JPH10173392A

JPH10173392A - 電磁波遮蔽用シート

Info

Publication number: JPH10173392A
Application number: JP32868296A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Saito; 章彦齋藤; Michiharu Ota; 道治太田
Original assignee: Daido Steel Co Ltd
Current assignee: Daido Steel Co Ltd
Priority date: 1996-12-09
Filing date: 1996-12-09
Publication date: 1998-06-26

Abstract

(57)【要約】【課題】電波や磁気を遮蔽するシートに関し、優
れた遮蔽特性と遮蔽に伴う内部の金属粉の発熱等を容易
に放熱する電磁波遮蔽用シートを提供する。【解決手段】合成ゴム等の絶縁材からなり柔軟性を有
するシート本体２と、この本体２の両側の表面に沿って
略面方向にその長径が埋設される扁平形状を有する軟磁
性の金属粉６からなる層４，４と、これらの層４に隣接
して球状及び／又は粒状の金属粉９を本体２内に略均一
に分散して埋設した層８を有する電磁波遮蔽用シート
１。係る構造により、優れた遮蔽特性と高い放熱特性を
比較的少ない金属粉６，９の埋設量で得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電波や磁気を遮蔽
するために用いられる電磁波遮蔽用シートに関し、特に
遮蔽特性と放熱特性の双方とも優れたものに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報化の進展に伴い情報ネットワ
ークを形成するデジタル回線が急速に普及している。ま
た、製造業ではコンピュータ制御化により、各種の制御
機器、測定装置、センサ等がシステム化されて数多く用
いられている。ところが、導電ケーブルやモータ等から
コンピュータ等の周囲に漏洩したり、或いは違法無線等
による各種波長の電波は、ノイズとなってコンピュータ
等の誤動作、通信の障害を招くと共に、人体への影響も
問題視されている。一方、電源用ケーブルやモータ等か
ら磁気が周囲に漏洩し、コンピュータ等の誤動作や機器
の停止等を招くことも問題視されている。これらの電波
や磁気(以下、電磁波と称する)の漏洩を防ぐため、或い
はその影響を阻止するために、ケーブル等に巻き付ける
ようにした種々の遮蔽用シートが提案されている。

【０００３】例えば、図６(Ａ)に部分断面を示す遮蔽用
シート７０は、柔軟な合成ゴム等からなるシート本体７
２内に、球状や粒状の軟磁性体からなる金属粉７４を略
均一に分散して埋設したものである。また、図６(Ｂ)に
示す遮蔽用シート８０は、柔軟な合成ゴム等からなるシ
ート本体８２内に、扁平形状を有し軟磁性体からなる金
属粉８４をその長径をシート本体８２の面方向に略沿う
ように略均一に分散して埋設したものである。この遮蔽
用シート８０は、上記遮蔽用シート７０に比べて、扁平
な金属粉８４により、反磁界の影響を低減できるため、
優れた遮蔽効果を得ることができる。更に、図６(Ｃ)に
示す遮蔽用シート９０は、柔軟な合成ゴム等からなるシ
ート本体９２内の両側の表面に沿って、扁平形状を有し
軟磁性体からなる金属粉９４をその長径をシート本体９
２の面方向に略沿うように埋設したものである。この遮
蔽用シート９０は、上記遮蔽用シート８０に比べ、遮蔽
効果はやや劣るが、金属粉９４の使用量を低減し、且つ
シート９０全体の軽量化も図ったものである。

【０００４】ところで、これらの遮蔽用シート７０〜９
０の使用対象となるケーブル、配線、基板、部品、又は
機器等の被遮蔽物には多量の発熱を伴うものも多い。係
る被遮蔽物を遮蔽用シート７０等で覆うことによりその
放熱が妨げられ、被遮蔽物の定格を下げて使用せざるを
得ないという問題点がある。また、前記遮蔽用シート７
０〜９０の金属粉７４，８４，９４もこれらを通る磁界
により渦電流が発生するため発熱する。これらの発熱
は、各金属粉７４,８４,９４同士間を伝達して、外部に
放熱される。係る放熱特性については、前記粒状の金属
粉７４を略均一に分散して埋設した遮蔽用シート７０が
最も優れており、逆にシート本体９２の中間位置に金属
粉９４が埋設されていない遮蔽用シート９０が最も低く
なる。係る発熱は、更にシート本体７２,８２,９２を劣
化させると共に、ケーブル等への巻き付けやシールドル
ーム内への貼り付け状態もヒビ割れや剥離によって、弱
体化するという問題点も有している。

