JPH0961451A - Support structure of acceleration sensor - Google Patents
Support structure of acceleration sensorInfo
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- JPH0961451A JPH0961451A JP24056095A JP24056095A JPH0961451A JP H0961451 A JPH0961451 A JP H0961451A JP 24056095 A JP24056095 A JP 24056095A JP 24056095 A JP24056095 A JP 24056095A JP H0961451 A JPH0961451 A JP H0961451A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は加速度センサの支
持構造に関し、特にたとえば、移動体の受ける外的加速
度を検知するもので、加速度から移動速度を計算して、
移動体の軌跡を地図上に表示するナビゲーションなどの
運転支援システムに応用できる、加速度センサの支持構
造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a support structure for an acceleration sensor, and more particularly, for detecting an external acceleration received by a moving body.
The present invention relates to a support structure for an acceleration sensor that can be applied to a driving support system such as navigation that displays the trajectory of a moving body on a map.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５は従来の加速度センサの支持構造の
一例を示す斜視図である。この加速度センサ１は、長さ
方向に振動する振動子２を含む。振動子２は、たとえば
短冊状の振動体３を含む。振動体３の長手方向における
中央から一端側の部分の両主面には、２つの圧電素子４
ａおよび４ｂが対向するように形成される。同様に、振
動体３の長手方向における中央から他端側の部分の両主
面にも、２つの圧電素子４ｃおよび４ｄが対向するよう
に形成される。これらの圧電素子４ａ〜４ｄは、それぞ
れ、圧電体層を含み、圧電体層の両主面には、電極がそ
れぞれ形成される。そして、圧電体層の一方の主面上の
電極が振動体３の主面に接着される。また、圧電素子４
ａおよび４ｂの圧電体層は、それぞれ、外側から振動体
３側に厚み方向に分極されている。逆に、圧電素子４ｃ
および４ｄの圧電体層は、それぞれ、振動体３側から外
側に厚み方向に分極されている。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a perspective view showing an example of a conventional support structure for an acceleration sensor. The acceleration sensor 1 includes a vibrator 2 that vibrates in the length direction. The vibrator 2 includes, for example, a strip-shaped vibrator 3. Two piezoelectric elements 4 are provided on both main surfaces of the vibrating body 3 from the center to one end side in the longitudinal direction.
It is formed so that a and 4b face each other. Similarly, two piezoelectric elements 4c and 4d are formed so as to face each other on both main surfaces of the portion from the center to the other end in the longitudinal direction of the vibrating body 3. Each of these piezoelectric elements 4a to 4d includes a piezoelectric layer, and electrodes are formed on both main surfaces of the piezoelectric layer. Then, the electrode on one main surface of the piezoelectric layer is bonded to the main surface of the vibrating body 3. In addition, the piezoelectric element 4
The piezoelectric layers a and 4b are polarized in the thickness direction from the outside to the vibrating body 3 side. On the contrary, the piezoelectric element 4c
The piezoelectric layers 4 and 4d are polarized in the thickness direction from the vibrating body 3 side to the outside.
【０００３】振動子２の長手方向における一端側には、
２つの支持部材５が形成される。これらの支持部材５
は、振動子２の一端側を支持するためのものである。２
つの支持部材５は、振動体３の長手方向における一端側
のノード部分および端部から幅方向に延びて振動体３と
一体的に形成される。この場合、支持部材５は、短冊状
の水平支持部６ａを含む。水平支持部６ａは、その幅方
向の一端側でかつその長さ方向の両端から延びる２つの
結合部６ｂで振動体３と接続される。また、水平支持部
６ａの幅方向の他端側には、その端部から下に垂直に延
びる垂直支持部６ｃが形成される。On one end side of the vibrator 2 in the longitudinal direction,
Two support members 5 are formed. These support members 5
Is for supporting one end side of the vibrator 2. Two
One support member 5 extends in the width direction from a node portion and an end portion on one end side in the longitudinal direction of the vibrating body 3 and is integrally formed with the vibrating body 3. In this case, the support member 5 includes a strip-shaped horizontal support portion 6a. The horizontal support portion 6a is connected to the vibrating body 3 by two coupling portions 6b extending from one end in the width direction and both ends in the length direction. Further, on the other end side in the width direction of the horizontal support portion 6a, a vertical support portion 6c extending vertically downward from the end portion is formed.
