JPH0990114A - Formation of color filter - Google Patents
Formation of color filterInfo
- Publication number
- JPH0990114A JPH0990114A JP24309195A JP24309195A JPH0990114A JP H0990114 A JPH0990114 A JP H0990114A JP 24309195 A JP24309195 A JP 24309195A JP 24309195 A JP24309195 A JP 24309195A JP H0990114 A JPH0990114 A JP H0990114A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color
- substrate
- filter
- hard mask
- colors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー画像を表示
する液晶表示素子用の基板に複数色のカラーフィルター
を形成する方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming color filters of a plurality of colors on a substrate for a liquid crystal display device displaying a color image.
【0002】[0002]
【従来の技術】例えば多色カラー画像を表示する液晶表
示素子においては、その液晶表示素子の一方の透明基板
(ガラス板)の上にブラックマスクが形成され、このブ
ラックマスクの内側の領域に赤、緑、青のカラーフィル
ターが順次交互に形成されている。2. Description of the Related Art For example, in a liquid crystal display device displaying a multicolor image, a black mask is formed on one transparent substrate (glass plate) of the liquid crystal display device, and a red mask is formed in an area inside the black mask. , Green and blue color filters are formed alternately in sequence.
【0003】従来、この各色のカラーフィルターはフォ
トリソグラフィにより形成されている。このフォトリソ
グラフィによる場合の工程について説明すると、まずブ
ラックマスクが形成された基板の上にその全域に亘って
光硬化型の第1色目、例えば赤色のカラーレジストを均
一に塗布する。Conventionally, each color filter of each color is formed by photolithography. Explaining the steps in the case of this photolithography, first, a photocurable first color resist, for example, a red color resist is uniformly applied over the entire area of the substrate on which the black mask is formed.
【0004】次に、基板の上に形成したレジスト膜の所
定領域をフォトマスクを用いて露光し、現像して第1色
目の赤色のカラーフィルターを形成する。次に、基板の
上に、第2色目の例えば緑色のカラーレジストを塗布し
てそのレジスト膜を前述と同様に露光・現像して第2色
目の緑色のカラーフィルターを形成する。Next, a predetermined region of the resist film formed on the substrate is exposed using a photomask and developed to form a first color red color filter. Next, a second-color green color resist, for example, is applied onto the substrate, and the resist film is exposed and developed in the same manner as described above to form a second-color green color filter.
【0005】次に、基板の上に、第3色目の青色のカラ
ーレジストを塗布してそのレジスト膜を前述と同様に露
光・現像して第3色目の青色のカラーフィルターを形成
する。Next, a third color blue color resist is applied on the substrate, and the resist film is exposed and developed in the same manner as described above to form a third color blue color filter.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】このように、フォトリ
ソグラフィにより複数色のカラーフィルターを形成する
場合には、基板の上に一色のカラーフィルターを形成す
る都度、基板の上の全体にカラーレジストを塗布してそ
のカラーレジストを露光し、現像しなければならず、こ
のため工程数が多くなり、能率が低下する。As described above, when a color filter of a plurality of colors is formed by photolithography, a color resist is formed on the entire surface of the substrate each time a color filter of one color is formed on the substrate. The color resist must be applied, exposed and developed, which increases the number of steps and reduces efficiency.
