JPH1154585A - 物品識別装置 - Google Patents
物品識別装置Info
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- JPH1154585A JPH1154585A JP22067897A JP22067897A JPH1154585A JP H1154585 A JPH1154585 A JP H1154585A JP 22067897 A JP22067897 A JP 22067897A JP 22067897 A JP22067897 A JP 22067897A JP H1154585 A JPH1154585 A JP H1154585A
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- wafer
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 占有床面積、タクトタイム、価格を抑制す
る。 【解決手段】 ウエハ識別装置20の受渡し装置21の
片脇にはウエハ1の中心を検出するウエハ位置検出装置
50が配設されている。受渡し装置21はウエハ1の識
別コード4が付された位置を読取装置40の読取ステー
ジ35の読取エリア47に合致させるように構成されて
いる。読取時に、識別対象ウエハ1は受渡し装置21で
ウエハ位置検出装置50に移送され、受渡し装置21の
ウエハ1の中心が検出される。ウエハを受け取った受渡
し装置21は読取ステージ35でウエハの識別コード4
の位置を読取装置40の読取エリア47に合致させる。
この際、ウエハ位置検出装置50で検出データが使用さ
れる。識別コード4が読取エリア47に合致されると、
読取装置40は識別コード4を読み取る。
る。 【解決手段】 ウエハ識別装置20の受渡し装置21の
片脇にはウエハ1の中心を検出するウエハ位置検出装置
50が配設されている。受渡し装置21はウエハ1の識
別コード4が付された位置を読取装置40の読取ステー
ジ35の読取エリア47に合致させるように構成されて
いる。読取時に、識別対象ウエハ1は受渡し装置21で
ウエハ位置検出装置50に移送され、受渡し装置21の
ウエハ1の中心が検出される。ウエハを受け取った受渡
し装置21は読取ステージ35でウエハの識別コード4
の位置を読取装置40の読取エリア47に合致させる。
この際、ウエハ位置検出装置50で検出データが使用さ
れる。識別コード4が読取エリア47に合致されると、
読取装置40は識別コード4を読み取る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、物品識別技術、特
に、物品に付された識別コードを読み取って物品を識別
する技術に関し、例えば、半導体製造工程において、半
導体ウエハを識別するのに利用して有効な技術に関す
る。
に、物品に付された識別コードを読み取って物品を識別
する技術に関し、例えば、半導体製造工程において、半
導体ウエハを識別するのに利用して有効な技術に関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、半導体製造工程において、ワー
クとしての半導体ウエハ(以下、ウエハという。)は複
数枚(例えば、25枚)を1ロットに編成されて取り扱
われている。例えば、RAM(ランダム アクセス メ
モリー)等の少品種大量生産向けの製品については、ウ
エハのライン投入時にロット編成が実施された後に、そ
のロットを再編成する必要が殆どない。ところが、マス
クROM(リード オンリー メモリー)やASIC
(特別注文の半導体集積回路装置)等の多品種少量生産
が要求される製品については、ウエハのライン投入時に
編成されたロットをそのまま維持し続けたのでは、生産
性が低下してしまう場合が発生する。そこで、ウエハ投
入後にロットを編成し直す必要がある。また、大口径化
による付加価値増大からウエハ毎の生産情報管理を行う
ために、1ロット中の各ウエハの確認や、1ロット中の
ウエハ並べ替え、ウエハ付着異物検査等の目的で、1ロ
ット中から指定のウエハを抜き取る必要が発生する。
クとしての半導体ウエハ(以下、ウエハという。)は複
数枚(例えば、25枚)を1ロットに編成されて取り扱
われている。例えば、RAM(ランダム アクセス メ
モリー)等の少品種大量生産向けの製品については、ウ
エハのライン投入時にロット編成が実施された後に、そ
のロットを再編成する必要が殆どない。ところが、マス
クROM(リード オンリー メモリー)やASIC
(特別注文の半導体集積回路装置)等の多品種少量生産
が要求される製品については、ウエハのライン投入時に
編成されたロットをそのまま維持し続けたのでは、生産
性が低下してしまう場合が発生する。そこで、ウエハ投
入後にロットを編成し直す必要がある。また、大口径化
による付加価値増大からウエハ毎の生産情報管理を行う
ために、1ロット中の各ウエハの確認や、1ロット中の
ウエハ並べ替え、ウエハ付着異物検査等の目的で、1ロ
ット中から指定のウエハを抜き取る必要が発生する。
【0003】ウエハ投入後にロットを編成する場合を例
とすれば、各ウエハに固有の標識(以下、識別コードと
いう。)を予め付しておき、各ウエハの識別コードを読
み取って当該識別コードを利用することにより、所望の
編成が実施されることになる。したがって、ウエハのロ
ット編成装置はウエハの識別コードを読み取って個々の
ウエハを識別するためのウエハ識別装置を備える必要が
ある。
とすれば、各ウエハに固有の標識(以下、識別コードと
いう。)を予め付しておき、各ウエハの識別コードを読
み取って当該識別コードを利用することにより、所望の
編成が実施されることになる。したがって、ウエハのロ
ット編成装置はウエハの識別コードを読み取って個々の
ウエハを識別するためのウエハ識別装置を備える必要が
ある。
【0004】従来のこの種のウエハ識別装置は、ウエハ
に付された識別コードを読み取る読取装置と、読取装置
の読取ステージにウエハを受け渡す受渡し装置とを備え
ており、読み取り対象物品であるウエハが受渡し装置に
よって読取装置の読取ステージに移送された後に、読取
ステージに設けられたアライメント装置によって識別コ
ードの位置が読取装置の読取エリアに位置合わせされる
ように構成されている。
に付された識別コードを読み取る読取装置と、読取装置
の読取ステージにウエハを受け渡す受渡し装置とを備え
ており、読み取り対象物品であるウエハが受渡し装置に
よって読取装置の読取ステージに移送された後に、読取
ステージに設けられたアライメント装置によって識別コ
ードの位置が読取装置の読取エリアに位置合わせされる
ように構成されている。
【0005】なお、ウエハのロット編成技術を述べてあ
る例として、特開平4−273115号公報、特開平4
−239152号公報、特開平4−260318号公報
がある。
る例として、特開平4−273115号公報、特開平4
−239152号公報、特開平4−260318号公報
がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウエハ識別装置においては、受渡し装置と読取装置とが
別の場所にそれぞれ配置され、読取ステージにアライメ
ント装置が付帯されているため、装置全体としての占有
床面積が大きくなるばかりでなく、タクトタイムも長く
なり、また、装置全体としての価格が高くなるという問
題点がある。
ウエハ識別装置においては、受渡し装置と読取装置とが
別の場所にそれぞれ配置され、読取ステージにアライメ
ント装置が付帯されているため、装置全体としての占有
床面積が大きくなるばかりでなく、タクトタイムも長く
なり、また、装置全体としての価格が高くなるという問
題点がある。
【0007】本発明の目的は、占有床面積、タクトタイ
ムおよび価格を抑制することができる物品識別装置を提
供することにある。
ムおよび価格を抑制することができる物品識別装置を提
供することにある。
