JPH10157848A - 基板の回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤボンディングやダイボンディングが行
われた基板をマガジンに回収する際に、基板がマガジン
の入口に衝突してマガジンへの回収が不能となるトラブ
ルに対応できる基板の回収装置を提供することを目的と
する。 【解決手段】 搬送爪２６で基板１をベルトコンベヤ３
１上へ送り、ベルトコンベヤ３１によりマガジン１２内
へ送り込む。その間、基板検出手段３４でベルトコンベ
ヤ３１上の基板１を検出する。基板１の先端がマガジン
１２内に無事進入したならば、押送爪３６で基板１をマ
ガジン１２内へ完全に送り込む。基板１がマガジン１２
の入口に衝突してベルトコンベヤ３１上で所定時間停止
したことを基板検出手段３４検出すると、報知手段を駆
動してその旨オペレータに報知する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤボンディン
グやダイボンディングなどの作業が終了した基板をマガ
ジンの内部に回収する基板の回収装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】基板とチップをワイヤで接続するワイヤ
ボンディング装置は、基板をピッチ送り手段でピッチ送
りしながらワイヤボンディングを行い、ワイヤボンディ
ング作業が終了したならば、基板をマガジンの内部に回
収するようになっている。またリードフレームなどの基
板にチップを搭載するダイボンディング装置も、同様に
基板をピッチ送り手段でピッチ送りしながら、ダイボン
ディングを行い、ダイボンディング作業が終了したなら
ば、基板をマガジンの内部に回収するようになってい
る。

【０００３】図６は、従来のワイヤボンディング装置に
おける基板の回収部の側面図であって、基板１はヒート
ブロック２上を搬送爪３で右方向へピッチ送りされ、マ
ガジン４の内部に送り込んで回収する。矢印Ａは搬送爪
３の移動軌跡を示している。マガジン４は箱形であっ
て、その内面にラックが形成されており、リフター５で
マガジン４を昇降させながら、基板１はラック上に段積
してマガジン４の内部に回収するようになっている。７
は基板１に搭載されたチップである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の構
成では、ヒートブロック２上をピッチ送りされる基板１
の水平回転方向の傾き、マガジン４の傾き、各部材の組
み付け誤差などのために、基板１の先端がマガジン４の
入口（前面）に衝突して基板１をマガジン４内に回収で
きないというトラブルを発生しやすいものであった（鎖
線で示す基板１を参照）。そしてこの場合、搬送爪３は
矢印Ａ方向のボックス運動を繰り返すため、基板１は搬
送爪３で強制的にマガジン４の入口に強く衝突させられ
ることとなる。したがってその結果、例えば基板１がセ
ラミック基板などのぜい弱な素材のものの場合、基板１
は破損しやすいものであった。

【０００５】したがって本発明は、基板をマガジンの内
部に回収する際に発生する上記トラブルを解消できる基
板の回収装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、基板を搬送手
段で搬送して基板に対するワイヤボンディングやダイボ
ンディングなどの所定の作業を行い、作業が終了した基
板をマガジンに回収する基板の回収装置であって、前記
搬送手段による基板の搬送路と前記マガジンの間に設け
られて基板を前記マガジンの内部へ送り込む基板の空滑
りが可能なコンベヤと、基板の先端部が前記マガジンの
内部に進入したことを検出する基板検出手段と、この基
板検出手段から送られてくる信号により基板の先端部が
前記マガジンの内部に無事に進入したか否かを判定し、
無事に進入した場合には、送りこみ手段によってこの基
板を前記マガジン内に押し込んで回収し、無事に進入し
なかった場合には報知手段を駆動してオペレータにその
旨報知する制御部とを備えた。

【０００７】

【発明の実施の形態】上記構成の本発明によれば、基板
がマガジンの入口に衝突してマガジンの内部に進入する
のに失敗したときには、基板はコンベヤ上を空滑りする
だけであるから、衝突時の衝撃によって基板が破損する
ことはなく、また報知手段を駆動してオペレータに報知
することにより、直ちにトラブルを解消することができ
る。

【０００８】以下、本発明の一実施の形態を図面を参照
しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態のワ
イヤボンディング装置の斜視図、図２は同側面図、図３
は同制御系のブロック図、図４は同基板の回収部の側面
図、図５は同基板回収動作のフローチャートである。

