JPH0963027A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH0963027A JPH0963027A JP24257795A JP24257795A JPH0963027A JP H0963027 A JPH0963027 A JP H0963027A JP 24257795 A JP24257795 A JP 24257795A JP 24257795 A JP24257795 A JP 24257795A JP H0963027 A JPH0963027 A JP H0963027A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- magnetic head
- slider
- abs
- diamond
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- Pending
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 スライダのＡＢＳ面と記録媒体記録面との摩
擦係数の増大を防止する。 【解決手段】 磁気ヘッド２０は、スライダ２２がＡｌ
2 Ｏ3 −Ｔｉ系セラミック等で作られている。スライダ
２２のＡＢＳ面２４は、平滑な表面を有するレール形状
に形成され、その空気流入側にはテーパ部２６が形成さ
れ、空気流出側には保護膜２８中に薄膜磁気ヘッド素子
３０が構成されている。薄膜磁気ヘッド素子３０のポー
ル先端面３２は保護膜２８の表面に露出し、ＡＢＳ面２
４と同一平面上に構成されている。ＡＢＳ面２４には、
平滑な表面を有するＤＬＣ薄膜３４が一様に成膜されて
いる。
擦係数の増大を防止する。 【解決手段】 磁気ヘッド２０は、スライダ２２がＡｌ
2 Ｏ3 −Ｔｉ系セラミック等で作られている。スライダ
２２のＡＢＳ面２４は、平滑な表面を有するレール形状
に形成され、その空気流入側にはテーパ部２６が形成さ
れ、空気流出側には保護膜２８中に薄膜磁気ヘッド素子
３０が構成されている。薄膜磁気ヘッド素子３０のポー
ル先端面３２は保護膜２８の表面に露出し、ＡＢＳ面２
４と同一平面上に構成されている。ＡＢＳ面２４には、
平滑な表面を有するＤＬＣ薄膜３４が一様に成膜されて
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、磁気ディスク装
置等に用いられる浮上型磁気ヘッドに関し、ＡＢＳ（Ai
r Bearing Surface ）面すなわち記録媒体に対向する浮
上面と記録媒体との摩擦係数の増大を防止したものであ
る。
置等に用いられる浮上型磁気ヘッドに関し、ＡＢＳ（Ai
r Bearing Surface ）面すなわち記録媒体に対向する浮
上面と記録媒体との摩擦係数の増大を防止したものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスク・ドライブ装置等に用い
られる浮上型磁気ヘッドは、図２に示すように、スライ
ダ１８の後部に薄膜磁気ヘッド素子１６を具えている。
また、記録媒体１０との対向面１４がＡＢＳ面すなわち
浮揚面として構成され、通常の使用時は、記録媒体１０
の回転移動による空気力学的特性により、スライダ１８
は浮上している。しかし、停止中は、記録媒体１０の記
録面１０ａとＡＢＳ面１４は接触している。この停止と
始動の時には、記録媒体記録面１０ａとＡＢＳ面１４は
摺動する。この停止、始動、停止、………の繰り返しを
ＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）と呼んでい
る。
られる浮上型磁気ヘッドは、図２に示すように、スライ
ダ１８の後部に薄膜磁気ヘッド素子１６を具えている。
また、記録媒体１０との対向面１４がＡＢＳ面すなわち
浮揚面として構成され、通常の使用時は、記録媒体１０
の回転移動による空気力学的特性により、スライダ１８
は浮上している。しかし、停止中は、記録媒体１０の記
録面１０ａとＡＢＳ面１４は接触している。この停止と
始動の時には、記録媒体記録面１０ａとＡＢＳ面１４は
摺動する。この停止、始動、停止、………の繰り返しを
ＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）と呼んでい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＣＳＳにおいて、ＡＢ
