JPH1010189A - デバイスコンタクトユニット - Google Patents

デバイスコンタクトユニット

Info

Publication number
JPH1010189A
JPH1010189A JP8159376A JP15937696A JPH1010189A JP H1010189 A JPH1010189 A JP H1010189A JP 8159376 A JP8159376 A JP 8159376A JP 15937696 A JP15937696 A JP 15937696A JP H1010189 A JPH1010189 A JP H1010189A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide
lead
contactor
heater plate
contact unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8159376A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroto Osaki
裕人 大崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electronics Corp filed Critical Matsushita Electronics Corp
Priority to JP8159376A priority Critical patent/JPH1010189A/ja
Publication of JPH1010189A publication Critical patent/JPH1010189A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 温度変化に伴って、測定用のデバイスが膨
張、収縮の影響を受けてしまい、正確な測定ができなか
った。 【解決手段】 ユニットベース13上に各々2本ずつガ
イドピン14を備えた複数のICコンタクター5と垂直
ドライブ機構15を備えたヒータプレート16と、ヒー
タプレート16上にあって、ガイドピン14が挿入され
る位置決め用ガイド穴17を備えたフローティング構造
の複数のデバイスガイド18と、デバイスガイド18内
に保持されたデバイス3のリード4をICコンタクター
5に押しつけるリードプッシャー6より構成される。以
上のような構成により、試験温度が常温から高温、ある
いは高温から常温に変更され、ヒータプレート16が膨
張、収縮しても、各々のデバイスガイド18は独立して
いるため、対応するICコンタクター5とリード4は常
に高い精度で位置合わせを行なうことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は集積回路(IC)等
の電子部品デバイスの電気的特性を測定する試験装置に
関するもので、とりわけ、被試験デバイスを温度条件に
応じて熱印加して試験する、オートマチックテストハン
ドラーのデバイスコンタクトユニットに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】電子産業界においては集積回路(IC)
や半導体チップ等の電子デバイスの電気的な機能の密度
を高める一方、そのデバイスをより安く、また小型化す
る為の要求が絶えない。それらのデバイスの生産性を高
め、ユニットコストを抑える為の1つの方法は、それら
電子部品を同時に複数個テストすることにより、テスト
スピードを上げることである。
【0003】図5は従来の常温試験と高温試験の両方が
可能なデバイスコンタクトユニットの構成図である。
【0004】従来のデバイスコンタクトユニットは、図
5に示すように、ソケット取付ベース1にICソケット
2が1ないし2個取付けられており、その直上にはデバ
イス3のリード4をICコンタクター5へ押しつけるリ
ードプッシャー6がリードプッシャー取付ベース7につ
り下げられている。またリードプッシャー取付ベース7
はシリンダー8に連結されている。シリンダー8以外は
デバイス3を一定温度の環境で試験するため、断熱材9
で外気と遮断し、恒温槽10を形成し、その内部には高
温試験時に用いるヒータ11と内部の空気を対流させて
温度を均一にするファン12で構成される。
【0005】以上のように構成された従来のデバイスコ
ンタクトユニットについて、その動作を説明する。
【0006】まず、被測定デバイス3は移載アーム(図
示せず)により、断熱材9で構成されている恒温槽10
内のICソケット2の上に載せられる。
【0007】次に、リードプッシャー6がリードプッシ
ャー取付ベース7を介してシリンダー8により、デバイ
ス3のリード4をICコンタクター5に押しつけ、測定
を行なう。
【0008】測定後、デバイス3は排出アーム(図示せ
ず)で恒温槽10外へ搬送され、測定結果に基づき分類
される。この間、次のデバイスが移載アームでICソケ
ット2上に載せられる、といった一連の動作を繰り返し
ていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の構
成では、測定するICが1個またはごく少数の場合はよ
いが、多数のICを同時に測定する場合は、ソケット取
付ベースやリードプッシャー取付ベースが恒温槽内にあ
るために、高温試験時には熱膨張、常温試験時には収縮
が起こり、それによりソケット取付ベースやリードプッ
シャー取付ベースに小さな屈曲や歪みを起こす。そのた
め、リードプッシャーとデバイスのリード及びデバイス
のリードとICコンタクターとの相対位置関係が変化
し、ズレが生じる。その結果、一部のデバイスのリード
が、ICコンタクターと強く接触する一方、他のデバイ
スのリードにおいてはICコンタクターとデバイスのリ
ードとの近接が十分でない為に、その接触が不完全とな
る。
【0010】従って従来、デバイスコンタクトユニット
において、同時試験するデバイス数を増大させる為に、
多数のICソケットを単に並べて使うことには問題があ
った。
【0011】また、同時測定するICが多数個になれ