【0008】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。
【0010】すなわち、物品に付された識別コードを光
学的に読み取る読取装置と、この読取装置の読取ステー
ジに物品を受け渡す受渡し装置とを備えており、各物品
の識別コードを読み取ることにより物品を識別する物品
識別装置において、前記受渡し装置の片脇に前記物品の
位置を検出する物品位置検出装置が配設されており、前
記受渡し装置は前記読取装置の読取ステージに配置され
ているとともに、物品の識別コードが付された位置を前
記読取装置の読取エリアに前記物品位置検出装置による
物品の位置の検出データに基づいて合致させるように構
成されていることを特徴とする。
学的に読み取る読取装置と、この読取装置の読取ステー
ジに物品を受け渡す受渡し装置とを備えており、各物品
の識別コードを読み取ることにより物品を識別する物品
識別装置において、前記受渡し装置の片脇に前記物品の
位置を検出する物品位置検出装置が配設されており、前
記受渡し装置は前記読取装置の読取ステージに配置され
ているとともに、物品の識別コードが付された位置を前
記読取装置の読取エリアに前記物品位置検出装置による
物品の位置の検出データに基づいて合致させるように構
成されていることを特徴とする。
【0011】前記した手段において、識別対象物品は受
渡し装置によって物品位置検出装置に移送され、受渡し
装置における物品の位置が検出される。位置を検出され
た識別対象物品は受渡し装置によって読取装置の読取ス
テージに移送される。物品を受け取った受渡し装置はそ
れ自体が配置された読取ステージにおいて物品の識別コ
ードが付された位置を読取装置の読取エリアに合致させ
る。この際、物品位置検出装置によって検出された物品
の位置データが使用される。識別コードが読取エリアに
合致されると、読取装置は識別コードを読み取る。識別
コードが読み取られると、受渡し装置は物品を読取ステ
ージから他所に移送して受け渡す。
渡し装置によって物品位置検出装置に移送され、受渡し
装置における物品の位置が検出される。位置を検出され
た識別対象物品は受渡し装置によって読取装置の読取ス
テージに移送される。物品を受け取った受渡し装置はそ
れ自体が配置された読取ステージにおいて物品の識別コ
ードが付された位置を読取装置の読取エリアに合致させ
る。この際、物品位置検出装置によって検出された物品
の位置データが使用される。識別コードが読取エリアに
合致されると、読取装置は識別コードを読み取る。識別
コードが読み取られると、受渡し装置は物品を読取ステ
ージから他所に移送して受け渡す。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施形態である
ウエハ識別装置を備えたウエハ分類装置を示す一部省略
斜視図である。図2は同じく平面図である。図3以降は
その位置合わせの作用を説明するための各説明図であ
る。
ウエハ識別装置を備えたウエハ分類装置を示す一部省略
斜視図である。図2は同じく平面図である。図3以降は
その位置合わせの作用を説明するための各説明図であ
る。
【0013】本実施形態において、本発明に係る物品識
別装置は、各ウエハ固有の識別コードを読み取ることに
より個々のウエハを識別するウエハ識別装置として構成
されており、ウエハ分類装置に設備されている。すなわ
ち、ウエハ識別装置は識別対象物品としてのウエハにそ
れぞれ予め付された識別コードを光学的手段によって読
み取ることにより個々のウエハとして順次識別するよう
に構成されている。また、ウエハ分類装置はウエハ識別
装置によって順次識別されたウエハを予め指定された通
りに分類するように構成されている。
別装置は、各ウエハ固有の識別コードを読み取ることに
より個々のウエハを識別するウエハ識別装置として構成
されており、ウエハ分類装置に設備されている。すなわ
ち、ウエハ識別装置は識別対象物品としてのウエハにそ
れぞれ予め付された識別コードを光学的手段によって読
み取ることにより個々のウエハとして順次識別するよう
に構成されている。また、ウエハ分類装置はウエハ識別
装置によって順次識別されたウエハを予め指定された通
りに分類するように構成されている。
【0014】ウエハ1はシリコン等の半導体によって円
形の薄板形状に形成されており、円周の一部にはノッチ
3がV字形状に切設されている。ウエハ1の半導体素子
が作り込まれる側の主面(以下、第1主面という。)2
におけるノッチ3と反対側の位置には、識別対象物品と
してのウエハを識別するための識別コード4が各ウエハ
に固有のものとして付されている。識別コード4はエッ
チング加工法やレーザ刻印法等の手段が用いられて数字
および英文字により描画されている。個々のウエハを識
別するための識別コード4は、ウエハ1のロット番号を
表示するロットコードと、当該ロット中の個々のウエハ
番号を表示するウエハコードとにより構成されている。
形の薄板形状に形成されており、円周の一部にはノッチ
3がV字形状に切設されている。ウエハ1の半導体素子
が作り込まれる側の主面(以下、第1主面という。)2
におけるノッチ3と反対側の位置には、識別対象物品と
してのウエハを識別するための識別コード4が各ウエハ
に固有のものとして付されている。識別コード4はエッ
チング加工法やレーザ刻印法等の手段が用いられて数字
および英文字により描画されている。個々のウエハを識
別するための識別コード4は、ウエハ1のロット番号を
表示するロットコードと、当該ロット中の個々のウエハ
番号を表示するウエハコードとにより構成されている。
【0015】そして、ウエハ分類装置のワークとしての
ウエハ1は複数枚(例えば、1ロット分の25枚)が、
カセット5に収納される。すなわち、カセット5には保
持溝(以下、スロットという。)が多数段(通例、25
段)列設されており、このスロット内にウエハがそれぞ
れ挿入されることにより、複数枚のウエハが規則的に整
列された状態で収納される。
ウエハ1は複数枚(例えば、1ロット分の25枚)が、
カセット5に収納される。すなわち、カセット5には保
持溝(以下、スロットという。)が多数段(通例、25
段)列設されており、このスロット内にウエハがそれぞ
れ挿入されることにより、複数枚のウエハが規則的に整
列された状態で収納される。
【0016】本実施形態に係るウエハ分類装置11は大
略箱形状に形成されている機台(図示せず)を備えてお
り、この機台の上にはローディングステーションと、ア
ンローディングステーションと、ウエハ識別装置とが設
備されている。ローディングステーション12およびア
ンローディングステーション13は機台の上の片側(以
下、左側とする。)部分に前後対称形に配設されてい
る。ローディングステーション12およびアンローディ
ングステーション13はコントローラ(図示せず)によ
り制御されるエレベータ14および15をそれぞれ備え
ている。エレベータ14、15はその上に乗せられたカ
セット5を1ピッチずつ上昇または下降させるように構
成されている。
略箱形状に形成されている機台(図示せず)を備えてお
り、この機台の上にはローディングステーションと、ア
ンローディングステーションと、ウエハ識別装置とが設
備されている。ローディングステーション12およびア
ンローディングステーション13は機台の上の片側(以
下、左側とする。)部分に前後対称形に配設されてい
る。ローディングステーション12およびアンローディ
ングステーション13はコントローラ(図示せず)によ
り制御されるエレベータ14および15をそれぞれ備え
ている。エレベータ14、15はその上に乗せられたカ
セット5を1ピッチずつ上昇または下降させるように構
成されている。
【0017】ウエハ識別装置20は物品としてのウエハ
を受け渡す受渡し装置21を備えており、受渡し装置2
1は機台上の右側部分の中央位置に配設されている。受
渡し装置21はXYテーブル22を備えており、XYテ
ーブル22の上にはロータリーアクチュエータ23が垂