【０００５】

【発明が解決すべき課題】本発明は、以上に説明した従
来の技術が抱える問題点を解決し、優れた遮蔽特性と放
熱特性とを併有する電磁波遮蔽用シートを提供すること
を目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するため、遮蔽特性に優れた扁平形状の金属粉の層
と、伝熱特性に優れた球・粒状の金属粉の層をシート本
体内において、各々の特性が得られるよう互いに隣接さ
せて設ける着想により成されたものである。即ち、本発
明の電磁波遮蔽用シートは、絶縁材からなり柔軟性を有
するシート本体と、このシート本体内の一部においてそ
の面方向に略沿ってその長径が埋設される扁平形状を有
し軟磁性の金属粉の層と、上記シート本体内において上
記扁平形状の金属粉の層に隣接して埋設される球状及び
／又は粒状の金属粉の層を有することを特徴とする。
尚、面方向とはシートの厚さ方向と直角の方向を指す。

【０００７】係る構成によれば、電磁波の遮蔽は主とし
て扁平形状の金属粉の層にて行われ、また、主にこれら
の扁平形状の金属粉で生じた発熱や被遮蔽対象物からの
発熱は、隣接する球状や粒状の金属粉の層を通って外部
に放熱される。尚、上記軟磁性の金属粉には、鉄、ニッ
ケル、又はコバルト、或いはこれらの何れかをベースと
する合金、例えば珪素鋼や、上記の組合せからなる合
金、例えばパーマロイ、センダスト、更にフェライト系
酸化物も含むものとする。また、球状及び／又は粒状の
金属粉は、熱伝導率の高い金属や合金であれば、特に限
定されないが、前記軟磁性の金属を用いることにより、
一層遮蔽特性を高めることができる。

【０００８】本発明は、前記扁平形状の金属粉の層が、
前記シート本体内の少なくとも一方の表面に沿って埋設
され、且つこの扁平形状の金属粉の層に隣接して球状及
び／又は粒状の金属粉の層をシート本体内に埋設した電
磁波遮蔽用シートも含む。更に、前記扁平形状の金属粉
の層が、前記シート本体内における厚さ方向の略中間位
置に埋設され、この扁平形状の金属粉の層に隣接し且つ
少なくとも一方のシート本体の表面との間に球状及び／
又は粒状の金属粉の層を埋設した電磁波遮蔽用シートも
含まれる。これらの構成によれば、扁平形状の金属粉の
層と球状及び／又は粒状の金属粉の層をシート本体の断
面全体、又は、放熱すべき表面に沿って埋設されるの
で、遮蔽と放熱の両特性を確実に得ることができる。

【０００９】また、前記電磁波遮蔽用シート内に埋設さ
れる扁平形状の金属粉の平均長径が１００μｍ以下、平
均短径が５０μｍ以下で、且つ平均厚さが１０μｍ以下
であるものも含まれる。これにより、反磁界の影響が少
なく優れた遮蔽特性を得ることができる。また、前記球
・粒状の金属粉もその平均粒径が１００μｍ以下のもの
を用いると遮蔽用シートの柔軟性を保ち、且つその製造
上からも望ましい。尚、扁平形状の金属粉は、シート全
体の容積率で少なくとも２０％以上、重量で４０％を層
状に埋設することで、遮蔽特性を得ることができる。

【００１０】更に、前記シート本体を構成する絶縁材
が、ゴム又は樹脂、或いはこれらに強化材料を混入した
複合材の何れかである電磁波遮蔽用シートも含まれる。
上記ゴムには、クロロロプレン等の合成ゴム又は天然ゴ
ムが、上記樹脂には熱伝導率の高い高密度ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリアミド、セルローズアセテー
ト、フェノールフラール、又はポリエチルベンテン(T.
P.X.)等が、上記強化材料には熱伝達性に優れたタル
ク、雲母、ガラス繊維、金属繊維、又はアスベストの何
れかが用いられる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施に好適な形態
を図面と共に説明する。図１(Ａ)は、本発明の電磁波遮
蔽用シート１の部分断面図を示す。この遮蔽用シート１
は、クロロプレンゴムからなり柔軟性を有するシート本
体２と、この本体２内の両側の各表面に沿って扁平形状
の軟磁性の金属粉６を、その長径が本体２の面方向に略
沿うように埋設した多数の金属粉６からなる層４，４
と、これらの層４の間において本体２の断面内に略均一
に分散して埋設された球状や粒状の金属粉９からなる層
８を有する。

