JPH1012705A - 基板配列変換方法ならびに基板配列変換装置およびそれを用いた基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板を破損することがなく、フェイス面同士
またはバック面同士を対向させる２キャリアの基板配列
変換処理を行うことができる小型の基板配列変換装置を
提供する。 【解決手段】 第４基板位置ＷＰ４において待機基板列
は半数基板チャック１５により挟持され、残存基板列は
反転プッシャー１３の降下により搬送キャリアＴＣ内に
収納されて第１搬送部１２により第１停止位置Ｐ１に移
動され、反転プッシャー１３により突き上げられて第２
基板位置ＷＰ２において反転される。その後残存基板列
は第１停止位置Ｐ１の搬送キャリアＴＣ内に戻されて第
２停止位置Ｐ２に移動した後に昇降プッシャー１４によ
って突き上げられて待機基板列のそれぞれの基板の間に
挿入される。その後、全基板列は予め第２停止位置Ｐ２
に位置している処理キャリアＰＣに収納されて第２搬送
部１７によって第３停止位置Ｐ３に戻る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、複数の基板（液
晶用ガラス基板、半導体ウエハ等）からなる基板列を一
部の基板の向きを反転させることによって基板のフェイ
ス面（鏡面）同士またはバック面同士を対向させた配列
に変換する基板配列変換方法ならびに基板配列変換装置
およびそれを用いた基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から用いられている複数の基板表面
に薄膜を形成させるＣＶＤ装置や、洗浄液等の処理液を
貯留した処理槽に複数の基板を浸漬して基板に処理を行
う基板処理装置においては、それらの複数の基板を素子
パターンが形成されるフェイス面同士、または、フェイ
ス面の裏側であるバック面同士を対向させて、互いにそ
の面が揃うように起立整列した状態（以下「フェイス面
対向配列」という）にすることがある。

【０００３】そして、このように基板を配列させる技術
としては特開平２−１８４０４５号公報および実公昭６
２−９７２７号公報に開示されたものなどが知られてい
る。以下、前者を例に説明する。図８はこの従来装置の
側面図である。なお、図８では水平面をＸ−Ｙ面とし、
鉛直方向をＺ方向とする３次元座標系Ｘ−Ｙ−Ｚが定義
されている。

【０００４】この装置では、まずキャリア９２０内に収
容された基板Ｗをキャリア９２０の下部に設けられたウ
エハ押上回転装置９６０の押上板９６２によって突き上
げ、支持する。つぎに、その支持された基板Ｗをチャッ
ク装置９４０のチャック９４８によって１枚おきに挟持
し、その状態でチャック９４８を上昇させる。これによ
りその挟持された基板Ｗを上昇させて、挟持されていな
い基板Ｗの間から抜き取る。その後、チャック装置９４
０がレール９５０上をＹ軸方向に移動することによりチ
ャック９４８も基板Ｗの並び方向であるＹ軸方向に移動
しキャリア９２０の上方から退避する。

【０００５】つぎに、押上板９６２上に残された基板Ｗ
は押上板９６２が９８０度回動することにより、フェイ
ス面が向いていた方向にバック面が向くように回動す
る。そして、チャック装置９４０がＹ軸の前述の移動方
向と逆向きに移動することによって、基板Ｗを挟持した
チャック９４８がキャリア９２０上方に来た後、降下す
る。さらに、押上板９６２が上昇することで、押上板９
６２上に支持された複数の基板Ｗの隙間にチャック９４
８によって挟持された基板Ｗが挿入される。その後、チ
ャック９４８を開いて挟持していた基板Ｗを押上板９６
２に支持することによって、フェイス面同士またはバッ
ク面同士が対向した状態に基板Ｗを起立整列させること
ができる。

【０００６】また、フェイス面対向配列への変換は行わ
ないが、基板列を搬送する際に収納する搬送キャリアと
基板列をその基板処理の際に収納する処理キャリアとの
間で基板列の移載を２列並行して行う技術（以下「２キ
ャリア処理」という）が特公平６−９５５４８号公報に
示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図８の従来
装置においてチャック９４８が押上板９６２上に支持さ
れた基板Ｗを１枚おきに挟持する際、または、チャック
９４８が挟持した基板Ｗを押上板９６２上の複数の基板
Ｗの隙間に挿入する際に、それらの基板Ｗの並び方向に
チャック９４８を移動させて適切な位置にチャック９４
８が位置するようにその位置決めを行っている。このと
きの位置決め精度が低いとチャック９４８が基板Ｗを挟
持し損ねたり、チャック９４８に挟持された基板Ｗと押
上板９６２上に支持された基板Ｗとが接触するなどして
基板Ｗを破損する恐れがある。

【０００８】また、チャック９４８が抜き取った基板Ｗ
を挟持したまま、押上板９６２上に支持された基板Ｗ上
方から退避するために基板Ｗの並び方向に移動すること
から、その移動分の空間を確保しなければならず、結果
的に装置が大きくなってしまうという問題が生じてい
た。

