JPH1154585A - 物品識別装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 占有床面積、タクトタイム、価格を抑制す
る。 【解決手段】 ウエハ識別装置２０の受渡し装置２１の
片脇にはウエハ１の中心を検出するウエハ位置検出装置
５０が配設されている。受渡し装置２１はウエハ１の識
別コード４が付された位置を読取装置４０の読取ステー
ジ３５の読取エリア４７に合致させるように構成されて
いる。読取時に、識別対象ウエハ１は受渡し装置２１で
ウエハ位置検出装置５０に移送され、受渡し装置２１の
ウエハ１の中心が検出される。ウエハを受け取った受渡
し装置２１は読取ステージ３５でウエハの識別コード４
の位置を読取装置４０の読取エリア４７に合致させる。
この際、ウエハ位置検出装置５０で検出データが使用さ
れる。識別コード４が読取エリア４７に合致されると、
読取装置４０は識別コード４を読み取る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品識別技術、特
に、物品に付された識別コードを読み取って物品を識別
する技術に関し、例えば、半導体製造工程において、半
導体ウエハを識別するのに利用して有効な技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造工程において、ワー
クとしての半導体ウエハ（以下、ウエハという。）は複
数枚（例えば、２５枚）を１ロットに編成されて取り扱
われている。例えば、ＲＡＭ（ランダム アクセス メ
モリー）等の少品種大量生産向けの製品については、ウ
エハのライン投入時にロット編成が実施された後に、そ
のロットを再編成する必要が殆どない。ところが、マス
クＲＯＭ（リード オンリー メモリー）やＡＳＩＣ
（特別注文の半導体集積回路装置）等の多品種少量生産
が要求される製品については、ウエハのライン投入時に
編成されたロットをそのまま維持し続けたのでは、生産
性が低下してしまう場合が発生する。そこで、ウエハ投
入後にロットを編成し直す必要がある。また、大口径化
による付加価値増大からウエハ毎の生産情報管理を行う
ために、１ロット中の各ウエハの確認や、１ロット中の
ウエハ並べ替え、ウエハ付着異物検査等の目的で、１ロ
ット中から指定のウエハを抜き取る必要が発生する。

【０００３】ウエハ投入後にロットを編成する場合を例
とすれば、各ウエハに固有の標識（以下、識別コードと
いう。）を予め付しておき、各ウエハの識別コードを読
み取って当該識別コードを利用することにより、所望の
編成が実施されることになる。したがって、ウエハのロ
ット編成装置はウエハの識別コードを読み取って個々の
ウエハを識別するためのウエハ識別装置を備える必要が
ある。

【０００４】従来のこの種のウエハ識別装置は、ウエハ
に付された識別コードを読み取る読取装置と、読取装置
の読取ステージにウエハを受け渡す受渡し装置とを備え
ており、読み取り対象物品であるウエハが受渡し装置に
よって読取装置の読取ステージに移送された後に、読取
ステージに設けられたアライメント装置によって識別コ
ードの位置が読取装置の読取エリアに位置合わせされる
ように構成されている。

【０００５】なお、ウエハのロット編成技術を述べてあ
る例として、特開平４−２７３１１５号公報、特開平４
−２３９１５２号公報、特開平４−２６０３１８号公報
がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウエハ識別装置においては、受渡し装置と読取装置とが
別の場所にそれぞれ配置され、読取ステージにアライメ
ント装置が付帯されているため、装置全体としての占有
床面積が大きくなるばかりでなく、タクトタイムも長く
なり、また、装置全体としての価格が高くなるという問
題点がある。

【０００７】本発明の目的は、占有床面積、タクトタイ
ムおよび価格を抑制することができる物品識別装置を提
供することにある。

【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１０】すなわち、物品に付された識別コードを光
学的に読み取る読取装置と、この読取装置の読取ステー
ジに物品を受け渡す受渡し装置とを備えており、各物品
の識別コードを読み取ることにより物品を識別する物品
識別装置において、前記受渡し装置の片脇に前記物品の
位置を検出する物品位置検出装置が配設されており、前
記受渡し装置は前記読取装置の読取ステージに配置され
ているとともに、物品の識別コードが付された位置を前
記読取装置の読取エリアに前記物品位置検出装置による
物品の位置の検出データに基づいて合致させるように構
成されていることを特徴とする。