Ｓ面１４と記録媒体記録面１０ａの摺動が何度も繰り返
されると、始動時のＡＢＳ面１４と記録媒体記録面１０
ａとの摩擦係数がしだいに上昇し、著しい場合には、記
録媒体１０を回転するモータのトルク不足により、ドラ
イブ装置が始動し難くなりあるいは全く始動しなくな
り、場合によっては、記録媒体１０あるいは磁気ヘッド
１１の損傷によるクラッシュ破損の原因となることがあ
った。
Ｓ面１４と記録媒体記録面１０ａの摺動が何度も繰り返
されると、始動時のＡＢＳ面１４と記録媒体記録面１０
ａとの摩擦係数がしだいに上昇し、著しい場合には、記
録媒体１０を回転するモータのトルク不足により、ドラ
イブ装置が始動し難くなりあるいは全く始動しなくな
り、場合によっては、記録媒体１０あるいは磁気ヘッド
１１の損傷によるクラッシュ破損の原因となることがあ
った。
【０００４】この発明は、上述の点に鑑みてなされたも
ので、ＣＳＳによるＡＢＳ面と記録媒体記録面との摩擦
係数の増大を抑えることができ、これにより、使用開始
当初のスムースな始動特性を長期間にわたって維持でき
るようにした浮上型の磁気ヘッドを提供しようとするも
のである。
ので、ＣＳＳによるＡＢＳ面と記録媒体記録面との摩擦
係数の増大を抑えることができ、これにより、使用開始
当初のスムースな始動特性を長期間にわたって維持でき
るようにした浮上型の磁気ヘッドを提供しようとするも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
スライダのＡＢＳ面にダイヤモンドライクカーボン薄膜
が成膜されてなるものである。請求項２記載の発明は、
前記ダイヤモンドライクカーボン薄膜が、カーボンソー
スをプラズマ放電中で成膜してアモルファス化したダイ
ヤモンドライクカーボン薄膜であることを特徴とするも
のである。
スライダのＡＢＳ面にダイヤモンドライクカーボン薄膜
が成膜されてなるものである。請求項２記載の発明は、
前記ダイヤモンドライクカーボン薄膜が、カーボンソー
スをプラズマ放電中で成膜してアモルファス化したダイ
ヤモンドライクカーボン薄膜であることを特徴とするも
のである。
【０００６】請求項３記載の発明は、前記ダイヤモンド
ライクカーボン薄膜の膜厚が２０〜１００オングストロ
ームであることを特徴とするものである。請求項４記載
の発明は、前記スライダの基板と前記ダイヤモンドライ
クカーボン薄膜との間に、ＳｉまたはＳｉＣ膜が成膜さ
れてなるものである。
ライクカーボン薄膜の膜厚が２０〜１００オングストロ
ームであることを特徴とするものである。請求項４記載
の発明は、前記スライダの基板と前記ダイヤモンドライ
クカーボン薄膜との間に、ＳｉまたはＳｉＣ膜が成膜さ
れてなるものである。
【０００７】請求項１記載の発明によれば、スライダの
ＡＢＳ面に摩耗特性に優れたダイヤモンドライクカーボ
ン（ダイヤモンド状カーボン、以下、「ＤＬＣ」とい
う。）薄膜を成膜したので、ＣＳＳを何度も繰り返して
も摩擦係数の増加はわずかであり、使用開始当初のスム
ースな始動特性を長期間にわたって維持することができ
る。
ＡＢＳ面に摩耗特性に優れたダイヤモンドライクカーボ
ン（ダイヤモンド状カーボン、以下、「ＤＬＣ」とい
う。）薄膜を成膜したので、ＣＳＳを何度も繰り返して
も摩擦係数の増加はわずかであり、使用開始当初のスム
ースな始動特性を長期間にわたって維持することができ
る。
【０００８】請求項２記載の発明によれば、メタン、ベ
ンゼン等のカーボンソースをプラズマ放電中で成膜する
ことにより、アモルファス化したＤＬＣ薄膜が得られ、
耐摩耗性に優れたＡＢＳ面が得られる。
ンゼン等のカーボンソースをプラズマ放電中で成膜する
ことにより、アモルファス化したＤＬＣ薄膜が得られ、
耐摩耗性に優れたＡＢＳ面が得られる。
【０００９】請求項３記載の発明によれば、ＤＬＣ薄膜
の膜厚を２０オングストローム以上とすることにより、
１０万回以上のＣＳＳに耐えることができ、また１００
オングストローム以下とすることにより、記録媒体記録
面と磁気ヘッド素子のポール先端面との間の距離の増大
による磁気ヘッドの書込み特性、読み出し特性の劣化を
防止することができる。
の膜厚を２０オングストローム以上とすることにより、
１０万回以上のＣＳＳに耐えることができ、また１００
オングストローム以下とすることにより、記録媒体記録
面と磁気ヘッド素子のポール先端面との間の距離の増大
による磁気ヘッドの書込み特性、読み出し特性の劣化を
防止することができる。
【００１０】請求項４記載の発明によれば、スライダの