【０００９】まず図１および図２を参照して、ワイヤボ
ンディング装置の全体構造を説明する。１は基板であ
り、その上面にはチップ７が搭載されている。１１は基
板１を供給するマガジン、１２は基板１を回収するマガ
ジンであり、その間における基板１の搬送路には、プリ
ヒートブロック１３、１４、メインヒートブロック１
５、アフターヒートブロック１６が横一列に並設されて
いる。

【００１０】マガジン１１、１２は箱形であって、その
内面にはラック１７、１８が上下方向に一定ピッチで形
成されており、基板１はラック１７、１８上に段積して
収納される。またマガジン１１、１２にはリフター１
９、２０が付設されており、リフター１９、２０が駆動
することによりマガジン１１、１２は昇降する。このよ
うにマガジン１１、１２を昇降させることにより、ラッ
ク１７、１８の高さを調整する。一方のマガジン１１の
背後にはプッシャー２１が設けられている。プッシャー
２１は、マガジン１１内の基板１をプリヒートブロック
１３上へ押し出す。

【００１１】２２は長尺の移動テーブルであって、ブロ
ック２３とシリンダ２４が２個一組として４箇所装着さ
れている。移動テーブル２２は、プリヒートブロック１
３，１４、メインヒートブロック１５、アフターヒート
ブロック１６に沿うように配設されている。ブロック２
３とシリンダ２４のロッド２５には棒状の搬送爪２６が
結合されている。搬送爪２６の先端部は、プリヒートブ
ロック１３、１４、メインヒートブロック１５、アフタ
ーヒートブロック１６の真上に位置している。移動テー
ブル２２が駆動すると、搬送爪２６は水平移動し、シリ
ンダ２４のロッド２５が突没すると、搬送爪２６はブロ
ック２３の支点を中心に上下方向へ揺動する。したがっ
て搬送爪２６は、図２において矢印Ａで示す運動軌跡で
ボックス運動し、これにより基板１をマガジン１２へ向
ってピッチ送りする。すなわち搬送爪２６は基板１の搬
送手段となっている。

【００１２】アフターヒートブロック１６とマガジン１
２の間には、基板１をマガジン１２の内部へ送り込むた
めの送り込み手段３０が設けられている。この送り込み
手段３０は、ベルトコンベヤ３１と、押送爪３６から成
っている。図４（ａ）において、ベルトコンベヤ３１は
プーリ３３に調帯されており、モータ３８（図１）に駆
動されて矢印方向へ回動する。またベルトコンベヤ３１
の中央には、光学的に基板１を検出する基板検出手段３
４が設けられている。押送爪３６は移動テーブル３５に
沿って水平方向へ往復動し、ベルトコンベヤ３１上の基
板１をマガジン１２内へ送り込む。３７は、ベルトコン
ベヤ３１を保持するフレームである。図１に示すように
フレーム３７は左右２個設けられており、基板１はその
両側端部をベルトコンベヤ３１に支持されて搬送され
る。

【００１３】図１において、４０はワイヤボンディング
ヘッドであり、前方へ延出するホーン４１を有してい
る。ホーン４１の先端部にはワイヤが挿通されるキャピ
ラリツール４２が保持されている。ワイヤボンディング
ヘッド４０は、メインヒートブロック１５上の基板１
と、この基板１に搭載されたチップ７をワイヤで接続す
る。

【００１４】次に、図３を参照して制御系を説明する。
５０は制御部であって、、基板検出手段３４、ベルトコ
ンベヤ３１のモータ３８、移動テーブル２２、３５、リ
フター１９、２０、ワイヤボンディングヘッド４０、ブ
ザーなどの報知手段５１、キーボードやタッチパネルな
どの操作部５２が接続されている。制御部５０は、各要
素の制御や、演算、判定などを行う。

【００１５】このワイヤボンディング装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を説明する。図１において、
マガジン１１からプッシャー２１でプリヒートブロック
１３上に押し出された基板１は、搬送爪２６でメインヒ
ートブロック１５上まで送られて停止する。そこでワイ
ヤボンディングヘッド４０が作動し、基板１とチップ７
をワイヤで接続する。ワイヤボンディング作業が終了し
た基板１は、搬送爪２６でアフターヒートブロック１６
を通ってベルトコンベヤ３１上へ送られる。

【００１６】次に、図４および図５を参照して、基板１
をマガジン１２の内部へ送り込む動作を説明する。図４
（ａ）は、搬送爪２６で基板１をベルトコンベヤ３１上
へ送る動作中を示しており、図５のステップ１で基板検
出手段３４が基板１を検出するか否かの判定を行う。

