JPH10119214A - Metal vapor deposition polyester film for capacitor - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a metal vapor deposition polyester film for a capacitor in which both adhesive properties of a vapor deposition metallic layer and a film and dimensional stability are excellent and high-degree electrical characteristics and moisture resistant heat characteristics are given when the film is in particular used as the dielectric of the capacitor and contribution to enhancement of long-time reliability of the capacitor is can be attained. SOLUTION: The metal vapor deposition polyester film for a capacitor consists of a biaxially stretched polyester film having a coating layer, which is made of water-soluble or water-dispersible resin and has 0.005-0.5μm thickness, at least on one side of the film and having a metal vapor deposition layer provided through the above-mentioned coating layer at least on one side. Heat- shrinkable stress in the longitudinal direction of the film simultaneously satisfies the formulas S150 <120g/mm<2> and Smax <500g/mm<2> and the whole thickness is 1.0-12μm. In the above-mentioned formulas, S150 shows shrinkable stress value per unit sectional area of the film at 150 deg.C. Smax shows the maximum value of shrinkable stress value in a temperature range from >=150 deg.C to at most melting point of the film.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、コンデンサ用金属蒸着
ポリエステルフィルムに関する。詳しくは、本発明は、
蒸着金属層とフィルムとの密着性に優れ、熱寸法安定性
に優れるフィルムであって、コンデンサ誘電体に使用し
たときに高度な電気特性および耐湿熱性を付与すること
のできる金属蒸着ポリエステルフィルムに関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metallized polyester film for a capacitor. Specifically, the present invention
A film with excellent adhesion between the deposited metal layer and the film and excellent thermal dimensional stability, which is a metal-deposited polyester film that can provide high electrical properties and wet heat resistance when used for a capacitor dielectric. It is.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ポリエステルフィルムは、優れた機械的
性質、耐熱性、電気的特性有することから、磁気テープ
用、包装用、製版用等の産業用資材として広く用いられ
ている。中でもコンデンサ用に関しては、電気機器の小
型化に伴い、小型化が可能なポリエステルフィルムから
製造されたコンデンサの需要が急増している。特に近年
は電子機器等の発達に伴い、かかるコンデンサ用ポリエ
ステルフィルムの高特性化が求められている。その高特
性化の要求項目の一つとして、長期耐湿熱安定性があ
る。すなわち、金属蒸着ポリエステルフィルムは、基材
フィルムと蒸着金属との接着性、特に高温高湿環境下で
の接着性、いわゆる耐湿熱接着性が悪いという欠点を有
している。このためコンデンサを高温高湿下に置くと、
基材フィルムと蒸着金属との界面で透湿し、コンデンサ
の静電容量が経時的に低下する等の問題があり、長期安
定性の点で、かかる耐湿熱特性改良が求められている。2. Description of the Related Art Polyester films are widely used as industrial materials for magnetic tapes, packaging, plate making and the like because of their excellent mechanical properties, heat resistance and electrical properties. Among them, for capacitors, the demand for capacitors manufactured from polyester films that can be miniaturized is rapidly increasing with the miniaturization of electric devices. In particular, in recent years, with the development of electronic devices and the like, there has been a demand for higher characteristics of such polyester films for capacitors. One of the requirements for high performance is long-term wet heat resistance. That is, the metal-deposited polyester film has a defect that the adhesiveness between the base film and the deposited metal, particularly the adhesiveness in a high-temperature and high-humidity environment, that is, the so-called wet-heat resistance is poor. Therefore, if the capacitor is placed under high temperature and high humidity,
There is such a problem that moisture permeates at the interface between the base film and the vapor-deposited metal, and the capacitance of the capacitor decreases over time. Therefore, from the viewpoint of long-term stability, such improvement in wet heat resistance is required.

【０００３】また、電気特性を悪化させる原因のひとつ
として、コンデンサ製造工程で加わる熱によるフィルム
の寸法変化が挙げられる。したがって、電気特性を高度
に満足させるため、優れた熱寸法安定性が要求される。
最近の各種電子機器の発達は顕著であり、コンデンサに
求められる長期信頼性、特に長期耐湿熱安定性への要求
は、さらに増大している。したがって、かかる高信頼性
を有するコンデンサの誘電体に用いられるフィルムへの
要求特性も一段と厳しいものとなってきた。[0003] One of the causes of deterioration in electrical characteristics is a dimensional change of a film due to heat applied in a capacitor manufacturing process. Therefore, in order to satisfy electrical characteristics to a high degree, excellent thermal dimensional stability is required.
Recently, the development of various electronic devices has been remarkable, and the demand for long-term reliability, particularly long-term moisture-heat resistance stability, required of capacitors has been further increased. Therefore, the required characteristics of a film used as a dielectric for such a highly reliable capacitor have become even more severe.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、蒸着金属層
とのフィルムとの密着性および寸法安定性に優れ、特に
コンデンサの誘電体として用いたときに、高度な電気特
性と耐湿熱特性を与えることができ、コンデンサの長期
信頼性向上に寄与することができるフィルムを提供する
ことを解決課題とするものである。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has excellent adhesiveness and dimensional stability to a film with a vapor-deposited metal layer, and exhibits high electrical characteristics and moisture-heat resistance, particularly when used as a dielectric of a capacitor. It is an object of the present invention to provide a film that can be provided and can contribute to improvement of long-term reliability of a capacitor.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題に
鑑み鋭意検討を行った結果、塗布層を有するポリエステ
ルフィルムの塗布層表面に金属蒸着層を有するフィルム
であって、高度な寸法安定性を有する場合に、特にコン
デンサ誘電体として用いた場合、優れた特性を有するこ
とを見いだし、本発明を完成するに至った。すなわち、
本発明の要旨は、水溶性または水分散性樹脂からなる厚
み０．００５μｍ〜０．５μｍの塗布層をフィルムの少
なくとも片面に有し、前記塗布層を介して設けられた金
属蒸着層を少なくとも片面に有する二軸配向ポリエステ
ルフィルムであって、フィルムの長手方向の熱収縮応力
が下記式（１）および（２）を同時に満足し、全厚みが
１．０μｍ〜１２μｍであることを特徴とするコンデン
サ用金属蒸着ポリエステルフィルムに存する。Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies in view of the above problems, and as a result, have found that a polyester film having a coating layer is a film having a metal deposition layer on the coating layer surface and has a high dimensional stability. The present invention has been found to have excellent characteristics when it has properties, especially when used as a capacitor dielectric, and has completed the present invention. That is,
The gist of the present invention is to provide a film having a coating layer made of a water-soluble or water-dispersible resin and having a thickness of 0.005 μm to 0.5 μm on at least one side of a film, and a metal deposition layer provided via the coating layer on at least one side. Wherein the heat shrinkage stress in the longitudinal direction of the film simultaneously satisfies the following formulas (1) and (2), and the total thickness is 1.0 μm to 12 μm. For metal-deposited polyester film.

【０００６】[0006]

【数２】Ｓ₁₅₀ ＜１２０ｇ／ｍｍ² ………（１） Ｓ_max ＜５００ｇ／ｍｍ² ………（２） （上記式中、Ｓ₁₅₀ は、１５０℃におけるフィルムの単
位断面積あたりの収縮応力値、Ｓ_max は、１５０℃以上
フィルムの融点以下の温度範囲内での収縮応力値の最大
値を示す）S ₁₅₀ <120 g / mm ² (1) S _max <500 g / mm ² (2) (in the above formula, S ₁₅₀ is shrinkage per unit sectional area of the film at 150 ° C.) The stress value, _Smax , indicates the maximum value of the shrinkage stress value within the temperature range of 150 ° C. or more and the melting point of the film or less.)

【０００７】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明のフィルムを構成するポリエステルとは、芳香族
ジカルボン酸またはそのエステルとグリコールとを主た
る出発原料として得られるポリエステルであり、繰り返
し構造単位の８０％以上がエチレンテレフタレート単位
またはエチレン−２，６−ナフタレート単位を有するポ
リエステルを指す。そして、上記の範囲を逸脱しない条
件下であれば、他の第三成分を含有していてもよい。芳
香族ジカルボン酸成分としては、例えば、テレフタル酸
および２，６−ナフタレンジカルボン酸以外に、例え
ば、イソフタル酸、フタル酸、アジピン酸、セバシン
酸、オキシカルボン酸（例えば、ｐ−オキシエトキシ安
息香酸等）等を用いることができる。グリコール成分と
しては、エチレングリコール以外に、例えば、ジエチレ
ングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオー
ル、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチ
ルグリコール等の一種または二種以上を用いることがで
きる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The polyester constituting the film of the present invention is a polyester obtained by using an aromatic dicarboxylic acid or an ester thereof and a glycol as main starting materials, and 80% or more of the repeating structural units are ethylene terephthalate units or ethylene-2,6-. Refers to a polyester having naphthalate units. Then, other conditions may be contained as long as the conditions do not deviate from the above range. As the aromatic dicarboxylic acid component, for example, in addition to terephthalic acid and 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, for example, isophthalic acid, phthalic acid, adipic acid, sebacic acid, oxycarboxylic acid (for example, p-oxyethoxybenzoic acid and the like) ) Etc. can be used. As the glycol component, in addition to ethylene glycol, for example, one or more of diethylene glycol, propylene glycol, butanediol, 1,4-cyclohexanedimethanol, neopentyl glycol, and the like can be used.

