JPH0996713A - カラーフィルタ用感光性フィルム、カラーフィルタ用感光性フィルムの製造法及びカラーフィルタの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 感光性樹脂層に白欠陥のないカラーフィルタ
用感光性フィルム、その製造法及び高精度な微細パター
ンを備えた、高品位のカラーフィルタの製造法を提供す
る。 【解決手段】 感光性樹脂組成物を、フィルムＡに塗工
し、乾燥後の膜厚が０．５〜５．０μｍの感光性樹脂層
を形成後、その上にフィルムＢをラミネートするカラー
フィルタ用感光性フィルムの製造法において、フィルム
Ａ及びフィルムＢの表面平滑性について、Ｒ_aが０．０
２０μｍ以下、Ｒ_maxが０．０６μｍ以下である感光性
フィルムの製造法及び前記カラーフィルタ用感光性フィ
ルムを、フィルムＢをはがしながら透明基板上に貼り合
わせ、パターン状に露光した後、フィルムＡを除去し、
現像する一連の工程を、色の異なるカラーフィルタ用感
光性フィルムを用いて繰り返し行い、多色のパターンを
形成させるカラーフィルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタ用
感光性フィルム、カラーフィルタ用感光性フィルムの製
造法及びカラーフィルタの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタは、ガラス等の光学的に
透明な基板の表面に、二種以上の色相を異にする、極め
て微細なストライプ状又モザイク状のパターンを、一定
の間隔を開けて、平行又は交差して並べた物である。こ
れらのパターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をお
いて整然と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層と
する必要があり、種々のカラーフィルタの製造法が提案
されている。例えば、スクリーン印刷法では低コストの
カラーフィルタの形成が可能である。また、フォトリソ
グラフィ技術を用いる方法、すなわち、カラーフィルタ
用基板上に形成された透明膜に、所定のネガマスクを通
して紫外線照射し、未露光部を除去した後、防染層を形
成しながら染色する方法がある。

【０００３】前記の方法の改良法として、基板上に着色
した溶液状の感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、
露光、現像して一色のパターンを形成させる工程を、他
の色についても同様に繰り返し行って、カラーフィルタ
を形成する方法がある。また、現在プリント配線板製造
時のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジ
スト等に一般に使用されており、透明支持体フィルム及
び感光性樹脂層から成る感光性フィルムを使用した多色
の微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単
に高精度で形成できるカラーフィルタの製造法が知られ
ている。

【０００４】透明基板上に支持体フィルムと一色に着色
された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、着色
された感光性樹脂層が基板に面するように貼り合わせる
工程、露光して所定のパターンを形成させる工程及び前
記支持体フィルムを剥がして現像する工程を繰り返して
多色パターンを形成させてカラーフィルタが製造され
る。

【０００５】例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹
脂の層を透明支持体フィルムに塗布乾燥した感光性フィ
ルムの感光性樹脂の層を、透明な板の上に転写して、所
定のパターンのマスクを介して露光、現像してパターン
を形成する方法（特開昭６１−９９１０２号公報）が知
られている。また、このフィルムに所定のパターンのマ
スクを介して露光、現像してパターンを形成した後に、
透明な板の上に転写してカラーフィルタのパターンを形
成する方法（特開昭６１−９９１０３号公報）及びこの
フィルムを透明な板の上に加熱圧着して、所定のパター
ンのマスクを介して露光して、支持体フィルムを剥離
し、現像して透明着色の画像パターンを形成する方法
（特開昭６３−１８７２０３号公報）が知られている。

【０００６】感光性フィルムは、透明なベースフィル
ム、例えばポリエチレンテレフタレートなどのフィルム
上に、赤、緑及び青にそれぞれ着色した感光性樹脂組成
物を塗布し、乾燥させて各色に着色した着色感光性樹脂
層を形成したものであり、感光性樹脂層の膜厚は、通
常、０．５〜５．０μｍ（好ましくは１．０〜２．５μ
ｍ）である。着色感光性樹脂層は未硬化であり、柔軟
で、粘着性を有するため、この上に更にポリエチレンフ
ィルムなどの保護フィルムを貼り合わせて外部からの損
傷、異物の付着などを防止することが望ましい。感光性
フィルムに形成された着色感光性樹脂層は、保護フィル
ムを剥がしながら透明基板上に貼り合わされる。

