JPH10141317A - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータInfo
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- JPH10141317A JPH10141317A JP30062596A JP30062596A JPH10141317A JP H10141317 A JPH10141317 A JP H10141317A JP 30062596 A JP30062596 A JP 30062596A JP 30062596 A JP30062596 A JP 30062596A JP H10141317 A JPH10141317 A JP H10141317A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- rolling groove
- rolling
- cylinder
- slide table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
- F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
- F15B2015/1495—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type with screw mechanism attached to the piston
Landscapes
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】スライドテーブルを高精度に位置決めすること
ができるとともに、重量物からなるワークを円滑に変位
させることにある。 【解決手段】アクチュエータ１０は、モータ部１８とシ
リンダ部１６とが併設されたアクチュエータボデイ１２
と、前記モータ部１８の回転駆動力およびシリンダ部１
６のピストン４０の押圧力が共に伝達され、前記アクチ
ュエータボデイ１２の長手方向に沿って変位自在に設け
られたスライドテーブル１４とを備える。
ができるとともに、重量物からなるワークを円滑に変位
させることにある。 【解決手段】アクチュエータ１０は、モータ部１８とシ
リンダ部１６とが併設されたアクチュエータボデイ１２
と、前記モータ部１８の回転駆動力およびシリンダ部１
６のピストン４０の押圧力が共に伝達され、前記アクチ
ュエータボデイ１２の長手方向に沿って変位自在に設け
られたスライドテーブル１４とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動源の駆動作用
下にアクチュエータボデイの軸線方向に沿ってスライド
テーブルを往復動作させるアクチュエータに関する。
下にアクチュエータボデイの軸線方向に沿ってスライド
テーブルを往復動作させるアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ワーク等の搬送手段としてア
クチュエータが用いられている。このアクチュエータ
は、ガイド部材の案内作用下に長尺なフレームに沿って
移動テーブルを直線状に往復運動させることにより、前
記移動テーブルに載置されたワークを搬送するものであ
る。
クチュエータが用いられている。このアクチュエータ
は、ガイド部材の案内作用下に長尺なフレームに沿って
移動テーブルを直線状に往復運動させることにより、前
記移動テーブルに載置されたワークを搬送するものであ
る。
【０００３】従来技術に係るアクチュエータは、駆動手
段として圧力流体が用いられる流体圧アクチュエータ
と、駆動手段としてモータが用いられる電動アクチュエ
ータとに大別される。
段として圧力流体が用いられる流体圧アクチュエータ
と、駆動手段としてモータが用いられる電動アクチュエ
ータとに大別される。
【０００４】流体圧アクチュエータでは、圧力流体の作
用下にピストンを往復動作させ、前記ピストンに固定さ
れた移動テーブルを一体的に変位させる構成が採用され
ている。一方、電動アクチュエータでは、モータの回転
駆動力をボールねじに伝達し、前記ボールねじの螺回作
用下に移動テーブルを変位させる構成が採用されてい
る。
用下にピストンを往復動作させ、前記ピストンに固定さ
れた移動テーブルを一体的に変位させる構成が採用され
ている。一方、電動アクチュエータでは、モータの回転
駆動力をボールねじに伝達し、前記ボールねじの螺回作
