JPH10185733A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH10185733A JPH10185733A JP34477896A JP34477896A JPH10185733A JP H10185733 A JPH10185733 A JP H10185733A JP 34477896 A JP34477896 A JP 34477896A JP 34477896 A JP34477896 A JP 34477896A JP H10185733 A JPH10185733 A JP H10185733A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- hole
- fixed
- pressure sensor
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力導入管がボディに固定された状態を維持
できる圧力センサを提供する。 【解決手段】 開口端部11を形成する貫通孔12を設
けた筒状のボディ1と、ボディ1に装着されたセンサエ
レメント2と、別の貫通孔41を設けてボディ1の筒内
部14に配設された固定管4とを備え、センサエレメン
ト2は、基台21と、ボディ1の貫通孔12の一方側に
配された基端部が基台21に固着されるとともに、先端
部に雄ねじ部22cを設けた圧力導入管22と、基端部
端面22dに密着固定された圧力センサ部23とを設
け、固定管4は雌ねじ部42を設けてその雌ねじ部42
が回転し雄ねじ部22cと互いに螺合して圧力導入管2
2をボディ1に固定してなる圧力センサにおいて、前記
ボディ1の他方側開口端部11bと、前記固定管4にお
ける前記雌ねじ部42の反対側端部42aとを接合した
接合部4aを4箇所形成した構成にしてある。
できる圧力センサを提供する。 【解決手段】 開口端部11を形成する貫通孔12を設
けた筒状のボディ1と、ボディ1に装着されたセンサエ
レメント2と、別の貫通孔41を設けてボディ1の筒内
部14に配設された固定管4とを備え、センサエレメン
ト2は、基台21と、ボディ1の貫通孔12の一方側に
配された基端部が基台21に固着されるとともに、先端
部に雄ねじ部22cを設けた圧力導入管22と、基端部
端面22dに密着固定された圧力センサ部23とを設
け、固定管4は雌ねじ部42を設けてその雌ねじ部42
が回転し雄ねじ部22cと互いに螺合して圧力導入管2
2をボディ1に固定してなる圧力センサにおいて、前記
ボディ1の他方側開口端部11bと、前記固定管4にお
ける前記雌ねじ部42の反対側端部42aとを接合した
接合部4aを4箇所形成した構成にしてある。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐圧性の高い金属
製のボディにパッケージされて、高圧流体の圧力を測定
する圧力センサに関するものである。
製のボディにパッケージされて、高圧流体の圧力を測定
する圧力センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の圧力センサとして、図6
に示す構成のものが存在する。このものは、両開口端部
A1を形成する貫通孔A2を設けた筒状の金属製のボデ
ィAと、ボディAに装着されたセンサエレメントBと、
別の貫通孔C1を設けてボディAの筒内部に配設された
固定管Cとを備え、センサエレメントBは、樹脂製の基
台B1と、測定対象である流体を圧力を持って導入する
圧力導入孔B21を設けボディAの貫通孔A2の一方側
に配された基端部が基台B1に固着されるとともに、先
端部にねじ部B22を設けた金属製の圧力導入管B2
と、圧力導入管B2の基端部端面に密着固定されて圧力
導入孔B21を遮蔽することによって圧力を電気信号に
変換する圧力センサ部B3とを設け、固定管Cは別のね
じ部C2を有して、その別のねじ部C2が回転し、ねじ
部B22と互いに螺合して圧力導入管B2をボディAに
固定する。
に示す構成のものが存在する。このものは、両開口端部
A1を形成する貫通孔A2を設けた筒状の金属製のボデ
ィAと、ボディAに装着されたセンサエレメントBと、
別の貫通孔C1を設けてボディAの筒内部に配設された
固定管Cとを備え、センサエレメントBは、樹脂製の基
台B1と、測定対象である流体を圧力を持って導入する
圧力導入孔B21を設けボディAの貫通孔A2の一方側
に配された基端部が基台B1に固着されるとともに、先
端部にねじ部B22を設けた金属製の圧力導入管B2
と、圧力導入管B2の基端部端面に密着固定されて圧力
導入孔B21を遮蔽することによって圧力を電気信号に
変換する圧力センサ部B3とを設け、固定管Cは別のね
じ部C2を有して、その別のねじ部C2が回転し、ねじ