【０００８】本発明のポリエステルフィルムは、フィル
ム製造時のキズの発生防止や、フィルムに滑り性を与え
て取扱い性を向上する目的で、ポリエステルに粒子を含
有させ、フィルム表面に適度な突起を形成させる。かか
る粒子の例としては、炭酸カルシウム、リン酸カルシウ
ム、シリカ、カオリン、タルク、二酸化チタン、アルミ
ナ、硫酸バリウム、フッ化カルシウム、フッ化リチウ
ム、ゼオライト、硫化モリブデン等の無機粒子、架橋高
分子粒子、シュウ酸カルシウム等の有機粒子、およびポ
リエステル重合時に生成させる析出粒子を挙げることが
できる。本発明のフィルムに含有させる粒子の平均粒径
は、好ましくは０．００５〜５．０μｍ、さらに好まし
くは０．０１〜３．０μｍの範囲である。平均粒径が
５．０μｍを超えると、粗面化により絶縁性が低下した
り、粒子がフィルム表面から脱落して絶縁欠陥の原因と
なる等の問題が生ずるようになる傾向がある。また、平
均粒径が０．００５μｍ未満では、突起形成が不十分な
ためフィルムの表面にキズが発生したり、フィルムの取
扱い性が低下してしまうことがある。[0008] The polyester film of the present invention contains particles in the polyester to form moderate protrusions on the film surface for the purpose of preventing scratches during film production and improving the handleability by giving the film slipperiness. Let it. Examples of such particles include inorganic particles such as calcium carbonate, calcium phosphate, silica, kaolin, talc, titanium dioxide, alumina, barium sulfate, calcium fluoride, lithium fluoride, zeolite, and molybdenum sulfide, crosslinked polymer particles, and oxalic acid. Organic particles such as calcium and precipitated particles formed during the polymerization of polyester can be exemplified. The average particle size of the particles contained in the film of the present invention is preferably in the range of 0.005 to 5.0 μm, and more preferably 0.01 to 3.0 μm. If the average particle size exceeds 5.0 μm, there is a tendency that problems such as a decrease in insulation due to surface roughening, and a problem that particles fall off from the film surface to cause insulation defects. If the average particle size is less than 0.005 μm, the surface of the film may be flawed or the handleability of the film may be reduced due to insufficient formation of projections.

【０００９】また、粒子含有量はポリエステルに対し、
通常０．０１〜３．０重量％、好ましくは０．０５〜
２．０重量％、さらに好ましくは０．１〜１．０重量％
である。粒子含有量が０．０１重量％未満では、フィル
ム表面の突起が不足して滑り性が不十分となる傾向があ
る。一方、粒子含有量が３．０重量％を超えると、粒子
の脱落が起こりやすくなったり、粒子が凝集して粗大突
起を形成し、絶縁欠陥等の問題が生ずるようになること
がある。フィルム中に、かかる粒子を２種類以上配合し
てもよく、同種の粒子で粒径の異なるものを配合しても
よい。いずれにしても、フィルムに含有する粒子全体の
平均粒径、および合計の含有量が上記した範囲を満足す
ることが好ましい。また、上記の突起形成剤以外の添加
剤として、必要に応じて、帯電防止剤、安定剤、潤滑
剤、架橋剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤、着色
剤、光線遮断剤、紫外線吸収剤などを、コンデンサ特性
を悪化させない範囲内で含有していてもよい。Further, the content of particles is
Usually 0.01 to 3.0% by weight, preferably 0.05 to
2.0% by weight, more preferably 0.1 to 1.0% by weight
It is. If the particle content is less than 0.01% by weight, there is a tendency that projections on the film surface are insufficient and slipperiness is insufficient. On the other hand, if the particle content exceeds 3.0% by weight, the particles may easily fall off, or the particles may aggregate to form coarse protrusions, causing problems such as insulation defects. Two or more kinds of such particles may be blended in the film, or the same kind of particles having different particle diameters may be blended. In any case, it is preferable that the average particle diameter of all the particles contained in the film and the total content satisfy the above-mentioned range. In addition, as additives other than the above-mentioned projection-forming agent, if necessary, an antistatic agent, a stabilizer, a lubricant, a cross-linking agent, an anti-blocking agent, an antioxidant, a coloring agent, a light-blocking agent, an ultraviolet absorber, etc. May be contained in a range that does not deteriorate the capacitor characteristics.

【００１０】本発明のポリエステルフィルムは、最終的
に得られる特性が本発明の要件を満足する限り、塗布以
外の方法で得られた多層構造となっていても構わない。
多層構造の場合、その一部の層はポリエステル以外の樹
脂からなる層であってもよい。本発明のフィルムは、蒸
着金属との接着性を高めるため、少なくとも一方のフィ
ルム表面に水溶性または水分散性樹脂からなる塗布層を
設ける。塗布層を構成する塗布剤の例として、ポリエス
テル系、ポリアミド系、ポリスチレン系、ポリアクリレ
ート系、ポリカーボネート系、ポリアリレート系、ポリ
塩化ビニル系、ポリ塩化ビニリデン系、ポリビニルブチ
ラール系、ポリビニルアルコール系、ポリウレタン系な
どの樹脂およびこれらの樹脂の共重合体や混合体などを
挙げることができる。これらの中で最も好ましい塗布剤
樹脂はポリウレタン系樹脂であり、ポリウレタン系樹脂
を用いた場合、極めて高度な接着性と長期耐湿熱安定性
を得ることができる。The polyester film of the present invention may have a multilayer structure obtained by a method other than coating, as long as the finally obtained properties satisfy the requirements of the present invention.
In the case of a multilayer structure, some of the layers may be layers made of a resin other than polyester. In the film of the present invention, a coating layer made of a water-soluble or water-dispersible resin is provided on at least one film surface in order to enhance the adhesiveness to a metal deposited. Examples of the coating agent constituting the coating layer include polyester, polyamide, polystyrene, polyacrylate, polycarbonate, polyarylate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl butyral, polyvinyl alcohol, and polyurethane. Examples of such resins include resins of a system and the like, and copolymers and mixtures of these resins. Among these, the most preferred coating resin is a polyurethane resin, and when a polyurethane resin is used, extremely high adhesiveness and long-term wet heat resistance can be obtained.

【００１１】以下、このポリウレタン系樹脂について詳
しく説明する。本発明の実施態様の一つであるポリウレ
タン系樹脂とは、ポリマー主鎖にウレタン結合を有する
高分子化合物を指し、ポリオール、ポリイソシアネー
ト、鎖延長剤、架橋剤等から構成される。ポリオールの
例としては、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキ
シプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレング
リコールのようなポリエーテル類、ポリエチレンアジペ
ート、ポリエチレンーブチレンアジペート、ポリカプロ
ラクトン等を含むポリエステル類、カーボネート結合を
有するポリカーボネート類、アクリル系ポリオール、ひ
まし油等がある。Hereinafter, the polyurethane resin will be described in detail. The polyurethane resin as one of the embodiments of the present invention refers to a polymer compound having a urethane bond in a polymer main chain, and is composed of a polyol, a polyisocyanate, a chain extender, a crosslinking agent, and the like. Examples of polyols include polyoxyethylene glycol, polyoxypropylene glycol, polyethers such as polyoxytetramethylene glycol, polyethylene adipate, polyethylene butylene adipate, polyesters including polycaprolactone, etc., polycarbonates having a carbonate bond. , Acrylic polyols, castor oil and the like.

【００１２】ポリイソシアネートの例としては、トリレ
ンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、
４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサ
メチレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネー
ト、４，４’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネー
ト、イソホロンジイソシアネート等が挙げられる。特に
本発明におけるポリウレタンは、耐熱性に優れる芳香族
ポリイソシアネートおよびイソホロンジイソシアネート
から選択するか、両方を用いるのが好ましい。芳香族ポ
リイソシアネートまたはイソホロンジイソシアネートを
用いる場合、イソシアネート成分に占める、芳香族ポリ
イソシアネートまたはイソホロンジイソシアネートまた
はその合計の割合が好ましくは５０モル％以上、さらに
好ましくは７０モル％以上である。Examples of polyisocyanates include tolylene diisocyanate, phenylene diisocyanate,
4,4'-diphenylmethane diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, 4,4'-dicyclohexylmethane diisocyanate, isophorone diisocyanate, and the like. In particular, the polyurethane in the present invention is preferably selected from aromatic polyisocyanate and isophorone diisocyanate having excellent heat resistance, or both are preferably used. When an aromatic polyisocyanate or isophorone diisocyanate is used, the proportion of the aromatic polyisocyanate or isophorone diisocyanate or the total thereof in the isocyanate component is preferably at least 50 mol%, more preferably at least 70 mol%.

【００１３】鎖延長剤あるいは架橋剤の例としては、エ
チレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレン
グリコール、トリメチロールプロパン、ヒドラジン、エ
チレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレン
テトラミン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、
４，４’−ジアミノジシクロヘキシルメタン、水等が挙
げられる。本発明における、ポリウレタン系樹脂の塗布
層に占める割合は、好ましくは５０重量％以上、さらに
好ましくは６０重量％以上、特に好ましくは７０重量％
以上である。ポリウレタン系樹脂の含有量が５０重量％
未満では、本発明の効果が得られないことがある。Examples of chain extenders or crosslinking agents include ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol, trimethylolpropane, hydrazine, ethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetramine, 4,4'-diaminodiphenylmethane,
4,4'-diaminodicyclohexylmethane, water and the like. In the present invention, the proportion of the polyurethane resin in the coating layer is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, and particularly preferably 70% by weight.
That is all. Polyurethane resin content is 50% by weight
If less than the above, the effect of the present invention may not be obtained.

