JP2966020B2 - ウエハの識別装置およびウエハの並べ換え装置並びにウエハのデータ管理方法 - Google Patents
ウエハの識別装置およびウエハの並べ換え装置並びにウエハのデータ管理方法Info
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- JP2966020B2 JP2966020B2 JP4038390A JP4038390A JP2966020B2 JP 2966020 B2 JP2966020 B2 JP 2966020B2 JP 4038390 A JP4038390 A JP 4038390A JP 4038390 A JP4038390 A JP 4038390A JP 2966020 B2 JP2966020 B2 JP 2966020B2
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Description
電気的特性に関する測定値等のようなデータを管理する
技術に関し、例えば、製品の特性解析、不良解析および
異物解析や歩留りの向上等に利用して有効な技術に関す
る。
の集合からなる識別符号付きのロットにモニタ用のウエ
ハをセットし、そのロットに所定の半導体製造処理を施
した後、前記モニタウエハに対する測定を行い、その測
定値と前記ロットの識別符号とを対応させた測定値履歴
ファイルをデータ処理装置を用いて作成することによ
り、測定値のデータ管理を行うモニタウエハのデータ管
理方法、がある。
て、特開昭63−220513号公報に記載されているものがあ
る。
記モニタウエハ上に予め識別コードを付し、その識別コ
ードと前記ロットの識別符号とを対応付けた対応ファイ
ルを前記データ処理装置に記録しておき、前記モニタウ
エハに対する測定を行って、そのモニタウエハの識別コ
ードに対応する測定値を前記データ処理装置に入力し、
そのデータ処理装置により、前記対応ファイルを参照し
つつ、前記測定値履歴ファイルを作成させることを特徴
とする。
上に付された識別コードはモニタウエハと分離せず、そ
のモニタウエハを他のモニタウエハと区別し、ロットと
の対応関係を明らかにする働きをするため、多数のウエ
ハが同時に測定された場合であっても、各ウエハ単位の
測定データは後において、識別コードを基づいてロット
単位測定データとして分類し得ることになる。
62−252148号公報、および、特開昭60−201641号公報、
に記載されているものがある。
たウエハが所定の順番どおりに並べられずに収納された
移載側ウエハカセットと、収納側ウエハカセットとの間
でウエハを搬送する主搬送手段と、該主搬送手段の搬送
径路上で前記ウエハの番号を読みとる読み取り手段と、
該搬送径路の途中からウエハを任意個のバッファ用ウエ
ハカセットへ搬送する副搬送手段と、前記読み取り手段
によって読みとったウエハの記号の種類によって決定さ
れたバッファ用ウエハカセットへ該ウエハを収納し移載
側ウエハカセットに収納されていたウエハをすべてバッ
ファ用ウエハカセットへ振りわけたのちにバッファ用ウ
エハカセットの内容のウエハを収納側ウエハカセットに
所定の順番に収納する収納手段とを含むことを特徴とす
る。
の番号どおりに並べられずに収納された第1のウエハカ
セットと、第2のウエハカセットとの間でウエハを搬送
する第1の搬送手段と、該第1の搬送手段の搬送径路上
で前記ウエハの番号を示す記号を読み取る読み取り手段
と、該搬送径路の途中からウエハを第3のウエハカセッ
トへ搬送する第2の搬送手段とを具備し、前記読み取り
手段によって読み取ったウエハの記号が示す番号が収納
すべき番号に一致した時は、該ウエハを第3のウエハカ
セットへ搬送し、一致しない時は第2のウエハカセット
へ搬送し、該第1と第2のウエハカセット間でウエハを
往復させながら該第3のカセットウエハを所定の順番に
収納するようにしたことを特徴とする。
ータ管理方法においては、ウエハのデータ管理がロット
単位によって管理されることになるため、製品の特性解
析、不良解析および異物解析等のデータ管理はロット単
位による管理が限界になり、高い精度の管理を実行する
ことができないという問題がある。
41号公報に記載されているウエハの並べ換え装置におい
ては、次のような問題点がある。
め、スペース効率が低く、カセットの操作回数が多くな
る。
が限界であるため、ユーザの要求に対応した並べ換え作
業を実行することができない。
生産等に関するデータをウエハ単位によって管理するこ
とができるウエハのデータ管理方法を提供することにあ
る。
き、スペース効率およびカセット管理効率を向上するこ
とができるウエハの並べ換え装置を提供することにあ
る。
シブルに実行することができ、ユーザの要望に広く対応
することができるウエハの並べ換え装置を提供すること
にある。
およびウエハのデータ管理方法を合理的かつ正確に実行
させることができるウエハの識別装置を提供することに
ある。
本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。
要を説明すれば、次の通りである。
たウエハが複数枚収納されている実カセットが供給され
るローダ部と、前記ウエハに付された識別コードを光学
的に読み取る読み取り装置と、前記ローダ部の実カセッ
トからウエハを1枚宛取り出して前記読み取り装置に搬
送する搬送装置とを備えており、 前記読み取り装置は、搬送された前記ウエハを照明す
る照明装置と、照明されたウエハの前記識別コードの画
像を取り込む画像取り込み装置と、取り込まれた画像信
号から前記識別コードを認識する識別コード認識装置
と、前記識別コード認識装置の認識不能信号に基づいて
前記画像取り込み装置と前記ウエハとの傾斜関係を補正
するヨーイング補正機構部と、前記識別コード認識装置
によって認識された識別コードを逐次記録する記録部と
