JPH0979882A - 振動式測定装置 - Google Patents
振動式測定装置Info
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- JPH0979882A JPH0979882A JP23722395A JP23722395A JPH0979882A JP H0979882 A JPH0979882 A JP H0979882A JP 23722395 A JP23722395 A JP 23722395A JP 23722395 A JP23722395 A JP 23722395A JP H0979882 A JPH0979882 A JP H0979882A
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- inflow
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明はセンサチューブに発生する歪を歪ゲ
ージで検出すると計測精度が低下し、且つ歪ゲージの取
付位置がずれると歪検出感度が低下するといった課題を
解決するものである。 【構成】 質量流量計１のセンサチューブ３は、流入部
３ａと、加振方向（Ｙ方向）と直交する下方向に所定角
度θ1 傾斜した流入側傾斜部３ｂと、流入側傾斜部３ｂ
と逆の上方向に所定角度θ1 傾斜した流出側傾斜部３ｃ
と、流入側傾斜部３ｂと流出側傾斜部３ｃとの間を連通
する連通部３ｄと、流出部３ｅとを有する。上流側歪ゲ
ージ９及び下流側歪ゲージ１０は、加振器８により加振
されて生じた捩じれ応力とセンサチューブ３を流れる流
量に応じたコリオリ力による捩じれ応力とがセンサチュ
ーブ３の流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに作用す
ると、その応力の大きさに応じた電圧を検出信号として
出力する。
ージで検出すると計測精度が低下し、且つ歪ゲージの取
付位置がずれると歪検出感度が低下するといった課題を
解決するものである。 【構成】 質量流量計１のセンサチューブ３は、流入部
３ａと、加振方向（Ｙ方向）と直交する下方向に所定角
度θ1 傾斜した流入側傾斜部３ｂと、流入側傾斜部３ｂ
と逆の上方向に所定角度θ1 傾斜した流出側傾斜部３ｃ
と、流入側傾斜部３ｂと流出側傾斜部３ｃとの間を連通
する連通部３ｄと、流出部３ｅとを有する。上流側歪ゲ
ージ９及び下流側歪ゲージ１０は、加振器８により加振
されて生じた捩じれ応力とセンサチューブ３を流れる流
量に応じたコリオリ力による捩じれ応力とがセンサチュ
ーブ３の流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに作用す
ると、その応力の大きさに応じた電圧を検出信号として
出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は振動式測定装置に係
り、特にセンサチューブに生ずるコリオリ力による歪を
高精度に検出するよう構成した振動式測定装置に関す
る。
り、特にセンサチューブに生ずるコリオリ力による歪を
高精度に検出するよう構成した振動式測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】被測流体が流れる管路を振動させて流体
の物理量を測定する振動式測定装置として、例えばコリ
オリ式質量流量計又は振動式密度計がある。このコリオ
リ式質量流量計では、振動するセンサチューブの流入側
と流出側との流量に比例したコリオリ力による変位をピ
ックアップにより検出し、その位相差から質量流量を求
めようになっている。
の物理量を測定する振動式測定装置として、例えばコリ
オリ式質量流量計又は振動式密度計がある。このコリオ
リ式質量流量計では、振動するセンサチューブの流入側
と流出側との流量に比例したコリオリ力による変位をピ
ックアップにより検出し、その位相差から質量流量を求
めようになっている。
【０００３】また、振動式密度計では、センサチューブ
の固有振動数より流体の密度を測定するようになってい
る。このコリオリ式質量流量計と振動式密度計は、同一
構成であるので、以下コリオリ式質量流量計について説
明する。この種の従来の質量流量計の一例としては、特
開昭６３−３０７２１号公報により開示された流量計が
ある。この公報の質量流量計は、被測流体が通過する際
の圧力損失を低減するため直線状に延在する一対のセン
サチューブを加振器により半径方向に振動させ、流量に
比例した一対のセンサチューブの相対変位をピックアッ
プにより検出するよう構成されている。
の固有振動数より流体の密度を測定するようになってい
る。このコリオリ式質量流量計と振動式密度計は、同一
構成であるので、以下コリオリ式質量流量計について説
明する。この種の従来の質量流量計の一例としては、特
開昭６３−３０７２１号公報により開示された流量計が
ある。この公報の質量流量計は、被測流体が通過する際
の圧力損失を低減するため直線状に延在する一対のセン
サチューブを加振器により半径方向に振動させ、流量に
比例した一対のセンサチューブの相対変位をピックアッ
プにより検出するよう構成されている。
【０００４】このピックアップは、一方のセンサチュー
ブに取り付けられた環状のコイルと他方のセンサチュー
ブに取り付けられた棒状の磁石とが相対変位可能に嵌合
するように構成されたものであり、一対のセンサチュー
ブの変位をコイルと磁石との相対変位に伴ってコイルに
励起された電圧が検出信号として出力される。そして、
一対のセンサチューブを流れる流体の流量に応じた大き
さのコリオリ力による一対のセンサチューブの変位が流
入側ピックアップと流出側ピックアップで検出され、流
入側ピックアップの検出信号と流出側ピックアップの検
出信号との位相差より流量が求まる。
ブに取り付けられた環状のコイルと他方のセンサチュー
ブに取り付けられた棒状の磁石とが相対変位可能に嵌合
するように構成されたものであり、一対のセンサチュー
ブの変位をコイルと磁石との相対変位に伴ってコイルに
励起された電圧が検出信号として出力される。そして、
一対のセンサチューブを流れる流体の流量に応じた大き
さのコリオリ力による一対のセンサチューブの変位が流
入側ピックアップと流出側ピックアップで検出され、流
入側ピックアップの検出信号と流出側ピックアップの検
出信号との位相差より流量が求まる。
【０００５】このような構成とされた質量流量計におい