用下に移動テーブルを変位させる構成が採用されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記流
体圧アクチュエータでは、移動テーブルを圧力流体の作
用下に変位させているため、所定位置に高精度に位置決
めすることができないという不都合がある。
体圧アクチュエータでは、移動テーブルを圧力流体の作
用下に変位させているため、所定位置に高精度に位置決
めすることができないという不都合がある。
【０００６】また、前記電動アクチュエータでは、移動
テーブルをモータの回転駆動力によって変位させている
ため、ワークが重量物であると該モータに付与される負
荷が大きくなって大型のモータを用いなければならず、
装置全体が大型化するという不都合がある。
テーブルをモータの回転駆動力によって変位させている
ため、ワークが重量物であると該モータに付与される負
荷が大きくなって大型のモータを用いなければならず、
装置全体が大型化するという不都合がある。
【０００７】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであり、スライドテーブルを高精度に位置
決めすることができるとともに、重量物からなるワーク
を円滑に変位させることが可能な駆動力を有するアクチ
ュエータを提供することを目的とする。
なされたものであり、スライドテーブルを高精度に位置
決めすることができるとともに、重量物からなるワーク
を円滑に変位させることが可能な駆動力を有するアクチ
ュエータを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、回転駆動部とシリンダ部とが併設され
たアクチュエータボデイと、前記回転駆動部に設けら
れ、駆動力伝達手段に対し回転駆動力を伝達する回転駆
動源と、前記シリンダ部に設けられ、圧力流体の作用下
に変位するピストンを含むシリンダ機構と、前記回転駆
動源の駆動力および前記ピストンの押圧力が共に伝達さ
れ、前記アクチュエータボデイの長手方向に沿って変位
自在に設けられたスライドテーブルと、を備えることを
特徴とする。
めに、本発明は、回転駆動部とシリンダ部とが併設され
たアクチュエータボデイと、前記回転駆動部に設けら
れ、駆動力伝達手段に対し回転駆動力を伝達する回転駆
動源と、前記シリンダ部に設けられ、圧力流体の作用下
に変位するピストンを含むシリンダ機構と、前記回転駆
動源の駆動力および前記ピストンの押圧力が共に伝達さ
れ、前記アクチュエータボデイの長手方向に沿って変位
自在に設けられたスライドテーブルと、を備えることを
特徴とする。
【０００９】前記スライドテーブルがアクチュエータボ
デイの長手方向に沿って変位する際、該スライドテーブ
ルを案内するガイド手段を設けると好適である。この場
合、前記ガイド手段は、アクチュエータボデイの凹部に
形成された第１転動溝と、スライドテーブルに固定され
た軸受ブロックに形成され前記第１転動溝に対向する第
２転動溝と、前記第２転動溝から所定距離離間して前記
軸受ブロックに形成された転動穴と、前記第１転動溝、
第２転動溝および転動穴からなる循環通路に沿って転動
する複数の転動体とを有し、前記第１転動溝と第２転動
溝と転動穴とを結んだ仮想線が水平軸に対し所定角度傾
斜して交差するように設けるとよい。
デイの長手方向に沿って変位する際、該スライドテーブ
ルを案内するガイド手段を設けると好適である。この場
合、前記ガイド手段は、アクチュエータボデイの凹部に
形成された第１転動溝と、スライドテーブルに固定され
た軸受ブロックに形成され前記第１転動溝に対向する第
２転動溝と、前記第２転動溝から所定距離離間して前記
軸受ブロックに形成された転動穴と、前記第１転動溝、
第２転動溝および転動穴からなる循環通路に沿って転動
する複数の転動体とを有し、前記第１転動溝と第２転動
溝と転動穴とを結んだ仮想線が水平軸に対し所定角度傾
斜して交差するように設けるとよい。
【００１０】本発明によれば、回転駆動部とシリンダ部
とを併設し、回転駆動源の駆動力およびピストンの押圧
力をスライドテーブルに共に伝達することにより、前記
アクチュエータボデイの長手方向に沿ってスライドテー
ブルを変位させることができる。
とを併設し、回転駆動源の駆動力およびピストンの押圧
力をスライドテーブルに共に伝達することにより、前記
アクチュエータボデイの長手方向に沿ってスライドテー