【０００９】さらに、上記のフェイス面対向配列への移
し替えを２キャリア処理で行うことを考えると、図８に
おいてウエハ押上回転装置９６０のＸ軸の負側にもう一
機のウエハ押上回転装置９６０を設け、さらにチャック
をＸ軸方向にも移動可能とすることによって２キャリア
処理によるフェイス面対向配列への移し替えを行うこと
も考えられるが、その場合には基板を挟持する際にチャ
ック装置９４０のＹ軸方向の位置決めに加えて、アーム
９４６のＸ軸方向の位置決めが必要になり、位置決めの
精度がより悪化することが考えられるとともに、そのた
めの駆動機構を新たに設けねばならずチャック装置９４
０が大型化し、それに従って基板移替え装置全体がさら
に大型化するという問題が生じる。

【００１０】この発明は、従来技術における上述の問題
の克服を意図しており、基板を破損することがなく、フ
ェイス面同士またはバック面同士を対向させる基板配列
変換処理を並列して行うことができる基板配列変換方法
ならびにそれを用いた小型の基板配列変換装置およびそ
れを用いた基板処理装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明の請求項１の方法は、キャリアに収容され
た基板列に含まれる一部の基板の向きを反転させること
によって基板のフェイス面同士またはバック面同士を対
向させた配列へと変換する基板配列変換方法であって、
前記基板列が位置する挟持位置において当該基板列のう
ちの一部の基板である待機基板をチャックによって挟持
する挟持工程と、前記基板列のうちの前記待機基板以外
の基板を残存基板とし、当該残存基板を前記待機基板と
干渉しない退避位置に退避させる退避工程と、前記退避
位置において前記残存基板をそのフェイス面とバック面
の向きが入れ替わるように反転する反転工程と、前記残
存基板と前記待機基板とをあわせて再び一組の基板列と
する整列工程と、を備える。

【００１２】また、この発明の請求項２の方法は、請求
項１の基板配列変換方法において、前記退避工程が前記
残存基板を挟持位置から降下させてキャリアに収納した
後に当該キャリアとともに水平移動させ、その後に前記
残存基板を当該キャリア外に上昇させることによって前
記退避位置に退避させるものであり、さらに、前記整列
工程が、前記反転工程の後の前記残存基板を前記キャリ
アに収納した後に前記キャリアとともに水平移動させ、
さらにその後に前記残存基板を再び上昇させて前記挟持
位置に戻すことによって前記残存基板と前記待機基板と
をあわせて再び一組の基板列とするものであることを特
徴とする。

【００１３】また、この発明の請求項３の装置は、キャ
リアに収容された基板列に含まれる一部の基板の向きを
反転させることによって基板のフェイス面同士またはバ
ック面同士を対向させた配列へと変換する基板配列変換
装置であって、略水平方向に離れた第１位置と第２位置
との間で前記キャリアを搬送するキャリア搬送手段と、
前記キャリア搬送手段によって前記第１位置から前記第
２位置へと搬送された前記キャリアから基板を突き上げ
る基板突き上げ手段と、前記基板突き上げ手段によって
突き上げられた高さにおいて、前記基板列のうちの一部
の基板を挟持する第１チャックと、前記キャリア搬送手
段によって前記第２位置から前記第１位置に前記キャリ
アが戻されたときに、前記キャリアから残存基板を突き
上げて反転させた後、その反転後の残存基板を下降させ
て再び前記キャリアに収容する昇降反転手段と、前記キ
ャリア搬送手段によって前記第１位置から前記第２位置
に前記キャリアが再び搬送され、前記キャリアから前記
反転後の残存基板が前記基板突き上げ手段によって突き
上げられたときに、前記反転後の残存基板および前記一
部の基板のうちの少なくとも前者を前記高さで挟持し、
それによって前記基板列のフェイス面とバック面の向き
が入れ替わった変換済基板列を得る第２チャックと、を
備える。

【００１４】また、この発明の請求項４の装置は、請求
項３の基板配列変換装置において、前記第２位置を挟ん
で前記第１位置から略水平方向に離れた第３位置が定義
されており、前記第２位置と前記第３位置との間で別の
キャリアを搬送する別キャリア搬送手段、をさらに備
え、前記昇降手段によって前記変換済基板列が下降して
前記別のキャリアに収容された後に、前記別キャリア搬
送手段によって前記第３の位置まで前記変換済基板列が
搬送されることを特徴とする。

【００１５】また、この発明の請求項５の装置は、請求
項３または請求項４の基板配列変換装置を複数含む基板
移替え部と、前記基板列に属する各基板に対して処理を
施す基板処理部と、前記基板移替え部と前記基板処理部
との間において前記各基板を搬送する基板搬送部と、を
備える。

