JPH11108787A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH11108787A JPH11108787A JP26654697A JP26654697A JPH11108787A JP H11108787 A JPH11108787 A JP H11108787A JP 26654697 A JP26654697 A JP 26654697A JP 26654697 A JP26654697 A JP 26654697A JP H11108787 A JPH11108787 A JP H11108787A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 空気がオイルに侵入することを防止して、腐
食性流体の圧力を正しく検知できる圧力センサを提供す
る。 【解決手段】 ボディ１と、基端部２１及び先端部２２
を有して軸孔２３及び基端部２１側の外周部に雄ねじ部
２４をそれぞれ設けた圧力導入管２と、圧力導入管２の
軸孔２３を遮蔽するよう先端部端面２２ａに密着固定さ
れて軸孔２３に導入された圧力を検知する圧力センサチ
ップ３と、筒内部４２及び底部４１を有してその底部４
１に圧力導入管２の雄ねじ部２４と互いに螺合する雌ね
じ部４３が設けられて圧力導入管２をボディ１に固定す
る有底筒状の固定管４と、螺合された各ねじ部を封止す
る弾性を有した弾性封止部５と、軸孔２３及び筒内部４
２に充填されたオイル６とを備えた構成にしてある。
食性流体の圧力を正しく検知できる圧力センサを提供す
る。 【解決手段】 ボディ１と、基端部２１及び先端部２２
を有して軸孔２３及び基端部２１側の外周部に雄ねじ部
２４をそれぞれ設けた圧力導入管２と、圧力導入管２の
軸孔２３を遮蔽するよう先端部端面２２ａに密着固定さ
れて軸孔２３に導入された圧力を検知する圧力センサチ
ップ３と、筒内部４２及び底部４１を有してその底部４
１に圧力導入管２の雄ねじ部２４と互いに螺合する雌ね
じ部４３が設けられて圧力導入管２をボディ１に固定す
る有底筒状の固定管４と、螺合された各ねじ部を封止す
る弾性を有した弾性封止部５と、軸孔２３及び筒内部４
２に充填されたオイル６とを備えた構成にしてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガソリン、軽油、
又はそれらの蒸気等の腐食性流体の圧力を測定する圧力
センサに関するものである。
又はそれらの蒸気等の腐食性流体の圧力を測定する圧力
センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の圧力センサとして、図４
に示す構成のものが存在する。このものは、底部Ａ11及
び孔内部Ａ12を有した有底孔Ａ1が設けられた有底筒状
のボディＡと、孔内部Ａ12に連通した軸孔Ｂ1を設けて
その軸孔Ｂ1を遮蔽するよう圧力センサチップＣが先端
部端面Ｂ2に密着固定された圧力導入管Ｂと、圧力導入
管ＢをボディＡに固定する固定部Ｄと、圧力導入管Ｂの
軸孔Ｂ1及びボディＡの孔内部Ａ12に充填されたオイル
Ｅと、孔内部Ａ12に設けられてオイルＥを密封するとと
もにそのオイルＥに圧力を伝達する伝達ゲルＦとを備え
ている。
に示す構成のものが存在する。このものは、底部Ａ11及
び孔内部Ａ12を有した有底孔Ａ1が設けられた有底筒状
のボディＡと、孔内部Ａ12に連通した軸孔Ｂ1を設けて
その軸孔Ｂ1を遮蔽するよう圧力センサチップＣが先端
部端面Ｂ2に密着固定された圧力導入管Ｂと、圧力導入
管ＢをボディＡに固定する固定部Ｄと、圧力導入管Ｂの
軸孔Ｂ1及びボディＡの孔内部Ａ12に充填されたオイル
Ｅと、孔内部Ａ12に設けられてオイルＥを密封するとと
もにそのオイルＥに圧力を伝達する伝達ゲルＦとを備え
ている。
【０００３】さらに詳しくは、圧力導入管ＢはボディＡ