ては、上記のようなピックアップの小型化及び軽量化を
図るため、ピックアップの代わりに歪ゲージをセンサチ
ューブに取り付けてコリオリ力によってセンサチューブ
に生じた歪を検出し、この歪の大きさに基づいて流量を
演算する構成のものが開発されている。
ては、上記のようなピックアップの小型化及び軽量化を
図るため、ピックアップの代わりに歪ゲージをセンサチ
ューブに取り付けてコリオリ力によってセンサチューブ
に生じた歪を検出し、この歪の大きさに基づいて流量を
演算する構成のものが開発されている。
【０００６】この種の質量流量計としては、例えば特開
平７−８３７１８号公報により開示されたものがある。
この公報の質量流量計では、直管状のセンサチューブの
流入側外周と流出側外周に抵抗体歪ゲージを貼着してコ
リオリ力により生じた歪を検出するようになっている。
平７−８３７１８号公報により開示されたものがある。
この公報の質量流量計では、直管状のセンサチューブの
流入側外周と流出側外周に抵抗体歪ゲージを貼着してコ
リオリ力により生じた歪を検出するようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように歪ゲージを使用してセンサチューブを流れる流体
の流量を計測する構成とされた質量流量計では、コリオ
リ力による歪がセンサチューブが振動することによって
生ずる歪に比べて非常に小さいので、コリオリ力の大き
さに応じた歪を計測するためにフェーズロックループ回
路（Phase-Lock Loop : ＰＬＬ）等のフィルタ回路が必
要であった。
ように歪ゲージを使用してセンサチューブを流れる流体
の流量を計測する構成とされた質量流量計では、コリオ
リ力による歪がセンサチューブが振動することによって
生ずる歪に比べて非常に小さいので、コリオリ力の大き
さに応じた歪を計測するためにフェーズロックループ回
路（Phase-Lock Loop : ＰＬＬ）等のフィルタ回路が必
要であった。
【０００８】さらに、直管状のセンサチューブの流入側
外周と流出側外周に歪ゲージを貼着する際に歪ゲージの
貼着位置が僅かにずれてしまってもセンサチューブの振
動による歪が極端に大きくなってしまう。そのため、上
記公報のものでは、歪ゲージを所定の貼着位置に正確に
貼着しないと、センサチューブの振動による歪がノイズ
となって検出されることになり、ＳＮ比（Signal-to-No
ise Ratio ）の関係よりコリオリ力による歪を検出する
ことができなくなるといった問題がある。
外周と流出側外周に歪ゲージを貼着する際に歪ゲージの
貼着位置が僅かにずれてしまってもセンサチューブの振
動による歪が極端に大きくなってしまう。そのため、上
記公報のものでは、歪ゲージを所定の貼着位置に正確に
貼着しないと、センサチューブの振動による歪がノイズ
となって検出されることになり、ＳＮ比（Signal-to-No
ise Ratio ）の関係よりコリオリ力による歪を検出する
ことができなくなるといった問題がある。
【０００９】また、歪ゲージをセンサチューブの外周に
取り付ける際は、歪ゲージの貼着位置がずれないように
神経を使うことになり、組立工程における作業効率が悪
いといった問題もある。そこで、本発明は上記問題を解
決した振動式測定装置を提供することを目的とする。
取り付ける際は、歪ゲージの貼着位置がずれないように
神経を使うことになり、組立工程における作業効率が悪
いといった問題もある。そこで、本発明は上記問題を解
決した振動式測定装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項１
の発明は、被測流体が流れるセンサチューブを加振器に
より加振し、該センサチューブのコリオリ力による歪を
歪検出センサにより検出する振動式測定装置において、
前記センサチューブは、前記加振器の加振方向と直交す
る方向に傾斜した流入側傾斜部と、該流入側傾斜部と逆
方向に傾斜した流出側傾斜部と、前記流入側傾斜部と前
記流出側傾斜部との間を連通する連通部とから形成され
たことを特徴とするものである。
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項１
の発明は、被測流体が流れるセンサチューブを加振器に
より加振し、該センサチューブのコリオリ力による歪を
歪検出センサにより検出する振動式測定装置において、
前記センサチューブは、前記加振器の加振方向と直交す
る方向に傾斜した流入側傾斜部と、該流入側傾斜部と逆
方向に傾斜した流出側傾斜部と、前記流入側傾斜部と前
記流出側傾斜部との間を連通する連通部とから形成され
たことを特徴とするものである。
【００１１】従って、上記請求項１によれば、センサチ
ューブが加振器の加振方向と直交する方向に傾斜した流
入側傾斜部と、流入側傾斜部と逆方向に傾斜した流出側
傾斜部と、流入側傾斜部と流出側傾斜部との間を連通す
る連通部とから形成されているので、センサチューブが
加振されると、流入側傾斜部及び流出側傾斜部にコリオ
リ力による捩じれ応力が作用し、コリオリ力に応じた歪
をより大きな値で検出できる。
ューブが加振器の加振方向と直交する方向に傾斜した流
入側傾斜部と、流入側傾斜部と逆方向に傾斜した流出側
傾斜部と、流入側傾斜部と流出側傾斜部との間を連通す
る連通部とから形成されているので、センサチューブが
加振されると、流入側傾斜部及び流出側傾斜部にコリオ
リ力による捩じれ応力が作用し、コリオリ力に応じた歪
をより大きな値で検出できる。
【００１２】また、請求項２の発明は、前記加振器が前
記センサチューブの連通部の中間位置を加振するように
設けられたことを特徴とするものである。従って、上記
請求項２によれば、加振器がセンサチューブの連通部の
中間位置を加振するように設けられているので、センサ
チューブが加振されたときセンサチューブの振動の支点
となる部分から連通部に至るまでの間、すなわち流入側
傾斜部及び流出側傾斜部にコリオリ力による捩じれ応力
を均等に作用させることができる。
記センサチューブの連通部の中間位置を加振するように
設けられたことを特徴とするものである。従って、上記
請求項２によれば、加振器がセンサチューブの連通部の
中間位置を加振するように設けられているので、センサ
チューブが加振されたときセンサチューブの振動の支点
となる部分から連通部に至るまでの間、すなわち流入側
傾斜部及び流出側傾斜部にコリオリ力による捩じれ応力
を均等に作用させることができる。
【００１３】また、請求項３の発明は、前記歪検出セン
