JPH10180630A - 砥石のドレッシング方法 - Google Patents

砥石のドレッシング方法

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JPH10180630A
JPH10180630A JP8342090A JP34209096A JPH10180630A JP H10180630 A JPH10180630 A JP H10180630A JP 8342090 A JP8342090 A JP 8342090A JP 34209096 A JP34209096 A JP 34209096A JP H10180630 A JPH10180630 A JP H10180630A
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dressing
grindstone
abrasive grains
truing
grinding wheel
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JP8342090A
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Mitsuoki Hatamoto
本 光 興 畑
Hiroshi Kondo
藤 寛 近
Kazunori Urushibata
畑 和 則 漆
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Toshiba Machine Co Ltd
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    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/095Cooling or lubricating during dressing operation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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    • B24B53/013Application of loose grinding agent as auxiliary tool during truing operation

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 超精密加工に使用される高番手かつ高集中度
の砥石をも効率よくドレッシングできる砥石のドレッシ
ング方法を提供する。 【解決手段】 ツルーイング工具11を用いて砥石10
をツルーイングする際に、ドレッシング用砥粒12を分
散させた冷却液Wを供給し、ツルーイング工具11と砥
石表面13との間にドレッシング用砥粒12を介在させ
ることにより砥石10をドレッシングする。したがっ
て、ドレッシング用砥石を用いて砥石をドレッシングす
る方法とは異なり、ドレッシング用砥石の製造限界に左
右されることなく、超精密加工に用いられる超微粒砥石
のドレッシングをも容易に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、砥石をドレッシン
グする方法に関し、より詳しくは、超精密加工に使用さ
れる高番手かつ高集中度の砥石をも効率よくドレッシン
グすることができる砥石のドレッシング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図7に示したように、砥石1をツルーイ
ングすると砥粒2が砥石表面3より下側に埋没して切刃
が無くなってしまう。そこで、ツルーイング後の砥石1
をドレッシングすることにより結合剤4を削り込み、図
8に示したように砥粒2を砥石表面3から露出させてチ
ップポケットを形成し、切刃を創成する必要がある。
【0003】ところで、ツルーイングで形成した砥石1
の形状を崩すことなく結合剤4を削り込んで切刃を創成
するためには、上述したドレッシング用砥石に含まれる
砥粒を、ドレッシングされる砥石1の砥粒2よりは軟ら
かく、かつドレッシングされる砥石1の結合剤4よりは
硬くなるようにその硬度を設定する必要がある。また、
ドレッシング用砥石に含まれる砥粒の粒径は、ドレッシ
ングされる砥石1の砥粒2の間に入り込むことができる
が、入り込みの深さが深すぎてドレッシングされる砥石
1の砥粒2を脱落させることがないように、ドレッシン
グされる砥石1の平均砥粒間隔に合わせて適切な粒径に
設定する必要がある。
【0004】そして、このように硬度および粒径が設定
された砥粒を含むドレッシング用砥石を、ツルーイング
された砥石1の表面3に押し当てて擦過することによ
り、ツルーイングによって形成された砥石形状を崩すこ