【0007】本発明はこのような点に着目してなされた
もので、その目的とするところは、工程数を減らして能
率よく複数色のカラーフィルターを形成することができ
るカラーフィルターの形成方法を提供することにある。The present invention has been made by paying attention to such a point, and an object of the present invention is to provide a method for forming a color filter capable of efficiently forming a plurality of color filters by reducing the number of steps. To provide.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明はこのような目的
を達成するために、請求項1に係る発明として、基板上
に複数色のカラーフィルターを染色法により形成する方
法であって、前記複数色の各色ごとに固有で、各色のカ
ラーフィルターの配置に対応した、複数の各色用ハード
マスクを準備し、基板上に可染性のフィルター基材を塗
布してフィルタ基材膜を形成し、各色ごとに、対応する
ハードマスクを前記フィルター基材膜上に載置し、この
ハードマスクを介して対応する各色の染料を前記フィル
ター基材膜上に塗布し、染料が塗布された部分のフィル
ター基材膜を各色に染色することにより、複数色のカラ
ーフィルターを基板上に所定の配置で形成するようにし
たものである。In order to achieve such an object, the present invention provides a method for forming a color filter of a plurality of colors on a substrate by a dyeing method, as the invention according to claim 1. A hard mask for each color that is unique to each color of multiple colors and that corresponds to the arrangement of color filters for each color is prepared, and a dyeable filter substrate is applied on the substrate to form a filter substrate film. , For each color, a corresponding hard mask is placed on the filter substrate film, and a dye of each corresponding color is applied on the filter substrate film through the hard mask, By dyeing the filter base material film in each color, a plurality of color filters are formed on the substrate in a predetermined arrangement.
【0009】また、請求項2に係る発明として、基板上
に複数色のカラーフィルターを各色の顔料が分散混合さ
れたフィルター材料を用いて形成する方法であって、前
記複数色の各色ごとに固有で、各色のカラーフィルター
の配置に対応して開口が形成された、複数の各色用ハー
ドマスクを準備し、各色ごとに、対応するハードマスク
を前記基板上に載置し、このハードマスクを介して対応
する前記フィルター材料を前記基板上に塗布し、塗布さ
れたフィルター材料を硬化させることにより、複数色の
カラーフィルターを基板上に所定の配置で形成するよう
にしたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of forming color filters of a plurality of colors on a substrate by using a filter material in which pigments of the respective colors are dispersed and mixed, each color of the plurality of colors being unique. In, the openings are formed corresponding to the arrangement of the color filters of each color, prepare a plurality of hard masks for each color, for each color, place the corresponding hard mask on the substrate, through this hard mask The corresponding filter material is applied onto the substrate and the applied filter material is cured to form color filters of a plurality of colors on the substrate in a predetermined arrangement.
【0010】そして請求項3に係る発明として、前記請
求項2における前記基板上のほぼ全域に電極を形成し、
この電極上に前記各色用ハードマスクを載置し、前記フ
ィルター材料の塗布時に前記電極に電圧を印加してフィ
ルター材料の塗布膜厚を調整するようにしたものであ
る。As an invention according to claim 3, an electrode is formed on substantially the entire area of the substrate according to claim 2,
The hard mask for each color is placed on this electrode, and a voltage is applied to the electrode when the filter material is applied to adjust the applied film thickness of the filter material.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1および図2には、本発
明の第1の実施の形態によるカラーフィルターの形成工
程を順に示してある。この工程を説明すると、まず図1
(A)に示すように、ガラス等からなる透明な基板1を
水平に配置する。この基板1の表面にはクロム等の金属
膜からなるブラックマスク2が形成されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 and FIG. 2 sequentially show steps of forming a color filter according to the first embodiment of the present invention. This process will be described with reference to FIG.
As shown in (A), a transparent substrate 1 made of glass or the like is horizontally arranged. A black mask 2 made of a metal film such as chromium is formed on the surface of the substrate 1.
【0012】次に、図1(B)に示すように、基板1の
上のほぼ全域にカゼイン、ゼラチン等からなる可染性の
フィルター基材3を均一に塗布する。次に、図1(C)
に示すように、前記フィルター基材3の上に第1番目の
所定のパターンのハードマスク4aを配置する。そして
このハードマスク4aの上に染色手段としての第1番目
のローラ5aを配置する。このローラ5aの周面には第
1色目の例えば赤色の染料が塗布されている。Next, as shown in FIG. 1 (B), a dyeable filter substrate 3 made of casein, gelatin or the like is uniformly applied over almost the entire area of the substrate 1. Next, FIG. 1 (C)
As shown in FIG. 3, a first hard mask 4 a having a predetermined pattern is arranged on the filter substrate 3. Then, the first roller 5a as a dyeing means is arranged on the hard mask 4a. A first color, for example, red dye is applied to the peripheral surface of the roller 5a.
