JPH0976511A - インクジェットプリンターヘッド用ノズル板およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 撥液性被膜を保護することが可能であり、イ
ンク滴を安定に吐出させる。そして、インクジェットプ
リンターの信頼性を向上させる。 【解決手段】 インク吐出面を一方に有する平板状部材
からなり、平板状部材の所定の位置にインクが吐出され
る貫通したインク吐出孔２と、インク吐出面３のインク
吐出孔２周囲に被覆する撥液性被膜４と、インク吐出孔
２周囲の外側に撥液性被膜４よりも膜厚が厚い硬質カー
ボン膜７とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットプリ
ンターヘッドに用いるノズル板の構造とその製造方法と
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、コンピュータ出力を印字する分野
におけるノンインパクトプリンターの一方式であるイン
クジェットプリンターにおいて、圧電体の圧電作用をイ
ンク吐出の駆動力として応用する手段が、たとえば特公
平４−４８６２２号公報や特開昭６３−２４７０５１号
公報などに提案されている。

【０００３】これらの公報に記載のインクジェットプリ
ンター製造方法および構造は、圧電性基板にインク流路
のための微細な貫通した溝の加工を施した後、その圧電
性基板表面に電極膜を形成し、そして表面を研磨加工を
行い溝内部に電極膜を残すように形成する。

【０００４】さらにその後、溝内面に絶縁膜として気相
合成法によるポリパラキシリレン樹脂からなるパリレン
膜を形成する。この絶縁膜はインクの不安定吐出の原因
となるインクの電気分解による気泡発生と、インクの変
質を防ぐための重要な構成体として位置づけられてい
る。

【０００５】以上のように作製した圧電性基板の溝を有
する面どうしを対向させて接着、あるいは溝を有する面
上にガラスやセラミックや金属もしくはプラスチック製
の平板状の蓋を接着することによってインク流路を形成
する。

【０００６】さらにインク流路の一方の端部に直径３０
〜６０ミクロンのインク吐出孔を有する厚さ０．１ｍｍ
のノズル板を接着した後、電極膜に駆動回路を接続する
ことによってインクジェットプリンターヘッドを構成す
る。このとき、ノズル板の材質としては、金属やプラス
チックやセラミックスなどのノズル板が使われる。

【０００７】圧電作用を利用するインクジェットプリン
ターヘッドの駆動原理を、以下に説明する。各溝中に形
成する電極膜に電圧を印加すると、溝を形成する隔壁が
その圧電作用のためにインク流路の容積を増大または減
少させるように変形する。そして、このインク流路の容
積減少の変形によって生じる力が溝内部に充填したイン
クに伝播し、インク吐出孔からインク滴として吐出する
ことができる。

【０００８】一般にインク滴を安定してまっすぐ吐出さ
せるために、ノズル板においては吐出後のインク吐出孔
周囲への残留インクの付着を防止し、さらに水性あるい
は非水性インクに対して化学的に安定でなければならな
いことが要求されている。

【０００９】そのための手段として、インク吐出面にイ
ンクに対して撥液性の表面を形成することが提案されて
おり、その撥液性材料としてはシリコーン樹脂やフッ素
樹脂や、あるいはテフロン共析メッキ被膜などが知られ
ている。

【００１０】さらにたとえば特開昭６０−１８４８５２
号公報や特開昭６３−９５５０号公報に記載されている
ように、インク吐出面のインク吐出孔周囲をその外側領
域よりもより撥水性にすることが提案されている。この
ことによってインク吐出孔周囲に付着したインク滴をそ
の外側に誘導し、インク吐出孔周囲におけるインクの残
留を防ぐ工夫がなされている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなインク吐出面を有するノズル板を用いても完全に
インクを回収できない。このため、乾燥によってインク
吐出孔周囲にインクが付着し、この結果、インク滴の不
安定吐出を生ずるという現象が発生する。

【００１２】このインク付着対策としてインクジェット
プリンターには、一般にクリーニング機構が組み込まれ
ている。このクリーニング機構はゴム材料からなるブレ
ードでインク吐出面をワイピングするものである。

【００１３】このブレードでインク吐出面を多数回ワイ
ピングすると、徐々に吐出面の撥液性表面が摩耗し、つ
いには撥液性が消失する。その結果、インク滴の方向が
曲がり、印字が正常に行われなくなる。さらに摩耗して
剥離した撥液性材料の破片がインク吐出孔を塞ぎ、イン
ク滴の吐出が不可能なる問題を有している。またさらに
印字用紙をプリンターから手動で引き出す際に、印字用
紙によるインク吐出面の摩耗を生じ、ブレードでインク
吐出面を多数回ワイピングする結果と同様の現象が発生
する。

【００１４】本発明の目的は、上記課題を解決して、イ
ンクに対して充分な撥液性を備え、インク吐出面のワイ
ピングに対しても優れた耐久性を有し、インク滴を安定
に吐出させるためのインクジェットプリンターヘッド用
ノズル板の構造と、この構造を形成するための製造方法
とを提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のインクジェットプリンターヘッド用ノズル
板の構造とその製造方法では、下記記載の手段を採用す
る。

【００１６】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板は、インク吐出面を一方に有する平板状部材
からなり、平板状部材の所定の位置にインクが吐出され
る貫通したインク吐出孔と、インク吐出面のインク吐出
孔周囲に被覆する撥液性被膜と、インク吐出孔周囲の外
側に撥液性被膜よりも膜厚が厚い硬質カーボン膜とを有
することを特徴とするものである。

【００１７】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板は、インク吐出面を一方に有する平板状部材
からなり、平板状部材の所定の位置にインクが吐出され
る貫通したインク吐出孔と、インク吐出面のインク吐出
孔周囲に被覆する撥液性被膜と、インク吐出孔周囲の外
側に撥液性被膜よりも膜厚が厚い硬質カーボン膜とを有
し、硬質カーボン膜は撥液性被膜上に形成する中間層の
上に被覆することを特徴とする。

【００１８】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板は、インク吐出面を一方に有する平板状部材
からなり、平板状部材の所定の位置にインクが吐出され
る貫通したインク吐出孔と、インク吐出面のインク吐出
孔周囲に被覆する撥液性被膜と、インク吐出孔周囲の外
側に撥液性被膜よりも膜厚が厚い硬質カーボン膜とを有
し、硬質カーボン膜はインク吐出面上に形成する中間層
の上に被覆することを特徴とする。

【００１９】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板は、インク吐出面を一方に有する平板状部材
からなり、平板状部材の所定の位置にインクが吐出され
る貫通したインク吐出孔と、インク吐出面のインク吐出
孔周囲に被覆する撥液性被膜と、インク吐出孔周囲の外
側に撥液性被膜よりも膜厚が厚い硬質カーボン膜とを有
し、硬質カーボン膜は撥液性被膜上に被覆することを特
徴とする。