の底部Ａ11に設けられた挿通孔Ａ2に挿入されて、基端
部Ｂ3が有底孔Ａ1の孔内部Ａ12に突設される。固定部Ｄ
はエポキシ系接着剤からなり、有底孔Ａ1の底部Ａ11側
へ設けられて、圧力導入管Ｂの基端部Ｂ3を底部Ａ11に
固着して、圧力導入管ＢをボディＡに固定する。このよ
うに、固定部Ｄは圧力導入管ＢをボディＡに固定する役
割の他に、挿通孔Ａ2と圧力導入管Ｂの外周部との間の
空隙を封止するという役割を担っている。
の底部Ａ11に設けられた挿通孔Ａ2に挿入されて、基端
部Ｂ3が有底孔Ａ1の孔内部Ａ12に突設される。固定部Ｄ
はエポキシ系接着剤からなり、有底孔Ａ1の底部Ａ11側
へ設けられて、圧力導入管Ｂの基端部Ｂ3を底部Ａ11に
固着して、圧力導入管ＢをボディＡに固定する。このよ
うに、固定部Ｄは圧力導入管ＢをボディＡに固定する役
割の他に、挿通孔Ａ2と圧力導入管Ｂの外周部との間の
空隙を封止するという役割を担っている。
【０００４】そして、腐食性流体がボディＡの有底孔Ａ
1に導入され、その圧力を伝達ゲルＦに伝達して、圧力
センサチップＣが腐食性流体の圧力を、圧力導入管Ｂの
軸孔Ｂ1及びボディＡの有底孔Ａ1に充填されたオイルＥ
を介して検知する。
1に導入され、その圧力を伝達ゲルＦに伝達して、圧力
センサチップＣが腐食性流体の圧力を、圧力導入管Ｂの
軸孔Ｂ1及びボディＡの有底孔Ａ1に充填されたオイルＥ
を介して検知する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の圧力セ
ンサでは、オイルＥを介して、すなわち腐食性流体が圧
力センサチップＣに直接接触してその圧力センサチップ
Ｃを腐食させることなく、腐食性流体の圧力を検知でき
る。
ンサでは、オイルＥを介して、すなわち腐食性流体が圧
力センサチップＣに直接接触してその圧力センサチップ
Ｃを腐食させることなく、腐食性流体の圧力を検知でき
る。
【０００６】しかしながら、固定部Ｄは圧力導入管Ｂを
ボディＡに固定するという役割と共に、挿通孔Ａ2と圧
力導入管Ｂの外周部との間の空隙を封止するという役割
も担っているので、両役割を満足するエポキシ系接着剤
を用いて形成せざるを得ない。このとき、固定部Ｄはボ
ディＡ及び圧力導入管Ｂとの間でそれぞれ熱膨張率が異
なるので、その熱膨張率の差に起因してクラック、又は
ボディＡ若しくは圧力導入管Ｂとの間の剥離を生じて、
空気が空隙からオイルＥへ侵入して、オイルＥが腐食性
流体の圧力を圧力センサチップＣに正しく伝達しない場
合があった。
ボディＡに固定するという役割と共に、挿通孔Ａ2と圧
力導入管Ｂの外周部との間の空隙を封止するという役割
も担っているので、両役割を満足するエポキシ系接着剤
を用いて形成せざるを得ない。このとき、固定部Ｄはボ
ディＡ及び圧力導入管Ｂとの間でそれぞれ熱膨張率が異
なるので、その熱膨張率の差に起因してクラック、又は
ボディＡ若しくは圧力導入管Ｂとの間の剥離を生じて、
空気が空隙からオイルＥへ侵入して、オイルＥが腐食性
流体の圧力を圧力センサチップＣに正しく伝達しない場
合があった。
【０００７】本発明は、上記問題点に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、空気がオイルに侵入する
ことを防止して、腐食性流体の圧力を正しく検知できる
圧力センサを提供することにある。
で、その目的とするところは、空気がオイルに侵入する
ことを防止して、腐食性流体の圧力を正しく検知できる
圧力センサを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１記載のものは、ボディと、基端部及び
先端部を有して軸孔及び基端部側にねじ部をそれぞれ設
けた圧力導入管と、圧力導入管の軸孔を遮蔽するよう先
端部端面に密着固定されて軸孔に導入された圧力を検知