を備えていることを特徴とする。
されたウエハが複数枚収納されている実カセットが供給
されるローダ部と、ウエハを1枚宛各位置に収納可能な
空カセットが供給されるアンローダ部と、前記ウエハに
付された識別コードを光学的に読み取る読み取り装置
と、前記ローダ部の実カセットからウエハを1枚宛取り
出して前記読み取り装置に搬送し、さらに、前記読み取
り装置からウエハを前記アンローダ部の空カセットに搬
送する搬送装置と、前記読み取り装置によって読み取ら
れたウエハの識別コードに基づいて前記搬送装置を操作
することにより各ウエハを前記アンローダの空カセット
における識別コードに対応した所定の位置に収納させる
コントローラとを備えており、 前記読み取り装置は、搬送された前記ウエハを照明す
る照明装置と、照明されたウエハの前記識別コードの画
像を取り込む画像取り込み装置と、取り込まれた画像信
号から前記識別コードを認識する識別コード認識装置
と、前記識別コード認識装置の認識不能信号に基づいて
前記画像取り込み装置と前記ウエハとの傾斜関係を補正
するヨーイング補正機構部とを備えていることを特徴と
する。
法は、各ウエハに光学的に読み取り可能な識別コードを
それぞれ付しておき、ウエハに処理が施される前または
以後に前記ウエハに付された識別コードを前記読み取り
装置によって光学的に読み取って記録部に記録し、さら
に、データ処理装置において、各ウエハについての処理
後の検査結果データを前記記録部に記録された識別コー
ドにそれぞれ突き合わせて記録することを特徴とする。
ハの管理方法は、各ウエハに光学的に読み取り可能な識
別コードが付される工程と、 前記ウエハの並べ換え装置のローダ部に供給された実
カセットからウエハを1枚宛取り出して前記読み取り装
置に搬送し、前記ウエハに付された識別コードを前記読
み取り装置によって光学的に読み取り、読み取られたウ
エハの識別コードに基づいて前記搬送装置を操作して各
ウエハを前記アンローダの空カセットにおける識別コー
ドに対応した所定の位置に収納して規則的に並べるとと
もに、前記読み取られたウエハの識別コードを記録部に
記録する工程と、 前記カセットのウエハ収納位置を認識することによ
り、データ処理装置において、各ウエハについての処理
後の検査結果データが前記記録部に記録された識別コー
ドにそれぞれ突き合わされて記録される工程と、を備え
ていることを特徴とする。
ドを読み取るとともに、ウエハを1枚宛取り扱うことに
より、各ウエハを個別化することができる。また、個別
化した上で、ウエハの識別コードを記録部に逐次記録す
ることにより、この各ウエハについての識別コードの記
録と、個別化したウエハに関するデータとは容易に対応
させることができるため、各ウエハのデータ管理を各ウ
エハ毎に対応させることも容易に可能である。
コードを読み取るとともに、ウエハを1枚宛取り扱うこ
とにより、ウエハを個別化することができ、かつ、個別
化した上で、各ウエハを空カセットにおける所定の位置
に収納させることができるため、各ウエハとカセットの
各位置とを所望の通り対応させることができる。つま
り、ロット内における複数枚のウエハを所望の通り並べ
変えることができる。
いての識別コードと、個別化されたウエハに関するデー
タとは突き合わされて記録されるため、各ウエハのデー
タ管理を各ウエハ毎に実行することができる。したがっ
て、製品の特性、不良および異物解析や生産等に関する
データをウエハ毎に管理することができ、ウエハ管理精
度を高め、生産性を高めることができる。
示す模式図、第2図はその斜視図、第3図はその要部を
示す斜視図、第4図はその作用を説明するためのフロー
チャート図、第5図はウエハの平面図である。
方法を示す工程図、第7図はその作用を説明するための
説明図である。
はウエハ1の表面に付された識別コードを光学的手段に
より読み取り、当該ウエハ1を個々に識別するように構
成されている。
ンテーションフラット3と反対側の位置に配されて、エ
ッチング加工法やレーザ刻印法等のような手段を用いら
れて数字および文字により描画されている。本実施例に
おいて、識別コード4は、ウエハ1のロット番号を表示
する識別コード(以下、ロットコードという。)5と、
当該ロット中の個々のウエハ番号を表示する識別コード
(以下、ウエハコード)6とにより構成されている。
れている機枠12を備えており、この機枠12上にはローダ
部と、アンローダ部と、搬送装置としての多関節ロボッ
ト(以下、ロボットという。)と、識別コード読み取り
装置とがそれぞれ装置されている。ローダ部13は機枠12
上の前側部分における片側位置に配設されており、コン
トローラ15により制御されるエレベータ14を備えてお
り、ウエハ1が複数枚収納されている実カセット16から
エレベータ14の制御により、ウエハ1を1枚宛払い出し
得るように構成されている。アンローダ部17は機枠12上
の前側部分における他の片側位置に配設されており、コ
ントローラ19により制御されるコンベア18を備えてお
り、コンベア18上に乗せられたウエハ1をコントローラ
19の制御により1枚宛、後記する検査装置にそれぞれ送
給し得るように構成されている。
ト)が多数段(本実施例では、25段)列設されており、
この保持溝内にウエハを挿入されることにより、複数枚
(本実施例では、1ロット分)のウエハを規則的に整列
させた状態で収納し得るようになっている。
おける片側位置に配設され、コントローラ22により制御
されるアーム23を備えており、アーム23の先端部にはウ
エハ1を保持するためのグリップ24が装置されている。
ロボット21はコントローラ22により制御されるアーム23
の操作により、グリップ24においてローダ部13における
実カセット16からウエハ1を1枚宛取り出して識別コー
ド読み取り装置に搬送し、さらに、当該ウエハ1を識別
コード読み取り装置からアンロード部17へ搬送して、コ