【００１２】上記扁平形状の軟磁性の金属粉６は、互い
に本体２の面方向に略沿って埋設されて層４を形成し、
遮蔽特性を得るようにしている。この金属粉６は、例え
ばＰＣパーマロイ−１(80％Ni−Fe)合金を、アトマイズ
法により平均粒径１００μｍ以下の粉末とし、更に、こ
の粉末を所謂アトライタと称されるボールミル中に投入
して扁平に押し潰し、平均長径が１００μｍ以下、平均
短径が５０μｍ以下で、且つ平均厚さが１０μｍ以下、
例えば１μｍの扁平な略短冊状のものである。また、上
記球・粒状の金属粉９も同じ合金をアトマイズ法にて平
均粒径１００μｍ以下とした粉末を用いた。

【００１３】係る遮蔽用シート１は、本体２の両表面に
金属粉６の層４を有するため、何れの表面から電磁波が
侵入しようとしても、その表面側に位置する層４により
遮蔽される。また、この遮蔽時の渦電流による金属粉６
の発熱や被遮蔽対象物からの発熱は、同じ表面側か又は
内部の金属粉９の層８を介して反対側の層４にも熱伝達
され、その表面側からも放熱される。尚、金属粉９も僅
かに発熱するが、同様に熱伝達して何れかの表面側にて
放熱するので、シート本体２内には熱がこもることは少
ない。

【００１４】図１(Ｂ)は、異なる形態の電磁波遮蔽用シ
ート１０の部分断面図を示す。遮蔽用シート１０は、前
記と同様のシート本体１１内の一方の表面に沿って扁平
形状の軟磁性の金属粉１４を、その長径が本体１１の面
方向に略沿うように埋設した多数の金属粉１４からなる
層１２と、残りの本体１１の断面全体に略均一に分散し
て埋設された球状や粒状の金属粉１８からなる層１６を
有する。これらの金属粉１４，１８も前記と同じ合金で
あり、且つ同様の寸法を有する。上記金属粉１４からな
る層１２は、電磁波が外部から侵入するか、又は外部へ
の漏洩を遮蔽すべき表面側に設けられる。そして、層１
２の遮蔽によって金属粉１４等が発熱しても、その表面
側か、又は層１６内の金属粉１８を伝達して反対側の表
面から放熱されるので、シート本体１２内に熱がこもり
にくくなる。

【００１５】図１(Ｃ)は、更に異なる形態の電磁波遮蔽
用シート２０の部分断面図を示す。遮蔽用シート２０
は、前記と同様のシート本体２１内の一方の表面に沿っ
て扁平形状の軟磁性の金属粉２４を、その長径が本体２
１の面方向に略沿うように埋設した多数の金属粉２４か
らなる層２２と、この層２２に隣接しシート本体２１の
厚さ方向の中間位置まで略均一に分散して埋設された球
状や粒状の金属粉２８からなる層２６を有する。金属粉
２４，２８も前記と同じ合金であり、同様の寸法を有す
る。上記金属粉２４からなる層２２も、電磁波が外部か
ら侵入するか、又は外部への漏洩を遮蔽すべき表面側に
設けられる。そして、層２２の遮蔽によって金属粉２４
等が発熱すると、これらに間近な表面側に放熱する一
方、内部の層２６の各金属粉２８を経由し離隔した位置
から同じ表面側に放熱することが可能である。

【００１６】図２(Ａ)は、別の形態の電磁波遮蔽用シー
ト３０の部分断面図を示す。遮蔽用シート３０は、前記
と同様のシート本体３１内における厚さ方向の略中央の
位置に扁平形状の軟磁性の金属粉３４を、その長径が本
体３１の面方向に略沿うように埋設した多数の金属粉３
４からなる層３２と、この層３２と本体３１の一方の表
面との間に略均一に分散して埋設された球状や粒状の金
属粉３８からなる層３６を有する。このシート３０は、
層３２による遮蔽特性では両表面とも差は少ない。上記
の金属粉３４，３８も前記と同様の合金と寸法をであ
る。そして、上記層３２の遮蔽によって中央部の金属粉
３４等が発熱しても、これに隣接する層３６内の金属粉
３８を介して層３６の表面側から放熱されるので、シー
ト本体３２内に熱がこもりにくくなる。