【０００４】さらに、振動子２の長手方向における他端
側には、細い接続部材６を介して、取付部材７が形成さ
れる。この場合、接続部材６および取付部材７は、振動
体３の長手方向における他端側の端部から延びて振動体
３と一体的に形成される。そして、取付部材７の両主面
には、溶接あるいははんだ付けによって、重り８が取り
付けられる。この重り８は、加速度による振動子２の撓
みを大きくするためのものである。Further, a mounting member 7 is formed on the other end side of the vibrator 2 in the longitudinal direction via a thin connecting member 6. In this case, the connecting member 6 and the mounting member 7 are formed integrally with the vibrating body 3 by extending from the end portion on the other end side in the longitudinal direction of the vibrating body 3. Then, the weights 8 are attached to both main surfaces of the attachment member 7 by welding or soldering. The weight 8 is for increasing the deflection of the vibrator 2 due to acceleration.
【０００５】この加速度センサ１では、支持部材５を固
定することによって振動子２の一端側を支持するととも
に、４つの圧電素子４ａ〜４ｂに同位相の駆動信号を印
加すれば、振動体２が長さ方向に振動する。この場合、
圧電素子４ａおよび４ｂと、圧電素子４ｃおよび４ｄと
は、互いに逆方向に分極されているので、互いに逆方向
に変位する。そのため、振動体３の長手方向における中
央から一端側の部分が伸びるときには、振動体３の長手
方向における中央から他端側の部分が縮む。逆に、振動
体３の長手方向における中央から一端側の部分が縮むと
きには、振動体３の長手方向における中央から他端側の
部分が伸びる。また、この場合、振動体３の長手方向に
おける中央から一端側の部分の伸縮量と、振動体３の長
手方向における中央から他端側の部分の伸縮量とが相殺
されるので、振動体３の長手方向における両端間の距離
がほとんど変化しない。さらに、この場合、振動体３
は、圧電素子４ａおよび４ｂ間の中央部分と圧電素子４
ｃおよび４ｄ間の中央部分とをノード部分として振動す
る。また、振動体３は、その長手方向における両端部分
を腹として振動する。In this acceleration sensor 1, by virtue of fixing the support member 5 to support one end of the vibrator 2, and by applying drive signals of the same phase to the four piezoelectric elements 4a-4b, the vibrating body 2 will be generated. It vibrates in the length direction. in this case,
Since the piezoelectric elements 4a and 4b and the piezoelectric elements 4c and 4d are polarized in opposite directions, they are displaced in opposite directions. Therefore, when the portion on the one end side from the center in the longitudinal direction of the vibrating body 3 extends, the portion on the other end side from the center in the longitudinal direction of the vibrating body 3 contracts. Conversely, when the portion of the vibrating body 3 on the one end side from the center in the longitudinal direction contracts, the portion of the vibrating body 3 on the other end side extends from the center in the longitudinal direction. Further, in this case, the amount of expansion and contraction of the portion on the one end side from the center in the longitudinal direction of the vibrating body 3 and the amount of expansion and contraction of the portion on the other end side from the center in the longitudinal direction of the vibrating body 3 cancel each other out. The distance between both ends in the longitudinal direction hardly changes. Further, in this case, the vibrating body 3
Is the central portion between the piezoelectric elements 4a and 4b and the piezoelectric element 4
The central part between c and 4d vibrates as a node part. Further, the vibrating body 3 vibrates with both ends in the longitudinal direction as antinodes.
【０００６】そして、振動子２の振動体３にその主面に
直交する方向に加速度を加えると、その加速度に応じて
振動体３が圧電素子４ａ〜４ｄとともに撓み、その撓み
に応じた電圧が圧電素子４ａ〜４ｄに発生する。そのた
め、圧電素子４ａ〜４ｄに発生する電圧のいずれかを測
定することによって、加速度を検出することができる。
すなわち、この加速度センサ１は、片持ち梁り構造の振
動子２の先端に重り９を付けたもので、常時は長さ方向
に縦振動している。そして、この加速度センサ１に外的
加速度が加わると、屈曲振動が励振され、振動子２の両
面に配置した圧電素子に発生する出力電圧に差異が生じ
ることを利用している。When acceleration is applied to the vibrating body 3 of the vibrator 2 in a direction orthogonal to its main surface, the vibrating body 3 bends together with the piezoelectric elements 4a to 4d according to the acceleration, and a voltage corresponding to the bending is generated. It is generated in the piezoelectric elements 4a to 4d. Therefore, the acceleration can be detected by measuring any of the voltages generated in the piezoelectric elements 4a to 4d.