部B22と互いに螺合して圧力導入管B2をボディAに
固定する。
【0003】さらに詳しくは、圧力導入管B2はねじ部
B22である雄ねじが外周部に形成され、固定管Cは別
のねじ部C2である雌ねじが内周部に形成される。基端
部を基台B1に固着された圧力導入管B2は、ボディA
の貫通孔A2の一方側に配するよう、その貫通孔A2に
挿通される。その状態で、ボディAの筒内部に配設され
た固定管Cを回転すると、固定管Cは別のねじ部C2が
圧力導入管B2のねじ部B22と互いに螺合して、圧力
導入管B2をボディAに固定する。
B22である雄ねじが外周部に形成され、固定管Cは別
のねじ部C2である雌ねじが内周部に形成される。基端
部を基台B1に固着された圧力導入管B2は、ボディA
の貫通孔A2の一方側に配するよう、その貫通孔A2に
挿通される。その状態で、ボディAの筒内部に配設され
た固定管Cを回転すると、固定管Cは別のねじ部C2が
圧力導入管B2のねじ部B22と互いに螺合して、圧力
導入管B2をボディAに固定する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の圧力セ
ンサでは、固定管Cの別のねじ部C2が圧力導入管B2
のねじ部B22と互いに螺合して圧力導入管B2をボデ
ィAに固定した状態で、空気等の流体の圧力を高圧に至
るまで測定できる。
ンサでは、固定管Cの別のねじ部C2が圧力導入管B2
のねじ部B22と互いに螺合して圧力導入管B2をボデ
ィAに固定した状態で、空気等の流体の圧力を高圧に至
るまで測定できる。
【0005】しかしながら、固定管Cはねじ部B22と
螺合しているだけであるので、振動等が負荷されたとき
回転して圧力導入管B2を固定できなくなるばかりか、
ボディAの筒内部から外れる場合があった。
螺合しているだけであるので、振動等が負荷されたとき
回転して圧力導入管B2を固定できなくなるばかりか、
ボディAの筒内部から外れる場合があった。
【0006】本発明は、上記事由に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、圧力導入管がボディに固
定された状態を維持できる圧力センサを提供することに
ある。
で、その目的とするところは、圧力導入管がボディに固
定された状態を維持できる圧力センサを提供することに
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項1記載のものは、両開口端部を形成する
貫通孔を設けた筒状で金属製のボディと、ボディに装着
されたセンサエレメントと、別の貫通孔を設けてボディ
の筒内部に配設された固定管とを備え、センサエレメン
トは、樹脂製の基台と、測定対象である流体を圧力を持
って導入する圧力導入孔を設けボディの貫通孔の一方側
に配された基端部が基台に固着されるとともに、先端部
にねじ部を有した金属製の圧力導入管と、基端部端面に
密着固定されて圧力導入孔を遮蔽することによって圧力
を電気信号に変換する圧力センサ部とを設け、固定管は
別のねじ部を設けてその別のねじ部が回転しねじ部と互
いに螺合して圧力導入管をボディに固定してなる圧力セ
ンサにおいて、前記ボディの他方側開口端部と、前記固
定管における前記別のねじ部の反対側端部とを接合した
接合部を少なくとも1箇所形成した構成にしてある。
ために、請求項1記載のものは、両開口端部を形成する
貫通孔を設けた筒状で金属製のボディと、ボディに装着
されたセンサエレメントと、別の貫通孔を設けてボディ
の筒内部に配設された固定管とを備え、センサエレメン
トは、樹脂製の基台と、測定対象である流体を圧力を持
って導入する圧力導入孔を設けボディの貫通孔の一方側
に配された基端部が基台に固着されるとともに、先端部
にねじ部を有した金属製の圧力導入管と、基端部端面に
密着固定されて圧力導入孔を遮蔽することによって圧力
を電気信号に変換する圧力センサ部とを設け、固定管は
別のねじ部を設けてその別のねじ部が回転しねじ部と互
いに螺合して圧力導入管をボディに固定してなる圧力セ
ンサにおいて、前記ボディの他方側開口端部と、前記固
定管における前記別のねじ部の反対側端部とを接合した
接合部を少なくとも1箇所形成した構成にしてある。
【0008】請求項2記載のものは、請求項1記載のも
のにおいて、前記接合部はレーザ溶接でもって複数個形
成された構成にしてある。
のにおいて、前記接合部はレーザ溶接でもって複数個形
成された構成にしてある。
【0009】請求項3記載のものは、請求項2記載のも
のにおいて、前記固定管は前記反対側端部から軸に沿っ
て突出した突壁部が、前記別の貫通孔を外囲するよう設
けられた構成にしてある。
のにおいて、前記固定管は前記反対側端部から軸に沿っ
て突出した突壁部が、前記別の貫通孔を外囲するよう設
けられた構成にしてある。
【0010】請求項4記載のものは、請求項1乃至3記