【０００７】上記のような感光性フィルムは、感光性樹
脂層の膜厚が０．５〜５．０μｍと非常に薄い膜である
ため感光性フィルム作成の際、ベースフィルムゃ保護フ
ィルムの凹凸の大きさに起因し、感光性樹脂層に白欠陥
が発生する。この白欠陥は、カラーフィルタの製造で、
画素欠陥となって現われるため改善が必要である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、感光性樹脂層に白欠陥のないカラーフィルタ用感光
性フィルムを提供するものである。請求項２記載の発明
は、請求項１記載の発明の効果に加えて、作業性、環境
保全性等の優れたカラーフィルタ用感光性フィルム提供
するものである。請求項３記載の発明は、感光性樹脂層
に白欠陥のない、場合により、作業性、環境保全性等の
優れたカラーフィルタ用感光性フィルムの製造法を提供
するものである。請求項４記載の発明は、高精度な微細
パターンを備えた、高品位のカラーフィルタの製造法を
提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、感光性樹脂組
成物を含む感光性樹脂層、フィルムＡ及びフィルムＢ
（フィルムＡ及びフィルムＢの表面平滑性は、Ｒ_aが
０．０２０μｍ以下、Ｒ_maxが０．０６μｍ以下であ
る）を含むカラーフィルタ用感光性フィルムに関する。
また、本発明は、感光性樹脂組成物が、（Ａ）メタクリ
ル酸又はアクリル酸を共重合した、重量平均分子量が５
０，０００〜１５０，０００のフィルム性付与ポリマ
５０〜７０重量部、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物 ３
０〜５０重量部（（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量が１
００重量部として）、（Ｃ）光重合開始剤 ０．１〜１
０重量部（（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量
部に対して）及び（Ｄ）顔料又は染料 ０．１〜４０重
量部（（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して）を含有するものである前記カラーフィルタ用感
光性フィルムに関する。

【００１０】また、本発明は、感光性樹脂組成物を、フ
ィルムＡに塗工し、乾燥後の膜厚が０．５〜５．０μｍ
の感光性樹脂層を形成後、その上にフィルムＢをラミネ
ートすることを特徴とするカラーフィルタ用感光性フィ
ルムの製造法において、フィルムＡ及びフィルムＢの表
面平滑性について、Ｒ_aが０．０２０μｍ以下、Ｒ_maxが
０．０６μｍ以下であることを特徴とするカラーフィル
タ用感光性フィルムの製造法に関する。また、本発明
は、前記カラーフィルタ用感光性フィルムを、フィルム
Ｂをはがしながら透明基板上に貼り合わせ、パターン状
に露光した後、フィルムＡを除去し、現像する一連の工
程を、色の異なるカラーフィルタ用感光性フィルムを用
いて繰り返し行い、多色のパターンを形成させることを
特徴とするカラーフィルタの製造法に関する。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明における感光性樹脂組成物
としては、特に制限はないが、作業性、環境保全性等の
点から、（Ａ）メタクリル酸又はアクリル酸を共重合し
た、重量平均分子量が５０，０００〜１５０，０００の
フィルム性付与ポリマ ５０〜７０重量部、（Ｂ）エチ
レン性不飽和化合物 ３０〜５０重量部（（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分の総量が１００重量部として）、（Ｃ）光
重合開始剤 ０．１〜１０重量部（（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して）及び（Ｄ）顔
料又は染料 ０．１〜４０重量部（（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して）を含有する感
光性樹脂組成物が好ましい。

