる差分信号２４は、ミクロ
ポンプ１の動作のためのアクチュエータ１２に送られる
信号に変換される。この差分信号２４は、電圧振幅の変
化か、または圧電素子２０に与えられる信号の周波数の
変化を引き起こす。このようにして、環境条件が変化す
る場合においても分析プロセスのための試薬を正確に配
量することができる制御回路ができる。
【００３５】図８は、試料の実施の形態において６種ま
での試薬を添加することができる混合チャンバ５の構成
を示している。
【００３６】また、光学特性の評価を実施する場合に
も、そのために必要なセルをシリコンウェハ２中に集積
することは有利である。図９は、発光ダイオード４０の
光のオン、オフが、セルチャンバ４２中で反応生成物の
消光を測定するために行われる実施の形態を示してい
る。その場合、傾斜したチャンバ壁３７、チャンバ床３
８、ガラス被覆層１８における反応が利用される。スペ
クトル選択度は、光学路内のスペクトルフィルタ３９、
たとえば干渉フィルタを作動させることによって達成す
ることができる。光の測定は、好適にはフォトトランジ
スタとして実施される光素子４１によって行われる。
【００３７】この分析システムの全配置にとって、シリ
コンウェハ２の上面２５を電気信号の接点のために利用
し、該ウェハの下面２６を試料または試薬の導入のため
に利用することは目的にかなっている。図１０に示され
ているように、さらに、ウェハ２がチップ担持体２７上
に、たとえば接着剤２８によって取付けられる。図１０
に示すように、チップ担持体は、対応の貯蔵容器３０と
連結した、機械的に固定して取付けられたカニューレ２
９を含んでいる。シリコンウェハ２の上面には、圧電素
子２０または圧力センサ２１の接触面３３にスプリング
で作用する電気接点３２のための、少し間隔をもって配
置された担持プレート３１がある。このような方法で敏
感なシリコンウェハ２が防護される。このような全体的
配置によって、過酷な環境条件下での使用が可能とな
る。
【００３８】上記において、選択された特徴をもとに本
発明を説明した。本発明がこの説明に制限されないこと
はもちろんであり、すべての特徴を、それのみにおい
て、または任意に組み合わせて適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】分析システムの全体を示す図である。
【図２】複数の検出部を有する分析システムを示す図で
ある。
【図３】ミクロポンプ構造を示す平面図である。
【図４】ミクロポンプ構造を示す側面図である。
【図５】流体抵抗の推移を示す図である。
【図６】時間に関する体積流の推移を示す図である。
【図７】配量制御システムを示す図である。
【図８】混合チャンバ概略図である。
【図９】図９（ａ）は反応生成物の光学的評価であり、
図９（ｂ）は図９（ａ）に従った側面図である。
【図１０】流体の供給を示す断面図である。
【符号の説明】
１ ミクロポンプ ２ シリコンウェハ ３ 溝 ４，３５ 流入口 ５ 混合チャンバ ８ 反応溝 ９ 評価センサ １０，３６ 流出口 １１ マイクロポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 597165146 Ｈａａｒｂｅｒｇｓｔｒａｓｓｅ 71 Ｄ −99097 Ｅｒｆｕｒｔ Ｇｅｒｍａｎｙ (72)発明者 ホルガー クリングナー ドイツ国 99096 エルフルト アム シ ュタットパルク 26 (72)発明者 ペーター ホイン ドイツ国 99099 エルフルト ブランケ ンハイナー シュトラーセ ８ (72)発明者 ノルベルト ゲベルト ドイツ国 99195 シュヴァンゼー フェ ルトシュトラーセ ８

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ミクロポンプと混合チャンバと反応器と
    センサとを用いて種々の試薬を混合して、液体試料を自
    動的に連続して分析する装置において、ミクロポンプ
    （１）と混合チャンバ（５）反応溝（８）と連結溝（１
    ４）（１５）（１７）は共に、結晶格子構造１００方位
    のシリコンウェハ（２）に配置され、その構造は異方性
    エッチングによって作られ、ポンプチャンバ（１３）の
    ひとつまたは複数の流入溝（１４）の流体に作用する横
    断面は、このポンプチャンバ（１３）からの流出溝（１
    ５）の流体に作用する横断面とは異なり、シリコンウェ
    ハ（２）は被覆層（１８）によって閉じられていること
    を特徴とする装置。
  2. 【請求項２】 ミクロポンプ（１）は、異なる流体抵抗
    を有する、台形の断面をもつ矩形のポンプチャンバ（１
    ３）と、被覆層（１８）と、圧電素子（２０）と、流入
    溝（１４）と流出溝（１５）とを有することを特徴とす
    る請求項１に記載の装置。
  3. 【請求項３】 流入溝（１４）の流体は層流と乱流の間
    で制御されることを特徴とする請求項１および２に記載
    の装置。
  4. 【請求項４】 圧力チャンバ（１６）は流出チャンバ
    （１５）を介してポンプチャンバ（１３）と連結し、ポ
    ンプのアクチュエータ（１２）のための差分信号を供給
    する圧力センサ（２１）が、圧力測定チャンバ（１６）
    と混合チャンバ（５）上に設けられていることを特徴と
    する請求項１〜３に記載の装置。
  5. 【請求項５】 混合チャンバ（５）は複数のミクロポン
    プ（１）と連結していることを特徴とする請求項１〜４
    に記載の装置。
  6. 【請求項６】 混合チャンバ（５）と評価センサ（９）
    の間に反応溝（８）が設けられていることを特徴とする
    請求項１〜５記載の装置。
  7. 【請求項７】 試料液と試薬の導入が行われるシリコン
    ウェハ（２）はチップ担持体（２７）中に埋め込まれて
    いることを特徴とする請求項１〜６に記載の装置。