基板とＤＬＣ薄膜との間にＳｉまたはＳｉＣ膜を成膜し
たので、ＤＬＣ薄膜の密着力を向上させて、ＤＬＣ薄膜
の剥離を防止することができる。
基板とＤＬＣ薄膜との間にＳｉまたはＳｉＣ膜を成膜し
たので、ＤＬＣ薄膜の密着力を向上させて、ＤＬＣ薄膜
の剥離を防止することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１に示
す。（ａ）はスライダをＡＢＳ面側から見た斜視図、
（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ′矢視断面図である。磁気ヘッ
ド２０は、スライダ２２がＡｌ2 Ｏ3 −Ｔｉ系セラミッ
ク等で作られている。スライダ２２のＡＢＳ面２４は、
平滑な表面を有するレール形状に形成され、その空気流
入側にはテーパ部２６が形成され、空気流出側には保護
膜２８中に薄膜磁気ヘッド素子３０が構成されている。
薄膜磁気ヘッド素子３０のポール先端面３２は保護膜２
８の表面に露出し、ＡＢＳ面２４と同一平面上に構成さ
れている。
す。（ａ）はスライダをＡＢＳ面側から見た斜視図、
（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ′矢視断面図である。磁気ヘッ
ド２０は、スライダ２２がＡｌ2 Ｏ3 −Ｔｉ系セラミッ
ク等で作られている。スライダ２２のＡＢＳ面２４は、
平滑な表面を有するレール形状に形成され、その空気流
入側にはテーパ部２６が形成され、空気流出側には保護
膜２８中に薄膜磁気ヘッド素子３０が構成されている。
薄膜磁気ヘッド素子３０のポール先端面３２は保護膜２
８の表面に露出し、ＡＢＳ面２４と同一平面上に構成さ
れている。
【００１２】ＡＢＳ面２４には、平滑な表面を有するＤ
ＬＣ薄膜３４が一様に成膜されている。ＤＬＣ薄膜３４
は、例えばメタン、ベンゼンなどのカーボンソースをプ
ラズマ放電中で成膜することにより、アモルファス化し
たＤＬＣ薄膜として成膜することができる。
ＬＣ薄膜３４が一様に成膜されている。ＤＬＣ薄膜３４
は、例えばメタン、ベンゼンなどのカーボンソースをプ
ラズマ放電中で成膜することにより、アモルファス化し
たＤＬＣ薄膜として成膜することができる。
【００１３】ＤＬＣ薄膜３４の成膜方法の一例を説明す
る。図３はＤＬＣ薄膜の成膜装置の一例を示すものであ
る。真空槽４２の中には、フィラメント４４およびカソ
ード４６を内包した放電室４８が設けられている。放電
室４８の上部開口部には金属メッシュ５０が配置され、
その上方にスライダ基板５２（例えば、個々のスライダ
２２に切断する前のローの状態のもの）がＡＢＳ面を下
方に向けて配置されている。
る。図３はＤＬＣ薄膜の成膜装置の一例を示すものであ
る。真空槽４２の中には、フィラメント４４およびカソ
ード４６を内包した放電室４８が設けられている。放電
室４８の上部開口部には金属メッシュ５０が配置され、
その上方にスライダ基板５２（例えば、個々のスライダ
２２に切断する前のローの状態のもの）がＡＢＳ面を下
方に向けて配置されている。
【００１４】放電室４８の中でベンゼン、トルエン、キ
シレンあるいはメタンなどのカーボンソースを気化さ
せ、加熱したフィラメント４４から出る熱電子とカソー
ド４６との間で放電させる。この時発生するカルボニル
イオン（＋）は加速電位によって金属メッシュ５０に引
き寄せられる。この時、加速されたカルボニルイオンの
一部は、スライダ基板５２のＡＢＳ面に衝突し、電子と
の中和反応によりカーボンが再析出する。このカーボン
は、条件によってＤＬＣになったりグラファイトになっ
たりする。ダイヤモンド比率を高くするには、加速電位
を大きくするとよいが、スライダの摺動性能テストの結
果は、必ずしもＤＬＣ比率が高いものほどよいとは限ら
ず、幾分ダイヤモンド比率を低下させた方がよい結果が
得られた。
シレンあるいはメタンなどのカーボンソースを気化さ
せ、加熱したフィラメント４４から出る熱電子とカソー
ド４６との間で放電させる。この時発生するカルボニル
イオン（＋）は加速電位によって金属メッシュ５０に引
き寄せられる。この時、加速されたカルボニルイオンの
一部は、スライダ基板５２のＡＢＳ面に衝突し、電子と
の中和反応によりカーボンが再析出する。このカーボン
は、条件によってＤＬＣになったりグラファイトになっ
たりする。ダイヤモンド比率を高くするには、加速電位
を大きくするとよいが、スライダの摺動性能テストの結
果は、必ずしもＤＬＣ比率が高いものほどよいとは限ら
ず、幾分ダイヤモンド比率を低下させた方がよい結果が
