JPH10107404A - 部品実装装置 - Google Patents

部品実装装置

Info

Publication number
JPH10107404A
JPH10107404A JP8259056A JP25905696A JPH10107404A JP H10107404 A JPH10107404 A JP H10107404A JP 8259056 A JP8259056 A JP 8259056A JP 25905696 A JP25905696 A JP 25905696A JP H10107404 A JPH10107404 A JP H10107404A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressurizing
conductive film
anisotropic conductive
terminal portion
tool
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8259056A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaaki Oshima
政明 尾嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Mechatronics Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Mechatronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Mechatronics Co Ltd filed Critical Toshiba Mechatronics Co Ltd
Priority to JP8259056A priority Critical patent/JPH10107404A/ja
Publication of JPH10107404A publication Critical patent/JPH10107404A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3494Heating methods for reflowing of solder

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板と部品とを異方性導電膜を介して接続す
るようにしたものにあって、加圧ツールの熱変形を防止
し、先端面の平坦性を確保する。 【解決手段】 ガラス基板5の縁辺部の裏面を受け支え
るバックアップ機構11の上方部に位置する圧着ヘッド
10に、加圧ツール13及びその加圧ツール13を上下
動させる加圧駆動機構14を設ける。加圧ツール13の
ベース部16と加圧部19との間に、加圧部19による
加圧力を検出する圧力検出器20を設ける。圧力検出器
20の検出信号に基づいて、加圧駆動装置14を制御す
る加圧力制御部を設ける。圧着ヘッド10に下方部に向
けて熱線を照射する熱照射機構22を設ける。異方性導
電膜7の仮圧着時、及びTAB部品の装着時に、熱照射
機構22により異方性導電膜7部分に熱照射を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、端子部を有する基
板に対しリード部を有する部品を異方性導電膜を介して
接続する部品実装装置に関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】近年、キャリアテープ
にICチップを装着したフィルムキャリア部品(TAB
部品)を、例えばLCDのガラス基板などに自動的に装
着する部品実装装置が供されてきている。この部品実装
装置は、ガラス基板を供給するガラス基板供給機構、長
尺なキャリアテープからTAB部品を打抜く打抜き機
構、打抜かれたTAB部品を前記ガラス基板に装着する
圧着ヘッド、TAB部品のリード部とガラス基板の端子
部との位置合せを行うための視覚認識機構などを備えて
構成されている。
【0003】前記ガラス基板は、その縁辺部に沿うよう
にして端子部が設けられており、この端子部の上面に異
方性導電膜(ACF)が配置されるようになっている。
この異方性導電膜は、一般に、熱硬化性樹脂からなる母
材内に金属粉粒体を分散させて構成されており、接着剤
としての機能を果たしながら、厚み方向にのみ電気的導
通を図るものである。そして、前記圧着ヘッドは、ヒー
タを埋設した加圧ツールを備え、前記TAB部品を、そ
のリード部が前記異方性導電膜を挟んで端子部に位置合
せされた状態に配置し、加圧ツールによりそのリード部