  8. 【請求項８】 圧電素子（２０）と圧力センサ（２１）
    の接触面に接触するスプリング式電気接点がある担持プ
    レート（３１）がシリコンウェハを介して配置されてい
    ることを特徴とする請求項１〜７に記載の装置。
  9. 【請求項９】 シリコンウェハ（２）のための被覆層が
    ガラス層として実施され、陽極ボンディングによってシ
    リコンウェハ（２）と結合されていることを特徴とする
    請求項１および２に記載の装置。
  10. 【請求項１０】 ガラス被覆層上に、発光ダイオード
    （４０）と光学素子（４１）とが接触して設けられ、セ
    ル溝（４２）はシリコンウェハ（２）中にエッチングさ
    れることを特徴とする請求項１および２に記載再の装
    置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005098304A (ja) * 2004-11-02 2005-04-14 Konica Minolta Holdings Inc マイクロポンプ
JP2007093266A (ja) * 2005-09-27 2007-04-12 Seiko Instruments Inc マイクロリアクター及びマイクロリアクターシステム
JP2008501934A (ja) * 2004-05-10 2008-01-24 ザ エアロスペース コーポレーション 分離可能な操作モジュールおよび流体保持モジュールを有するマイクロ流体装置
JP2008076396A (ja) * 2006-09-20 2008-04-03 Avago Technologies General Ip (Singapore) Private Ltd 診断テストシステム
US7749444B2 (en) 2004-05-13 2010-07-06 Konica Minolta Sensing, Inc. Microfluidic device, method for testing reagent and system for testing reagent
JP2019015719A (ja) * 2017-07-10 2019-01-31 研能科技股▲ふん▼有限公司 アクチュエータセンサモジュール
JP2019035740A (ja) * 2017-07-10 2019-03-07 研能科技股▲ふん▼有限公司 アクチュエータセンサモジュール

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3582316B2 (ja) 1997-08-20 2004-10-27 株式会社日立製作所 化学分析装置
EP1032840A1 (de) * 1997-11-19 2000-09-06 ABION Beteiligungs- und Verwaltungsgesellschaft mbH Mehrkanalsystem zur durchführung chemischer, biologischer und/oder biochemischer analyseverfahren
DE19846466A1 (de) * 1998-10-08 2000-04-27 Ghs Gesundheits Service Ag Analyseverfahren zur simultanen Bestimmung von Parametern aus unterschiedlichen Medien
US6240790B1 (en) * 1998-11-09 2001-06-05 Agilent Technologies, Inc. Device for high throughout sample processing, analysis and collection, and methods of use thereof
FR2790684B1 (fr) * 1999-03-09 2001-05-11 Biomerieux Sa Appareil permettant en son sein le transfert de liquides par capillarite
DE19917433C2 (de) * 1999-04-19 2003-05-22 Fraunhofer Ges Forschung Mikroreaktorsystem zum Erzeugen und Testen von Substanzen und Wirkstoffen
DE19927554C2 (de) * 1999-06-16 2002-12-19 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Mikromischer
DE19927850C1 (de) * 1999-06-18 2001-03-22 Danfoss As Durchflußzelle eines chemischen Analysesystems
US6818060B2 (en) * 1999-08-02 2004-11-16 Emerald Biostructures, Inc. Robot for mixing crystallization trial matrices
DE10001116C2 (de) * 2000-01-13 2002-11-28 Meinhard Knoll Vorrichtung und Verfahren zur optischen oder elektrochemischen quantitativen Bestimmung chemischer oder biochemischer Substanzen in flüssigen Proben
JP2001269567A (ja) * 2000-03-24 2001-10-02 Bioneer Corp 多チャネル定量制御バルブ装置
JP3629405B2 (ja) * 2000-05-16 2005-03-16 コニカミノルタホールディングス株式会社 マイクロポンプ