サが前記センサチューブの流入側傾斜部と流出側傾斜部
の夫々の外周に設けられたことを特徴とするものであ
る。従って、上記請求項３によれば、歪検出センサがセ
ンサチューブの流入側傾斜部と流出側傾斜部の夫々の外
周に設けられているので、コリオリ力による捩じれ応力
が作用する流入側傾斜部と流出側傾斜部の歪を検出で
き、歪検出センサの取付位置がずれてもコリオリ力によ
る歪を正確に計測することができる。
サが前記センサチューブの流入側傾斜部と流出側傾斜部
の夫々の外周に設けられたことを特徴とするものであ
る。従って、上記請求項３によれば、歪検出センサがセ
ンサチューブの流入側傾斜部と流出側傾斜部の夫々の外
周に設けられているので、コリオリ力による捩じれ応力
が作用する流入側傾斜部と流出側傾斜部の歪を検出で
き、歪検出センサの取付位置がずれてもコリオリ力によ
る歪を正確に計測することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の一実施
例について説明する。尚、図１は振動式測定装置として
のコリオリ式質量流量計１を示す縦断面図、図２は質量
流量計１の横断面図である。
例について説明する。尚、図１は振動式測定装置として
のコリオリ式質量流量計１を示す縦断面図、図２は質量
流量計１の横断面図である。
【００１５】質量流量計１は密閉された箱状のケーシン
グ２内に被測流体が通過するセンサチューブ３を挿通し
てなる。センサチューブ３は、上流側端部が流入管４に
連通され、下流側端部が流出管５に連通されている。セ
ンサチューブ３は、流入管４に連通されて流れ方向（Ｘ
方向）に延在する流入部３ａと、加振方向（Ｙ方向）と
直交する下方向に所定角度θ1 傾斜した流入側傾斜部３
ｂと、流入側傾斜部３ｂと逆の上方向に所定角度θ1 傾
斜した流出側傾斜部３ｃと、流入側傾斜部３ｂと流出側
傾斜部３ｃとの間を連通する連通部３ｄと、流出側傾斜
部３ｃの下流側端部に連通された流出部３ｅとを有す
る。また、連通部３ｄは加振方向（Ｙ方向）と直交する
上下方向に所定角度θ2 傾斜しており、本実施例ではθ
1 ＞θ2 となるように設定されている。尚、角度θ1 ，
θ 2 は、夫々Ｘ方向に延在する水平線を基準にした傾斜
角度を表している。
グ２内に被測流体が通過するセンサチューブ３を挿通し
てなる。センサチューブ３は、上流側端部が流入管４に
連通され、下流側端部が流出管５に連通されている。セ
ンサチューブ３は、流入管４に連通されて流れ方向（Ｘ
方向）に延在する流入部３ａと、加振方向（Ｙ方向）と
直交する下方向に所定角度θ1 傾斜した流入側傾斜部３
ｂと、流入側傾斜部３ｂと逆の上方向に所定角度θ1 傾
斜した流出側傾斜部３ｃと、流入側傾斜部３ｂと流出側
傾斜部３ｃとの間を連通する連通部３ｄと、流出側傾斜
部３ｃの下流側端部に連通された流出部３ｅとを有す
る。また、連通部３ｄは加振方向（Ｙ方向）と直交する
上下方向に所定角度θ2 傾斜しており、本実施例ではθ
1 ＞θ2 となるように設定されている。尚、角度θ1 ，
θ 2 は、夫々Ｘ方向に延在する水平線を基準にした傾斜
角度を表している。
【００１６】また、流入部３ａと流入側傾斜部３ｂとの
間は第１の曲部３ｆにより連通され、流入側傾斜部３ｂ
と連通部３ｄとの間が第２の曲部３ｇにより連通され、
連通部３ｄと流出側傾斜部３ｃとの間が第３の曲部３ｈ
により連通され、流出側傾斜部３ｃと流出部３ｅとの間
が第４の曲部３ｉにより連通されている。
間は第１の曲部３ｆにより連通され、流入側傾斜部３ｂ
と連通部３ｄとの間が第２の曲部３ｇにより連通され、
連通部３ｄと流出側傾斜部３ｃとの間が第３の曲部３ｈ
により連通され、流出側傾斜部３ｃと流出部３ｅとの間
が第４の曲部３ｉにより連通されている。
【００１７】センサチューブ３は、上記流入側傾斜部３
ｂ，流出側傾斜部３ｃ，連通部３ｄは傾斜方向に延在す
る直管であり、振動方向（Ｙ方向）に対して法線方向と
なる上下方向にのみ傾斜している。従って、センサチュ
ーブ３は、上方から見ると一直線状にＸ方向に延在して
いる。
ｂ，流出側傾斜部３ｃ，連通部３ｄは傾斜方向に延在す
る直管であり、振動方向（Ｙ方向）に対して法線方向と
なる上下方向にのみ傾斜している。従って、センサチュ
ーブ３は、上方から見ると一直線状にＸ方向に延在して
いる。
【００１８】従って、上記流入側傾斜部３ｂ，流出側傾
斜部３ｃ，連通部３ｄが上下方向（Ｚ方向）にのみ傾斜
するように形成されているため、ケーシング２は上下方
向（Ｚ方向）の高さ寸法に比べて加振方向（Ｙ方向）の
奥行き寸法が小さくなっている。そのため、質量流量計
１自体が薄型化されており、設置スペースの省スペース
化が図られている。
斜部３ｃ，連通部３ｄが上下方向（Ｚ方向）にのみ傾斜
するように形成されているため、ケーシング２は上下方
向（Ｚ方向）の高さ寸法に比べて加振方向（Ｙ方向）の
奥行き寸法が小さくなっている。そのため、質量流量計
１自体が薄型化されており、設置スペースの省スペース
化が図られている。
【００１９】また、センサチューブ３の流入部３ａ及び
流出部３ｅは、ケーシング２に取り付けられたサポート
板６，７に貫通された状態で真空ろう付け等により固着
されており、このサポート板６，７により支持されてい
る。従って、センサチューブ３は、サポート板６，７に
固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 を支点として振動する
ことになり、センサチューブ３の振動部分はサポート板
６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 間の範囲とな
る。そして、センサチューブ３の第２の曲部３ｇ及び第
３の曲部３ｈは、振動部分の全長Ｌに対してサポート板
６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 から約１／４
の長さ位置に設けられている。
流出部３ｅは、ケーシング２に取り付けられたサポート
板６，７に貫通された状態で真空ろう付け等により固着
されており、このサポート板６，７により支持されてい
る。従って、センサチューブ３は、サポート板６，７に
固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 を支点として振動する
ことになり、センサチューブ３の振動部分はサポート板
６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 間の範囲とな