ンベア18上に移載するように構成されている。
ける他の片側位置に配設されており、当該箇所に読み取
りステージ31が設定されている。この読み取りステージ
31の片脇にはスタンド32が機枠12上に立設されており、
スタンド32には照明装置33および画像取り込み装置とし
てのテレビカメラ35が支持されている。照明装置33には
光源34が光学的に接続されており、この照明装置33によ
り光源34からの光がステージ31に向けて調光されて照射
されるようになっている。テレビカメラ35はステージ31
上において証明されたウエハ1の識別コード4を撮映す
るように構成されている。
接続されており、この識別コード認識装置36は画像処理
装置等から構成され、テレビカメラ35からの撮像信号に
基づいてウエハ1に付された識別コード4を認識し得る
ように構成されている。識別コード認識装置36は前記ロ
ボット21のコントローラ22に、後述するようなヨーイン
グ補正信号を送給し得るように構成されており、コント
ローラ22はこの信号に基づいてアーム23を操作すること
により、ヨーイング補正を実行するようになっている。
また、識別コード認識装置36にはモニタ37が接続されて
おり、このモニタ37によりテレビカメラ35の撮映状況が
モニタリングされるようになっている。
記録するための記録部としてのメモリー38が接続されて
おり、このメモリー38は識別コード認識装置36により認
識された識別コード4を逐次記録するように構成されて
いる。このメモリー38はコンピュータ等から構築されて
いるデータ処理装置40に接続されており、データ処理装
置40によりメモリー38に記録されたデータが随時読み出
されるようになっている。なお、メモリー38はデータ処
理装置40側に装備してもよい。
明の一実施例であるウエハのデータ管理方法が実施され
る場合、前記構成に係るウエハの識別装置11は複数台が
用意され、第6図に示されているように、ウエハ生産ラ
インにおける各工程の検査装置に適宜配置される。
ータの送信をそれぞれ示している。また、A1、A2・・・
Anは、表面酸化工程、リソグラフィー工程、デポジッシ
ョン工程等々のような半導体装置の所謂前工程における
第1工程、第2工程・・・第N工程を示している。さら
に、1B−1、1B−2、1B−3は第1工程A1における同一
種類の第1、第2、第3製造装置、2B−1、2B−2、2B
−3は第2工程A2における同一種類の第1、第2、第3
製造装置、NB−1〜NB−4は第N工程における同一種類
の製造装置、1C−1は第1工程A1における検査装置、2C
−1、2C−2は第2工程A2における同一種類の第1、第
2検査装置、NC−1〜NC−3は第N工程における同一種
類の検査装置をそれぞれ示している。
工程に、ND−1、ND−2、ND−3、は第N工程にそれぞ
れ配設されている各ウエハの識別装置11を示しており、
各ウエハの識別装置は各検査装置にそれぞれ組み合わさ
れ、各検査装置へウエハ1が投入される直前にウエハ1
の識別コード4を読み取って、個々のウエハ1を識別す
るとともに、メモリー38に識別コード4を逐次記録し、
当該記録した識別コード4をデータ処理装置40に随時送
信し得るようになっている。
よびこのウエハの識別装置が使用される場合の本発明の
一実施例であるウエハのデータ管理方法を説明する。
る前に、識別コード付およびカセットへのロット詰め工
程A0において、各ウエハ1にはロットコード5およびウ
エハコード6から成る識別コード4がエッチング加工や
レーザ加工等のような適当な手段によりそれぞれ付けら
れる。そして、各ウエハ1はロットコード5毎にカセッ
トにそれぞれ収納される。
群は第1工程A1に投入され、第1〜第3製造装置1B−1
〜1B−3に適宜分配される。そして、同種の作業を同時
進行的に実施する同一種類の製造装置が複数台使用され
ることにより、他の工程A2〜Anに対し作業時間が適宜調
和されることになる。
は各カセットから取り出される。各製造装置による第1
工程A1における処理が各ウハ1に施されると、各ウエハ
1は当該ロット毎に所定のカセットに再び収納される。
各製造装置1B−1、1B−2、1B−3から第1工程A1にお
けるウエハの識別装置1D−1へ順次送られる。このウエ
ハの識別装置1D−1において、次に述べる作用により、
各ウエハ1は識別コード4をそれぞれ読み取られてメモ
リー38に記録されるとともに、このウエハの識別装置1D
−1に組み合わせられている検査装置に1枚宛供給され
て所定の検査を実施される。
16はローダ部13のエレベータ14上に順次供給される。エ
レベータ14上に実カセット16が供給されると、ロボット
21はアーム23の操作によって実カセット16内のウエハ1
を1枚宛、グリップ24により保持して実カセット16内か
ら取り出し、読み取り装置30のステージ31に順次供給す
る。
ように、ウエハ1はロボット21のアーム23およびグリッ
プ24により水平に支持されるとともに、読み取り装置30
の照明装置33およびテレビカメラ35に正対される。
示されているようなフローチャートにより、読み取り装
置30において識別コード4の読み取り作業が実行され
る。
あった場合、ヨーイング補正信号がロボット21のコント
ローラ22に送られる。ロボットのコントローラ22はこの
補正信号に基づいて、アーム23を操作することにより、
ウエハ1のテレビカメラ35に対する傾斜角θを所定の方
向へ変更調整する。このヨーイング補正作動が識別コー
ド認識装置36による識別コード4の認識が実行されるま
で繰り返されることにより、識別コード4についての適
正な認識が確保される。
ード認識装置36に接続されているメモリー38に記録され
る。なお、テレビカメラ35による映像はモニタ37に映し
出され、作業者によって必要に応じて監視される。
ロボット21によりアンローダ部17に敷設されているコン
ベア18上に搬送されて移載される。コンベア18に移載さ