【００１４】本発明の塗布剤として用いる樹脂は、安全
衛生上、水を媒体とする塗布剤であることが望ましい
が、本発明の要旨を越えない範囲内で、水溶性または水
分散性樹脂の助剤として有機溶剤を含有していてもよ
い。水を媒体とする場合は、界面活性剤などによって強
制分散化した塗布剤であってもよいが、好ましくはポリ
エーテル類のような親水性のノニオン成分や、四級アン
モニウム塩のようなカチオン性基を有する自己分散型塗
布剤であり、さらに好ましくは、アニオン性基を有する
水溶性または水分散性の塗布剤である。アニオン性基を
有する水溶性または水分散性の塗布剤とは、アニオン性
基を有する化合物を共重合やグラフトなどにより樹脂に
結合させたものであり、スルホン酸、カルボン酸、リン
酸およびそれらの塩等から適宜選択される。The resin used as the coating agent of the present invention is desirably a water-based coating agent for safety and hygiene purposes. However, the water-soluble or water-dispersible resin may be used within a range not exceeding the gist of the present invention. An organic solvent may be contained as an auxiliary. When water is used as the medium, a coating agent forcibly dispersed with a surfactant or the like may be used, but a hydrophilic nonionic component such as a polyether or a cationic compound such as a quaternary ammonium salt is preferable. It is a self-dispersing coating agent having a group, and more preferably a water-soluble or water-dispersing coating agent having an anionic group. A water-soluble or water-dispersible coating agent having an anionic group is one in which a compound having an anionic group is bonded to a resin by copolymerization or grafting, and sulfonic acid, carboxylic acid, phosphoric acid and the like. It is appropriately selected from salts and the like.

【００１５】アニオン性基を有する水溶性または水分散
性の塗布剤のアニオン性基の量は、０．０５〜１０重量
％の範囲が好ましい。アニオン性基量が０．０５重量％
未満では、樹脂の水溶性あるいは水分散性が劣ることが
あり、アニオン性基量が１０重量％を超えると、塗布後
の下塗り層の耐水性が劣ったり、吸湿してフィルムが相
互に固着したり、耐湿熱接着性を低下させたりすること
がある。また、本発明における塗布液には、塗布層の固
着性（ブロッキング性）、耐水性、耐溶剤性、機械的強
度の改良のために架橋剤としてメチロール化あるいはア
ルキロール化した尿素系、メラミン系、グアナミン系、
アクリルアミド系、ポリアミド系等の化合物、エポキシ
系化合物、アジリジン化合物、ブロックポリイソシアネ
ート、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、
ジルコ−アルミネート系カップリング剤、過酸化物、熱
および光反応性のビニル化合物や感光性樹脂などを含有
してもよい。The amount of the anionic group in the water-soluble or water-dispersible coating agent having an anionic group is preferably in the range of 0.05 to 10% by weight. 0.05% by weight of anionic group
If the amount is less than 10% by weight, the water solubility or water dispersibility of the resin may be poor. Or may reduce the wet heat resistance. The coating liquid of the present invention includes a urea-based or alkylol-based urea-based or melamine-based crosslinking agent as a crosslinking agent for improving the adhesion (blocking property), water resistance, solvent resistance, and mechanical strength of the coating layer. , Guanamine,
Acrylamide-based, polyamide-based compounds, epoxy-based compounds, aziridine compounds, block polyisocyanates, silane coupling agents, titanium coupling agents,
It may contain a zirco-aluminate coupling agent, a peroxide, a heat and photoreactive vinyl compound, a photosensitive resin, and the like.

【００１６】また、固着性や滑り性改良のために、塗布
層中に無機系微粒子としてシリカ、シリカゾル、アルミ
ナ、アルミナゾル、ジルコニウムゾル、カオリン、タル
ク、炭酸カルシウム、リン酸カルシウム、酸化チタン、
硫酸バリウム、カ−ボンブラック、硫化モリブデン、酸
化アンチモンゾルなどを、有機系微粒子としてポリスチ
レン、ポリエチレン、ポリアミド、ポリエステル、ポリ
アクリル酸エステル、エポキシ樹脂、シリコ−ン樹脂、
フッ素樹脂などを含有していてもよい。さらに、必要に
応じて消泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、帯電防止剤、有
機系潤滑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、発泡剤、染
料、顔料などを含有していてもよい。Further, in order to improve the sticking property and the sliding property, silica, silica sol, alumina, alumina sol, zirconium sol, kaolin, talc, calcium carbonate, calcium phosphate, titanium oxide, and the like are contained in the coating layer as inorganic fine particles.
Barium sulfate, carbon black, molybdenum sulfide, antimony oxide sol, etc., as organic fine particles, polystyrene, polyethylene, polyamide, polyester, polyacrylate, epoxy resin, silicone resin,
It may contain a fluorine resin or the like. Further, if necessary, it may contain an antifoaming agent, a coating improver, a thickener, an antistatic agent, an organic lubricant, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a foaming agent, a dye, a pigment, and the like. .

【００１７】本発明で用いる塗布液中のアルカリ金属含
有量は、塗布液の固形分中好ましくは１０００ｐｐｍ以
下であり、さらに好ましくは５００ｐｐｍ以下、特に好
ましくは２００ｐｐｍ以下である。塗布層中のアルカリ
金属含有量が多くなると、コンデンサの耐湿熱特性が悪
くなることがあるので好ましくない。特にコンデンサに
直流電圧を印加しつつ高温高湿下に置くとコンデンサの
静電容量の低下が激しくなる。したがって、必要に応じ
て脱イオン処理を施すことで、所望の塗布液を得る場合
もある。上述の塗布液をポリエステルフィルムに塗布す
る方法としては原崎勇次著、槙書店、１９７９年発行、
「コーティング方式」に示されるリバースロールコータ
ー、グラビアコーター、ロッドコーター、エアドクター
コーターあるいはこれら以外の塗布装置を用いることが
できる。該塗布層は、フィルム製造工程内で設けてもよ
いし、フィルム製造後に塗布してもよい。特に塗布厚み
の均一性や、生産効率の点で、フィルム製造工程内で塗
布する方法が好ましい。The alkali metal content in the coating solution used in the present invention is preferably at most 1,000 ppm, more preferably at most 500 ppm, particularly preferably at most 200 ppm, based on the solid content of the coating solution. If the content of the alkali metal in the coating layer is large, the moisture and heat resistance of the capacitor may be deteriorated, which is not preferable. Particularly, when the capacitor is placed under high temperature and high humidity while applying a DC voltage to the capacitor, the capacitance of the capacitor is greatly reduced. Therefore, a desired coating liquid may be obtained by performing a deionization treatment as needed. As a method of applying the above-mentioned coating solution to a polyester film, Yuji Harazaki, Maki Shoten, published in 1979,
A reverse roll coater, a gravure coater, a rod coater, an air doctor coater, or a coating device other than those described in the “coating method” can be used. The coating layer may be provided in the film manufacturing process, or may be applied after the film is manufactured. In particular, from the viewpoint of uniformity of the coating thickness and production efficiency, a coating method in the film manufacturing process is preferable.

【００１８】フィルム製造工程内で塗布する方法として
は、ポリエステル未延伸フィルムに塗布液を塗布し、逐
次あるいは、同時に二軸延伸する方法、一軸延伸された
ポリエステルフィルムに塗布し、さらに先の一軸延伸方
向と直角の方向に延伸する方法、あるいは二軸延伸ポリ
エステルフィルムに塗布し、さらに横および／または縦
方向に延伸する方法などがある。塗布層の厚さは、０．
００５〜０．５μｍの範囲であり、好ましくは０．０１
〜０．３μｍの範囲、さらに好ましくは０．０３〜０．
１μｍの範囲である。塗布層の厚さは、コンデンサ小型
化の要請からも薄くすることが好ましい。特に塗布層厚
みが０．５μｍを超えると電気的特性を悪化させるため
好ましくない。一方、塗布層の厚みが０．００５μｍ未
満の場合には、塗布ムラや塗布ヌケが生じ好ましくな
い。As a method of applying in the film manufacturing process, a method of applying a coating solution to a polyester unstretched film and sequentially or simultaneously biaxially stretching the same, applying a uniaxially stretched polyester film, and further uniaxially stretching the film. There is a method of stretching in a direction perpendicular to the direction, or a method of applying to a biaxially stretched polyester film and further stretching in the transverse and / or longitudinal directions. The thickness of the coating layer is 0.
005 to 0.5 μm, preferably 0.01 to 0.5 μm.
To 0.3 μm, more preferably 0.03 to 0.3 μm.
The range is 1 μm. It is preferable that the thickness of the coating layer be reduced in view of a demand for miniaturization of the capacitor. In particular, when the thickness of the coating layer exceeds 0.5 μm, the electrical characteristics are deteriorated, which is not preferable. On the other hand, when the thickness of the coating layer is less than 0.005 μm, coating unevenness and coating dropping occur, which is not preferable.

【００１９】本発明においては、かかる塗布層の表面
に、金属蒸着層を設ける。蒸着する金属として、アルミ
ニウム、パラジウム、亜鉛、ニッケル、金、銀、銅、イ
ンジウム、錫、クロム、チタン等が挙げられるが、特に
好ましい金属はアルミニウムである。なお、上記の金属
には金属の酸化物も含まれる。金属蒸着膜の厚さは１０
〜２０００Åの範囲が好ましい。かくして得られた金属
蒸着フィルムは、塗布層を設けることにより蒸着層とフ
ィルムの密着性が向上され、コンデンサ誘電体としたと
きの耐湿熱特性を向上できるが、かかるフィルムの収縮
特性が本発明で規定する特定範囲内である場合、長期耐
湿熱安定性がさらに高度に達成される。すなわち、金属
蒸着フィルムの長手方向の収縮応力が以下の式を満足す
る場合、優れた特性を得ることができる。In the present invention, a metal deposition layer is provided on the surface of the coating layer. Examples of the metal to be deposited include aluminum, palladium, zinc, nickel, gold, silver, copper, indium, tin, chromium, titanium, and the like, and a particularly preferred metal is aluminum. The above-mentioned metals include metal oxides. The thickness of the metal deposition film is 10
A range of -2000 ° is preferred. The metal vapor-deposited film thus obtained has improved adhesion between the vapor-deposited layer and the film by providing the coating layer, and can improve the wet heat resistance when used as a capacitor dielectric. When it is within the specified range, the long-term wet heat stability is more highly achieved. That is, when the contraction stress in the longitudinal direction of the metal-deposited film satisfies the following expression, excellent characteristics can be obtained.

