JPH10139404A - オゾン発生体 - Google Patents
オゾン発生体Info
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- JPH10139404A JPH10139404A JP8300631A JP30063196A JPH10139404A JP H10139404 A JPH10139404 A JP H10139404A JP 8300631 A JP8300631 A JP 8300631A JP 30063196 A JP30063196 A JP 30063196A JP H10139404 A JPH10139404 A JP H10139404A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/14—Concentric/tubular dischargers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/20—Electrodes used for obtaining electrical discharge
- C01B2201/22—Constructional details of the electrodes
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高濃度オゾンを高収率で得られ、かつ長寿命
のオゾン発生体を提供する。 【解決手段】 高電圧電極棒に取り付けた複数の金属製
円板からなる高圧電極と、該高圧電極を取り囲む誘電体
材料からなる円筒と、該円筒を取り囲む金属材料からな
る外部電極と、該外部電極と前記円筒の間にあって酸素
が通過する第一の空間と、該空間に外部より酸素を導入
するための第一の導入経路手段と、該空間からオゾン化
した酸素を外部に取り出すための第一の取り出し経路手
段と、前記高圧電極に高周波高電圧を加える手段と、前
記外部電極を接地する手段とからなるオゾン発生体であ
って、前記金属製円板はその外周部に複数の切り込み加
工が施されていることを特徴とするオゾン発生体により
達成する。
のオゾン発生体を提供する。 【解決手段】 高電圧電極棒に取り付けた複数の金属製
円板からなる高圧電極と、該高圧電極を取り囲む誘電体
材料からなる円筒と、該円筒を取り囲む金属材料からな
る外部電極と、該外部電極と前記円筒の間にあって酸素
が通過する第一の空間と、該空間に外部より酸素を導入
するための第一の導入経路手段と、該空間からオゾン化
した酸素を外部に取り出すための第一の取り出し経路手
段と、前記高圧電極に高周波高電圧を加える手段と、前
記外部電極を接地する手段とからなるオゾン発生体であ
って、前記金属製円板はその外周部に複数の切り込み加
工が施されていることを特徴とするオゾン発生体により
達成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はオゾン発生装置に使
用されるオゾン発生体に関し、特に、酸素が導入される
空間において高周波高電圧による無声放電を用いて、酸
素をオゾン化させるオゾン発生体に関するものである。
用されるオゾン発生体に関し、特に、酸素が導入される
空間において高周波高電圧による無声放電を用いて、酸
素をオゾン化させるオゾン発生体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、廃水処理、水の浄化、殺菌洗
浄などの分野において、オゾンの殺菌、脱色、脱臭など
の作用が利用されていた。
浄などの分野において、オゾンの殺菌、脱色、脱臭など
の作用が利用されていた。
【0003】酸素をオゾン化させるオゾン発生装置は、
相対向する放電用電極を、酸素が導入される空間および
誘電体を挟んで配置し、該放電用電極間に高周波高電圧
を印加したときに発生する無声放電を用いて、該放電用
電極間の酸素が導入される空間を通過する酸素をオゾン
化するものである。
相対向する放電用電極を、酸素が導入される空間および
誘電体を挟んで配置し、該放電用電極間に高周波高電圧
を印加したときに発生する無声放電を用いて、該放電用
電極間の酸素が導入される空間を通過する酸素をオゾン
化するものである。
【0004】従来のオゾン発生装置は、例えば図5に示
すように、ガラスやセラミックスなどの誘電体材料から
なる円筒43と、該円筒43の内側にコーティングされ
た導電性被膜からなり高周波高電圧を加えられる高圧電
極42と、前記円筒43の外側に配置され金属材料から
なり通常は接地された外部電極46と、該外部電極46
と前記円筒43との間の酸素が通過する空間45と、該