【００２０】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板は、インク吐出面を一方に有する平板状部材
からなり、平板状部材の所定の位置にインクが吐出され
る貫通したインク吐出孔と、インク吐出面のインク吐出
孔周囲に被覆する撥液性被膜と、インク吐出孔周囲の外
側に撥液性被膜よりも膜厚が厚い硬質カーボン膜とを有
し、硬質カーボン膜はインク吐出面上に被覆することを
特徴とする。

【００２１】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板の製造方法は、インク吐出面のインク吐出孔
周囲に撥液性被膜を被覆する工程と、インク吐出孔周囲
の外側に撥液性被膜の膜厚よりも厚く硬質カーボン膜を
形成する工程とを有することを特徴とするものである。

【００２２】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板の製造方法は、インク吐出面のインク吐出孔
周囲に撥液性被膜を被覆する工程と、インク吐出孔周囲
の外側に撥液性被膜の膜厚よりも厚く硬質カーボン膜を
形成する工程とを備え、インク吐出面に撥液性被膜を被
覆する工程と、感光性樹脂フィルムを撥液性被膜上にコ
ート後、露光処理と現像処理とを行いインク吐出孔周囲
をマスクする工程と、インク吐出面全域に中間層、硬質
カーボン膜を順次積層する工程と、感光性樹脂フィルム
と感光性樹脂フィルム上に積層した中間層と硬質カーボ
ン膜を除去する工程とを有することを特徴とする。

【００２３】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板の製造方法は、インク吐出面のインク吐出孔
周囲に撥液性被膜を被覆する工程と、インク吐出孔周囲
の外側に撥液性被膜の膜厚よりも厚く硬質カーボン膜を
形成する工程とを備え、インク吐出面に撥液性被膜を被
覆する工程と、感光性樹脂フィルムを撥液性被膜上にコ
ート後、露光処理と現像処理とを行いインク吐出孔周囲
をマスクする工程と、露出している撥液性被膜を除去す
る工程と、インク吐出面全域に中間層、硬質カーボン膜
を順次積層する工程と、感光性樹脂フィルムと感光性樹
脂フィルム上に積層した中間層と硬質カーボン膜を除去
する工程とを有することを特徴とする。

【００２４】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板の製造方法は、インク吐出面のインク吐出孔
周囲に撥液性被膜を被覆する工程と、インク吐出孔周囲
の外側に撥液性被膜の膜厚よりも厚く硬質カーボン膜を
形成する工程とを備え、インク吐出面に撥液性被膜を被
覆する工程と、感光性樹脂フィルムを撥液性被膜上にコ
ート後、露光処理と現像処理とを行いインク吐出孔周囲
をマスクする工程と、インク吐出面全域に硬質カーボン
膜を形成する工程と、感光性樹脂フィルムと感光性樹脂
フィルム上に形成する硬質カーボン膜を除去する工程と
を有することを特徴とする。

【００２５】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板の製造方法は、インク吐出面のインク吐出孔
周囲に撥液性被膜を被覆する工程と、インク吐出孔周囲
の外側に撥液性被膜の膜厚よりも厚く硬質カーボン膜を
形成する工程とを備え、インク吐出面に撥液性被膜を被
覆する工程と、感光性樹脂フィルムを撥液性被膜上にコ
ート後、露光処理と現像処理とを行いインク吐出孔周囲
をマスクする工程と、露出している撥液性被膜を除去す
る工程と、インク吐出面全域に硬質カーボン膜を形成す
る工程と、感光性樹脂フィルムと感光性樹脂フィルム上
に形成する硬質カーボン膜を除去する工程とを有するこ
とを特徴とする。

【００２６】本発明のインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板で使用する硬質カーボン膜は、一般にビッカ
ース硬度の値が約３０００から５０００ｋｇ／ｍｍ² と
ダイヤモンドに次ぐ硬度をもち、水素を含有する非晶質
炭素膜である。その高硬度特性により硬質カーボン膜は
耐摩耗性にも優れている。そしてこの硬質カーボン膜は
炭化水素ガスのプラズマ化学的気相成長法によって形成
することができる。

【００２７】このような特性を備える硬質カーボン膜を
インク吐出孔周囲に形成する撥液性被膜の外側に、撥液
性表被膜の膜厚より厚く形成する。このことにより、イ
ンク吐出面のクリーニング時におけるゴム材料からなる
ブレードのワイピングに対して撥液性被膜を保護するこ
とが可能になる。

【００２８】すなわちゴム材料からなるブレードは、優
れた耐摩耗性を有する硬質カーボン膜表面のみをワイピ
ングする。このため撥液性被膜の摩耗を生じることはな
く、しかも撥液性材料の破片がインク吐出孔を塞ぐこと
も発生しない。同様の理由によって印字用紙とインク吐
出面の接触に起因する撥液性被膜の摩損も防ぐことが可
能である。

【００２９】さらに硬質カーボン膜は親液性の性質を有
することから、撥液性被膜表面に付着したインクは硬質
カーボン膜側へ引き寄せられる。このため本発明のイン
クジェットプリンターヘッド用ノズル板は、撥液性被膜
におけるインクの残留を防止する効果も備えている。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
例におけるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板
の構造とその製造方法を説明する。まずはじめにインク
吐出孔の周辺領域を拡大して示す図６の断面図を用い
て、本発明の第１の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造を説明する。

【００３１】図６に示すように、インクジェットプリン
ターヘッド用のノズル板１は、インク吐出面３のインク
吐出孔２周囲に撥液性被膜４を被覆するように設けてい
る。さらにその撥液性被膜４の外側には、この撥液性被
膜４上に設ける中間層８を介して硬質カーボン膜７を設
ける。

【００３２】この硬質カーボン膜７をインク吐出面３側
で撥液性被膜４に対して段差をもって設ける構造によ
り、クリーニング時におけるゴム材料からなるブレード
のワイピングに対して撥液性被膜４を保護することが可
能になる。

【００３３】つぎにこの図６に示す構造のノズル板を形
成するための製造方法を、図１から図６を用いて説明す
る。図１は本発明の実施例における製造方法を適用する
薄板状のインクジェットプリンターヘッド用ノズル板を
示す斜視図である。図２から図６は本発明の第１の実施
例におけるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板
の製造方法を示し、インク吐出孔の周辺領域を拡大して
示す断面図である。以下、図１の斜視図と、図２から図
６の工程断面図に沿って説明する。