る。そして、センサチューブ３の第２の曲部３ｇ及び第
３の曲部３ｈは、振動部分の全長Ｌに対してサポート板
６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 から約１／４
の長さ位置に設けられている。
【００２０】８は加振器で、励振信号が入力される励振
コイル８ａと磁石８ｂとを対向させた実質電磁ソレノイ
ドと同様な構成であり、センサチューブ３の中間位置に
設けられている。すなわち、加振器８は励振コイル８ａ
がセンサチューブ３の連通部３ｄの中間位置に対向する
ケーシング２の内壁２ａに取り付けられ、磁石８ｂが励
振コイル８ａ内に加振方向（Ｙ方向）に移動可能に挿入
されている。そして、磁石８ｂの端部は、ベルト状の結
合部材８ｃを介して連通部３ｄに結合されている。
コイル８ａと磁石８ｂとを対向させた実質電磁ソレノイ
ドと同様な構成であり、センサチューブ３の中間位置に
設けられている。すなわち、加振器８は励振コイル８ａ
がセンサチューブ３の連通部３ｄの中間位置に対向する
ケーシング２の内壁２ａに取り付けられ、磁石８ｂが励
振コイル８ａ内に加振方向（Ｙ方向）に移動可能に挿入
されている。そして、磁石８ｂの端部は、ベルト状の結
合部材８ｃを介して連通部３ｄに結合されている。
【００２１】９は上流側歪ゲージ（歪検出センサ）で、
センサチューブ３の流入側傾斜部３ｂの長手方向の略中
間の外周に貼着されている。１０は下流側歪ゲージ（歪
検出センサ）で、センサチューブ３の流出側傾斜部３ｃ
の長手方向の略中間の外周に貼着されている。
センサチューブ３の流入側傾斜部３ｂの長手方向の略中
間の外周に貼着されている。１０は下流側歪ゲージ（歪
検出センサ）で、センサチューブ３の流出側傾斜部３ｃ
の長手方向の略中間の外周に貼着されている。
【００２２】上流側歪ゲージ９及び下流側歪ゲージ１０
は、フィルム状に形成された抵抗体歪ゲージよりなり、
センサチューブ３が振動して歪が生ずると、抵抗値が変
化する特性を有する。そのため、上流側歪ゲージ９及び
下流側歪ゲージ１０は、加振器８により加振されて生じ
た捩じれ応力とセンサチューブ３を流れる流量に応じた
コリオリ力による捩じれ応力がセンサチューブ３の流入
側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに作用すると、その応
力の大きさに応じた電圧を検出信号として出力する。
は、フィルム状に形成された抵抗体歪ゲージよりなり、
センサチューブ３が振動して歪が生ずると、抵抗値が変
化する特性を有する。そのため、上流側歪ゲージ９及び
下流側歪ゲージ１０は、加振器８により加振されて生じ
た捩じれ応力とセンサチューブ３を流れる流量に応じた
コリオリ力による捩じれ応力がセンサチューブ３の流入
側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに作用すると、その応
力の大きさに応じた電圧を検出信号として出力する。
【００２３】さらに、上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲー
ジ１０が取り付けられた流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜
部３ｃには、後述するようにコリオリ力に応じた捩じれ
応力が作用し、この捩じれ応力により歪を上流側歪ゲー
ジ９，下流側歪ゲージ１０で検出するため、捩じれ応力
により増大された歪を大きな値で検出することができ
る。
ジ１０が取り付けられた流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜
部３ｃには、後述するようにコリオリ力に応じた捩じれ
応力が作用し、この捩じれ応力により歪を上流側歪ゲー
ジ９，下流側歪ゲージ１０で検出するため、捩じれ応力
により増大された歪を大きな値で検出することができ
る。
【００２４】また、上記ケーシング２は、長方形状に形
成されたケーシング本体１１の両端開口が蓋部材１２，
１３により閉蓋された密閉構造になっており、ケーシン
グ２内の収納室１４に挿入された上記センサチューブ３
の表面の結露を防止するようになっている。さらに、密
閉された収納室１４には、乾燥した保護気体（例えば、
アルゴンガス等）が所定圧力に充填されている。
成されたケーシング本体１１の両端開口が蓋部材１２，
１３により閉蓋された密閉構造になっており、ケーシン
グ２内の収納室１４に挿入された上記センサチューブ３
の表面の結露を防止するようになっている。さらに、密
閉された収納室１４には、乾燥した保護気体（例えば、
アルゴンガス等）が所定圧力に充填されている。
【００２５】上記流入管４は、流入側端部に上流側配管
（図示せず）に連結されるフランジ４ａを有し、流入管
４の他端はケーシング２の蓋部材１２を貫通してケーシ
ング２の内部に延出してセンサチューブ３に接続されて
いる。流出管５は、上流側端部がセンサチューブ３に接
続固定され、下流側端部がケーシング２の蓋部材１３を
貫通して下流側（Ｘ方向）へ突出している。尚、流出管
５の下流側端部には、下流側配管（図示せず）に連結さ
れるフランジ５ａが設けられている。
（図示せず）に連結されるフランジ４ａを有し、流入管
４の他端はケーシング２の蓋部材１２を貫通してケーシ
ング２の内部に延出してセンサチューブ３に接続されて
いる。流出管５は、上流側端部がセンサチューブ３に接
続固定され、下流側端部がケーシング２の蓋部材１３を
貫通して下流側（Ｘ方向）へ突出している。尚、流出管
５の下流側端部には、下流側配管（図示せず）に連結さ
れるフランジ５ａが設けられている。
【００２６】流量計測時、上記構成になる質量流量計１
において、加振器８はセンサチューブ３の中間位置を水
平方向（Ｙ方向）に加振する。上流側配管（図示せず）
から供給された被測流体は、流入管４より振動するセン
サチューブ３内に流入する。そして、被測流体は、Ｓ字
状に曲げられたセンサチューブ３の流入部３ａ，流入側
傾斜部３ｂ，連通部３ｄ，流出側傾斜部３ｃ，流出部３
ｅを通過して流出管５より下流側配管（図示せず）に流
出する。
において、加振器８はセンサチューブ３の中間位置を水
平方向（Ｙ方向）に加振する。上流側配管（図示せず）
から供給された被測流体は、流入管４より振動するセン
サチューブ３内に流入する。そして、被測流体は、Ｓ字
状に曲げられたセンサチューブ３の流入部３ａ，流入側
傾斜部３ｂ，連通部３ｄ，流出側傾斜部３ｃ，流出部３
ｅを通過して流出管５より下流側配管（図示せず）に流