空間45を外部電極46と円筒43の間で維持する支持
部材60と、原料ガスの酸素を外部から導入する酸素導
入口52と、オゾン化された酸素を外部へ取り出すオゾ
ン化酸素取り出し口53とから構成されている。
すように、ガラスやセラミックスなどの誘電体材料から
なる円筒43と、該円筒43の内側にコーティングされ
た導電性被膜からなり高周波高電圧を加えられる高圧電
極42と、前記円筒43の外側に配置され金属材料から
なり通常は接地された外部電極46と、該外部電極46
と前記円筒43との間の酸素が通過する空間45と、該
空間45を外部電極46と円筒43の間で維持する支持
部材60と、原料ガスの酸素を外部から導入する酸素導
入口52と、オゾン化された酸素を外部へ取り出すオゾ
ン化酸素取り出し口53とから構成されている。
【0005】オゾン発生体の外部の高周波高電圧電源4
9から高圧電極42に、配線48および給電ブラシなど
の高電圧供給手段61を介して高周波高電圧が供給さ
れ、一方、外部電極46は配線47を介して接地され
る。外部電極46の外周部には冷却のための放熱フィン
が設けられている。
9から高圧電極42に、配線48および給電ブラシなど
の高電圧供給手段61を介して高周波高電圧が供給さ
れ、一方、外部電極46は配線47を介して接地され
る。外部電極46の外周部には冷却のための放熱フィン
が設けられている。
【0006】高周波高電圧を加えられた高圧電極42と
接地された外部電極46との間には、無声放電が発生す
る。酸素導入口52よりオゾン発生体の外部から導入さ
れた酸素は、無声放電の存在する空間45を通過し、オ
ゾン化されてオゾン化酸素取り出し口53よりオゾン発
生体の外部へ取り出されている。
接地された外部電極46との間には、無声放電が発生す
る。酸素導入口52よりオゾン発生体の外部から導入さ
れた酸素は、無声放電の存在する空間45を通過し、オ
ゾン化されてオゾン化酸素取り出し口53よりオゾン発
生体の外部へ取り出されている。
【0007】従来より、オゾン発生装置を小型化するた
めに、高濃度オゾンを高収率で得られるオゾン発生体の
開発が望まれていた。
めに、高濃度オゾンを高収率で得られるオゾン発生体の
開発が望まれていた。
【0008】また、高圧電極42は、銀合金や金合金な
どの導電性被膜を、誘電体材料からなる円筒43の内側
にコーティングにより形成するが、通常10KV程度の
高周波高電圧が加えられるため、オゾンによる酸化と無
声放電中のスパッタリングによる蒸散のために高圧電極
42の電極材料の寿命が短く、高圧電極42の長寿命化
が望まれていた。
どの導電性被膜を、誘電体材料からなる円筒43の内側
にコーティングにより形成するが、通常10KV程度の
高周波高電圧が加えられるため、オゾンによる酸化と無
声放電中のスパッタリングによる蒸散のために高圧電極
42の電極材料の寿命が短く、高圧電極42の長寿命化
が望まれていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】高濃度オゾンを高収率
で得るには、導入される酸素流量が一定の場合は、放電
に用いられる電極の表面積を増加することによってオゾ
ン化される酸素の量を増加させるか、或いは、オゾン発
生体の温度を低下させることによってオゾンの生成効率
を上げる方法があった。
で得るには、導入される酸素流量が一定の場合は、放電
に用いられる電極の表面積を増加することによってオゾ
ン化される酸素の量を増加させるか、或いは、オゾン発
生体の温度を低下させることによってオゾンの生成効率
を上げる方法があった。
【0010】しかし、図5に示される従来のオゾン発生
体の場合、放電に用いられる電極の表面積は、誘電体か
らなる円筒43にコーティングされる高圧電極42の表
面積であり、使用する誘電体材料からなる円筒43の管
径と長さとから高圧電極42の表面積は決められ、一定
のサイズのオゾン発生体において高圧電極42の表面積
を増加させることは不可能であった。一方、オゾン発生
体の温度を低下させるには、冷却部の構造を変えて放電
によって発生する熱の冷却効率を上げることで達成され
るが、冷却効率を上げるために冷却部の構造が複雑化し
てしまっては、オゾン発生装置を小型化するという目的
が達成されず、更に装置自体の価格が高価なものになっ
てしまう問題があった。すなわち、従来のオゾン発生体
の場合は、オゾン発生量には限界があり、高濃度オゾン
を高収率では得ることはできなかった。
体の場合、放電に用いられる電極の表面積は、誘電体か
らなる円筒43にコーティングされる高圧電極42の表
面積であり、使用する誘電体材料からなる円筒43の管
径と長さとから高圧電極42の表面積は決められ、一定