【００１６】

【発明の実施の形態】

【００１７】

【１．実施の形態における機構的構成と装置配列】図１
はこの発明の第１の実施の形態の基板処理装置１の平面
的な構成を示す図であり、基板処理装置１の各部を模式
的に表わしている。以下、この図１を用いてこの基板処
理装置１の装置配列を説明する。なお、図１〜図３にお
いては水平面をＸ−Ｙ面とし、鉛直方向をＺ方向とする
３次元座標系Ｘ−Ｙ−Ｚが定義されている。

【００１８】この実施の形態の基板処理装置１は主にロ
ーダ側基板移替え部１０、ローダ側搬送ロボット２０、
ローダ側バッファ３０、処理キャリア搬送ロボット４
０、第１処理槽５０、第２処理槽６０、アンローダ側バ
ッファ７０、アンローダ側搬送ロボット８０およびアン
ローダ側基板移替え部９０からなっている。以下、これ
らの各部の概略構成および動作を説明していく。

【００１９】ローダ側基板移替え部１０は後に詳述する
基板配列変換装置をＹ軸の正側および負側に並べた構成
になっている。そして、オペレータにより整列した状態
の未処理の基板列を収納した搬送キャリアＴＣがローダ
側基板移替え部１０に投入され、その基板列はフェイス
面対向配列に変換されて処理キャリアＰＣ（別のキャリ
アに相当）に移替えられる。

【００２０】ローダ側搬送ロボット２０は処理キャリア
ＰＣを挟持する２本の開閉可能なアームを備えるととも
に、矢符ＡＡ，ＡＢに示すようにＸ軸方向に移動可能に
構成されている。そして、ローダ側基板移替え部１０で
移替えられた未処理基板列を収納した処理キャリアをＹ
軸方向に並んだ２つ同時に挟持して搬送し、次のローダ
側バッファ３０に渡す。

【００２１】ローダ側バッファ３０はその下方に図示し
ないキャリア送り機構を備えている。そして、ローダ側
搬送ロボット２０により渡された処理キャリアＰＣを順
次Ｘ軸方向に移動させる。

【００２２】処理キャリア搬送ロボット４０はローダ側
搬送ロボット２０と同様に矢符ＡＣ，ＡＤのように移動
可能に構成されている。そして、ローダ側バッファ３０
のＸ軸の正側の端にＹ軸方向に並んで位置する２つの処
理キャリアＰＣを第１処理槽５０に搬送する。

【００２３】第１処理槽５０は処理キャリアＰＣを２つ
Ｙ軸方向に並べて内部に収納できる大きさの処理槽で、
内部には第１処理液が貯留されている。そして、処理キ
ャリア搬送ロボット４０によって渡された処理キャリア
ＰＣはそこで第１処理液に浸漬され内部の基板列の基板
処理が行われる。

【００２４】第２処理槽６０は第１処理槽５０と同様の
構成の処理槽で内部には第２処理液が貯留されている。
そして、第１処理液による基板処理が終了した処理キャ
リアＰＣは処理キャリア搬送ロボット４０により第１処
理槽５０から取り出され、第２処理槽６０内に貯留され
た第２処理液に浸漬され、内部の基板列に対して第２処
理液による基板処理が行われる。

【００２５】アンローダ側バッファ７０はローダ側バッ
ファ３０と同様の構成である。そして、Ｘ軸の負側から
投入された処理キャリアＰＣを順次Ｘ軸の正方向に移動
する。

【００２６】アンローダ側搬送ロボット８０はローダ側
搬送ロボット２０および処理キャリア搬送ロボット４０
と同様に矢符ＡＥ，ＡＦのように移動可能に構成されい
る。そして、アンローダ側バッファ７０のＸ軸の正側の
端のＹ軸方向に並んだ２つの処理キャリアＰＣを挟持し
ながら搬送し、アンローダ側基板移替え部９０に投入す
る。

【００２７】アンローダ側基板移替え部９０はローダ側
基板移替え部１０と同様の構成である。そして、Ｘ軸の
負側から投入された処理キャリアＰＣ内のフェイス面対
向配列された基板列をもとの同一方向にフェイス面が揃
った状態に整列し直してＸ軸の正側に用意された搬送キ
ャリアＴＣに収納する。そして最終的に、基板処理後の
基板列が収納された搬送キャリアＴＣはオペレーターに
より搬出される。

【００２８】以上がこの実施の形態の基板処理装置１の
構成および動作である。

【００２９】つぎに、要部についてさらに詳細に説明す
る。

【００３０】図２はローダ側基板移替え部１０の斜視図
である。また、図３はローダ側基板移替え部１０の正面
断面図である。以下、これらの図を用いつつ、ローダ側
基板移替え部１０の装置配列を説明する。

【００３１】このローダ側基板移替え部１０は筐体１１
の内部に第１搬送部１２、反転プッシャー１３、昇降プ
ッシャー１４、半数基板チャック１５、全基板チャック
１６、第２搬送部１７（別キャリア搬送手段に相当）か
らなる基板配列変換装置をＹ軸の正側及び負側に同様の
構成で１機ずつ備えている。以下Ｙ軸の負側の基板配列
変換装置のみについて説明していく。なお、図３はロー
ダ側基板移替え部１０のＹ軸の負側の基板配列変換装置
に対する断面図である。