【００２０】[0020]

【数３】Ｓ₁₅₀ ＜１２０ｇ／ｍｍ² ………（１） Ｓ_max ＜５００ｇ／ｍｍ² ………（２） （上記式中、Ｓ₁₅₀ は、１５０℃におけるフィルムの単
位断面積あたりの収縮応力値、Ｓ_max は、１５０℃以上
フィルムの融点以下の温度範囲内での収縮応力値の最大
値を示す） Ｓ₁₅₀ が１２０ｇ／ｍｍ² 以上の場合は、フィルムの寸
法安定性が劣るため、コンデンサ誘電体とした時に電気
特性が悪化する。Ｓ₁₅₀ は好ましくは１００ｇ／ｍｍ²
未満、さらに好ましくは７０ｇ／ｍｍ² 未満である。S ₁₅₀ <120 g / mm ² (1) S _max <500 g / mm ² (2) (where S ₁₅₀ is shrinkage per unit sectional area of the film at 150 ° C.) The stress value, S _max , indicates the maximum value of the shrinkage stress value within the temperature range of 150 ° C. or more and the melting point of the film or less.) When S ₁₅₀ is 120 g / mm ² or more, the dimensional stability of the film is poor. The electrical characteristics deteriorate when used as a capacitor dielectric. S ₁₅₀ is preferably 100 g / mm ²
, More preferably less than 70 g / mm ² .

【００２１】また、収縮応力値は１５０℃以上、ポリエ
ステルの融点以下の温度範囲内で最大値（Ｓ_max ）を有
するが、本発明においては、Ｓ_max が５００ｇ／ｍｍ²
未満の場合、寸法安定性が優れ、コンデンサ特性をさら
に高度に満足させることができる。Ｓ_max は、好ましく
は４００ｇ／ｍｍ² 未満、さらに好ましくは３５０ｇ／
ｍｍ² 未満である。本発明の金属蒸着フィルムの全厚み
は、１．０〜１２μｍの範囲である。厚みが１２μｍを
超える場合は、フィルムを巻回してコンデンサとする際
のフィルムの変形が元々小さいため、本発明の効果が十
分に発揮されないし、より高品質、小型のコンデンサを
得ることができなくなる。厚みは好ましくは１０μｍ以
下、さらに好ましくは９μｍ以下である。一方、全厚み
が１．０μｍ未満の場合は、塗布層の厚みが占める割合
が相対的に大きくなるため、電気的特性の改良効果が十
分とならないため好ましくない。フィルム全厚みの下限
は好ましくは２．０μｍ、さらに好ましくは３．０μｍ
である。The shrinkage stress value has a maximum value (S _max ) in a temperature range from 150 ° C. to the melting point of the polyester. In the present invention, S _max is 500 g / mm ^2.
When the value is less than the above, the dimensional stability is excellent, and the capacitor characteristics can be more highly satisfied. S _max is preferably less than 400 g / mm ² , more preferably 350 g / mm ²
mm ² . The total thickness of the metallized film of the present invention is in the range of 1.0 to 12 μm. When the thickness exceeds 12 μm, the effect of the present invention is not sufficiently exhibited, and a higher quality, smaller capacitor cannot be obtained because the deformation of the film when winding the film into a capacitor is originally small. . The thickness is preferably 10 μm or less, more preferably 9 μm or less. On the other hand, if the total thickness is less than 1.0 μm, the proportion occupied by the thickness of the coating layer becomes relatively large, and the effect of improving the electrical properties is not sufficient, which is not preferable. The lower limit of the total thickness of the film is preferably 2.0 μm, more preferably 3.0 μm.
It is.

【００２２】また、蒸着フィルム表面の中心線平均粗さ
（Ｒａ）は好ましくは０．００５〜０．５μｍの範囲で
あり、さらに好ましくは０．０１〜０．３μｍの範囲で
あり、特に好ましくは０．０２〜０．１μｍの範囲であ
る。Ｒａが０．００５μｍ未満では、フィルムの滑り性
が不十分となり、コンデンサ製造等、フィルムの取り扱
い性が不十分になったり、蒸着層に傷が付きやすいとい
う問題が生ずることがある。一方、Ｒａが０．５μｍを
超えると、表面が粗れすぎてコンデンサとした時に耐電
圧特性や耐湿熱特性が悪化することがある。次に、本発
明のフィルムの製造法を具体的に説明する。ポリエステ
ル原料を、押出装置に供給し、ポリエステルの融点以上
の温度で溶融押出してスリット状のダイから溶融シート
として押し出す。次に、溶融シートを、回転冷却ドラム
上でガラス転移温度以下の温度になるように急冷固化
し、実質的に非晶状態の未配向シートを得る。The center line average roughness (Ra) of the surface of the vapor-deposited film is preferably in the range of 0.005 to 0.5 μm, more preferably in the range of 0.01 to 0.3 μm, and particularly preferably. It is in the range of 0.02 to 0.1 μm. When Ra is less than 0.005 μm, the slipperiness of the film becomes insufficient, and the handleability of the film becomes insufficient, such as in the production of a capacitor, and the problem that the deposited layer is easily damaged may occur. On the other hand, if Ra exceeds 0.5 μm, the surface may be too rough and the withstand voltage characteristics and the wet heat resistance may deteriorate when used as a capacitor. Next, the method for producing the film of the present invention will be specifically described. The polyester raw material is supplied to an extruder, melt-extruded at a temperature equal to or higher than the melting point of the polyester, and extruded as a molten sheet from a slit die. Next, the molten sheet is quenched and solidified on a rotary cooling drum so as to have a temperature equal to or lower than the glass transition temperature, thereby obtaining a substantially amorphous unoriented sheet.

【００２３】得られたシートを二軸方向に延伸してフィ
ルム化するが、その延伸および熱処理条件を適切な範囲
とすることにより本発明のフィルムの特徴である収縮特
性を達成させることができる。二軸延伸条件について具
体的に述べると、前記未延伸シートをまず第一軸方向に
その複屈折率（Δｎ）が０．０６以上、好ましくは０．
０８以上となるように延伸する。延伸温度範囲は７０〜
１５０℃、延伸倍率は２．５〜６倍の範囲とし、温度と
倍率を適宜組み合わせることにより、所望の複屈折率と
なるようにする。延伸は一段階または二段階以上で行う
ことができる。次に第二軸方向、すなわち第一軸方向と
直交する方向に一軸配向フィルムを一旦ガラス転移点以
下に冷却するか、または冷却することなく、例えば８０
〜１５０℃の温度範囲に予熱して、さらにほぼ同温度の
下で２．５〜５倍、好ましくは３．０〜４．５倍に延伸
を行い、二軸に配向したフィルムを得る。The obtained sheet is stretched in the biaxial direction to form a film. By setting the stretching and heat treatment conditions in an appropriate range, the shrinkage characteristics characteristic of the film of the present invention can be achieved. Specifically, the biaxial stretching conditions are as follows: First, the birefringent index (Δn) of the unstretched sheet in the first axial direction is 0.06 or more, preferably 0.1 mm or more.
It is stretched so as to be 08 or more. Stretching temperature range is 70 ~
At 150 ° C., the stretching magnification is in the range of 2.5 to 6 times, and the desired birefringence is obtained by appropriately combining the temperature and the magnification. Stretching can be performed in one step or two or more steps. Next, the uniaxially oriented film is once cooled below the glass transition point in the second axis direction, that is, in the direction orthogonal to the first axis direction, or without cooling, for example, 80%.
The film is preheated to a temperature in the range of 150 to 150 ° C. and stretched 2.5 to 5 times, preferably 3.0 to 4.5 times at the same temperature to obtain a biaxially oriented film.

【００２４】なお、第一軸方向の延伸を２段階以上で行
うことが、良好な厚さ均一性を達成できるので好まし
い。また、横延伸した後さらに長手方向に再延伸する方
法も可能であるが、いずれにしても長手方向の総合延伸
倍率を３．５倍以上とすることが好適である。かくして
得られたフィルムを、１秒〜５分間、１８０℃〜２４０
℃の温度範囲、好ましくは２００℃〜２４０℃の温度範
囲で熱処理する。この際、熱処理工程内または熱処理後
に長手方向または横方向、あるいは両方向に再延伸を行
ってもよい。本発明の要件である、金属蒸着フィルムの
特定範囲の収縮応力特性を得るために、蒸着前のフィル
ムの収縮率を低くしておくことが好ましい。このためフ
ィルム製造時、熱処理工程で縦方向または横方向、ある
いは両方向に２〜２０％、好ましくは３〜１５％の範囲
で弛緩処理を行う方法や、フィルムをオフラインで低張
力下熱弛緩処理する方法等が好ましく採用される。It is preferable that the stretching in the first axial direction is performed in two or more steps because good thickness uniformity can be achieved. Further, a method of further stretching in the longitudinal direction after the transverse stretching is possible, but in any case, it is preferable to set the total stretching ratio in the longitudinal direction to 3.5 times or more. The film thus obtained is heated at 180 ° C. to 240 ° C. for 1 second to 5 minutes.
The heat treatment is performed in a temperature range of 200C, preferably in a temperature range of 200C to 240C. At this time, re-stretching may be performed in the longitudinal direction, the lateral direction, or both directions during or after the heat treatment step. In order to obtain a specific range of shrinkage stress characteristics of the metal-deposited film, which is a requirement of the present invention, it is preferable to reduce the shrinkage ratio of the film before the deposition. For this reason, at the time of film production, a method of performing a relaxation treatment in the longitudinal direction or the transverse direction, or both directions in the heat treatment step, in a range of 2 to 20%, preferably 3 to 15%, or performing a thermal relaxation treatment of the film off-line under low tension under low tension. A method or the like is preferably employed.