ブルを変位させることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明に係るアクチュエータにつ
いて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
いて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
【００１２】図１〜図３において、参照数字１０は、本
発明の実施の形態に係るアクチュエータを示す。このア
クチュエータ１０は、アルミニウム等の材料によって形
成されたアクチュエータボデイ１２と、前記アクチュエ
ータボデイ１２に沿って直線状に往復動作する断面Ｌ字
状のスライドテーブル１４とを有する。なお、前記アク
チュエータボデイ１２の表面には、硬質アルマイト処理
を施すとよい。
発明の実施の形態に係るアクチュエータを示す。このア
クチュエータ１０は、アルミニウム等の材料によって形
成されたアクチュエータボデイ１２と、前記アクチュエ
ータボデイ１２に沿って直線状に往復動作する断面Ｌ字
状のスライドテーブル１４とを有する。なお、前記アク
チュエータボデイ１２の表面には、硬質アルマイト処理
を施すとよい。
【００１３】前記アクチュエータ１０は、シリンダ部１
６とモータ部（回転駆動部）１８とから構成され、前記
シリンダ部１６およびモータ部１８はアクチュエータボ
デイ１２の軸線方向に沿って略平行に併設される。図２
に示されるように、前記アクチュエータボデイ１２の下
面２０には、長手方向に沿って略平行に４条の取付用長
溝２２ａ〜２２ｄが形成され、図示しない取付手段を前
記取付用長溝２２ａ〜２２ｄに装着することにより、ア
クチュエータ１０を他の部材に固定することができる。
６とモータ部（回転駆動部）１８とから構成され、前記
シリンダ部１６およびモータ部１８はアクチュエータボ
デイ１２の軸線方向に沿って略平行に併設される。図２
に示されるように、前記アクチュエータボデイ１２の下
面２０には、長手方向に沿って略平行に４条の取付用長
溝２２ａ〜２２ｄが形成され、図示しない取付手段を前
記取付用長溝２２ａ〜２２ｄに装着することにより、ア
クチュエータ１０を他の部材に固定することができる。
【００１４】また、前記アクチュエータボデイ１２の下
面２０に直交する一側面２４には、一組のセンサ用長溝
２６ａ、２６ｂが略平行に形成され、一方、前記一組の
センサ用長溝２６ａ、２６ｂに対向するスライドテーブ
ル１４のプレート部２８には磁石３０を装着するための
一組の溝部３２ａ、３２ｂが形成される。前記センサ用
長溝２６ａ、２６ｂの所定部位に装着されたセンサ３４
を介して磁石３０の磁界を検知することにより、直線状
に変位するスライドテーブル１４の位置を検出すること
ができる。
面２０に直交する一側面２４には、一組のセンサ用長溝
２６ａ、２６ｂが略平行に形成され、一方、前記一組の
センサ用長溝２６ａ、２６ｂに対向するスライドテーブ
ル１４のプレート部２８には磁石３０を装着するための
一組の溝部３２ａ、３２ｂが形成される。前記センサ用
長溝２６ａ、２６ｂの所定部位に装着されたセンサ３４
を介して磁石３０の磁界を検知することにより、直線状
に変位するスライドテーブル１４の位置を検出すること
ができる。
【００１５】シリンダ部１６は、アクチュエータボデイ
１２と一体的に形成されその一部からなるシリンダチュ
ーブ３６と、前記シリンダチューブ３６の内部に形成さ
れたシリンダ室３８に収装される楕円形のピストン４０
と、一端部が前記ピストン４０に連結され、他端部がシ
リンダチューブ３６から外部に突出してスライドテーブ
ル１４の屈曲部４２に連結されるピストンロッド４４と
を有する。なお、シリンダチューブ３６には、シリンダ
室３８に圧力流体を供給するための一組の圧力流体出入
ポート（図示せず）が形成される。
１２と一体的に形成されその一部からなるシリンダチュ
ーブ３６と、前記シリンダチューブ３６の内部に形成さ
れたシリンダ室３８に収装される楕円形のピストン４０
と、一端部が前記ピストン４０に連結され、他端部がシ
リンダチューブ３６から外部に突出してスライドテーブ
ル１４の屈曲部４２に連結されるピストンロッド４４と
を有する。なお、シリンダチューブ３６には、シリンダ
室３８に圧力流体を供給するための一組の圧力流体出入
ポート（図示せず）が形成される。
【００１６】モータ部１８は、アクチュエータボデイ１
２の凹部４６に沿って変位自在に設けられ、スライドテ
ーブル１４の下面部に固定される軸受ブロック４８と、