ば、コンタクトユニットはそれに伴い大型化し、それを
覆う恒温槽も大型化する必要があり、設備コストがアッ
プするという問題もあった。
【0012】本発明は、前記従来の課題を解決するもの
で、温度変化に伴って、測定用のデバイスが膨張、収縮
の影響を受けないデバイスコンタクトユニットを提供す
ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明のデバイスコンタクトユニットは下面にガイ
ド穴があけられ、上面にデバイスを保持する凹部が設け
られているフローティングガイドと、ガイド穴に挿入さ
れるガイドピンが取付けられているICコンタクター
と、前記フローティングガイドとICコンタクターの間
に複数のデバイスを腹面から温めることのできるヒータ
プレートが、温度変化で膨張又は収縮しても、生じた応
力を逃がせる様に水平方向に所定範囲内で移動可能に設
けられている。ヒータプレートが移動しても、その上の
フローティングガイドはICコンタクターに取付けられ
ているガイドピンにより位置決めされているので、たと
え多数個になっても各々のガイドピンが対応するフロー
ティングガイドとICコンタクターを正確に位置合わせ
する。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明は、ヒータプレートが所定
制限範囲内で柔軟に移動可能であるので、試験条件を変
更して温度変化により構成部品に膨張や収縮が起こって
も、歪や屈曲が発生しない。また、ヒータプレート上で
デバイスを保持しているフローティングガイドは、ヒー
タプレートに対して微動可能であり、ICコンタクター
に設けられているガイドピンにより常に位置決めされて
いるので、ヒータプレートの膨張や収縮の影響を受けな
いで、正確な位置合わせが可能である。
【0015】以下、本発明の一実施形態について図面を
参照しながら説明する。図1、図2、図3および図4
は、本発明の一実施形態におけるデバイスコンタクトユ
ニットの構成を示した図であり、それぞれは、図1はデ
バイスコンタクトユニットの全体構成を示す図、図2は
デバイスコンタクトユニットのコンタクト部を示す図、
図3はデバイスコンタクトユニットのヒータプレートの
構成を示す平面図、図4はデバイスコンタクトユニット
のヒータプレートを部分的に拡大した平面図である。
【0016】図1、図2、図3および図4を参照しなが
ら本実施形態のデバイスコンタクトユニットについて説
明する。
【0017】本実施形態のデバイスコンタクトユニット
は、図示するように、ユニットベース13上に各々2本
ずつガイドピン14を備えた複数のICコンタクター5
と垂直ドライブ機構15を備えたヒータプレート16
と、ヒータプレート16上にあって、ガイドピン14が
挿入される位置決め用ガイド穴17を備えたフローティ
ング構造の複数のデバイスガイド18と、デバイスガイ
ド18内に保持されたデバイス3のリード4をICコン
タクター5に押しつけるリードプッシャー6より構成さ
れる。
【0018】以上のように構成されたデバイスコンタク
トユニットについて、以下、図1〜図4を参照しながら
その動作を説明する。
【0019】まず、複数のデバイス3はプリヒータポジ
ション(図示せず)等から取入アーム(図示せず)によ
り多数個同時に吸着搬送され、デバイスガイド18に挿
入される。このとき、試験温度の条件が高温の場合には
ラバーヒータ等の熱源を備えたヒータプレート16がデ
バイス3の腹面から温める。
【0020】次にリードプッシャー6がデバイスガイド
18の直上に移動し、下降することによってヒータプレ
ート16と同時にデバイス3のリード4もICコンタク
ター5に押しつける。このとき、各々のリード4とIC
コンタクター5の相対位置関係は、ICコンタクター5
側のガイドピン14とデバイスガイド18側のガイド穴
17により、各々正確な位置合わせが行なわれている。
【0021】このように一定の圧力でICコンタクター
5にリード4が押しつけられたのち、デバイス3の電気
的特性が測定される。測定が完了するとリードプッシャ
ー6が上昇し、デバイス3が取り出され、また次のデバ
イスがデバイスガイド18に載せられる。
【0022】以上のような動作サイクルを繰り返すが、
試験温度が常温から高温、あるいは高温から常温に変更
され、ヒータプレート16が膨張あるいは収縮しても、
各々のデバイスガイド18は独立しているため、対応す
るICコンタクター5とリード4は常に高い精度で位置
合わせを行なうことができる。
【0023】
【発明の効果】本発明は、試験温度条件により膨張又は
収縮するヒータプレート上に、そのヒータプレートと独
立して微動可能に設けられた多数のデバイスガイドと、
そのデバイスガイドに設けられたガイド穴に、ICコン
タクトのガイドピンを挿入することで、高い精度でデバ
イスリードとICコンタクターを多数個同時に位置合わ
せすることができ、構成部品の熱による歪みや屈曲など
の影響を受けることなく、多数個同時に測定することが
可能で、コンタクトユニット全体を恒温槽で覆う必要も
なく、設備コストが低く抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態におけるデバイスコンタク
トユニットの構成を示す構成図
【図2】本発明の一実施形態におけるデバイスコンタク
トユニットのコンタクト部を示す構成図
【図3】本発明の一実施形態におけるデバイスコンタク
トユニットのヒータプレートの構成を示す平面図
【図4】本発明の一実施形態におけるデバイスコンタク
トユニットのヒータプレートの部分拡大平面図
【図5】従来のデバイスコンタクトユニットの構成を示
す構成図
【符号の説明】
1 ソケット取付ベース 2 ICソケット 3 デバイス 4 リード 5 ICコンタクター 6 リードプッシャー 7 リードプッシャー取付ベース 8 シリンダー 9 断熱材 10 恒温槽 11 ヒータ 12 ファン 13 ユニットベース 14 ガイドピン 15 垂直ドライブ機構 16 ヒータプレート 17 位置決め用ガイド穴 18 デバイスガイド

