JPH10167821A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JPH10167821A JPH10167821A JP8335340A JP33534096A JPH10167821A JP H10167821 A JPH10167821 A JP H10167821A JP 8335340 A JP8335340 A JP 8335340A JP 33534096 A JP33534096 A JP 33534096A JP H10167821 A JPH10167821 A JP H10167821A
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 結晶粒径が小さく、緻密、低誘電率、かつ比
較的大きな圧電性を有する高周波領域の発振子や表面波
素子用の圧電材料として有用である圧電磁器組成物を提
供することを目的とする。 【解決手段】 Ｐｂ（Ｍｅ1/2Ｗ1/2）A（Ｓｎ1/3Ｓｂ
2/3）BＴｉCＺｒDＯ3（但しＭｅはＣｏ、Ｎｉ、Ｍｇの
いずれか一種であり、Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＝１、０．０１≦
Ａ≦０．５０、０．０１≦Ｂ≦０．２５、０．２０≦Ｃ
≦０．７５、０．５６≦Ｄ≦０．８０）で示される基本
組成物に、副成分としてＭｇＯを０．０２〜２．０重量
％添加含有したものである。
較的大きな圧電性を有する高周波領域の発振子や表面波
素子用の圧電材料として有用である圧電磁器組成物を提
供することを目的とする。 【解決手段】 Ｐｂ（Ｍｅ1/2Ｗ1/2）A（Ｓｎ1/3Ｓｂ
2/3）BＴｉCＺｒDＯ3（但しＭｅはＣｏ、Ｎｉ、Ｍｇの
いずれか一種であり、Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＝１、０．０１≦
Ａ≦０．５０、０．０１≦Ｂ≦０．２５、０．２０≦Ｃ
≦０．７５、０．５６≦Ｄ≦０．８０）で示される基本
組成物に、副成分としてＭｇＯを０．０２〜２．０重量
％添加含有したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電磁器組成物に関
するものであり、特に高周波領域の発振子や表面波素子
に適した圧電磁器組成物に関するものである。
するものであり、特に高周波領域の発振子や表面波素子
に適した圧電磁器組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より圧電材料としてはチタン酸バリ
ウムあるいはジルコン酸チタン酸鉛磁器などがあり、使
用目的に応じて種々の改良がなされてきた。例えばＰｂ
（Ｓｎ 1/3Ｓｂ2/3）XＴｉYＺｒZＯ3系組成物（特公昭５
４−３２５１６号公報、特公昭５４−３６７５７号公
報）は優れた圧電性を有するとともに結晶粒径が小さ
く、機械的強度が大きいといった特徴を有する高周波領
域での使用に適した圧電材料である。
ウムあるいはジルコン酸チタン酸鉛磁器などがあり、使
用目的に応じて種々の改良がなされてきた。例えばＰｂ
（Ｓｎ 1/3Ｓｂ2/3）XＴｉYＺｒZＯ3系組成物（特公昭５
４−３２５１６号公報、特公昭５４−３６７５７号公
報）は優れた圧電性を有するとともに結晶粒径が小さ
く、機械的強度が大きいといった特徴を有する高周波領
域での使用に適した圧電材料である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の圧電材料は焼成温度が１２００〜１３００℃と高く、
微粒子原料を使用したとしても、焼成温度は１１００℃
を下ることはなかった。それゆえ、焼成時の酸化鉛の蒸
発が著しく緻密化が阻害されたり、また仮に十分な焼結
がなされたとしても組成ばらつきを生じやすく、結果的
に磁器の圧電特性がばらついたり、さらに酸化鉛蒸気が
大気中に多量に放出されることにより環境問題を生じた
りしていた。
の圧電材料は焼成温度が１２００〜１３００℃と高く、
微粒子原料を使用したとしても、焼成温度は１１００℃
を下ることはなかった。それゆえ、焼成時の酸化鉛の蒸
発が著しく緻密化が阻害されたり、また仮に十分な焼結
がなされたとしても組成ばらつきを生じやすく、結果的
に磁器の圧電特性がばらついたり、さらに酸化鉛蒸気が
大気中に多量に放出されることにより環境問題を生じた
りしていた。
【０００４】本発明はこの課題を解決するもので、１２
００℃以下の比較的低温で焼成でき、結晶粒径が小さ
く、緻密であり、かつ誘電率が小さく、比較的大きな圧