前記軸受ブロック４８の軸線方向に沿ってボールねじ５
０が螺合するように形成されたねじ穴とを有する。
２の凹部４６に沿って変位自在に設けられ、スライドテ
ーブル１４の下面部に固定される軸受ブロック４８と、
前記軸受ブロック４８の軸線方向に沿ってボールねじ５
０が螺合するように形成されたねじ穴とを有する。
【００１７】モータ部１８の一端部には、モータが収納
されたモータブロック５２が設けられ、前記モータブロ
ック５２は、アクチュエータボデイ１２と面一に形成さ
れる。前記モータの駆動軸はボールねじ５０を延長して
一体的に形成され、前記駆動軸は所定間隔離間する第１
軸受部材５４ａおよび第２軸受部材５４ｂによって回動
自在に支持される。なお、ボールねじ５０の一端部は、
第３軸受部材５４ｃによって回動自在に軸支される。
されたモータブロック５２が設けられ、前記モータブロ
ック５２は、アクチュエータボデイ１２と面一に形成さ
れる。前記モータの駆動軸はボールねじ５０を延長して
一体的に形成され、前記駆動軸は所定間隔離間する第１
軸受部材５４ａおよび第２軸受部材５４ｂによって回動
自在に支持される。なお、ボールねじ５０の一端部は、
第３軸受部材５４ｃによって回動自在に軸支される。
【００１８】この場合、前記モータとして、例えば、Ａ
Ｃサーボモータまたはステッピングモータを用いると好
適である。モータブロック５２の内部には、該モータブ
ロック５２に固定されたステータコイル５６と駆動軸に
固定されたロータ５８が設けられる。また、ボールねじ
５０に代替して送りねじを用いてもよい。
Ｃサーボモータまたはステッピングモータを用いると好
適である。モータブロック５２の内部には、該モータブ
ロック５２に固定されたステータコイル５６と駆動軸に
固定されたロータ５８が設けられる。また、ボールねじ
５０に代替して送りねじを用いてもよい。
【００１９】図２に示されるように、アクチュエータボ
デイ１２に形成された凹部４６と軸受ブロック４８との
間には、前記凹部４６の内壁面に形成されアクチュエー
タボデイ１２の長手方向に沿って延在する第１転動溝６
０と、前記第１転動溝６０に対向して軸受ブロック４８
に形成された第２転動溝６２とが設けられる。さらに、
該第２転動溝６２から所定間隔離間する部位には、上側
並びに下側に向かって所定角度傾斜し、軸受ブロック４
８の軸線方向に沿って貫通する第１転動穴（転動穴）６
４が形成される。
デイ１２に形成された凹部４６と軸受ブロック４８との
間には、前記凹部４６の内壁面に形成されアクチュエー
タボデイ１２の長手方向に沿って延在する第１転動溝６
０と、前記第１転動溝６０に対向して軸受ブロック４８
に形成された第２転動溝６２とが設けられる。さらに、
該第２転動溝６２から所定間隔離間する部位には、上側
並びに下側に向かって所定角度傾斜し、軸受ブロック４
８の軸線方向に沿って貫通する第１転動穴（転動穴）６
４が形成される。
【００２０】この場合、第１転動溝６０、第２転動溝６
２および第１転動穴６４を結ぶ仮想線Ｔが、水平軸Ｈに
対して所定角度θだけ傾斜して交差するように設けられ
る。前記第１転動溝６０、第２転動溝６２および第１転
動穴６４は、相互に連通して複数のボールベアリング
（転動体）６６が転動する循環軌道として機能するもの
である。なお、好適には、複数のボールベアリング６６
をアルミニウム材料によって形成するとよい。
２および第１転動穴６４を結ぶ仮想線Ｔが、水平軸Ｈに
対して所定角度θだけ傾斜して交差するように設けられ
る。前記第１転動溝６０、第２転動溝６２および第１転
動穴６４は、相互に連通して複数のボールベアリング
（転動体）６６が転動する循環軌道として機能するもの
である。なお、好適には、複数のボールベアリング６６
をアルミニウム材料によって形成するとよい。
【００２１】スライドテーブル１４とシリンダチューブ
３６との間には、前記スライドテーブル１４の下面に形
成された第３転動溝６８と、前記第３転動溝６８に対向
してシリンダチューブ３６の上面に形成された第４転動
溝７０とが設けられる。さらに、前記第３転動溝６８か
ら上側に向かって所定角度傾斜した部位には、第２転動
穴７２が形成され、相互に対向する第３転動溝６８、第
４転動溝７０並びに第２転動穴７２とが連通して循環軌
道が構成される。
３６との間には、前記スライドテーブル１４の下面に形
成された第３転動溝６８と、前記第３転動溝６８に対向
してシリンダチューブ３６の上面に形成された第４転動
溝７０とが設けられる。さらに、前記第３転動溝６８か