【００２５】ただし、オフラインで熱処理する方法は、
工程が増えるためコスト的に不利である点、不純物が混
入しやすく耐電圧が低下することが多いこと、および薄
いフィルムの場合は張力を非常に低くする必要があり、
安定した処理が難しい等の問題点がある。一方、フィル
ム製造時の熱処理温度を高くする方法を用いても収縮率
を低下できるが、かかる方法を用いると、ポリエステル
フィルムの電気的特性、特に誘電損失特性が悪化するの
でコンデンサ誘電体として用いた場合好ましくない。具
体的には熱処理温度が２４０℃を超えるとフィルム密度
が高くなりすぎて高度な電気的特性が得られなくなる。
一方、１８０℃未満ではフィルムの熱収縮率が大きくな
って、コンデンサ製造時に熱を受ける工程で寸法変化を
起こし、コンデンサの生産性を悪化させたり、耐電圧等
のコンデンサ特性が低下する等の問題が生ずる。However, the off-line heat treatment method is as follows.
It is disadvantageous in terms of cost due to an increase in the number of steps, impurities are likely to be mixed and the withstand voltage is often reduced, and in the case of a thin film, the tension needs to be extremely low,
There are problems such as difficulty in stable processing. On the other hand, the shrinkage ratio can be reduced by using a method of increasing the heat treatment temperature during film production, but when such a method is used, the electrical properties of the polyester film, particularly the dielectric loss properties, are deteriorated, so that the polyester film is used as a capacitor dielectric. Is not preferred. Specifically, when the heat treatment temperature exceeds 240 ° C., the film density becomes too high, and high electrical characteristics cannot be obtained.
On the other hand, if the temperature is lower than 180 ° C., the heat shrinkage of the film becomes large, causing dimensional changes in the step of receiving heat during the production of the capacitor, thereby deteriorating the productivity of the capacitor and deteriorating the capacitor characteristics such as withstand voltage. Occurs.

【００２６】いずれにしても、本発明においてはフィル
ムを弛緩しつつ熱処理することにより特定の収縮応力特
性を達成する方法が好ましい。本発明の蒸着フィルム
は、電気的特性を悪化させないために、密度を好ましく
は１．４０００ｇ／ｃｍ³ 以下、さらに好ましくは１．
３９９０ｇ／ｃｍ³ 以下、特に好ましくは１．３９８５
ｇ／ｃｍ³ 以下とする。かかる特性を満足するため、上
記した熱処理工程の温度を適宜選択する。密度が１．４
０００ｇ／ｃｍ³を超えると、誘電損失が大きくなるた
めコンデンサの特性が大きく低下する。本発明の塗布層
を設ける方法としては、特に、ロール延伸法により第一
軸方向に延伸された一軸延伸ポリエステルフィルムに塗
布液を塗布し、適当な乾燥を施し、あるいは乾燥を施さ
ず、一軸延伸フィルムを直ちに第二軸方向に延伸し、熱
処理を行う方法が好ましい。In any case, in the present invention, a method of achieving a specific shrinkage stress characteristic by performing a heat treatment while relaxing the film is preferable. The deposited film of the present invention preferably has a density of 1.4000 g / cm ³ or less, more preferably 1.
3990 g / cm ³ or less, particularly preferably 1.3985
g / cm ³ or less. In order to satisfy such characteristics, the temperature of the heat treatment step is appropriately selected. 1.4 density
If it exceeds 000 g / cm ³ , the dielectric loss will increase, and the characteristics of the capacitor will deteriorate significantly. As a method of providing a coating layer of the present invention, in particular, a coating solution is applied to a uniaxially stretched polyester film stretched in the first axial direction by a roll stretching method, and is appropriately dried, or is not subjected to drying. A method in which the film is immediately stretched in the second axial direction and heat-treated is preferred.

【００２７】本方法によるならば、延伸と同時に塗布層
の乾燥が可能になるとともに塗布層の厚さを延伸倍率に
応じて薄くすることができ、かつ厚さの均一性が良好と
なり、しかもフィルムと塗布層との密着性も極めて強固
とすることができる。コスト的にも有利で、コンデンサ
誘電体用基材として好適なフィルムを安価に製造でき
る。 本発明における塗布層は、ポリエステルフィルム
の片面だけに設けてもよいが、両面に設けることが好ま
しい。また、片面にのみ塗布した場合、その反対面には
本発明における塗布液以外の塗布層を必要に応じて形成
し、本発明のポリエステルフィルムに他の特性を付与す
ることもできる。なお、塗布剤のフィルムへの塗布性、
接着性を改良するため、塗布前にフィルムに化学処理や
放電処理を施してもよい。処理効率やコスト、処理の簡
便さからコロナ放電処理を行うことが特に好ましい。ま
た、本発明の二軸延伸ポリエステルフィルムの塗布層の
接着性、塗布性などを改良するために、塗布層形成後に
塗布層に放電処理を施すこともできる。According to this method, the coating layer can be dried at the same time as the stretching, and the thickness of the coating layer can be reduced according to the stretching ratio, and the uniformity of the thickness is improved. The adhesion between the coating layer and the coating layer can be extremely strong. A film which is advantageous in terms of cost and is suitable as a substrate for a capacitor dielectric can be produced at low cost. The coating layer in the present invention may be provided on only one side of the polyester film, but is preferably provided on both sides. When the coating is applied to only one surface, a coating layer other than the coating solution of the present invention may be formed on the opposite surface as needed to impart other properties to the polyester film of the present invention. In addition, the applicability of the coating agent to the film,
To improve the adhesiveness, the film may be subjected to a chemical treatment or a discharge treatment before coating. It is particularly preferable to perform the corona discharge treatment in terms of treatment efficiency, cost, and simplicity of the treatment. Further, in order to improve the adhesiveness, coatability and the like of the coat layer of the biaxially stretched polyester film of the present invention, the coat layer may be subjected to a discharge treatment after forming the coat layer.

【００２８】かくして得られたフィルムの塗布層表面
に、金属を蒸着する。蒸着の方法は通常、真空蒸着法、
スパッタリング法等を用いる。蒸着工程においては、ロ
ール状のフィルムを巻きだし、冷却ドラムの表面に接触
させつつフィルムを走行させ、蒸着を行う。このときに
蒸着部でフィルムにかかる張力が高すぎると、蒸着時に
受ける熱と張力でフィルムが伸び、目的とする特定の収
縮応力が得られなくなる。一方、低張力の場合はフィル
ムと冷却ドラムとの接触が不十分になり、蒸着の熱によ
りフィルムにシワやたるみが発生するようになる。この
ため蒸着時の張力を適度に調節することが必要である。A metal is deposited on the surface of the coating layer of the film thus obtained. The method of vapor deposition is usually a vacuum vapor deposition method,
A sputtering method or the like is used. In the vapor deposition step, a roll-shaped film is unwound, and the film is run while being in contact with the surface of the cooling drum to perform vapor deposition. At this time, if the tension applied to the film in the vapor deposition section is too high, the film will be stretched by the heat and tension received during vapor deposition, and the desired specific shrinkage stress will not be obtained. On the other hand, when the tension is low, the contact between the film and the cooling drum becomes insufficient, and the film is wrinkled or sagged by the heat of vapor deposition. Therefore, it is necessary to appropriately adjust the tension at the time of vapor deposition.

【００２９】なお、塗布層はフィルムの片面または両面
に設けられ、両面塗布の場合、金属蒸着層を片面または
両面に設ける。また、金属蒸着後に蒸着金属層の表面処
理や他の樹脂による被覆処理を行ってもよい。本発明の
金属蒸着ポリエステルフィルムを誘電体として用いてコ
ンデンサを作成する場合は、２枚重ね合わせて巻回（両
面金属蒸着ポリエステルフィルムと本発明におけるポリ
エステルフィルムを含む他のフィルムとの巻回も含
む）、または多数枚積層してコンデンサ素子を作り、常
法に従って、例えば、熱プレス、テ−ピング、メタリコ
ン、電圧処理、両端面封止、リード線取り付けなどを行
う。もちろんこれらに限定されるわけではない。The coating layer is provided on one side or both sides of the film. In the case of double-side coating, a metal deposition layer is provided on one side or both sides. After the metal deposition, a surface treatment of the deposited metal layer or a coating treatment with another resin may be performed. When a capacitor is prepared using the metal-deposited polyester film of the present invention as a dielectric, two sheets are superposed and wound (including the winding of a double-sided metal-deposited polyester film and another film including the polyester film of the present invention). ) Or by laminating a number of them to form a capacitor element, and performing, for example, hot pressing, taping, metallikon, voltage treatment, sealing both end faces, attaching lead wires, and the like according to a conventional method. Of course, it is not limited to these.

【００３０】[0030]

【実施例】以下、本発明を実施例を挙げてさらに詳細に
説明するが、本発明は、その要旨を越えない限り、以下
の実施例によって限定されるものではない。なお、実施
例中の評価方法は下記のとおりである。実施例および比
較例中、「部」とあるのは「重量部」を示す。 （１）粒子の平均粒径（μｍ） 島津製作所製遠心沈降式粒度分布測定装置（ＳＡ−ＣＰ
３型）で測定した等価球形分布における積算体積分率５
０％の粒径を平均粒径とした。 （２）フィルム厚み（μｍ） フィルムを約１００枚、１０ｃｍ×１０ｃｍの正方形に
切り出し、その重量を測定する。その後枚数を数えて、
フィルムの密度とフィルム合計面積と重量とからフィル
ム厚みを算出する。The present invention will be described below in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist. In addition, the evaluation method in an Example is as follows. In Examples and Comparative Examples, “parts” means “parts by weight”. (1) Average particle size (μm) of particles Particle size distribution analyzer (SA-CP, manufactured by Shimadzu Corporation)
Integrated volume fraction 5 in equivalent spherical distribution measured by type 3)
The particle size of 0% was defined as the average particle size. (2) Film Thickness (μm) Approximately 100 films are cut into 10 cm × 10 cm squares, and the weight is measured. Then count the number,
The film thickness is calculated from the film density, the total film area and the weight.

