JPH0961451A - 加速度センサの支持構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 外的加速度が無いときに発生する不規則な振
動を抑制することができる、加速度センサの支持構造を
提供する。 【解決手段】 加速度センサ１０は、長さ方向に振動す
る振動子１２含む。振動子１２は、たとえば短冊状の振
動体１４を含み、振動体１４の両主面には、圧電素子１
６ａ〜１６ｄが形成される。振動子１２の長手方向にお
ける一端部およびノード部分近傍は、支持部材２４で支
持される。支持部材２４の水平支持板２６および垂直支
持板３６には、それぞれ、切欠き部２８，３０および３
８，４０が設けられる。振動子１２の長手方向における
他端側である自由端部には、重り４６が取り付けられ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は加速度センサの支
持構造に関し、特にたとえば、移動体の受ける外的加速
度を検知するもので、加速度から移動速度を計算して、
移動体の軌跡を地図上に表示するナビゲーションなどの
運転支援システムに応用できる、加速度センサの支持構
造に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は従来の加速度センサの支持構造の
一例を示す斜視図である。この加速度センサ１は、長さ
方向に振動する振動子２を含む。振動子２は、たとえば
短冊状の振動体３を含む。振動体３の長手方向における
中央から一端側の部分の両主面には、２つの圧電素子４
ａおよび４ｂが対向するように形成される。同様に、振
動体３の長手方向における中央から他端側の部分の両主
面にも、２つの圧電素子４ｃおよび４ｄが対向するよう
に形成される。これらの圧電素子４ａ〜４ｄは、それぞ
れ、圧電体層を含み、圧電体層の両主面には、電極がそ
れぞれ形成される。そして、圧電体層の一方の主面上の
電極が振動体３の主面に接着される。また、圧電素子４
ａおよび４ｂの圧電体層は、それぞれ、外側から振動体
３側に厚み方向に分極されている。逆に、圧電素子４ｃ
および４ｄの圧電体層は、それぞれ、振動体３側から外
側に厚み方向に分極されている。

【０００３】振動子２の長手方向における一端側には、
２つの支持部材５が形成される。これらの支持部材５
は、振動子２の一端側を支持するためのものである。２
つの支持部材５は、振動体３の長手方向における一端側
のノード部分および端部から幅方向に延びて振動体３と
一体的に形成される。この場合、支持部材５は、短冊状
の水平支持部６ａを含む。水平支持部６ａは、その幅方
向の一端側でかつその長さ方向の両端から延びる２つの
結合部６ｂで振動体３と接続される。また、水平支持部
６ａの幅方向の他端側には、その端部から下に垂直に延
びる垂直支持部６ｃが形成される。

【０００４】さらに、振動子２の長手方向における他端
側には、細い接続部材６を介して、取付部材７が形成さ
れる。この場合、接続部材６および取付部材７は、振動
体３の長手方向における他端側の端部から延びて振動体
３と一体的に形成される。そして、取付部材７の両主面
には、溶接あるいははんだ付けによって、重り８が取り
付けられる。この重り８は、加速度による振動子２の撓
みを大きくするためのものである。

【０００５】この加速度センサ１では、支持部材５を固
定することによって振動子２の一端側を支持するととも
に、４つの圧電素子４ａ〜４ｂに同位相の駆動信号を印
加すれば、振動体２が長さ方向に振動する。この場合、
圧電素子４ａおよび４ｂと、圧電素子４ｃおよび４ｄと
は、互いに逆方向に分極されているので、互いに逆方向
に変位する。そのため、振動体３の長手方向における中
央から一端側の部分が伸びるときには、振動体３の長手
方向における中央から他端側の部分が縮む。逆に、振動
体３の長手方向における中央から一端側の部分が縮むと
きには、振動体３の長手方向における中央から他端側の
部分が伸びる。また、この場合、振動体３の長手方向に
おける中央から一端側の部分の伸縮量と、振動体３の長
手方向における中央から他端側の部分の伸縮量とが相殺
されるので、振動体３の長手方向における両端間の距離
がほとんど変化しない。さらに、この場合、振動体３
は、圧電素子４ａおよび４ｂ間の中央部分と圧電素子４
ｃおよび４ｄ間の中央部分とをノード部分として振動す
る。また、振動体３は、その長手方向における両端部分
を腹として振動する。