【0013】そしてこのローラ5aをハードマスク4a
に接触させ、回転させながら一方向に移動させる。これ
に伴いローラ5aに付着している染料がハードマスク4
aに形成されている各開口4a′を通してフィルター基
材3の所定領域に塗布され、その所定領域が赤色に染色
されて赤色のカラーフィルターRFとなる。The roller 5a is replaced with the hard mask 4a.
And make it move in one direction while rotating. Along with this, the dye adhering to the roller 5a becomes hard mask 4
It is applied to a predetermined area of the filter substrate 3 through each opening 4a 'formed in a, and the predetermined area is dyed red to form a red color filter RF.
【0014】次に、フィルター基材3の上から前記ハー
ドマスク4aおよびローラ5aを排除し、図2(D)に
示すように、第2番目のハードマスク4bをフィルター
基材3の上に配置し、またこのハードマスク4bの上に
第2番目のローラ5bを配置する。このローラ5bの周
面には第2色目の例えば緑色の染料が塗布されている。Next, the hard mask 4a and the roller 5a are removed from the filter base material 3, and a second hard mask 4b is placed on the filter base material 3 as shown in FIG. 2 (D). In addition, the second roller 5b is arranged on the hard mask 4b. A second color, for example, green dye is applied to the peripheral surface of the roller 5b.
【0015】そしてこのローラ5bをハードマスク4b
に接触させ、回転させながら一方向に移動させる。これ
に伴いローラ5bに付着している染料がハードマスク4
bに形成されている各開口4b′を通してフィルター基
材3の所定領域に塗布され、その所定領域が緑に染色さ
れて緑色のカラーフィルターGFとなる。The roller 5b is replaced with the hard mask 4b.
And make it move in one direction while rotating. Along with this, the dye adhering to the roller 5b becomes hard mask 4
It is applied to a predetermined area of the filter base material 3 through each opening 4b 'formed in b, and the predetermined area is dyed green to form a green color filter GF.
【0016】次に、フィルター基材3の上から前記ハー
ドマスク4bおよびローラ5bを排除し、図2(E)に
示すように、第3番目のハードマスク4cをフィルター
基材3の上に配置し、またこのハードマスク4cの上に
第3番目のローラ5cを配置する。このローラ5cの周
面には第3色目の青色の染料が塗布されている。Next, the hard mask 4b and the roller 5b are removed from the filter base material 3, and a third hard mask 4c is placed on the filter base material 3 as shown in FIG. 2 (E). Further, the third roller 5c is arranged on the hard mask 4c. A third color blue dye is applied to the peripheral surface of the roller 5c.
【0017】そしてこのローラ5cをハードマスク4c
に接触させ、回転させながら一方向に移動させる。これ
に伴いローラ5cに付着している染料がハードマスク4
cの開口4c′を通してフィルター基材3の所定領域に
塗布され、その所定領域が青に染色されて青色のカラー
フィルターBFとなる。The roller 5c is replaced with the hard mask 4c.
And make it move in one direction while rotating. Along with this, the dye adhering to the roller 5c becomes hard mask 4
It is applied to a predetermined area of the filter substrate 3 through the opening 4c 'of c, and the predetermined area is dyed blue to form a blue color filter BF.
【0018】このような工程により、図2(F)に示す
ように、ブラックマスク2の内側の各領域の上に赤、
緑、青のカラーフィルターRF,GF,BFを交互に形
成する。Through these steps, as shown in FIG. 2 (F), red is formed on each area inside the black mask 2.
Green and blue color filters RF, GF, and BF are alternately formed.
【0019】このような工程によれば、基板1の上にフ
ィルター基材3を塗布し、このフィルター基材3の上に
各色ごとのハードマスク4a,4b,4cおよびローラ
5a,5b,5cを配置するだけで、その各色のカラー
フィルターRF,GF,BFを形成することができる。According to this process, the filter base material 3 is applied on the substrate 1, and the hard masks 4a, 4b, 4c and the rollers 5a, 5b, 5c for each color are applied on the filter base material 3. The color filters RF, GF, and BF of the respective colors can be formed only by arranging them.