を加圧しながら加熱して圧着するようになっている。
【0004】ところで、上記加圧ツールには、リード部
と端子部との接続部分を均等に加圧すべく、先端面(押
圧面)の平坦性(ガラス基板に対する平行度)を確保す
る必要がある。特に、近年では、部品のリード部(ひい
てはガラス基板の端子部)の微細化,高密度化が図られ
てきており、加圧ツールの先端面に、より一層厳密な平
坦性が求められるのである。
【0005】しかしながら、上記従来のものでは、加圧
ツールに埋設されたヒータの熱により、加圧ツールに反
り等の変形が生じ、先端面の平坦性(平行度)が損なわ
れてしまう不具合があった。加圧ツールの先端面の平坦
性が損なわれてしまうと、リード部と端子部との接続不
良が発生したり、接続強度の低下を招いてしまうことに
なる。
【0006】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、基板と部品とを異方性導電膜を介して
接続するようにしたものにあって、加圧ツールの熱変形
を防止することができ、先端面の平坦性を確保すること
ができる部品実装装置を提供するにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1の部品
実装装置は、基板の端子部と部品のリード部とを熱硬化
性を呈する異方性導電膜を介して接続するものにあっ
て、圧着ヘッドに設けられ前記リード部と端子部との接
続部分を加圧するための加圧ツールと、この加圧ツール
を加圧方向に駆動する加圧駆動機構と、前記接続部分に
熱照射を行う熱照射機構とを具備するところに特徴を有
する。
【0008】これによれば、異方性導電膜を挟むリード
部と端子部との接続部分が、熱照射機構によって加熱さ
れ、異方性導電膜が一旦軟化状態となる。そして、この
状態で加圧ツールにより加圧されることにより、リード
部と端子部とが電気的接続状態となり、その後異方性導
電膜が硬化することにより、電気的及び機械的な接続が
完了する。このとき、熱照射機構が接続部分を加熱する
ための加熱源となり、加圧ツールの外部からの熱照射に
より非接触で加熱を行うので、加圧ツール自体がさほど
高温となることはない。
【0009】この場合、基板の端子部上に異方性導電膜
を仮圧着する工程を実行するものにあって、端子部上に
配置された異方性導電膜に対して、熱照射機構により熱
照射を行いながら、加圧ツールにより加圧を行うように
構成すれば(請求項2の発明)、やはり加圧ツール自体
をさほど高温とすることなく、端子部上に異方性導電膜
を貼付けることができる。
【0010】また、本発明の請求項3の部品実装装置
は、基板の端子部と部品のリード部とを紫外線硬化性を
呈する異方性導電膜を介して接続するものにあって、圧
着ヘッドに設けられ前記リード部と端子部との接続部分
を加圧するための加圧ツールと、この加圧ツールを加圧
方向に駆動する加圧駆動機構と、前記接続部分に紫外線
光を照射する紫外線光照射機構とを具備するところに特
徴を有する。
【0011】これによれば、やはり、加圧ツール自体が
さほど高温となることはない。この場合、基板の端子部
上に異方性導電膜を仮圧着する工程を実行するものにあ
って、端子部上に配置された異方性導電膜に対して、紫
外線光照射機構により紫外線光の照射を行いながら、加
圧ツールにより加圧を行うように構成すれば(請求項2
の発明)、やはり加圧ツール自体をさほど高温とするこ
となく、端子部上に異方性導電膜を貼付けることができ
る。
【0012】さらに、上記した各部品実装装置におい
て、加圧ツールによる加圧力を検出する加圧力検出手段
と、この加圧力検出手段の検出に基づいて加圧駆動機構
を制御する加圧制御手段とを設けるようにしても良い
(請求項5の発明)。これによれば、加圧ツールによる
加圧力を適切に制御することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、LCDのガラス
基板(液晶セル)にTAB部品(キャリアテープ部品)
を装着するようにした部品実装装置に適用した一実施例
について、図1ないし図3を参照しながら説明する。
尚、本実施例は、請求項1,2,5に対応している。
【0014】まず、図3に示すように、TAB部品1
は、多数本のリード2aを有するリード部2を予め形成
しておいたキャリアテープ3に、ICチップ4を装着
(インナリードボンディング)して構成される。このT
AB部品1は、長尺なキャリアテープ3に多数個が連続
的に形成されており、打抜きにより個々に分離されるよ
うになっている。
【0015】一方、基板たるLCDのガラス基板5は、
その縁辺部に多数本の端子6aを有する端子部6を備え