載のものにおいて、前記圧力導入管は軸に対する直交方
向へ突出した鍔部が前記基端部に設けられるとともに、
その鍔部及び前記ボディの一方側開口端部とそれぞれ密
着する密着手段が、前記圧力導入管を外囲して設けられ
た構成にしてある。
載のものにおいて、前記圧力導入管は軸に対する直交方
向へ突出した鍔部が前記基端部に設けられるとともに、
その鍔部及び前記ボディの一方側開口端部とそれぞれ密
着する密着手段が、前記圧力導入管を外囲して設けられ
た構成にしてある。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の第1実施形態を図1乃至
図3に基づいて以下に説明する。1はボディで、鋼又は
ステンレス等の金属により、一方側開口端部11a及び
他方側開口端部11bからなる開口端部11を有して筒
状に形成され、一方側が六角ボルト状で他方側が雄ねじ
を有したボルト状で、軸方向での略中心位置に第1貫通
孔12が設けられ、その第1貫通孔12の一方側に第1
凹部13を、また他方側に第2凹部14をそれぞれ設
け、その第2凹部14が段部14aを有して筒内部を形
成している。また、第1凹部13及び第2凹部14のそ
れぞれが、第1貫通孔12と連通した同心円状に形成さ
れる。
図3に基づいて以下に説明する。1はボディで、鋼又は
ステンレス等の金属により、一方側開口端部11a及び
他方側開口端部11bからなる開口端部11を有して筒
状に形成され、一方側が六角ボルト状で他方側が雄ねじ
を有したボルト状で、軸方向での略中心位置に第1貫通
孔12が設けられ、その第1貫通孔12の一方側に第1
凹部13を、また他方側に第2凹部14をそれぞれ設
け、その第2凹部14が段部14aを有して筒内部を形
成している。また、第1凹部13及び第2凹部14のそ
れぞれが、第1貫通孔12と連通した同心円状に形成さ
れる。
【0012】2はセンサエレメントで、基台21と圧力
導入管22と圧力センサ部23とを有して構成されてい
る。基台21は、絶縁性の樹脂により、底部を有して略
角筒状に形成され、内部が収容空間となっている。
導入管22と圧力センサ部23とを有して構成されてい
る。基台21は、絶縁性の樹脂により、底部を有して略
角筒状に形成され、内部が収容空間となっている。
【0013】圧力導入管22は、コバール又はFeNi
合金等の金属により、円筒状に形成され、測定対象であ
る流体を圧力を持って導入する圧力導入孔22aが設け
られ、軸方向に対する直交方向へ突出した鍔部22bを
基端部に設け、その基端部が基台21に一体成形によっ
て固着される。さらにねじ部、すなわち雄ねじ部22c
が先端部の外周部に形成される。そして、基端部つまり
鍔部22bが、ボディ1の第1貫通孔12の一方側に配
するようその第1貫通孔12に挿通されて、基台21が
第1凹部13に収容される。
合金等の金属により、円筒状に形成され、測定対象であ
る流体を圧力を持って導入する圧力導入孔22aが設け
られ、軸方向に対する直交方向へ突出した鍔部22bを
基端部に設け、その基端部が基台21に一体成形によっ
て固着される。さらにねじ部、すなわち雄ねじ部22c
が先端部の外周部に形成される。そして、基端部つまり
鍔部22bが、ボディ1の第1貫通孔12の一方側に配
するようその第1貫通孔12に挿通されて、基台21が
第1凹部13に収容される。
【0014】圧力センサ部23は、シリコンダイアフラ
ム23aと、軸孔23cを有したガラス台座23bとを
設けて、シリコンダイアフラム23aがピエゾ抵抗(図
示せず)を配することによって歪みゲージを形成して、
流体の圧力を電気信号に変換する。シリコンダイアフラ
ム23aが軸孔23cを遮蔽するようガラス台座23b
の一面に密着固定されるとともに、そのガラス台座23
bの他面が半田付けによって、圧力導入管22の圧力導
入孔22a及び軸孔23cの互いの軸を一致させた状態
で、圧力導入管22の基端部端面22dに密着固定され
る。つまり、圧力導入孔22aが圧力センサ部23によ
って遮蔽される。
ム23aと、軸孔23cを有したガラス台座23bとを
設けて、シリコンダイアフラム23aがピエゾ抵抗(図
示せず)を配することによって歪みゲージを形成して、
流体の圧力を電気信号に変換する。シリコンダイアフラ
ム23aが軸孔23cを遮蔽するようガラス台座23b
の一面に密着固定されるとともに、そのガラス台座23
bの他面が半田付けによって、圧力導入管22の圧力導
入孔22a及び軸孔23cの互いの軸を一致させた状態
で、圧力導入管22の基端部端面22dに密着固定され
る。つまり、圧力導入孔22aが圧力センサ部23によ
って遮蔽される。
【0015】3は密着手段で、Oリング31と、リング
状に形成された金属からなるワッシャ32とで構成さ
れ、Oリング31が合成ゴム又は合成樹脂により、リン