US6632400B1 (en) * 2000-06-22 2003-10-14 Agilent Technologies, Inc. Integrated microfluidic and electronic components
US20020098122A1 (en) * 2001-01-22 2002-07-25 Angad Singh Active disposable microfluidic system with externally actuated micropump
DE10106952C2 (de) * 2001-02-15 2003-01-16 Cognis Deutschland Gmbh Chip-Reaktor
JP4301952B2 (ja) * 2001-12-14 2009-07-22 アークレイ株式会社 試料測定用ディバイス
JP4221184B2 (ja) * 2002-02-19 2009-02-12 日本碍子株式会社 マイクロ化学チップ
DE10220705A1 (de) * 2002-05-10 2003-11-27 Abb Patent Gmbh Einrichtung zur chemischen oder biochemischen Analyse von Proben oder Reagenzien unter Verwendung von Wasser als Lösungsmittel
DE10222478A1 (de) * 2002-05-22 2003-12-04 Bartels Mikrotechnik Gmbh Verteilelement für Flüssigkeiten und Gase, Lab-on-a-Cip, Lab-on-a-Card
JP4378937B2 (ja) 2002-06-03 2009-12-09 セイコーエプソン株式会社 ポンプ
JP3725109B2 (ja) * 2002-09-19 2005-12-07 財団法人生産技術研究奨励会 マイクロ流体デバイス
DE10244154A1 (de) * 2002-09-23 2004-04-08 Prisma Diagnostika Gmbh Trägerelement für diagnostische Tests
DE10321472B4 (de) * 2003-05-13 2005-05-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Fluidik-Modul, Verfahren zu seiner Herstellung und Verfahren zum Betreiben eines Fluidik-Moduls
US7832429B2 (en) * 2004-10-13 2010-11-16 Rheonix, Inc. Microfluidic pump and valve structures and fabrication methods
TWI295730B (en) * 2004-11-25 2008-04-11 Ind Tech Res Inst Microfluidic chip for sample assay and method thereof
ES2871885T3 (es) 2005-05-25 2021-11-02 Boehringer Ingelheim Vetmedica Gmbh Sistema para el análisis integrado y automatizado de ADN o proteínas y procedimientos operativos de dicho sistema
US10816563B2 (en) 2005-05-25 2020-10-27 Boehringer Ingelheim Vetmedica Gmbh System for operating a system for the integrated and automated analysis of DNA or protein
DE102005043034A1 (de) * 2005-09-09 2007-03-15 Siemens Ag Vorrichtung und Verfahren zur Bewegung einer Flüssigkeit
US20070122819A1 (en) * 2005-11-25 2007-05-31 Industrial Technology Research Institute Analyte assay structure in microfluidic chip for quantitative analysis and method for using the same
DE102006030068A1 (de) * 2006-06-28 2008-01-03 M2P-Labs Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Zu- und Abfuhr von Fluiden in geschüttelten Mikroreaktoren Arrays
FR2907228B1 (fr) * 2006-10-13 2009-07-24 Rhodia Recherches & Tech Dispositif d'ecoulement fluidique,ensemble de determination d'au moins une caracteristique d'un systeme physico-chimique comprenant un tel dispositif,procede de determination et procede de criblage correspondants
DE102007041740A1 (de) * 2007-09-04 2009-03-05 Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG Vorrichtung zur Analyse von Flüssigkeitsproben