That is, this acceleration sensor 1 is a vibrator 2 having a cantilever structure with a weight 9 attached to the tip thereof, and is always vertically vibrating in the longitudinal direction. It is utilized that when external acceleration is applied to the acceleration sensor 1, flexural vibration is excited and a difference occurs in the output voltage generated in the piezoelectric elements arranged on both sides of the vibrator 2.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この加
速度センサ１では、たとえば温度変化などにより支持部
材５に不規則な振動によるドリフトが発生し、振動子２
の振動が不安定になる恐れがあった。However, in this acceleration sensor 1, a drift due to irregular vibration occurs in the support member 5 due to, for example, a temperature change, and the vibrator 2
Could cause unstable vibration.
【０００８】図６は、図５に示す加速度センサ１と同様
に、支持部材５に切欠き部が設けられていない従来の他
の加速度センサの振動状態をたとえば有限要素法により
解析して視覚的にわかりやすくした図解図である。な
お、図６において、図５に示した加速度センサと同じ符
号を付した部材は、同じ機能を有するものである。この
従来の加速度センサ１に加速度が加わった場合、振動子
２の長さ方向の振動に対して、結合部６ｂ，６ｂは長さ
方向に大きく変位する。振動子２のノード部Ｎは長さ方
向には変位せず、幅方向に小さい変位を起こす。そのた
め、水平支持部６ａが大きく波打って、支持部材５が不
規則に振動する。これが誘因となり振動子２の振動が不
安定になるので、出力電圧が変動し正確に加速度を検出
することができず、Ｑm も低下する。FIG. 6 is a view similar to the acceleration sensor 1 shown in FIG. 5, in which the vibration state of another conventional acceleration sensor in which a notch portion is not provided in the supporting member 5 is analyzed by, for example, the finite element method and is visually determined. It is an illustration that is easy to understand. Note that, in FIG. 6, members designated by the same reference numerals as those of the acceleration sensor shown in FIG. 5 have the same functions. When acceleration is applied to the conventional acceleration sensor 1, the coupling portions 6b and 6b are largely displaced in the length direction with respect to the vibration of the vibrator 2 in the length direction. The node portion N of the vibrator 2 does not displace in the length direction, but causes a small displacement in the width direction. Therefore, the horizontal support portion 6a is largely undulated and the support member 5 vibrates irregularly. This causes the vibration of the vibrator 2 to be unstable, so that the output voltage fluctuates, the acceleration cannot be detected accurately, and Q m also decreases.
【０００９】すなわち、振動子２の振動が不安定になる
と、加速度センサ１に加速度が加わっていない状態で
も、振動子２が撓んで出力電圧が発生する。そのため、
正確に加速度を検出することができず、誤動作の原因と
なる。このような従来の加速度センサ１をたとえば移動
体の速度検出などに用いた場合、ドリフト電圧が発生し
て、その誤差が蓄積されることになり、それを補正する
回路等が必要となる。That is, when the vibration of the vibrator 2 becomes unstable, the vibrator 2 bends and an output voltage is generated even when acceleration is not applied to the acceleration sensor 1. for that reason,
Acceleration cannot be detected accurately, resulting in malfunction. When such a conventional acceleration sensor 1 is used for detecting the speed of a moving body, for example, a drift voltage is generated and the error is accumulated, and a circuit or the like for correcting the drift voltage is required.
【００１０】それゆえに、この発明の主たる目的は、外
的加速度が無いときに発生する不規則な振動を抑制する
ことができる、加速度センサの支持構造を提供すること
である。Therefore, a main object of the present invention is to provide a support structure for an acceleration sensor capable of suppressing irregular vibration that occurs when there is no external acceleration.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、振動子と振動子を支持するための支持部材とを含む
加速度センサの支持構造であって、支持部材に切欠き部
が形成されたことを特徴とする、加速度センサの支持構
造である。According to a first aspect of the present invention, there is provided a support structure for an acceleration sensor including a vibrator and a support member for supporting the vibrator, wherein a notch portion is formed in the support member. This is a support structure for an acceleration sensor.