【００３４】はじめに図１と図２に示すように、本発明
によるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板を作
製するためには、まず長さ５０ｍｍ、幅５ｍｍ、厚さ
０．１ｍｍのインク吐出のための円形の貫通した孔を有
するノズル板１のインク吐出面３上の全面に撥液性被膜
４を形成する。ノズル板１は電鋳法によって作製し、そ
の材質はニッケルからなる。

【００３５】インク吐出面３側でのインク吐出孔２の直
径は３５ミクロンとし、その裏面の直径は１００ミクロ
ンのテーパー状となっている。これはインクをスムーズ
に供給し、まっすぐに吐出させるため、そのインク吐出
孔２の断面形状はこのようにテーパー状とする。

【００３６】撥液性被膜４材料としてはフッ素樹脂や、
シリコーン樹脂や、あるいはテフロン共析メッキなどが
適用可能である。そしてその形成方法としてはスピンコ
ート法や、浸漬法や塗布法やメッキなどのウェット法に
よる方法や、真空蒸着法などのドライ法による撥液性被
膜４形成方法がある。

【００３７】本発明の第１の実施例の撥液性被膜４にお
いては、スピンコート法により塗布型のフッ素樹脂であ
る商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．５ミクロン
の膜厚でインク吐出面３表面に被覆し、その後温度１５
０℃で１時間加熱して形成する。この撥液性被膜４を形
成するときサイトップがインク吐出孔２の内部へ侵入し
ないように、インク吐出面３の裏面側よりエアーを吹き
付けながらスピンコートを行う。

【００３８】つぎに図３に示すように、厚さが２５ミク
ロンのネガ型の感光性樹脂フィルム１１であるドライフ
ィルムレジストを、あらかじめ温度６０℃〜８０℃に加
熱したノズル板１の撥液性被膜４の上にラミネーターを
用いてコートする。

【００３９】その後、感光性樹脂フィルム１１がインク
吐出孔２周囲に残るようにインク吐出孔２周囲を除いた
インク吐出面３の領域をマスクし、インク吐出面３側よ
り垂直方向に光量１５０〜２００ｍＪ／ｃｍ² の紫外線
（ＵＶ）照射を行って露光処理を行い、さらに現像処理
する。

【００４０】この結果、感光性樹脂フィルム１１は、図
４に示すようにインク吐出孔２周囲の撥液性被膜４上を
マスクする形状にパターン形成することができる。

【００４１】つぎに図５に示すように、中間層８と硬質
カーボン膜７とをインク吐出面３側の全域に順次積層す
る。

【００４２】ここで中間層８は撥液性被膜４と硬質カー
ボン膜７との密着性を改善するために導入するものであ
る。本発明の実施例では、チタンとシリコンの組み合わ
せによる積層構造の中間層８を採用する。すなわちスパ
ッタリング法によって中間層下層を膜厚０．３ミクロン
のチタンで形成し、中間層上層を膜厚０．５ミクロンの
シリコンからなる積層構造からなる中間層８を形成す
る。

【００４３】硬質カーボン膜７は、炭化水素系ガス、具
体的にはメタンを用いるプラズマ化学的気相合成（ＣＶ
Ｄ）法によって、図２４に示す装置を用いて形成する。
ガス導入口２５と排気口２６とを有する真空槽２１内に
ノズル板１を配置するカソード電極２２を設ける。さら
にこのカソード電極２２には高周波電源２４を接続し高
周波電力を印加する。

【００４４】プラズマ化学的気相合成（ＣＶＤ）法によ
って形成する硬質カーボン膜７形成条件を以下に示す。
この条件で形成する硬質カーボン膜７の膜厚は５ミクロ
ンとした。 原料ガス：メタン 励起法：高周波（１３．５６ＭＨｚ） 励起出力：２００Ｗ ガス圧：０．１Ｔｏｒｒ 膜形成速度：２０ｎｍ／ｍｉｎ． 処理温度：＜１５０℃

【００４５】つぎに図６に示すように、感光性樹脂フィ
ルム１１を温度３０℃の濃度１％の水酸化ナトリウム水
溶液中に浸漬し、超音波を照射する。この結果、感光性
樹脂フィルム１１はノズル板１のインク吐出孔２側より
侵入する水酸化ナトリウム水溶液によって溶解する。こ
の溶解によって感光性樹脂フィルム１１の上面と側面と
に形成する中間層８と硬質カーボン膜７とは、その支持
体がなくなるため破壊される。

【００４６】さらに感光性樹脂フィルム１１は、中間層
８と硬質カーボン膜７の膜厚と比較するとはるかに厚
い。このために、撥液性被膜４上に残る中間層８と硬質
カーボン膜７の側面部のエッジパターン精度は、感光性
樹脂フィルム１１のエッジパターン精度とほぼ等しくな
る。

【００４７】感光性樹脂フィルム１１を除去すると、図
６に示すようなインク吐出面３のインク吐出孔２周囲に
撥液性被膜４を形成し、その撥液性被膜４外側には撥液
性被膜４の上に中間層８を介して硬質カーボン膜７を形
成するインクジェットプリンターヘッド用ノズル板が完
成する。

【００４８】図１から図６を用いて説明した本発明の実
施例の効果を確認するために、本発明の実施例により形
成した試料と、これと比較するための比較用サンプル１
と比較用サンプル２との３種類の試料を製造した。

【００４９】比較用サンプル１としては、塗布型のフッ
素樹脂である商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．
５ミクロンの膜厚でインク吐出面３表面に被覆して撥液
性被膜４を形成してノズル板とした。すなわち図２に示
すようなノズル板１のインク吐出面３の全面に平坦に撥
液性被膜４を形成して、比較用サンプル１とする。

【００５０】比較用サンプル２としては、インク吐出面
３側にあらかじめインク吐出孔２周囲領域に５ミクロン
の高さで段差部を形成し、この段差部よりインク吐出孔
２周辺領域が５ミクロン低位置になるように成型し、そ
の後、スピンコート法により塗布型のフッ素樹脂である
商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．５ミクロンの
膜厚でインク吐出面３全面に被覆して撥液性被膜４を形
成した。すなわちインク吐出孔２周辺は５ミクロン低く
形成してブレードが直接インク吐出孔２周辺に接触しな
いように構成して、比較用サンプル２とする。

【００５１】そして、ゴム製ブレードによって２０ｇ／
ｃｍ² の接触圧でカーボンブラックを含有する顔料系イ
ンクをインク吐出面側に滴下しながらインク吐出面側を
一方向に１００００回摺動するワイピング試験を行っ
た。さらにその後、このワイピング試験に用いたノズル
板を用いて、インクジェットヘッドを組み立てて、顔料
系インクを注入し、吐出試験を行った。

【００５２】その結果は、硬質カーボン膜を形成した本
発明の実施例によって形成したインクジェットプリンタ
ーヘッド用ノズル板は、ワイピング試験後のインク吐出
孔周囲の撥液性の劣化を生じていない。さらに、インク
吐出試験もまったく異常はみられなかった。