直方向上向きに搭載されている。ロータリーアクチュエ
ータ23の出力軸には旋回軸24が垂直方向上向きに固
定されており、旋回軸24は水平面内において360度
以上旋回されるようになっている。旋回軸24の上端部
には水平に配置された第1アーム25の一端部が一体回
転するように固定されている。第1アーム25の自由端
部には平行に配置された第2アーム26の一端部が回転
自在に軸支されており、第2アーム26は内蔵されたベ
ルト伝動装置27によって回転駆動されるようになって
いる。第2アーム26の他端部には水平に配置されたハ
ンド29の一端部が回転自在に軸支されており、ハンド
29は内蔵されたベルト伝動装置28によって回転駆動
されるようになっている。
を受け渡す受渡し装置21を備えており、受渡し装置2
1は機台上の右側部分の中央位置に配設されている。受
渡し装置21はXYテーブル22を備えており、XYテ
ーブル22の上にはロータリーアクチュエータ23が垂
直方向上向きに搭載されている。ロータリーアクチュエ
ータ23の出力軸には旋回軸24が垂直方向上向きに固
定されており、旋回軸24は水平面内において360度
以上旋回されるようになっている。旋回軸24の上端部
には水平に配置された第1アーム25の一端部が一体回
転するように固定されている。第1アーム25の自由端
部には平行に配置された第2アーム26の一端部が回転
自在に軸支されており、第2アーム26は内蔵されたベ
ルト伝動装置27によって回転駆動されるようになって
いる。第2アーム26の他端部には水平に配置されたハ
ンド29の一端部が回転自在に軸支されており、ハンド
29は内蔵されたベルト伝動装置28によって回転駆動
されるようになっている。
【0018】図6に示されているように、ハンド29は
取付ブロック30と本体(以下、ハンド本体という。)
31とを備えており、ハンド本体31は取付ブロック3
0によって第2アーム26の最終側端部に回動自在に取
り付けられている。ハンド本体31は後記するウエハ位
置検出装置の照明光である赤色LED光を透過する透明
材料としての工業用サファイアが使用されて、平面視が
二股のフォーク形状の薄板形状に形成されており、その
長手方向の寸法はウエハ1の半径よりも大きくなるよう
に、また、短手方向の寸法はウエハ1の直径よりも小さ
くなるように設定されている。
取付ブロック30と本体(以下、ハンド本体という。)
31とを備えており、ハンド本体31は取付ブロック3
0によって第2アーム26の最終側端部に回動自在に取
り付けられている。ハンド本体31は後記するウエハ位
置検出装置の照明光である赤色LED光を透過する透明
材料としての工業用サファイアが使用されて、平面視が
二股のフォーク形状の薄板形状に形成されており、その
長手方向の寸法はウエハ1の半径よりも大きくなるよう
に、また、短手方向の寸法はウエハ1の直径よりも小さ
くなるように設定されている。
【0019】ハンド本体31の二股先端部における上面
には一対の支持凸部32、32がそれぞれ突設されてい
る。ウエハ1との接触面積を可及的に減少させて異物の
付着や金属汚染を防止するため、両支持凸部32、32
の受け面である上面の面積はウエハ1を浮かせた状態で
ウエハ1を最小面積で受けて支持し得るように設定され
ている。両支持凸部32、32には真空吸着口33がそ
れぞれ開設されており、ハンド本体31および取付ブロ
ック30には真空吸着口33に負圧を供給する吸引路3
4が開設されている。ちなみに、工業用サファイア製の
ハンド本体31への真空吸着口33および吸引路34の
開設手段としては、図6(c)に示されているように、
ハンド本体31を厚さ方向で二つ割りにして形成した後
に、合わせ面で張り合わせることにより形成することが
できる。
には一対の支持凸部32、32がそれぞれ突設されてい
る。ウエハ1との接触面積を可及的に減少させて異物の
付着や金属汚染を防止するため、両支持凸部32、32
の受け面である上面の面積はウエハ1を浮かせた状態で
ウエハ1を最小面積で受けて支持し得るように設定され
ている。両支持凸部32、32には真空吸着口33がそ
れぞれ開設されており、ハンド本体31および取付ブロ
ック30には真空吸着口33に負圧を供給する吸引路3
4が開設されている。ちなみに、工業用サファイア製の
ハンド本体31への真空吸着口33および吸引路34の
開設手段としては、図6(c)に示されているように、
ハンド本体31を厚さ方向で二つ割りにして形成した後
に、合わせ面で張り合わせることにより形成することが
できる。
【0020】ウエハ識別装置20の上方には識別コード
読取装置(以下、読取装置という。)40が、機台の右
端部分に立設されたスタンド(図示せず)によって支持
されて設備されている。すなわち、読取装置40は照明
装置および画像取り込み装置としてのテレビカメラを備
えている。照明装置41はスタンドに垂直方向下向きに
支持されており、受渡し装置21の読取ステージ35の
一部に設定された読取エリア47を垂直の可視光によっ
て落射照明するように構成されている。テレビカメラ4
2はスタンドに垂直方向下向きに支持されており、照明
装置41によって照明された読取ステージ35の上の読
取エリア47における識別コード4を撮映するように構
成されている。
読取装置(以下、読取装置という。)40が、機台の右
端部分に立設されたスタンド(図示せず)によって支持
されて設備されている。すなわち、読取装置40は照明
装置および画像取り込み装置としてのテレビカメラを備
えている。照明装置41はスタンドに垂直方向下向きに
支持されており、受渡し装置21の読取ステージ35の
一部に設定された読取エリア47を垂直の可視光によっ
て落射照明するように構成されている。テレビカメラ4
2はスタンドに垂直方向下向きに支持されており、照明
装置41によって照明された読取ステージ35の上の読
取エリア47における識別コード4を撮映するように構
成されている。
【0021】テレビカメラ42には識別コード認識装置
43が電気的に接続されており、この識別コード認識装
置43は画像処理装置等から構成され、テレビカメラ4
2からの撮像信号に基づいてウエハ1に付された識別コ
ード4を認識し得るように構成されている。識別コード
認識装置43にはモニタ44が接続されており、このモ
ニタ44によりテレビカメラ42の撮映状況がモニタリ
ングされるようになっている。さらに、識別コード認識
装置43には識別コードを逐次記録するための記録手段
としてのメモリー45が接続されており、このメモリー
45は識別コード認識装置43によって認識された識別
コード4を逐次記録するように構成されている。メモリ
ー45はコンピュータ等から構築されているデータ処理
装置46に接続されており、データ処理装置46はメモ
リー45に記録されたデータを随時呼び出すことによ
り、ウエハ分類のためのデータを作成するように構成さ
れている。なお、メモリー45はデータ処理装置46側
に装備してもよい。
43が電気的に接続されており、この識別コード認識装
置43は画像処理装置等から構成され、テレビカメラ4
2からの撮像信号に基づいてウエハ1に付された識別コ
ード4を認識し得るように構成されている。識別コード
認識装置43にはモニタ44が接続されており、このモ
ニタ44によりテレビカメラ42の撮映状況がモニタリ
ングされるようになっている。さらに、識別コード認識
装置43には識別コードを逐次記録するための記録手段
としてのメモリー45が接続されており、このメモリー
45は識別コード認識装置43によって認識された識別
コード4を逐次記録するように構成されている。メモリ
ー45はコンピュータ等から構築されているデータ処理
装置46に接続されており、データ処理装置46はメモ
リー45に記録されたデータを随時呼び出すことによ
り、ウエハ分類のためのデータを作成するように構成さ
れている。なお、メモリー45はデータ処理装置46側
に装備してもよい。
【0022】受渡し装置21の片脇には物品位置検出装
置としてのウエハ位置検出装置50が設備されており、