【００１２】フィルム性付与ポリマ（（Ａ）成分）とし
ては、例えば、アクリル酸アルキルエステル又はメタク
リル酸アルキルエステルとアクリル酸又はメタクリル酸
との共重合体、アクリル酸アルキルエステル又はメタク
リル酸アルキルエステルとアクリル酸又はメタクリル酸
とこれらと共重合し得るビニルモノマとの共重合体等が
挙げられる。アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、ブチ
ルアクリレート、エチルヘキシルアクリレート等が挙げ
られる。メタクリル酸アルキルエステルとしては、前記
したアクリレートに対応するメタクリレート等が挙げら
れる。

【００１３】上記共重合し得るビニルモノマとしては、
例えば、ジメチルアミノエチルアクリレート、ジエチル
アミノエチルアクリレート、テトラヒドロフルフリルア
クリレート、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレ
ート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリ
レート、これらに対応するメタクリレート、アクリルア
ミド、メタクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、
スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。メタクリル
酸又はアクリル酸は、アルカリ現像性の点から、１７〜
３０重量％共重合させることが好ましい。１７重量％未
満では、アルカリ現像性が劣る傾向があり、３０重量％
を超えると、耐現像液性が劣る傾向がある。また、
（Ａ）成分には、イソフタル酸、セバシン酸等のポリエ
ステル、ブタジエンとアクリロニトリルの共重合体、セ
ルロースアセテート、セルロースアセテートブチレー
ト、メチルセルロース、エチルセルロースなどを併用す
ることができる。

【００１４】（Ａ）成分の使用によって、塗膜性や硬化
物の膜特性が向上し、その配合量は、（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量を１００重量部として、５０〜７０重
量部とすることが好ましい。この配合量が、５０重量部
未満では、光感度が低下する傾向があり、７０重量部を
超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。また、
（Ａ）成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強度の
点から、５０，０００〜１５０，０００とすることが好
ましい。

【００１５】エチレン性不飽和化合物（（Ｂ）成分）と
しては、例えば、多価アルコールにα、β−不飽和カル
ボン酸を付加して得られる化合物（γ−クロロ−β−ヒ
ドロキシプロピル−β′−アクリロイルオキシエチル−
ｏ−フタレート、トリメチロールプロパンジアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラ
メチロールメタントリアクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート等）、グリシジル基含有化合物にα、
β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物（トリ
メチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリ
レート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジアク
リレート等）、アクリル酸（メチルアクリレート、エチ
ルアクリレート、ブチルアクリレート、２−エチルヘキ
シルアクリレート等）のアルキルエステル、トリメチル
ヘキサメチレンジイソシアナートと２価アルコールと２
価のアクリル酸モノエステルとを反応させて得られるウ
レタンジアクリレート、これらに対応するメタクリレー
トなどが挙げられる。これらは単独で又は二種類以上を
組み合わせて使用される。

【００１６】（Ｂ）成分の配合量としては、（Ａ）成分
及び（Ｂ）成分の総量を１００重量部として、３０〜５
０重量部とすることが好ましい。この配合量が、３０重
量部未満では、光硬化物が脆くなる傾向があり、５５重
量部を超えると、光感度が低下する傾向がある。

【００１７】光重合開始剤（（Ｃ）成分）としては、例
えば、芳香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テト
ラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メ
トキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，
４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアン
トラキノン、フェナントレンキノン等）、ベンゾインエ
ーテル（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチル
エーテル、ベンゾインフェニルエーテル等）、ベンゾイ
ン（メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等）、２，
４，５−トリアリールイミダゾール二量体（２−（ｏ−
クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二
量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−
メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−
５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジ
メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，
５−ジフェニルイミダゾール二量体等）などが挙げられ
る。これらは単独で又は二種類以上を組み合わせて使用
される。

【００１８】（Ｃ）成分の配合量としては、（Ａ）成分
及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜
１０重量部とすることが好ましい。この配合量が、０．
１重量部未満では、光感度が不充分となる傾向があり、
１０重量部を超えると、露光の際に感光性樹脂層の表面
での光吸収が増大し、内部の光硬化が不充分となる傾向
がある。