【０００６】そして、振動子２の振動体３にその主面に
直交する方向に加速度を加えると、その加速度に応じて
振動体３が圧電素子４ａ〜４ｄとともに撓み、その撓み
に応じた電圧が圧電素子４ａ〜４ｄに発生する。そのた
め、圧電素子４ａ〜４ｄに発生する電圧のいずれかを測
定することによって、加速度を検出することができる。
すなわち、この加速度センサ１は、片持ち梁り構造の振
動子２の先端に重り９を付けたもので、常時は長さ方向
に縦振動している。そして、この加速度センサ１に外的
加速度が加わると、屈曲振動が励振され、振動子２の両
面に配置した圧電素子に発生する出力電圧に差異が生じ
ることを利用している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この加
速度センサ１では、たとえば温度変化などにより支持部
材５に不規則な振動によるドリフトが発生し、振動子２
の振動が不安定になる恐れがあった。

【０００８】図６は、図５に示す加速度センサ１と同様
に、支持部材５に切欠き部が設けられていない従来の他
の加速度センサの振動状態をたとえば有限要素法により
解析して視覚的にわかりやすくした図解図である。な
お、図６において、図５に示した加速度センサと同じ符
号を付した部材は、同じ機能を有するものである。この
従来の加速度センサ１に加速度が加わった場合、振動子
２の長さ方向の振動に対して、結合部６ｂ，６ｂは長さ
方向に大きく変位する。振動子２のノード部Ｎは長さ方
向には変位せず、幅方向に小さい変位を起こす。そのた
め、水平支持部６ａが大きく波打って、支持部材５が不
規則に振動する。これが誘因となり振動子２の振動が不
安定になるので、出力電圧が変動し正確に加速度を検出
することができず、Ｑ_m も低下する。

【０００９】すなわち、振動子２の振動が不安定になる
と、加速度センサ１に加速度が加わっていない状態で
も、振動子２が撓んで出力電圧が発生する。そのため、
正確に加速度を検出することができず、誤動作の原因と
なる。このような従来の加速度センサ１をたとえば移動
体の速度検出などに用いた場合、ドリフト電圧が発生し
て、その誤差が蓄積されることになり、それを補正する
回路等が必要となる。

【００１０】それゆえに、この発明の主たる目的は、外
的加速度が無いときに発生する不規則な振動を抑制する
ことができる、加速度センサの支持構造を提供すること
である。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、振動子と振動子を支持するための支持部材とを含む
加速度センサの支持構造であって、支持部材に切欠き部
が形成されたことを特徴とする、加速度センサの支持構
造である。

【００１２】請求項２に記載の発明は、長さ方向に振動
する振動子を含む片持ち梁構造の加速度センサであっ
て、振動子は、板状の振動体と振動体の両主面に形成さ
れる圧電素子とを含み、さらに、支持部材は、振動体と
並行に配置される水平支持板と、振動体の一端部および
振動体の一端側のノード部近傍に形成され、振動体と水
平支持板とを接続する結合部と、水平支持板の端部から
垂直に延びる垂直支持板とを含み、切欠き部は、水平支
持板に形成される、請求項１に記載の加速度センサの支
持構造である。

【００１３】請求項３に記載の発明は、切欠き部が水平
支持板の端部から振動体の長さ方向と同方向に延びて形
成される、請求項２に記載の加速度センサの支持構造で
ある。

【００１４】請求項４に記載の発明は、切欠き部が水平
支持板の幅方向の端部に形成される、請求項２に記載の
加速度センサの支持構造である。

【００１５】請求項５に記載の発明は、切欠き部がさら
に前記垂直支持板に形成される、請求項２ないし４のい
ずれかに記載の加速度センサの支持構造である。

【００１６】

【作用】請求項１〜５に記載の発明では、切欠き部は、
ドリフトの原因となる支持部材の不規則な振動を抑制
し、それに基づくドリフト電圧を抑制する。そのため、
振動子の振動が安定し、機械的品質係数Ｑ_m が向上す
る。

【００１７】

【発明の効果】請求項１〜５に記載の発明によれば、ド
リフトの原因になる支持部材の不規則な振動を抑制する
ことができる。この場合、請求項５に記載の発明によれ
ば、垂直支持板にも切欠き部が形成されるので、より一
層、支持部材の不規則な振動を抑制することができる。
そのため、振動子の振動が安定し、Ｑ_m が向上する。し
たがって、外的加速度が無いときに発生する不規則な振
動に基づくドリフト電圧を抑制することができる、加速
度センサの支持構造が得られる。