出する。
【００２７】このように、振動するセンサチューブ３に
流体が流れると、その流量に応じた大きさのコリオリ力
が流入側傾斜部３ｂ及び流出側傾斜部３ｃに逆方向に発
生する。そのため、流入側傾斜部３ｂと流出側傾斜部３
ｃとでは、後述するように捩じれが発生し、この捩じれ
による歪がある時間遅れで発生する。よって、流入側傾
斜部３ｂと流出側傾斜部３ｃには、振動による変位に動
作遅れが生じ、これにより上流側歪ゲージ９の出力信号
と下流側歪ゲージ１０の出力信号とでは位相差があらわ
れる。
流体が流れると、その流量に応じた大きさのコリオリ力
が流入側傾斜部３ｂ及び流出側傾斜部３ｃに逆方向に発
生する。そのため、流入側傾斜部３ｂと流出側傾斜部３
ｃとでは、後述するように捩じれが発生し、この捩じれ
による歪がある時間遅れで発生する。よって、流入側傾
斜部３ｂと流出側傾斜部３ｃには、振動による変位に動
作遅れが生じ、これにより上流側歪ゲージ９の出力信号
と下流側歪ゲージ１０の出力信号とでは位相差があらわ
れる。
【００２８】この流入側と流出側との位相差が流量に比
例するため、流量計測制御回路（図示せず）は、上流側
歪ゲージ９の出力信号と下流側歪ゲージ１０の出力信号
との位相差に基づいて流量を演算する。図３は上記セン
サチューブ３の傾斜部分を説明するための図である。
例するため、流量計測制御回路（図示せず）は、上流側
歪ゲージ９の出力信号と下流側歪ゲージ１０の出力信号
との位相差に基づいて流量を演算する。図３は上記セン
サチューブ３の傾斜部分を説明するための図である。
【００２９】センサチューブ３を制作する際、流入側傾
斜部３ｂ，連通部３ｄ，流出側傾斜部３ｃの傾斜角度θ
1 ，θ2 は、夫々センサチューブ３の振動部分の全長Ｌ
0 （サポート板６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ
1 間の距離）に対し中心線から上下方向への傾斜量Ｌ1
が８％前後となるように設定することが望ましい。例え
ば、全長Ｌ0 に対する傾斜量Ｌ1 が１５％程度になると
センサチューブ３の振動が不安定になって計測精度が低
下してしまう。また、全長Ｌ0 に対する傾斜量Ｌ1 が３
％未満である場合には、センサチューブ３の振動による
捩じれが小さくなり過ぎて歪を検出できなくなる。
斜部３ｂ，連通部３ｄ，流出側傾斜部３ｃの傾斜角度θ
1 ，θ2 は、夫々センサチューブ３の振動部分の全長Ｌ
0 （サポート板６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ
1 間の距離）に対し中心線から上下方向への傾斜量Ｌ1
が８％前後となるように設定することが望ましい。例え
ば、全長Ｌ0 に対する傾斜量Ｌ1 が１５％程度になると
センサチューブ３の振動が不安定になって計測精度が低
下してしまう。また、全長Ｌ0 に対する傾斜量Ｌ1 が３
％未満である場合には、センサチューブ３の振動による
捩じれが小さくなり過ぎて歪を検出できなくなる。
【００３０】以上のようなことを考慮すると、全長Ｌ0
が２００ｍｍのとき流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３
ｃの傾斜角度θ1 はおよそ１９．６°、連通部３ｄの傾
斜角度θ2 はおよそ１７．７°となる。これにより、セ
ンサチューブ３の振動状態が安定すると共に、流量に応
じて発生する歪を検出することができる。
が２００ｍｍのとき流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３
ｃの傾斜角度θ1 はおよそ１９．６°、連通部３ｄの傾
斜角度θ2 はおよそ１７．７°となる。これにより、セ
ンサチューブ３の振動状態が安定すると共に、流量に応
じて発生する歪を検出することができる。
【００３１】ここで、上記のような構成とされた質量流
量計１の流量計測動作について説明する。尚、図４はセ
ンサチューブ３のみを取り出した背面図、図５はセンサ
チューブ３の平面図であり、夫々センサチューブ３を裏
側（後側）から見た図となっている。
量計１の流量計測動作について説明する。尚、図４はセ
ンサチューブ３のみを取り出した背面図、図５はセンサ
チューブ３の平面図であり、夫々センサチューブ３を裏
側（後側）から見た図となっている。
【００３２】センサチューブ３はサポート板６，７に固
着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 間の振動部分Ｌが上下方
向に傾斜する形状である。そして、加振器８はセンサチ
ューブ３の連通部３ｄの中間位置を傾斜方向と直交する
前後方向（Ｙ方向）に加振して振動させる。このように
振動部分Ｌの中間位置を加振されたセンサチューブ３
は、図５において破線で示すように連通部３ｄの中間位
置が最大振幅で前後方向（Ｙ方向）に振動し、サポート
板６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 の位置では
振幅ゼロとなる。
着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 間の振動部分Ｌが上下方
向に傾斜する形状である。そして、加振器８はセンサチ
ューブ３の連通部３ｄの中間位置を傾斜方向と直交する
前後方向（Ｙ方向）に加振して振動させる。このように
振動部分Ｌの中間位置を加振されたセンサチューブ３
は、図５において破線で示すように連通部３ｄの中間位
置が最大振幅で前後方向（Ｙ方向）に振動し、サポート
板６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 の位置では
振幅ゼロとなる。
【００３３】図６はセンサチューブ３の振動状態を説明
するための模式図である。流体が流れていない状態のセ
ンサチューブ３が加振器８により前後方向（Ｙ方向）に
加振された場合、センサチューブ３には加振器８による
加振力のみが作用することになる。そのため、センサチ
ューブ３は図６において実線で示すように前後方向（Ｙ
方向）に撓んだ状態となる。
するための模式図である。流体が流れていない状態のセ
ンサチューブ３が加振器８により前後方向（Ｙ方向）に
加振された場合、センサチューブ３には加振器８による
加振力のみが作用することになる。そのため、センサチ
ューブ３は図６において実線で示すように前後方向（Ｙ
方向）に撓んだ状態となる。
【００３４】このように振動するセンサチューブ３に流