【００１１】前記した手段において、識別対象物品は受
渡し装置によって物品位置検出装置に移送され、受渡し
装置における物品の位置が検出される。位置を検出され
た識別対象物品は受渡し装置によって読取装置の読取ス
テージに移送される。物品を受け取った受渡し装置はそ
れ自体が配置された読取ステージにおいて物品の識別コ
ードが付された位置を読取装置の読取エリアに合致させ
る。この際、物品位置検出装置によって検出された物品
の位置データが使用される。識別コードが読取エリアに
合致されると、読取装置は識別コードを読み取る。識別
コードが読み取られると、受渡し装置は物品を読取ステ
ージから他所に移送して受け渡す。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態である
ウエハ識別装置を備えたウエハ分類装置を示す一部省略
斜視図である。図２は同じく平面図である。図３以降は
その位置合わせの作用を説明するための各説明図であ
る。

【００１３】本実施形態において、本発明に係る物品識
別装置は、各ウエハ固有の識別コードを読み取ることに
より個々のウエハを識別するウエハ識別装置として構成
されており、ウエハ分類装置に設備されている。すなわ
ち、ウエハ識別装置は識別対象物品としてのウエハにそ
れぞれ予め付された識別コードを光学的手段によって読
み取ることにより個々のウエハとして順次識別するよう
に構成されている。また、ウエハ分類装置はウエハ識別
装置によって順次識別されたウエハを予め指定された通
りに分類するように構成されている。

【００１４】ウエハ１はシリコン等の半導体によって円
形の薄板形状に形成されており、円周の一部にはノッチ
３がＶ字形状に切設されている。ウエハ１の半導体素子
が作り込まれる側の主面（以下、第１主面という。）２
におけるノッチ３と反対側の位置には、識別対象物品と
してのウエハを識別するための識別コード４が各ウエハ
に固有のものとして付されている。識別コード４はエッ
チング加工法やレーザ刻印法等の手段が用いられて数字
および英文字により描画されている。個々のウエハを識
別するための識別コード４は、ウエハ１のロット番号を
表示するロットコードと、当該ロット中の個々のウエハ
番号を表示するウエハコードとにより構成されている。

【００１５】そして、ウエハ分類装置のワークとしての
ウエハ１は複数枚（例えば、１ロット分の２５枚）が、
カセット５に収納される。すなわち、カセット５には保
持溝（以下、スロットという。）が多数段（通例、２５
段）列設されており、このスロット内にウエハがそれぞ
れ挿入されることにより、複数枚のウエハが規則的に整
列された状態で収納される。

【００１６】本実施形態に係るウエハ分類装置１１は大
略箱形状に形成されている機台（図示せず）を備えてお
り、この機台の上にはローディングステーションと、ア
ンローディングステーションと、ウエハ識別装置とが設
備されている。ローディングステーション１２およびア
ンローディングステーション１３は機台の上の片側（以
下、左側とする。）部分に前後対称形に配設されてい
る。ローディングステーション１２およびアンローディ
ングステーション１３はコントローラ（図示せず）によ
り制御されるエレベータ１４および１５をそれぞれ備え
ている。エレベータ１４、１５はその上に乗せられたカ
セット５を１ピッチずつ上昇または下降させるように構
成されている。

【００１７】ウエハ識別装置２０は物品としてのウエハ
を受け渡す受渡し装置２１を備えており、受渡し装置２
１は機台上の右側部分の中央位置に配設されている。受
渡し装置２１はＸＹテーブル２２を備えており、ＸＹテ
ーブル２２の上にはロータリーアクチュエータ２３が垂
直方向上向きに搭載されている。ロータリーアクチュエ
ータ２３の出力軸には旋回軸２４が垂直方向上向きに固
定されており、旋回軸２４は水平面内において３６０度
以上旋回されるようになっている。旋回軸２４の上端部
には水平に配置された第１アーム２５の一端部が一体回
転するように固定されている。第１アーム２５の自由端
部には平行に配置された第２アーム２６の一端部が回転
自在に軸支されており、第２アーム２６は内蔵されたベ
ルト伝動装置２７によって回転駆動されるようになって
いる。第２アーム２６の他端部には水平に配置されたハ
ンド２９の一端部が回転自在に軸支されており、ハンド
２９は内蔵されたベルト伝動装置２８によって回転駆動
されるようになっている。