電性（ＫtおよびＱmが大きい）を有する高周波領域の発
振子や表面波素子用として有効な圧電磁器組成物を提供
することを目的とするものである。
００℃以下の比較的低温で焼成でき、結晶粒径が小さ
く、緻密であり、かつ誘電率が小さく、比較的大きな圧
電性（ＫtおよびＱmが大きい）を有する高周波領域の発
振子や表面波素子用として有効な圧電磁器組成物を提供
することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の圧電磁器組成物は、Ｐｂ（Ｍｅ1/2Ｗ1/2） A
（Ｓｎ1/3Ｓｂ2/3）BＴｉCＺｒDＯ3（但しＭｅはＣｏ、
Ｎｉ、Ｍｇのいずれか一種であり、０．０１≦Ａ≦０．
５０、０．０１≦Ｂ≦０．２５、０．２０≦Ｃ≦０．７
５、０．５６≦Ｄ≦０．８０、Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＝１）で
示される基本組成物に、副成分としてＭｇＯを０．０２
〜２．０重量％添加含有させ、かつＭｎＯ2、ＮｉＯお
よびＦｅ2Ｏ3の少なくとも一種を０．０５〜５．０重量
％添加含有させてなることを特徴とする。
に本発明の圧電磁器組成物は、Ｐｂ（Ｍｅ1/2Ｗ1/2） A
（Ｓｎ1/3Ｓｂ2/3）BＴｉCＺｒDＯ3（但しＭｅはＣｏ、
Ｎｉ、Ｍｇのいずれか一種であり、０．０１≦Ａ≦０．
５０、０．０１≦Ｂ≦０．２５、０．２０≦Ｃ≦０．７
５、０．５６≦Ｄ≦０．８０、Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＝１）で
示される基本組成物に、副成分としてＭｇＯを０．０２
〜２．０重量％添加含有させ、かつＭｎＯ2、ＮｉＯお
よびＦｅ2Ｏ3の少なくとも一種を０．０５〜５．０重量
％添加含有させてなることを特徴とする。
【０００６】上記構成とすることにより低温で焼成で
き、結晶粒径が小さく緻密で、誘電率が小さく大きな圧
電性の得られるものとなる。
き、結晶粒径が小さく緻密で、誘電率が小さく大きな圧
電性の得られるものとなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、Ｐｂ（Ｍｅ1/2Ｗ1/2）A（Ｓｎ1/3Ｓｂ2/3）BＴｉC
ＺｒDＯ3（但し、ＭｅはＣｏ、Ｎｉ、Ｍｇのいずれか一
種であり、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ０．０１≦Ａ≦
０．５０、０．０１≦Ｂ≦０．２５、０．２０≦Ｃ≦
０．７５、０．５６≦Ｄ≦０．８０、Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＝
１なる関係式を満たす）で示される基本組成物に副成分
としてＭｇＯを０．０２〜２．０重量％添加含有したも
のであり、１２００℃以下の比較的低温で焼成でき、結
晶粒径が小さく、緻密であり、かつ誘電率が小さく、比
較的大きな圧電性を有するものとなる。
は、Ｐｂ（Ｍｅ1/2Ｗ1/2）A（Ｓｎ1/3Ｓｂ2/3）BＴｉC
ＺｒDＯ3（但し、ＭｅはＣｏ、Ｎｉ、Ｍｇのいずれか一
種であり、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ０．０１≦Ａ≦
０．５０、０．０１≦Ｂ≦０．２５、０．２０≦Ｃ≦
０．７５、０．５６≦Ｄ≦０．８０、Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＝
１なる関係式を満たす）で示される基本組成物に副成分
としてＭｇＯを０．０２〜２．０重量％添加含有したも
のであり、１２００℃以下の比較的低温で焼成でき、結
晶粒径が小さく、緻密であり、かつ誘電率が小さく、比
較的大きな圧電性を有するものとなる。
【０００８】請求項２に記載の発明は、第２の副成分と
してＭｎＯ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ 3の少なくとも一種
を０．０５〜５．０重量％添加含有したものであり、焼
結性、分極特性、温度特性および経時特性を改善するこ
とができる。
してＭｎＯ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ 3の少なくとも一種
を０．０５〜５．０重量％添加含有したものであり、焼
結性、分極特性、温度特性および経時特性を改善するこ
とができる。
【０００９】本発明の圧電磁器組成物の基本組成におい
て０．０１≦Ａ≦０．５０、０．０１≦Ｂ≦０．２５、
０．２０≦Ｃ≦０．７５、０．５６≦Ｄ≦０．８０と限