ウエハ位置検出装置50はウエハ1を下方から照明する
照明装置(以下、背面照明装置という。)51と、ウエ
ハ1を上方から撮影するテレビカメラ(以下、ウエハ位
置検出用テレビカメラという。)59とが設備されてい
る。
置としてのウエハ位置検出装置50が設備されており、
ウエハ位置検出装置50はウエハ1を下方から照明する
照明装置(以下、背面照明装置という。)51と、ウエ
ハ1を上方から撮影するテレビカメラ(以下、ウエハ位
置検出用テレビカメラという。)59とが設備されてい
る。
【0023】図7に示されているように、背面照明装置
51は長方形の板形状に形成された支持板52を備えて
おり、支持板52の上には円形の板形状に形成されて光
源としてのLED(発光ダイオード)53を多数個装備
されたプリント配線基板54と、円形リング形状に形成
された反射板55とが同心円に配されて、複数本の支柱
56によって支持されている。LED53は赤色発光で
高輝度のものが使用されており、多数個がプリント配線
基板54の円周辺部に環状に配列されて放射方向外向
き、かつ、水平に発光するように据え付けられている。
反射板55の上面はLED53の水平方向の発光を垂直
方向に反射するように傾斜されており、反射板55の上
端辺には円形薄板形状に形成された拡散板57が、反射
板55、LED53群およびプリント配線基板54を全
体的に被覆するように被せ付けられている。拡散板57
はリフレクタ等から形成されており、反射板55からの
反射光を全面に拡散させて照明光58としてウエハ1を
下方(背面)から照明するようになっている。
51は長方形の板形状に形成された支持板52を備えて
おり、支持板52の上には円形の板形状に形成されて光
源としてのLED(発光ダイオード)53を多数個装備
されたプリント配線基板54と、円形リング形状に形成
された反射板55とが同心円に配されて、複数本の支柱
56によって支持されている。LED53は赤色発光で
高輝度のものが使用されており、多数個がプリント配線
基板54の円周辺部に環状に配列されて放射方向外向
き、かつ、水平に発光するように据え付けられている。
反射板55の上面はLED53の水平方向の発光を垂直
方向に反射するように傾斜されており、反射板55の上
端辺には円形薄板形状に形成された拡散板57が、反射
板55、LED53群およびプリント配線基板54を全
体的に被覆するように被せ付けられている。拡散板57
はリフレクタ等から形成されており、反射板55からの
反射光を全面に拡散させて照明光58としてウエハ1を
下方(背面)から照明するようになっている。
【0024】ウエハ位置検出用テレビカメラ59はスタ
ンドに垂直方向下向きに支持されており、背面照明装置
51によって照明されたウエハ1を撮映するように構成
されている。ウエハ位置検出用テレビカメラ59にはウ
エハ位置認識装置60が電気的に接続されており、ウエ
ハ位置認識装置60は画像処理装置等から構成され、テ
レビカメラ59からの撮像信号に基づいてウエハ1の円
周および円周に切設されたノッチ3を認識し得るように
構成されている。ウエハ位置認識装置60にはモニタ6
1が接続されており、モニタ61によりウエハ位置検出
用テレビカメラ59の撮映状況がモニタリングされるよ
うになっている。さらに、ウエハ位置認識装置60には
ウエハ1の円周およびノッチ3を一時的に記憶するため
のメモリー62が接続されており、メモリー62は前記
した識別コード認識装置43および受渡し装置21のコ
ントローラ(図示せず)に接続されている。識別コード
認識装置43およびコントローラはメモリー62に記憶
されたデータを随時呼び出すことにより、ウエハ1の円
周およびノッチ3の位置を利用するようになっている。
ンドに垂直方向下向きに支持されており、背面照明装置
51によって照明されたウエハ1を撮映するように構成
されている。ウエハ位置検出用テレビカメラ59にはウ
エハ位置認識装置60が電気的に接続されており、ウエ
ハ位置認識装置60は画像処理装置等から構成され、テ
レビカメラ59からの撮像信号に基づいてウエハ1の円
周および円周に切設されたノッチ3を認識し得るように
構成されている。ウエハ位置認識装置60にはモニタ6
1が接続されており、モニタ61によりウエハ位置検出
用テレビカメラ59の撮映状況がモニタリングされるよ
うになっている。さらに、ウエハ位置認識装置60には
ウエハ1の円周およびノッチ3を一時的に記憶するため
のメモリー62が接続されており、メモリー62は前記
した識別コード認識装置43および受渡し装置21のコ
ントローラ(図示せず)に接続されている。識別コード
認識装置43およびコントローラはメモリー62に記憶
されたデータを随時呼び出すことにより、ウエハ1の円
周およびノッチ3の位置を利用するようになっている。
【0025】次に、以上の構成に係るウエハ分類装置の
作用を説明する。まず、図2に示されているように、ロ
ーディングステーション12のエレベータ14の上に
は、複数枚のウエハ1が収納された実カセット5Aがセ
ットされ、アンローディングステーション13のエレベ
ータ15の上には空のカセット5がセットされる。受渡
し装置21の第1アーム25および第2アーム26がロ
ータリーアクチュエータ23およびベルト伝動装置2
7、28によって伸長作動されて、ハンド29が実カセ
ット5Aに挿入される。この際、ローディングステーシ
ョン12のエレベータ14がピッチ作動されることによ
り、コントローラが指定したウエハ1がハンド29の真
上に対向される。この状態で、ウエハ1が下降すると、
ウエハ1はハンド29の両真空吸着口33、33で真空
吸着されるため、ハンド29によって真空吸着保持され
た状態になる。
作用を説明する。まず、図2に示されているように、ロ
ーディングステーション12のエレベータ14の上に
は、複数枚のウエハ1が収納された実カセット5Aがセ
ットされ、アンローディングステーション13のエレベ
ータ15の上には空のカセット5がセットされる。受渡
し装置21の第1アーム25および第2アーム26がロ
ータリーアクチュエータ23およびベルト伝動装置2
7、28によって伸長作動されて、ハンド29が実カセ
ット5Aに挿入される。この際、ローディングステーシ
ョン12のエレベータ14がピッチ作動されることによ
り、コントローラが指定したウエハ1がハンド29の真
上に対向される。この状態で、ウエハ1が下降すると、
ウエハ1はハンド29の両真空吸着口33、33で真空
吸着されるため、ハンド29によって真空吸着保持され
た状態になる。
【0026】図2に示されているように、ハンド29が
ウエハ1を真空吸着保持した状態において、ハンド29
の一対の真空吸着口33、33を結ぶ線分の中心O
29と、ウエハ1の中心O1 とが一致した状態になってい
るとは限らない。つまり、ウエハ1の円周のハンド29
に対する位置関係は不明である。また、ウエハ1のノッ
チ3のハンド29に対する位置関係も不明である。そこ
で、本実施形態においては、ウエハ位置検出装置50に
おいてウエハ1の位置がハンド29との関係について検
出される。
ウエハ1を真空吸着保持した状態において、ハンド29
の一対の真空吸着口33、33を結ぶ線分の中心O
29と、ウエハ1の中心O1 とが一致した状態になってい
るとは限らない。つまり、ウエハ1の円周のハンド29
に対する位置関係は不明である。また、ウエハ1のノッ
チ3のハンド29に対する位置関係も不明である。そこ
で、本実施形態においては、ウエハ位置検出装置50に
おいてウエハ1の位置がハンド29との関係について検
出される。
【0027】すなわち、ハンド29によってウエハ1が
真空吸着保持されると、受渡し装置21の第1アーム2
5および第2アーム26がロータリーアクチュエータ2
3およびベルト伝動装置27、28によって短縮作動さ
れて、ウエハ1がハンド29によって実カセット5Aか
ら引き出された後に、図3に示されているように、ウエ
ハ位置検出装置50の背面照明装置51の真上に移送さ