DE102008016121B4 (de) 2007-11-29 2010-03-11 Ihp Gmbh - Innovations For High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut Für Innovative Mikroelektronik Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Viskosität
DE102008002509A1 (de) * 2008-06-18 2009-12-31 INSTITUT FüR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH Stopped-Flow-Chip
WO2010007580A1 (en) * 2008-07-14 2010-01-21 Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) Viscosimetric biosensor for monitoring analyte levels
DE102009015395B4 (de) 2009-03-23 2022-11-24 Thinxxs Microtechnology Gmbh Flusszelle zur Behandlung und/oder Untersuchung eines Fluids
DE102009024048B3 (de) 2009-05-08 2010-08-19 Institut für Bioprozess- und Analysenmesstechnik e.V. Montier- und demontierbares Mikrofluidiksystem und Verfahren zur Flutung des Systems
US8728784B2 (en) * 2010-05-05 2014-05-20 Wisconsin Alumni Research Foundation Method for fluid flow containment in an open liquid environment
DE102010038225B4 (de) * 2010-10-15 2014-03-27 Feluwa Pumpen Gmbh Schlauchmembran-Prozeßpumpe
DE202011051637U1 (de) 2011-10-14 2012-01-31 Uvion Gmbh Anordnung zur Behandlung von Flüssigkeiten, insbesondere zur Wasserbehandlung
US10564171B2 (en) 2015-01-30 2020-02-18 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Diagnostic chip
CN104696203B (zh) * 2015-03-20 2017-06-27 青岛农业大学 复合阻流体无阀压电泵
CA3035141A1 (en) 2016-10-07 2018-04-12 Boehringer Ingelheim Vetmedica Gmbh Method and analysis system for testing a sample
DK3523035T3 (da) 2016-10-07 2020-10-12 Boehringer Ingelheim Vetmedica Gmbh Analyseanordning og fremgangmåde til at teste en prøve

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8302860A (nl) * 1983-08-15 1985-03-01 Stichting Ct Voor Micro Elektr Piezo-elektrische micropomp.
US4708600A (en) * 1986-02-24 1987-11-24 Abujudom Ii David N Piezoelectric fluid pumping apparatus
US4822250A (en) * 1986-03-24 1989-04-18 Hitachi, Ltd. Apparatus for transferring small amount of fluid
US5252294A (en) * 1988-06-01 1993-10-12 Messerschmitt-Bolkow-Blohm Gmbh Micromechanical structure
US4908112A (en) * 1988-06-16 1990-03-13 E. I. Du Pont De Nemours & Co. Silicon semiconductor wafer for analyzing micronic biological samples
CH679555A5 (ja) * 1989-04-11 1992-03-13 Westonbridge Int Ltd
DE3915920A1 (de) * 1989-05-16 1990-11-22 Messerschmitt Boelkow Blohm Mikromechanische struktur
ES2061042T3 (es) * 1989-06-14 1994-12-01 Westonbridge Int Ltd Microbomba perfeccionada.
KR910012538A (ko) * 1989-12-27 1991-08-08 야마무라 가쯔미 마이크로 펌프 및 그 제조 방법
DE59104604D1 (de) * 1990-11-26 1995-03-23 Ciba Geigy Ag Detektorzelle.