する圧力センサチップと、筒内部及び底部を有してその
底部に圧力導入管のねじ部と互いに螺合する別のねじ部
が設けられて圧力導入管をボディに固定する有底筒状の
固定管と、螺合された両ねじ部を封止する弾性を有した
弾性封止部と、軸孔及び筒内部に充填されたオイルとを
備え、圧力センサチップが固定管の筒内部に導入された
腐食性流体の圧力をオイルを介して検知する構成にして
ある。
ために、請求項１記載のものは、ボディと、基端部及び
先端部を有して軸孔及び基端部側にねじ部をそれぞれ設
けた圧力導入管と、圧力導入管の軸孔を遮蔽するよう先
端部端面に密着固定されて軸孔に導入された圧力を検知
する圧力センサチップと、筒内部及び底部を有してその
底部に圧力導入管のねじ部と互いに螺合する別のねじ部
が設けられて圧力導入管をボディに固定する有底筒状の
固定管と、螺合された両ねじ部を封止する弾性を有した
弾性封止部と、軸孔及び筒内部に充填されたオイルとを
備え、圧力センサチップが固定管の筒内部に導入された
腐食性流体の圧力をオイルを介して検知する構成にして
ある。
【０００９】請求項２記載のものは、請求項１記載のも
のにおいて、前記弾性封止部は、ゴム系又はゲル系封止
材でもって形成された構成にしてある。
のにおいて、前記弾性封止部は、ゴム系又はゲル系封止
材でもって形成された構成にしてある。
【００１０】請求項３記載のものは、請求項２記載のも
のにおいて、前記弾性封止部は、シリコンを含んだシリ
コンゲルでもって形成された構成にしてある。
のにおいて、前記弾性封止部は、シリコンを含んだシリ
コンゲルでもって形成された構成にしてある。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図１乃至図
３に基づいて以下に説明する。
３に基づいて以下に説明する。
【００１２】１はボディで、鋼又はステンレス等の金属
により、底部１１を有した有底筒状に形成され、同心円
状に２段に形成された貫通孔１２が両側へ開口した状態
で設けられて、段差部１３が底部１１に形成される。そ
して、一方側の外周部が雄ねじを有したボルト状に、他
方側が六角ボルト状にそれぞれ形成される。
により、底部１１を有した有底筒状に形成され、同心円
状に２段に形成された貫通孔１２が両側へ開口した状態
で設けられて、段差部１３が底部１１に形成される。そ
して、一方側の外周部が雄ねじを有したボルト状に、他
方側が六角ボルト状にそれぞれ形成される。
【００１３】２は圧力導入管で、４２アロイにより、ニ
ッケルを４２％含有するＦｅ−Ｎｉ合金で、熱膨張率が
後述するシリコンダイアフラム３１と略同一であり、基
端部２１及び先端部２２を有して略円筒状に形成され、
軸孔２３が軸に沿って、雄ねじ部２４が基端部２１側の
外周部にそれぞれ設けられる。さらに、軸方向に対する
直交方向へ突出した鍔部を先端部２２に設け、その鍔部
が基台２５に一体成形によって固着される。そして、ボ
ディ１の貫通孔１２に挿入されて、外周部がボディ１の
段差部１３に設けられたＯリングに密着し、基端部２１
が貫通孔１２の内部に突出する。
ッケルを４２％含有するＦｅ−Ｎｉ合金で、熱膨張率が
後述するシリコンダイアフラム３１と略同一であり、基
端部２１及び先端部２２を有して略円筒状に形成され、
軸孔２３が軸に沿って、雄ねじ部２４が基端部２１側の
外周部にそれぞれ設けられる。さらに、軸方向に対する
直交方向へ突出した鍔部を先端部２２に設け、その鍔部
が基台２５に一体成形によって固着される。そして、ボ
ディ１の貫通孔１２に挿入されて、外周部がボディ１の
段差部１３に設けられたＯリングに密着し、基端部２１
が貫通孔１２の内部に突出する。
【００１４】３は圧力センサチップで、シリコンダイア
フラム３１と、台座孔を有したガラス台座３２とを設け
て、シリコンダイアフラム３１がピエゾ抵抗（図示せ
ず）を配することによって歪みゲージを形成して、圧力