【００１８】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１はこの発明の実施の形態の一
例を示す斜視図であり、図２はその側面図である。この
発明の実施の形態例では、長さ方向に縦振動し、２つの
ノード部分を有する振動子を含む片持ち梁構造の加速度
センサについて説明する。

【００２０】この加速度センサ１０は、長さ方向に縦振
動する振動子１２を含む。振動子１２は、たとえば短冊
状の振動体１４を含む。振動体１４は、たとえば、ニッ
ケル，鉄，クロム，チタン、あるいはそれらの合金たと
えばエリンバ，鉄−ニッケル合金などの恒弾性金属材料
で形成される。なお、振動体１４は、たとえば、石英，
ガラス，水晶，セラミックなどのように一般的に機械的
な振動を生じる金属以外の材料で形成されてもよい。

【００２１】振動体１４の長さ方向における中央から一
端側の部分の両主面には、２つの圧電素子１６ａおよび
１６ｂが対向するように形成される。一方の圧電素子１
６ａは、たとえばセラミックからなる圧電体層１８ａを
含み、圧電体層１８ａの両主面には、電極２０ａおよび
２２ａがそれぞれ形成される。そして、電極２０ａが、
振動体１４の一方の主面にたとえば接着剤で接着され
る。同様に、他方の圧電素子１６ｂは、たとえばセラミ
ックからなる圧電体層１８ｂを含み、圧電体層１８ｂの
両主面には、電極２０ｂおよび２２ｂがそれぞれ形成さ
れる。そして、電極２０ｂが、振動体１４の他方の主面
にたとえば接着剤で接着される。また、これらの圧電素
子１６ａおよび１６ｂの圧電体層１８ａおよび１８ｂ
は、電極２２ａおよび２２ｂから電極２０ａおよび２０
ｂに向かって、すなわち外側から振動体１４側に向かっ
て厚み方向に分極されている。

【００２２】さらに、振動体１４の長さ方向における中
央から他端側の部分の両主面には、２つの圧電素子１６
ｃおよび１６ｄが対向するように形成される。一方の圧
電素子１６ｃは、たとえばセラミックからなる圧電体層
１８ｃを含み、圧電体層１８ｃの両主面には、電極２０
ｃおよび２２ｃがそれぞれ形成される。そして、電極２
０ｃが、振動体１４の一方の主面にたとえば接着剤で接
着される。同様に、他方の圧電素子１６ｄは、たとえば
セラミックからなる圧電体層１８ｄを含み、圧電体層１
８ｄの両主面には、電極２０ｄおよび２２ｄがそれぞれ
形成される。そして、電極２０ｄが、振動体１４の他方
の主面にたとえば接着剤で接着される。また、これらの
圧電素子１６ｃおよび１６ｄの圧電体層１８ｃおよび１
８ｄは、電極２０ｃおよび２０ｄから電極２２ｃおよび
２２ｄに向けて、すなわち振動体１４側から外側に向か
って厚み方向に分極されている。

【００２３】この発明の実施の形態の実施例では、圧電
体層１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄは、たとえばチタ
ン酸ジルコン酸鉛を主成分とするセラミックスで形成さ
れる。また、電極２０ａ，２２ａ，２０ｂ，２２ｂ，２
０ｃ，２２ｃ，２０ｄ，２２ｄは、たとえば銀ペイント
を焼結したものを長さ１１．５ｍｍ，幅３．０ｍｍ，厚
み０．２ｍｍの大きさに切断し、それをエポキシ樹脂か
らなる接着剤などで圧電体層１８ａ〜１８ｄの表面およ
び裏面にそれぞれ接着することにより形成される。

【００２４】この振動子１２は、圧電素子１６ａ〜１６
ｄに同位相の駆動信号を印加すれば、長さ方向に縦振動
する。この場合、圧電素子１６ａおよび１６ｂと、圧電
素子１６ｃおよび１６ｄとは、互いに逆方向に分極され
ているので、互いに逆方向に変位する。そのため、図２
の実線の矢印で示すように、振動体１４の長さ方向にお
ける中央から一端側の部分が伸びるときには、振動体１
４の長さ方向における中央から他端側の部分が縮む。逆
に、図２に１点鎖線の矢印で示すように、振動体１４の
長さ方向における中央から一端側の部分が縮むときに
は、振動体１４の長さ方向における中央から他端側の部
分が伸びる。また、この場合、振動体１４の長さ方向に
おける中央から一端側の部分の伸縮量と、振動体１４の
長さ方向における中央から他端側の部分の伸縮量とが相
殺されるので、振動体１４の長さ方向における両端間の
距離がほとんど変化しない。さらに、この場合、振動体
１４は、圧電素子１６ａおよび１６ｂ間の中央部分と圧
電素子１６ｃおよび１６ｄ間の中央部分とをノード部分
として振動する。また、振動体１４は、その長さ方向に
おける両端部分を腹として振動する。