【００１９】顔料又は染料（（Ｄ）成分）としては、公
知の着色剤が使用でき、感光性樹脂層の成分、特にエチ
レン性不飽和化合物又はフィルム性付与ポリマに対する
相溶性、目標とする色相、光透過性等を考慮して選択さ
れる。（Ｄ）成分の配合量としては、（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜４０
重量部とすることが好ましい。この配合量が、０．１重
量部未満では、着色が不充分となる傾向があり、５０重
量部を超えると、光透過率が低下する傾向がある。

【００２０】本発明における感光性樹脂組成物には、加
熱硬化性を高めるために、カルボキシル基含有フィルム
性付与ポリマのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹
脂及び／又はエポキシ樹脂を、（Ａ）成分及び（Ｂ）成
分の総量１００重量部に対して、１〜２０重量部含有さ
せることが好ましい。これらを添加して、加熱すること
によって、架橋密度、耐熱性等を著しく向上させること
ができる。加熱条件として、加熱温度は、１３０〜２０
０℃とすることが好ましく、加熱時間は、３０〜６０分
とすることが好ましい。

【００２１】本発明におけるフィルムＡ及びフィルムＢ
の市販のものとしては、例えば、帝人社製ポリエチレン
フィルムＭ５Ｒ、デュポン社製マイラー９２Ｄ等が使用
できる。本発明におけるフィルムＡの膜厚としては、塗
工製、作業製、解像度等の点で、３〜１５μｍとするこ
とが好ましい。本発明におけるフィルムＢの膜厚として
は、塗工製、作業製等の点で、５〜５０μｍとすること
が好ましい。塗工は、常法により行えるが、均一性の点
でグラビアコーターを用いたリーバースコート法が好ま
しい。乾燥は、通常、６０〜１５０℃で１〜６０分間行
われる。感光性樹脂層の膜厚は、光硬化性、フィルタ特
性の点から、０．５〜５．０μｍとされ、１．０〜２．
５μｍとすることが好ましい。

【００２２】本発明のカラーフィルタ用感光性フィルム
は、赤、青、緑等に着色された、各色の感光性樹脂組成
物を、フィルムＡに塗工し、乾燥後の膜厚が０．５〜
５．０μｍの感光性樹脂層を形成後、その上にフィルム
Ｂをラミネートすることにより製造できる。この時のフ
ィルムＡ及びフィルムＢの表面平滑性は、Ｒ_aが０．０
２μｍ以下及びＲ_maxが０．０６μｍ以下であることを
必須とする。ここで、Ｒ_aは表面粗さを平均した値であ
り、Ｒ_maxは最大の表面粗さの値である。表面平滑性を
測定して、Ｒ_a及びＲ_maxを求めることは、常法により、
容易に行うことができるが、例えば、小坂研究所(株)製
サーフコーダ ＳＥ−３０Ｄを使用して測定し、求め
ることができる。フィルムＡ及びフィルムＢの表面平滑
性Ｒ_aが０．０２μｍを超えたり、Ｒ_aが０．０２以下で
あっても、Ｒ_maxが０．０６μｍを超えると、白欠陥が
発生する。このように、表面平滑性が優れたフィルム
は、例えば、フィルム製造の際のフィラーの使用量を極
めて少なくすること等により製造することができる。

【００２３】本発明におけるカラーフィルタは、前記カ
ラーフィルタ用感光性フィルムを、フィルムＢをはがし
ながら透明基板上に貼り合わせ、パターン状に露光した
後、フィルムＡを除去し、現像する一連の工程を、色の
異なるカラーフィルタ用感光性フィルムを用いて繰り返
し行い、多色のパターンを形成させることにより製造で
きる。透明基板としては、特に制限はなく、公知のもの
を使用できるが、例えば、ＩＴＯ電極を設けたガラス基
板等が挙げられる。現像は、不必要部分を除去する工程
で、通常、現像液でパターン状に露光した後の基板を処
理することにより行われる。現像液としては、例えば、
クロロセン、トルエン、アセトンや、水酸化ナトリウ
ム、炭酸ナトリウム等の水溶液などが挙げられる。