を電気信号に変換する。シリコンダイアフラム３１が台
座孔を遮蔽するようガラス台座３２の一面に密着固定さ
れるとともに、そのガラス台座３２の他面が半田付けに
よって、圧力導入管２の軸孔２３及び台座孔の互いの軸
を一致させた状態で、圧力導入管２の先端部端面２２ａ
に密着固定される。つまり、軸孔２３が圧力センサチッ
プ３によって遮蔽される。
フラム３１と、台座孔を有したガラス台座３２とを設け
て、シリコンダイアフラム３１がピエゾ抵抗（図示せ
ず）を配することによって歪みゲージを形成して、圧力
を電気信号に変換する。シリコンダイアフラム３１が台
座孔を遮蔽するようガラス台座３２の一面に密着固定さ
れるとともに、そのガラス台座３２の他面が半田付けに
よって、圧力導入管２の軸孔２３及び台座孔の互いの軸
を一致させた状態で、圧力導入管２の先端部端面２２ａ
に密着固定される。つまり、軸孔２３が圧力センサチッ
プ３によって遮蔽される。
【００１５】４は固定管で、鋼又はステンレス等の金属
により、熱膨張率が圧力導入管２を形成する４２アロイ
と比較して大きく、底部４１及び筒内部４２を有した有
底筒状に形成され、雌ねじ部４３が底部４１に、さらに
一方側へ開口した開口端部４４がそれぞれ設けられる。
ボディ１の貫通孔１２に挿入され、雌ねじ部４３が圧力
導入管２の雄ねじ部２４と互いに螺合して、圧力導入管
２の基端部２１が筒内部４２に導出された状態で、すな
わち軸孔２３が筒内部４２と連通した状態で、圧力導入
管２をボディ１に固定する。そして、開口端部４４がボ
ディ１とレーザ溶接でもって溶接されて、ボディ１に固
着される。
により、熱膨張率が圧力導入管２を形成する４２アロイ
と比較して大きく、底部４１及び筒内部４２を有した有
底筒状に形成され、雌ねじ部４３が底部４１に、さらに
一方側へ開口した開口端部４４がそれぞれ設けられる。
ボディ１の貫通孔１２に挿入され、雌ねじ部４３が圧力
導入管２の雄ねじ部２４と互いに螺合して、圧力導入管
２の基端部２１が筒内部４２に導出された状態で、すな
わち軸孔２３が筒内部４２と連通した状態で、圧力導入
管２をボディ１に固定する。そして、開口端部４４がボ
ディ１とレーザ溶接でもって溶接されて、ボディ１に固
着される。
【００１６】５は弾性封止部で、シリコンを含んだシリ
コンゲルにより、弾性を有したゲル状であり、耐熱性に
優れて温度に起因する弾性特性の変化が小さく、圧力導
入管２の先端部２２及び固定管４の底部４１に当接した
状態で、底部４１側における固定管４の筒内部４２に設
けられる。そして、螺合された両ねじ部、すなわち雄ね
じ部２４及び雌ねじ部４３を封止する。
コンゲルにより、弾性を有したゲル状であり、耐熱性に
優れて温度に起因する弾性特性の変化が小さく、圧力導
入管２の先端部２２及び固定管４の底部４１に当接した
状態で、底部４１側における固定管４の筒内部４２に設
けられる。そして、螺合された両ねじ部、すなわち雄ね
じ部２４及び雌ねじ部４３を封止する。
【００１７】ここで、圧力導入管２が固定管４によって
ボディ１に固定されるので、弾性封止部５は圧力導入管
２をボディ１に固定するという役割を担う必要がなく、
つまり両ねじ部２４，４３を封止するという役割だけで
あるので、接着特性に劣るが優れた弾性特性を有するシ
リコンゲルが使用される。
ボディ１に固定されるので、弾性封止部５は圧力導入管
２をボディ１に固定するという役割を担う必要がなく、
つまり両ねじ部２４，４３を封止するという役割だけで
あるので、接着特性に劣るが優れた弾性特性を有するシ
リコンゲルが使用される。
【００１８】６はオイルで、フッ素を含んだフッ素オイ
ルにより、粘性を有した液状であり、シリコンと反応せ
ず安定で、ガラス台座３２の台座孔、圧力導入管２の軸
孔２３、及び固定管４の筒内部４２にそれぞれ充填され
て、シリコンダイアフラム３１を腐食することなく、そ