【数４】 (Equation 4)

【００３１】（３）収縮応力特性 試料フィルムを幅５ｍｍ、長さ７０ｍｍの短冊状に切り
出し、片端を微小荷重検出器に、もう片端を固定チャッ
クにセットした。フィルムがたるまないようにチャック
位置を調節し、張力が発生する直前で位置を固定し、初
期張力を０ｇとして測定を開始した。試料フィルムの周
囲の温度を５℃／分の速度で昇温し、発生する収縮応力
とフィルムのごく近傍の温度との関係を曲線で描き、フ
ィルムの初期断面積あたりの収縮応力を求めた。すなわ
ち、Ｓ₁₅₀ およびＳ_max は、得られた曲線の１５０℃、
およびピークでの収縮応力値として得られた。(3) Shrinkage stress characteristics A sample film was cut into a strip having a width of 5 mm and a length of 70 mm, and one end was set on a micro load detector and the other end was set on a fixed chuck. The position of the chuck was adjusted so that the film did not sag, the position was fixed immediately before the tension was generated, and the measurement was started with the initial tension set to 0 g. The temperature around the sample film was raised at a rate of 5 ° C./min, and the relationship between the generated shrinkage stress and the temperature in the immediate vicinity of the film was drawn with a curve to determine the shrinkage stress per initial cross-sectional area of the film. That is, S ₁₅₀ and S _max are 150 ° C. of the obtained curve,
And the shrinkage stress value at the peak.

【００３２】（４）中心線平均粗さ（Ｒａ） （μｍ） （株）小坂研究所製表面粗さ測定機（ＳＥ−３Ｆ）を用
いて次のようにして求めた。すなわち、フィルム断面曲
線からその中心線の方向に基準長さＬ（２．５ｍｍ）の
部分を抜きとり、この抜き取り部分の中心線をｘ軸、縦
倍率の方向をｙ軸として粗さ曲線ｙ＝ｆ（ｘ）で表した
とき、次式で与えられた値を〔μｍ〕で表した。中心線
平均粗さは、試料フィルム表面から１０本の断面曲線を
求め、これらの断面曲線から求めた抜き取り部分の中心
線平均粗さの平均値で表した。なお、触針の先端半径は
２μｍ、荷重は３０ｍｇとし、カットオフ値は０．０８
ｍｍとした。(4) Center line average roughness (Ra) (μm) It was determined as follows using a surface roughness measuring instrument (SE-3F) manufactured by Kosaka Laboratory Co., Ltd. That is, a portion of the reference length L (2.5 mm) is extracted from the film cross-sectional curve in the direction of the center line, and the center line of the extracted portion is the x-axis, and the direction of the vertical magnification is the y-axis. When represented by f (x), the value given by the following equation was represented by [μm]. The center line average roughness was obtained by calculating ten cross-sectional curves from the surface of the sample film, and expressing the average value of the center line average roughness of the sampled portion obtained from these cross-sectional curves. The tip radius of the stylus was 2 μm, the load was 30 mg, and the cutoff value was 0.08.
mm.

【数５】 (Equation 5)

【００３３】（５）フィルムの密度（ｇ／ｃｍ³） ｎ−ヘプタンと四塩化炭素との混合液による密度勾配管
法により測定した。なお、測定温度は２５℃で行った。 （６）電気的特性評価 耐電圧特性 ＪＩＳ Ｃ−２３１９に準じて測定を行った。すなわ
ち、１０ｋＶ直流耐電圧試験機を用い、２３℃、５０％
ＲＨの雰囲気下にて、１００Ｖ／秒の昇圧速度で上昇さ
せ、フィルムが破壊し短絡した時の電圧を読み取った。(5) Film density (g / cm ³ ) Measured by a density gradient tube method using a mixed solution of n-heptane and carbon tetrachloride. The measurement was performed at a temperature of 25 ° C. (6) Evaluation of electrical characteristics Withstand voltage characteristics Measurements were performed according to JIS C-2319. That is, using a 10 kV DC withstand voltage tester, 23 ° C., 50%
Under an atmosphere of RH, the voltage was increased at a rate of 100 V / sec, and the voltage when the film was broken and short-circuited was read.

【００３４】コンデンサ特性の変化 （コンデンサの製造）フィルムの長手方向にマージン部
を有するストライプ状に蒸着した（蒸着部の幅８ｍｍ、
マージン部の幅１ｍｍの繰り返し）ポリエステルフィル
ムを、左または右に幅０．５ｍｍのマージン部を有する
４．５ｍｍ幅のテープ状にスリットした。得られた、左
マージンおよび右マージンの蒸着ポリエステルフィルム
各１枚づつを併せて巻回し、巻回体を得た。このとき、
幅方向に蒸着部分が、０．５ｍｍづつはみ出すように２
枚のフィルムをずらして巻回した。この巻回体を温度１
４０℃、圧力５０ｋｇ／ｃｍ² で５分間プレスした。プ
レス後の巻回体の両端面にメタリコンを溶射後リード線
を付し、液状のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂による
含浸層、および粉末状エポキシ樹脂を加熱溶融すること
による最低厚さ０．５ｍｍの外装を形成して、静電容量
０．１μＦのフィルムコンデンサとした。Change in Capacitor Characteristics (Manufacture of Capacitor) The film was vapor-deposited in a stripe shape having a margin in the longitudinal direction of the film (the width of the vapor-deposited portion was 8 mm,
The polyester film was slit into a 4.5 mm wide tape having a left or right margin of 0.5 mm width. Each of the obtained left margin and right margin vapor-deposited polyester films, one by one, was wound together to obtain a wound body. At this time,
2 so that the deposition part protrudes by 0.5 mm in the width direction.
The films were shifted and wound. This roll is heated to a temperature of 1
Pressing was performed at 40 ° C. under a pressure of 50 kg / cm ² for 5 minutes. Metallicon is sprayed on both ends of the wound body after pressing, leads are attached, and an impregnated layer of liquid bisphenol A type epoxy resin, and a package with a minimum thickness of 0.5 mm by heating and melting the powdery epoxy resin To form a film capacitor having a capacitance of 0.1 μF.

【００３５】（静電容量変化の測定）コンデンサの電極
間に６０Ｖ／μｍの直流電圧を印加しつつ、温度６０
℃、湿度９５％ＲＨの雰囲気下に１０００時間放置し、
初期静電容量を基準値とする静電容量変化率を求めた。
すなわち、１０００時間後の静電容量から初期静電容量
を差し引いた値を、初期静電容量で除して百分率で表記
した。 （誘電損失の変化）得られたコンデンサを１５０℃の雰
囲気下に２４時間放置し、初期の誘電損失特性と放置後
の誘電損失特性とを比較した。誘電損失特性は、室温か
ら１６０℃の温度範囲での測定を行って評価した。すな
わち、誘電損失が急激に立ち上がる温度および１００℃
〜１６０℃の範囲で示す誘電損失の最大値にて、以下の
基準で評価した。 ランクＡ：１５０℃放置後もほとんど特性変化しない ランクＢ：誘電損失が若干高くなる、或いは立ち上がり
温度が低くなる ランクＣ：誘電損失の変化が大きい、または数値のばら
つきが大きくなる(Measurement of change in capacitance) While applying a DC voltage of 60 V / μm between the electrodes of the capacitor,
℃, humidity of 95% RH atmosphere for 1000 hours,
The rate of change in capacitance with the initial capacitance as a reference value was determined.
That is, the value obtained by subtracting the initial capacitance from the capacitance after 1000 hours was divided by the initial capacitance and expressed as a percentage. (Change in Dielectric Loss) The obtained capacitor was allowed to stand in an atmosphere at 150 ° C. for 24 hours, and the initial dielectric loss characteristics and the dielectric loss characteristics after the standing were compared. The dielectric loss characteristics were evaluated by performing measurements in a temperature range from room temperature to 160 ° C. That is, the temperature at which the dielectric loss rapidly rises and 100 ° C.
The maximum value of the dielectric loss shown in the range of -160 ° C was evaluated according to the following criteria. Rank A: Almost no change in properties after standing at 150 ° C. Rank B: Dielectric loss slightly increases or rise temperature decreases Rank C: Dielectric loss changes largely or values vary widely

【００３６】交流耐電圧 上記で得られたコンデンサの電極間に１ｋＨｚの交流電
圧を印加し、絶縁破壊が起こるまでの時間ｔを測定し
た。印加電圧Ｖを変えて同じ測定を行い、Ｖとｔとの関
係をプロットし、ｔ＝１５時間の時の印加電圧を交流耐
電圧とした。かかる交流耐電圧の１００℃での値と２５
℃での値を比較して、以下の基準で評価した。 ランクＡ：１００℃でも交流耐電圧の低下は小さく、良
好 ランクＢ：１００℃で交流耐電圧やや低下するが、実用
上問題ない ランクＣ：１００℃での交流耐電圧の低下が大きく、実
用上問題があるAC Withstand Voltage An AC voltage of 1 kHz was applied between the electrodes of the capacitor obtained above, and the time t until dielectric breakdown occurred was measured. The same measurement was performed by changing the applied voltage V, and the relationship between V and t was plotted. The applied voltage at t = 15 hours was defined as the AC withstand voltage. The value of the AC withstand voltage at 100 ° C. and 25
The values at ° C. were compared and evaluated according to the following criteria. Rank A: The AC withstand voltage is small at 100 ° C. and good. Rank B: The AC withstand voltage is slightly reduced at 100 ° C., but there is no problem in practical use. Rank C: The AC withstand voltage at 100 ° C. is large and practical. There's a problem

【００３７】実施例１ （塗布層用ポリウレタンの合成）テレフタル酸６５０
部、イソフタル酸６５０部、１，４−ブタンジオール４
８０部、ネオペンチルグリコール４５０部を出発原料と
してポリエステルポリオールを得、これにアジピン酸３
２０部、ジメチロールプロピオン酸２７０部を加え、カ
ルボキシル基含有ポリエステルポリオールを得た。この
ポリエステルポリオール１８８０部にトリレンジイソシ
アネート１６０部を加えて芳香族ポリエステルポリウレ
タン溶液を得た。得られた溶液をアンモニア水溶液中に
投入しながら溶剤を除去し、芳香族ポリエステルポリウ
レタン水分散体（Ａ）を得た。Example 1 (Synthesis of polyurethane for coating layer) Terephthalic acid 650
Part, 650 parts of isophthalic acid, 1,4-butanediol 4
80 parts and 450 parts of neopentyl glycol were used as starting materials to obtain a polyester polyol.
20 parts and 270 parts of dimethylolpropionic acid were added to obtain a carboxyl group-containing polyester polyol. 160 parts of tolylene diisocyanate was added to 1880 parts of this polyester polyol to obtain an aromatic polyester polyurethane solution. The solvent was removed while adding the obtained solution to an aqueous ammonia solution to obtain an aqueous dispersion of an aromatic polyester polyurethane (A).