【００３２】筐体１１はＹ軸の正側および負側の側面が
凸字状をした筐体であり、上面には搬送キャリアＴＣお
よび処理キャリアＰＣが移動するための開口１１ｈ，１
１ｈを備えている。また、仕切り板１１１は開口１１
ｈ，１１ｈの中間の内部のＸ−Ｚ面内に設けられてお
り、その両面に反転プッシャー１３，１３および昇降プ
ッシャー１４，１４が設けられている。

【００３３】第１搬送部１２において、搬送テーブル１
２１は中央に後述のガイド１３１が通り抜けられる図示
しない開口が設けられた平板である。そして、その下面
に設けられた支持部材１２２により水平に保持されると
ともに上方には搬送キャリアＴＣを載置、固定すること
ができる。

【００３４】また、搬送テーブル１２１はＹ軸の正側お
よび負側の側面において、筐体１１の上面の開口１１
ｈ，１１ｈの内側でＹ軸の正側および負側に設けられた
図示しないレールに嵌合されＸ軸の正負方向に移動自在
となっている。そして、エアシリンダ１２５が伸縮する
とシャフト１２４をＸ軸の正負方向に移動させ、その駆
動力がシャフト１２３および支持部材１２２を通じて搬
送テーブル１２１に伝えられることによって、搬送テー
ブル１２１および搬送キャリアＴＣは水平移動する。こ
れにより第１搬送部１２は搬送キャリアＴＣを第１停止
位置Ｐ１（第１位置に相当）と第２停止位置Ｐ２（第２
位置に相当）の間において搬送する。

【００３５】反転プッシャー１３において、ガイド１３
１は、全基板数と同じ２６本の溝が設けられた弾性部材
が上面に設けられ、その上面において基板列を支持す
る。また、その下面にはシャフト１３２が一端において
付設され、ガイド１３１を支持している。また、シャフ
ト１３２の他端にはロータリーアクチュエータ１３３が
設けらている。その駆動によりシャフト１３２を通じて
ガイド１３１を鉛直軸を中心として１８０度回動する。
このガイド１３１の回動によりその上面に支持された基
板列を矢符ＡＧのように回動し反転する。

【００３６】また、ロータリーアクチュエータ１３３に
はスライド部１３４が設けられている。そして、スライ
ド部１３４は鉛直に設けられたレール１３５に嵌合して
おり、矢符ＡＨのように昇降自在となっている。また、
筐体１１のＹ軸方向の中央に設けられた仕切り板１１１
にはボールネジ１３６が鉛直に設けられている。さら
に、スライド部１３４は、その接続部１３４ｃにおいて
ボールネジ１３６に螺合し、モータ１３７の駆動でボー
ルネジ１３６が鉛直軸を中心に回転することによって昇
降駆動される。この昇降駆動によってスライド部１３４
に接続されたロータリーアクチュエータ１３３、シャフ
ト１３２、ガイド１３１およびそれに支持された基板列
が第１基板位置ＷＰ１と退避位置に相当する第２基板位
置ＷＰ２の間を昇降移動される。

【００３７】昇降プッシャー１４は回動の駆動機構がな
く、ガイド１４１が回動しないこと以外はほぼ反転プッ
シャー１３と同様の構成であり、ガイド１４１、シャフ
ト１４２、レール１４３、スライド部１４４、ボールネ
ジ１４５、モータ１４６からなっている。そして、ガイ
ド１４１上に基板列を整列した状態で支持しつつ、矢符
ＡＩのように昇降することにより基板列をキャリア内の
第３基板位置ＷＰ３から第５基板位置ＷＰ５に突き上げ
たり、逆にキャリア内に収納したりする。

【００３８】半数基板チャック１５は図４および図５に
示されている。図４は半数基板チャック１５の３方向の
投影図であり、図４（ａ）は正面図を、図４（ｂ）は側
面図を、図４（ｃ）は平面図を表わしている。また、図
５は半数基板チャック１５および全基板チャック１６の
駆動機構を示す図である。以下、これらの図を用いて説
明していく。

【００３９】なお半数基板チャック１５の駆動機構がＹ
軸負側の筐体１１の凸部分に、全基板チャック１６の駆
動機構はＹ軸正側の筐体１１の凸部分にそれぞれ設けら
れているが、それぞれの駆動機構の位置関係を分かり易
くするために１つの図にて重ね合わせて描いてある。