のサイズのオゾン発生体において高圧電極42の表面積
を増加させることは不可能であった。一方、オゾン発生
体の温度を低下させるには、冷却部の構造を変えて放電
によって発生する熱の冷却効率を上げることで達成され
るが、冷却効率を上げるために冷却部の構造が複雑化し
てしまっては、オゾン発生装置を小型化するという目的
が達成されず、更に装置自体の価格が高価なものになっ
てしまう問題があった。すなわち、従来のオゾン発生体
の場合は、オゾン発生量には限界があり、高濃度オゾン
を高収率では得ることはできなかった。
【0011】また、オゾン発生体の長寿命化を達成する
ために、長寿命が得られる高圧電極の構成およびその電
極材料が望まれていた。
ために、長寿命が得られる高圧電極の構成およびその電
極材料が望まれていた。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされたものであり、本発明のオゾン発生
体は、誘電体と高圧電極とを分離した構成としている。
決するためになされたものであり、本発明のオゾン発生
体は、誘電体と高圧電極とを分離した構成としている。
【0013】本発明のオゾン発生体は、高電圧電極棒に
取り付けた複数の金属製円板からなる高圧電極と、該高
圧電極を取り囲む誘電体材料からなる円筒と、該円筒を
取り囲む金属材料からなる外部電極と、該外部電極と前
記円筒の間にあって酸素が通過する第一の空間と、該空
間に外部より酸素を導入するための第一の導入経路手段
と、該空間からオゾン化した酸素を外部に取り出すため
の第一の取り出し経路手段と、前記高圧電極に高周波高
電圧を加える手段と、前記外部電極を接地する手段とか
らなるオゾン発生体であって、前記金属製円板はその外
周部に複数の切り込み加工が施されていることを特徴と
する。
取り付けた複数の金属製円板からなる高圧電極と、該高
圧電極を取り囲む誘電体材料からなる円筒と、該円筒を
取り囲む金属材料からなる外部電極と、該外部電極と前
記円筒の間にあって酸素が通過する第一の空間と、該空
間に外部より酸素を導入するための第一の導入経路手段
と、該空間からオゾン化した酸素を外部に取り出すため
の第一の取り出し経路手段と、前記高圧電極に高周波高
電圧を加える手段と、前記外部電極を接地する手段とか
らなるオゾン発生体であって、前記金属製円板はその外
周部に複数の切り込み加工が施されていることを特徴と
する。
【0014】高圧電極を複数の金属製円板からなる構成
とすることによって、外形のサイズが同じオゾン発生体
においても、従来の構成のオゾン発生体と比べて高圧電
極の総表面積を増加させることができ、その結果、オゾ
ン化される酸素の量を増加させることが可能となった。
とすることによって、外形のサイズが同じオゾン発生体
においても、従来の構成のオゾン発生体と比べて高圧電
極の総表面積を増加させることができ、その結果、オゾ
ン化される酸素の量を増加させることが可能となった。
【0015】また、高圧電極の材料を、従来の銀合金や
金合金などの導電性被膜をコーティングしたものではな
く、金属製円板を使用できるために、寿命の長い高圧電
極を可能とし、オゾン発生体の長寿命化を達成すること
が可能となった。
金合金などの導電性被膜をコーティングしたものではな
く、金属製円板を使用できるために、寿命の長い高圧電
極を可能とし、オゾン発生体の長寿命化を達成すること
が可能となった。
【0016】さらに、金属製円板の外円周に施された複
数の切り込み加工の凹凸の位置を、隣接する金属製円板
の複数の切り込み加工の凹凸の位置と互いにずれるよう
に、高電圧電極棒に金属製円板を配置することによっ
て、高電圧電極棒の軸方向に均一な無声放電が発生し、
オゾンの発生量を増加させかつ高圧電極の寿命を更に長
くすることが可能となった。
数の切り込み加工の凹凸の位置を、隣接する金属製円板
の複数の切り込み加工の凹凸の位置と互いにずれるよう
に、高電圧電極棒に金属製円板を配置することによっ
て、高電圧電極棒の軸方向に均一な無声放電が発生し、
オゾンの発生量を増加させかつ高圧電極の寿命を更に長
くすることが可能となった。
【0017】また高圧電極と誘電体材料からなる円筒と
の間にあって酸素が通過する第二の空間と、該空間に外
部より酸素を導入するための第二の導入経路手段と、該
空間からオゾン化した酸素を外部に取り出すための第二
の取り出し経路手段とをさらに備えることによって、オ
ゾンの発生量をより増加させることが可能となった。
の間にあって酸素が通過する第二の空間と、該空間に外
部より酸素を導入するための第二の導入経路手段と、該
空間からオゾン化した酸素を外部に取り出すための第二
の取り出し経路手段とをさらに備えることによって、オ