得られた。
【００１５】具体的には、加速電圧が１０００〜１２０
０Ｖで成膜したとき最もよい結果が得られた。また、カ
ーボンソースとしては、ベンゼン、トルエンを使用した
場合がメタンを使用した場合に比べて十分な硬さが得ら
れ、良好な摺動特性が得られた。
０Ｖで成膜したとき最もよい結果が得られた。また、カ
ーボンソースとしては、ベンゼン、トルエンを使用した
場合がメタンを使用した場合に比べて十分な硬さが得ら
れ、良好な摺動特性が得られた。
【００１６】図１の磁気ヘッド２０についてＣＳＳテス
トを行なった結果を図４に示す。これによれば、ＤＬＣ
薄膜３４を７０オングストローム成膜したスライダは図
４（ａ）に示すように、摩擦係数が０．４前後であり、
ＣＳＳを繰り返しても摩擦係数の増加はわずかであり、
１０万回のＣＳＳでも摩擦係数は０．５程度であった。
トを行なった結果を図４に示す。これによれば、ＤＬＣ
薄膜３４を７０オングストローム成膜したスライダは図
４（ａ）に示すように、摩擦係数が０．４前後であり、
ＣＳＳを繰り返しても摩擦係数の増加はわずかであり、
１０万回のＣＳＳでも摩擦係数は０．５程度であった。
【００１７】一方、ＤＬＣ薄膜３４を成膜していない同
一形状のスライダのＣＳＳテストでは、図４（ｂ）に示
すように、摩擦係数がＣＳＳの回数とともに徐々に上昇
し、１３８１回で摩擦係数は１．０を越えた。このよう
な状態になると磁気ディスクを回転するモータのトルク
が不足して、回転する迄に数秒かかるようになった。更
にＣＳＳを繰り返すと、完全にモータは回らなくなっ
た。
一形状のスライダのＣＳＳテストでは、図４（ｂ）に示
すように、摩擦係数がＣＳＳの回数とともに徐々に上昇
し、１３８１回で摩擦係数は１．０を越えた。このよう
な状態になると磁気ディスクを回転するモータのトルク
が不足して、回転する迄に数秒かかるようになった。更
にＣＳＳを繰り返すと、完全にモータは回らなくなっ
た。
【００１８】ところで、ＤＬＣ薄膜３４の膜厚は１０万
回までのＣＳＳテスト結果では、最低２０オングストロ
ーム以上あればよいことがわかった。これ以下の膜厚で
は急激に摩擦係数の増加が起こるようになった。また、
ＤＬＣ薄膜３４の膜厚がスライダ浮上量の２０％を超え
ると、スライダ浮上時の磁気ディスク記録面と薄膜磁気
ヘッド素子３０との間隔増大によって、薄膜磁気ヘッド
素子３０の電磁気特性（書込み特性、読出し特性）の劣
化が起こってくることがわかった。そして、近年ではス
ライダ浮上量を５００オングストローム程度に設定する
ことが多い。したがって、ＤＬＣ薄膜３４の膜厚は２０
〜１００オングストロームにするのが最適である。
回までのＣＳＳテスト結果では、最低２０オングストロ
ーム以上あればよいことがわかった。これ以下の膜厚で
は急激に摩擦係数の増加が起こるようになった。また、
ＤＬＣ薄膜３４の膜厚がスライダ浮上量の２０％を超え
ると、スライダ浮上時の磁気ディスク記録面と薄膜磁気
ヘッド素子３０との間隔増大によって、薄膜磁気ヘッド
素子３０の電磁気特性（書込み特性、読出し特性）の劣
化が起こってくることがわかった。そして、近年ではス
ライダ浮上量を５００オングストローム程度に設定する
ことが多い。したがって、ＤＬＣ薄膜３４の膜厚は２０
〜１００オングストロームにするのが最適である。
【００１９】また、図５は、ＤＬＣ薄膜３４を５０オン
グストローム成膜したスライダをＣＳＳテストしたサン
プルで時たま発生するＣＳＳ−摩擦係数のカーブで、約
４万回のＣＳＳで一時的に摩擦係数がわずかにピークを
生じている。このような現象は、サンプルをテストする
と、１０〜３０％の確率で起こることがわかった。詳細
にこのようなサンプルスライダを調査したところ、図６
に示すように、ＤＬＣ薄膜３４の一部に剥離を生じてい
ることがわかった。ＤＬＣ薄膜３４の剥離は摺動力の特
に集中する場所で起こり易い。
グストローム成膜したスライダをＣＳＳテストしたサン
プルで時たま発生するＣＳＳ−摩擦係数のカーブで、約
４万回のＣＳＳで一時的に摩擦係数がわずかにピークを
生じている。このような現象は、サンプルをテストする
と、１０〜３０％の確率で起こることがわかった。詳細
にこのようなサンプルスライダを調査したところ、図６
に示すように、ＤＬＣ薄膜３４の一部に剥離を生じてい
ることがわかった。ＤＬＣ薄膜３４の剥離は摺動力の特
に集中する場所で起こり易い。
【００２０】このような事故を防ぐためにはＤＬＣ薄膜
３４の密着力を向上させることが有効である。そこで、