【００４０】半数基板チャック１５において、図４に示
すように回動軸１５１に取り付けられた半数基板チャッ
ク本体１５２の回動軸１５１の反対側にはガイド１５３
が設けられている。また、図５に示すように回動軸１５
１にはクランク機構１５４が設けられ、さらに、クラン
ク機構１５４の中央にはその一端においてシャフト１５
５が鉛直に設けられ、他端にはエアシリンダ１５６が設
けられている。そして、エアシリンダ１５６の伸縮によ
る駆動力はクランク機構１５４を伝わって回動軸１５１
を回動し、本体１５２およびガイド１５３が回動軸１５
１を中心として図３の矢符ＡＪのように回動して基板Ｗ
を挟持位置である第４基板位置ＷＰ４において挟持す
る。

【００４１】さらに、図４に示すようにガイド１５３に
は基板挟持部１５３ｇ，１５３ｇが設けられている。基
板挟持部１５３ｇには交互に深さの異なる挟持溝ＩＤお
よび非挟持溝ＮＤが設けられている。そして、浅い方の
挟持溝ＩＤには弾性部材が設けられて基板Ｗの周縁が嵌
合するように形成されている。また、深い方の非挟持溝
ＮＤには弾性部材は設けられておらず、半数基板チャッ
ク１５が閉じた際にも基板Ｗと干渉しないように形成さ
れている。ガイド１５３がこのように形成されているた
め、半数基板チャック１５が閉じた際に第４基板位置Ｗ
Ｐ４に位置する基板列のうちのほぼ１枚おきの半数の基
板列である待機基板列ＷＢを挟持することができる。

【００４２】全基板チャック１６は図５および図６に示
されている。図６は全基板チャック１６の３方向の投影
図であり、図６（ａ）は正面図を、図６（ｂ）は側面図
を、図６（ｃ）は平面図を表わしている。以下、これら
の図を用いて説明していく。

【００４３】全基板チャック１６は半数基板チャック１
５とほぼ同様の構成であり、回動軸１６１、本体１６
２、ガイド１６３、クランク機構１６４、シャフト１６
５、エアシリンダ１６６からなっている。また、ガイド
１６３にも基板挟持部１６３ｇ，１６３ｇが設けられて
いるが、半数基板チャック１５と異なっているのは基板
挟持部１６３ｇ，１６３ｇの弾性部材表面には基板列の
基板全てを１枚ずつ挟持するため、前述の挟持溝ＩＤの
みが設けられている。そのため全基板チャック１６が閉
じた際に第５基板位置ＷＰ５に位置する全基板列ＷＡを
挟持することができる。

【００４４】第２搬送部１７は第１搬送部１２と同様の
構成であり、搬送テーブル１７１、支持部材１７２、シ
ャフト１７３、シャフト１７４、エアシリンダ１７５か
らなっている。この第２搬送部１７はＹ−Ｚ面について
ほぼ対称の構成になっている。そして処理キャリアＰＣ
を第２停止位置Ｐ２と第３停止位置Ｐ３の間で搬送す
る。

【００４５】以上がローダ側基板移替え部１０のＹ軸の
負側の基板配列変換装置の構成であるが、Ｙ軸の正側の
基板配列変換装置も全く同様の構成である。また、アン
ローダ側基板移替え部９０もローダ側基板移替え部１０
と全く同様の構成である。ただし、アンローダ側基板移
替え部９０では第１搬送部１２に処理キャリアＰＣを、
第２搬送部１７に搬送キャリアＴＣをセットする点が異
なっている。

【００４６】

【２．基板配列変換装置における処理手順】図７は基板
配列変換装置の処理手順を示す図である。以下、この図
７を用いてこの基板配列変換装置における基板配列変換
処理の処理手順を説明する。なお、以下に示す処理は図
示しない制御部による所定のタイミング制御のもとに行
われる。

【００４７】初期状態として図７（ａ）に示すように、
搬送キャリアＴＣは第１停止位置Ｐ１に、処理キャリア
ＰＣは第３停止位置Ｐ３に位置している。そして、全基
板列ＷＡは搬送キャリアＴＣ内に収納されて第１基板位
置ＷＰ１に位置している。また、この状態では全基板列
ＷＡはフェイス面Ｆが全てＹ軸の負方向に向いているも
のとする。

【００４８】つぎに、図７（ｂ）に示すように、第１搬
送部１２の移動に従って搬送キャリアＴＣがＸ軸の正方
向に移動し第２停止位置Ｐ２に位置し、全基板列ＷＡは
第３基板位置ＷＰ３に位置する。

【００４９】つぎに、図７（ｃ）に示すように、昇降プ
ッシャー１４の上昇によって全基板列ＷＡが上昇し、第
４基板位置ＷＰ４に位置した後に半数基板チャック１５
が閉じて前述のようにほぼ半数の待機基板列ＷＢを挟持
する。

【００５０】つぎに、図７（ｄ）に示すように、昇降プ
ッシャー１４が降下することによって半数基板チャック
１５によって挟持されなかった残存基板列ＷＣも降下す
る。これによって、残存基板列ＷＣは第２停止位置Ｐ２
に位置していた搬送キャリアＴＣに収納され、第３基板
位置ＷＰ３に位置する。