れたウエハ1はこのコンベア18により、これに接続され
ている検査装置1C−1に搬送される。
1〜1B−3によって施された処理について、例えば、膜
厚測定等のような検査を実施される。この検査装置によ
る検査結果データはデータ処理装置40に逐次送信され
る。
除き、ロット毎に実カセットに収納され、第2工程A2へ
送られる。
第3工程・・・第N工程Anにおいて、所定の処理、識別
コード読み取り作業および検査をそれぞれ実施されるこ
とにより、工程が完了される。
いては、各工程におけるウエハの識別装置1D−1、2D−
1、2D−2およびND−1、ND−2、ND−3によって識別
された各ウエハ1毎の識別コード4と、各工程における
検査装置1C−1、2C−1、2C−2、およびNC−1、NC−
2、NC−3によって得られた各ウエハ1毎の検査結果デ
ータとによって、第7図に示されているようなデータフ
ァイルがデータ処理装置40において仮想的に作成され
る。
ウエハ1の識別コード4が読み取られて、メモリー38に
逐次記録されると、データ処理装置40は当該メモリー38
から当該ウエハ1のロットコード5およびウエハコード
6を読み出し、データファイルに記録する。
取られたウエハ1は直ちに検査装置1C−1に送られるた
め、データ処理装置40は検査装置1C−1から送信されて
来る検査結果データを、今、ウエハの識別装置1D−1か
ら読み出したウエハ1のロットコード5およびウエハコ
ード6に突き合わせて、データファイルにおける検査結
果の欄に記録する。
ト毎に前記作動が繰り返されることにより、第1工程A1
についてのデータファイルが作成される。
てのデータファイルが順次作成されて行き、全ロットお
よび全ウエハについてのデータが各ウエハ毎に整理され
てファイルされることになる。但し、ある工程で不良品
ウエハが発生してロットから除かれた場合には、当該ウ
エハについての当該工程以降のデータは、当然のことな
がら作成されないことになる。
別コード4が全て読み出されてデータファイルに記録さ
れるため、この識別コード4に関する記録を利用するこ
とにより、前述したウエハの識別装置11における識別コ
ード読み取り装置30による読み取り精度を高めることが
できる。
る識別コード読み取り装置30が現在読み取った識別コー
ド4は、第1工程A1のデータファイルの中に存在するか
否かを、データ処理装置40が照合することにより、現在
読み取り中の識別コード4の正誤は判定することができ
る。すなわち、現在読み取り中の識別コード4がデータ
ファイル中に存在すれば、当該読み取りは正しく、存在
しなければ、当該読み取りは誤りである。誤りである場
合には、前述したヨーイング補正機能が作動されること
になる。もしくは、単純に再認識処理を実行する。ま
た、オペレータによる目視認識結果を、入力することに
なる。
ハの特性解析、不良解析および異物解析や、生産管理等
に適宜利用される。この場合、このデータファイルには
各ウエハ毎にデータが整理されているため、ウエハ毎の
解析が可能になり、解析の精度はきわめて高められるこ
とになる。
ウエハに処理が施される前または以後に、各ウエハの識
別コードを読み取って記録部に記録するとともに、各ウ
エハについての処理後の検査結果データを前記記録部に
記録された識別コードにそれぞれ突き合わせて記録する
ことにより、各ウエハ毎に検査結果データを整理したデ
ータファイルを仮想的に作成することができるため、ウ
エハの特性解析、不良解析、異物解析およびデータ管理
等を各ウエハ毎に実行することができ、その解析および
管理等についての精度を高めることができる。
各ウエハの識別コードを光学的に読み取って記録部に記
録することにより、この識別コードと各ウエハに関する
検査結果データを突き合わせて記録することができるた
め、各ウエハ毎に検査結果データをファイリングするの
を実現することができる。
とにより、識別コードの読み取り精度を大幅に高めるこ
とができるため、読み取りの誤りによるデータファイル
の不備の発生を未然に防止することができる。
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
よび第10図に示されているように構成してもよい。
は、読み取りステージ31にそれぞれ設備されているスト
ッパ51およびウエハ支持具52と、ウエハ支持具52を上下
動させる送りねじ機構53と、この送りねじ機構53を操作
するサーボモータ54と、ヨーイング補正コントローラ55
とを備えている。
れた状態で、支持具52の上に支持される。ヨーイング補
正が実行される際、コントローラ55の指令によってサー
ボモータ54が作動されて、送りねじ機構53により支持具
52が適宜上昇または下降される。この支持具52の動きに
より、ウエハ1がストッパ51を中心にして上下方向に回
動されるため、テレビカメラに対する傾斜角度が変更調
整されることになる。
は、読み取り装置30における照明装置33およびテレビカ
メラ35がスタンド32の代わりに、ロボット61のアーム62
により支持されており、このロボット61がヨーイング補
正コントローラ63により制御されるようになっている。
り読み取りステージ31に供給されて水平に保持される。
この状態で、ヨーイング補正が実行される際、コントロ
ーラ63の指令によってロボット61のアーム62が動かされ
ることにより、テレビカメラ35が傾斜角度が変更調整さ
れる。この傾斜角度の変更調整により、テレビカメラ35
とウエハ1との関係が相対的にヨーイング補正されるこ
とになる。
機構部70は、スタンド32に傾斜可能に支持されていると
ともに、照明装置33およびテレビカメラ35を支持してい
るヨーイング補正具71と、この補正具71を傾斜させる傾
斜機構72と、この傾斜機構72を操作するサーボモータ73
と、サーボモータ73を制御するヨーイング補正コントロ