体が流れると、センサチューブ３の流入側には振動方向
のコリオリ力が発生し、センサチューブ３の流出側には
流入側と逆方向のコリオリ力が発生する。そのため、セ
ンサチューブ３は、流入側と流出側とで逆方向のコリオ
リ力が発生するため、図６において一点鎖線で示すよう
に変形する。尚、図６ではセンサチューブ３の動きを分
かりやすくするため、センサチューブ３の変形を実際よ
りも誇張して示してある。
体が流れると、センサチューブ３の流入側には振動方向
のコリオリ力が発生し、センサチューブ３の流出側には
流入側と逆方向のコリオリ力が発生する。そのため、セ
ンサチューブ３は、流入側と流出側とで逆方向のコリオ
リ力が発生するため、図６において一点鎖線で示すよう
に変形する。尚、図６ではセンサチューブ３の動きを分
かりやすくするため、センサチューブ３の変形を実際よ
りも誇張して示してある。
【００３５】従って、流量計測時には、センサチューブ
３が上記のような加振器８による変位とコリオリ力によ
る変位とが合成された状態で振動することになる。そし
て、コリオリ力が流入側と流出側に生じると、コリオリ
力による捩じれ応力がサポート板６，７に固着された接
合部３ａ1 ，３ｅ1 間に延在する流入側傾斜部３ｂ，連
通部３ｄ，流出側傾斜部３ｃに均一に作用する。
３が上記のような加振器８による変位とコリオリ力によ
る変位とが合成された状態で振動することになる。そし
て、コリオリ力が流入側と流出側に生じると、コリオリ
力による捩じれ応力がサポート板６，７に固着された接
合部３ａ1 ，３ｅ1 間に延在する流入側傾斜部３ｂ，連
通部３ｄ，流出側傾斜部３ｃに均一に作用する。
【００３６】図７はセンサチューブ３の振動による捩じ
れ応力を説明するため、図５中Ａ−Ａ線に沿う断面図で
ある。尚、図７（Ａ）はＡ−Ａ断面をＢ方向から見た断
面図で、図７（Ｂ）はＡ−Ａ断面をＣ方向から見た断面
図である。センサチューブ３の連通部３ｄが加振器８に
よりＹ方向に変位すると、連通部３ｄ及び流入側傾斜部
３ｂ，流出側傾斜部３ｃに捩じれ応力が作用し、連通部
３ｄの両端に設けられた第２の曲部３ｇ，第３の曲部３
ｈには最大のモーメントが作用する。
れ応力を説明するため、図５中Ａ−Ａ線に沿う断面図で
ある。尚、図７（Ａ）はＡ−Ａ断面をＢ方向から見た断
面図で、図７（Ｂ）はＡ−Ａ断面をＣ方向から見た断面
図である。センサチューブ３の連通部３ｄが加振器８に
よりＹ方向に変位すると、連通部３ｄ及び流入側傾斜部
３ｂ，流出側傾斜部３ｃに捩じれ応力が作用し、連通部
３ｄの両端に設けられた第２の曲部３ｇ，第３の曲部３
ｈには最大のモーメントが作用する。
【００３７】そのため、上流側歪ゲージ９が貼着された
流入側傾斜部３ｂ付近にコリオリ力に応じた均一の捩じ
れ応力が作用し、且つ下流側歪ゲージ１０が貼着された
流出側傾斜部３ｃ付近にもコリオリ力に応じた均一の捩
じれ応力が作用する。図８はセンサチューブ３の流入側
傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに作用する捩じれ応力を
説明するため斜視図であり、図８（Ａ）は流出側傾斜部
３ｃの捩じれ動作を示す斜視図で、図８（Ｂ）は流入側
傾斜部３ｂの捩じれ動作を示す斜視図である。
流入側傾斜部３ｂ付近にコリオリ力に応じた均一の捩じ
れ応力が作用し、且つ下流側歪ゲージ１０が貼着された
流出側傾斜部３ｃ付近にもコリオリ力に応じた均一の捩
じれ応力が作用する。図８はセンサチューブ３の流入側
傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに作用する捩じれ応力を
説明するため斜視図であり、図８（Ａ）は流出側傾斜部
３ｃの捩じれ動作を示す斜視図で、図８（Ｂ）は流入側
傾斜部３ｂの捩じれ動作を示す斜視図である。
【００３８】すなわち、流出側傾斜部３ｃでは、上記捩
じれ応力Ｆによりｃ1 点がｃ2 点に変位することにな
り、このｃ1 点からｃ2 点に移動する捩じれ角βｃの大
きさに応じた均一の歪が流出側傾斜部３ｃの外周に作用
する。そのため、流出側傾斜部３ｃの外周に貼着された
下流側歪ゲージ１０は、捩じれ角βｃに応じた歪みを検
出して捩じれ角βｃに比例した電圧を検出信号して出力
する。
じれ応力Ｆによりｃ1 点がｃ2 点に変位することにな
り、このｃ1 点からｃ2 点に移動する捩じれ角βｃの大
きさに応じた均一の歪が流出側傾斜部３ｃの外周に作用
する。そのため、流出側傾斜部３ｃの外周に貼着された
下流側歪ゲージ１０は、捩じれ角βｃに応じた歪みを検
出して捩じれ角βｃに比例した電圧を検出信号して出力
する。
【００３９】また、流入側傾斜部３ｂでは、上記捩じれ
応力Ｆによりｂ1 点がｂ2 点に変位することになり、こ
のｂ1 点からｂ2 点に移動する捩じれ角βｂの大きさに
応じた均一の歪が流入側傾斜部３ｂの外周に作用する。
そのため、流入側傾斜部３ｂの外周に貼着された上流側
歪ゲージ９は、捩じれ角βｂに応じた歪を検出して捩じ
れ角βｂに比例した電圧を検出信号して出力する。
応力Ｆによりｂ1 点がｂ2 点に変位することになり、こ
のｂ1 点からｂ2 点に移動する捩じれ角βｂの大きさに
応じた均一の歪が流入側傾斜部３ｂの外周に作用する。
そのため、流入側傾斜部３ｂの外周に貼着された上流側
歪ゲージ９は、捩じれ角βｂに応じた歪を検出して捩じ
れ角βｂに比例した電圧を検出信号して出力する。
【００４０】また、センサチューブ３内を流体が流れな
いときは、流入側傾斜部３ｂに作用する歪みと流出側傾
斜部３ｃに作用する歪みとがほぼ同じ値（大きさ）にな
るので、流入側と流出側との差がゼロになる。このよう
にコリオリ力に応じた捩じれ応力により発生した歪が流
入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに貼着された上流側
歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０により検出されるた
め、上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０は捩じれ応
力により増大された歪を検出することができる。そのた
め、上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０は、流量に
比例して生ずるコリオリ力を増大された歪として検出す
ることができ、従来のもの（直管状のセンサチューブに
歪ゲージを取り付けた構成のもの）よりも流量計測時の
歪の検出感度を高めることができる。