図７に示すように、Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ製等のスライダ
２２のＡＢＳ面２４にＳｉあるいはＳｉＣ膜４０を１０
〜５０オングストローム程度スパッタリングで成膜し、
その上に例えばメタン、ベンゼンなどのカーボンソース
をプラズマ放電中で成膜する方法でＤＬＣ薄膜３４を成
膜したところ、ＤＬＣ薄膜３４の剥離が皆無となること
がわかった。
３４の密着力を向上させることが有効である。そこで、
図７に示すように、Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ製等のスライダ
２２のＡＢＳ面２４にＳｉあるいはＳｉＣ膜４０を１０
〜５０オングストローム程度スパッタリングで成膜し、
その上に例えばメタン、ベンゼンなどのカーボンソース
をプラズマ放電中で成膜する方法でＤＬＣ薄膜３４を成
膜したところ、ＤＬＣ薄膜３４の剥離が皆無となること
がわかった。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によれば、スライダのＡＢＳ面に摩耗特性に優れたダ
イヤモンドライクカーボン薄膜を成膜したので、ＣＳＳ
を何度も繰り返しても摩擦係数の増加はわずかであり、
使用開始当初のスムースな始動特性を長期間にわたって
維持することができる。
明によれば、スライダのＡＢＳ面に摩耗特性に優れたダ
イヤモンドライクカーボン薄膜を成膜したので、ＣＳＳ
を何度も繰り返しても摩擦係数の増加はわずかであり、
使用開始当初のスムースな始動特性を長期間にわたって
維持することができる。
【００２２】請求項２記載の発明によれば、メタン、ベ
ンゼン等のカーボンソースをプラズマ放電中で成膜する
ことにより、アモルファス化したＤＬＣ薄膜が得られ、
耐摩耗性に優れたＡＢＳ面が得られる。
ンゼン等のカーボンソースをプラズマ放電中で成膜する
ことにより、アモルファス化したＤＬＣ薄膜が得られ、
耐摩耗性に優れたＡＢＳ面が得られる。
【００２３】請求項３記載の発明によれば、ＤＬＣ薄膜
の膜厚を２０オングストローム以上とすることにより、
１０万回以上のＣＳＳに耐えることができ、また２００
オングストローム以下とすることにより、記録媒体記録
面と磁気ヘッド素子のポール先端面との間の距離の増大
による磁気ヘッドの書込み特性、読出し特性の劣化を防
止することができる。
の膜厚を２０オングストローム以上とすることにより、
１０万回以上のＣＳＳに耐えることができ、また２００
オングストローム以下とすることにより、記録媒体記録
面と磁気ヘッド素子のポール先端面との間の距離の増大
による磁気ヘッドの書込み特性、読出し特性の劣化を防
止することができる。
【００２４】請求項４記載の発明によれば、スライダの
基板とＤＬＣ薄膜との間にＳｉまたはＳｉＣ膜を成膜し
たので、ＤＬＣ薄膜の密着力を向上させて、ＤＬＣ薄膜
の剥離を防止することができる。
基板とＤＬＣ薄膜との間にＳｉまたはＳｉＣ膜を成膜し
たので、ＤＬＣ薄膜の密着力を向上させて、ＤＬＣ薄膜
の剥離を防止することができる。
【図１】 この発明の実施の形態を示す斜視図およびＸ
−Ｘ′矢視断面図である。
−Ｘ′矢視断面図である。
【図２】 浮上型磁気ヘッドの動作説明図である。
【図３】 ＡＢＳ面にＤＬＣ薄膜を成膜する成膜装置の
一例を示す模式図である。
一例を示す模式図である。
【図４】 図１の磁気ヘッドとＤＬＣ薄膜を成膜してい
ない磁気ヘッドのＣＳＳテスト結果を示す図である。
ない磁気ヘッドのＣＳＳテスト結果を示す図である。
【図５】 図１の磁気ヘッドのＣＳＳテストで時たま生
じるピークが発生した状態を示す図である。
じるピークが発生した状態を示す図である。
【図６】 ＤＬＣ薄膜の一部が剥離した状態を示す斜視
図である。
図である。
【図７】 図５のピークの発生を防止したこの発明の他
の実施例を示す断面図である。
の実施例を示す断面図である。
２０ 磁気ヘッド ２２ スライダ ２４ ＡＢＳ面 ３０ 薄膜磁気ヘッド素子 ３４ ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）薄膜 ４０ ＳｉまたはＳｉＣ膜
Claims (4)
- 【請求項１】スライダのＡＢＳ面にダイヤモンドライク
カーボン薄膜が成膜されてなる磁気ヘッド。 - 【請求項２】前記ダイヤモンドライクカーボン薄膜が、
カーボンソースをプラズマ放電中で成膜してアモルファ
ス化したダイヤモンドライクカーボン薄膜である請求項
１記載の磁気ヘッド。 - 【請求項３】前記ダイヤモンドライクカーボン薄膜の膜