ーラ74とを備えている。
り読み取りステージ31に供給されて水平に保持される。
ヨーイング補正が実行される際、コントローラ74の指令
によってサーボモータ73が作動されて傾斜機構73が操作
され、もって、ヨーイング補正具71が傾斜される。この
傾斜により、これに支持されているテレビカメラ35が傾
斜され、テレビカメラ35とウエハ1との関係が相対的に
ヨーイング補正されることになる。
置を示す模式図、第12図はその斜視図、第13図はその要
部を示す斜視図、第14図はその作用を説明するためのフ
ローチャート図である。
方法を示す工程図、第16図はその作用を説明するための
説明図である。
置41はウエハ1の表面に付された識別コードを光学的手
段により読み取り、当該ウエハ1を個々に識別するとと
もに、空カセットにおける所定のスロットにそれぞれ収
納し得るように構成されている。
主面2におけるオリエンテーションフラット3と反対側
の位置に配されて、エッチング加工法やレーザ刻印法等
のような手段を用いられて数字および文字により描画さ
れている。本実施例においても、識別コード4は、ウエ
ハ1のロット番号を表示する識別コード(以下、ロット
コードという。)5と、当該ロット中の個々のウエハ番
号を表示する識別コード(以下、ウエハコード)6とに
より構成されている。
に係るウエハの識別装置11と同様に、箱形状に形成され
ている機枠12を備えており、機枠12上にはローダ部13
と、アンローダ部25と、搬送装置としての多関節ロボッ
ト(以下、ロボットという。)21と、識別コード読み取
り装置30とがそれぞれ装置されている。
識別装置11と異なる点は、アンローダ部25の構成にあ
る。すなわち、アンローダ部25はコントローラ27により
制御されるエレベータ26を備えており、エレベータ26上
に載置される空カセット28へエレベータ14の制御によ
り、ウエハ1を1枚宛所定位置のスロットに収納させて
行けるように構成されている。
28には多数条の保持溝(以下、スロットという。)S1〜
Snが多数段(本実施例では、25段)列設されており、こ
の各スロットS1〜Sn内にウエハ1がそれぞれ挿入される
ことにより、複数枚(本実施例では、1ロット分)のウ
エハを規則的に整列させた状態で収納し得るようになっ
ている。
13、ロボット21および識別コード読み取り装置30の構成
は、前記ウエハの識別装置11におけるそれらと同様であ
るので、説明は省略する。
本発明の実施例2であるウエハのデータ管理方法が実施
される場合、前記構成に係るウエハの並べ換え装置41は
1台または複数台が用意されるが、ここでは複数台が用
意される場合につき説明する。そして、複数台のウエハ
の並べ換え装置41は、第15図に示されているように、ウ
エハ生産ラインにおける各工程に適宜配置される。
矢印はデータの送信をそれぞれ示している。また、A1、
A2・・・Anは、表面酸化工程、リソグラフィー工程、デ
ポジッション工程等々のような半導体装置の所謂前工程
における第1工程、第2工程・・・第N工程を示してい
る。さらに、1B−1、1B−2、1B−3は第1工程A1にお
ける同一種類の第1、第2、第3製造装置、2B−1、2B
−2、2B−3は第2工程A2における同一種類の第1、第
2、第3製造装置、NB−1〜NB−4は第N工程における
同一種類の製造装置、1C−1は第1工程A1における検査
装置、2C−1、2C−2は第2工程A2における同一種類の
第1、第2検査装置、NC−1〜NC−3は第N工程におけ
る同一種類の検査装置をそれぞれ示している。
工程にそれぞれ配設されている各ウエハの並べ換え装置
41を示しており、各ウエハの並べ換え装置1E〜NEは各工
程へウエハ1が投入される直前にウエハ1の識別コード
4を読み取って、個々のウエハ1を識別するとともに、
メモリー38に識別コード4を逐次記録し、当該記録した
識別コード4をデータ処理装置42に随時送信し得るよう
になっている。
用、および、このウエハの並べ換え装置が使用される場
合の本発明の実施例2であるウエハのデータ管理方法を
説明する。
る前に、識別コード付およびカセットへのロット詰め工
程A0において、各ウエハ1にはロットコード5およびウ
エハコード6から成る識別コード4がエッチング加工法
やレーザ刻印法等のような適当な手段を用いられてそれ
ぞれ付けられる。そして、各ウエハ1はロットコード5
毎にカセットにそれぞれ収納される。
群は第1工程A1に投入され、第1〜第3製造装置1B−1
〜1B−3に適宜分配される。そして、同種の作業を同時
進行的に実施する同一種類の製造装置が複数台使用され
ることにより、他の工程A2〜An相互間で作業時間が適宜
調和されることになる。
は各カセットから取り出される。各製造装置による第1
工程A1における処理が各ウエハ1に施されると、各ウエ
ハ1は当該ロット毎に所定のカセットに再び収納され
る。
各製造装置1B−1、1B−2、1B−3から第1工程A1にお
けるウエハの並べ換え装置1Eへ順次送られる。このウエ
ハの並べ換え装置1Eにおいて、次に述べる作用により、
各ウエハ1は識別コード4をそれぞれ読み取られてメモ
リー38に記録されるとともに、このウエハの並べ換え装
置1Eに供給されている空カセット28に、そのウエハコー
ド6の番号順に並べられて所定のスロットS1〜Snに挿入
されることにより並べ換えられる。
ット16はローダ部13のエレベータ14上に順次供給され
る。エレベータ14上に実カセット16が供給されると、ロ
ボット21はアーム23の操作によって実カセット16内のウ
エハ1を1枚宛、グリップ24により保持して実カセット
16内から取り出し、読み取り装置30のステージ31に順次
供給する。
ように、ウエハ1はロボット21のアーム23およびグリッ
プ24により水平に支持されるとともに、読み取り装置30
の照明装置33およびテレビカメラ35に正対される。