のシリコンダイアフラム３１に接触する。
ルにより、粘性を有した液状であり、シリコンと反応せ
ず安定で、ガラス台座３２の台座孔、圧力導入管２の軸
孔２３、及び固定管４の筒内部４２にそれぞれ充填され
て、シリコンダイアフラム３１を腐食することなく、そ
のシリコンダイアフラム３１に接触する。
【００１９】伝達ゲル７は、シリコンを含んだシリコン
ゲルにより、弾性を有したゲル状であり、オイル６と境
界部で互いに化学反応を生じず、固定管４の筒内部４２
に充填されて、オイル６と接触して、そのオイル６を弾
性封止部５との間に挟み込んで密閉する。そして、オイ
ル６が筒内部４２から開口端部４４側へ向かって漏れる
ことを防止するとともに、オイル６に圧力を伝達する。
ゲルにより、弾性を有したゲル状であり、オイル６と境
界部で互いに化学反応を生じず、固定管４の筒内部４２
に充填されて、オイル６と接触して、そのオイル６を弾
性封止部５との間に挟み込んで密閉する。そして、オイ
ル６が筒内部４２から開口端部４４側へ向かって漏れる
ことを防止するとともに、オイル６に圧力を伝達する。
【００２０】端子８は、基台２５に固着されて、一端部
がシリコンダイアフラム３１に設けられた電極（図示せ
ず）とワイヤボンディングでもって電気的に接続されて
いる。
がシリコンダイアフラム３１に設けられた電極（図示せ
ず）とワイヤボンディングでもって電気的に接続されて
いる。
【００２１】プリント基板９は、回路が形成されたセラ
ミック基板により、ボディ１に固定されるとともに、端
子８が挿通され半田付けされることによって、圧力セン
サチップ３と電気的に接続される。端子ブロック１０
は、３個のコネクタ用端子１０ａを同時成形して形成さ
れ、コネクタ用端子１０ａがプリント基板９を介して端
子８と接続される。
ミック基板により、ボディ１に固定されるとともに、端
子８が挿通され半田付けされることによって、圧力セン
サチップ３と電気的に接続される。端子ブロック１０
は、３個のコネクタ用端子１０ａを同時成形して形成さ
れ、コネクタ用端子１０ａがプリント基板９を介して端
子８と接続される。
【００２２】コネクタ１１は、合成樹脂により、筒状の
着脱部１１ａと、その着脱部１１ａの外形よりも大きな
径の円筒状の台座部１１ｂとを有して形成され、台座部
１１ｂがボディ１に嵌挿され、このとき端子ブロック１
０のコネクタ用端子１０ａが着脱部１１ａの筒内に突出
して導出される。
着脱部１１ａと、その着脱部１１ａの外形よりも大きな
径の円筒状の台座部１１ｂとを有して形成され、台座部
１１ｂがボディ１に嵌挿され、このとき端子ブロック１
０のコネクタ用端子１０ａが着脱部１１ａの筒内に突出
して導出される。
【００２３】このものの動作を説明する。ガソリン蒸気
又は軽油等の腐食性流体は、固定管４の開口端部４４か
ら筒内部４２へ導入されて、伝達ゲル７に接触して圧力
を負荷し、伝達ゲル７はその圧力をオイル６を介して圧
力センサチップ３に伝達する。オイル６は伝達ゲル７に
よって筒内部４２に密閉されるとともに、圧力センサチ
ップ３が圧力導入管２の軸孔２３を遮蔽するよう先端部
端面２２ａに密着固定されているので外部へ漏れること
なく、圧力を圧力センサチップ３に負荷する。
又は軽油等の腐食性流体は、固定管４の開口端部４４か
ら筒内部４２へ導入されて、伝達ゲル７に接触して圧力
を負荷し、伝達ゲル７はその圧力をオイル６を介して圧
力センサチップ３に伝達する。オイル６は伝達ゲル７に
よって筒内部４２に密閉されるとともに、圧力センサチ
ップ３が圧力導入管２の軸孔２３を遮蔽するよう先端部
端面２２ａに密着固定されているので外部へ漏れること
なく、圧力を圧力センサチップ３に負荷する。
【００２４】ここで、弾性封止部５は弾性特性に優れた
シリコンゲルでもって形成されているので、圧力導入管
２及び固定管４の間のそれぞれの熱膨張率の差だけ弾性