【００５１】つぎに、図７（ｅ）に示すように、第１搬
送部１２の移動に従って搬送キャリアＴＣがＸ軸の負方
向に移動した後に第１停止位置Ｐ１で停止し、残存基板
列ＷＣは第１基板位置ＷＰ１に位置する。

【００５２】つぎに、図７（ｆ）に示すように、反転プ
ッシャー１３の上昇によって残存基板列ＷＣも上昇す
る。そして残存基板列ＷＣが第２基板位置ＷＰ２に位置
した後に反転プッシャー１３が回動して残存基板列ＷＣ
のはＹ軸の負方向にはバック面Ｂが向いた状態になる。

【００５３】つぎに、図７（ｇ）に示すように、反転プ
ッシャー１３の降下に従って残存基板列ＷＣも降下し、
第１停止位置Ｐ１に位置していた搬送キャリアＴＣに収
納される。

【００５４】つぎに、図７（ｈ）に示すように、第１搬
送部１２の移動に従って搬送キャリアＴＣがＸ軸の正方
向に移動して第２停止位置Ｐ２で停止し、残存基板列Ｗ
Ｃは第３基板位置ＷＰ３に位置する。

【００５５】つぎに、図７（ｉ）に示すように、昇降プ
ッシャー１４の上昇に従って残存基板列ＷＣも上昇し、
第４基板位置ＷＰ４に位置していた待機基板列ＷＢの間
に挿入されて待機基板列ＷＢと残存基板列ＷＣは再び１
組の全基板列ＷＡとなる。その後半数基板チャック１５
は閉じたままで全基板チャック１６が閉じた後昇降プッ
シャー１４がやや降下することにより全基板列ＷＡのう
ちの残存基板列ＷＣがやや降下して第５基板位置ＷＰ５
において、全基板チャック１６によって挟持される。

【００５６】つぎに、図７（ｊ）に示すように、第１搬
送部１２の移動に従って搬送キャリアＴＣがＸ軸の負方
向に移動して第１停止位置Ｐ１で停止する。つづいて、
第２搬送部１７の移動に従って処理キャリアＰＣもＸ軸
の負方向に移動して第２停止位置Ｐ２で停止する。

【００５７】昇降プッシャー１４が上昇して第５基板位
置ＷＰ５の残存基板列ＷＣを保持し、さらに上昇して第
４基板位置ＷＰ４の待機基板列ＷＢも保持する。こうし
て全基板列ＷＡは昇降プッシャー１４上に保持される。
そして、全基板列ＷＡが昇降プッシャー１４に保持され
た状態で半数基板チャック１５および全基板チャック１
６を開にする。

【００５８】つぎに、図７（ｋ）に示すように、昇降プ
ッシャー１４の降下に従って全基板列ＷＡも降下して第
２停止位置Ｐ２に位置していた処理キャリアＰＣ内に収
納され、第３基板位置ＷＰ３に位置する。

【００５９】最後に、図７（ｍ）に示すように、第２搬
送部１７の移動に従って処理キャリアＰＣがＸ軸の正方
向に移動して第３停止位置Ｐ３で停止する。これによっ
て基板配列変換処理を終了する。

【００６０】以上において基板配列変換装置の処理手順
を説明してきたが、ローダ側基板移替え部１０はＹ軸の
正側および負側にこの基板配列変換装置を１機ずつ備え
ており、両方の基板配列変換装置で上記の処理をそれぞ
れ並列して行う。その際に、それぞれの処理は完全に同
時並行的に行われるのではなく反転プッシャー１３によ
る残存基板列ＷＣの反転動作のみ両基板配列変換装置で
タイミングをずらしている。これは同時に反転動作を行
うためには両基板配列変換装置における残存基板列ＷＣ
の回動範囲が重ならないようにしなけばならず、そのた
めには両基板配列変換装置の間隔を広くとる必要がある
が、この実施の形態のローダ側基板移替え部１０では装
置の小型化のために互いの基板配列変換装置における残
存基板列ＷＣの回動範囲を互いに重なり合うように近接
して設ける代わりに、反転動作のタイミングを両基板配
列変換装置でずらすことによって互いに干渉しないよう
にしている。

【００６１】また、アンローダ側基板移替え部９０の処
理手順はローダ側基板移替え部１０の処理手順とほぼ同
様で、基板配列変換処理に用いられる処理キャリアＰＣ
と搬送キャリアＴＣが入れ替わっている点のみが異なっ
ている。

【００６２】以上、説明してきたようにこの実施の形態
の基板処理装置１における基板配列変換装置は半数基板
チャック１５および全基板チャック１６は並進移動せ
ず、全基板列ＷＡまたは残存基板列ＷＣの水平移動はキ
ャリアに収納した状態で行う構成であるので、基板搬送
の信頼性が高い。とくに、待機基板列ＷＢの間に残存基
板列ＷＣを挿入する際にも半数基板チャック１５および
全基板チャック１６が並進移動しないのでそれらの位置
決めの必要がなく、待機基板列ＷＢと残存基板列ＷＣと
が互いに接触して破損するといったことがなく、効率の
よい基板配列変換処理を行うことができる。