いときは、流入側傾斜部３ｂに作用する歪みと流出側傾
斜部３ｃに作用する歪みとがほぼ同じ値（大きさ）にな
るので、流入側と流出側との差がゼロになる。このよう
にコリオリ力に応じた捩じれ応力により発生した歪が流
入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに貼着された上流側
歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０により検出されるた
め、上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０は捩じれ応
力により増大された歪を検出することができる。そのた
め、上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０は、流量に
比例して生ずるコリオリ力を増大された歪として検出す
ることができ、従来のもの（直管状のセンサチューブに
歪ゲージを取り付けた構成のもの）よりも流量計測時の
歪の検出感度を高めることができる。
【００４１】さらに、流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部
３ｃの外周全体に捩じれ応力が作用するため、上流側歪
ゲージ９，下流側歪ゲージ１０の取付位置がずれたとし
ても流量計測には影響せず、所定の取付位置に対するず
れがあっても歪の検出感度を確保することができる。そ
のため、従来必要とされたフェーズロックループ回路等
のフィルタ回路を無くして流量計測制御回路（図示せ
ず）の回路構成を簡略化することができる。
３ｃの外周全体に捩じれ応力が作用するため、上流側歪
ゲージ９，下流側歪ゲージ１０の取付位置がずれたとし
ても流量計測には影響せず、所定の取付位置に対するず
れがあっても歪の検出感度を確保することができる。そ
のため、従来必要とされたフェーズロックループ回路等
のフィルタ回路を無くして流量計測制御回路（図示せ
ず）の回路構成を簡略化することができる。
【００４２】従って、組立工程において、上流側歪ゲー
ジ９，下流側歪ゲージ１０の取付位置に神経を使わずに
済み、作業効率が高められると共に、簡単な取付作業で
計測精度を高めることができる。尚、振動式密度計の場
合は上記実施例の質量流量計と同様な構成であるので、
その説明は省略する。振動式密度計の場合、センサチュ
ーブの固有振動数が流体の密度によって変化することを
利用して密度を測定するようになっている。
ジ９，下流側歪ゲージ１０の取付位置に神経を使わずに
済み、作業効率が高められると共に、簡単な取付作業で
計測精度を高めることができる。尚、振動式密度計の場
合は上記実施例の質量流量計と同様な構成であるので、
その説明は省略する。振動式密度計の場合、センサチュ
ーブの固有振動数が流体の密度によって変化することを
利用して密度を測定するようになっている。
【００４３】また、上記実施例では、上流側歪ゲージ
９，下流側歪ゲージ１０が流入側傾斜部３ｂ，流出側傾
斜部３ｃの外周に貼着される構成としたが、これに限ら
ず、連通部３ｄにも捩じれ応力が作用するため、連通部
３ｄの外周に上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０を
貼着する構成としても良いのは勿論である。
９，下流側歪ゲージ１０が流入側傾斜部３ｂ，流出側傾
斜部３ｃの外周に貼着される構成としたが、これに限ら
ず、連通部３ｄにも捩じれ応力が作用するため、連通部
３ｄの外周に上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０を
貼着する構成としても良いのは勿論である。
【００４４】また、上記実施例では、上流側歪ゲージ
９，下流側歪ゲージ１０が流入側傾斜部３ｂ，流出側傾
斜部３ｃの外周に１個ずつの上流側歪ゲージ９，下流側
歪ゲージ１０を取り付けたが、複数の歪ゲージを各流入
側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃの外周に設けるように
しても良い。
９，下流側歪ゲージ１０が流入側傾斜部３ｂ，流出側傾
斜部３ｃの外周に１個ずつの上流側歪ゲージ９，下流側
歪ゲージ１０を取り付けたが、複数の歪ゲージを各流入
側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃの外周に設けるように
しても良い。
【００４５】また、上記実施例では、上流側歪ゲージ
９，下流側歪ゲージ１０の一例として抵抗体歪ゲージを
挙げて説明したが、これに限らず、例えば半導体歪ゲー
ジや磁性体歪ゲージを使用しても良いのは勿論である。
また、上記実施例では、１本のセンサチューブ３で流量
計測を行う構成を一例として挙げたが、これに限らず、
例えば２本のセンサチューブを対向配置させる構成とし
ても良い。
９，下流側歪ゲージ１０の一例として抵抗体歪ゲージを
挙げて説明したが、これに限らず、例えば半導体歪ゲー
ジや磁性体歪ゲージを使用しても良いのは勿論である。
また、上記実施例では、１本のセンサチューブ３で流量
計測を行う構成を一例として挙げたが、これに限らず、
例えば２本のセンサチューブを対向配置させる構成とし
ても良い。
【００４６】
【発明の効果】上述の如く、上記請求項１によれば、セ
ンサチューブが加振器の加振方向と直交する方向に傾斜
した流入側傾斜部と、流入側傾斜部と逆方向に傾斜した
流出側傾斜部と、流入側傾斜部と流出側傾斜部との間を
連通する連通部とから形成されているので、センサチュ
ーブが加振されると、流入側傾斜部及び流出側傾斜部に
コリオリ力による捩じれ応力が作用し、コリオリ力に応
じた歪をより大きな値で検出できる。そのため、計測時
の歪の検出感度を高めることができ、計測精度を確保す
ることができると共に、従来必要とされたフェーズロッ
クループ回路等のフィルタ回路を無くして回路構成を簡
略化することができる。
ンサチューブが加振器の加振方向と直交する方向に傾斜
した流入側傾斜部と、流入側傾斜部と逆方向に傾斜した
流出側傾斜部と、流入側傾斜部と流出側傾斜部との間を
連通する連通部とから形成されているので、センサチュ
ーブが加振されると、流入側傾斜部及び流出側傾斜部に
コリオリ力による捩じれ応力が作用し、コリオリ力に応
じた歪をより大きな値で検出できる。そのため、計測時
の歪の検出感度を高めることができ、計測精度を確保す
ることができると共に、従来必要とされたフェーズロッ
クループ回路等のフィルタ回路を無くして回路構成を簡