定した理由はこの範囲外では焼結が困難であったり、圧
電性が著しく低下したりするからである。鉛系複合ペロ
ブスカイト型Ｐｂ（Ｍｅ1/2Ｗ1/2）Ｏ3およびＰｂ（Ｓ
ｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3は共に鉱化剤的に作用し、磁器の焼
成温度を低下させて、均一な焼結体を得るという効果が
あるが、Ａ＜０．０１あるいはＢ＜０．０１の場合には
そのような効果は無視される程度のものとなる。またＡ
＞０．５０あるいはＢ＞０．２５の場合にはＫpおよび
Ｋtの低下が著しくなる。
て０．０１≦Ａ≦０．５０、０．０１≦Ｂ≦０．２５、
０．２０≦Ｃ≦０．７５、０．５６≦Ｄ≦０．８０と限
定した理由はこの範囲外では焼結が困難であったり、圧
電性が著しく低下したりするからである。鉛系複合ペロ
ブスカイト型Ｐｂ（Ｍｅ1/2Ｗ1/2）Ｏ3およびＰｂ（Ｓ
ｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3は共に鉱化剤的に作用し、磁器の焼
成温度を低下させて、均一な焼結体を得るという効果が
あるが、Ａ＜０．０１あるいはＢ＜０．０１の場合には
そのような効果は無視される程度のものとなる。またＡ
＞０．５０あるいはＢ＞０．２５の場合にはＫpおよび
Ｋtの低下が著しくなる。
【００１０】基本組成物に副成分としてＭｇＯを０．０
２〜２．０重量％添加することにより組成物の焼成温度
を低下させると同時に結晶粒成長を抑制することができ
る。また、ＭｎＯ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ3の少なくと
も一種を０．０５〜５．０重量％添加含有せしめること
によりさらに焼結性、分極特性、温度特性および経時特
性を改善することができる。
２〜２．０重量％添加することにより組成物の焼成温度
を低下させると同時に結晶粒成長を抑制することができ
る。また、ＭｎＯ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ3の少なくと
も一種を０．０５〜５．０重量％添加含有せしめること
によりさらに焼結性、分極特性、温度特性および経時特
性を改善することができる。
【００１１】以下、具体的な本発明の実施の形態につい
て説明する。原料としてＰｂＯ、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｓ
ｎＯ2、Ｓｂ2Ｏ3、ＣｏＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、ＷＯ3、Ｍ
ｎＯ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ3を（表１）、（表２）の
組成となるように正確に秤量し、ボールミルによりよく
混合した。ついで前記混合物を７００〜９００℃の温度
で仮焼し、さらにボールミルにより粉砕した。これを乾
燥した後結合剤としてのポリビニールアルコール水溶液
を加え、造粒した後１ton／cm2の圧力で加圧成形し、２
０φ−１ｔの円板状成形体を得た。ここで得られた成形
体を閉炉中で１０００〜１２５０℃の温度で１時間焼成
した。
て説明する。原料としてＰｂＯ、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｓ
ｎＯ2、Ｓｂ2Ｏ3、ＣｏＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、ＷＯ3、Ｍ
ｎＯ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ3を（表１）、（表２）の
組成となるように正確に秤量し、ボールミルによりよく
混合した。ついで前記混合物を７００〜９００℃の温度
で仮焼し、さらにボールミルにより粉砕した。これを乾
燥した後結合剤としてのポリビニールアルコール水溶液
を加え、造粒した後１ton／cm2の圧力で加圧成形し、２
０φ−１ｔの円板状成形体を得た。ここで得られた成形
体を閉炉中で１０００〜１２５０℃の温度で１時間焼成
した。
【００１２】磁器密度ρをアルキメデス法により測定し
た後径方向振動圧電特性を測定するためＥＭＡＳ−６０
０１に従い１６φ−１．０ｔの円板状試料を作成し、両
面に銀電極を焼付け、１００℃のシリコンオイル中で、
３kV／mmの直流電界を３０分間印加し分極した後誘電率
εT 33／ε0、広がり方向の電気機械結合係数Ｋpおよび
機械的品質係数Ｑmを測定した。測定結果は磁器焼成温