【００１８】図６に示されているように、ハンド２９は
取付ブロック３０と本体（以下、ハンド本体という。）
３１とを備えており、ハンド本体３１は取付ブロック３
０によって第２アーム２６の最終側端部に回動自在に取
り付けられている。ハンド本体３１は後記するウエハ位
置検出装置の照明光である赤色ＬＥＤ光を透過する透明
材料としての工業用サファイアが使用されて、平面視が
二股のフォーク形状の薄板形状に形成されており、その
長手方向の寸法はウエハ１の半径よりも大きくなるよう
に、また、短手方向の寸法はウエハ１の直径よりも小さ
くなるように設定されている。

【００１９】ハンド本体３１の二股先端部における上面
には一対の支持凸部３２、３２がそれぞれ突設されてい
る。ウエハ１との接触面積を可及的に減少させて異物の
付着や金属汚染を防止するため、両支持凸部３２、３２
の受け面である上面の面積はウエハ１を浮かせた状態で
ウエハ１を最小面積で受けて支持し得るように設定され
ている。両支持凸部３２、３２には真空吸着口３３がそ
れぞれ開設されており、ハンド本体３１および取付ブロ
ック３０には真空吸着口３３に負圧を供給する吸引路３
４が開設されている。ちなみに、工業用サファイア製の
ハンド本体３１への真空吸着口３３および吸引路３４の
開設手段としては、図６（ｃ）に示されているように、
ハンド本体３１を厚さ方向で二つ割りにして形成した後
に、合わせ面で張り合わせることにより形成することが
できる。

【００２０】ウエハ識別装置２０の上方には識別コード
読取装置（以下、読取装置という。）４０が、機台の右
端部分に立設されたスタンド（図示せず）によって支持
されて設備されている。すなわち、読取装置４０は照明
装置および画像取り込み装置としてのテレビカメラを備
えている。照明装置４１はスタンドに垂直方向下向きに
支持されており、受渡し装置２１の読取ステージ３５の
一部に設定された読取エリア４７を垂直の可視光によっ
て落射照明するように構成されている。テレビカメラ４
２はスタンドに垂直方向下向きに支持されており、照明
装置４１によって照明された読取ステージ３５の上の読
取エリア４７における識別コード４を撮映するように構
成されている。

【００２１】テレビカメラ４２には識別コード認識装置
４３が電気的に接続されており、この識別コード認識装
置４３は画像処理装置等から構成され、テレビカメラ４
２からの撮像信号に基づいてウエハ１に付された識別コ
ード４を認識し得るように構成されている。識別コード
認識装置４３にはモニタ４４が接続されており、このモ
ニタ４４によりテレビカメラ４２の撮映状況がモニタリ
ングされるようになっている。さらに、識別コード認識
装置４３には識別コードを逐次記録するための記録手段
としてのメモリー４５が接続されており、このメモリー
４５は識別コード認識装置４３によって認識された識別
コード４を逐次記録するように構成されている。メモリ
ー４５はコンピュータ等から構築されているデータ処理
装置４６に接続されており、データ処理装置４６はメモ
リー４５に記録されたデータを随時呼び出すことによ
り、ウエハ分類のためのデータを作成するように構成さ
れている。なお、メモリー４５はデータ処理装置４６側
に装備してもよい。

【００２２】受渡し装置２１の片脇には物品位置検出装
置としてのウエハ位置検出装置５０が設備されており、
ウエハ位置検出装置５０はウエハ１を下方から照明する
照明装置（以下、背面照明装置という。）５１と、ウエ
ハ１を上方から撮影するテレビカメラ（以下、ウエハ位
置検出用テレビカメラという。）５９とが設備されてい
る。