となく切刃を創成し、効率よく研磨可能な砥石を製造す
ることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、超精密加工
に使用される砥石は、その砥粒の粒径が数ミクロン以下
の高番手とされるばかりでなく、集中度も高く平均砥粒
間隔が極めて小さい値となっている。したがって、この
ような超精密加工用砥石のドレッシングに用いる砥石の
粒径もまた、極めて小さくなければならない。
【0006】しかしながら、ドレッシング用砥石は結合
剤を殆ど用いることなく焼成されるため、粒子が拡散結
合して粒径が大きくなる傾向がある。そして、この傾向
は粒子径が小さくなるほど強くなる。これにより、超精
密加工用砥石のドレッシングに用い得る超微粒なドレッ
シング用砥石の製造は困難なものとなっている。したが
って、超精密加工用砥石は、ドレッシングを兼ねてツル
ーイングを行っているが、ドレッシングの効果が低くて
目詰まりが早いため、この超精密加工用砥石を用いた加
工のネックとなっている。
【0007】また、電解加工によって砥石をドレッシン
グする方法も開発されているが、電解に用いる電源装置
が高価であることに加えて、電解加工における最適条件
を見つけるのに時間がかかる等の改良点がある。
【0008】そこで、本発明の目的は、上述した従来技
術が有する問題点を解消し、超精密加工に使用される高
番手かつ高集中度の砥石をも効率よくドレッシングする
ことができる、新規な砥石のドレッシング方法を提供す
ることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明による砥石のドレッシング方法においては、
ツルーイング工具を用いて砥石をツルーイングする際
に、前記ツルーイング工具と前記砥石の表面との間に、
ドレッシング用砥粒を分散させた流体を供給する。そし
て、前記ドレッシング用砥粒の硬度を、前記ツルーイン
グされる砥石の結合剤よりは硬く、かつツルーイングさ
れる砥石の砥粒および前記ツルーイング工具よりは軟ら
かい範囲に設定する。また、前記ドレッシング用砥粒の
平均粒径をS、前記ツルーイングされる砥石側の平均砥
粒間隔および平均粒径をそれぞれL0,S0と表すと
き、(L0−S0)<S<(L02/3S0)なる関係
を満たすように、ドレッシング用砥粒の平均粒径を設定
する。さらに、ドレッシング砥粒を分散させる前記液体
を、砥石をツルーイングする際に砥石およびツルーイン
グ工具を冷却する冷却液とする。
【0010】すなわち、本発明の砥石のドレッシング方
法は、ツルーイング工具とツルーイングされる砥石の表
面との間にドレッシング用砥粒を介在させることによ
り、砥石をドレッシングするものであるから、ドレッシ
ング用砥石の製造限界に左右されることなく、超精密加
工に用いられる超微粒砥石のドレッシングをも容易に行
うことができる。また、ドレッシング砥粒の硬度範囲を
上述のように選択することにより、ツルーイングされる
砥石の結合剤のみを削り込んでドレッシングすることが
できる。また、ドレッシング砥粒の粒径を、上述した関
係式を満たすように選定するので、ツルーイングする砥
石の砥粒を脱落させることなく、かつ効率よくドレッシ
ングを行うことができる。また、ドレッシング砥粒を冷
却液に分散させるので、ドレッシング用の設備を別個に
設けることなく、かつ砥石のツルーイングとドレッシン
グとを同時に行うことができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明による砥石のドレッ
シング方法について、図2乃至図6を参照して詳細に説
明する。ここで、図1は本発明に係る砥石のドレッシン
グ方法を実施する装置を模式的に示した側面図、図2は
砥石がツルーイングされる部分を拡大して示した側面断
面図、図3はドレッシング用砥粒によって砥石がドレッ
シングされる状態を模式的に示した拡大断面図、図4は
ドレッシング用砥粒と砥石側砥粒との相対関係を模式的
に示した側面断面図、図5は図4に示したドレッシング
用砥粒と砥石側砥粒とを模式的に示した平面図、図6は
図5中に示したA矢視線に沿った断面図である。
【0012】まず、本発明による砥石のドレッシング方
法を実施するための装置について、図1を参照して説明
する。
【0013】図1に示したように、ツルーイングされる
砥石10は、鉛直方向に延びる回転軸Cの回りに回転駆
動されるとともに、その半径方向外側の外周面には矢印
方向に往復揺動するツルーイング工具11が押し当てら
れ、所定の形状にツルーイングされるようになってい
る。
【0014】図1に示した砥石10をツルーイングする
装置20は、砥石10およびツルーイング工具11の下
方に配置された液溜め21を備えている。前記液溜め2
1内には、砥石10をツルーイングする際に砥石10お
よびツルーイング工具11を冷却する冷却液Wが収容さ