【００５３】しかしながら、インク吐出面３側に平坦形
状に撥液性被膜４を形成した比較用サンプル１では、ワ
イピング試験後、撥液性が消失し、さらにインク吐出孔
内部に異物の付着が観察された。さらにインク吐出試験
では、まったくインクは吐出しなかった。

【００５４】段差を形成した全面に撥液性被膜４を形成
した比較用サンプル２では、ワイピング試験後、撥液性
は良好であったものの、インク吐出孔内部に異物の付着
が観察され、吐出試験ではインクの吐出方向が曲がって
しまう現象が観察された。

【００５５】以上の結果からわかるように、硬質カーボ
ン膜を形成した本発明によるインクジェットプリンター
ヘッド用ノズル板は、耐ワイピング性に優れ、撥液性の
劣化を生じず、インクの安定吐出を可能にすることが確
認できた。

【００５６】つぎに図面を用いて本発明の第２の実施例
におけるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板の
構造とその製造方法を説明する。まずはじめにインク吐
出孔部を拡大して示す図１２の断面図を用いて本発明の
第２の実施例におけるインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板の構造を説明する。

【００５７】図１２に示すように、インクジェットプリ
ンターヘッド用のノズル板１は、インク吐出面３のイン
ク吐出孔２周囲に撥液性被膜４を被覆している。さら
に、その撥液性被膜４の外側にはインク吐出面３の表面
上に中間層８を設け、さらにこの中間層８を介して硬質
カーボン膜７を形成する。

【００５８】この図１２に示す撥液性被膜４に対して段
差をもって硬質カーボン膜７を設ける構造によって、ク
リーニング時におけるゴム材料からなるブレードのワイ
ピングに対して撥液性被膜４を保護することが可能にな
る。

【００５９】つぎにこの図１２に示すノズル板１を形成
するための製造方法を、図１と図７から図１２を用いて
説明する。図１は本発明の実施例における製造方法を適
用する薄板状のインクジェットプリンターヘッド用ノズ
ル板を示す斜視図である。図７から図１２は本発明の第
２の実施例におけるインクジェットプリンターヘッド用
ノズル板の製造方法を示し、インク吐出孔周辺領域を拡
大した工程断面図である。以下、図１の斜視図と、図７
から図１２の断面図を用いて説明する。

【００６０】はじめに図１と図７に示すように、本発明
によるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板を作
製するためには、まず長さ５０ｍｍ、幅５ｍｍ、厚さ
０．１ｍｍのインク吐出のための円形の貫通した孔を有
するノズル板１のインク吐出面３上の全面に撥液性被膜
４を形成する。ノズル板１は電鋳法によって作製し、そ
の材質はニッケルである。

【００６１】インク吐出面３側でのインク吐出孔２の直
径は３５ミクロンであり、その裏面の直径は１００ミク
ロンのテーパー状となっている。これはインクをスムー
ズに供給し、まっすぐに吐出させるため、そのインク吐
出孔２の断面断面はこのようにテーパー状になってい
る。

【００６２】本発明の第２の実施例では撥液性被膜４と
して、スピンコート法により塗布型のフッ素樹脂である
商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．５ミクロンの
膜厚でインク吐出面３表面に被覆するように形成し、そ
の後温度１５０℃で１時間加熱し、撥液性被膜４を形成
する。このときサイトップがインク吐出孔２の内部へ侵
入しないように、インク吐出面３の裏面よりエアーを吹
き付けながらスピンコートを行う。

【００６３】つぎに図８に示すように、膜厚が２５ミク
ロンのネガ型の感光性樹脂フィルム１１であるドライフ
ィルムレジストを、あらかじめ温度６０℃〜８０℃に加
熱したノズル板の撥液性被膜４の上面にラミネーターを
用いてコートする。

【００６４】その後、感光性樹脂フィルム１１がインク
吐出孔２周囲領域に残るように、インク吐出孔２周囲を
除いてインク吐出面３の領域をマスクし、インク吐出面
３側より垂直方向に光量１５０〜２００ｍＪ／ｃｍ² の
紫外線（ＵＶ）照射を行って露光処理を行い、さらに現
像処理する。

【００６５】この結果、感光性樹脂フィルム１１は、図
９に示すようにインク吐出孔２周囲の撥液性被膜４をマ
スクする形状にパターン形成することができる。

【００６６】つぎに図１０に示すように、感光性樹脂フ
ィルム１１をエッチングマスクとして使用して、酸素ガ
ス雰囲気でのプラズマエッチングによって、インク吐出
面３で感光性樹脂フィルム１１から露出している撥液性
被膜４をエッチングして除去する。

【００６７】つぎに図１１に示すように、中間層８と硬
質カーボン膜７をインク吐出面３側の全域に順次積層す
る。

【００６８】ここで中間層８は撥液性被膜４と硬質カー
ボン膜７との密着性を改善するために形成するものであ
る。本発明の第２の実施例では、中間層８としてチタン
とシリコンの組み合わせによる積層膜を採用する。すな
わちスパッタリング法によって、中間層下層の膜厚０．
３ミクロンのチタンを形成し、さらに中間層上層の膜厚
０．５ミクロンのシリコンからなる積層構造の中間層８
を形成する。

【００６９】硬質カーボン膜７は、炭化水素系ガス、具
体的にはメタンを用いるプラズマ化学的気相合成（ＣＶ
Ｄ）法によって、図２４に示す装置を用いて形成する。
ガス導入口２５と排気口２６とを有する真空槽２１内に
ノズル板１を配置するカソード電極２２を設ける。さら
にこのカソード電極２２には高周波電源２４を接続し高
周波電力を印加する。

【００７０】プラズマ化学的気相合成（ＣＶＤ）法によ
って形成する硬質カーボン膜７形成条件を以下に示す。
この条件で形成する硬質カーボン膜７の膜厚は５ミクロ
ンとした。 原料ガス：メタン 励起法：高周波（１３．５６ＭＨｚ） 励起出力：２００Ｗ ガス圧：０．１Ｔｏｒｒ 膜形成速度：２０ｎｍ／ｍｉｎ． 処理温度：＜１５０℃

【００７１】つぎに図６に示すように、感光性樹脂フィ
ルム１１を温度３０℃の濃度１％の水酸化ナトリウム水
溶液中に浸漬し、超音波を照射する。この結果、感光性
樹脂フィルム１１はノズル板のインク吐出孔２側より侵
入する水酸化ナトリウム水溶液によって溶解する。この
溶解によって感光性樹脂フィルム１１の上面と側面に形
成する中間層８と硬質カーボン膜７とは、その支持体が
なくなるため破壊される。