【００２５】この振動子１２の長さ方向における一端側
には、２つの支持部材２４が形成される。２つの支持部
材２４は、振動体１４の長さ方向における一端側のノー
ド部分および端部から幅方向に延びて振動体１４と一体
的に形成される。これらの支持部材２４は、振動子１２
の一端側の部分を支持するためのものである。すなわ
ち、支持部材２４は、振動体１４と間隔を隔てて平行に
配置されるたとえば短冊状の水平支持板２６を含む。水
平支持板２６には、その長さ方向の一端および他端から
水平支持板２６の長さ方向に延びて、それぞれ、切欠き
部２８および３０が形成される。切欠き部２８および３
０は、たとえば平面略Ｕ字状に形成され、水平支持板２
６の長さ方向の一端および他端でかつその幅方向の中央
から、水平支持板２６の長さ方向に延びて形成される。
つまり、切欠き部２８および３０は、振動体１４の長さ
方向と並行して形成される。

【００２６】この水平支持板２６は、２つの結合部３２
および３４で振動体１４と接続される。結合部３４は、
振動体１４のノード部分近傍の両側に配置される。この
場合、ノード部は、振動体１４の縦振動の節となり、振
動体１４の長さ方向の端部からおおむね振動体１４の全
長の１／４の長さの位置にある。水平支持板２６は、振
動体１４の長さ方向における一端側のノード部分および
端部から幅方向に延びて結合部３２および３４で接続さ
れる。２つの結合部３２および３４は、それぞれ、水平
支持板２６の幅方向の一端でかつその長さ方向の一端部
および他端部に接続される。２つの結合部３２および３
４は、振動体１４と一体的に形成される。

【００２７】さらに、水平支持板２６の幅方向の他端に
は、垂直支持板３６が形成される。垂直支持板３６は、
水平支持板２６の幅方向の他端から下に垂直に延びて形
成される。この垂直支持板３６には、その長さ方向の一
端および他端でかつその幅方向の中央部に、たとえば平
面略Ｕ字状の切欠き部３８および４０がそれぞれ形成さ
れる。これらの切欠き部３８および４０は、垂直支持板
３６の幅方向に延びて形成される。つまり、切欠き部３
８および４０は、それぞれ、振動体１４の主面と直交す
る方向に並行して形成される。なお、２つの支持部材２
４は、たとえばガラス−エポキシ系プラスチックからな
るプリント基板（図示せず）などに固着される。この場
合、たとえば半田付けなどで垂直支持板３６がプリント
基板に固着される。

【００２８】この発明の実施の形態の実施例では、振動
体１４がたとえば長さ２３ｍｍ，幅２ｍｍ，厚み０．２
ｍｍの大きさに形成され、結合部３２，３４が幅０．２
ｍｍ，長さ１ｍｍ，厚み０．２ｍｍの大きさに形成され
る。また、水平支持板２６は、たとえば幅２ｍｍ，長さ
５．８ｍｍ，厚み０．２ｍｍの大きさに形成され、垂直
支持板３６は、たとえば高さ４．５ｍｍ，長さ５．８ｍ
ｍ，厚み０．２ｍｍの大きさに形成される。さらに、振
動体１４の長さ方向の他端側の自由端部に設けられる重
り４６，４６は、それぞれ、その重さがたとえば０．６
ｇのものが用いられる。

【００２９】また、振動体１４と支持部材２４とは、た
とえばＦｅ−Ｎｉ合金（４２Ｎｉ）からなる板材に、フ
ォトリソグラフィなどによるエッチングを施すことよっ
て形成される。この場合、振動体１４と結合部３２，３
２および３４，３４とは同一平面に形成されるが、垂直
支持板３６は水平支持板２６の幅方向の一端部を垂直に
折り曲げることにより形成される。なお、エッチング液
としてはたとえば塩化第二鉄が用いられ、レジストとし
てはたとえばポリビニールアルコール系のものが用いら
れる。