ゾンの発生量をより増加させることが可能となった。
【0018】さらに、金属製円板材料として、タングス
テン使用することよりオゾンの生成効率が高くなり、ま
たチタンを使用することにより高圧電極の寿命が長くな
り、ステンレスを使用することによりオゾンの生成効率
と長寿命化と加工性のバランスのとれた高圧電極を可能
にした。
テン使用することよりオゾンの生成効率が高くなり、ま
たチタンを使用することにより高圧電極の寿命が長くな
り、ステンレスを使用することによりオゾンの生成効率
と長寿命化と加工性のバランスのとれた高圧電極を可能
にした。
【0019】
【発明の実施の形態】図1は、本発明のオゾン発生体の
断面を示す図である。
断面を示す図である。
【0020】図1のオゾン発生体において、ガラスやセ
ラミックスなどの誘電体材料からなる円筒3と、該誘電
体材料からなる円筒3の内部に配置される高電圧電極棒
1と、前記誘電体材料からなる円筒3の外部に配置され
金属材料からなる外部電極6とは、両端に設けられた軸
押さえ部材10、11に、パッキンなどを介して図示し
ていない押し付け手段によって押し付けられて支持され
ている。
ラミックスなどの誘電体材料からなる円筒3と、該誘電
体材料からなる円筒3の内部に配置される高電圧電極棒
1と、前記誘電体材料からなる円筒3の外部に配置され
金属材料からなる外部電極6とは、両端に設けられた軸
押さえ部材10、11に、パッキンなどを介して図示し
ていない押し付け手段によって押し付けられて支持され
ている。
【0021】軸押さえ部材10には、オゾン発生体の外
部より原料ガスの酸素を導入する酸素導入口12が、軸
押さえ部材11には、オゾン化された酸素をオゾン発生
体の外部へ取り出すオゾン化酸素取り出し口13が設け
られている。また、軸押さえ部材10には、導入された
酸素をオゾン発生体内部へ導くための第一の導入経路手
段14が形成され、軸押さえ部材11には、オゾン化さ
れた酸素をオゾン発生体内部からオゾン化酸素取り出し
口13へ導くための第一の取り出し経路手段15が形成
されている。軸押さえ部材10および11の材料には、
テフロン樹脂が適している。
部より原料ガスの酸素を導入する酸素導入口12が、軸
押さえ部材11には、オゾン化された酸素をオゾン発生
体の外部へ取り出すオゾン化酸素取り出し口13が設け
られている。また、軸押さえ部材10には、導入された
酸素をオゾン発生体内部へ導くための第一の導入経路手
段14が形成され、軸押さえ部材11には、オゾン化さ
れた酸素をオゾン発生体内部からオゾン化酸素取り出し
口13へ導くための第一の取り出し経路手段15が形成
されている。軸押さえ部材10および11の材料には、
テフロン樹脂が適している。
【0022】図1に示される実施の形態においては、外
部から導入された酸素は、誘電体材料からなる円筒3と
外部電極6とに挟まれる第一の空間5のみを通過するよ
うな構成になっている。
部から導入された酸素は、誘電体材料からなる円筒3と
外部電極6とに挟まれる第一の空間5のみを通過するよ
うな構成になっている。
【0023】高電圧電極棒1は、好ましくは金属材料か
らなり、配線8を介して外部の高周波高電圧電源9に接
続されている。高電圧電極棒1には、任意の間隔に導電
状態で、複数枚の金属製円板2が取り付けられている。
金属製円板2の一例をあげれば、材料は、タングステン
やチタンやステンレスなどの金属材料で、例えば板厚み
0.5mm、直径40mmの円板で、4mm間隔で高電
圧電極棒1に数十枚配置される。
らなり、配線8を介して外部の高周波高電圧電源9に接
続されている。高電圧電極棒1には、任意の間隔に導電
状態で、複数枚の金属製円板2が取り付けられている。
金属製円板2の一例をあげれば、材料は、タングステン
やチタンやステンレスなどの金属材料で、例えば板厚み
0.5mm、直径40mmの円板で、4mm間隔で高電
圧電極棒1に数十枚配置される。
【0024】金属製円板2はその外周部に、図2に示す
ような複数の切り込み加工がなされている。例えば、直
径40mmの円板に対して、切り込みの深さ2mmで凸
部の頂部の幅が3mmで、凹部の底部の幅が2mm程度
である。凹凸の数は数十あり、例えば、20から40個
程度である。図2の例では、凸部の形状が四辺形である
が、これに限られるものではなく、三角形や多角形や円
弧や針状および任意の形状が可能である。
ような複数の切り込み加工がなされている。例えば、直
径40mmの円板に対して、切り込みの深さ2mmで凸
部の頂部の幅が3mmで、凹部の底部の幅が2mm程度
である。凹凸の数は数十あり、例えば、20から40個
程度である。図2の例では、凸部の形状が四辺形である