れる。ウエハ位置検出装置50に移送されたウエハ1は
背面照明装置51の照明光58によって下方から照明さ
れるとともに、ウエハ位置検出用テレビカメラ59によ
って上方から撮影される。
真空吸着保持されると、受渡し装置21の第1アーム2
5および第2アーム26がロータリーアクチュエータ2
3およびベルト伝動装置27、28によって短縮作動さ
れて、ウエハ1がハンド29によって実カセット5Aか
ら引き出された後に、図3に示されているように、ウエ
ハ位置検出装置50の背面照明装置51の真上に移送さ
れる。ウエハ位置検出装置50に移送されたウエハ1は
背面照明装置51の照明光58によって下方から照明さ
れるとともに、ウエハ位置検出用テレビカメラ59によ
って上方から撮影される。
【0028】この際、ハンド29がサファイアによって
形成されているため、高輝度赤色光を発光するLED5
3の赤色光からなる照明光58はハンド29を透過する
が、シリコンからなるウエハ1は透過しない。したがっ
て、ウエハ位置検出用テレビカメラ59はウエハ1の外
形像(所謂影絵)を撮影した状態になる。撮影されたウ
エハ1の外形像はウエハ位置認識装置60に送信され
る。ウエハ位置認識装置60はウエハ1の外形像からウ
エハ1の円周および円周に切設されたノッチ3を認識す
るとともに、円周からウエハ1の中心O1 を認識し、予
め認識しているハンド29の中心O29と、認識したウエ
ハ1の中心O1 およびノッチ3との位置関係を特定す
る。
形成されているため、高輝度赤色光を発光するLED5
3の赤色光からなる照明光58はハンド29を透過する
が、シリコンからなるウエハ1は透過しない。したがっ
て、ウエハ位置検出用テレビカメラ59はウエハ1の外
形像(所謂影絵)を撮影した状態になる。撮影されたウ
エハ1の外形像はウエハ位置認識装置60に送信され
る。ウエハ位置認識装置60はウエハ1の外形像からウ
エハ1の円周および円周に切設されたノッチ3を認識す
るとともに、円周からウエハ1の中心O1 を認識し、予
め認識しているハンド29の中心O29と、認識したウエ
ハ1の中心O1 およびノッチ3との位置関係を特定す
る。
【0029】ウエハ位置認識装置60によってハンド2
9の中心O29とウエハ1の中心O1およびノッチ3との
位置関係が特定されると、受渡し装置21の第1アーム
25および第2アーム26がロータリーアクチュエータ
23およびベルト伝動装置27、28によって短縮作動
されて、図4に示されているように、受渡し装置21の
旋回軸24の真上に移送される。この際、ハンド29の
中心O29とウエハ1の中心O1 との位置関係から、ウエ
ハ1の中心O1 が旋回軸24の中心O24に合致される。
9の中心O29とウエハ1の中心O1およびノッチ3との
位置関係が特定されると、受渡し装置21の第1アーム
25および第2アーム26がロータリーアクチュエータ
23およびベルト伝動装置27、28によって短縮作動
されて、図4に示されているように、受渡し装置21の
旋回軸24の真上に移送される。この際、ハンド29の
中心O29とウエハ1の中心O1 との位置関係から、ウエ
ハ1の中心O1 が旋回軸24の中心O24に合致される。
【0030】ウエハ1の中心O1 が旋回軸24の中心O
24に合致されると、図4に示されているように、ウエハ
1の外周縁部は読取装置40の読取位置としての読取エ
リア47に含まれた状態になる。しかし、ウエハ1に付
された識別コード4は読取エリア47から外れた状態に
なっている。すなわち、読取装置40のテレビカメラ4
2によって撮像された読取エリア47の画像は、識別コ
ード4が映し出されない状態になっている。
24に合致されると、図4に示されているように、ウエハ
1の外周縁部は読取装置40の読取位置としての読取エ
リア47に含まれた状態になる。しかし、ウエハ1に付
された識別コード4は読取エリア47から外れた状態に
なっている。すなわち、読取装置40のテレビカメラ4
2によって撮像された読取エリア47の画像は、識別コ
ード4が映し出されない状態になっている。
【0031】そこで、図5に示されているように、受渡
し装置21の旋回軸24がロータリーアクチュエータ2
3によって一方向に旋回されることにより、ウエハ1が
中心O1 を中心に旋回されて、ウエハ1の識別コード4
が読取エリア47に移動される。すなわち、読取装置4
0のテレビカメラ42によって撮像された読取エリア4
7の画像に識別コード4が適正に映し出された状態にな
った時に旋回軸24の旋回が停止される。この際、ウエ
ハ1のノッチ3を識別コード認識装置43によって認識
した後に、旋回軸24を180度旋回させることによ
り、ウエハ1の識別コード4を読取エリア47に配置す
るように受渡し装置21を制御してもよい。
し装置21の旋回軸24がロータリーアクチュエータ2
3によって一方向に旋回されることにより、ウエハ1が
中心O1 を中心に旋回されて、ウエハ1の識別コード4
が読取エリア47に移動される。すなわち、読取装置4
0のテレビカメラ42によって撮像された読取エリア4
7の画像に識別コード4が適正に映し出された状態にな
った時に旋回軸24の旋回が停止される。この際、ウエ
ハ1のノッチ3を識別コード認識装置43によって認識
した後に、旋回軸24を180度旋回させることによ
り、ウエハ1の識別コード4を読取エリア47に配置す
るように受渡し装置21を制御してもよい。
【0032】以上の作動により、ハンド29の上に設定
された読取ステージ35においてウエハ1の識別コード
4の表示位置が読取装置40の読取エリア47に合致さ
れた状態になる。この状態において、ウエハ1の識別コ
ード4の読み取り作業が読取装置40によって実行され
る。すなわち、テレビカメラ42が撮影した識別コード
4の画像信号は識別コード認識装置43に送信されて画
像処理されるとともに、画像処理によって得られた識別
コードの実際の画像と、予め登録された辞書画像とが照
合されることにより、テレビカメラ42によって撮像さ
れた識別コード4が読み取られる。
された読取ステージ35においてウエハ1の識別コード
4の表示位置が読取装置40の読取エリア47に合致さ
れた状態になる。この状態において、ウエハ1の識別コ
ード4の読み取り作業が読取装置40によって実行され
る。すなわち、テレビカメラ42が撮影した識別コード
4の画像信号は識別コード認識装置43に送信されて画
像処理されるとともに、画像処理によって得られた識別
コードの実際の画像と、予め登録された辞書画像とが照
合されることにより、テレビカメラ42によって撮像さ
れた識別コード4が読み取られる。
【0033】読み取られた識別コード4は識別コード認
識装置43に接続されているメモリー45に記録され
る。そして、データ処理装置46は記録された識別コー
ド4を呼び出して空カセット5におけるアンローディン
グすべきスロットの位置を指定して、受渡し装置21の
コントローラに所定の指令信号を送信する。ちなみに、
テレビカメラ42による映像はモニタ44に適宜に映し
出すことができるため、作業者は識別コード4を必要に
応じて監視することができる。
識装置43に接続されているメモリー45に記録され
る。そして、データ処理装置46は記録された識別コー
ド4を呼び出して空カセット5におけるアンローディン
グすべきスロットの位置を指定して、受渡し装置21の
コントローラに所定の指令信号を送信する。ちなみに、
テレビカメラ42による映像はモニタ44に適宜に映し
出すことができるため、作業者は識別コード4を必要に
応じて監視することができる。
【0034】次いで、識別コード4を読み取られたウエ
ハ1は受渡し装置21によってアンローディングステー
ョン13に移送されて、空カセット5の指定されたスロ
ットにアンローディングされる。
ハ1は受渡し装置21によってアンローディングステー
ョン13に移送されて、空カセット5の指定されたスロ
ットにアンローディングされる。
【0035】今、例えば、読取装置40によって読み取
られた識別コード4のウエハコードの番号が「NO.