【００２３】図７に示されているように、背面照明装置
５１は長方形の板形状に形成された支持板５２を備えて
おり、支持板５２の上には円形の板形状に形成されて光
源としてのＬＥＤ（発光ダイオード）５３を多数個装備
されたプリント配線基板５４と、円形リング形状に形成
された反射板５５とが同心円に配されて、複数本の支柱
５６によって支持されている。ＬＥＤ５３は赤色発光で
高輝度のものが使用されており、多数個がプリント配線
基板５４の円周辺部に環状に配列されて放射方向外向
き、かつ、水平に発光するように据え付けられている。
反射板５５の上面はＬＥＤ５３の水平方向の発光を垂直
方向に反射するように傾斜されており、反射板５５の上
端辺には円形薄板形状に形成された拡散板５７が、反射
板５５、ＬＥＤ５３群およびプリント配線基板５４を全
体的に被覆するように被せ付けられている。拡散板５７
はリフレクタ等から形成されており、反射板５５からの
反射光を全面に拡散させて照明光５８としてウエハ１を
下方（背面）から照明するようになっている。

【００２４】ウエハ位置検出用テレビカメラ５９はスタ
ンドに垂直方向下向きに支持されており、背面照明装置
５１によって照明されたウエハ１を撮映するように構成
されている。ウエハ位置検出用テレビカメラ５９にはウ
エハ位置認識装置６０が電気的に接続されており、ウエ
ハ位置認識装置６０は画像処理装置等から構成され、テ
レビカメラ５９からの撮像信号に基づいてウエハ１の円
周および円周に切設されたノッチ３を認識し得るように
構成されている。ウエハ位置認識装置６０にはモニタ６
１が接続されており、モニタ６１によりウエハ位置検出
用テレビカメラ５９の撮映状況がモニタリングされるよ
うになっている。さらに、ウエハ位置認識装置６０には
ウエハ１の円周およびノッチ３を一時的に記憶するため
のメモリー６２が接続されており、メモリー６２は前記
した識別コード認識装置４３および受渡し装置２１のコ
ントローラ（図示せず）に接続されている。識別コード
認識装置４３およびコントローラはメモリー６２に記憶
されたデータを随時呼び出すことにより、ウエハ１の円
周およびノッチ３の位置を利用するようになっている。

【００２５】次に、以上の構成に係るウエハ分類装置の
作用を説明する。まず、図２に示されているように、ロ
ーディングステーション１２のエレベータ１４の上に
は、複数枚のウエハ１が収納された実カセット５Ａがセ
ットされ、アンローディングステーション１３のエレベ
ータ１５の上には空のカセット５がセットされる。受渡
し装置２１の第１アーム２５および第２アーム２６がロ
ータリーアクチュエータ２３およびベルト伝動装置２
７、２８によって伸長作動されて、ハンド２９が実カセ
ット５Ａに挿入される。この際、ローディングステーシ
ョン１２のエレベータ１４がピッチ作動されることによ
り、コントローラが指定したウエハ１がハンド２９の真
上に対向される。この状態で、ウエハ１が下降すると、
ウエハ１はハンド２９の両真空吸着口３３、３３で真空
吸着されるため、ハンド２９によって真空吸着保持され
た状態になる。

【００２６】図２に示されているように、ハンド２９が
ウエハ１を真空吸着保持した状態において、ハンド２９
の一対の真空吸着口３３、３３を結ぶ線分の中心Ｏ
₂₉と、ウエハ１の中心Ｏ₁ とが一致した状態になってい
るとは限らない。つまり、ウエハ１の円周のハンド２９
に対する位置関係は不明である。また、ウエハ１のノッ
チ３のハンド２９に対する位置関係も不明である。そこ
で、本実施形態においては、ウエハ位置検出装置５０に
おいてウエハ１の位置がハンド２９との関係について検
出される。