れている。そして、前記冷却液W中には、砥石10をド
レッシングするドレッシング用砥粒12が分散されてい
る。すなわち、液溜め21内の冷却液Wは図示されない
攪拌手段によって連続的に攪拌され、ドレッシング用砥
粒12が液溜め21の底に沈殿することなく、冷却液W
によって砥石10およびツルーイング工具11に向かっ
て容易に搬送できる状態とされている。また、液溜め2
1の下部から延びる配管22の途中にはモータ駆動され
るポンプ23が設けられており、液溜め21内の冷却液
Wをポンプアップし、ツルーイング工具11の先端部分
に向かって噴射ノズル24から噴射するようにされてい
る。
【0015】これにより、前記噴射ノズル24から噴射
された冷却液Wは、砥石10およびツルーイング工具1
1を冷却するとともに、図2に示したように砥石10の
表面13とツルーイング工具11の間の隙間に前記ドレ
ッシング用砥粒12を供給する。そして、砥石10およ
びツルーイング工具11から落下する冷却液Wは、液溜
め21内に回収された後、砥石の欠けなどにより発生す
る比較的大きな結合剤15の粒子が図示されないフィル
タによって取り除かれ、再循環して噴射ノズル24から
再び噴射される。
【0016】次に、本発明による砥石のドレッシング方
法について説明する。
【0017】冷却液W中に分散されているドレッシング
用砥粒12は、砥石10に含まれる砥石側砥粒14およ
びツルーイング工具11の硬度よりは軟らかいが、砥石
10の結合剤15の硬度よりは硬くなるようにその硬度
範囲が選定されている。これにより、砥石10の表面1
3とツルーイング工具11との間の隙間に供給されたド
レッシング用砥粒12は、ツルーイング工具11によっ
て砥石表面13に押しつけられてすべったり転がったり
し、砥石10の結合剤15のみを削り込むので、砥石1
0をドレッシング用砥粒12によってドレッシングする
ことができる。なお、ドレッシング用砥粒12の材質
は、WA系砥粒としてはAl23等、GC系砥粒として
はSiC等を選定することができる。
【0018】次に、前記ドレッシング用砥粒12の粒径
の範囲をどのように選定するべきか、図3乃至図6を参
照して説明する。
【0019】まず、砥石10をドレッシングするドレッ
シング用砥粒12は、図3に示したようにドレッシング
される砥石10の表面13から砥石側砥粒14の間に入
り込み、結合剤15を効率良く削り込むことができなけ
ればならない。そこで、ドレッシング用砥粒12によっ
て砥石10をドレッシングする際には、ドレッシング用
砥粒12は3個の砥石側砥粒14によって支持されると
仮定する。そして、砥石10の表面13から砥石側砥粒
14の平均粒径S0に等しい深さまで入り込める大きさ
のドレッシング用砥粒12の粒径を、砥石10を効率よ
くドレッシングできるドレッシング用砥粒12の粒径の
上限値とみなす。このような前提を念頭におきつつ、ド
レッシング用砥粒12および砥石側砥粒14をそれぞれ
球体としたモデルを図4乃至図6に示す。
【0020】図4に示したように、ドレッシング用砥粒
12および砥石側砥粒14をそれぞれ粒径Sおよび粒径
S0の球体とみなすともに、砥石側砥粒14の平均砥粒
間隔をL0とする。これにより、ドレッシング用砥粒1
2の半径R2および砥石側砥粒の半径R1は、それぞれ
【数1】 と表すことができる。
【0021】また、図4および図5に示したように、中
心がC4で表されるドレッシング用砥粒12は、辺の長
さが前記平均砥粒間隔L0とされる正三角形の各頂点上
に位置して中心がそれぞれC1,C2,C3で表される
3個の砥石側砥粒14上に乗っているとみなす。そし
て、図5中のA−A矢視線に沿った断面を示した図6に
描かれている三角形C1〜B〜C4に注目すると、辺C
1〜C4の長さを(R1+R2)、辺C4〜Bの長さは
(R2−R1)と表すことができるから、辺C1〜Bの
長さをL1とおくと、
【数2】 なる関係を得ることができる。
【0022】一方、図5中に描かれている三角形C1〜
D〜Bに注目すると、辺C1〜Bの長さL1はL0を用
いて、
【数3】 と表すことができる。
【0023】これにより、前述した式(1)、(2)、
(3)から、
【数4】 なる関係を得ることができる。
【0024】したがって、本実施形態の砥石のドレッシ
ング方法において、冷却液Wに分散させるドレッシング
用砥粒12の粒径の上限は、上述した式(4)から、 S<L02/3S0 (5) となるように定められることができる。
【0025】一方、ドレッシング用砥粒12の粒径が小
さすぎると、ドレッシング用砥粒12が砥石側砥粒14
の間に深く入り込み、砥石10側の結合剤15を深く削
り込んで砥石側砥粒14を脱落させるおそれがある。そ
こで、ドレッシング用砥粒12の粒径を、砥石側砥粒1
4同士の間の隙間より大きく設定する。すなわち、ドレ
ッシング用砥粒12の粒径Sの下限値を、図3に示した