【００３８】（フィルム原料ポリエステルの製造）ジメ
チルテレフタレート１００部、エチレングリコール６０
部および酢酸カルシウム１水塩０．０９部を反応器にと
り、加熱昇温するとともにメタノールを留去してエステ
ル交換反応を行い、反応開始から４時間を要して２３０
℃まで昇温し、実質的にエステル交換反応を終了した。
次いで、粒径１．２μｍのシリカ粒子０．３部をエチレ
ングリコールスラリーとして添加した。スラリー添加
後、さらにリン酸０．０６部、三酸化アンチモン０．０
４部を加え、徐々に反応系を減圧とし、温度を高めて重
縮合反応を４時間行い、極限粘度０．６５のポリエステ
ル（ａ）を得た。(Production of polyester film raw material) 100 parts of dimethyl terephthalate, ethylene glycol 60
And 0.09 part of calcium acetate monohydrate were placed in a reactor, heated and heated, and methanol was distilled off to carry out a transesterification reaction.
The temperature was raised to ° C. to substantially complete the transesterification reaction.
Next, 0.3 parts of silica particles having a particle diameter of 1.2 μm were added as an ethylene glycol slurry. After adding the slurry, further add 0.06 parts of phosphoric acid and 0.09 parts of antimony trioxide.
4 parts were added, the reaction system was gradually reduced in pressure, the temperature was raised, and the polycondensation reaction was performed for 4 hours to obtain a polyester (a) having an intrinsic viscosity of 0.65.

【００３９】（ポリエステルフィルムの製造）ポリエス
テル（ａ）を常法により乾燥して押出機に供給し、２９
０℃で溶融してシート状に押出し、静電印加密着法を用
いて冷却ロール上で急冷し、無定形シートとした。得ら
れたシートを、ロール延伸法を用いて縦方向に８４℃で
２．９倍延伸した後、さらに７２℃で１．２５倍延伸し
た。該一軸延伸フィルムに上述の共重合ポリウレタン水
分散体をフィルムの両面に塗布し、次いでフィルムをテ
ンターに導いて、横方向に１１０℃で４．１倍延伸し、
１４０℃で熱処理を行った。さらに別個のテンターに導
き、横方向に８％弛緩しながら２２８℃で熱処理を行
い、塗布層の厚さ０．０５μｍ 、フィルムの厚さ６μ
ｍの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。(Production of Polyester Film) The polyester (a) was dried by a conventional method and supplied to an extruder.
It was melted at 0 ° C., extruded into a sheet, and quenched on a cooling roll using an electrostatic contact method to obtain an amorphous sheet. The obtained sheet was stretched 2.9 times in the longitudinal direction at 84 ° C. using a roll stretching method, and further stretched 1.25 times at 72 ° C. The uniaxially stretched film is coated with the aqueous copolymer polyurethane dispersion described above on both sides of the film, and then guided to a tenter and stretched 4.1 times in the transverse direction at 110 ° C.,
Heat treatment was performed at 140 ° C. Further, the film is guided to a separate tenter and subjected to a heat treatment at 228 ° C. while relaxing 8% in the transverse direction. The thickness of the coating layer is 0.05 μm, and the thickness of the film is 6 μm.
m was obtained.

【００４０】（蒸着フィルムの製造）抵抗加熱型金属蒸
着装置を用い、真空室の圧力を１０^-4Ｔｏｒｒ以下とし
て、フィルム表面にアルミニウムを４５０Åの厚みに蒸
着した。その際、ポリエステルフィルムの長手方向にマ
ージン部を有するストライプ状に蒸着した（蒸着部の幅
８ｍｍ、マージン部の幅１ｍｍの繰り返し）。また、蒸
着時にフィルムを走行させる際、冷却ドラムに接触する
部分でのフィルムにかかる張力を、蒸着後にたるみが発
生しない範囲で、かつ低張力になるように調節した。得
られた蒸着フィルムの特性は、ストライプ状の蒸着部を
切り出して測定した。蒸着フィルムの特性および該フィ
ルムから得られたコンデンサの特性は表１に示す通りで
あり、耐電圧特性に優れ、静電容量の変化の少ない、耐
湿熱特性に優れる金属蒸着ポリエステルフィルムコンデ
ンサが得られた。(Manufacture of vapor-deposited film) Aluminum was vapor-deposited on the film surface to a thickness of 450 ° by using a resistance heating type metal vapor-deposition apparatus and setting the pressure in a vacuum chamber to 10 ⁻⁴ Torr or less. At this time, vapor deposition was performed in a stripe shape having a margin portion in the longitudinal direction of the polyester film (repeating the width of the vapor deposition portion 8 mm and the width of the margin portion 1 mm). Further, when running the film at the time of vapor deposition, the tension applied to the film at the portion in contact with the cooling drum was adjusted so as not to cause sag after vapor deposition and to be low. The properties of the obtained vapor-deposited film were measured by cutting out a striped vapor-deposited portion. The characteristics of the vapor-deposited film and the characteristics of the capacitor obtained from the film are as shown in Table 1, and a metal-deposited polyester film capacitor having excellent withstand voltage characteristics, little change in capacitance, and excellent in moisture-heat resistance was obtained. Was.

【００４１】比較例１ 実施例１において塗布液を塗布しないこと以外は実施例
１と同様にしてポリエステルフィルムを得、同条件で蒸
着フィルムを製造した。該フィルムを用いて製造したコ
ンデンサは、実施例１と比較して、耐湿熱特性に劣って
いた。 実施例２ 実施例１の塗布剤用ポリエステルポリウレタン製造で用
いたトリレンジイソシアネートの代わりに４，４’−ジ
シクロヘキシルメタンジイソシアネートを用いる以外は
実施例１と同様にして脂肪族ポリエステルポリウレタン
水分散体（Ｂ）を得た。実施例１における塗布剤を芳香
族ポリエステルポリウレタン（Ａ）と脂肪族ポリエステ
ルポリウレタン（Ｂ）との重量比を６０部／４０部とし
て塗布処理を施したことおよび製膜時、熱処理工程を横
延伸と同じテンターで引き続き行い、弛緩率を１０％と
したこと以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィ
ルムを得、同条件で蒸着フィルムを製造した。Comparative Example 1 A polyester film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating solution was not applied, and a vapor-deposited film was produced under the same conditions. The capacitor manufactured using the film was inferior in moisture and heat resistance as compared with Example 1. Example 2 An aqueous aliphatic polyester polyurethane dispersion (B) was prepared in the same manner as in Example 1 except that 4,4′-dicyclohexylmethane diisocyanate was used instead of tolylene diisocyanate used in the production of the polyester polyurethane for a coating agent in Example 1. ) Got. The coating agent in Example 1 was subjected to coating treatment at a weight ratio of the aromatic polyester polyurethane (A) to the aliphatic polyester polyurethane (B) of 60 parts / 40 parts. A polyester film was obtained in the same manner as in Example 1, except that the relaxation rate was set to 10%, and a vapor deposition film was manufactured under the same conditions.

【００４２】実施例３ 塗布剤として共重合ポリエステル樹脂を以下のように製
造した。すなわち、テレフタル酸ジメチル３０部、イソ
フタル酸ジメチル７０部、セバシン酸ジメチル１５部、
ジメチル−５−スルホイソフタレートナトリウム塩６
部、エチレングリコール８０部を出発原料とし、触媒と
して酢酸マンガン４水塩０．０４部を加え、加熱昇温す
るとともにメタノールを留去してしてエステル交換反応
を行った。反応開始から３時間を要して２３０℃まで昇
温し、実質的にエステル交換反応を終了させた。次い
で、この反応物にリン酸０．０１部を添加し、さらに三
酸化アンチモン０．０４部を加えて重縮合反応を行い、
４時間後に極限粘度０．５０の共重合ポリエステルを得
た。得られた共重合ポリエステル２０部をテトラヒドロ
フラン８０部に溶解させた液に、高速撹拌下で水１８０
部を加えた後、加温してテトラヒドロフランを揮散させ
て、共重合ポリエステル水分散体（Ｃ）を得た。得られ
た水分散体（Ｃ）と実施例１で製造したポリエステルポ
リウレタン分散体（Ａ）とを混合して、固形分として共
重合ポリエステル／芳香族ポリエステルポリウレタンの
重量比が５０部／４０部となるように混合し、かつ架橋
剤としてトリエチレングリコールジグリシジルエーテル
を１０部添加した塗布剤を用いたこと以外は実施例１と
同様にして塗布厚み０．０５μｍ、フィルム厚み６μｍ
の二軸延伸フィルムを得、同条件で蒸着フィルムを製造
した。Example 3 A copolymerized polyester resin was produced as a coating agent as follows. That is, 30 parts of dimethyl terephthalate, 70 parts of dimethyl isophthalate, 15 parts of dimethyl sebacate,
Dimethyl-5-sulfoisophthalate sodium salt 6
And 80 parts of ethylene glycol as a starting material, and 0.04 part of manganese acetate tetrahydrate was added as a catalyst, and the mixture was heated and heated, and methanol was distilled off to carry out a transesterification reaction. It took 3 hours from the start of the reaction to raise the temperature to 230 ° C., thereby substantially terminating the transesterification reaction. Next, 0.01 part of phosphoric acid was added to the reaction product, and 0.04 part of antimony trioxide was further added to perform a polycondensation reaction.
After 4 hours, a copolymerized polyester having an intrinsic viscosity of 0.50 was obtained. A solution prepared by dissolving 20 parts of the obtained copolymerized polyester in 80 parts of tetrahydrofuran was mixed with water 180 under high-speed stirring.
After the addition, the mixture was heated to evaporate tetrahydrofuran to obtain an aqueous dispersion of copolymerized polyester (C). The obtained aqueous dispersion (C) and the polyester polyurethane dispersion (A) produced in Example 1 were mixed, and as a solid content, the weight ratio of the copolymerized polyester / aromatic polyester polyurethane was 50 parts / 40 parts. And a coating thickness of 0.05 μm and a film thickness of 6 μm in the same manner as in Example 1 except that a coating agent to which 10 parts of triethylene glycol diglycidyl ether was added as a crosslinking agent was used.
And a vapor-deposited film was produced under the same conditions.