【００１７】さて、図４（ｂ）に示すように、基板１が
ベルトコンベヤ３１上へ送られてくると、ベルトコンベ
ヤ３１はプーリ３３に沿って回動し、基板１をマガジン
１２へ向って搬送し、基板検出手段３４は基板１の先端
部を検出する。そして基板１が基板検出手段３４上を通
過する所定時間を待ち（ステップ２）、基板検出のステ
ップ３へ移行する。この所定時間は、基板１が基板検出
手段３４上を通過するのに要する時間であって、基板１
の長さとベルトコンベヤ３１の搬送速度から決定され
る。そして図４（ｃ）に示すように、基板１の先端がマ
ガジン１２の内部に無事に進入すると、基板検出手段３
４は基板検出がＮｏとなることによって基板１が通過し
たことを検出し、その信号は制御部５０へ送られる。そ
こで押送爪３６はマガジン１２へ向って移動し、図４
（ｄ）に示すように基板１の後端面を押して基板１をマ
ガジン１２内へ完全に送り込む（ステップ４）。なおベ
ルトコンベヤ３１のみでは、基板１をマガジン１２内へ
完全に送り込むことはできないので、押送爪３６で完全
に送り込むものである。

【００１８】またステップ３において、所定時間が経過
しても基板検出手段３４が基板１を検出しつづける場合
（Ｙｅｓの場合）には、基板１はマガジン１２の入口に
衝突してマガジン１２内へ進入できなくなっていると判
定し、報知手段５１を駆動してオペレータにトラブルが
発生したことを報知する。そこでオペレータはマガジン
１２の入口で停止している基板１をマガジン１２内へ案
内してトラブルを解消した後、リスタート操作を行い
（ステップ６）、以下、上述した動作が繰り返される。
なお上述した制御や判定などは制御部５０が行う。

【００１９】ところで、図４（ｂ）から図４（ｃ）へ移
行する際に、基板１の先端がマガジン１２の入口に衝突
すると、基板１はベルトコンベヤ３１上で停止し、その
状態でベルトコンベヤ３１は基板１をマガジン１２内へ
送り込む方向に回動しているが、この状態において、基
板１はベルトコンベヤ３１上を空滑りするだけであり、
図６に示す従来例のように基板１の先端がマガジン１２
の入口に強く衝突せられることはなく、したがって基板
１を痛めることはない。なお基板１の空滑りが可能なコ
ンベヤとしては、ベルトコンベヤ３１以外にも、ローラ
コンベヤなどがある。

【００２０】またステップ３で所定時間が経過しても基
板１を検出し続ける場合（すなわちステップ５へ移行す
る場合）には、図２に示す後続の基板１が搬送爪２６に
よってベルトコンベヤ３１上へ送られてくるのを中止す
る。これによりベルトコンベヤ３１上に基板１が次々に
送られてきて、基板１どうしが衝突したり、基板１がベ
ルトコンベヤ３１からあふれて落下し、基板１を損傷す
るのを解消できる。

【００２１】

【発明の効果】本発明によれば、基板がマガジンの入口
に衝突してマガジンの内部に進入するのに失敗したとき
には、基板はコンベヤ上を空滑りするだけであるから、
衝突時の衝撃によって基板が破損することはなく、また
報知手段を駆動してオペレータに報知することにより、
直ちにトラブルを解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の斜視図

【図２】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の側面図

【図３】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の制御系のブロック図

【図４】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の基板の回収部の側面図

【図５】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の基板回収動作のフローチャート

【図６】従来のワイヤボンディング装置における基板の
回収部の側面図

【符号の説明】

１ 基板 １２ マガジン ２６ 搬送爪（ピッチ送り手段） ３１ ベルトコンベヤ ３４ 基板検出手段 ５０ 制御部 ５１ 報知手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を搬送手段で搬送して基板に対する所
   定の作業を行い、作業が終了した基板をマガジンに回収
   する基板の回収装置であって、前記搬送手段による基板
   の搬送路と前記マガジンの間に設けられて基板を前記マ
   ガジンの内部へ送り込む基板の空滑りが可能なコンベヤ
   と、基板の先端部が前記マガジンの内部に進入したこと
   を検出する基板検出手段と、この基板検出手段から送ら
   れてくる信号により基板の先端部が前記マガジンの内部
   に無事に進入したか否かを判定し、無事に進入した場合
   には、送り込み手段によってこの基板を前記マガジン内
   に押し込んで回収し、無事に進入しなかった場合には報
   知手段を駆動してオペレータにその旨報知する制御部と
   を備えたことを特徴とする基板の回収装置。