砥石側砥粒14の平均砥粒間隔L0および砥石側砥粒1
4の平均粒径S0を用いて、 (L0−S0)<S (6) と設定する。
【0026】すなわち、本実施形態の砥石のドレッシン
グ方法においては、砥石10のドレッシングに用いるド
レッシング用砥粒の粒径Sを、式(5)および式(6)
から、 (L0−S0)<S<(L02/3S0) (7) と定める。これにより、ドレッシング用砥粒12は砥石
側砥粒14の間に完全に入り込むことができないから、
砥石側砥粒14を脱落させることなく砥石10をドレッ
シングすることができる。また、ドレッシング用砥粒1
2は、ドレッシングする砥石10の表面13から少なく
とも砥石側砥粒14の平均粒径S0より深い位置までは
入り込むことができるから、砥石10を効率よくドレッ
シングすることができる。
【0027】また、本実施形態における砥石のドレッシ
ング方法は、ツルーイング工具11を用いて砥石10を
ツルーイングする際に、ドレッシング用砥粒12を分散
させた冷却液Wを供給し、ツルーイング工具11と砥石
表面13との間にドレッシング用砥粒12を介在させて
砥石10をドレッシングするものである。したがって、
ドレッシング用砥石を用いて砥石をドレッシングする方
法とは異なり、ドレッシング用砥石の製造限界に左右さ
れることなく、超精密加工に用いられる超微粒砥石のド
レッシングをも容易に行うことができる。
【0028】以上、本発明に係る砥石のドレッシング方
法の一実施形態について詳しく説明したが、本発明は上
述した実施形態によって限定されるものではなく、種々
の変更が可能であることは言うまでもない。例えば、上
述した実施形態においては、ドレッシング用砥粒12を
分散させた冷却液Wを供給することにより、ツルーイン
グ工具11と砥石表面13との間にドレッシング用砥粒
12を介在させる構成とされているが、冷却液Wとは別
個の液体若しくは気体によってドレッシング用砥粒12
を供給することもできる。この場合、例えばホッパ内に
蓄えたドレッシング用砥粒12を、高圧空気の流れに乗
せて搬送し、ツルーイング工具11と砥石表面13との
間に導くこととすれば、ドレッシング用砥粒12の供給
と冷却液Wの供給とを分離することができ、それぞれ最
適な供給条件の下での供給を可能とすることができる。
【0029】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の砥石のドレッシング方法は、ツルーイング工具とツル
ーイングされる砥石の表面との間に、ドレッシング用砥
粒を介在させることにより砥石をドレッシングするもの
であるから、ドレッシング用砥石の製造限界に左右され
ることなく、超精密加工に用いられる超微粒砥石のドレ
ッシングをも容易に行うことができる。また、砥石のツ
ルーイングとドレッシングとを同時に行うことができる
ので、ツルーイング作業とドレッシング作業の作業効率
を向上させることもできる。さらに、ドレッシング用砥
粒の粒径を上述した関係式を満たすように選定するの
で、ツルーイングする砥石の砥粒を脱落させることな
く、かつツルーイングする砥石を効率よくドレッシング
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る砥石のドレッシング方法を実施す
る装置を模式的に示した側面図。
【図2】砥石がツルーイングされる部分を拡大して示し
た側面断面図。
【図3】ドレッシング用砥粒によって砥石がドレッシン
グされる状態を模式的に示した拡大断面図。
【図4】ドレッシング用砥粒と砥石側砥粒との相対関係
を模式的に示した側面断面図。
【図5】図4に示したドレッシング用砥粒と砥石側砥粒
とを模式的に示した平面図。
【図6】図5中に示したA矢視線に沿った断面図。
【図7】ツルーイング後の砥石の表面部分を拡大して示
した断面図。
【図8】ドレッシング後の砥石の表面部分を拡大して示
した断面図。
【符号の説明】
C 回転軸 L0 ドレッシングされる砥石側の砥粒の平均砥粒間隔 S ドレッシング用砥粒の粒径 S0 ドレッシングされる砥石側の砥粒の平均粒径 W 冷却液 1 砥石 2 砥石の表面 3 砥粒 4 結合剤 10 砥石 11 ツルーイング工具 12 ドレッシング用砥粒 13 砥石の表面 14 砥石側砥粒 20 ドレッシング装置 21 液溜め 22 配管 23 ポンプ 24 噴射ノズル

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ツルーイング工具を用いて砥石をツルーイ
    ングする際に、前記ツルーイング工具とツルーイングさ
    れる前記砥石の表面との間に、ドレッシング用砥粒を分
    散させた流体を供給することを特徴とする砥石のドレッ
    シング方法。
  2. 【請求項2】前記流体に分散させるドレッシング用砥粒