変形し、螺合された両ねじ部２４，４３を確実に封止し
て、空気が圧力導入管２の先端部２２側から基端部２１
側へ向かって各ねじ部から侵入することがなく、従って
オイル６に混入しない。
シリコンゲルでもって形成されているので、圧力導入管
２及び固定管４の間のそれぞれの熱膨張率の差だけ弾性
変形し、螺合された両ねじ部２４，４３を確実に封止し
て、空気が圧力導入管２の先端部２２側から基端部２１
側へ向かって各ねじ部から侵入することがなく、従って
オイル６に混入しない。
【００２５】圧力が圧力センサチップ３に負荷される
と、圧力センサチップ３に形成されたシリコンダイアフ
ラム３１が、腐食性流体の圧力と大気圧との差に比例し
て撓む。そして、そのシリコンダイヤフラムに形成され
たピエゾ抵抗の抵抗値が撓みの大きさに比例して変化
し、この抵抗値を電気信号として端子８に出力し、プリ
ント基板９に設けられた増幅素子（図示せず）で増幅し
て、コネクタ用端子１０ａに出力して、腐食性流体の圧
力を測定する。
と、圧力センサチップ３に形成されたシリコンダイアフ
ラム３１が、腐食性流体の圧力と大気圧との差に比例し
て撓む。そして、そのシリコンダイヤフラムに形成され
たピエゾ抵抗の抵抗値が撓みの大きさに比例して変化
し、この抵抗値を電気信号として端子８に出力し、プリ
ント基板９に設けられた増幅素子（図示せず）で増幅し
て、コネクタ用端子１０ａに出力して、腐食性流体の圧
力を測定する。
【００２６】かかる一実施形態の圧力センサにあって
は、上記したように、固定管４は雌ねじ部４３が雄ねじ
部２４と互いに螺合して圧力導入管２をボディ１に固定
するとともに、弾性封止部５が螺合された両ねじ部２
４，４３を封止するから、弾性封止部５が圧力導入管２
及び固定管４の間のそれぞれの熱膨張率の差だけ、クラ
ック又は剥離等を生じることなく弾性変形して、空気が
オイル６に侵入しないので、腐食性流体の圧力をオイル
６を介して圧力センサチップ３に正しく伝達して、正確
に圧力を検知することができる。
は、上記したように、固定管４は雌ねじ部４３が雄ねじ
部２４と互いに螺合して圧力導入管２をボディ１に固定
するとともに、弾性封止部５が螺合された両ねじ部２
４，４３を封止するから、弾性封止部５が圧力導入管２
及び固定管４の間のそれぞれの熱膨張率の差だけ、クラ
ック又は剥離等を生じることなく弾性変形して、空気が
オイル６に侵入しないので、腐食性流体の圧力をオイル
６を介して圧力センサチップ３に正しく伝達して、正確
に圧力を検知することができる。
【００２７】また、弾性封止部５がゲル系封止材でもっ
て形成されたから、弾性封止部５が圧力導入管２及び固
定管４の間のそれぞれの熱膨張率の差だけ確実に弾性変
形して、弾性封止部５のクラック又は剥離を容易に防止
することができる。
て形成されたから、弾性封止部５が圧力導入管２及び固
定管４の間のそれぞれの熱膨張率の差だけ確実に弾性変
形して、弾性封止部５のクラック又は剥離を容易に防止
することができる。
【００２８】また、弾性封止部５がシリコンを含んだシ
リコンゲルでもって形成されたから、シリコンゲルが耐
熱性に優れて温度に起因する弾性特性の変化が小さいの
で、広い温度領域にわたって使用することができる。
リコンゲルでもって形成されたから、シリコンゲルが耐
熱性に優れて温度に起因する弾性特性の変化が小さいの
で、広い温度領域にわたって使用することができる。
【００２９】なお、本実施形態では、弾性封止部５をゲ
ル系封止材であるシリコンゲルもって形成したが、ゲル
系封止材ではなくゴム系封止材でもよく、前記した熱膨
張率の差だけ弾性変形する弾性封止材であればよく、限
定されない。
ル系封止材であるシリコンゲルもって形成したが、ゲル
系封止材ではなくゴム系封止材でもよく、前記した熱膨
張率の差だけ弾性変形する弾性封止材であればよく、限
定されない。