が、これに限られるものではなく、三角形や多角形や円
弧や針状および任意の形状が可能である。
【0025】外部電極6は、ステンレスなどの金属材料
からなり、配線7を介して接地され、その外周部に冷却
用の放熱フィンを備えている。
からなり、配線7を介して接地され、その外周部に冷却
用の放熱フィンを備えている。
【0026】オゾン発生体の外部より酸素が、酸素導入
口12より導入され、軸押さえ部材10内の第一の導入
経路手段14より第一の空間5に導かれる。第一の空間
5は、配線8と高電圧電極棒1とを介して外部の高周波
高電圧電源9より高周波高電圧が供給されている金属製
円板2と、配線7を介して接地された外部電極6とによ
り、無声放電が発生している。導入された酸素がこの第
一の空間5を通過することによってオゾン化される。オ
ゾン化された酸素は、軸押さえ部材11内の第一の取り
出し経路手段15を通りオゾン化酸素取り出し口13か
ら、オゾン発生体の外部へ取り出される。
口12より導入され、軸押さえ部材10内の第一の導入
経路手段14より第一の空間5に導かれる。第一の空間
5は、配線8と高電圧電極棒1とを介して外部の高周波
高電圧電源9より高周波高電圧が供給されている金属製
円板2と、配線7を介して接地された外部電極6とによ
り、無声放電が発生している。導入された酸素がこの第
一の空間5を通過することによってオゾン化される。オ
ゾン化された酸素は、軸押さえ部材11内の第一の取り
出し経路手段15を通りオゾン化酸素取り出し口13か
ら、オゾン発生体の外部へ取り出される。
【0027】図3に、本発明のオゾン発生体を用いた場
合の、金属製円板2の外周部の切り込み加工の凹凸の数
と、オゾン発生量との測定結果を示す。
合の、金属製円板2の外周部の切り込み加工の凹凸の数
と、オゾン発生量との測定結果を示す。
【0028】ここで、用いた外部の高周波高電圧電源
は、出力電圧10KVで出力電流30mAの電源であ
る。酸素導入口12を通り外部からオゾン発生体内部へ
導入される酸素の流量は、2L/minである。オゾン
発生体の長さは、200mmであり、金属製円板2が高
電圧電極棒1に取り付けられている範囲は150mmで
ある。酸素が通過する誘電体材料からなる円筒3と外部
電極6との間の第一の空間5の間隔は、1mmである。
金属製円板の数は32枚である。
は、出力電圧10KVで出力電流30mAの電源であ
る。酸素導入口12を通り外部からオゾン発生体内部へ
導入される酸素の流量は、2L/minである。オゾン
発生体の長さは、200mmであり、金属製円板2が高
電圧電極棒1に取り付けられている範囲は150mmで
ある。酸素が通過する誘電体材料からなる円筒3と外部
電極6との間の第一の空間5の間隔は、1mmである。
金属製円板の数は32枚である。
【0029】図3において、従来のオゾン発生体のデー
タは、高周波高電圧の出力電力や酸素流量などの他の条
件は本発明のオゾン発生体と同じ場合のデータであり、
オゾン発生量は7[g/Hr]であった。本発明のオゾ
ン発生体のデータは外周部の切り込みによる凹凸の数を
0、20、30、40とした時のデータであり、それぞ
れオゾン発生量は9、10、20、15[g/Hr]で
あった。なお、切り込み加工の凹部の深さ2mmおよび
凹部の幅2mmは、それぞれの場合において共通であ
る。なお切り込みによる凹凸の数が0とは、切り込みの
ない直径40mmの円板の場合である。
タは、高周波高電圧の出力電力や酸素流量などの他の条
件は本発明のオゾン発生体と同じ場合のデータであり、
オゾン発生量は7[g/Hr]であった。本発明のオゾ
ン発生体のデータは外周部の切り込みによる凹凸の数を
0、20、30、40とした時のデータであり、それぞ
れオゾン発生量は9、10、20、15[g/Hr]で
あった。なお、切り込み加工の凹部の深さ2mmおよび
凹部の幅2mmは、それぞれの場合において共通であ
る。なお切り込みによる凹凸の数が0とは、切り込みの
ない直径40mmの円板の場合である。
【0030】図3の測定結果より、金属製円板2の外周
部の切り込みによる凹凸の数が30の場合に、オゾン発
生量は最大を示し、従来のオゾン発生体と比べると約3
倍の量のオゾンを発生できることが判った。
部の切り込みによる凹凸の数が30の場合に、オゾン発
生量は最大を示し、従来のオゾン発生体と比べると約3
倍の量のオゾンを発生できることが判った。
【0031】さらに、板厚み0.5mm程度のタングス
テンやチタンやステンレスなどの金属製円板2を高圧電
極として用いることによって、従来のオゾン発生体と比
較して、高圧電極の長寿命化が達成できた。
テンやチタンやステンレスなどの金属製円板2を高圧電
極として用いることによって、従来のオゾン発生体と比