ている。前記TAB部品1は、前記リード部2と端子部
6とが、細幅のテープ状の異方性導電膜(ACF)7を
介して重ね合せられ、電気的接続状態に装着されるよう
になっている。このとき、周知のように、前記異方性導
電膜7は、熱硬化性樹脂からなる母材内に金属粉粒体を
分散させて構成されており、接着剤としての機能を果た
しながら、厚み方向にのみ電気的導通を図るものであ
る。本実施例に係る部品実装装置は、上記ガラス基板5
の端子部6上に異方性導電膜7の仮圧着(貼付け)を行
い、その後、TAB部品1を圧着により装着するように
なっている。
【0016】詳しく図示はしないが、本実施例に係る部
品実装装置は、大きく分けて、長尺なキャリアテープ3
からTAB部品1を打抜く部品打抜部と、打抜かれたT
AB部分1をガラス基板5に装着する部品装着部とを備
えて構成されている。また、この部品実装装置の各機構
は、図示しない制御装置により、所定の実装プログラム
に従って制御され、もってTAB部品1の打抜き、装着
の作業が自動的に実行されるようになっている。
【0017】このうち部品打抜部は、長尺なキャリアテ
ープ4を供給リールから引出して巻取リールまで送るテ
ープ送り機構、前記キャリアテープ4が送られる搬送路
の途中部に設けられ前記TAB部品1を打抜くための下
型及び上型を備える打抜き機構、打抜いたTAB部品1
を搬送する搬送機構等を備えて構成されている。
【0018】一方、前記部品装着部は、図1及び図2に
一部示すように、前記ガラス基板5が位置決め状態にセ
ットされる基板搭載テーブル8、この基板搭載テーブル
8を水平方向に自在に移動させる基板供給機構9、前記
ガラス基板5に対する前記TAB部品1の装着作業を行
う圧着ヘッド10、この圧着ヘッド10の下方に位置し
前記ガラス基板5の縁辺部の裏面を受け支えるバックア
ップ機構11、前記異方性導電膜7を供給するACF供
給機構、視覚認識によりガラス基板5の端子部6の位置
合せ等を行うための視覚認識機構等を備えて構成されて
いる。
【0019】さて、前記圧着ヘッド10は、図1及び図
2に示すように、取付フレーム12に、加圧ツール13
を上下動可能に備えると共に、その加圧ツール13を該
取付フレーム12に対して上下動させる加圧駆動機構1
4を備えて構成されている。前記加圧ツール13は、前
記取付フレーム12にリニアガイド15を介して上下動
自在とされたベース部16と、このベース部16に一対
のシャフト17及びスプリング18を介して取付けられ
た加圧部19とを備えて構成されている。前記加圧部1
9は、図1に示すように、側面T字状をなし、その細長
く且つ平坦な先端面により、異方性導電膜7やTAB部
品1のリード部2を加圧するようになっている。
【0020】さらに、本実施例では、前記加圧ツール1
3には、ベース部16と加圧部19との間に、その加圧
部19による加圧力を検出するための加圧力検出手段と
しての2個の圧力検出器20が設けられている。図2に
示すように、この圧力検出器20の検出信号は、加圧制
御手段たる制御装置の加圧力制御部21に入力され、加
圧力制御部21は、その検出信号に基づいて、加圧力を
所定の値に維持すべく前記加圧駆動装置14を制御する
ようになっている。
【0021】そして、図1に示すように、圧着ヘッド1
0には、前記加圧ツール13の近傍に位置して熱照射機
構22が設けられている。この熱照射機構22は、例え
ばランプヒータ等から構成され、加圧ツール13の下方
部に向けて熱線を照射するようになっている。これに
て、後述のように、異方性導電膜7の仮圧着時、及びT
AB部品1の装着時に、熱照射機構22によりその接続
部分(異方性導電膜7部分)に熱照射が行われるように
なっている。
【0022】次に、上記構成の作用について述べる。ガ
ラス基板5の端子部6上に異方性導電膜7を仮圧着する
にあたっては、まず、基板供給機構9によってバックア
ップ機構11上に位置合せ状態にセットされたガラス基
板5に対し、その端子部6上に図示しないACF供給機
構により異方性導電膜7が供給される。そして、圧着ヘ
ッド10の熱照射機構22によりその異方性導電膜7に
向けて熱照射が行われ、異方性導電膜7が加熱,軟化さ
れる。
【0023】次いで、加圧ツール13が下降され、加圧
部19により異方性導電膜7が押圧され、ガラス基板5
の端子部6上に仮圧着されるのである。また、このと
き、異方性導電膜7の押圧時に、圧力検出器20により
加圧ツール13の加圧力が検出され、圧力制御部21に
よって加圧駆動機構14が制御され、加圧ツール13の
加圧力が適切な一定値とされるようになっている。
【0024】この後、TAB部品1の圧着の工程が実行