【0020】従来のフォトリソグラフィ法による場合に
は、赤、緑、青の各カラーフィルターを形成する際に、
その都度、基板の上に各色のカラーレジストを塗布し、
そのカラーレジストを露光し、現像しなければならない
が、本発明においては、基板1の上にフィルター基材3
を塗布し、このフィルター基材3に各色に対応するハー
ドマスク4a,4b,4cおよびローラ5a,5b,5
cを順次配置して各色のカラーフィルターRF,GF,
BFを形成することができる。According to the conventional photolithography method, when forming the red, green and blue color filters,
Each time, apply color resist of each color on the substrate,
Although the color resist must be exposed and developed, in the present invention, the filter substrate 3 is provided on the substrate 1.
Is applied to the filter substrate 3, and hard masks 4a, 4b, 4c and rollers 5a, 5b, 5 corresponding to the respective colors are applied.
c are sequentially arranged so that color filters RF, GF, and
BF can be formed.
【0021】すなわち、従来では基板の上に3回カラー
レジストを塗布しなければならないが、本発明では基板
1の上にフィルター基材3を1回塗布すればよく、した
がって工程数が減少し、能率よくカラーフィルターR
F,GF,BFを形成することができる。That is, conventionally, the color resist has to be coated on the substrate three times, but in the present invention, the filter base material 3 may be coated once on the substrate 1, thus reducing the number of steps, Efficient color filter R
F, GF, BF can be formed.
【0022】なお、前記実施形態においては、染色手段
としてローラを用いたが、このローラに替えてスキージ
を用い、このスキージによりハードマスクの上に染料を
押し広げてフィルター基材の所定領域にその染料を染色
させるようにしてもよい。In the above embodiment, a roller was used as the dyeing means, but a squeegee was used instead of this roller, and the dye was spread on the hard mask by this squeegee and spread over a predetermined area of the filter substrate. You may make it dye a dye.
【0023】次に、本発明の第2の実施の形態につい
て、図3を参照して説明する。この第2の実施の形態に
おいては、図3(A)に示すように、まず表面にブラッ
クマスク2が形成された基板1の上のほぼ全域に、IT
O等の透明導電膜からなる電極6を一様に形成する。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the second embodiment, as shown in FIG. 3 (A), IT is first formed over almost the entire area of the substrate 1 on which the black mask 2 is formed.
The electrode 6 made of a transparent conductive film such as O is uniformly formed.
【0024】次に、図3(B)に示すように、前記電極
6の上に第1番目の所定のパターンのハードマスク4a
を配置する。そしてこのハードマスク4aの上に第一番
目のローラ5aを配置する。このローラ5aの周面に
は、第1色目の例えば赤色の顔料を樹脂中に分散させた
フィルター材料が塗布されている。Next, as shown in FIG. 3B, a hard mask 4a having a first predetermined pattern is formed on the electrode 6.
Place. Then, the first roller 5a is arranged on the hard mask 4a. A filter material in which a first color pigment such as a red pigment is dispersed in a resin is applied to the peripheral surface of the roller 5a.
【0025】そしてこのローラ5aをハードマスク4a
に接触させ、回転させながら一方向に移動させる。これ
に伴いローラ5aに付着しているフィルター材料がハー
ドマスク4aの各開口4a′を通して電極6の上の所定
領域に塗布され、第1色目の赤色のカラーフィルターR
Fとなる。Then, the roller 5a is replaced with the hard mask 4a.
And make it move in one direction while rotating. Along with this, the filter material adhering to the roller 5a is applied to a predetermined region on the electrode 6 through each opening 4a 'of the hard mask 4a, and the first color red color filter R
It becomes F.