グ状で断面円形状に形成されて押圧されると弾性変形を
生じる。Oリング31及びワッシャ32が圧力導入管2
2の外周部を外囲した状態で、鍔部22b及びボディ1
の一方側開口端部11aとの間に配設されてそれぞれと
密着する。
状に形成された金属からなるワッシャ32とで構成さ
れ、Oリング31が合成ゴム又は合成樹脂により、リン
グ状で断面円形状に形成されて押圧されると弾性変形を
生じる。Oリング31及びワッシャ32が圧力導入管2
2の外周部を外囲した状態で、鍔部22b及びボディ1
の一方側開口端部11aとの間に配設されてそれぞれと
密着する。
【0016】4は固定管で、鉄又はステンレス合金等の
金属により、第2貫通孔41を有して円筒状に形成さ
れ、別のねじ部が、すなわち雌ねじ部42が一端部側の
内周部に、突出部43が軸方向に対して直交方向へ突出
して他端部側の外周部に、またスリット44がその突出
部43にそれぞれ設けられる。そして、ボディ1の筒内
部である第2凹部14に配設されて、第2貫通孔41が
圧力導入管22の第1貫通孔12と連通するとともに、
スリット44に工具を挿入し回転することによって雌ね
じ部42が回転して雄ねじ部22cと互いに螺合する。
金属により、第2貫通孔41を有して円筒状に形成さ
れ、別のねじ部が、すなわち雌ねじ部42が一端部側の
内周部に、突出部43が軸方向に対して直交方向へ突出
して他端部側の外周部に、またスリット44がその突出
部43にそれぞれ設けられる。そして、ボディ1の筒内
部である第2凹部14に配設されて、第2貫通孔41が
圧力導入管22の第1貫通孔12と連通するとともに、
スリット44に工具を挿入し回転することによって雌ね
じ部42が回転して雄ねじ部22cと互いに螺合する。
【0017】端子5は、基台21に固着されて、基台2
1の内部に配された内部端子51と外部に配され折曲形
成された外部端子52とを有し、内部端子51がシリコ
ンダイアフラム23aに設けられた電極(図示せず)と
ワイヤボンディングでもって電気的に接続されている。
1の内部に配された内部端子51と外部に配され折曲形
成された外部端子52とを有し、内部端子51がシリコ
ンダイアフラム23aに設けられた電極(図示せず)と
ワイヤボンディングでもって電気的に接続されている。
【0018】プリント基板6は、回路が形成されたセラ
ミック基板により、ボディ1の第1凹部13に固定され
るとともに、外部端子52が挿通され半田付けされるこ
とによって、圧力センサ部23と電気的に接続される。
端子ブロック7は、3個のコネクタ用端子71を同時成
形して形成され、コネクタ用端子71がプリント基板6
を介して端子5と接続される。
ミック基板により、ボディ1の第1凹部13に固定され
るとともに、外部端子52が挿通され半田付けされるこ
とによって、圧力センサ部23と電気的に接続される。
端子ブロック7は、3個のコネクタ用端子71を同時成
形して形成され、コネクタ用端子71がプリント基板6
を介して端子5と接続される。
【0019】コネクタ8は、合成樹脂により、角筒状の
着脱部81と、その着脱部81の外形よりも大きな径の
円筒状の台座部82とを有して形成され、台座部82が
ボディ1の第1凹部13に嵌挿され、このとき端子ブロ
ック7のコネクタ用端子71が着脱部81の筒内に突出
して導出される。
着脱部81と、その着脱部81の外形よりも大きな径の
円筒状の台座部82とを有して形成され、台座部82が
ボディ1の第1凹部13に嵌挿され、このとき端子ブロ
ック7のコネクタ用端子71が着脱部81の筒内に突出
して導出される。
【0020】ここで、圧力導入管22を外囲した状態
で、ワッシャ32が圧力導入管22の鍔部22bとOリ
ング31との間に、Oリング31がワッシャ32とボデ
ィ1の一方側開口端部11aとの間に配するよう、圧力
導入管22がボディ1の第1貫通孔12に挿通されると
ともに、固定管4がボディ1の第2凹部14に配設され
る。
で、ワッシャ32が圧力導入管22の鍔部22bとOリ
ング31との間に、Oリング31がワッシャ32とボデ
ィ1の一方側開口端部11aとの間に配するよう、圧力
導入管22がボディ1の第1貫通孔12に挿通されると
ともに、固定管4がボディ1の第2凹部14に配設され
る。
【0021】固定管4は回転すると突出部43とボディ
1の段部14aとが当接した状態で、雌ねじ部42が回
転して圧力導入管22の雄ねじ部22cと螺合する。O
リング31が押圧されて均一に弾性変形して、密着手段
3が鍔部22及びボディの一方側開口端部11aとそれ
ぞれ密着し、Oリング31が圧力導入管22の外周面及
びボディ1の一方側開口端部11aのそれぞれと接触す
るとともに、圧力導入管22がボディ1に固定される。
1の段部14aとが当接した状態で、雌ねじ部42が回
転して圧力導入管22の雄ねじ部22cと螺合する。O