較して、高圧電極の長寿命化が達成できた。
【0032】別の実施の形態の例を、図4に示す。
【0033】この実施形態では、酸素の通過する空間
を、誘電体材料からなる円筒23と外部電極26とに挟
まれる第一の空間25だけではなく、誘電体材料からな
る円筒23と高電圧電極棒21および金属製円板からな
る高圧電極22とに挟まれる第二の空間24をも用いる
ことによって、更にオゾンの発生量を増加させることを
可能とする実施形態である。軸押さえ部材30には、酸
素導入口32から第一の空間25に酸素を導くための第
一の導入経路手段34と、第二の空間24に酸素を導く
ための第二の導入経路手段36とが形成されている。軸
押さえ部材31には、第一の空間25からオゾン化され
た酸素をオゾン化酸素取り出し口33へ導くための第一
の取り出し経路手段35と、第二の空間24からオゾン
化された酸素をオゾン化酸素取り出し口33へ導くため
の第二の導入経路手段37とが形成されている。他の構
成要素は、図1の実施形態と同じである。
を、誘電体材料からなる円筒23と外部電極26とに挟
まれる第一の空間25だけではなく、誘電体材料からな
る円筒23と高電圧電極棒21および金属製円板からな
る高圧電極22とに挟まれる第二の空間24をも用いる
ことによって、更にオゾンの発生量を増加させることを
可能とする実施形態である。軸押さえ部材30には、酸
素導入口32から第一の空間25に酸素を導くための第
一の導入経路手段34と、第二の空間24に酸素を導く
ための第二の導入経路手段36とが形成されている。軸
押さえ部材31には、第一の空間25からオゾン化され
た酸素をオゾン化酸素取り出し口33へ導くための第一
の取り出し経路手段35と、第二の空間24からオゾン
化された酸素をオゾン化酸素取り出し口33へ導くため
の第二の導入経路手段37とが形成されている。他の構
成要素は、図1の実施形態と同じである。
【0034】
【発明の効果】本発明により、オゾン化される酸素の量
を増加させ、高濃度オゾンを高収率を得ることができる
とともに、オゾン発生体の長寿命化を達成できるオゾン
発生体を提供することができる。更に、製作が容易であ
るため、オゾン発生体の小型化あるいは大型化ともに可
能なオゾン発生体を提供することができる。
を増加させ、高濃度オゾンを高収率を得ることができる
とともに、オゾン発生体の長寿命化を達成できるオゾン
発生体を提供することができる。更に、製作が容易であ
るため、オゾン発生体の小型化あるいは大型化ともに可
能なオゾン発生体を提供することができる。
【図1】本発明のオゾン発生体の断面図
【図2】本発明の金属製円板の平面図
【図3】本発明のオゾン発生体を用いた場合の、金属製
円板の外周部の凹凸の数によるオゾン発生量のデータ
円板の外周部の凹凸の数によるオゾン発生量のデータ
【図4】本発明の別の実施形態の図
【図5】従来のオゾン発生体の断面図
1、 高電圧電極棒 2、 金属製円板 3、 誘電体材料からなる円筒 5、 第一の空間 6、 外部電極 7、8、 配線 9、 高周波高電圧電源 10、11、 軸押さえ部材 12、 酸素導入口 13、 オゾン化酸素取り出し口 14、 第一の導入経路手段 15、 第一の取り出し経路手段 24、 第二の空間 25、 第一の空間 34、 第一の導入経路手段 35、 第一の取り出し経路手段 36、 第二の導入経路手段 37、 第二の取り出し経路手段
Claims (4)
- 【請求項1】 高電圧電極棒に取り付けた複数の金属製
円板からなる高圧電極と、該高圧電極を取り囲む誘電体
材料からなる円筒と、該円筒を取り囲む金属材料からな
る外部電極と、該外部電極と前記円筒の間にあって酸素
が通過する第一の空間と、該空間に外部より酸素を導入
するための第一の導入経路手段と、該空間からオゾン化
した酸素を外部に取り出すための第一の取り出し経路手
段と、前記高圧電極に高周波高電圧を加える手段と、前
記外部電極を接地する手段とからなるオゾン発生体であ
って、前記金属製円板はその外周部に複数の切り込み加
工が施されていることを特徴とするオゾン発生体。 - 【請求項2】 前記金属製円板の外周部に施された複数
の切り込み加工の凹凸の位置が、該金属製円板と隣接す
る金属製円板の外周部に施された複数の切り込み加工の
凹凸の位置と互いにずれるように配置されいることを特
徴とする請求項1に記載のオゾン発生体。 - 【請求項3】 前記高圧電極と前記誘電体材料からなる
円筒との間にあって酸素が通過する第二の空間と、該空
間に外部より酸素を導入するための第二の導入経路手段
と、該空間からオゾン化した酸素を外部に取り出すため
の第二の取り出し経路手段とをさらに備えていることを