【００２７】すなわち、ハンド２９によってウエハ１が
真空吸着保持されると、受渡し装置２１の第１アーム２
５および第２アーム２６がロータリーアクチュエータ２
３およびベルト伝動装置２７、２８によって短縮作動さ
れて、ウエハ１がハンド２９によって実カセット５Ａか
ら引き出された後に、図３に示されているように、ウエ
ハ位置検出装置５０の背面照明装置５１の真上に移送さ
れる。ウエハ位置検出装置５０に移送されたウエハ１は
背面照明装置５１の照明光５８によって下方から照明さ
れるとともに、ウエハ位置検出用テレビカメラ５９によ
って上方から撮影される。

【００２８】この際、ハンド２９がサファイアによって
形成されているため、高輝度赤色光を発光するＬＥＤ５
３の赤色光からなる照明光５８はハンド２９を透過する
が、シリコンからなるウエハ１は透過しない。したがっ
て、ウエハ位置検出用テレビカメラ５９はウエハ１の外
形像（所謂影絵）を撮影した状態になる。撮影されたウ
エハ１の外形像はウエハ位置認識装置６０に送信され
る。ウエハ位置認識装置６０はウエハ１の外形像からウ
エハ１の円周および円周に切設されたノッチ３を認識す
るとともに、円周からウエハ１の中心Ｏ₁ を認識し、予
め認識しているハンド２９の中心Ｏ₂₉と、認識したウエ
ハ１の中心Ｏ₁ およびノッチ３との位置関係を特定す
る。

【００２９】ウエハ位置認識装置６０によってハンド２
９の中心Ｏ₂₉とウエハ１の中心Ｏ₁およびノッチ３との
位置関係が特定されると、受渡し装置２１の第１アーム
２５および第２アーム２６がロータリーアクチュエータ
２３およびベルト伝動装置２７、２８によって短縮作動
されて、図４に示されているように、受渡し装置２１の
旋回軸２４の真上に移送される。この際、ハンド２９の
中心Ｏ₂₉とウエハ１の中心Ｏ₁ との位置関係から、ウエ
ハ１の中心Ｏ₁ が旋回軸２４の中心Ｏ₂₄に合致される。

【００３０】ウエハ１の中心Ｏ₁ が旋回軸２４の中心Ｏ
₂₄に合致されると、図４に示されているように、ウエハ
１の外周縁部は読取装置４０の読取位置としての読取エ
リア４７に含まれた状態になる。しかし、ウエハ１に付
された識別コード４は読取エリア４７から外れた状態に
なっている。すなわち、読取装置４０のテレビカメラ４
２によって撮像された読取エリア４７の画像は、識別コ
ード４が映し出されない状態になっている。

【００３１】そこで、図５に示されているように、受渡
し装置２１の旋回軸２４がロータリーアクチュエータ２
３によって一方向に旋回されることにより、ウエハ１が
中心Ｏ₁ を中心に旋回されて、ウエハ１の識別コード４
が読取エリア４７に移動される。すなわち、読取装置４
０のテレビカメラ４２によって撮像された読取エリア４
７の画像に識別コード４が適正に映し出された状態にな
った時に旋回軸２４の旋回が停止される。この際、ウエ
ハ１のノッチ３を識別コード認識装置４３によって認識
した後に、旋回軸２４を１８０度旋回させることによ
り、ウエハ１の識別コード４を読取エリア４７に配置す
るように受渡し装置２１を制御してもよい。

【００３２】以上の作動により、ハンド２９の上に設定
された読取ステージ３５においてウエハ１の識別コード
４の表示位置が読取装置４０の読取エリア４７に合致さ
れた状態になる。この状態において、ウエハ１の識別コ
ード４の読み取り作業が読取装置４０によって実行され
る。すなわち、テレビカメラ４２が撮影した識別コード
４の画像信号は識別コード認識装置４３に送信されて画
像処理されるとともに、画像処理によって得られた識別
コードの実際の画像と、予め登録された辞書画像とが照
合されることにより、テレビカメラ４２によって撮像さ
れた識別コード４が読み取られる。

【００３３】読み取られた識別コード４は識別コード認
識装置４３に接続されているメモリー４５に記録され
る。そして、データ処理装置４６は記録された識別コー
ド４を呼び出して空カセット５におけるアンローディン
グすべきスロットの位置を指定して、受渡し装置２１の
コントローラに所定の指令信号を送信する。ちなみに、
テレビカメラ４２による映像はモニタ４４に適宜に映し
出すことができるため、作業者は識別コード４を必要に
応じて監視することができる。