【００３０】また、圧力導入管２の外周部に雄ねじ部２
４を、固定管４の底部４１に雌ねじ部４３をそれぞれ設
けたが、圧力導入管２の内周部に雌ねじ部を、固定管４
の底部４１に突出部を設け、その突出部の外周部に雄ね
じ部をそれぞれ設けて、螺合された両ねじ部を弾性封止
部５で封止してもよく、限定されない。
４を、固定管４の底部４１に雌ねじ部４３をそれぞれ設
けたが、圧力導入管２の内周部に雌ねじ部を、固定管４
の底部４１に突出部を設け、その突出部の外周部に雄ね
じ部をそれぞれ設けて、螺合された両ねじ部を弾性封止
部５で封止してもよく、限定されない。
【００３１】
【発明の効果】請求項１記載のものは、固定管の別のね
じ部が圧力導入管のねじ部と互いに螺合して、固定管が
圧力導入管をボディに固定するとともに、弾性封止部が
螺合された両ねじ部を封止するから、弾性封止部が圧力
導入管及び固定管の間のそれぞれの熱膨張率の差だけク
ラック又は剥離等を生じることなく弾性変形して、空気
がオイルに侵入しないので、腐食性流体の圧力をオイル
を介して圧力センサチップに正しく伝達して、正確に圧
力を検知することができる。
じ部が圧力導入管のねじ部と互いに螺合して、固定管が
圧力導入管をボディに固定するとともに、弾性封止部が
螺合された両ねじ部を封止するから、弾性封止部が圧力
導入管及び固定管の間のそれぞれの熱膨張率の差だけク
ラック又は剥離等を生じることなく弾性変形して、空気
がオイルに侵入しないので、腐食性流体の圧力をオイル
を介して圧力センサチップに正しく伝達して、正確に圧
力を検知することができる。
【００３２】請求項２記載のものは、請求項１記載のも
のの効果に加えて、弾性封止部がゴム又はゲル系封止材
でもって形成されたから、弾性封止部が確実に弾性変形
して、弾性封止部のクラック又は剥離を容易に防止する
ことができる。
のの効果に加えて、弾性封止部がゴム又はゲル系封止材
でもって形成されたから、弾性封止部が確実に弾性変形
して、弾性封止部のクラック又は剥離を容易に防止する
ことができる。
【００３３】請求項３記載のものは、請求項２記載のも
のの効果に加えて、弾性封止部がシリコンを含んだシリ
コンゲルでもって形成されたから、シリコンゲルが耐熱
性に優れて温度に起因する弾性特性の変化が小さいの
で、低温から高温まで広い温度領域にわたって使用する
ことができる。
のの効果に加えて、弾性封止部がシリコンを含んだシリ
コンゲルでもって形成されたから、シリコンゲルが耐熱
性に優れて温度に起因する弾性特性の変化が小さいの
で、低温から高温まで広い温度領域にわたって使用する
ことができる。
【図１】本発明の一実施形態を示す正断面図である。
【図２】同上の右側面図である。
【図３】同上の左側面図である。
【図４】従来例を示す正断面図である。
１ ボディ ２ 圧力導入管 ２１ 基端部 ２２ 先端部 ２２ａ 先端部端面 ２３ 軸孔 ２４ 雄ねじ部（ねじ部） ３ 圧力センサチップ ４ 固定管 ４１ 底部 ４２ 筒内部 ４３ 雌ねじ部（別のねじ部） ５ 弾性封止部 ６ オイル
Claims (3)
- 【請求項１】 ボディと、基端部及び先端部を有して軸
孔及び基端部にねじ部をそれぞれ設けた圧力導入管と、
圧力導入管の軸孔を遮蔽するよう先端部端面に密着固定
されて軸孔に導入された圧力を検知する圧力センサチッ
プと、筒内部及び底部を有してその底部に圧力導入管の
ねじ部と互いに螺合する別のねじ部が設けられて圧力導
入管をボディに固定する有底筒状の固定管と、螺合され
た両ねじ部を封止する弾性を有した弾性封止部と、軸孔
及び筒内部に充填されたオイルとを備え、圧力センサチ
ップが固定管の筒内部に導入された腐食性流体の圧力を
オイルを介して検知することを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 前記弾性封止部は、ゴム系又はゲル系封