されるのであるが、この工程では、まず、TAB部品1
が、そのリード部2が前記端子部6に異方性導電膜7を
挟んで重なるように、ガラス基板5の縁辺部上に位置合
せ状態にセットされる。そして、その状態から、熱照射
機構22により接続部分(異方性導電膜7)に向けて熱
照射が行われ、異方性導電膜7が加熱,軟化され、次い
で、加圧ツール13が下降されて加圧部19によりTA
B部品1のリード部2が押圧され、TAB部品1がガラ
ス基板5上に圧着される。
【0025】しかる後、異方性導電膜7が硬化すること
により、ガラス基板5とTAB部品1との電気的及び機
械的な接続が完了するのである。このときにも、圧力検
出器20により加圧ツール13の加圧力が検出され、圧
力制御部21によって加圧駆動機構14が制御され、加
圧ツール13の加圧力が適切な一定値とされるようにな
っている。
【0026】しかして、本実施例では、上述のように異
方性導電膜7の仮圧着時及びTAB部品1の装着時に、
異方性導電膜7を加熱するにあたって、従来のような加
圧ツールに埋設されたヒータにより加熱を行うものと異
なり、加圧ツール13とは別体に設けられた熱照射機構
22が接続部分を加熱するための加熱源となる。これに
より、加圧ツール13の加圧部19の外部からの熱照射
により非接触で異方性導電膜7の加熱が行われるように
なり、加圧ツール13(加圧部19)自体がさほど高温
となることはないのである。
【0027】従って、本実施例によれば、ガラス基板5
とTAB部品1とを異方性導電膜7を介して接続するよ
うにしたものにあって、ヒータの熱により加圧ツールに
反り等の変形が生ずる虞のあった従来のものと異なり、
加圧ツール13(加圧部19)の熱変形を防止すること
ができ、その先端面の平坦性を確保することができる。
この結果、リード部2と端子部6との接続不良の発生や
接続強度の低下を未然に防止することができるものであ
る。
【0028】さらに、特に本実施例では、加圧ツール1
3による加圧力を検出する圧力検出器20を設けると共
に、この圧力検出器20の検出に基づいて加圧駆動機構
14を制御する加圧力制御部21を設けるようにしたの
で、加圧ツール13による加圧力を適切に制御すること
ができ、安定した接続作業を行うことができるといった
利点を得ることができるものである。
【0029】図4は、本発明の他の実施例(請求項3,
4に対応)を示すものである。この実施例が上記第1の
実施例と異なる点は、紫外線硬化性を呈する異方性導電
膜31を用いていると共に、上記熱照射機構22に代え
て、紫外線ランプ等からなる紫外線光照射機構32を設
けるようにしたところにある。これによれば、やはり、
加圧ツール13(加圧部19)自体を高温とすることな
く、接続作業を行うことができ、加圧ツール13(加圧
部19)の先端面の平坦性を確保することができるもの
である。
【0030】尚、本発明は上記した各実施例に限定され
るものではなく、例えば熱照射機構22と紫外線光照射
機構32との両方を備えた構成としてそれらを使い分け
るようにしたり、あるいはそれら双方を用いて接続作業
を行うように構成しても良く、また、基板としてはLC
Dのガラス基板に限らず、異方性導電膜を使用した部品
実装装置全般に適用することができるなど、要旨を逸脱
しない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。
【0031】
【発明の効果】以上の説明にて明らかなように、本発明
の部品実装装置によれば、基板と部品とを異方性導電膜
を介して接続するようにしたものにあって、接続部分を
加圧するための加圧ツールとは別体に、接続部分に熱照
射(あるいは紫外線光照射)を行う熱照射機構(あるい
は紫外線光照射機構)を設けるようにしたので、加圧ツ
ールの熱変形を防止することができ、先端面の平坦性を
確保することができるという優れた実用的効果を奏する
ものである。
【0032】また、加圧ツールによる加圧力を検出する
加圧力検出手段と、この加圧力検出手段の検出に基づい
て加圧駆動機構を制御する加圧制御手段とを設けるよう
にすれば、加圧ツールによる加圧力を常に適切に制御す
ることができ、より効果的となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すもので、要部の側面図
【図2】要部の正面図
【図3】端子部とリード部との接続の様子を示す拡大斜
視図
【図4】本発明の他の実施例を示す図1相当図
【符号の説明】
図面中、1はTAB部品(部品)、2はリード部、5は
ガラス基板(基板)、6は端子部、7,31は異方性導
電膜、10は圧着ヘッド、13は加圧ツール、19は加