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 集積回路を温めるヒータプレートと、前
    記ヒータプレート上に独立してデバイスガイドを形成す
    るフローティングガイドと、前記フローティングガイド
    内に保持している集積回路のリードとコンタクトして電
    気的特性を測定するICコンタクターと、集積回路のリ
    ードを前記ICコンタクターに押しつけるリードプッシ
    ャーとを有することを特徴とするデバイスコンタクトユ
    ニット。
  2. 【請求項2】 複数のデバイスを温めるためにラバーヒ
    ータ等の熱源を備えたヒータプレートと、前記ヒータプ
    レート上に独立して微動可能に設けられたフローティン
    グデバイスガイドと、前記フローティングデバイスガイ
    ド内のデバイスリードとコンタクトして電気的特性を測
    定するICコンタクターと、前記ICコンタクターにデ
    バイスリードを押しつけるリードプッシャーとを有する
    ことを特徴とするデバイスコンタクトユニット。
  3. 【請求項3】 ガイドピンを備えた多数のICコンタク
    ターと、前記ICコンタクター上で垂直ドライブ機構を
    備えたヒータプレートと、前記ヒータプレート上にあっ
    て前記ガイドピンが挿入されるガイド穴を備えた、フロ
    ーティング構造のデバイスガイドと、前記デバイスガイ
    ド内のデバイスリードを、ICコンタクターに押しつけ
    るリードプッシャーとを有することを特徴とするデバイ
    スコンタクトユニット。
JP8159376A 1996-06-20 1996-06-20 デバイスコンタクトユニット Pending JPH1010189A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8159376A JPH1010189A (ja) 1996-06-20 1996-06-20 デバイスコンタクトユニット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8159376A JPH1010189A (ja) 1996-06-20 1996-06-20 デバイスコンタクトユニット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1010189A true JPH1010189A (ja) 1998-01-16

Family

ID=15692472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8159376A Pending JPH1010189A (ja) 1996-06-20 1996-06-20 デバイスコンタクトユニット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1010189A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114473302A (zh) * 2022-02-24 2022-05-13 浙江振兴阿祥集团有限公司 一种水轮机蜗壳座环的生产工艺

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114473302A (zh) * 2022-02-24 2022-05-13 浙江振兴阿祥集团有限公司 一种水轮机蜗壳座环的生产工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5124639A (en) Probe card apparatus having a heating element and process for using the same
KR0133035B1 (ko) 프로우브장치
US8212579B2 (en) Fixing apparatus for a probe card
EP0131375A1 (en) Apparatus for testing integrated circuits
KR19980032057A (ko) 프로브 카드 및 그것을 이용한 시험장치
US6130543A (en) Inspection method and apparatus for semiconductor integrated circuit, and vacuum contactor mechanism
KR20080053768A (ko) 웨이퍼 척, 이를 구비하는 웨이퍼의 전기적 특성을테스트하는 장치 및 테스트하는 방법
JP7119310B2 (ja) 半導体試験装置
TWI822852B (zh) 檢查裝置及檢查方法
JP7153556B2 (ja) 温度測定部材、検査装置及び温度測定方法
JPH09304436A (ja) プローブカード
CN209690357U (zh) 多功能芯片固定装置
JPWO2006123404A1 (ja) 電子部品試験装置および電子部品試験装置における温度制御方法
JP2000346875A (ja) プローブカードおよびこれを用いたic試験装置
JP2681619B2 (ja) プローブ装置
JP2545648B2 (ja) プローバ
JPH1010189A (ja) デバイスコンタクトユニット
KR100725838B1 (ko) 웨이퍼 테스트용 프로브 카드
KR20070070769A (ko) 반도체 패키지의 테스트 소켓 장치
JP3828299B2 (ja) ウェーハテストシステムでのz軸の高さ設定装置及び方法
JPH07321168A (ja) プローブカード
JP2003255023A (ja) プローブカード及びプローブカード試験方法
JPH05175289A (ja) プロ−ビング方法及びプロ−ブ装置
JP2016003965A (ja) 湿度センサ検査装置
JP7474678B2 (ja) 載置台、検査装置及び検査方法