【００２４】

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。 実施例１ 表１の配合に従い、均一に溶解した塗液（ア）（２１１
重量部）に、赤色顔料（Colortex Red ＵＥＭ （山
陽色素(株)製））を２０重量部溶解し、赤ワニスを得
た。

【００２５】

【表１】

【００２６】得られた赤ワニスをリバースコータを用い
て、フィルムＡとして表２のフィルム１上に、均一な膜
厚で塗布し、１００℃の乾燥器で、２分間加熱乾燥後、
フィルムＢとしてフィルム１を貼り合わせて、感光性樹
脂層の膜厚が２μｍの着色された感光性フィルムを得
た。得られた各フィルムを、顕微鏡（１０倍）で評価し
た結果、白欠陥は皆無であった。

【００２７】実施例２ 赤色顔料を緑顔料（Colortex Green ＵＥ−１２０３
（山陽色素(株)製））に代えた以外は、実施例１と同
様にして、緑ワニスを得、感光性フィルムを得た。得ら
れた各フィルムを、顕微鏡（１０倍）で評価した結果、
白欠陥は皆無であった。

【００２８】実施例３ 赤色顔料を青顔料（Colortex Blue ＵＥＭ （山陽色
素(株)製））に代えた以外は、実施例１と同様にして、
緑ワニスを得、感光性フィルムを得た。得られた各フィ
ルムを、顕微鏡（１０倍）で評価した結果、白欠陥は皆
無であった。

【００２９】比較例１〜３ 表２に示すフィルム１をフィルムＡとして、フィルム２
をフィルムＢとした以外は、実施例１〜３と同様にし
て、赤、青及び緑の各フィルムを得た。得られた各フィ
ルムを顕微鏡（１０倍）で評価した結果、白欠陥を多数
発見した。

【００３０】比較例４〜６ 表２に示すフィルム１をフィルムＡとして、フィルム３
をフィルムＢとした以外は、実施例１〜３と同様にし
て、赤、青及び緑の各フィルムを得た。得られた各フィ
ルムを、顕微鏡（１０倍）で評価した結果、白欠陥を多
数発見した。

【００３１】比較例７〜９ 表２に示すフィルム１をフィルムＡとして、フィルム４
をフィルムＢとした以外は、実施例１〜３と同様にし
て、赤、青及び緑の各フィルムを得た。得られた各フィ
ルムを、顕微鏡（１０倍）で評価した結果、白欠陥を多
数発見した。

【００３２】

【表２】

【００３３】実施例４ 透明基板としてのガラス基板（コーニング社製、コーニ
ング７０７４）を、８０℃で１０分間加熱した後、実施
例１で得られた赤のフィルムを、フィルムＢを剥がしな
がら感光性樹脂層を透明基板側に向けて、透明基板上に
下記の条件でラミネートした。 ロール温度：８０℃ ロール圧力：４．０kgf/cm² ロール速度：１．５ｍ／分 次いで、フィルムＡ上に置いたネガマスクを通して、露
光機（(株)オーク製作所製、ＨＭＷ−２０１Ｂ、３kW、
超高圧小銀灯）５０mJ/cm²で、パターン状に露光した。
次いで、０．０８重量％の炭酸ナトリウムの水溶液（３
０℃）で１５秒間スプレーして、未露光部を除去し、一
色目の赤の着色パターンを形成した。

【００３４】この後、実施例２で得られた緑のフィルム
を用いて、赤のフィルムと同様にして、二色目の緑のパ
ターンを形成し、さらに、実施例３で得られた青のフィ
ルムを用いて、赤のフィルムと同様にして、三色目の緑
のパターンを形成して、多色パターンを完成させ、カラ
ーフィルタを得た。得られたカラーフィルタは、三色と
もにパターン（画素）欠陥のない、高精度な多色パター
ンを備えた、高品位なものであった。