【００４３】実施例４ 実施例２において、フィルムの熱処理温度を２１０℃と
したこと以外は実施例１と同様にして塗布厚み０．０４
μｍ、フィルム厚み６μｍの二軸配向フィルムを得た。 比較例２ 実施例２において、熱処理時の弛緩率を１％としたこと
以外は実施例２と同様にして、塗布厚み０．０４μｍ、
フィルム厚み９μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを
得、蒸着フィルムを製造した。該フィルムは収縮応力特
性が本発明の要件を満足しておらず、得られたコンデン
サの特性は不十分なものであった。 比較例３ 比較例２で得られたフィルムを、蒸着時に速度および張
力を調整して１５０℃での収縮応力が小さい蒸着フィル
ムを得た。得られた蒸着フィルムは、若干のたるみが発
生しており、また最大収縮応力が大きいため、得られた
コンデンサの特性は不十分であった。Example 4 A coating thickness of 0.04 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the heat treatment temperature of the film was 210 ° C.
A biaxially oriented film having a thickness of 6 μm and a film thickness of 6 μm was obtained. Comparative Example 2 A coating thickness of 0.04 μm was obtained in the same manner as in Example 2 except that the relaxation rate during the heat treatment was set to 1%.
A biaxially oriented polyester film having a film thickness of 9 μm was obtained, and a vapor-deposited film was produced. This film did not satisfy the requirements of the present invention in terms of shrinkage stress characteristics, and the characteristics of the obtained capacitor were insufficient. Comparative Example 3 The film obtained in Comparative Example 2 was adjusted for speed and tension during vapor deposition to obtain a vapor-deposited film having a small shrinkage stress at 150 ° C. The obtained vapor-deposited film had some sagging and a large maximum shrinkage stress, so that the characteristics of the obtained capacitor were insufficient.

【００４４】実施例５ 比較例２で得たフィルムを、幅方向には拘束せず、高温
の空気を上下から吹きつけてフィルムを走行させながら
熱処理を行う、いわゆる加熱浮上熱処理を行った。フィ
ルム走行時、長手方向にかかる張力を１ｋｇ／ｃｍ² と
し、処理温度を２００℃、処理時間を５秒間、熱処理後
フィルムを７０℃以下に冷却してから巻き取った。得ら
れたフィルムを用い、実施例１と同条件で蒸着し、蒸着
フィルムを得た。得られた蒸着フィルムを用いて製造し
たコンデンサは特性は良好であったが、工程が多くなる
ためコスト的に不利であり、また不純物の混入が起こり
やすく、耐電圧特性がやや低下した。Example 5 The film obtained in Comparative Example 2 was subjected to a so-called heat-floating heat treatment, in which heat treatment was performed without blowing in the width direction and while running the film by blowing high-temperature air from above and below. During film running, the tension applied in the longitudinal direction was 1 kg / cm ² , the processing temperature was 200 ° C., the processing time was 5 seconds, and after the heat treatment, the film was cooled to 70 ° C. or less and wound up. Using the obtained film, vapor deposition was performed under the same conditions as in Example 1 to obtain a vapor deposited film. The capacitor manufactured using the obtained vapor-deposited film had good characteristics, but was disadvantageous in cost due to the number of steps, and was liable to be mixed with impurities, resulting in a slight decrease in withstand voltage characteristics.

【００４５】実施例６ 実施例１において、製膜時のフィルムの熱処理温度を２
４２℃とし、該温度での弛緩処理を行わず、後段の徐冷
却ゾーンで３％の弛緩を行ったこと以外は実施例１と同
様にして塗布厚み０．０４μｍ、フィルム厚み６μｍの
二軸配向フィルムを得、同条件で蒸着フィルムを製造し
た。得られた蒸着フィルムは、誘電損失特性が劣るた
め、これを用いて製造したコンデンサは交流耐電圧にや
や劣るものであった。Example 6 In Example 1, the heat treatment temperature of the film at the time of film formation was changed to 2
Biaxial orientation with a coating thickness of 0.04 μm and a film thickness of 6 μm in the same manner as in Example 1 except that the relaxation was performed at 42 ° C., and the relaxation treatment was not performed at that temperature, and the relaxation was performed by 3% in the subsequent slow cooling zone. A film was obtained, and a deposited film was produced under the same conditions. Since the obtained vapor-deposited film had poor dielectric loss characteristics, a capacitor manufactured using the film had a slightly poor AC withstand voltage.

【００４６】比較例４ 実施例１において、フィルム厚みを０．９μｍになるよ
うに製膜条件を調節して製造した。しかしながら、フィ
ルム厚みが薄すぎるため、塗布が均一にならず、フィル
ム破断が頻発して著しく生産性が悪化した。また、得ら
れたフィルムの電気特性、特に誘電損失が大きく、コン
デンサ用として使用できるものではなかった。以上、得
られた結果をまとめて下記表１および２に示す。Comparative Example 4 A film was produced in the same manner as in Example 1 except that the film forming conditions were adjusted so that the film thickness became 0.9 μm. However, since the film thickness was too thin, the application was not uniform, and the film was frequently broken, resulting in a significant decrease in productivity. In addition, the obtained film had a large electric property, particularly a large dielectric loss, and could not be used for a capacitor. The results obtained above are summarized in Tables 1 and 2 below.

【００４７】[0047]

【表１】 [Table 1]

【００４８】[0048]

【表２】 [Table 2]

【００４９】[0049]

【発明の効果】本発明の蒸着フィルムは、蒸着金属層と
のフィルムとの密着性に優れ、かつ寸法安定性に優れる
ため、特にコンデンサの誘電体として用いたときに、高
度な電気特性と耐湿熱特性を与え、コンデンサの長期信
頼性向上に寄与することができ、その工業的価値は高
い。The vapor-deposited film of the present invention has excellent adhesion to the film with the vapor-deposited metal layer and excellent dimensional stability. It can provide thermal characteristics and contribute to improving the long-term reliability of the capacitor, and its industrial value is high.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 水溶性または水分散性樹脂からなる厚み
０．００５μｍ〜０．５μｍの塗布層をフィルムの少な
くとも片面に有し、前記塗布層を介して設けられた金属
蒸着層を少なくとも片面に有する二軸配向ポリエステル
フィルムであって、フィルムの長手方向の熱収縮応力が
下記式（１）および（２）を同時に満足し、全厚みが
１．０μｍ〜１２μｍであることを特徴とするコンデン
サ用金属蒸着ポリエステルフィルム。 【数１】Ｓ₁₅₀ ＜１２０ｇ／ｍｍ² ………（１） Ｓ_max ＜５００ｇ／ｍｍ² ………（２） （上記式中、Ｓ₁₅₀ は、１５０℃におけるフィルムの単
位断面積あたりの収縮応力値、Ｓ_max は、１５０℃以上
フィルムの融点以下の温度範囲内での収縮応力値の最大
値を示す）1. A film having a coating layer made of a water-soluble or water-dispersible resin and having a thickness of 0.005 μm to 0.5 μm on at least one side of a film, and a metal deposition layer provided via the coating layer on at least one side. A biaxially oriented polyester film having a heat shrinkage stress in the longitudinal direction of the film that simultaneously satisfies the following formulas (1) and (2) and a total thickness of 1.0 μm to 12 μm. Metallized polyester film. S ₁₅₀ <120 g / mm ² (1) S _max <500 g / mm ² (2) (in the above formula, S ₁₅₀ is shrinkage per unit sectional area of the film at 150 ° C.) The stress value, _Smax , indicates the maximum value of the shrinkage stress value within the temperature range of 150 ° C. or more and the melting point of the film or less.) 【請求項２】 密度が１．４０００ｇ／ｃｍ³ 以下であ
ることを特徴とする請求項１記載のコンデンサ用金属蒸
着ポリエステルフィルム。2. The metallized polyester film for capacitors according to claim 1, wherein the density is 1.4000 g / cm ³ or less. 【請求項３】 塗布層を形成する樹脂の５０重量％以上
がポリウレタン系樹脂であることを特徴とする請求項１
または２記載のコンデンサ用金属蒸着ポリエステルフィ
ルム。3. The resin according to claim 1, wherein at least 50% by weight of the resin forming the coating layer is a polyurethane resin.
Or a metal-deposited polyester film for a capacitor as described in 2 above.