【００７２】さらに感光性樹脂フィルム１１は、中間層
８と硬質カーボン膜７の膜厚と比較するとはるかに厚
い。このために、インク吐出面３上に残る中間層８と硬
質カーボン膜７の側面部のエッジパターン精度は、感光
性樹脂フィルム１１のエッジパターン精度とほぼ等しく
なる。

【００７３】以上のような処理工程の結果、図１２に示
すようなインク吐出面３のインク吐出孔２周囲に撥液性
被膜４を被覆し、その撥液性被膜４の外側領域にはイン
ク吐出面３の上に中間層８を形成し、この中間層８を介
して硬質カーボン膜７を形成するインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板が完成する。

【００７４】この図７から図１２を用いて説明する本発
明の第２の実施例では、中間層８はインク吐出面３上に
直接形成し、その中間層８を介して硬質カーボン膜７を
形成している。このため中間層８と硬質カーボン膜７と
は、より強固な密着性が得られる。

【００７５】図１と図７から図１２を用いて説明した本
発明の第２の実施例の効果を確認するために、本発明の
第２の実施例により形成した試料と、これと比較するた
めの比較用サンプル１と比較用サンプル２との３種類の
試料を製造した。

【００７６】比較用サンプル１としては、塗布型のフッ
素樹脂である商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．
５ミクロンの膜厚でインク吐出面３表面に被覆して撥液
性被膜４を形成してノズル板とした。すなわち図７に示
すようなノズル板１のインク吐出面３の全面に平坦に撥
液性被膜４を形成して、比較用サンプル１とする。

【００７７】比較用サンプル２としては、インク吐出面
３側にあらかじめインク吐出孔２周囲領域に５ミクロン
の高さで段差部を形成し、この段差部よりインク吐出孔
２周辺領域が５ミクロン低位置になるように成型し、そ
の後、スピンコート法により塗布型のフッ素樹脂である
商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．５ミクロンの
膜厚でインク吐出面３全面に被覆して撥液性被膜４を形
成した。すなわちインク吐出孔２周辺は５ミクロン低く
形成してブレードが直接インク吐出孔２周辺に接触しな
いように構成して、比較用サンプル２とする。

【００７８】そして、ゴム製ブレードによって２０ｇ／
ｃｍ² の接触圧でカーボンブラックを含有する顔料系イ
ンクをインク吐出面側に滴下しながらインク吐出面側を
一方向に１００００回摺動するワイピング試験を行っ
た。さらにその後、このワイピング試験に用いたノズル
板を用いて、インクジェットヘッドを組み立てて、顔料
系インクを注入し、吐出試験を行った。

【００７９】その結果は、硬質カーボン膜を形成した本
発明の第２の実施例によって形成したインクジェットプ
リンターヘッド用ノズル板は、ワイピング試験後のイン
ク吐出孔周囲の撥液性の劣化を生じていない。さらに、
インク吐出試験もまったく異常はみられなかった。

【００８０】しかしながら、インク吐出面３側に平坦形
状に撥液性被膜４を形成した比較用サンプル１では、ワ
イピング試験後、撥液性が消失し、さらにインク吐出孔
内部に異物の付着が観察された。さらにインク吐出試験
では、まったくインクは吐出しなかった。

【００８１】段差を形成した全面に撥液性被膜４を形成
した比較用サンプル２では、ワイピング試験後、撥液性
は良好であったもののインク吐出孔内部に異物の付着が
観察され、吐出試験ではインクの吐出方向が曲がってし
まう現象が観察された。

【００８２】以上の結果からわかるように、硬質カーボ
ン膜を形成した本発明の第２の実施例におけるインクジ
ェットプリンターヘッド用ノズル板は、耐ワイピング性
に優れ、撥液性の劣化を生じず、インクの安定吐出を可
能にすることが確認できた。

【００８３】つぎに図面を用いて本発明の第３の実施例
におけるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板の
構造とその製造方法を説明する。まずはじめにインク吐
出孔部を拡大して示す図１７の断面図を用いて本発明の
第３の実施例におけるインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板の構造を説明する。

【００８４】図１７に示すように、インクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板はインク吐出面３のインク吐出
孔２周囲に撥液性被膜４を被覆している。さらにその撥
液性被膜４の表面上に硬質カーボン膜７を直接形成して
いる。

【００８５】この図１７に示す撥液性被膜４に対して段
差をもって硬質カーボン膜７を設ける構造によって、ク
リーニング時におけるゴム材料からなるブレードのワイ
ピングに対して、撥液性被膜４を保護することが可能に
なる。

【００８６】つぎにこの図１７に示す構造のノズル板を
形成するための第３の実施例の製造方法を、図１と図１
３から図１７を用いて説明する。図１は本発明の実施例
における製造方法を適用する薄板状のインクジェットプ
リンターヘッド用ノズル板を示す斜視図である。図１３
から図１７は本発明の第３の実施例におけるインクジェ
ットプリンターヘッド用ノズル板の製造方法を示し、イ
ンク吐出孔の周辺領域を拡大する工程断面図である。以
下、図１の斜視図と、図１３から図１７の断面図を用い
て説明する。

【００８７】はじめに図１と図１３に示すように、本発
明の第３の実施例によるインクジェットプリンターヘッ
ド用ノズル板を作製するためには、まず長さ５０ｍｍ、
幅５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍのインク吐出のための円形の
貫通した孔を有するノズル板１のインク吐出面３上の全
面に撥液性被膜４を形成する。ノズル板１は電鋳法によ
って作製し、このノズル板１の材質はニッケルとする。

【００８８】インク吐出面３側のインク吐出孔２の直径
は３５ミクロンとし、その裏面の直径は１００ミクロン
とテーパー状となっている。これはインクをスムーズに
供給して、まっすぐに吐出させるため、その断面形状は
このようにテーパー状としている。

【００８９】本発明の第３の実施例の撥液性被膜４で
は、スピンコート法により塗布型のフッ素樹脂である商
品名サイトップ（旭硝子（株））を０．５ミクロンの膜
厚でインク吐出面３表面に被覆し、その後温度１５０℃
で１時間加熱し、撥液性被膜４を形成する。この撥液性
被膜４を形成するときサイトップがインク吐出孔２の内
部へ侵入しないように、インク吐出面３の裏面よりエア
ーを吹き付けながらスピンコートを行う。

【００９０】つぎに図１４に示すように、厚さ２５ミク
ロンのネガ型の感光性樹脂フィルムである感光性樹脂フ
ィルム１１を、あらかじめ温度６０℃〜８０℃に加熱し
たノズル板の撥液性被膜４の上にラミネーターを用いて
コートする。