略化することができる。
【００４７】また、上記請求項２によれば、加振器がセ
ンサチューブの連通部の中間位置を加振するように設け
られているので、センサチューブが加振されたときセン
サチューブの振動の支点となる部分から連通部に至るま
での流入側傾斜部及び流出側傾斜部にコリオリ力による
捩じれ応力を均等に作用させることができる。そのた
め、流入側と流出側との位相差を安定して検出すること
ができ、計測精度をより高めることができる。
ンサチューブの連通部の中間位置を加振するように設け
られているので、センサチューブが加振されたときセン
サチューブの振動の支点となる部分から連通部に至るま
での流入側傾斜部及び流出側傾斜部にコリオリ力による
捩じれ応力を均等に作用させることができる。そのた
め、流入側と流出側との位相差を安定して検出すること
ができ、計測精度をより高めることができる。
【００４８】また、上記請求項３によれば、歪検出セン
サがセンサチューブの流入側傾斜部と流出側傾斜部の夫
々の外周に設けられているので、コリオリ力による捩じ
れ応力が作用する流入側傾斜部と流出側傾斜部の歪を検
出でき、歪検出センサの取付位置がずれてもコリオリ力
による歪を正確に計測することができる。
サがセンサチューブの流入側傾斜部と流出側傾斜部の夫
々の外周に設けられているので、コリオリ力による捩じ
れ応力が作用する流入側傾斜部と流出側傾斜部の歪を検
出でき、歪検出センサの取付位置がずれてもコリオリ力
による歪を正確に計測することができる。
【図１】本発明になる振動式測定装置の一実施例のコリ
オリ式質量流量計を示す縦断面図である。
オリ式質量流量計を示す縦断面図である。
【図２】図１中II-II 線に沿う横断面図である。
【図３】センサチューブ３の傾斜部分を説明するための
図である。
図である。
【図４】センサチューブのみを取り出した背面図であ
る。
る。
【図５】センサチューブの平面図である。
【図６】センサチューブ３の振動状態を説明するための
模式図である。
模式図である。
【図７】センサチューブの振動による捩じれ応力を説明
するため、図５中Ａ−Ａ線に沿う断面図である。
するため、図５中Ａ−Ａ線に沿う断面図である。
【図８】センサチューブの流入側傾斜部，流出側傾斜部
に作用する捩じれ応力を説明するため斜視図である。
に作用する捩じれ応力を説明するため斜視図である。
１ 質量流量計 ２ ケーシング ３ センサチューブ ３ａ 流入部 ３ｂ 流入側傾斜部 ３ｃ 流出側傾斜部 ３ｄ 連通部 ３ｅ 流出部 ４ 流入管 ５ 流出管 ６，７ サポート板 ８ 加振器 ９ 上流側歪ゲージ １０ 下流側歪ゲージ
Claims (3)
- 【請求項１】 被測流体が流れるセンサチューブを加振
器により加振し、該センサチューブのコリオリ力による
歪を歪検出センサにより検出する振動式測定装置におい
て、 前記センサチューブは、前記加振器の加振方向と直交す
る方向に傾斜した流入側傾斜部と、該流入側傾斜部と逆
方向に傾斜した流出側傾斜部と、前記流入側傾斜部と前
記流出側傾斜部との間を連通する連通部とから形成され
たことを特徴とする振動式測定装置。 - 【請求項２】 前記加振器は、前記センサチューブの連
通部の中間位置を加振するように設けられたことを特徴
とする請求項１記載の振動式測定装置。 - 【請求項３】 前記歪検出センサは、前記センサチュー
ブの流入側傾斜部と流出側傾斜部の夫々の外周に設けら
れたことを特徴とする請求項１記載の振動式測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23722395A JPH0979882A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 振動式測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23722395A JPH0979882A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 振動式測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0979882A true JPH0979882A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=17012210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23722395A Pending JPH0979882A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 振動式測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0979882A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001018501A1 (en) * | 1999-09-03 | 2001-03-15 | Fmc Corporation | Coriolis mass flowmeter with improved accuracy and simplified instrumentation |
| US6684715B1 (en) | 2000-09-01 | 2004-02-03 | Fmc Technologies, Inc. | Coriolis mass flowmeter with improved accuracy and simplified instrumentation |
| EP2706327A1 (de) * | 2012-09-10 | 2014-03-12 | Krohne AG | Coriolis Durchflussmessgerät |
| JP2017514121A (ja) * | 2014-04-07 | 2017-06-01 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | 改良された振動式流量計及びそれに関連する方法 |
-
1995
- 1995-09-14 JP JP23722395A patent/JPH0979882A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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