    の硬度を、前記砥石の結合剤よりは硬く、かつ前記ツル
    ーイングされる砥石の砥粒および前記ツルーイング工具
    よりは軟らかい範囲に設定することを特徴とする請求項
    1に記載の砥石のドレッシング方法。
  3. 【請求項3】前記ドレッシング用砥粒の平均粒径をS、
    前記ツルーイングされる砥石の平均砥粒間隔および平均
    粒径をそれぞれL0,S0と表すとき、(L0−S0)
    <S<(L02/3S0)なる関係を満たすようにドレ
    ッシング用砥粒の平均粒径Sを選択することを特徴とす
    る請求項1または2に記載の砥石のドレッシング方法。
  4. 【請求項4】前記流体を、砥石をツルーイングする際に
    砥石およびツルーイング工具の冷却に用いる冷却液とす
    ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の
    砥石のドレッシング方法。
JP8342090A 1996-12-20 1996-12-20 砥石のドレッシング方法 Pending JPH10180630A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009050922A (ja) * 2007-08-23 2009-03-12 Toyota Motor Corp ホーニング砥石の成形方法及び成形装置
JP2019130612A (ja) * 2018-01-31 2019-08-08 光洋機械工業株式会社 ワークの平面研削方法及び両頭平面研削盤

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7044840B2 (en) * 2002-08-07 2006-05-16 Toyoda Koki Kabushiki Kaisha Grinding method and grinding machine
US7415978B2 (en) * 2004-10-08 2008-08-26 William Mach Assembly and a method for cutting or forming an object
TWI654048B (zh) * 2015-08-10 2019-03-21 日商坂東機工股份有限公司 修整方法及修整裝置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2635399A (en) * 1951-04-19 1953-04-21 Thompson Prod Inc Method for grinding carbide tools
US3314410A (en) * 1964-07-06 1967-04-18 Frank Baucroft Company Inc Wheel dressing machine
GB1462343A (en) * 1974-03-18 1977-01-26 Kish I T Process for truing a diamond grinding wheel utilizing a molybdenum tool
US4027648A (en) * 1974-12-20 1977-06-07 General Electric Company Grinding wheel dressing method
US4103668A (en) * 1976-07-30 1978-08-01 Toyoda-Koki Kabushiki-Kaisha Dressing apparatus for grinding wheel
US4083350A (en) * 1976-11-29 1978-04-11 Zogas George V Diamond grinding wheel precision convex radii dressing apparatus
US5664990A (en) * 1996-07-29 1997-09-09 Integrated Process Equipment Corp. Slurry recycling in CMP apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009050922A (ja) * 2007-08-23 2009-03-12 Toyota Motor Corp ホーニング砥石の成形方法及び成形装置
JP2019130612A (ja) * 2018-01-31 2019-08-08 光洋機械工業株式会社 ワークの平面研削方法及び両頭平面研削盤

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Publication number Publication date
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