【００９１】その後、感光性樹脂フィルム１１がインク
吐出孔２周囲に残るようにインク吐出孔２周囲を除いた
インク吐出面３の領域をマスクし、インク吐出面３側よ
り垂直方向に光量１５０〜２００ｍＪ／ｃｍ² の紫外線
（ＵＶ）照射を行って露光処理を行い、さらに現像す
る。

【００９２】この結果、感光性樹脂フィルム１１は、図
１５に示すようにインク吐出孔２周囲の撥液性被膜４上
をマスクする形状にパターン形成することとなる。

【００９３】つぎに、酸素ガス雰囲気でのプラズマ処理
によって、インク吐出面３上の感光性樹脂フィルム１１
から露出している撥液性被膜４の表面に水酸基やカルボ
ニル基を導入して、撥液性被膜４を親液性に改質する。

【００９４】この結果、硬質カーボン膜７はインク吐出
面３上に露出している撥液性被膜４上に直接形成可能と
なる。そして図１６に示すように、硬質カーボン膜７を
インク吐出面３側の全域に形成する。

【００９５】硬質カーボン膜７は、炭化水素系ガス、具
体的にはメタンを用いるプラズマ化学的気相合成（ＣＶ
Ｄ）法によって、図２４に示す装置を用いて形成する。
ガス導入口２５と排気口２６とを有する真空槽２１内に
ノズル板１を配置するカソード電極２２を設ける。さら
にこのカソード電極２２には高周波電源２４を接続し高
周波電力を印加する。

【００９６】プラズマ化学的気相合成（ＣＶＤ）法によ
って形成する硬質カーボン膜７形成条件を以下に示す。
この条件で形成する硬質カーボン膜７の膜厚は５ミクロ
ンとした。 原料ガス：メタン 励起法：高周波（１３．５６ＭＨｚ） 励起出力：２００Ｗ ガス圧：０．１Ｔｏｒｒ 膜形成速度：２０ｎｍ／ｍｉｎ． 処理温度：＜１５０℃

【００９７】その後、感光性樹脂フィルム１１を温度３
０℃の濃度１％の水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬し、
超音波を照射する。この結果、感光性樹脂フィルム１１
はノズル板のインク吐出孔２側より侵入する水酸化ナト
リウム水溶液によって溶解する。この溶解によって感光
性樹脂フィルム１１の上面と側面に形成する硬質カーボ
ン膜７は、支持体がなくなるため破壊される。

【００９８】さらに感光性樹脂フィルム１１は、硬質カ
ーボン膜７の膜厚と比較するとはるかに厚い。このため
に、撥液性被膜４上に残る硬質カーボン膜７の側面部の
エッジパターン精度は感光性樹脂フィルム１１のエッジ
パターン精度とほぼ等しくなる。

【００９９】以上のような処理工程によって、図１７に
示すようなインク吐出面３のインク吐出孔２周囲に撥液
性被膜４が被覆されており、その撥液性被膜４の上面に
は硬質カーボン膜７を形成するインクジェットプリンタ
ーヘッド用ノズル板が完成する。

【０１００】図１と図１３から図１７を用いて説明した
本発明の実施例の効果を確認するために、本発明の実施
例により形成した試料と、これと比較するための比較用
サンプル１と比較用サンプル２との３種類の試料を製造
した。

【０１０１】比較用サンプル１としては、塗布型のフッ
素樹脂である商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．
５ミクロンの膜厚でインク吐出面３表面に被覆して撥液
性被膜４を形成してノズル板とした。すなわち図１３に
示すようなノズル板１のインク吐出面３の全面に平坦に
撥液性被膜４を形成して、比較用サンプル１とする。

【０１０２】比較用サンプル２としては、インク吐出面
３側にあらかじめインク吐出孔２周囲領域に５ミクロン
の高さで段差部を形成し、この段差部よりインク吐出孔
２周辺領域が５ミクロン低位置になるように成型し、そ
の後、スピンコート法により塗布型のフッ素樹脂である
商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．５ミクロンの
膜厚でインク吐出面３全面に被覆して撥液性被膜４を形
成した。すなわちインク吐出孔２周辺は５ミクロン低く
形成してブレードが直接インク吐出孔２周辺に接触しな
いように構成して、比較用サンプル２とする。

【０１０３】そして、ゴム製ブレードによって２０ｇ／
ｃｍ² の接触圧でカーボンブラックを含有する顔料系イ
ンクをインク吐出面側に滴下しながらインク吐出面側を
一方向に１００００回摺動するワイピング試験を行っ
た。さらにその後、このワイピング試験に用いたノズル
板を用いて、インクジェットヘッドを組み立てて、顔料
系インクを注入し、吐出試験を行った。

【０１０４】その結果は、硬質カーボン膜を形成した本
発明の実施例によって形成したインクジェットプリンタ
ーヘッド用ノズル板は、ワイピング試験後のインク吐出
孔周囲の撥液性の劣化を生じていない。さらに、インク
吐出試験もまったく異常はみられなかった。

【０１０５】しかしながら、インク吐出面３側に平坦形
状に撥液性被膜４を形成した比較用サンプル１では、ワ
イピング試験後、撥液性が消失し、さらにインク吐出孔
内部に異物の付着が観察された。さらにインク吐出試験
ではまったくインクは吐出しなかった。

【０１０６】段差を形成した全面に撥液性被膜４を形成
した比較用サンプル２では、ワイピング試験後、撥液性
は良好であったものの、インク吐出孔内部に異物の付着
が観察され、吐出試験ではインクの吐出方向が曲がって
しまう現象が観察された。

【０１０７】以上の結果からわかるように、硬質カーボ
ン膜を形成した本発明によるインクジェットプリンター
ヘッド用ノズル板は、耐ワイピング性に優れ、撥液性の
劣化を生じず、インクの安定吐出を可能にすることが確
認できた。

【０１０８】つぎに図面を用いて本発明の第４の実施例
におけるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板の
構造とその製造方法を説明する。まずはじめにインク吐
出孔部を拡大して示す図２３の断面図を用いて本発明の
第４の実施例におけるインクジェットプリンターヘッド
用ノズル板の構造を説明する。

【０１０９】図２３に示すように、インクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板は、インク吐出面３のインク吐
出孔２の周囲に撥液性被膜４を被覆している。さらに、
その撥液性被膜４外側領域にはインク吐出面３の表面上
に硬質カーボン膜７を直接形成している。

【０１１０】この図２３に示す構造のノズル板に撥液性
被膜４より厚く硬質カーボン膜７を設ける段差を有する
構造を採用することによって、クリーニング時における
ゴム材料からなるブレードのワイピングに対して、撥液
性被膜４を保護することが可能になる。