厚が２０〜１００オングストロームである請求項１また
は２記載の磁気ヘッド。 - 【請求項４】前記スライダの基板と前記ダイヤモンドラ
イクカーボン薄膜との間に、ＳｉまたはＳｉＣ膜が成膜
されてなる請求項１〜３のいずれかに記載の磁気ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24257795A JPH0963027A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24257795A JPH0963027A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963027A true JPH0963027A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=17091142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24257795A Pending JPH0963027A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0963027A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6470565B1 (en) | 2000-02-22 | 2002-10-29 | Tdk Corporation | Method of manufacturing slider of thin-film magnetic head |
| US6731464B2 (en) | 2002-01-10 | 2004-05-04 | Headway Technologies, Inc. | Slider of thin-film magnetic head |
| US6882505B2 (en) | 2001-12-11 | 2005-04-19 | Headway Technologies, Inc. | Slider of thin-film magnetic head and method of manufacturing same |
| US6882503B2 (en) | 2002-01-29 | 2005-04-19 | Headway Technologies, Inc. | Thin-film magnetic head and method of manufacturing same, and slider of thin-film magnetic head and method of manufacturing same |
| US6934124B2 (en) | 2001-11-19 | 2005-08-23 | Headway Technologies, Inc. | Rotating recording medium and slider of thin-film magnetic head device |
| US6958888B2 (en) | 2001-10-05 | 2005-10-25 | Headway Technologies, Inc. | Slider of thin-film magnetic head and method of manufacturing same |
| US7269889B2 (en) | 2001-09-11 | 2007-09-18 | Tdk Corporation | Method of manufacturing a magnetic head |
| CN100350456C (zh) * | 2000-02-22 | 2007-11-21 | Tdk株式会社 | 薄膜磁头用滑动器的制造方法 |
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| CN102286767A (zh) * | 2011-06-24 | 2011-12-21 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种镁合金生物植入材料表面的复合涂层及其制备方法 |
-
1995
- 1995-08-28 JP JP24257795A patent/JPH0963027A/ja active Pending
Cited By (18)
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