【００３０】さらに、切欠き部２８，３０および３８，
４０は、それぞれ、たとえば幅０．２ｍｍ，長さ１．０
ｍｍ，厚み０．２ｍｍの大きさに形成される。なお、切
欠き部２８，３０および３８，４０の長さをたとえば
２．０ｍｍ以上に形成すると、振動子１２が水平支持板
３６に屈曲振動を誘発させ、支持部材２４に不規則な振
動を発生させるので、却って振動子１２の振動が不安定
になる。

【００３１】一方、振動子１２の長さ方向における他端
側には、たとえば略コ字形の細い接続部材４２を介し
て、帯状の取付部材４４が形成される。この場合、接続
部材４２および取付部材４４は、振動体１４の長さ方向
における他端側の端部から延びて振動体１４と一体的に
形成される。そして、取付部材４４の両主面には、溶接
あるいははんだ付けによって、重り４６が取り付けられ
る。この重り４６は、加速度による振動子１２の撓みを
大きくするためのものである。

【００３２】この加速度センサ１０では、２つの支持部
材２４を固定することによって振動子１２の一端側を支
持するとともに、４つの圧電素子１６ａ〜１６ｄに同位
相の駆動信号を印加すれば、振動子１２は、図２の実線
の矢印および１点鎖線の矢印で示すように、長さ方向に
振動する。すなわち、この振動子１２の振動モードとし
ては、長さ方向縦振動となる。

【００３３】そして、振動子１２の振動体１４にその主
面に直交する方向に加速度を加えると、その加速度に応
じて振動体１４が圧電素子１６ａ〜１６ｄとともに撓
み、その撓みに応じた電圧が圧電素子１６ａ〜１６ｄに
発生する。そのため、圧電素子１６ａ〜１６ｄに発生す
る電圧のいずれかを測定することによって、加速度を検
出することができる。

【００３４】この加速度センサ１０では、振動体１４の
一端部と振動体１４の一端側のノード部分近傍とを結合
部３２および３４を介して結合しているため、振動子１
２が長さ方向に振動することにより、支持部材２４の水
平支持板２６が波打つように振動するが、水平支持板２
６に形成された切欠き部２８および３０によって、その
水平支持板２６の振動が抑制される。そのため、水平支
持板２６の振動による変位が緩和され、支持部材２４の
不規則な振動が抑制される。この場合、垂直支持板３６
にも切欠き部３８および４０が形成されているため、よ
り一層、支持部材２４の不規則な振動が抑制される。す
なわち、切欠き部２８，３０，３８，４０によって、支
持部材２４の不要振動が開放され、除外される。

【００３５】そのため、この加速度センサ１０では、支
持部材２４の不規則な振動で誘発される振動子１２の不
規則な振動が抑制され、振動子１２の振動が安定する。
つまり、振動子１２のＱ_m が向上する。したがって、こ
の加速度センサ１０では、圧電素子１６ａ〜１６ｄに発
生する出力電圧の変動を防止することができ、温度ドリ
フトなどによる誤動作などを防止することができる。

【００３６】図３および図４は、図１および図２に示す
加速度センサと同様に、支持部材に切欠き部を設けた他
の加速度センサの振動状態をたとえば有限要素法により
解析して視覚的にわかりやすくした図解図である。この
場合、図３は支持部材の水平支持板に切欠き部を設けた
場合の振動状態を示す図解図であり、図４は支持部材の
水平支持板および垂直支持板に切欠き部を設けた場合の
図解図である。なお、図３および図４において、図１お
よび図２に示した加速度センサと同じ符号を付した部材
は、それぞれ同じ機能を有するものである。

【００３７】支持部材２４の水平支持板２６だけに切欠
き部２８，３０を設けた加速度センサ１０では、図３に
示すように、振動子１２の一端部と振動子１２の一端側
のノード部分近傍とを結合部３２および３４を介して結
合しているため、振動子１２が長さ方向に振動すること
により、支持部材２４の水平支持板２６が波打つように
振動するが、水平支持板２６に形成された切欠き部２８
および３０によって、その水平支持板２６の振動が抑制
されている。さらに、垂直支持板３６に切欠き部３８，
４０を設けた加速度センサ１０では、図４に示すよう
に、図３に示す加速度センサ１０と比べて、一層、支持
部材２４の不要振動が抑制されている。すなわち、支持
部材に切欠き部を形成した加速度センサでは、支持部材
の不規則な振動が抑制され、振動子の振動が安定する。
つまり、振動子のＱ_m も向上する。そのため、不要な振
動による出力電圧の変動を防止して、正確に加速度を検
出することができる。