【0026】この電極6の上にフィルター材料を塗布す
る際には、電極6に電圧を印加する。この印加する電圧
の値によって電極6に対するフィルター材料の付着量が
変化し、したがってその電圧の制御によりフィルター材
料の塗布の膜厚を所望の膜厚に調整することができる。
第1色目の赤色のカラーフィルターRFを形成した後に
はこれを水洗し、予備硬化させる。硬化方法はフィルタ
ー材料によるが、熱硬化性樹脂材料を用いて熱処理によ
り硬化させる方法が好適である。When applying the filter material on the electrode 6, a voltage is applied to the electrode 6. The amount of the filter material adhered to the electrode 6 changes depending on the value of the applied voltage, and therefore the thickness of the filter material applied can be adjusted to a desired thickness by controlling the voltage.
After the first color red color filter RF is formed, it is washed with water and pre-cured. The curing method depends on the filter material, but a method of curing by heat treatment using a thermosetting resin material is preferable.
【0027】次に、図3(C)に示すように、第2番目
のハードマスク4bを基板1の上に配置し、またこのハ
ードマスク4bの上に第2番目のローラ5bを配置す
る。このローラの5bの周面には第2色目の例えば緑色
の顔料を樹脂中に分散させたフィルター材料が塗布され
ている。Next, as shown in FIG. 3C, the second hard mask 4b is placed on the substrate 1, and the second roller 5b is placed on the hard mask 4b. A filter material in which a second color pigment such as green pigment is dispersed in a resin is applied to the peripheral surface of the roller 5b.
【0028】そしてこのローラ5bをハードマスク4b
に接触させ、回転させながら一方向に移動させる。これ
に伴いローラ5bに付着しているフィルター材料がハー
ドマスク4bの各開口4b′を通して電極6の上の所定
領域に塗布され、第2色目の緑色のカラーフィルターG
Fとなる。The roller 5b is replaced with the hard mask 4b.
And make it move in one direction while rotating. Along with this, the filter material attached to the roller 5b is applied to a predetermined area on the electrode 6 through each opening 4b 'of the hard mask 4b, and the second color green color filter G is formed.
It becomes F.
【0029】電極6の上にフィルター材料を塗布する際
には、電極6に電圧を印加し、この電圧の制御でフィル
ター材料の塗布の膜厚を所望の膜厚に調整する。第2色
目の緑色のカラーフィルターGFを形成した後にはこれ
を水洗し、予備硬化させる。When applying the filter material on the electrode 6, a voltage is applied to the electrode 6, and the thickness of the applied filter material is adjusted to a desired thickness by controlling this voltage. After the second color green color filter GF is formed, it is washed with water and pre-cured.
【0030】次に、図3(D)に示すように、第3番目
のハードマスク4cを基板1の上に配置し、またこのハ
ードマスク4cの上に第3番目のローラ5cを配置す
る。このローラ5cの周面には第3色目の青色の顔料を
樹脂中に分散させたフィルター材料が塗布されている。Next, as shown in FIG. 3D, the third hard mask 4c is placed on the substrate 1, and the third roller 5c is placed on the hard mask 4c. The peripheral surface of the roller 5c is coated with a filter material in which a blue pigment of the third color is dispersed in resin.
【0031】そしてこのローラ5cをハードマスク4c
に接触させ、回転させながら一方向に移動させる。これ
に伴いローラ5cに付着しているフィルター材料がハー
ドマスク4cの各開口4c′通して電極6の上の所定領
域に塗布され、第3色目の青色のカラーフィルターBF
となる。Then, the roller 5c is replaced with a hard mask 4c.
And make it move in one direction while rotating. Along with this, the filter material adhering to the roller 5c is applied to a predetermined region on the electrode 6 through each opening 4c 'of the hard mask 4c, and the third color blue color filter BF is applied.
Becomes
【0032】電極6の上にフィルター材料を塗布する際
には、電極6に電圧を印加し、この電圧の制御でフィル
ター材料の塗布の膜厚を所望の膜厚に調整する。第3色
目の青色のカラーフィルターBFを形成した後にはこれ
を水洗する。そして、この後、最終的に全てのカラーフ
ィルターRF,GF,BFを硬化させる。When applying the filter material on the electrode 6, a voltage is applied to the electrode 6, and the thickness of the applied filter material is adjusted to a desired thickness by controlling this voltage. After the third color blue color filter BF is formed, it is washed with water. Then, after this, all the color filters RF, GF, and BF are finally cured.