1」であった場合、アンローディングステーション13
のコントローラの指令によりエレベータ15が1ピッチ
送られ、空カセット5における第1スロットが挿入作動
位置にセットされる。そして、第1スロットが挿入作動
位置にセットされると、受渡し装置21により搬送され
て来たNO.1のウエハ1がこの第1スロットに挿入さ
れる。
られた識別コード4のウエハコードの番号が「NO.
1」であった場合、アンローディングステーション13
のコントローラの指令によりエレベータ15が1ピッチ
送られ、空カセット5における第1スロットが挿入作動
位置にセットされる。そして、第1スロットが挿入作動
位置にセットされると、受渡し装置21により搬送され
て来たNO.1のウエハ1がこの第1スロットに挿入さ
れる。
【0036】次のウエハ1の読取装置40によって読み
取られた識別コード4のウエハコードの番号が「NO.
3」であった場合には、アンローディングステーション
13のコントローラの指令によってエレベータ15がさ
らに2ピッチ送られ、空カセット5における第3スロッ
トが挿入作動位置にセットされる。続いて、受渡し装置
21により搬送されて来たNO.3のウエハ1がこの第
3スロットに挿入される。
取られた識別コード4のウエハコードの番号が「NO.
3」であった場合には、アンローディングステーション
13のコントローラの指令によってエレベータ15がさ
らに2ピッチ送られ、空カセット5における第3スロッ
トが挿入作動位置にセットされる。続いて、受渡し装置
21により搬送されて来たNO.3のウエハ1がこの第
3スロットに挿入される。
【0037】さらに、次のウエハ1のウエハコードの番
号が「NO.2」であった場合、アンローディングステ
ーション13のコントローラの指令によりエレベータ1
5が1ピッチだけ戻されるように送られ、空カセット5
における第2スロットが挿入作動位置にセットされる。
続いて、受渡し装置21により搬送されて来たNO.2
のウエハ1がこの第2スロットに挿入される。
号が「NO.2」であった場合、アンローディングステ
ーション13のコントローラの指令によりエレベータ1
5が1ピッチだけ戻されるように送られ、空カセット5
における第2スロットが挿入作動位置にセットされる。
続いて、受渡し装置21により搬送されて来たNO.2
のウエハ1がこの第2スロットに挿入される。
【0038】以上の作動が繰り返されることにより、ウ
エハ1群はアンローディングステーション13の空カセ
ット5内へ、各ウエハコードによる順番に従ってスロッ
ト番号通りに並べられて収容されることになる。この場
合、第1スロットにはウエハコードNO.1のウエハ
が、第2スロットにはウエハコードNO.2のウエハ
が、第NスロットにはウエハコードNO.nのウエハが
それぞれ挿入されていることになる。しかも、各スロッ
トに収容された各ウエハ1の向きは元の状態になってい
る。
エハ1群はアンローディングステーション13の空カセ
ット5内へ、各ウエハコードによる順番に従ってスロッ
ト番号通りに並べられて収容されることになる。この場
合、第1スロットにはウエハコードNO.1のウエハ
が、第2スロットにはウエハコードNO.2のウエハ
が、第NスロットにはウエハコードNO.nのウエハが
それぞれ挿入されていることになる。しかも、各スロッ
トに収容された各ウエハ1の向きは元の状態になってい
る。
【0039】以上の作用により、識別コード読み取り作
業およびウエハ分類作業が実施されるのであるが、これ
らの作業と同時に、読取装置40の読み取りデータに基
づき、メモリー45においては各ウエハの処理およびウ
エハ来歴ファイル等を作成することができる。
業およびウエハ分類作業が実施されるのであるが、これ
らの作業と同時に、読取装置40の読み取りデータに基
づき、メモリー45においては各ウエハの処理およびウ
エハ来歴ファイル等を作成することができる。
【0040】前記実施形態によれば次の効果が得られ
る。 (1) ウエハの識別コード読取装置の読取ステージに
ウエハを受け渡す受渡し装置自体に読取ステージを設定
するとともに、ウエハの識別コード表示位置を読取ステ
ージの読取エリアに合致させるアライメント機能を設け
ることにより、読取装置および受渡し装置と別に読取ス
テージおよびアライメント装置を付帯させなくて済むた
め、ウエハ識別装置全体としての占有床面積、タクトタ
イムおよび価格を抑制することができる。
る。 (1) ウエハの識別コード読取装置の読取ステージに
ウエハを受け渡す受渡し装置自体に読取ステージを設定
するとともに、ウエハの識別コード表示位置を読取ステ
ージの読取エリアに合致させるアライメント機能を設け
ることにより、読取装置および受渡し装置と別に読取ス
テージおよびアライメント装置を付帯させなくて済むた
め、ウエハ識別装置全体としての占有床面積、タクトタ
イムおよび価格を抑制することができる。
【0041】(2) 旋回軸によって回転される第1ア
ームと、第1アームの自由端部に軸支されて回転される
第2アームと、第2アームの回転中心から離れた位置に
軸支されて回転されるハンドとにより受渡し装置を構成
することにより、直線運動する部分を省略することがで
きるため、ウエハ識別装置全体としての占有床面積、タ
クトタイムおよび価格をより一層抑制することができ
る。
ームと、第1アームの自由端部に軸支されて回転される
第2アームと、第2アームの回転中心から離れた位置に
軸支されて回転されるハンドとにより受渡し装置を構成
することにより、直線運動する部分を省略することがで
きるため、ウエハ識別装置全体としての占有床面積、タ
クトタイムおよび価格をより一層抑制することができ
る。
【0042】(3) 受渡し装置の片脇にウエハ位置検
出装置を設備することにより、受渡し装置がウエハの位
置を認識することができるため、ウエハの識別コード表
示位置を読取ステージの読取エリアに迅速かつ正確に合
致させることができる。
出装置を設備することにより、受渡し装置がウエハの位
置を認識することができるため、ウエハの識別コード表
示位置を読取ステージの読取エリアに迅速かつ正確に合
致させることができる。
【0043】(4) ローディングされたウエハの識別
コードを読み取ってウエハカセットにアンローディング
することができるため、ウエハ群の分類作業や、並べ換
え作業、ロット編成作業、ウエハの抜き取り作業、ウエ
ハの識別コード確認作業等を実施することができる。
コードを読み取ってウエハカセットにアンローディング
することができるため、ウエハ群の分類作業や、並べ換
え作業、ロット編成作業、ウエハの抜き取り作業、ウエ
ハの識別コード確認作業等を実施することができる。
【0044】(5) ウエハの識別コードをメモリーに
記憶することにより、ロットの再分割再合成等の特殊な
作業を実施することができるとともに、各ウエハの来歴
を識別コードを索引として作成することができる。
記憶することにより、ロットの再分割再合成等の特殊な
作業を実施することができるとともに、各ウエハの来歴
を識別コードを索引として作成することができる。
【0045】図8は本発明の他の実施形態であるウエハ
識別装置の要部を示しており、(a)は正面図、(b)
は(a)のb−b線に沿う平面図である。図9はその作
用を説明する説明図である。
識別装置の要部を示しており、(a)は正面図、(b)
は(a)のb−b線に沿う平面図である。図9はその作
用を説明する説明図である。
【0046】本実施形態2が前記実施形態1と異なる点
は、直進形のアーム(以下、直進アームという。)26
Aにハンド29が使用されている点である。すなわち、
第2アームとしての直進アーム26Aの伸長作動によっ
てハンド29がウエハ1の真下に挿入され、ウエハ1を
真空吸着保持する。次いで、直進アーム26Aがさらに