度（密度最大）、平均結晶の粒径Ｇsとともに（表
３）、（表４）にまとめた。これより第二副成分ＭｇＯ
の添加により焼成温度が２０〜６０℃低下すると同時に
結晶粒径が５０％以上小さくなっていることがわかる。
さらに厚み縦方向振動の圧電特性を測定するためＥＭＡ
Ｓ−６００３に従い１０φ−１．０ｔの円板状試料を作
成し、両面に銀電極を焼付け、３kV／mmの直流電界を１
００℃シリコンオイル中で３０分間印加することにより
分極した後厚み方向の電気機械結合係数Ｋtを測定し、
これも（表３）、（表４）に記載した。これら試料中の
試料４、試料５、試料６、試料１および試料３について
分極温度による厚み方向の電気機械結合係数Ｋtの値を
測定したところ図１に示す結果を得た。図１において曲
線ａは試料４の場合を、曲線ｂは試料５の場合を、曲線
ｃは試料６の場合を、曲線ｄは試料１の場合を、曲線ｅ
は試料３の場合を示す。本発明の実施の形態はＭｎ
Ｏ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ3を添加含有することにより
分極が容易になっていることが分かる。
た後径方向振動圧電特性を測定するためＥＭＡＳ−６０
０１に従い１６φ−１．０ｔの円板状試料を作成し、両
面に銀電極を焼付け、１００℃のシリコンオイル中で、
３kV／mmの直流電界を３０分間印加し分極した後誘電率
εT 33／ε0、広がり方向の電気機械結合係数Ｋpおよび
機械的品質係数Ｑmを測定した。測定結果は磁器焼成温
度（密度最大）、平均結晶の粒径Ｇsとともに（表
３）、（表４）にまとめた。これより第二副成分ＭｇＯ
の添加により焼成温度が２０〜６０℃低下すると同時に
結晶粒径が５０％以上小さくなっていることがわかる。
さらに厚み縦方向振動の圧電特性を測定するためＥＭＡ
Ｓ−６００３に従い１０φ−１．０ｔの円板状試料を作
成し、両面に銀電極を焼付け、３kV／mmの直流電界を１
００℃シリコンオイル中で３０分間印加することにより
分極した後厚み方向の電気機械結合係数Ｋtを測定し、
これも（表３）、（表４）に記載した。これら試料中の
試料４、試料５、試料６、試料１および試料３について
分極温度による厚み方向の電気機械結合係数Ｋtの値を
測定したところ図１に示す結果を得た。図１において曲
線ａは試料４の場合を、曲線ｂは試料５の場合を、曲線
ｃは試料６の場合を、曲線ｄは試料１の場合を、曲線ｅ
は試料３の場合を示す。本発明の実施の形態はＭｎ
Ｏ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ3を添加含有することにより
分極が容易になっていることが分かる。
【００１３】さらにまた同じ試料の厚み縦方向振動の周
波数定数Ｎt（Ｈｚ・ｍ）を求めたところ図２に示す結
果を得た。図２において曲線ａは試料４の場合を、曲線
ｂは試料５の場合を、曲線ｃは試料６の場合を、曲線ｄ
は試料１の場合を、曲線ｅは試料３の場合を示す。Ｍｎ
Ｏ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ3を添加含有することにより
経時特性が良好となることが分かる。
波数定数Ｎt（Ｈｚ・ｍ）を求めたところ図２に示す結
果を得た。図２において曲線ａは試料４の場合を、曲線
ｂは試料５の場合を、曲線ｃは試料６の場合を、曲線ｄ
は試料１の場合を、曲線ｅは試料３の場合を示す。Ｍｎ
Ｏ2、ＮｉＯおよびＦｅ2Ｏ3を添加含有することにより
経時特性が良好となることが分かる。
【００１４】さらに上記と同様のセラミック共振子につ
き共振周波数の温度特性と経時特性を測定したところ、
（表５）に示す結果を得た。ＭｎＯ2、ＮｉＯおよびＦ
ｅ2Ｏ 3を添加含有することにより温度特性および経時特
性が改善されることがわかる。
き共振周波数の温度特性と経時特性を測定したところ、
（表５）に示す結果を得た。ＭｎＯ2、ＮｉＯおよびＦ
ｅ2Ｏ 3を添加含有することにより温度特性および経時特
性が改善されることがわかる。
【００１５】加えて副成分の添加によりＱmが飛躍的に
向上していることがわかる。
向上していることがわかる。
【００１６】
【表１】
【００１７】
【表２】
【００１８】
【表３】
【００１９】
【表４】
【００２０】
【表５】
【００２１】
【発明の効果】上記の実施の形態から明らかなように本
発明の圧電磁器組成物は、焼成温度が低く、結晶粒径が
小さく、緻密であり、かつ誘電率が小さく、比較的大き
な圧電性（ＫtおよびＱmが大きい）を示し、高周波領域
の発振子や表面波素子用の圧電材料として有用である。
発明の圧電磁器組成物は、焼成温度が低く、結晶粒径が