圧部、20は圧力検出器(加圧力検出手段)、21は加
圧力制御部(加圧制御手段)、22は熱照射機構、32
は紫外線光照射機構を示す。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 端子部を有する基板に対し、リード部を
    有する部品をその端子部と前記端子部とが熱硬化性を呈
    する異方性導電膜を介して接続されるように圧着ヘッド
    により圧着するようにした部品実装装置であって、 前記圧着ヘッドに設けられ前記リード部と端子部との接
    続部分を加圧するための加圧ツールと、この加圧ツール
    を加圧方向に駆動する加圧駆動機構と、前記接続部分に
    熱照射を行う熱照射機構とを具備することを特徴とする
    部品実装装置。
  2. 【請求項2】 基板の端子部上に異方性導電膜を仮圧着
    する工程において、前記端子部上に配置された異方性導
    電膜に対して、熱照射機構により熱照射を行いながら、
    加圧ツールにより加圧を行うように構成されていること
    を特徴とする請求項1記載の部品実装装置。
  3. 【請求項3】 端子部を有する基板に対し、リード部を
    有する部品をそのリード部と前記端子部とが紫外線硬化
    性を呈する異方性導電膜を介して接続されるように圧着
    ヘッドにより圧着するようにした部品実装装置であっ
    て、 前記圧着ヘッドに設けられ前記端子部とリード部との接
    続部分を加圧するための加圧ツールと、前記加圧ツール
    を加圧方向に駆動する加圧駆動機構と、前記接続部分に
    紫外線光を照射する紫外線光照射機構とを具備すること
    を特徴とする部品実装装置。
  4. 【請求項4】 基板のリード部上に異方性導電膜を仮圧
    着する工程において、前記端子部上に配置された異方性
    導電膜に対して、紫外線光照射機構により紫外線光の照
    射を行いながら、加圧ツールにより加圧を行うように構
    成されていることを特徴とする請求項3記載の部品実装
    装置。
  5. 【請求項5】 加圧ツールによる加圧力を検出する加圧
    力検出手段と、この加圧力検出手段の検出に基づいて加
    圧駆動機構を制御する加圧制御手段とを備えることを特
    徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の部品実装
    装置。
JP8259056A 1996-09-30 1996-09-30 部品実装装置 Pending JPH10107404A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8259056A JPH10107404A (ja) 1996-09-30 1996-09-30 部品実装装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8259056A JPH10107404A (ja) 1996-09-30 1996-09-30 部品実装装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10107404A true JPH10107404A (ja) 1998-04-24

Family

ID=17328720

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8259056A Pending JPH10107404A (ja) 1996-09-30 1996-09-30 部品実装装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10107404A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000021714A (ko) * 1998-09-30 2000-04-25 윤종용 탭 패키지 솔더링 머신
US7075036B2 (en) * 2001-06-08 2006-07-11 Shibaura Mechatronics Corporation Electronic part compression bonding apparatus and method
JP2007234967A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品接合装置及び部品接合方法
CN101957504A (zh) * 2009-07-13 2011-01-26 株式会社日立高新技术 热压接装置