示されているようなフローチャートにより、読み取り装
置30において識別コード4の読み取り作業が実行され
る。
あった場合、ヨーイング補正信号がロボット21のコント
ローラ22に送られる。ロボットのコントローラ22はこの
補正信号に基づいて、アーム23を操作することにより、
ウエハ1のテレビカメラ35に対する傾斜角θを所定の方
向へ変更調整する。このヨーイング補正動作が識別コー
ド認識装置36による識別コード4の認識が実行されるま
で繰り返されることにより、識別コード4適正な認識が
確保される。
ード認識装置36に接続されているメモリー38に記録され
る。なお、テレビカメラ35による映像はモニタ37に映し
出され、作業者によって必要に応じて監視される。
ロボット21によりアンローダ部25に搬送されて、第13図
に示されているように、アンローダ部25のエレベータ26
上に供給されている空カセット28における所定のスロッ
トS1〜Snに挿入される。
取られた識別コード4のウエハコード6の番号が、No.
1、であった場合、アンローダ部25のコントローラ27の
指令によりエレベータ26が1ピッチ送られ、空カセット
28における第1スロットS1が挿入作動位置29にセットさ
れる。そして、第1スロットS1が挿入作動位置にセット
されると、ロボット21により搬送されて来たウエハコー
ドNo.1のウエハ1がこの第1スロットS1に挿入される。
た識別コード4のウエハコード6の番号が、No.3、であ
った場合、アンローダ部25のコントローラ27の指令によ
りエレベータ26がさらに2ピッチ送られ、空カセット28
における第3スロットS3が挿入作動位置29にセットされ
る。続いて、ロボット21により搬送されて来たウエハコ
ードNo.3のウエハ1が、この第3スロットS3に挿入され
る。
た識別コード4のウエハコード6の番号が、No.2であっ
た場合、アンローダ部25のコントローラ27の指令により
エレベータ26が1ピッチ戻されるように送られ、空カセ
ット28における第2スロットS2が挿入作動位置29にセッ
トされる。続いて、ロボット21により搬送されて来たウ
エハコードNo.2のウエハ1が、この第2スロットS2に挿
入される。
ード5の番号が共通のウエハ1群がアンローダ部25の空
カセット28内へ、各ウエハコード6による順番に従っ
て、スロット番号通りに並べられて収容されることにな
る。つまり、第1スロットS1にはウエハコードNo.1のウ
エハが、第2スロットS2にはウエハコードNo.2のウエハ
が、第NスロットSnにはウエハコードNo.nのウエハがそ
れぞれ挿入されている。
が揃えられている状態で、1ロット分のウエハが収納さ
れた実カセットは、第1工程A1における検査装置1C−1
に搬送される。
1〜1B−3によって施された処理について、例えば、膜
厚測定等のような検査を実施される。この検査装置によ
る検査結果データはデータ処理装置42に逐次送信され
る。このとき、カセット28内の各ウエハ1はカセット28
におけるスロットS1〜Snの番号順に従って順4次取り出
されて、検査を逐次実施される。
除き、ロット毎に実カセットに収納され、第2工程A2へ
送られる。
第3工程・・・第N工程Anにおいて、所定の処理、識別
コード読み取り作業および検査をそれぞれ実施されるこ
とにより、工程が完了される。
いては、各工程におけるウエハの並べ換え装置1E、2Eお
よびNEによって識別された各ウエハ1毎の識別コード4
と、各工程における検査装置1C−1、2C−1、2C−2、
およびNC−1、NC−2、NC−3によって得られた各ウエ
ハ1毎の検査結果データとによって、第16図に示されて
いるようなデータファイルがデータ処理装置40において
仮想的に作成される。
る。
ハ1の識別コード4が読み取られて、メモリー38に逐次
記録されると、データ処理装置42は当該メモリー38から
当該ウエハ1のロットコード5およびウエハコード6を
読み出し、データファイルに記録する。
取られたウエハ1は、ウエハコード番号とカセット28の
スロット番号とが揃えられた状態で、検査装置1C−1に
送られるため、データ処理装置42は検査装置1C−1から
送信されて来る検査結果データを、その検査装置1C−1
においてウエハが取り出される順番であるカセット28の
スロット番号順に突き合わせて、データファイルにおけ
る検査結果の欄に逐次記録する。
ット毎に前記作動が繰り返されることにより、第1工程
A1についての全ウエハのデータファイルが作成される。
てのデータファイルが順次作成されて行き、全ロットお
よび全ウエハについてのデータが各ウエハ毎に整理され
てファイルされることになる。但し、ある工程で不良品
ウエハが発生してロットから除かれた場合には、当該ウ
エハについての当該工程以降のデータは、当然のことな
がら作成されないことになる。
別コード4が全て読み出されてデータファイルに記録さ
れるため、この識別コード4に関する記録を利用するこ
とにより、前述したウエハの識別装置11と同様、このウ
エハの並べ換え装置41における識別コード読み取り装置
30による読み取り精度を高めることができる。
る識別コード読み取り装置30が現在読み取った識別コー
ド4は、第1工程A1のデータファイルの中に存在するか
否かを、データ処理装置42が照合することにより、現在
読み取り中の識別コード4の正誤は判定することができ
る。すなわち、現在読み取り中の識別コード4がデータ
ファイル中に存在すれば、当該読み取りは正しく、存在
しなければ、当該読み取りは誤りである。誤りである場
合には、前記実施例1と同様に、ヨーイング補正機能が
作動されることになる。もしくは、単純に再認識処理を
実行する。また、オペレータによる目視認識結果を、入
力することになる。
ハの特性解析、不良解析および異物解析や、生産管理等
に適宜利用される。この場合、このデータファイルは各
ウエハ毎にデータが整理されているため、ウエハ毎の解