【００６３】また、半数基板チャック１５および全基板
チャック１６が並進移動しないことにより、２キャリア
処理においても、それらの退避スペースを確保する必要
がないので装置全体を小型化することができる。

【００６４】また、第１搬送部１２、反転プッシャー１
３、昇降プッシャー１４、半数基板チャック１５、全基
板チャック１６、第２搬送部１７は、それぞれ並進動作
については全て２つのポジション間で動作するのみであ
るので、装置の製造段階やメンテナンス時のポジション
調節が容易である。

【００６５】

【３．変形例】この発明は、残存基板列ＷＣを第２基板
位置ＷＰ２で反転する構成に限られるものではなく、半
数基板チャック１５および全基板チャック１６をより高
い位置に設けることにより、第４基板位置ＷＰ４、第５
基板位置ＷＰ５をより高くして第４基板位置ＷＰ４、第
５基板位置ＷＰ５の下方でかつ第２停止位置Ｐ２に位置
するキャリア等より上方において残存基板列ＷＣを反転
した後、待機基板列ＷＢに挿入するなどの構成とするこ
ともできる。

【００６６】また、この発明は全基板チャック１６によ
って全基板列ＷＡの全基板を挟持することのできる構成
に限られるものではなく、半数基板チャック１５により
挟持されなかった残りの残存基板列ＷＣのみを挟持する
チャックを設け、全基板列ＷＡを挟持する際にはその半
分ずつをそれぞれが同時に挟持することによって全部の
基板を挟持するなどの構成としてもよい。

【００６７】また、この発明は半数基板チャック１５の
待機基板列ＷＢを挟持するための第４基板位置ＷＰ４
と、全基板チャック１６の残存基板列ＷＣを挟持するた
めの第５基板位置ＷＰ５とが異なる構成に限られるもの
ではなく半数基板チャック１５と全基板チャック１６が
互いに干渉し合うことがないようにして同一のポジショ
ンでそれぞれが挟持する構成とすることも可能である。

【００６８】また、この発明は、反転プッシャー１３お
よび昇降プッシャー１４の昇降駆動をそれぞれモータ１
３７およびモータ１４４によってボールネジ１３６およ
びボールネジ１４５を回転させて行う構成に限られるも
のではなく、エアシリンダ等によって駆動する構成とし
てもよい。また、逆に第１搬送部１２および第２搬送部
１７の並進駆動もエアシリンダによる構成に限られるも
のではなく、モータ等によるものとしてもよい。

【００６９】さらに、この発明は搬送キャリアＴＣから
処理キャリアＰＣに基板列を移替える構成に限られるも
のではなく取出した基板列をフェイス面対向配列に変換
した後に元のキャリアに戻すなどの構成としてもよい。

【００７０】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１および請
求項２の基板配列変換方法では挟持工程において基板列
のうちの待機基板をチャックによって挟持するととも
に、その基板列のうちの待機基板以外の基板である残存
基板を待機基板と干渉しない退避位置に退避させた後に
反転する構成としたため、挟持基板を挟持したまま基板
の並び方向にチャックが並進移動することがないので、
そのためのスペースを確保する必要がなく、したがって
省スペースのフェイス面対向配列に変換する基板配列変
換処理を行うことができる。

【００７１】また、特に請求項２の基板配列変換方法で
は残存基板を待機基板から退避させる際およびその残存
基板を再び挟持位置に戻す際にその残存基板の水平移動
は、キャリア内に収納した状態で行う構成としたため、
基板搬送の信頼性が高い。

【００７２】また、請求項３および請求項４の基板配列
変換装置ならびに請求項５の基板処理装置では、略水平
方向に離れた第１位置と第２位置との間でキャリアを搬
送するキャリア搬送手段を備え、さらに第２位置におい
てキャリアから基板を突き上げる基板突き上げ手段と、
第２位置から第１位置に戻されたキャリアから残存基板
を突き上げて反転させた後、その反転後の残存基板を下
降させて再び前記キャリアに収容する昇降反転手段とを
別に備える構成であるため、残存基板が退避して反転す
るので待機基板を並進移動する必要がなく、したがっ
て、第１チャックおよび第２チャックが並進移動しなく
てもよいため、第１チャックおよび第２チャックを退避
するスペースが必要ないので、装置を小型化することが
できる。また、同様の理由により第１チャックおよび第
２チャックの位置決めは不要であり、それにより待機基
板と残存基板を合わせる際にも両者が接触して基板を破
損することがなく、効率のよい基板配列変換処理を行う
ことができる。