GB2251703B (en) * 1991-01-11 1994-08-03 Marconi Gec Ltd Valve devices
EP1588761A3 (en) * 1991-11-22 2005-11-23 Affymetrix, Inc. Method of forming arrays of polymers
DE69303898T3 (de) * 1992-05-01 2007-01-18 Trustees Of The University Of Pennsylvania Fluessigkeitsbehandlung in mikrofabrizierten analytischen vorrichtungen
US5637469A (en) * 1992-05-01 1997-06-10 Trustees Of The University Of Pennsylvania Methods and apparatus for the detection of an analyte utilizing mesoscale flow systems
DE4223019C1 (de) * 1992-07-13 1993-11-18 Fraunhofer Ges Forschung Ventillose Mikropumpe
JP2948069B2 (ja) * 1993-09-20 1999-09-13 株式会社日立製作所 化学分析装置
US5451788A (en) * 1994-05-18 1995-09-19 Pollack; Larry J. Chemiluminescent detector
DE4422743A1 (de) * 1994-06-29 1996-01-04 Torsten Gerlach Mikropumpe
US5525041A (en) * 1994-07-14 1996-06-11 Deak; David Momemtum transfer pump
JPH0842457A (ja) * 1994-07-27 1996-02-13 Aisin Seiki Co Ltd マイクロポンプ
DE4438785C2 (de) * 1994-10-24 1996-11-07 Wita Gmbh Wittmann Inst Of Tec Mikrochemische Reaktions- und Analyseeinheit
CN1110369C (zh) * 1994-11-14 2003-06-04 宾夕法尼亚州大学信托人 用于测定和加工分析物的中尺度样品制备设备和***
DE19507638C2 (de) * 1995-03-04 1997-09-25 Danfoss As Analysenvorrichtung
US5876187A (en) * 1995-03-09 1999-03-02 University Of Washington Micropumps with fixed valves
DE19511198A1 (de) * 1995-03-27 1996-10-02 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung von Strukturen, insbesondere für ein Mikrodosiersystem
SE9501364D0 (sv) * 1995-04-12 1995-04-12 Siemens Elema Ab Pump
US5856174A (en) * 1995-06-29 1999-01-05 Affymetrix, Inc. Integrated nucleic acid diagnostic device
US5840062A (en) * 1995-11-08 1998-11-24 Gumaste; Anand V. Solid state fluid delivery system
US5705018A (en) * 1995-12-13 1998-01-06 Hartley; Frank T. Micromachined peristaltic pump
US5863502A (en) * 1996-01-24 1999-01-26 Sarnoff Corporation Parallel reaction cassette and associated devices
US6054277A (en) * 1996-05-08 2000-04-25 Regents Of The University Of Minnesota Integrated microchip genetic testing system
US5816780A (en) * 1997-04-15 1998-10-06 Face International Corp. Piezoelectrically actuated fluid pumps

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008501934A (ja) * 2004-05-10 2008-01-24 ザ エアロスペース コーポレーション 分離可能な操作モジュールおよび流体保持モジュールを有するマイクロ流体装置
US7749444B2 (en) 2004-05-13 2010-07-06 Konica Minolta Sensing, Inc. Microfluidic device, method for testing reagent and system for testing reagent
JP2005098304A (ja) * 2004-11-02 2005-04-14 Konica Minolta Holdings Inc マイクロポンプ
JP2007093266A (ja) * 2005-09-27 2007-04-12 Seiko Instruments Inc マイクロリアクター及びマイクロリアクターシステム
JP4657867B2 (ja) * 2005-09-27 2011-03-23 セイコーインスツル株式会社 マイクロリアクター及びマイクロリアクターシステム
JP2008076396A (ja) * 2006-09-20 2008-04-03 Avago Technologies General Ip (Singapore) Private Ltd 診断テストシステム
JP2019015719A (ja) * 2017-07-10 2019-01-31 研能科技股▲ふん▼有限公司 アクチュエータセンサモジュール
JP2019035740A (ja) * 2017-07-10 2019-03-07 研能科技股▲ふん▼有限公司 アクチュエータセンサモジュール
US11204335B2 (en) 2017-07-10 2021-12-21 Microjet Technology Co., Ltd. Actuating and sensing module

Also Published As

Publication number Publication date
DE19648695C2 (de) 1999-07-22
DE19648695A1 (de) 1997-06-19
US6458325B1 (en) 2002-10-01
EP0844478A1 (de) 1998-05-27

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