ら上側に向かって所定角度傾斜した部位には、第２転動
穴７２が形成され、相互に対向する第３転動溝６８、第
４転動溝７０並びに第２転動穴７２とが連通して循環軌
道が構成される。
【００２２】本実施の形態に係るアクチュエータ１０は
基本的には以上のように構成されるものであり、次にそ
の動作並びに作用効果について説明する。
基本的には以上のように構成されるものであり、次にそ
の動作並びに作用効果について説明する。
【００２３】図示しない電源に接続されたモータ部１８
が付勢され、モータの回転駆動力がボールねじ５０に伝
達される。前記ボールねじ５０の螺回作用下に軸受ブロ
ック４８がアクチュエータボデイ１２の長手方向に沿っ
て変位し、前記軸受ブロック４８と一体的にスライドテ
ーブル１４が直線状に変位する。
が付勢され、モータの回転駆動力がボールねじ５０に伝
達される。前記ボールねじ５０の螺回作用下に軸受ブロ
ック４８がアクチュエータボデイ１２の長手方向に沿っ
て変位し、前記軸受ブロック４８と一体的にスライドテ
ーブル１４が直線状に変位する。
【００２４】前記モータ部１８を付勢すると略同時にシ
リンダ部１６を駆動させる。すなわち、図示しない圧力
流体供給源を付勢し、前記圧力流体供給源から導出され
た圧力流体をシリンダチューブ３６の一方の圧力流体出
入ポートに導入する。前記圧力流体出入ポートを介して
シリンダ室３８に供給された圧力流体は、ピストン４０
を所定方向に押圧し、ピストン４０に連結されたピスト
ンロッド４４を介してスライドテーブル１４を直線状に
変位させる。
リンダ部１６を駆動させる。すなわち、図示しない圧力
流体供給源を付勢し、前記圧力流体供給源から導出され
た圧力流体をシリンダチューブ３６の一方の圧力流体出
入ポートに導入する。前記圧力流体出入ポートを介して
シリンダ室３８に供給された圧力流体は、ピストン４０
を所定方向に押圧し、ピストン４０に連結されたピスト
ンロッド４４を介してスライドテーブル１４を直線状に
変位させる。
【００２５】このように、駆動手段としてシリンダ部１
６とモータ部１８とを併設し、圧力流体の作用下にピス
トン４０を押圧する押圧力と、ボールねじ５０を介して
直線運動に変換されるモータの回転駆動力とを共にスラ
イドテーブル１４に伝達することにより、モータ部１８
の作用下にスライドテーブル１４を高精度に位置決めす
ることができるとともに、シリンダ部１６の作用下に重
量物からなるワークを円滑に変位させることができる。
６とモータ部１８とを併設し、圧力流体の作用下にピス
トン４０を押圧する押圧力と、ボールねじ５０を介して
直線運動に変換されるモータの回転駆動力とを共にスラ
イドテーブル１４に伝達することにより、モータ部１８
の作用下にスライドテーブル１４を高精度に位置決めす
ることができるとともに、シリンダ部１６の作用下に重
量物からなるワークを円滑に変位させることができる。
【００２６】また、本実施の形態に係るアクチュエータ
１０では、第１転動溝６０、第２転動溝６２および第１
転動穴６４を結ぶ仮想線Ｔを、水平軸Ｈに対して所定角
度θだけ傾斜して交差するように四方向に設けることに
より、循環軌道を転動するボールベアリング６６の回転
方向と該ボールベアリング６６の進行方向（矢印方向）
とが一致してその振動を最小限に抑制し、騒音を規制し
て高速循環させるという効果を得ることができる（図４
Ａ参照）。
１０では、第１転動溝６０、第２転動溝６２および第１
転動穴６４を結ぶ仮想線Ｔを、水平軸Ｈに対して所定角
度θだけ傾斜して交差するように四方向に設けることに
より、循環軌道を転動するボールベアリング６６の回転
方向と該ボールベアリング６６の進行方向（矢印方向）
とが一致してその振動を最小限に抑制し、騒音を規制し
て高速循環させるという効果を得ることができる（図４
Ａ参照）。
【００２７】これに対して、図４Ｂに示されるように、
第１転動溝６０、第２転動溝６２および転動穴６５を結
ぶ仮想線Ｔと水平軸Ｈとを略一致させて設けた場合、第
１転動溝６０、第２転動溝６２によるボールベアリング
６６の回転方向と転動穴６５によるボールベアリング６
６の回転方向とが平行になっていないため、矢印方向に
沿って進行してきたボールベアリング６６が転動穴６５
によってリターンする際に該ボールベアリング６６に余
分な負荷が付与される。この結果、ボールベアリング６
６による振動および騒音が発生する不具合がある。
第１転動溝６０、第２転動溝６２および転動穴６５を結
ぶ仮想線Ｔと水平軸Ｈとを略一致させて設けた場合、第