JP2015076536A (ja) * 2013-10-10 2015-04-20 パナソニックIpマネジメント株式会社 電子部品実装装置
CN105938263A (zh) * 2015-03-06 2016-09-14 松下知识产权经营株式会社 Acf粘贴方法以及acf粘贴装置
CN111983829A (zh) * 2019-05-23 2020-11-24 松下知识产权经营株式会社 部件压接装置以及部件压接方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000021714A (ko) * 1998-09-30 2000-04-25 윤종용 탭 패키지 솔더링 머신
US7075036B2 (en) * 2001-06-08 2006-07-11 Shibaura Mechatronics Corporation Electronic part compression bonding apparatus and method
JP2007234967A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品接合装置及び部品接合方法
JP4667272B2 (ja) * 2006-03-02 2011-04-06 パナソニック株式会社 部品接合装置及び部品接合方法
CN101957504A (zh) * 2009-07-13 2011-01-26 株式会社日立高新技术 热压接装置
JP2015076536A (ja) * 2013-10-10 2015-04-20 パナソニックIpマネジメント株式会社 電子部品実装装置
CN105938263A (zh) * 2015-03-06 2016-09-14 松下知识产权经营株式会社 Acf粘贴方法以及acf粘贴装置
CN105938263B (zh) * 2015-03-06 2020-09-25 松下知识产权经营株式会社 Acf粘贴方法以及acf粘贴装置
CN111983829A (zh) * 2019-05-23 2020-11-24 松下知识产权经营株式会社 部件压接装置以及部件压接方法
CN111983829B (zh) * 2019-05-23 2024-03-08 松下知识产权经营株式会社 部件压接装置以及部件压接方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4370341B2 (ja) Acf貼り付け装置
JP5096835B2 (ja) Acf貼付け装置及びフラットパネルディスプレイの製造装置
CN107765454B (zh) 压接装置
JPH10107404A (ja) 部品実装装置
JP2010152205A (ja) Acf貼付装置及び表示装置の製造方法
TWI296234B (en) Bonding apparatus and method using the same
KR101978595B1 (ko) 가요성 디스플레이 모듈 접합 방법
JPH1192716A (ja) 貼着物の貼着装置
JP4417893B2 (ja) 粘着性テープの貼着装置及び貼着方法
JP3592838B2 (ja) Tab部品の圧着装置
TWI383718B (zh) An anisotropic conductive film (ACF) sticking device, a flat panel display (FPD) manufacturing apparatus, and a flat panel display
JPH1062807A (ja) 異方性導電膜の貼り付け方法およびその装置
JP2003066479A (ja) 液晶パネルへのtab部品の圧着方法
JP3267071B2 (ja) Tab−セル圧着装置及び圧着方法
JPH08184847A (ja) 電子部品圧着方法
JP5356873B2 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP5027736B2 (ja) 電子部品実装装置
JP2009010123A (ja) 電子部品の実装装置及び電子部品の製造方法
KR20070063702A (ko) 자외선을 이용한 패턴 전극 본딩 장치
JPH04303582A (ja) 圧着方法および圧着装置
JP2982610B2 (ja) 液晶セルのtab圧着装置
JP2012054350A (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP3872763B2 (ja) ボンディング方法
JP4370337B2 (ja) 電子部品圧着装置及び電子部品圧着方法
JP3120681B2 (ja) Tcp圧着装置