【００３５】比較例１０ 実施例１〜３で得られた各フィルムを、比較例１〜３で
得られた各フィルムに代えた以外は、実施例４と同様に
して、多色パターンを完成させ、カラーフィルタを得
た。得られたカラーフィルタは、三色すべてにわたって
パターン欠陥があり、品質が劣り、実用に耐えないもの
であった。

【００３６】比較例１１ 実施例１〜３で得られた各フィルムを、比較例４〜６で
得られた各フィルムに代えた以外は、実施例４と同様に
して、多色パターンを完成させ、カラーフィルタを得
た。得られたカラーフィルタは、三色すべてにわたって
パターン欠陥があり、品質が劣り、実用に耐えないもの
であった。

【００３７】比較例１２ 実施例１〜３で得られた各フィルムを、比較例７〜９で
得られた各フィルムに代えた以外は、実施例４と同様に
して、多色パターンを完成させ、カラーフィルタを得
た。得られたカラーフィルタは、三色すべてにわたって
パターン欠陥があり、品質が劣り、実用に耐えないもの
であった。

【００３８】

【発明の効果】請求項１記載のカラーフィルタ用感光性
フィルムは、カラーフィルタ用感光性フィルムの感光性
樹脂層に、白欠陥のない優れたものである。請求項２記
載のカラーフィルタ用感光性フィルムは、請求項１記載
のカラーフィルタ用感光性フィルムの効果を奏し、さら
に作業性、環境保全性等の優れたものである。請求項３
記載のカラーフィルタ用感光性フィルムの製造法は、カ
ラーフィルタ用感光性フィルムの感光性樹脂層に白欠陥
がなく、場合により、作業性、環境保全性等に優れたカ
ラーフィルタ用感光性フィルムを製造することができ
る。請求項４記載のカラーフィルタの製造法は、高精度
な微細パターンを備えた、高品位のカラーフィルタを製
造することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/033 Ｇ０３Ｆ 7/033 7/09 7/09

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層、
   フィルムＡ及びフィルムＢ（フィルムＡ及びフィルムＢ
   の表面平滑性は、Ｒ_aが０．０２０μｍ以下、Ｒ_maxが
   ０．０６μｍ以下である）を含むカラーフィルタ用感光
   性フィルム。
2. 【請求項２】 感光性樹脂組成物が、（Ａ）メタクリル
   酸又はアクリル酸を共重合した、重量平均分子量が５
   ０，０００〜１５０，０００のフィルム性付与ポリマ
   ５０〜７０重量部、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物 ３
   ０〜５０重量部（（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量が１
   ００重量部として）、（Ｃ）光重合開始剤 ０．１〜１
   ０重量部（（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量
   部に対して）及び（Ｄ）顔料又は染料 ０．１〜４０重
   量部（（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
   対して）を含有するものである請求項１記載のカラーフ
   ィルタ用感光性フィルム。
3. 【請求項３】 感光性樹脂組成物を、フィルムＡに塗工
   し、乾燥後の膜厚が０．５〜５．０μｍの感光性樹脂層
   を形成後、その上にフィルムＢをラミネートすることを
   特徴とするカラーフィルタ用感光性フィルムの製造法に
   おいて、フィルムＡ及びフィルムＢの表面平滑性につい
   て、Ｒ_aが０．０２０μｍ以下、Ｒ_maxが０．０６μｍ以
   下であることを特徴とするカラーフィルタ用感光性フィ
   ルムの製造法。
4. 【請求項４】 請求項１又は２記載のカラーフィルタ用
   感光性フィルムを、フィルムＢをはがしながら透明基板
   上に貼り合わせ、パターン状に露光した後、フィルムＡ
   を除去し、現像する一連の工程を、色の異なるカラーフ
   ィルタ用感光性フィルムを用いて繰り返し行い、多色の
   パターンを形成させることを特徴とするカラーフィルタ
   の製造法。