リング31が押圧されて均一に弾性変形して、密着手段
3が鍔部22及びボディの一方側開口端部11aとそれ
ぞれ密着し、Oリング31が圧力導入管22の外周面及
びボディ1の一方側開口端部11aのそれぞれと接触す
るとともに、圧力導入管22がボディ1に固定される。
【0022】この状態で、ボディ1の他方側開口端部1
1bと、固定管4に形成された突出部43における雌ね
じ部42の反対側端部43aとを、レーザビーム溶接で
もって接合して、円形状の接合部4aを4箇所形成す
る。ここで、レーザビーム溶接は瞬間的に照射されたレ
ーザの熱で金属を高温化し溶融して接合する溶接方法で
ある。
1bと、固定管4に形成された突出部43における雌ね
じ部42の反対側端部43aとを、レーザビーム溶接で
もって接合して、円形状の接合部4aを4箇所形成す
る。ここで、レーザビーム溶接は瞬間的に照射されたレ
ーザの熱で金属を高温化し溶融して接合する溶接方法で
ある。
【0023】このものの動作を説明する。空気等の高圧
流体は、固定管4の第2貫通孔41を経由して圧力導入
管22の圧力導入孔22aに導入される。このとき、固
定管4は接合部4aでボディ1の他方側開口端部11b
と接合されているので回転せず、したがって、圧力導入
管22は雄ねじ部22cが固定管4の雌ねじ部42と螺
合した状態でボディ1に固定され維持されて、たとえ振
動が負荷されたとしても可動することがない。このよう
に、圧力導入管22がボディ1に固定された状態で、O
リング31が押圧されて圧力導入管22の外周面及びボ
ディ1の一方側開口端部11aのそれぞれと接触し、か
つ圧力センサ部23が圧力導入孔22aを遮蔽するよう
圧力導入管22の基端部端面22dに密着固定されてい
る。したがって、流体は圧力導入孔22aから外部へ漏
れることなく、その圧力を圧力センサ部23に負荷す
る。
流体は、固定管4の第2貫通孔41を経由して圧力導入
管22の圧力導入孔22aに導入される。このとき、固
定管4は接合部4aでボディ1の他方側開口端部11b
と接合されているので回転せず、したがって、圧力導入
管22は雄ねじ部22cが固定管4の雌ねじ部42と螺
合した状態でボディ1に固定され維持されて、たとえ振
動が負荷されたとしても可動することがない。このよう
に、圧力導入管22がボディ1に固定された状態で、O
リング31が押圧されて圧力導入管22の外周面及びボ
ディ1の一方側開口端部11aのそれぞれと接触し、か
つ圧力センサ部23が圧力導入孔22aを遮蔽するよう
圧力導入管22の基端部端面22dに密着固定されてい
る。したがって、流体は圧力導入孔22aから外部へ漏
れることなく、その圧力を圧力センサ部23に負荷す
る。
【0024】流体の圧力が圧力センサ部23に負荷され
ると、圧力センサ部23に形成されたシリコンダイヤフ
ラム23aが、流体の圧力と大気圧との差に比例して撓
む。そして、そのシリコンダイヤフラム23aに形成さ
れたピエゾ抵抗の抵抗値が撓みの大きさに比例して変化
し、この抵抗値を電気信号として端子5に出力し、プリ
ント基板6に設けられた増幅素子(図示せず)で増幅し
て、コネクタ用端子71に出力して、流体の圧力を測定
する。
ると、圧力センサ部23に形成されたシリコンダイヤフ
ラム23aが、流体の圧力と大気圧との差に比例して撓
む。そして、そのシリコンダイヤフラム23aに形成さ
れたピエゾ抵抗の抵抗値が撓みの大きさに比例して変化
し、この抵抗値を電気信号として端子5に出力し、プリ
ント基板6に設けられた増幅素子(図示せず)で増幅し
て、コネクタ用端子71に出力して、流体の圧力を測定
する。
【0025】かかる第1実施形態の圧力センサにあって
は、上記したように、ボディ1の他方側開口端部11b
と、固定管4における雌ねじ部42の反対側端部43a
とを接合した接合部4aを4箇所形成したから、圧力導
入管22に設けられた雄ねじ部22cと固定管4に設け
られた雌ねじ部42とを互いに螺合し固定した状態で、
固定管4が接合部4aでボディ1と接合されて回転する
ことがなくなって、たとえ振動等が発生しても、ボディ
1の第2凹部14から外部へ外れることなく、圧力導入
管22を固定管4でもってボディ1に固定した状態を維
持することができる。
は、上記したように、ボディ1の他方側開口端部11b
と、固定管4における雌ねじ部42の反対側端部43a
とを接合した接合部4aを4箇所形成したから、圧力導
入管22に設けられた雄ねじ部22cと固定管4に設け
られた雌ねじ部42とを互いに螺合し固定した状態で、
固定管4が接合部4aでボディ1と接合されて回転する
ことがなくなって、たとえ振動等が発生しても、ボディ
1の第2凹部14から外部へ外れることなく、圧力導入
管22を固定管4でもってボディ1に固定した状態を維
持することができる。
【0026】また、接合部4aが瞬間的にレーザを照射