【0033】このような工程により、図3(E)に示す
ように、電極6の上に赤、緑、青のカラーフィルターR
F,GF,BFを交互に形成する。このような工程によ
れば、電極6を形成した基板1の上に各色ごとのハード
マスク4a,4b、4cおよびローラ5a,5b、5c
を配置するだけで、その各色のカラーフィルターRF,
GF,BFを形成することができる。そして基板1の上
にフィルター材料を塗布するときに、基板1の上の電極
6に電圧を印加し、この電圧を制御することにより、そ
の塗布する膜厚を所望の膜厚に調整することができる。Through these steps, as shown in FIG. 3E, the red, green, and blue color filters R are formed on the electrodes 6.
F, GF, and BF are formed alternately. According to such a process, the hard masks 4a, 4b, 4c and the rollers 5a, 5b, 5c for each color are formed on the substrate 1 on which the electrodes 6 are formed.
Just by arranging
GF and BF can be formed. When a filter material is applied on the substrate 1, a voltage is applied to the electrode 6 on the substrate 1 and the voltage is controlled to adjust the applied film thickness to a desired film thickness. it can.
【0034】なお、基板1の上に形成した電極6は、薄
膜トランジスタ等を能動素子として用いるアクティブマ
トリクス型の液晶表示素子における対向電極として利用
することが可能である。また、この第2の実施形態にお
いても、ローラに替えてスキージを用い、このスキージ
により電極の上にフィルター材料を塗布することも可能
である。The electrode 6 formed on the substrate 1 can be used as a counter electrode in an active matrix type liquid crystal display element using a thin film transistor or the like as an active element. Further, also in the second embodiment, it is possible to use a squeegee instead of the roller and apply the filter material onto the electrode with this squeegee.
【0035】[0035]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、従
来のフォトリソグラフィによる場合のように、基板の上
に一色のカラーフィルターを形成する都度、基板の上の
全体にカラーレジストを塗布するような必要がなく、こ
のため工程数が減少し、製造の能率性が向上する。As described above, according to the present invention, each time a color filter of one color is formed on the substrate, as in the case of the conventional photolithography, the color resist is coated on the entire surface of the substrate. Therefore, the number of steps is reduced and the manufacturing efficiency is improved.
【図1】本発明の第1の実施形態におけるカラーフィル
ターの形成方法の前半工程を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a first half step of a method for forming a color filter according to a first embodiment of the present invention.
【図2】同じくその後半工程を示す図。FIG. 2 is a diagram showing the latter half of the same process.
【図3】本発明の第2の実施形態におけるカラーフィル
ターの形成方法の工程を示す図。FIG. 3 is a diagram showing steps of a method for forming a color filter according to the second embodiment of the present invention.
1…基板 3…フィルター基材 4a,4b,4c…ハードマスク 6…電極 RF…赤色のカラーフィルター GF…緑色のカラーフィルター BF…青色のカラーフィルター 1 ... Substrate 3 ... Filter Base Material 4a, 4b, 4c ... Hard Mask 6 ... Electrode RF ... Red Color Filter GF ... Green Color Filter BF ... Blue Color Filter
Claims (3)
法により形成する方法であって、 前記複数色の各色ごとに固有で、各色のカラーフィルタ
ーの配置に対応した、複数の各色用ハードマスクを準備
し、 基板上に可染性のフィルター基材を塗布してフィルタ基
材膜を形成し、 各色ごとに、対応するハードマスクを前記フィルター基
材膜上に載置し、このハードマスクを介して対応する各
色の染料を前記フィルター基材膜上に塗布し、染料が塗
布された部分のフィルター基材膜を各色に染色すること
により、 複数色のカラーフィルターを基板上に所定の配置で形成
することを特徴とするカラーフィルターの形成方法。1. A method for forming a plurality of color filters on a substrate by a dyeing method, the plurality of color hard masks being unique to each of the plurality of colors and corresponding to the arrangement of the color filters of the respective colors. , A dyeable filter substrate is applied on the substrate to form a filter substrate film, and a corresponding hard mask is placed on the filter substrate film for each color. A corresponding color dye is applied to the filter base film through the dye, and the filter base film in the portion where the dye is applied is dyed in each color, thereby providing a color filter of a plurality of colors in a predetermined arrangement on the substrate. A method for forming a color filter, which comprises forming the color filter.