【０１１１】つぎにこの図２３に示す構造のノズル板を
形成するための第４の実施例の製造方法を、図１と図１
８から図２３を用いて説明する。図１は本発明の実施例
における製造方法を適用する薄板状のインクジェットプ
リンターヘッド用ノズル板を示す斜視図である。図１８
から図２３は本発明の第４の実施例におけるインクジェ
ットプリンターヘッド用ノズル板の製造方法を示し、イ
ンク吐出孔部を拡大する工程断面図である。以下、図１
の斜視図と、図１８から図２３の断面図を用いて説明す
る。

【０１１２】はじめに図１と図１８に示すように、本発
明の第４の実施例によるインクジェットプリンターヘッ
ド用ノズル板を作製するためには、まず長さ５０ｍｍ、
幅５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍのインク吐出のための円形の
貫通した孔を有するノズル板１のインク吐出面３上全面
に撥液性被膜４を形成する。ノズル板１は電鋳法によっ
て作製し、このノズル板１はニッケル板で構成する。

【０１１３】インク吐出面３側のインク吐出孔２の直径
は３５ミクロンとし、その裏面の直径は１００ミクロン
とテーパー状となっている。これはインクをスムーズに
供給し、まっすぐに吐出させるため、その断面はこのよ
うにテーパー状にしている。

【０１１４】本発明の第４の実施例の撥液性被膜４で
は、スピンコート法により塗布型のフッ素樹脂である商
品名サイトップ（旭硝子（株））を０．５ミクロンの膜
厚でインク吐出面３表面に被覆し、その後温度１５０℃
で１時間加熱し、撥液性被膜４を形成する。この撥液性
被膜４を形成するとき、サイトップがインク吐出孔２の
内部へ侵入しないように、インク吐出面３の裏面よりエ
アーを吹き付けながらスピンコートを行う。

【０１１５】つぎに図１９に示すように、厚さ２５ミク
ロンのネガ型の感光性樹脂フィルム１１であるドライフ
ィルムレジストを、あらかじめ温度６０℃〜８０℃に加
熱したノズル板の撥液性被膜４の上にラミネーターを用
いてコートする。

【０１１６】その後、感光性樹脂フィルム１１がインク
吐出孔２周囲に残るようにインク吐出孔２周囲を除いた
インク吐出面３の領域をマスクし、インク吐出面３側よ
り垂直方向に光量１５０〜２００ｍＪ／ｃｍ² の紫外線
（ＵＶ）照射を行い露光処理を行い、さらに現像する。

【０１１７】この結果、感光性樹脂フィルム１１は、図
２０に示すようにインク吐出孔２周囲の撥液性被膜４上
をマスクする形状にパターニングすることができる。

【０１１８】つぎに図２１に示すように、酸素ガス雰囲
気でのプラズマエッチングによってインク吐出面３上で
感光性樹脂フィルム１１から露出している撥液性被膜４
をエッチングし除去する。このとき撥液性被膜４を除去
したインク吐出面３の表面には、プラズマエッチングに
よって微小な凹凸が形成される。

【０１１９】この結果、つぎの工程で形成する硬質カー
ボン膜７は、アンカー効果によって直接インク吐出面３
上に形成可能となる。つぎに図２２に示すように、硬質
カーボン膜７をインク吐出面３の全域に形成する。

【０１２０】硬質カーボン膜７は、炭化水素系ガス、具
体的にはメタンを用いるプラズマ化学的気相合成（ＣＶ
Ｄ）法によって、図２４に示す装置を用いて形成する。
ガス導入口２５と排気口２６とを有する真空槽２１内に
ノズル板１を配置するカソード電極２２を設ける。さら
にこのカソード電極２２には高周波電源２４を接続し高
周波電力を印加する。

【０１２１】プラズマ化学的気相合成（ＣＶＤ）法によ
って形成する硬質カーボン膜７形成条件を以下に示す。
この条件で形成する硬質カーボン膜７の膜厚は５ミクロ
ンとした。 原料ガス：メタン 励起法：高周波（１３．５６ＭＨｚ） 励起出力：２００Ｗ ガス圧：０．１Ｔｏｒｒ 膜形成速度：２０ｎｍ／ｍｉｎ． 処理温度：＜１５０℃

【０１２２】その後、感光性樹脂フィルム１１を温度３
０℃の濃度１％の水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬し、
超音波を照射する。この結果、感光性樹脂フィルム１１
はノズル板のインク吐出孔２側より侵入した水酸化ナト
リウム水溶液によって溶解する。この溶解によって感光
性樹脂フィルム１１の上面と側面に形成する硬質カーボ
ン膜７は、支持体がなくなるため破壊される。

【０１２３】さらに感光性樹脂フィルム１１は、硬質カ
ーボン膜７の膜厚と比較するとはるかに厚い。このため
に、インク吐出面３上に残る硬質カーボン膜７の側面部
のエッジパターン精度は、感光性樹脂フィルム１１のエ
ッジパターン精度とほぼ等しくなる。

【０１２４】以上のような処理工程によって、図２３に
示すようなインク吐出面３のインク吐出孔２周囲に撥液
性被膜４が被覆されており、その撥液性被膜４外側には
インク吐出面３の上に硬質カーボン膜７が形成するイン
クジェットプリンターヘッド用ノズル板が完成する。

【０１２５】図１と図１８から図２３を用いて説明した
本発明の実施例の効果を確認するために、本発明の実施
例により形成した試料と、これと比較するための比較用
サンプル１と比較用サンプル２との３種類の試料を製造
した。

【０１２６】比較用サンプル１としては、塗布型のフッ
素樹脂である商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．
５ミクロンの膜厚でインク吐出面３表面に被覆して撥液
性被膜４を形成してノズル板とした。すなわち図１８に
示すようなノズル板１のインク吐出面３の全面に平坦に
撥液性被膜４を形成して、比較用サンプル１とする。

【０１２７】比較用サンプル２としては、インク吐出面
３側にあらかじめインク吐出孔２周囲領域に５ミクロン
の高さで段差部を形成し、この段差部よりインク吐出孔
２周辺領域が５ミクロン低位置になるように成型し、そ
の後、スピンコート法により塗布型のフッ素樹脂である
商品名サイトップ（旭硝子（株））を０．５ミクロンの
膜厚でインク吐出面３全面に被覆して撥液性被膜４を形
成した。すなわちインク吐出孔２周辺は５ミクロン低く
形成してブレードが直接インク吐出孔２周辺に接触しな
いように構成して、比較用サンプル２とする。

【０１２８】そして、ゴム製ブレードによって２０ｇ／
ｃｍ² の接触圧でカーボンブラックを含有する顔料系イ
ンクをインク吐出面側に滴下しながらインク吐出面側を
一方向に１００００回摺動するワイピング試験を行っ
た。さらにその後、このワイピング試験に用いたノズル
板を用いて、ヘッドを組み立てて、顔料系インクを注入
し、吐出試験を行った。