して溶接するレーザ溶接でもって形成されたから、ボデ
ィ1の他方側開口端部11bと、固定管4における雌ね
じ部42の反対側端部43aとが溶接時の熱に起因する
変形を生じることなく接合部4aを確実に形成できると
ともに、複数個形成されたから、他方側開口端部11b
と固定管4とをさらに確実に固定することができる。
して溶接するレーザ溶接でもって形成されたから、ボデ
ィ1の他方側開口端部11bと、固定管4における雌ね
じ部42の反対側端部43aとが溶接時の熱に起因する
変形を生じることなく接合部4aを確実に形成できると
ともに、複数個形成されたから、他方側開口端部11b
と固定管4とをさらに確実に固定することができる。
【0027】また、鍔部22bが圧力導入管22の基端
部に設けられるとともに、その鍔部22b及びボディ1
の一方側開口端部11aとそれぞれ密着する密着手段3
が設けられたから、Oリング31が圧力導入管22を外
囲した状態で鍔部22b及び一方側開口端部11aとの
間で挟み込まれ押圧されて密着し、圧力導入管22の外
周面及びその一方側開口端部11aのそれぞれと接触し
て、その外周面を介して流体が漏れることなく、圧力導
入管22を外部と気密性よく気密封止できる。
部に設けられるとともに、その鍔部22b及びボディ1
の一方側開口端部11aとそれぞれ密着する密着手段3
が設けられたから、Oリング31が圧力導入管22を外
囲した状態で鍔部22b及び一方側開口端部11aとの
間で挟み込まれ押圧されて密着し、圧力導入管22の外
周面及びその一方側開口端部11aのそれぞれと接触し
て、その外周面を介して流体が漏れることなく、圧力導
入管22を外部と気密性よく気密封止できる。
【0028】なお、第1実施形態では、接合部4aをレ
ーザ溶接でもって形成したが、レーザ溶接ではなく他の
手段、たとえば接着材等を用いて形成してもよく、さら
に4個形成したが4個でなく1個でもよく、限定されな
い。
ーザ溶接でもって形成したが、レーザ溶接ではなく他の
手段、たとえば接着材等を用いて形成してもよく、さら
に4個形成したが4個でなく1個でもよく、限定されな
い。
【0029】また、第1実施形態では、雄ねじ部22c
を圧力導入管22の先端外周部に、雌ねじ部42を固定
管4の一端内周部にそれぞれ設けたが、雄ねじ部22c
を固定管4の一端外周部に、雌ねじ部42を圧力導入管
22の先端内周部にそれぞれ設けてもよく、限定されな
い。
を圧力導入管22の先端外周部に、雌ねじ部42を固定
管4の一端内周部にそれぞれ設けたが、雄ねじ部22c
を固定管4の一端外周部に、雌ねじ部42を圧力導入管
22の先端内周部にそれぞれ設けてもよく、限定されな
い。
【0030】本発明の第2実施形態を図4乃び図5に基
づいて以下に説明する。なお、第2実施形態では第1実
施形態と異なる機能について述べることとし、第1実施
形態と実質的に同一機能を有する部材については、同一
符号を付して説明を省略する。
づいて以下に説明する。なお、第2実施形態では第1実
施形態と異なる機能について述べることとし、第1実施
形態と実質的に同一機能を有する部材については、同一
符号を付して説明を省略する。
【0031】固定管4は、他端部から、すなわち雌ねじ
部42の反対側端部43aから軸方向に沿って突出した
突壁部45が、第2貫通孔41を外囲するよう設けられ
ている。
部42の反対側端部43aから軸方向に沿って突出した
突壁部45が、第2貫通孔41を外囲するよう設けられ
ている。
【0032】かかる第2実施形態の圧力センサにあって
は、上記したように、突壁部45が固定管4における雌
ねじ部42の反対側端部43aから軸に沿って突設され
て、第2貫通孔41を外囲したから、レーザ溶接したと
き発生した溶融物が突壁部45によって第2貫通孔41
から遮蔽され、突壁部45が圧力導入孔22aへの溶融
物の侵入を阻止して、圧力導入管22がつまったり圧力
センサ部23が破損されることを防止することができ
る。
は、上記したように、突壁部45が固定管4における雌
ねじ部42の反対側端部43aから軸に沿って突設され
て、第2貫通孔41を外囲したから、レーザ溶接したと
き発生した溶融物が突壁部45によって第2貫通孔41
から遮蔽され、突壁部45が圧力導入孔22aへの溶融
物の侵入を阻止して、圧力導入管22がつまったり圧力
センサ部23が破損されることを防止することができ
る。
【0033】
【発明の効果】請求項1記載のものは、ボディの他方側
開口端部と、固定管における別のねじ部の反対側端部と
を接合した接合部を少なくとも1箇所形成したから、圧
力導入管に設けられたねじ部と固定管に設けられた別の
ねじ部とを互いに螺合した状態で、固定管が接合部でボ
ディと接合されて回転することがなくなって、たとえば
振動等が発生しても固定管がボディの筒内部から外れる