析が可能になり、解析の精度はきわめて高められること
になる。
次のような効果が得られる。
ード番号とカセットのスロット番号とが揃うように並べ
換えられることにより、各ウエハと、各ウエハの検査結
果データとがカセットのスロット番号を介して突き合わ
されることになるため、各検査装置毎にウエハの識別装
置をそれぞれ組み合わせなくて済み、ウエハの並べ換え
装置の共用により設備費の増大化を抑制することができ
る。
箇所は2箇所であるため、カセット数を低減することが
でき、スペース効率およびカセット管理効率を向上させ
ることができる。
エハの並べ換え作業をフレキシブルに実行することがで
きる。
き具体的に説明したが、本発明は前記実施例2に限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変
更可能であることはいうまでもない。
タ管理方法に使用するに限らず、ロット内におけるウエ
ハ群につての分割作業や、異なるロットのウエハ同士の
混合作業等にも使用することができる。
No.25とに2分割する方法につき、第11図を利用して簡
単に説明する。
ハ1のウエハコード6の番号が、識別コード読み取り装
置30によって、No.1、と読み取られた場合、このNo.1の
ウエハ1はロボット21によりアンローダ部25に搬送され
て、そこの空カセット28における所定のスロットに挿入
される。
3と読み取られた場合、このNo.13のウエハ1はロボット
21によりローダ部13に搬送されて、そこのカセット16に
おける所定のスロットに挿入される。
ト内のウエハ群がNo.1〜No.2、No.13〜No.25との2グル
ープに、アンローダ部25のカセット28と、ローダ部13の
カセット16とによって分割されることになる。
って得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りであ
る。
に処理が施される前または以後に、各ウエハの識別コー
ドを読み取って記録部に記録するとともに、各ウエハに
ついての処理後の検査結果データを前記記録部に記録さ
れた識別コードにそれぞれ突き合わせて記録することに
より、各ウエハ毎に検査結果データを整理したデータフ
ァイルを仮想的に作成することができるため、ウエハの
特性解析、不良解析、異物解析およびデータ管理等を各
ウエハ毎に実行することができ、その解析および管理等
についての精度を高めることができる。
号とカセットのスロット番号とが揃うように並べ換える
ことにより、各ウエハと、各ウエハの検査結果データと
をカセットのスロット番号を介して突き合わせることが
できるため、各検査装置毎にウエハの識別装置をそれぞ
れ組み合わせなくて済み、ウエハの並べ換え装置を共用
化することにより、設備費の増大化を抑制することがで
きる。
す模式図、 第2図はその斜視図、 第3図はその要部を示す斜視図、 第4図はその作用を説明するためのフローチャート図、 第5図はウエハの平面図である。 第6図は本発明の一実施例であるウエハのデータ管理方
法を示す工程図、 第7図はその作用を説明するための説明図である。 第8図はヨーイング補正機構部の第2実施例を示す斜視
図、 第9図はヨーイング補正機構部の第3実施例を示す斜視
図、 第10図(a)、(b)はヨーイング補正機構部の第4実
施例を示す側面図および背面図である。 第11図は本発明の一実施例であるウエハの並べ換え装置
を示す模式図、 第12図はその斜視図、 第13図はその要部を示す斜視図、 第14図はその作用を説明するためのフローチャート図で
ある。 第15図は本発明の実施例2であるウエハのデータ管理方
法を示す工程図、 第16図はその作用を説明するための説明図である。 1……ウエハ、2……第1主面、3……オリエンテーシ
ョンフラット、4……識別コード、5……ロットコー
ド、6……ウエハコード、11……ウエハの識別装置、12
……機枠、13……ローダ部、14……エレベータ、15……
コントローラ、16……実カセット、17……アンローダ
部、18……コンベア、19……コントローラ、21……ロボ
ット、22……コントローラ、23……アーム、24……グリ
ップ、25……アンローダ部、26……エレベータ、27……
コントローラ、28……空カセット、29……挿入作動位
置、30……識別コード読み取り装置、31……読み取りス
テージ、32……スタンド、33……照明装置、34……光
源、35……テレビカメラ、36……識別コード認識装置、
37……モニタ、38……メモリー、40……データ処理装
置、41……ウエハの並べ換え装置、42……データ処理装
置、A1……第1工程、A2……第2工程、An……第N工
程、1B−1〜ND−3……製造装置、1C−1〜NC−3……
検査装置、1D−1〜ND−3……ウエハの識別装置、1E〜
NE……ウエハの並べ換え装置。
Claims (5)
- 【請求項1】それぞれに識別コードが付されたウエハが
複数枚収納されている実カセットが供給されるローダ部
と、前記ウエハに付された識別コードを光学的に読み取
る読み取り装置と、前記ローダ部の実カセットからウエ
ハを1枚宛取り出して前記読み取り装置に搬送する搬送
装置とを備えており、 前記読み取り装置は、搬送された前記ウエハを照明する
照明装置と、照明されたウエハの前記識別コードの画像
を取り込む画像取り込み装置と、取り込まれた画像信号
から前記識別コードを認識する識別コード認識装置と、
前記識別コード認識装置の認識不能信号に基づいて前記
画像取り込み装置と前記ウエハとの傾斜関係を補正する
ヨーイング補正機構部と、前記識別コード認識装置によ
って認識された識別コードを逐次記録する記録部とを備
えていることを特徴とするウエハの識別装置。 - 【請求項2】それぞれに識別コードが付されたウエハが
複数枚収納されている実カセットが供給されるローダ部
と、ウエハを1枚宛各位置に収納可能な空カセットが供