特徴とする請求項1または2に記載のオゾン発生体。 - 【請求項4】 前記金属製円板の材料が、タングステ
ン、チタンあるいはステンレスのいずれかであることを
特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のオゾ
ン発生体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8300631A JPH10139404A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | オゾン発生体 |
PCT/JP1997/003990 WO1998021144A1 (fr) | 1996-11-12 | 1997-10-31 | Generateur d'ozone |
CN97191660A CN1208393A (zh) | 1996-11-12 | 1997-10-31 | 臭氧发生器 |
EP97909722A EP0873968A4 (en) | 1996-11-12 | 1997-10-31 | OZONE GENERATOR |
KR1019980705080A KR19990076952A (ko) | 1996-11-12 | 1997-10-31 | 오존 발생 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8300631A JPH10139404A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | オゾン発生体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10139404A true JPH10139404A (ja) | 1998-05-26 |
Family
ID=17887195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8300631A Pending JPH10139404A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | オゾン発生体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0873968A4 (ja) |
JP (1) | JPH10139404A (ja) |
KR (1) | KR19990076952A (ja) |
CN (1) | CN1208393A (ja) |
WO (1) | WO1998021144A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7713495B2 (en) | 2004-04-08 | 2010-05-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Ozone generating apparatus |
WO2010137153A1 (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-02 | 多田電機株式会社 | オゾン発生装置 |
JP2018531876A (ja) * | 2015-08-14 | 2018-11-01 | デ ラ トッレ ストーン,ロバート | 複数酸素同素体ジェネレータ |
JP2020532416A (ja) * | 2017-09-01 | 2020-11-12 | ソムニオ グローバル ホールディングス,エルエルシー | フリーラジカル発生器およびその使用方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7850447B1 (en) * | 2004-07-30 | 2010-12-14 | Wolf Appliance, Inc. | Dual disc electrode |
CN111362230A (zh) * | 2020-05-09 | 2020-07-03 | 苏州莲池环保科技发展有限公司 | 一种低温放电臭氧发生器 |
CN112374468A (zh) * | 2021-01-06 | 2021-02-19 | 浙江金大万翔环保技术有限公司 | 一种板式空气源臭氧发生器 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59195503A (ja) * | 1983-04-18 | 1984-11-06 | Kosumosu:Kk | オゾン発生装置 |
JP3341397B2 (ja) * | 1993-10-14 | 2002-11-05 | 富士電機株式会社 | オゾン発生装置 |