の顔料が分散混合されたフィルター材料を用いて形成す
る方法であって、 前記複数色の各色ごとに固有で、各色のカラーフィルタ
ーの配置に対応して開口が形成された、複数の各色用ハ
ードマスクを準備し、 各色ごとに、対応するハードマスクを前記基板上に載置
し、このハードマスクを介して対応する前記フィルター
材料を前記基板上に塗布し、塗布されたフィルター材料
を硬化させることにより、 複数色のカラーフィルターを基板上に所定の配置で形成
することを特徴とするカラーフィルターの形成方法。2. A method of forming a color filter of a plurality of colors on a substrate by using a filter material in which pigments of each color are dispersed and mixed, wherein the arrangement of the color filters of each color is unique for each color of the plurality of colors. A plurality of hard masks for each color having openings formed therein are prepared. For each color, a corresponding hard mask is placed on the substrate, and the corresponding filter material is transferred through the hard mask. A method for forming a color filter, which comprises forming a plurality of color filters of a predetermined color on a substrate by applying the filter material on the substrate and curing the applied filter material.
の電極上に前記各色用ハードマスクを載置し、 前記フィルター材料の塗布時に前記電極に電圧を印加し
てフィルター材料の塗布膜厚を調整することを特徴とす
る請求項2記載のカラーフィルタの形成方法。3. An electrode is formed on substantially the entire surface of the substrate, the hard mask for each color is placed on the electrode, and a voltage is applied to the electrode when the filter material is applied to apply a filter material coating film. The method for forming a color filter according to claim 2, wherein the thickness is adjusted.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24309195A JPH0990114A (en) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | Formation of color filter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24309195A JPH0990114A (en) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | Formation of color filter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0990114A true JPH0990114A (en) | 1997-04-04 |
Family
ID=17098661
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24309195A Pending JPH0990114A (en) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | Formation of color filter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0990114A (en) |
-
1995
- 1995-09-21 JP JP24309195A patent/JPH0990114A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6177014A (en) | Manufacture of color filter | |
JPS6078401A (en) | Color filter and its manufacture | |
JPH0990114A (en) | Formation of color filter | |
JPH06167608A (en) | Production of color filter | |
JPH0954209A (en) | Formation of color filter | |
JPH0886912A (en) | Forming method for color filter | |
JPS6175303A (en) | Manufacture of color filter | |
KR940007570A (en) | Color filter for liquid crystal display (LCD) and its manufacturing method | |
JPS61281220A (en) | Production of color filter | |
JP2518207B2 (en) | Method for forming color filter | |
JPH02297502A (en) | Manufacture of liquid crystal color filter | |
JPH01213603A (en) | Production of printing color filter | |
JPH04264503A (en) | Production of color filter | |
JP2634708B2 (en) | How to make a color filter | |
KR960016636B1 (en) | Color filter making method for liquid crystal display elements | |
JPH06235811A (en) | Production of color filter | |
JP2828024B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
JPS6366501A (en) | Production of color filter for liquid crystal display body | |
JPH07181317A (en) | Manufacture of color filter board for liquid crystal display device | |
JPH08248412A (en) | Color filter substrate for liquid crystal display and its production and liquid crystal display device | |
JPH04223402A (en) | Production of color filter | |
JPH0950023A (en) | Manufacture of color filter substrate | |
JPH0596842A (en) | Manufacture of color filter | |
JPH07333596A (en) | Production of color filter | |
JPH04151103A (en) | Manufacture of color filter |