ことなく、圧力導入管を固定管でもってボディに固定し
た状態を維持することができる。
開口端部と、固定管における別のねじ部の反対側端部と
を接合した接合部を少なくとも1箇所形成したから、圧
力導入管に設けられたねじ部と固定管に設けられた別の
ねじ部とを互いに螺合した状態で、固定管が接合部でボ
ディと接合されて回転することがなくなって、たとえば
振動等が発生しても固定管がボディの筒内部から外れる
ことなく、圧力導入管を固定管でもってボディに固定し
た状態を維持することができる。
【0034】請求項2記載のものは、請求項1記載のも
のの効果に加えて、接合部が瞬間的にレーザを照射して
溶接するレーザ溶接でもって形成されたから、ボディの
他方側開口端部と固定管における別のねじ部の反対側端
部とが溶接時の熱に起因する変形を生じることなく、接
合部を確実に形成できるとともに、複数個形成されたか
ら、ボディと固定管とを確実に固定することができる。
のの効果に加えて、接合部が瞬間的にレーザを照射して
溶接するレーザ溶接でもって形成されたから、ボディの
他方側開口端部と固定管における別のねじ部の反対側端
部とが溶接時の熱に起因する変形を生じることなく、接
合部を確実に形成できるとともに、複数個形成されたか
ら、ボディと固定管とを確実に固定することができる。
【0035】請求項3記載のものは、請求項2記載のも
のの効果に加えて、突壁部が固定管における別のねじ部
の反対側端部から軸に沿って突設されて、別の貫通孔を
外囲したから、レーザ溶接したとき発生した溶融物が突
壁部によって別の貫通孔から遮蔽され、突壁部が圧力導
入孔への溶融物の侵入を阻止して、圧力導入管がつまっ
たり圧力センサ部が破損されることを防止することがで
きる。
のの効果に加えて、突壁部が固定管における別のねじ部
の反対側端部から軸に沿って突設されて、別の貫通孔を
外囲したから、レーザ溶接したとき発生した溶融物が突
壁部によって別の貫通孔から遮蔽され、突壁部が圧力導
入孔への溶融物の侵入を阻止して、圧力導入管がつまっ
たり圧力センサ部が破損されることを防止することがで
きる。
【0036】請求項4記載のものは、請求項1乃至3記
載のものの効果に加えて、鍔部が圧力導入管の基端部に
設けられるとともに、その鍔部及びボディの一方側開口
端部とそれぞれ密着する密着手段が設けられたから、密
着手段が圧力導入管を外囲した状態で鍔部及び一方側開
口端部との間で挟み込まれ押圧されて密着し、圧力導入
管の外周面及びその一方側開口端部のそれぞれと接触し
て、その外周面を介して流体が漏れることなく、圧力導
入管を外部と気密性よく気密封止することができる。
載のものの効果に加えて、鍔部が圧力導入管の基端部に
設けられるとともに、その鍔部及びボディの一方側開口
端部とそれぞれ密着する密着手段が設けられたから、密
着手段が圧力導入管を外囲した状態で鍔部及び一方側開
口端部との間で挟み込まれ押圧されて密着し、圧力導入
管の外周面及びその一方側開口端部のそれぞれと接触し
て、その外周面を介して流体が漏れることなく、圧力導
入管を外部と気密性よく気密封止することができる。
【図1】本発明の第1実施形態を示す正断面図である。
【図2】同上の右側面図である。
【図3】同上の左側面図である。
【図4】本発明の第2実施形態を示す正断面図である。
【図5】同上の固定管の斜視図である。
【図6】従来例を示す正断面図である。
1 ボディ 11 開口端部 11a 一方側開口端部 11b 他方側開口端部 12 第1貫通孔(貫通孔) 14 第2凹部(筒内部) 2 センサエレメント 21 基台 22 圧力導入管 22a 圧力導入孔 22b 鍔部 22c 雄ねじ部(ねじ部) 22d 基端部端面 23 圧力センサ部 3 密着手段 4 固定管 4a 接合部 41 第2貫通孔(別の貫通孔) 42 雌ねじ部(別のねじ部) 43a 反対側端部 45 突壁部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梶 紀公 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内
Claims (4)
- 【請求項1】 両開口端部を形成する貫通孔を設けた筒
状で金属製のボディと、ボディに装着されたセンサエレ
メントと、別の貫通孔を設けてボディの筒内部に配設さ
れた固定管とを備え、センサエレメントは、樹脂製の基
台と、測定対象である流体を圧力を持って導入する圧力
導入孔を設けボディの貫通孔の一方側に配された基端部
が基台に固着されるとともに、先端部にねじ部を有した
金属製の圧力導入管と、基端部端面に密着固定されて圧
力導入孔を遮蔽することによって圧力を電気信号に変換
する圧力センサ部とを設け、固定管は別のねじ部を設け
てその別のねじ部が回転しねじ部と互いに螺合して圧力