【００１７】図２(Ｂ)は、更に別の形態の電磁波遮蔽用
シート４０の部分断面図を示す。遮蔽用シート４０は、
前記と同様のシート本体４１内における厚さ方向の略中
央の位置に扁平形状の軟磁性の金属粉４４を、その長径
が本体４１の面方向に略沿うように埋設した多数の金属
粉４４からなる層４２と、この層４２と本体４１の両方
の表面との間に略均一に分散して埋設された球状や粒状
の金属粉４８からなる層４６，４６を有する。このシー
ト４０は、厚さ方向に対称の断面構造を有し、層４２と
層４６による遮蔽特性も両表面とも差はない。上記の金
属粉４４，４８も前記と同様の合金と寸法である。そし
て、上記層４２の遮蔽により中央部の金属粉４４等が発
熱しても、この両側に隣接する各層４６内の金属粉４８
を介して両方の表面側からも放熱されるので、シート本
体４２内に熱がこもりにくい。尚、各形態における球状
や粒状の金属粉９,１８,２８,３８,４８も軟磁性のた
め、電磁波の遮蔽効果を有している。また、これらのシ
ート１０〜４０の厚さは少なくとも約０.２mm以上であ
る。

【００１８】次に、前記遮蔽用シート１の製造方法を図
３によって概括する。図３(Ａ)は、流動性を有するクロ
ロプレンゴム２ａに球状や粒状の金属粉９を混練して、
粉末混合絶縁体２ｂを得る工程を示す。この粉末混合絶
縁体２ｂは、図３(Ｂ)に示すように、互いに周面が近接
して対向する一対の平ロール５０間に、略垂直に挿入す
ると共に、その両側方から扁平形状の金属粉６を吹き付
け等にて粉末混合絶縁体２ｂの表面に添加する。上記ロ
ール５０間で押圧された粉末混合絶縁体２ｂは、図３
(Ｃ)のように、両側の表面に沿って金属粉６の層４を、
且つその間に金属粉９の層８を有する平坦な遮蔽用シー
ト１となる。

【００１９】前記遮蔽用シート１０を得るには、上記図
３(Ｂ)に示す工程において扁平形状の金属粉６を一方の
みから吹き付ければ良い。また、前記遮蔽用シート２０
を得るには、上記遮蔽用シート１０の層１６側の表面
に、更に前記クロロプレンゴム２ａを添接し、一対の平
ロール５０間を通して押圧することによって得られる。
更に、前記遮蔽用シート３０を得るには、上記遮蔽用シ
ート１０の層１２側の表面に更に前記クロロプレンゴム
２ａを添接し、一対の平ロール５０間を通すことによっ
て得ることができる。また、前記遮蔽用シート４０を得
るには、上記遮蔽用シート１０の層１２側の表面に更に
前記粉末混合絶縁体２ｂを添接し、一対の平ロール５０
間を通すことによって得ることができる。尚、各遮蔽用
シート１〜４０は、上記圧延方式による他、粉末混合絶
縁体２ｂ及び扁平形状の金属粉６、或いはクロロプレン
ゴム２ａを上述した順序に添接・積層して、プレス等に
より押圧することによっても製造することが可能であ
る。

【００２０】次に、上記遮蔽用シート１(発明例)と従来
の前記遮蔽用シート７０(比較例１)及び同シート９０
(比較例２)の遮蔽特性と放熱特性を比較する。遮蔽用シ
ート１は、ＰＣパーマロイ-１合金からなる前記形状の
金属粉６,９を埋設(容積率約６０％)し、遮蔽用シート
７０及び９０もＰＣパーマロイ−１合金からなり、上記
金属粉６,９と同形状の金属粉７４,９４を各々本体７
２，９２内に埋設(容積率でシート７０は約６０％、シ
ート９０は約２０％)した。そして、図４に示すよう
に、直径３mmの２本の銅線６０を互いに中心間の間隔を
１０mm置いて平行に配線し、これらの周囲に厚さ１mmの
遮蔽用シート１,７０,９０を直に一巻きした楕円筒体６
２にして覆い、この楕円筒体６２の外側にガウスメータ
を装着した。上記の銅線６０に０.１Ｖ,１００Ａ，及び
５０Hzの交流電流を流し、その周囲に１Ｇ(ガウス)の磁
界を印加して、各楕円筒体６２の外側における磁界の減
衰率を測定した。