１転動溝６０、第２転動溝６２によるボールベアリング
６６の回転方向と転動穴６５によるボールベアリング６
６の回転方向とが平行になっていないため、矢印方向に
沿って進行してきたボールベアリング６６が転動穴６５
によってリターンする際に該ボールベアリング６６に余
分な負荷が付与される。この結果、ボールベアリング６
６による振動および騒音が発生する不具合がある。
【００２８】なお、シリンダ部１６を公知のロッドレス
シリンダによって構成してもよいことは勿論である。
シリンダによって構成してもよいことは勿論である。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
る。
【００３０】すなわち、回転駆動部とシリンダ部とを併
設し、回転駆動源の駆動力およびピストンの押圧力をス
ライドテーブルに共に伝達することにより、回転駆動部
の作用下にスライドテーブルを高精度に位置決めするこ
とができるとともに、シリンダ部の作用下に重量物から
なるワークを円滑に変位させることができる。
設し、回転駆動源の駆動力およびピストンの押圧力をス
ライドテーブルに共に伝達することにより、回転駆動部
の作用下にスライドテーブルを高精度に位置決めするこ
とができるとともに、シリンダ部の作用下に重量物から
なるワークを円滑に変位させることができる。
【図１】本発明の実施の形態に係るアクチュエータを示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】図１に示すＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図であ
る。
る。
【図３】図１に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った横断面図
である。
である。
【図４】図４Ａは、本発明の実施の形態に係るアクチュ
エータの循環軌道を示す説明図であり、図４Ｂは、循環
軌道の比較例を示す説明図である。
エータの循環軌道を示す説明図であり、図４Ｂは、循環
軌道の比較例を示す説明図である。
１０…アクチュエータ １２…アクチュ
エータボデイ １４…スライドテーブル １６…シリンダ
部 １８…モータ部 ４０…ピストン ４４…ピストンロッド ４６…凹部 ４８…軸受ブロック ５０…ボールね
じ ５２…モータブロック ５４ａ〜５４ｃ
…軸受部材 ６０、６２、６８、７０…転動溝 ６４、６５、７
２…転動穴
エータボデイ １４…スライドテーブル １６…シリンダ
部 １８…モータ部 ４０…ピストン ４４…ピストンロッド ４６…凹部 ４８…軸受ブロック ５０…ボールね
じ ５２…モータブロック ５４ａ〜５４ｃ
…軸受部材 ６０、６２、６８、７０…転動溝 ６４、６５、７
２…転動穴
Claims (4)
- 【請求項１】回転駆動部とシリンダ部とが併設されたア
クチュエータボデイと、 前記回転駆動部に設けられ、駆動力伝達手段に対し回転
駆動力を伝達する回転駆動源と、 前記シリンダ部に設けられ、圧力流体の作用下に変位す
るピストンを含むシリンダ機構と、 前記回転駆動源の駆動力および前記ピストンの押圧力が
共に伝達され、前記アクチュエータボデイの長手方向に
沿って変位自在に設けられたスライドテーブルと、 を備えることを特徴とするアクチュエータ。 - 【請求項２】請求項１記載のアクチュエータにおいて、
スライドテーブルがアクチュエータボデイの長手方向に
沿って変位する際、該スライドテーブルを案内するガイ
ド手段が設けられ、前記ガイド手段は、アクチュエータ
ボデイの凹部に形成された第１転動溝と、スライドテー
ブルに固定された軸受ブロックに形成され前記第１転動
溝に対向する第２転動溝と、前記第２転動溝から所定距
離離間して前記軸受ブロックに形成された転動穴と、前
記第１転動溝、第２転動溝および転動穴からなる循環通
路に沿って転動する複数の転動体とを有し、前記第１転
動溝と第２転動溝と転動穴とを結んだ仮想線が水平軸に
対し所定角度傾斜して交差することを特徴とするアクチ
ュエータ。 - 【請求項３】請求項１記載のアクチュエータにおいて、
駆動力伝達手段は、ボールねじまたは送りねじからなる
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 【請求項４】請求項１記載のアクチュエータにおいて、
シリンダ部はピストンが収装されるシリンダチューブを
有し、前記シリンダチューブとアクチュエータボデイと