給されるアンローダ部と、前記ウエハに付された識別コ
ードを光学的に読み取る読み取り装置と、前記ローダ部
の実カセットからウエハを1枚宛取り出して前記読み取
り装置に搬送し、さらに、前記読み取り装置からウエハ
を前記アンローダ部の空カセットに搬送する搬送装置
と、前記読み取り装置によって読み取られたウエハの識
別コードに基づいて前記搬送装置を操作することにより
各ウエハを前記アンローダの空カセットにおける識別コ
ードに対応した所定の位置に収納させるコントローラと
を備えており、 前記読み取り装置は、搬送された前記ウエハを照明する
照明装置と、照明されたウエハの前記識別コードの画像
を取り込む画像取り込み装置と、取り込まれた画像信号
から前記識別コードを認識する識別コード認識装置と、
前記識別コード認識装置の認識不能信号に基づいて前記
画像取り込み装置と前記ウエハとの傾斜関係を補正する
ヨーイング補正機構部とを備えていることを特徴とする
ウエハの並べ換え装置。 - 【請求項3】特許請求の範囲第1項記載のウエハの識別
装置を使用するウエハの管理方法であって、 各ウエハに光学的に読み取り可能な識別コードをそれぞ
れ付しておき、ウエハに処理が施される前または以後に
前記ウエハに付された識別コードを前記読み取り装置に
よって光学的に読み取って記録部に記録し、さらに、デ
ータ処理装置において、各ウエハについての処理後の検
査結果データを前記記録部に記録された識別コードにそ
れぞれ突き合わせて記録することを特徴とするウエハの
データ管理方法。 - 【請求項4】特許請求の範囲第2項記載のウエハの並べ
換え装置を使用するウエハの管理方法であって、 各ウエハに光学的に読み取り可能な識別コードが付され
る工程と、 前記ウエハの並べ換え装置のローダ部に供給された実カ
セットからウエハを1枚宛取り出して前記読み取り装置
に搬送し、前記ウエハに付された識別コードを前記読み
取り装置によって光学的に読み取り、読み取られたウエ
ハの識別コードに基づいて前記搬送装置を操作して各ウ
エハを前記アンローダの空カセットにおける識別コード
に対応した所定の位置に収納して規則的に並べるととも
に、前記読み取られたウエハの識別コードを記録部に記
録する工程と、 前記カセットのウエハ収納位置を認識することにより、
データ処理装置において、各ウエハについての処理後の
検査結果データが前記記録部に記録された識別コードに
それぞれ突き合わされて記録される工程と、を備えてい
ることを特徴とするウエハのデータ管理方法。 - 【請求項5】前記読み取り装置によって識別コードが読
み取られる際に、前記データ処理装置において、過去に
記録されている識別コードと現在読み取っている識別コ
ードとが照合されることにより、読み取り精度が高めら
れることを特徴とする特許請求の範囲第3項または第4
項記載のウエハのデータ管理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4038390A JP2966020B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | ウエハの識別装置およびウエハの並べ換え装置並びにウエハのデータ管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4038390A JP2966020B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | ウエハの識別装置およびウエハの並べ換え装置並びにウエハのデータ管理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03241815A JPH03241815A (ja) | 1991-10-29 |
JP2966020B2 true JP2966020B2 (ja) | 1999-10-25 |
Family
ID=12579132
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4038390A Expired - Lifetime JP2966020B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | ウエハの識別装置およびウエハの並べ換え装置並びにウエハのデータ管理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2966020B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4820006B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2011-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法 |
JP5115727B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2013-01-09 | Necアクセステクニカ株式会社 | 検査システム、検査方法および検査結果情報格納装置ならびに制御端末 |
CN116758544B (zh) * | 2023-08-17 | 2023-10-20 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 | 一种基于图像处理的晶圆编码识别*** |
-
1990
- 1990-02-20 JP JP4038390A patent/JP2966020B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03241815A (ja) | 1991-10-29 |
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