【００２１】また、同時に各楕円筒体６２の内・外表面
に温度計を各々接触させ、上記交流電流を１００分間流
した後の内・外表面間における温度差を測定した。それ
らの結果を図５のグラフに示す。このグラフから球・粒
状の金属粉７４を断面全体に均一に埋設した比較例１
は、約４５％の低い減衰率と約３５℃の低い温度差を示
した。また、扁平形状の金属粉９４をシート本体９２の
表面側にのみ埋設した比較例２は、約５０％の高い減衰
率と約７０℃の高い温度差を示した。これらに対し、発
明例では、約６０％の高い減衰率と約４０℃の低い温度
差を示した。以上の結果から、発明例は、比較例１に比
べ約６０％と高い減衰率となり、且つ、比較例２に比べ
その内部に更に球・粒状の金属粉９を埋設することで温
度差を約４０℃と低くすることができたものである。

【００２２】これらから、金属粉の埋設量が増えると減
衰率が向上し且つ内外の温度差が低減し、逆に埋設量が
減ると減衰率が減少し且つ内外の温度差が高くなり、減
衰率と内外の温度差は略反比例の関係となるものと思わ
れる。このうちで発明例のものは、比較的少ない金属粉
の埋設量で比較例１より高い減衰率と少ない温度差を得
ることができた。これは、前記遮蔽用シート１の遮蔽特
性に優れた扁平形状の金属粉６の層４と、伝熱特性に優
れた球・粒状の金属粉９の層８を組み合わせた断面構造
に起因するものと思われる。このことは、他の形態の遮
蔽用シート１０〜４０についても同様に共通する。尚、
各シート１,７０,９０を前記円筒体６２とした場合の電
界の減衰率も同様になるものと推定される。

【００２３】本発明の電磁波遮蔽用シートは、以上の各
形態に限定されるものではない。シート本体を構成する
絶縁体には、ポリブタジエンゴム、ポリイソプレンゴ
ム、エチレンイソプレンゴム、ブタジエンアクリロニト
リゴム、イソブチレンイソプレンゴム、スチレンブタジ
エンゴム等の合成ゴムや、フェノール系、エポキシ系、
ポリエステル系、アクリル系、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、ポリアミド等の内で柔軟性を有する樹脂を用い
ることができる。また、樹脂の内では比較的高い熱伝導
性の高密度ポリエチレン、同ポリプロピレン、同ポリア
ミド等を用いることが望ましい。更に、上記ゴムや樹脂
中にガラス繊維や金属繊維、雲母、タルク、アスベスト
等を混入して強化した複合材を用いると放熱性も向上す
る。

【００２４】また、軟磁性の金属粉には、ＰＣパーマロ
イ合金(78％Ni−Fe)、ＰＢパーマロイ合金(45％Ni−F
e)、ＰＤパーマロイ合金(36％Ni−Fe)、12％Mn-9.6％Cu
-6％Fe−Ni等のパーマロイ合金系や、42％Ni−Feや52％
Ni−Fe等のNi−Fe系合金、コバール(29％Ni−17％Co−F
e)、10〜18％Cr−Feの所謂電磁ステンレス鋼、３〜10％
Cr-3〜10％Si−Fe、９〜22％Ni−16〜26％Cr−Fe、Fe−
Cr−Al系合金、Fe−Cr−Al−Si系合金、パーメンジュー
ル合金(Fe−Co−X、但しXはV,Al,Si,Crの何れか)等、が
遮蔽すべき電磁波に応じて用いられる。これらの場合、
シート本体内の埋設する位置によって、金属粉の材質を
変えたり、或いは、同じ層中に複数の材質の金属粉を併
用することもできる。尚、主に熱伝導性を担う球・粒状
の金属粉には、軟磁性体以外の高い熱伝導率を有する銅
やアルミニウム、或いはこれらをベースとする種々の合
金を用いることもできる。

【００２５】更に、遮蔽用シートの用途も各種のケーブ
ルの周囲に巻き付ける他、高電圧の機器やトランス等を
内蔵する機器の周囲又は内部に貼り付けたり、各種情報
媒体の収納部の周りを覆って、外部から侵入する電磁波
から防護することもできる。また、ＩＣ用の配線基板同
士の間に介在させて基板間のクロストークを防ぐことに
も使用できる。或いは、精密な加工や測定を行う装置や
コンピュータ等を収容した室内の床面上に敷設し、且つ
壁面や天井面に貼り付けることで、シールドルームを容
易に形成することができる。