が一体的に形成されることを特徴とするアクチュエー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30062596A JP3818708B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30062596A JP3818708B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10141317A true JPH10141317A (ja) | 1998-05-26 |
| JP3818708B2 JP3818708B2 (ja) | 2006-09-06 |
Family
ID=17887121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30062596A Expired - Fee Related JP3818708B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3818708B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002027732A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-25 | Shinko Electric Co Ltd | リニアアクチュエータ |
| KR100340342B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2002-06-12 | 최승환 | 슬라이드 실린더 |
| JP2015161646A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | 株式会社アイエイアイ | センサユニット及びアクチュエータ |
| WO2015161846A1 (de) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Aktorvorrichtung für eine hydraulische betätigungsvorrichtung und entsprechende hydraulische betätigungsvorrichtung |
| CN108150630A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-06-12 | 东莞市顺纳电子有限公司 | 一种无杆往返驱动器 |
-
1996
- 1996-11-12 JP JP30062596A patent/JP3818708B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100340342B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2002-06-12 | 최승환 | 슬라이드 실린더 |
| JP2002027732A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-25 | Shinko Electric Co Ltd | リニアアクチュエータ |
| JP2015161646A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | 株式会社アイエイアイ | センサユニット及びアクチュエータ |
| WO2015161846A1 (de) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Aktorvorrichtung für eine hydraulische betätigungsvorrichtung und entsprechende hydraulische betätigungsvorrichtung |
| CN108150630A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-06-12 | 东莞市顺纳电子有限公司 | 一种无杆往返驱动器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3818708B2 (ja) | 2006-09-06 |
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