【００７３】さらに、請求項４の基板配列変換装置およ
び請求項５の基板処理装置では第２位置と、第２位置を
挟んで第１位置から略水平方向に離れた第３位置との間
で別のキャリアを搬送する別キャリア搬送手段を備える
構成であるため、キャリア内の基板列をフェイス面対向
配列に変換した後に別のキャリアに移替えることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施の形態の基板処理装置の
構成を示す図である。

【図２】実施の形態における基板配列変換装置の斜視図
である。

【図３】基板配列変換装置の正面断面図である。

【図４】半数基板チャックの３方向の投影図である。

【図５】半数基板チャックおよび全基板チャックの駆動
機構を示す図である。

【図６】全基板チャックの３方向の投影図である。

【図７】基板配列変換装置の処理手順を示す図である。

【図８】従来装置の側面図である。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 １０ ローダ側基板配列変換部 １２ 第１搬送部 １３ 反転プッシャー １４ 昇降プッシャー １５ 半数基板チャック １６ 全基板チャック １７ 第２搬送部 ９０ アンローダ側基板配列変換部 Ｂ バック面 Ｆ フェイス面 ＰＣ 処理キャリア ＴＣ 搬送キャリア ＷＡ 全基板列 ＷＢ 待機基板列 ＷＣ 残存基板列

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャリアに収容された基板列に含まれる
   一部の基板の向きを反転させることによって基板のフェ
   イス面同士またはバック面同士を対向させた配列へと変
   換する基板配列変換方法であって、 前記基板列が位置する挟持位置において当該基板列のう
   ちの一部の基板である待機基板をチャックによって挟持
   する挟持工程と、 前記基板列のうちの前記待機基板以外の基板を残存基板
   とし、当該残存基板を前記待機基板と干渉しない退避位
   置に退避させる退避工程と、 前記退避位置において前記残存基板をそのフェイス面と
   バック面の向きが入れ替わるように反転する反転工程
   と、 前記残存基板と前記待機基板とをあわせて再び一組の基
   板列とする整列工程と、を備えることを特徴とする基板
   配列変換方法。
2. 【請求項２】 請求項１の基板配列変換方法において、 前記退避工程が前記残存基板を挟持位置から降下させて
   キャリアに収納した後に当該キャリアとともに水平移動
   させ、その後に前記残存基板を当該キャリア外に上昇さ
   せることによって前記退避位置に退避させるものであ
   り、 さらに、前記整列工程が、前記反転工程の後の前記残存
   基板を前記キャリアに収納した後に前記キャリアととも
   に水平移動させ、さらにその後に前記残存基板を再び上
   昇させて前記挟持位置に戻すことによって前記残存基板
   と前記待機基板とをあわせて再び一組の基板列とするも
   のであることを特徴とする基板配列変換方法。
3. 【請求項３】 キャリアに収容された基板列に含まれる
   一部の基板の向きを反転させることによって基板のフェ
   イス面同士またはバック面同士を対向させた配列へと変
   換する基板配列変換装置であって、 略水平方向に離れた第１位置と第２位置との間で前記キ
   ャリアを搬送するキャリア搬送手段と、 前記キャリア搬送手段によって前記第１位置から前記第
   ２位置へと搬送された前記キャリアから基板を突き上げ
   る基板突き上げ手段と、 前記基板突き上げ手段によって突き上げられた高さにお
   いて、前記基板列のうちの一部の基板を挟持する第１チ
   ャックと、 前記キャリア搬送手段によって前記第２位置から前記第
   １位置に前記キャリアが戻されたときに、前記キャリア
   から残存基板を突き上げて反転させた後、その反転後の
   残存基板を下降させて再び前記キャリアに収容する昇降
   反転手段と、 前記キャリア搬送手段によって前記第１位置から前記第
   ２位置に前記キャリアが再び搬送され、前記キャリアか
   ら前記反転後の残存基板が前記基板突き上げ手段によっ
   て突き上げられたときに、前記反転後の残存基板および
   前記一部の基板のうちの少なくとも前者を前記高さで挟
   持し、それによって前記基板列のフェイス面とバック面
   の向きが入れ替わった変換済基板列を得る第２チャック
   と、を備えることを特徴とする基板配列変換装置。
4. 【請求項４】 請求項３の基板配列変換装置において、 前記第２位置を挟んで前記第１位置から略水平方向に離
   れた第３位置が定義されており、 前記第２位置と前記第３位置との間で別のキャリアを搬
   送する別キャリア搬送手段、をさらに備え、 前記昇降手段によって前記変換済基板列が下降して前記
   別のキャリアに収容された後に、前記別キャリア搬送手
   段によって前記第３の位置まで前記変換済基板列が搬送
   されることを特徴とする基板配列変換装置。
5. 【請求項５】 請求項３または請求項４の基板配列変換
   装置を複数含む基板移替え部と、 前記基板列に属する各基板に対して処理を施す基板処理
   部と、 前記基板移替え部と前記基板処理部との間において前記
   各基板を搬送する基板搬送部と、を備えることを特徴と
   する基板処理装置。