止材でもって形成されたことを特徴とする請求項１記載
の圧力センサ。 - 【請求項３】 前記弾性封止部は、シリコンを含んだシ
リコンゲルでもって形成されたことを特徴とする請求項
２記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26654697A JPH11108787A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26654697A JPH11108787A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108787A true JPH11108787A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17432363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26654697A Pending JPH11108787A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11108787A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002066948A1 (de) * | 2001-02-20 | 2002-08-29 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensormodul |
| KR100437216B1 (ko) * | 2001-03-16 | 2004-06-23 | 주식회사 만도 | 압력센서를 갖춘 차량용 브레이크 액압 제어시스템 |
| KR100466661B1 (ko) * | 2001-02-19 | 2005-01-24 | 주식회사 만도 | 압력센서를 갖춘 차량용 브레이크 액압 제어시스템 |
| DE10157402B4 (de) * | 2000-11-27 | 2011-08-11 | DENSO CORPORATION, Aichi-pref. | Drucksensor mit einem Halbleitersensorchip |
| JP2018163074A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 日本電産トーソク株式会社 | 油圧センサ取付構造 |
| CN110243538A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-09-17 | 南京容宇仪器仪表有限公司 | 一种压力传感器最大承受力检测装置 |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP26654697A patent/JPH11108787A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6871546B2 (en) | 2001-02-20 | 2005-03-29 | Robert Bosch Gmbh | Pressure sensor module with sensor cell and adapter |
| KR100437216B1 (ko) * | 2001-03-16 | 2004-06-23 | 주식회사 만도 | 압력센서를 갖춘 차량용 브레이크 액압 제어시스템 |
| JP2018163074A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 日本電産トーソク株式会社 | 油圧センサ取付構造 |
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