【００２６】上記において、遮蔽用シートを貼り付ける
場合、シート本体の一方の表面の一部又は全部に接着剤
を塗布するか、予め所謂両面テープをセットしておくこ
とが望ましい。尚、接着剤の塗布を容易にするため、予
めシート本体の一方の表面に紙を接着しておくと良い。
また、室内の床面上に敷設する場合には、予め上面とな
るシート本体の表面側に多数の凹凸条又は、突起群を形
成しておくと、ノンスリップ機能も付与することができ
る。更に、遮蔽用シートを薄くして折り曲げと接着によ
り、袋形状や扁平な箱形体に成形し、ＦＤ等の記録媒体
の輸送用や保管用手段として用いることもできる。

【００２７】

【発明の効果】以上において説明した本発明の電磁波遮
蔽用シートは、比較的少ない金属粉を用い、且つ形状の
異なる金属粉からなる複数の層をシート本体内に埋設し
たので、優れた遮蔽特性と高い放熱特性を併有すること
ができる。また、遮蔽用シート自体の柔軟性も損なわ
ず、軽量化を図ることもできる。更に、電磁波遮蔽用シ
ートを長期に渉って使用してもヒビ割れ等の劣化やこれ
に伴う剥離が生じにくく、優れた耐久性をも有するもの
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】(Ａ)乃至(Ｃ)は共に本発明の遮蔽用シートの各
形態を示す部分断面図である。

【図２】(Ａ)、(Ｂ)共に本発明の遮蔽用シートの別の各
形態を示す部分断面図である。

【図３】(Ａ)、(Ｂ)共に本発明の遮蔽用シートの製造工
程を示す概略図、(Ｃ)は(Ｂ)中の一点鎖線で囲った部分
Ｃの拡大断面図である。

【図４】銅線の周囲に本発明の遮蔽用シートを楕円筒形
状にして覆った状態を示す断面図である。

【図５】本発明と従来の遮蔽用シートの磁界の減衰率と
シート内外間の温度差を示すグラフである。

【図６】(Ａ)乃至(Ｃ)は共に従来の遮蔽用シートの各形
態を示す部分断面図である。

【符号の説明】

１,１０,２０,３０,４０………遮蔽用シート２,１１,２１,３１,４１………シート本体４,１２,２２,３２,４２………扁平形状の金属粉の層６,１４,２４,３４,４４………扁平形状の金属粉８,１６,２６,３６,４６………球・粒状の金属粉の層９,１８,２８,３８,４８………球・粒状の金属粉

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】絶縁材からなり柔軟性を有するシート本体
と、このシート本体内の一部においてその面方向に略沿
ってその長径が埋設される扁平形状を有し軟磁性の金属
粉の層と、上記シート本体内において上記扁平形状の金
属粉の層に隣接して埋設される球状及び／又は粒状の金
属粉の層を有することを特徴とする電磁波遮蔽用シー
ト。
【請求項２】前記扁平形状の金属粉の層が、前記シート
本体内の少なくとも一方の表面に沿って埋設され、且つ
この扁平形状の金属粉の層に隣接して球状及び／又は粒
状の金属粉の層をシート本体内に埋設したことを特徴と
する請求項１に記載の電磁波遮蔽用シート。
【請求項３】前記扁平形状の金属粉の層が、前記シート
本体内における厚さ方向の略中間位置に埋設され、この
扁平形状の金属粉の層に隣接し且つ少なくとも一方のシ
ート本体の表面との間に球状及び／又は粒状の金属粉の
層を埋設したことを特徴とする請求項１に記載の電磁波
遮蔽用シート。
【請求項４】前記扁平形状の金属粉の平均長径が１００
μｍ以下、平均短径が５０μｍ以下で、且つ平均厚さが
１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至３の
何れかに記載の電磁波遮蔽用シート。
【請求項５】前記シート本体を構成する絶縁材が、ゴム
又は樹脂、或いはこれらに強化材料を混入した複合材の
何れかであることを特徴とする請求項１乃至４の何れか
に記載の電磁波遮蔽用シート。
【請求項６】前記ゴムが合成ゴム又は天然ゴムであり、
前記樹脂が高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ
アミド、セルローズアセテート、フェノールフラール、
又はポリメチルベンテンの何れかであり、前記強化材料
がタルク、雲母、ガラス繊維、金属繊維、又はアスベス
トの少なくとも何れかであることを特徴とする請求項５
に記載の電磁波遮蔽用シート。