導入管をボディに固定してなる圧力センサにおいて、 前記ボディの他方側開口端部と、前記固定管における前
記別のねじ部の反対側端部とを接合した接合部を少なく
とも1箇所形成してなることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項2】 前記接合部はレーザ溶接でもって複数個
形成されたことを特徴とする請求項1記載の圧力セン
サ。 - 【請求項3】 前記固定管は前記反対側端部から軸に沿
って突出した突壁部が、前記別の貫通孔を外囲するよう
設けられたことを特徴とする請求項2記載の圧力セン
サ。 - 【請求項4】 前記圧力導入管は軸に対する直交方向へ
突出した鍔部が前記基端部に設けられるとともに、その
鍔部及び前記ボディの一方側開口端部とそれぞれ密着す
る密着手段が、前記圧力導入管を外囲して設けられたこ
とを特徴とする請求項1乃至3記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34477896A JPH10185733A (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34477896A JPH10185733A (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10185733A true JPH10185733A (ja) | 1998-07-14 |
Family
ID=18371914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34477896A Pending JPH10185733A (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10185733A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011004933A1 (ko) * | 2009-07-08 | 2011-01-13 | 인지컨트롤스주식회사 | 내연기관용 엔진오일 감지기 |
-
1996
- 1996-12-25 JP JP34477896A patent/JPH10185733A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011004933A1 (ko) * | 2009-07-08 | 2011-01-13 | 인지컨트롤스주식회사 | 내연기관용 엔진오일 감지기 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100590275B1 (ko) | 압력 센서 | |
RU2324158C2 (ru) | Устройство для измерения давления | |
US6176137B1 (en) | Pressure sensor | |
JP3444987B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3987386B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2003337075A (ja) | 絶対圧型圧力センサ | |
WO2024124765A1 (zh) | 一种压力传感器 | |
JP4027655B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JPH11295174A (ja) | 圧力センサ | |
JPH10185733A (ja) | 圧力センサ | |
JP2002333377A (ja) | 圧力センサ | |
JP2782572B2 (ja) | 圧力センサとその製造方法 | |
JPH09178596A (ja) | 圧力センサ | |
JPH11108787A (ja) | 圧力センサ | |
JPH09178595A (ja) | 圧力センサ | |
JP4118729B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2002013994A (ja) | 圧力センサ | |
JPH1130560A (ja) | 圧力センサ | |
JPH10213507A (ja) | 圧力センサ | |
JPH10185735A (ja) | 圧力センサモジュール | |
JP3349489B2 (ja) | 圧力センサとその製造方法 | |
JPH11351989A (ja) | 圧力センサ | |
JP2000028459A (ja) | 圧力センサ | |
JPH10170371A (ja) | 圧力センサとその製造方法 | |
JP2000249614A (ja) | 半導体圧力センサ |