JP3418880B2 (ja) * | 1993-12-13 | 2003-06-23 | 株式会社大真空 | オゾン発生装置 |
JPH0831547A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-02-02 | Meidensha Corp | オゾン発生装置 |
JPH08133705A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-28 | V M C:Kk | オゾナイザーの電極 |
JP2572561B2 (ja) * | 1994-11-24 | 1997-01-16 | 昭宏 稲原 | オゾン発生装置および水槽浄化装置 |
-
1996
- 1996-11-12 JP JP8300631A patent/JPH10139404A/ja active Pending
-
1997
- 1997-10-31 WO PCT/JP1997/003990 patent/WO1998021144A1/ja not_active Application Discontinuation
- 1997-10-31 EP EP97909722A patent/EP0873968A4/en not_active Withdrawn
- 1997-10-31 CN CN97191660A patent/CN1208393A/zh active Pending
- 1997-10-31 KR KR1019980705080A patent/KR19990076952A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7713495B2 (en) | 2004-04-08 | 2010-05-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Ozone generating apparatus |
US8328998B2 (en) | 2004-04-08 | 2012-12-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Ozone generating apparatus |
US8920741B2 (en) | 2004-04-08 | 2014-12-30 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Ozone generating apparatus |
WO2010137153A1 (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-02 | 多田電機株式会社 | オゾン発生装置 |
JPWO2010137153A1 (ja) * | 2009-05-28 | 2012-11-12 | 多田電機株式会社 | オゾン発生装置 |
JP5595391B2 (ja) * | 2009-05-28 | 2014-09-24 | 多田電機株式会社 | オゾン発生装置 |
US9079773B2 (en) | 2009-05-28 | 2015-07-14 | Tada Electric Co., Ltd. | Ozone generating apparatus |
JP2018531876A (ja) * | 2015-08-14 | 2018-11-01 | デ ラ トッレ ストーン,ロバート | 複数酸素同素体ジェネレータ |
JP2020532416A (ja) * | 2017-09-01 | 2020-11-12 | ソムニオ グローバル ホールディングス,エルエルシー | フリーラジカル発生器およびその使用方法 |
US11478771B2 (en) | 2017-09-01 | 2022-10-25 | Somnio Global Holdings, Llc | Free radical generator and methods of use |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19990076952A (ko) | 1999-10-25 |
EP0873968A4 (en) | 1999-02-10 |
WO1998021144A1 (fr) | 1998-05-22 |
EP0873968A1 (en) | 1998-10-28 |
CN1208393A (zh) | 1999-02-17 |
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