【０１２９】その結果は、硬質カーボン膜を形成した本
発明の実施例によって形成したインクジェットプリンタ
ーヘッド用ノズル板は、ワイピング試験後のインク吐出
孔周囲の撥液性の劣化を生じていない。さらに、インク
吐出試験もまったく異常はみられなかった。

【０１３０】しかしながら、インク吐出面３側に平坦形
状に撥液性被膜４を形成した比較用サンプル１では、ワ
イピング試験後、撥液性が消失し、さらにインク吐出孔
内部に異物の付着が観察された。さらにインク吐出試験
では、まったくインクは吐出しなかった。

【０１３１】段差を形成した全面に撥液性被膜４を形成
した比較用サンプル２では、ワイピング試験後、撥液性
は良好であったもののインク吐出孔内部に異物の付着が
観察され、吐出試験ではインクの吐出方向が曲がってし
まう現象が観察された。

【０１３２】以上の結果からわかるように、硬質カーボ
ン膜を形成した本発明によるインクジェットプリンター
ヘッド用ノズル板は、耐ワイピング性に優れ、撥液性の
劣化を生じず、インクの安定吐出を可能にすることが確
認できた。

【０１３３】

【発明の効果】以上の実施例の説明から明らかなよう
に、本発明によるインクジェットプリンターヘッド用ノ
ズル板は、インク吐出面のインク吐出孔周囲に撥液性被
膜を形成し、その外側に撥液性被膜よりも膜厚が厚い硬
質カーボン膜を形成している。このことによって本発明
のノズル板は、撥液性被膜を保護することが可能であ
り、インク吐出面のワイピングに対しても優れた耐久性
を付与させることが可能となる。その結果、インクジェ
ットプリンターの信頼性を向上させる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例における薄板状のインクジェッ
トプリンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を示す
斜視図である。

【図２】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図で
ある。

【図３】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図で
ある。

【図４】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図で
ある。

【図５】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図で
ある。

【図６】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図で
ある。

【図７】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図で
ある。

【図８】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図で
ある。

【図９】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図で
ある。

【図１０】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図１１】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図１２】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図１３】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図１４】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図１５】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図１６】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図１７】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図１８】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図１９】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図２０】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図２１】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図２２】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図２３】本発明の実施例におけるインクジェットプリ
ンターヘッド用ノズル板の構造と製造方法を表す断面図
である。

【図２４】本発明の実施例における硬質カーボン膜を形
成するための処理装置を示す断面図である。

【符号の説明】

１ ノズル板 ２ インク吐出孔 ３ インク吐出面 ４ 撥液性被膜 ７ 硬質カーボン膜 ８ 中間層 １１ 感光性樹脂フィルム

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インク吐出面を一方に有し、平板状部材
   からなる平板状部材の所定の位置にインクを吐出する貫
   通したインク吐出孔と、インク吐出面のインク吐出孔周
   囲に被覆する撥液性被膜と、インク吐出孔周囲の外側に
   設け撥液性被膜よりも膜厚が厚い硬質カーボン膜とを有
   することを特徴とするインクジェットプリンターヘッド
   用ノズル板。
2. 【請求項２】 硬質カーボン膜は、撥液性被膜上に形成
   する中間層の上に被覆することを特徴とする請求項１に
   記載のインクジェットプリンターヘッド用ノズル板。
3. 【請求項３】 硬質カーボン膜は、インク吐出面上に形
   成する中間層の上に被覆することを特徴とする請求項１
   に記載のインクジェットプリンターヘッド用ノズル板。
4. 【請求項４】 硬質カーボン膜は、撥液性被膜上に被覆
   することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット
   プリンターヘッド用ノズル板。
5. 【請求項５】 硬質カーボン膜は、インク吐出面上に被
   覆することを特徴とする請求項１に記載のインクジェッ
   トプリンターヘッド用ノズル板。
6. 【請求項６】 インク吐出面のインク吐出孔周囲に撥液
   性被膜を被覆する工程と、インク吐出孔周囲の外側に撥
   液性被膜の膜厚よりも厚く硬質カーボン膜を形成する工
   程とを有することを特徴とするインクジェットプリンタ
   ーヘッド用ノズル板の製造方法。
7. 【請求項７】 インク吐出面に撥液性被膜を被覆する工
   程と、感光性樹脂フィルムを撥液性被膜上にコート後、
   露光処理と現像処理を行いインク吐出孔周囲をマスクす
   る工程と、インク吐出面全域に中間層と硬質カーボン膜
   とを順次積層する工程と、感光性樹脂フィルムと感光性
   樹脂フィルム上に積層した中間層と硬質カーボン膜を除
   去する工程とを有することを特徴とする請求項６に記載
   のインクジェットプリンターヘッド用ノズル板の製造方
   法。
8. 【請求項８】 インク吐出面に撥液性被膜を被覆する工
   程と、感光性樹脂フィルムを撥液性被膜上にコート後、
   露光処理と現像処理とを行いインク吐出孔周囲をマスク
   する工程と、露出している撥液性被膜を除去する工程
   と、インク吐出面全域に中間層と硬質カーボン膜とを順
   次積層する工程と、感光性樹脂フィルムと感光性樹脂フ
   ィルム上に積層した中間層と硬質カーボン膜を除去する
   工程とを有することを特徴とする請求項６に記載のイン
   クジェットプリンターヘッド用ノズル板の製造方法。
9. 【請求項９】 インク吐出面に撥液性被膜を被覆する工
   程と、感光性樹脂フィルムを撥液性被膜上にコート後、
   露光処理と現像処理とを行いインク吐出孔周囲をマスク
   する工程と、インク吐出面全域に硬質カーボン膜を形成
   する工程と、感光性樹脂フィルムと感光性樹脂フィルム
   上に形成する硬質カーボン膜を除去する工程とを有する
   ことを特徴とする請求項６に記載のインクジェットプリ
   ンターヘッド用ノズル板の製造方法。
10. 【請求項１０】 インク吐出面に撥液性被膜を被覆する
    工程と、感光性樹脂フィルムを撥液性被膜上にコート
    後、露光処理と現像処理とを行いインク吐出孔周囲をマ
    スクする工程と、露出している撥液性被膜を除去する工
    程と、インク吐出面全域に硬質カーボン膜を形成する工
    程と、感光性樹脂フィルムと感光性樹脂フィルム上に形
    成する硬質カーボン膜を除去する工程とを有することを
    特徴とする請求項６に記載のインクジェットプリンター
    ヘッド用ノズル板の製造方法。