【００３４】次いで、識別コード４を読み取られたウエ
ハ１は受渡し装置２１によってアンローディングステー
ョン１３に移送されて、空カセット５の指定されたスロ
ットにアンローディングされる。

【００３５】今、例えば、読取装置４０によって読み取
られた識別コード４のウエハコードの番号が「ＮＯ．
１」であった場合、アンローディングステーション１３
のコントローラの指令によりエレベータ１５が１ピッチ
送られ、空カセット５における第１スロットが挿入作動
位置にセットされる。そして、第１スロットが挿入作動
位置にセットされると、受渡し装置２１により搬送され
て来たＮＯ．１のウエハ１がこの第１スロットに挿入さ
れる。

【００３６】次のウエハ１の読取装置４０によって読み
取られた識別コード４のウエハコードの番号が「ＮＯ．
３」であった場合には、アンローディングステーション
１３のコントローラの指令によってエレベータ１５がさ
らに２ピッチ送られ、空カセット５における第３スロッ
トが挿入作動位置にセットされる。続いて、受渡し装置
２１により搬送されて来たＮＯ．３のウエハ１がこの第
３スロットに挿入される。

【００３７】さらに、次のウエハ１のウエハコードの番
号が「ＮＯ．２」であった場合、アンローディングステ
ーション１３のコントローラの指令によりエレベータ１
５が１ピッチだけ戻されるように送られ、空カセット５
における第２スロットが挿入作動位置にセットされる。
続いて、受渡し装置２１により搬送されて来たＮＯ．２
のウエハ１がこの第２スロットに挿入される。

【００３８】以上の作動が繰り返されることにより、ウ
エハ１群はアンローディングステーション１３の空カセ
ット５内へ、各ウエハコードによる順番に従ってスロッ
ト番号通りに並べられて収容されることになる。この場
合、第１スロットにはウエハコードＮＯ．１のウエハ
が、第２スロットにはウエハコードＮＯ．２のウエハ
が、第ＮスロットにはウエハコードＮＯ．ｎのウエハが
それぞれ挿入されていることになる。しかも、各スロッ
トに収容された各ウエハ１の向きは元の状態になってい
る。

【００３９】以上の作用により、識別コード読み取り作
業およびウエハ分類作業が実施されるのであるが、これ
らの作業と同時に、読取装置４０の読み取りデータに基
づき、メモリー４５においては各ウエハの処理およびウ
エハ来歴ファイル等を作成することができる。

【００４０】前記実施形態によれば次の効果が得られ
る。 （１） ウエハの識別コード読取装置の読取ステージに
ウエハを受け渡す受渡し装置自体に読取ステージを設定
するとともに、ウエハの識別コード表示位置を読取ステ
ージの読取エリアに合致させるアライメント機能を設け
ることにより、読取装置および受渡し装置と別に読取ス
テージおよびアライメント装置を付帯させなくて済むた
め、ウエハ識別装置全体としての占有床面積、タクトタ
イムおよび価格を抑制することができる。

【００４１】（２） 旋回軸によって回転される第１ア
ームと、第１アームの自由端部に軸支されて回転される
第２アームと、第２アームの回転中心から離れた位置に
軸支されて回転されるハンドとにより受渡し装置を構成
することにより、直線運動する部分を省略することがで
きるため、ウエハ識別装置全体としての占有床面積、タ
クトタイムおよび価格をより一層抑制することができ
る。

【００４２】（３） 受渡し装置の片脇にウエハ位置検
出装置を設備することにより、受渡し装置がウエハの位
置を認識することができるため、ウエハの識別コード表
示位置を読取ステージの読取エリアに迅速かつ正確に合
致させることができる。

【００４３】（４） ローディングされたウエハの識別
コードを読み取ってウエハカセットにアンローディング
することができるため、ウエハ群の分類作業や、並べ換
え作業、ロット編成作業、ウエハの抜き取り作業、ウエ
ハの識別コード確認作業等を実施することができる。