伸長作動されてウエハ位置検出装置50に供給され、ウ
エハ1の中心O1 およびノッチ3が検出される。その
後、直進アーム26Aが短縮作動されることにより、ウ
エハ1の中心O1 が旋回軸24の中心O24に合致され
る。その後は前記実施形態1と同様に、旋回軸24の旋
回によってウエハ1の識別コード4が読取装置40の読
取エリア47に位置合わせされ、識別コード4が読み取
られる。識別コード4を読み取られたウエハ1は旋回軸
24の旋回作動および直進アーム26Aの伸長作動によ
って、所定の位置にアンローディングされる。
は、直進形のアーム(以下、直進アームという。)26
Aにハンド29が使用されている点である。すなわち、
第2アームとしての直進アーム26Aの伸長作動によっ
てハンド29がウエハ1の真下に挿入され、ウエハ1を
真空吸着保持する。次いで、直進アーム26Aがさらに
伸長作動されてウエハ位置検出装置50に供給され、ウ
エハ1の中心O1 およびノッチ3が検出される。その
後、直進アーム26Aが短縮作動されることにより、ウ
エハ1の中心O1 が旋回軸24の中心O24に合致され
る。その後は前記実施形態1と同様に、旋回軸24の旋
回によってウエハ1の識別コード4が読取装置40の読
取エリア47に位置合わせされ、識別コード4が読み取
られる。識別コード4を読み取られたウエハ1は旋回軸
24の旋回作動および直進アーム26Aの伸長作動によ
って、所定の位置にアンローディングされる。
【0047】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0048】例えば、ウエハ分類装置におけるローディ
ングステーションおよびアンローディングステーション
のエレベータを省略して、ウエハ識別装置の受渡し装置
にローディング作業およびアンローディング作業用のエ
レベータを設けてもよい。
ングステーションおよびアンローディングステーション
のエレベータを省略して、ウエハ識別装置の受渡し装置
にローディング作業およびアンローディング作業用のエ
レベータを設けてもよい。
【0049】また、ウエハ分類装置におけるローディン
グステーションおよびアンローディングステーションは
ウエハを置く置き台によってそれぞれ構成してもよい。
さらに、ウエハ分類装置におけるローディングステーシ
ョンおよびアンローディングステーションはそれぞれ1
基ずつ設備するに限らず、それぞれ2基以上設備しても
よい。
グステーションおよびアンローディングステーションは
ウエハを置く置き台によってそれぞれ構成してもよい。
さらに、ウエハ分類装置におけるローディングステーシ
ョンおよびアンローディングステーションはそれぞれ1
基ずつ設備するに限らず、それぞれ2基以上設備しても
よい。
【0050】ウエハ識別装置はウエハ分類装置に使用す
るに限らず、ロット編成装置やウエハ抜き取り装置、ウ
エハ並べ換え装置およびウエハの識別コード確認装置等
に使用することができ、要は、識別コード読み取り前後
のウエハの取り扱いに限定はない。
るに限らず、ロット編成装置やウエハ抜き取り装置、ウ
エハ並べ換え装置およびウエハの識別コード確認装置等
に使用することができ、要は、識別コード読み取り前後
のウエハの取り扱いに限定はない。
【0051】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
の識別技術に適用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、フロッピディスク、ハードデ
ィスク、コンパクトディスク等のデータ記憶媒体や、そ
の他、識別コードが表示された物品全般の識別技術に適
用することができる。
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
の識別技術に適用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、フロッピディスク、ハードデ
ィスク、コンパクトディスク等のデータ記憶媒体や、そ
の他、識別コードが表示された物品全般の識別技術に適
用することができる。
【0052】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
【0053】識別コード読取装置の読取ステージに物品
を受け渡す受渡し装置自体に読取ステージを設定すると
ともに、物品の識別コード表示位置を読取ステージの読
取エリアに合致させるアライメント機能を設けることに
より、読取装置および受渡し装置と別に読取ステージお
よびアライメント装置を付帯させなくて済むため、物品
識別装置全体としての占有床面積、タクトタイムおよび
価格を抑制することができる。
を受け渡す受渡し装置自体に読取ステージを設定すると
ともに、物品の識別コード表示位置を読取ステージの読
取エリアに合致させるアライメント機能を設けることに
より、読取装置および受渡し装置と別に読取ステージお
よびアライメント装置を付帯させなくて済むため、物品
識別装置全体としての占有床面積、タクトタイムおよび
価格を抑制することができる。
【図1】本発明の一実施形態であるウエハ識別装置を備
えたウエハ分類装置を示す一部省略斜視図である。
えたウエハ分類装置を示す一部省略斜視図である。
【図2】その平面図である。
【図3】そのウエハ識別装置を示しており、(a)は正
面図、(b)は(a)のb−b線に沿う平面図である。
面図、(b)は(a)のb−b線に沿う平面図である。
【図4】読み取り作用を説明するための図であり、
(a)は平面図、(b)は正面図である。
(a)は平面図、(b)は正面図である。
【図5】同じく、(a)は平面図、(b)は正面図であ
る。
る。
【図6】ハンドを示しており、(a)は一部省略平面
図、(b)は一部省略正面断面図、(c)はハンド本体
の分解斜視図である。
図、(b)は一部省略正面断面図、(c)はハンド本体
の分解斜視図である。
【図7】背面照明装置を示しており、(a)は一部切断
平面図、(b)は一部切断正面図、(c)は側面図であ
る。
平面図、(b)は一部切断正面図、(c)は側面図であ
る。
【図8】本発明の他の実施形態であるウエハ識別装置の
要部を示しており、(a)は正面図、(b)は(a)の
b−b線に沿う平面図である。
要部を示しており、(a)は正面図、(b)は(a)の
b−b線に沿う平面図である。
【図9】同じく、読み取り作用を説明するための図であ
り、(a)は正面図、(b)は(a)のb−b線に沿う
平面図である。
り、(a)は正面図、(b)は(a)のb−b線に沿う
平面図である。
1…ウエハ(物品)、2…第1主面、3…ノッチ、4…
識別コード、5…カセット、5A…実カセット、11…
ウエハ分類装置、12…ローディングステーション、1
3…アンローディングステーション、14、15…エレ
ベータ、20…ウエハ識別装置(物品識別装置)、21
…受渡し装置、22…XYテーブル、23…ロータリー
アクチュエータ、24…旋回軸、25…第1アーム、2
6…第2アーム、27、28…ベルト伝動装置、29…
ハンド、30…取付ブロック、31…ハンド本体、32
…支持凸部、33…真空吸着口、34…吸引路、35…
読取ステージ、40…識別コード読取装置、41…照明
装置、42…テレビカメラ、43…識別コード認識装
置、44…モニタ、45…メモリー、46…データ処理
装置、47…読取エリア、50…ウエハ位置検出装置
(物品位置検出装置)、51…背面照明装置、52…支
持板、53…LED、54…プリント配線基板、55…
反射板、56…支柱、57…拡散板、58…照明光、5
9…ウエハ位置検出用テレビカメラ、60…ウエハ位置
認識装置、61…モニタ、62…メモリー、26A…直
進アーム。
識別コード、5…カセット、5A…実カセット、11…