小さく、緻密であり、かつ誘電率が小さく、比較的大き
な圧電性（ＫtおよびＱmが大きい）を示し、高周波領域
の発振子や表面波素子用の圧電材料として有用である。
【図１】分極温度と電気機械結合係数Ｋtの関係曲線図
【図２】時間と周波数定数Ｎt（Ｈｚ・ｍ）の関係曲線
図
図
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｐｂ（Ｍｅ1/2Ｗ1/2）A（Ｓｎ1/3Ｓｂ
2/3）BＴｉCＺｒDＯ3（但し、ＭｅはＣｏ、Ｎｉ、Ｍｇ
のいずれか一種であり、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ０．
０１≦Ａ≦０．５０、０．０１≦Ｂ≦０．２５、０．２
０≦Ｃ≦０．７５、０．５６≦Ｄ≦０．８０、Ａ＋Ｂ＋
Ｃ＋Ｄ＝１なる関係式を満たす）で示される基本組成物
に副成分としてＭｇＯを０．０２〜２．０重量％添加含
有してなる圧電磁器組成物。 - 【請求項２】 第２の副成分としてＭｎＯ2、ＮｉＯお
よびＦｅ2Ｏ3の少なくとも一種を０．０５〜５．０重量
％添加含有した請求項１に記載の圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8335340A JPH10167821A (ja) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8335340A JPH10167821A (ja) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | 圧電磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10167821A true JPH10167821A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18287429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8335340A Pending JPH10167821A (ja) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10167821A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100462872B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-12-17 | 주식회사 에스세라 | 누설전류가 감소된 압전체 조성물 및 이로 제조된 압전기기 |
| KR100462871B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-12-17 | 주식회사 에스세라 | 내열성 및 주파수 안정성이 우수한 압전 세라믹 조성물 및 이를 이용한 압전기기 |
| JP2016108194A (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-20 | Fdk株式会社 | 圧電磁器組成物および圧電磁器組成物の製造方法 |
-
1996
- 1996-12-16 JP JP8335340A patent/JPH10167821A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100462872B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-12-17 | 주식회사 에스세라 | 누설전류가 감소된 압전체 조성물 및 이로 제조된 압전기기 |
| KR100462871B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-12-17 | 주식회사 에스세라 | 내열성 및 주파수 안정성이 우수한 압전 세라믹 조성물 및 이를 이용한 압전기기 |
| JP2016108194A (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-20 | Fdk株式会社 | 圧電磁器組成物および圧電磁器組成物の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040323 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040713 |