【００４４】（５） ウエハの識別コードをメモリーに
記憶することにより、ロットの再分割再合成等の特殊な
作業を実施することができるとともに、各ウエハの来歴
を識別コードを索引として作成することができる。

【００４５】図８は本発明の他の実施形態であるウエハ
識別装置の要部を示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）
は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う平面図である。図９はその作
用を説明する説明図である。

【００４６】本実施形態２が前記実施形態１と異なる点
は、直進形のアーム（以下、直進アームという。）２６
Ａにハンド２９が使用されている点である。すなわち、
第２アームとしての直進アーム２６Ａの伸長作動によっ
てハンド２９がウエハ１の真下に挿入され、ウエハ１を
真空吸着保持する。次いで、直進アーム２６Ａがさらに
伸長作動されてウエハ位置検出装置５０に供給され、ウ
エハ１の中心Ｏ₁ およびノッチ３が検出される。その
後、直進アーム２６Ａが短縮作動されることにより、ウ
エハ１の中心Ｏ₁ が旋回軸２４の中心Ｏ₂₄に合致され
る。その後は前記実施形態１と同様に、旋回軸２４の旋
回によってウエハ１の識別コード４が読取装置４０の読
取エリア４７に位置合わせされ、識別コード４が読み取
られる。識別コード４を読み取られたウエハ１は旋回軸
２４の旋回作動および直進アーム２６Ａの伸長作動によ
って、所定の位置にアンローディングされる。

【００４７】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４８】例えば、ウエハ分類装置におけるローディ
ングステーションおよびアンローディングステーション
のエレベータを省略して、ウエハ識別装置の受渡し装置
にローディング作業およびアンローディング作業用のエ
レベータを設けてもよい。

【００４９】また、ウエハ分類装置におけるローディン
グステーションおよびアンローディングステーションは
ウエハを置く置き台によってそれぞれ構成してもよい。
さらに、ウエハ分類装置におけるローディングステーシ
ョンおよびアンローディングステーションはそれぞれ１
基ずつ設備するに限らず、それぞれ２基以上設備しても
よい。

【００５０】ウエハ識別装置はウエハ分類装置に使用す
るに限らず、ロット編成装置やウエハ抜き取り装置、ウ
エハ並べ換え装置およびウエハの識別コード確認装置等
に使用することができ、要は、識別コード読み取り前後
のウエハの取り扱いに限定はない。

【００５１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
の識別技術に適用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、フロッピディスク、ハードデ
ィスク、コンパクトディスク等のデータ記憶媒体や、そ
の他、識別コードが表示された物品全般の識別技術に適
用することができる。

【００５２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００５３】識別コード読取装置の読取ステージに物品
を受け渡す受渡し装置自体に読取ステージを設定すると
ともに、物品の識別コード表示位置を読取ステージの読
取エリアに合致させるアライメント機能を設けることに
より、読取装置および受渡し装置と別に読取ステージお
よびアライメント装置を付帯させなくて済むため、物品
識別装置全体としての占有床面積、タクトタイムおよび
価格を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態であるウエハ識別装置を備
えたウエハ分類装置を示す一部省略斜視図である。

【図２】その平面図である。

【図３】そのウエハ識別装置を示しており、（ａ）は正
面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う平面図である。

【図４】読み取り作用を説明するための図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。

【図５】同じく、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図であ
る。

【図６】ハンドを示しており、（ａ）は一部省略平面
図、（ｂ）は一部省略正面断面図、（ｃ）はハンド本体
の分解斜視図である。

【図７】背面照明装置を示しており、（ａ）は一部切断
平面図、（ｂ）は一部切断正面図、（ｃ）は側面図であ
る。

【図８】本発明の他の実施形態であるウエハ識別装置の
要部を示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）の
ｂ−ｂ線に沿う平面図である。

【図９】同じく、読み取り作用を説明するための図であ
り、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う
平面図である。