ウエハ分類装置、12…ローディングステーション、1
3…アンローディングステーション、14、15…エレ
ベータ、20…ウエハ識別装置(物品識別装置)、21
…受渡し装置、22…XYテーブル、23…ロータリー
アクチュエータ、24…旋回軸、25…第1アーム、2
6…第2アーム、27、28…ベルト伝動装置、29…
ハンド、30…取付ブロック、31…ハンド本体、32
…支持凸部、33…真空吸着口、34…吸引路、35…
読取ステージ、40…識別コード読取装置、41…照明
装置、42…テレビカメラ、43…識別コード認識装
置、44…モニタ、45…メモリー、46…データ処理
装置、47…読取エリア、50…ウエハ位置検出装置
(物品位置検出装置)、51…背面照明装置、52…支
持板、53…LED、54…プリント配線基板、55…
反射板、56…支柱、57…拡散板、58…照明光、5
9…ウエハ位置検出用テレビカメラ、60…ウエハ位置
認識装置、61…モニタ、62…メモリー、26A…直
進アーム。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 清吾 東京都青梅市藤橋3丁目3番地2 日立東 京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 目黒 泰行 東京都青梅市藤橋3丁目3番地2 日立東 京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 野田 肇 東京都青梅市藤橋3丁目3番地2 日立東 京エレクトロニクス株式会社内
Claims (10)
- 【請求項1】 物品に付された識別コードを光学的に読
み取る読取装置と、この読取装置の読取ステージに物品
を受け渡す受渡し装置とを備えており、各物品の識別コ
ードを読み取ることにより物品を識別する物品識別装置
において、 前記受渡し装置の片脇に前記物品の位置を検出する物品
位置検出装置が配設されており、前記受渡し装置は前記
読取装置の読取ステージに配置されているとともに、物
品の識別コードが付された位置を前記読取装置の読取エ
リアに前記物品位置検出装置による物品の位置の検出デ
ータに基づいて合致させるように構成されていることを
特徴とする物品識別装置。 - 【請求項2】 前記物品位置検出装置は、物品を背面側
から照明する照明装置と、物品を正面側から撮像する撮
像装置とを備えていることを特徴とする請求項1に記載
の物品識別装置。 - 【請求項3】 前記背面照明装置は、放射方向外向きに
光を照射する光源と、光源からの光を前記物品の方向に
反射させる反射板とを備えていることを特徴とする請求
項2に記載の物品識別装置。 - 【請求項4】 前記光源が多数個の発光ダイオードが円
周上に配列されて構成されていることを特徴とする請求
項3に記載の物品識別装置。 - 【請求項5】 前記反射板の物品側端部には、反射光を
全面に拡散させる拡散板が被せ付けられていることを特
徴とする請求項3または4に記載の物品識別装置。 - 【請求項6】 前記撮像装置は、前記照明装置によって
照明された物品を撮像して物品の外形から物品の位置を
認識するように構成されていることを特徴とする請求項
2、3、4または5に記載の物品識別装置。 - 【請求項7】 前記受渡し装置は、旋回軸によって旋回
される第1アームと、第1アームの自由端部に軸支され
て回転される第2アームと、第2アームの回転中心から
離れた位置に軸支されて回転されるハンドとを備えてお
り、前記ハンドが透明材料によって形成されていること
を特徴とする請求項2、3、4、5または6に記載の物
品識別装置。 - 【請求項8】 前記受渡し装置は、旋回軸によって旋回
される第1アームと、第1アームに摺動自在に支持され
て往復運動される第2アームと、第2アームに支持され
たハンドとを備えており、前記ハンドが透明材料によっ
て形成されていることを特徴とする請求項2、3、4、
5または6に記載の物品識別装置。 - 【請求項9】 前記ハンドは工業用サファイアによって
形成されていることを特徴とする請求項7または8に記
載の物品識別装置。 - 【請求項10】 前記ハンドは二股のフォーク形状の薄
板形状に形成されており、その二股の先端部における上
面には一対の支持凸部がそれぞれ突設されていることを
特徴とする請求項7、8または9に記載の物品識別装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22067897A JPH1154585A (ja) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | 物品識別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22067897A JPH1154585A (ja) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | 物品識別装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1154585A true JPH1154585A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16754759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22067897A Pending JPH1154585A (ja) | 1997-08-01 | 1997-08-01 | 物品識別装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1154585A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005045033A (ja) * | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウエーハの加工装置 |
JP2006190817A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Rohm Co Ltd | 基板移送装置及び基板移送方法 |
JP2018137366A (ja) * | 2017-02-22 | 2018-08-30 | 不二越機械工業株式会社 | ウェーハid読取り装置 |
WO2019207633A1 (ja) * | 2018-04-24 | 2019-10-31 | ディスコ ハイテック ヨーロッパ ゲーエムベーハー | アライメント装置及びアライメント方法 |
-
1997
- 1997-08-01 JP JP22067897A patent/JPH1154585A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005045033A (ja) * | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウエーハの加工装置 |
JP2006190817A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Rohm Co Ltd | 基板移送装置及び基板移送方法 |
JP2018137366A (ja) * | 2017-02-22 | 2018-08-30 | 不二越機械工業株式会社 | ウェーハid読取り装置 |
WO2019207633A1 (ja) * | 2018-04-24 | 2019-10-31 | ディスコ ハイテック ヨーロッパ ゲーエムベーハー | アライメント装置及びアライメント方法 |
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