【００３８】上述の各実施例では、切欠き部２８，３０
が支持部材２４の水平支持板２６の長さ方向の両端か
ら、水平支持板２６の長さ方向に延びて形成されたが、
この切欠き部２８，３０は水平支持板２６の幅方向に延
びるように形成してもよい。また、切欠き部２８，３０
は、水平支持板２６の幅方向の端部から、その長さ方向
あるいは幅方向に延びるように形成してもよい。

【００３９】なお、上述の各実施例では、振動体１４お
よび支持部材２４をたとえばＦｅ−Ｎｉ合金で形成した
が、これらの部材は、たとえばＮｉ−Ｓｐａｎ−Ｃ（商
品名）等の恒弾性鋼やインバー等の板材で形成してもよ
い。この場合、板の厚みは、たとえば０．１〜１．０ｍ
ｍが望ましい。また、支持部材２４に設けられる切欠き
部２８，３０，３８，４０の大きさは、振動体１４の材
質や形状によって最適条件が異なるので、振動体１４の
形状や大きさが異なれば、たとえば有限要素法等の手法
により設定するとよい。

【００４０】また、上述の各実施例では、圧電素子１６
ａおよび１６ｂに発生する電圧の差や圧電素子１６ｃお
よび１６ｄに発生する電圧の差を検出することによって
も、加速度を検出することができる。さらに、上述の各
実施例において、１以上の圧電素子の圧電体層の分極方
向を逆にするとともに、分極方向を逆にした圧電素子に
印加する駆動信号の位相を逆にしてもよい。なお、上述
の各実施例において、振動子を長さ方向に縦振動してい
るのは、常時振動子が縦振動していると、加速度０付近
に不感帯がなく、微小加速度が検出できるからであり、
振動子に加速度を加えた場合に振動子が大きく撓み、加
速度を検出する感度がよくなるからである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態の一例を示す斜視図であ
る。

【図２】図１に示す加速度センサの側面図である。

【図３】支持部材の水平支持板に切欠き部を設けた他の
加速度センサに加速度が加わったときの振動子および支
持部材の変位状態を有限要素法により解析して視覚的に
わかりやすくした図解図である。

【図４】支持部材の水平振動板および垂直振動板の両側
に切欠き部を設けたさらに他の加速度センサに加速度が
加わったときの振動子および支持部材の変位状態を有限
要素法により解析して視覚的にわかりやすくした図解図
である。

【図５】従来の加速度センサの一例を示す斜視図であ
る。

【図６】支持部材に切欠き部が設けられていない他の従
来の加速度センサに加速度が加わったときの振動子およ
び支持部材の変位状態を有限要素法により解析して視覚
的にわかりやすくした図解図である。

【符号の説明】

１０ 加速度センサ １２ 振動子 １４ 振動体 １６ａ〜１６ｄ 圧電素子 １８ａ〜１８ｄ 圧電体層 ２０ａ〜２０ｄ，２２ａ〜２２ｄ 電極 ２４ 支持部材 ２６ 水平支持板 ２８，３０，３８，４０ 切欠き部 ３２，３４ 結合部 ３６ 垂直支持板 ４２ 接続部材 ４４ 取付部材 ４６ 重り

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動子および前記振動子を支持するため
   の支持部材を含む加速度センサの支持構造であって、 前記支持部材に切欠き部が形成されたことを特徴とす
   る、加速度センサの支持構造。
2. 【請求項２】 長さ方向に振動する振動子を含む片持ち
   梁構造の加速度センサであって、 前記振動子は、板状の振動体および前記振動体の両主面
   に形成される圧電素子を含み、さらに、 前記支持部材は、前記振動体と並行に配置される水平支
   持板と、前記振動体の一端部および前記振動体の一端側
   のノード部近傍に形成され、前記振動体と前記水平支持
   板とを接続する結合部と、前記水平支持板の端部から垂
   直に延びる垂直支持板とを含み、 前記切欠き部は、前記水平支持板に形成される、請求項
   １に記載の加速度センサの支持構造。
3. 【請求項３】 前記切欠き部は、前記水平支持板の端部
   から前記振動体の長さ方向と同方向に延びて形成され
   る、請求項２に記載の加速度センサの支持構造。
4. 【請求項４】 前記切欠き部は、前記水平支持板の幅方
   向の端部に形成される、請求項２に記載の加速度センサ
   の支持構造。
5. 【請求項５】 前記切欠き部は、さらに前記垂直支持板
   に形成される、請求項２ないし４のいずれかに記載の加
   速度センサの支持構造。