【符号の説明】

１…ウエハ（物品）、２…第１主面、３…ノッチ、４…
識別コード、５…カセット、５Ａ…実カセット、１１…
ウエハ分類装置、１２…ローディングステーション、１
３…アンローディングステーション、１４、１５…エレ
ベータ、２０…ウエハ識別装置（物品識別装置）、２１
…受渡し装置、２２…ＸＹテーブル、２３…ロータリー
アクチュエータ、２４…旋回軸、２５…第１アーム、２
６…第２アーム、２７、２８…ベルト伝動装置、２９…
ハンド、３０…取付ブロック、３１…ハンド本体、３２
…支持凸部、３３…真空吸着口、３４…吸引路、３５…
読取ステージ、４０…識別コード読取装置、４１…照明
装置、４２…テレビカメラ、４３…識別コード認識装
置、４４…モニタ、４５…メモリー、４６…データ処理
装置、４７…読取エリア、５０…ウエハ位置検出装置
（物品位置検出装置）、５１…背面照明装置、５２…支
持板、５３…ＬＥＤ、５４…プリント配線基板、５５…
反射板、５６…支柱、５７…拡散板、５８…照明光、５
９…ウエハ位置検出用テレビカメラ、６０…ウエハ位置
認識装置、６１…モニタ、６２…メモリー、２６Ａ…直
進アーム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 清吾 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 目黒 泰行 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 野田 肇 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物品に付された識別コードを光学的に読
   み取る読取装置と、この読取装置の読取ステージに物品
   を受け渡す受渡し装置とを備えており、各物品の識別コ
   ードを読み取ることにより物品を識別する物品識別装置
   において、 前記受渡し装置の片脇に前記物品の位置を検出する物品
   位置検出装置が配設されており、前記受渡し装置は前記
   読取装置の読取ステージに配置されているとともに、物
   品の識別コードが付された位置を前記読取装置の読取エ
   リアに前記物品位置検出装置による物品の位置の検出デ
   ータに基づいて合致させるように構成されていることを
   特徴とする物品識別装置。
2. 【請求項２】 前記物品位置検出装置は、物品を背面側
   から照明する照明装置と、物品を正面側から撮像する撮
   像装置とを備えていることを特徴とする請求項１に記載
   の物品識別装置。
3. 【請求項３】 前記背面照明装置は、放射方向外向きに
   光を照射する光源と、光源からの光を前記物品の方向に
   反射させる反射板とを備えていることを特徴とする請求
   項２に記載の物品識別装置。
4. 【請求項４】 前記光源が多数個の発光ダイオードが円
   周上に配列されて構成されていることを特徴とする請求
   項３に記載の物品識別装置。
5. 【請求項５】 前記反射板の物品側端部には、反射光を
   全面に拡散させる拡散板が被せ付けられていることを特
   徴とする請求項３または４に記載の物品識別装置。
6. 【請求項６】 前記撮像装置は、前記照明装置によって
   照明された物品を撮像して物品の外形から物品の位置を
   認識するように構成されていることを特徴とする請求項
   ２、３、４または５に記載の物品識別装置。
7. 【請求項７】 前記受渡し装置は、旋回軸によって旋回
   される第１アームと、第１アームの自由端部に軸支され
   て回転される第２アームと、第２アームの回転中心から
   離れた位置に軸支されて回転されるハンドとを備えてお
   り、前記ハンドが透明材料によって形成されていること
   を特徴とする請求項２、３、４、５または６に記載の物
   品識別装置。
8. 【請求項８】 前記受渡し装置は、旋回軸によって旋回
   される第１アームと、第１アームに摺動自在に支持され
   て往復運動される第２アームと、第２アームに支持され
   たハンドとを備えており、前記ハンドが透明材料によっ
   て形成されていることを特徴とする請求項２、３、４、
   ５または６に記載の物品識別装置。
9. 【請求項９】 前記ハンドは工業用サファイアによって
   形成されていることを特徴とする請求項７または８に記
   載の物品識別装置。
10. 【請求項１０】 前記ハンドは二股のフォーク形状の薄
    板形状に形成されており、その二股の先端部における上
    面には一対の支持凸部がそれぞれ突設されていることを
    特徴とする請求項７、８または９に記載の物品識別装
    置。