【００１２】請求項２に記載の発明は、長さ方向に振動
する振動子を含む片持ち梁構造の加速度センサであっ
て、振動子は、板状の振動体と振動体の両主面に形成さ
れる圧電素子とを含み、さらに、支持部材は、振動体と
並行に配置される水平支持板と、振動体の一端部および
振動体の一端側のノード部近傍に形成され、振動体と水
平支持板とを接続する結合部と、水平支持板の端部から
垂直に延びる垂直支持板とを含み、切欠き部は、水平支
持板に形成される、請求項１に記載の加速度センサの支
持構造である。According to a second aspect of the present invention, there is provided an acceleration sensor having a cantilever structure including a vibrator vibrating in a length direction, wherein the vibrator is provided on both the plate-shaped vibrating body and both main surfaces of the vibrating body. Further, the support member includes a horizontal support plate arranged in parallel with the vibrating body, and a vibrating body formed near one end portion of the vibrating body and a node portion on one end side of the vibrating body. The acceleration sensor according to claim 1, further comprising a coupling portion connecting the horizontal support plate and a vertical support plate extending vertically from an end of the horizontal support plate, wherein the notch is formed in the horizontal support plate. It is a support structure.
【００１３】請求項３に記載の発明は、切欠き部が水平
支持板の端部から振動体の長さ方向と同方向に延びて形
成される、請求項２に記載の加速度センサの支持構造で
ある。According to a third aspect of the present invention, the notch portion is formed by extending from the end of the horizontal support plate in the same direction as the length direction of the vibrating body. Is.
【００１４】請求項４に記載の発明は、切欠き部が水平
支持板の幅方向の端部に形成される、請求項２に記載の
加速度センサの支持構造である。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the acceleration sensor support structure according to the second aspect, wherein the notch is formed at the end of the horizontal support plate in the width direction.
【００１５】請求項５に記載の発明は、切欠き部がさら
に前記垂直支持板に形成される、請求項２ないし４のい
ずれかに記載の加速度センサの支持構造である。The invention according to claim 5 is the support structure for an acceleration sensor according to any one of claims 2 to 4, wherein a notch is further formed in the vertical support plate.
【００１６】[0016]
【作用】請求項１〜５に記載の発明では、切欠き部は、
ドリフトの原因となる支持部材の不規則な振動を抑制
し、それに基づくドリフト電圧を抑制する。そのため、
振動子の振動が安定し、機械的品質係数Ｑm が向上す
る。In the invention described in claims 1 to 5, the notch portion is
The irregular vibration of the support member that causes the drift is suppressed, and the drift voltage based on the vibration is suppressed. for that reason,
Vibration of the oscillator is stabilized, and the mechanical quality factor Q m is improved.
【００１７】[0017]
【発明の効果】請求項１〜５に記載の発明によれば、ド
リフトの原因になる支持部材の不規則な振動を抑制する
ことができる。この場合、請求項５に記載の発明によれ
ば、垂直支持板にも切欠き部が形成されるので、より一
層、支持部材の不規則な振動を抑制することができる。
そのため、振動子の振動が安定し、Ｑm が向上する。し
たがって、外的加速度が無いときに発生する不規則な振
動に基づくドリフト電圧を抑制することができる、加速
度センサの支持構造が得られる。According to the invention described in claims 1 to 5, it is possible to suppress the irregular vibration of the support member which causes the drift. In this case, according to the invention as set forth in claim 5, since the notch is also formed in the vertical support plate, the irregular vibration of the support member can be further suppressed.
Therefore, the vibration of the vibrator is stabilized and Q m is improved. Therefore, it is possible to obtain the support structure of the acceleration sensor that can suppress the drift voltage based on the irregular vibration that occurs when there is no external acceleration.
【００１８】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments of the present invention with reference to the drawings.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】図１はこの発明の実施の形態の一
例を示す斜視図であり、図２はその側面図である。この
発明の実施の形態例では、長さ方向に縦振動し、２つの
ノード部分を有する振動子を含む片持ち梁構造の加速度
センサについて説明する。1 is a perspective view showing an example of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view thereof. In the embodiment of the present invention, an acceleration sensor having a cantilever structure, which vertically vibrates in the longitudinal direction and includes a vibrator having two node portions, will be described.
【００２０】この加速度センサ１０は、長さ方向に縦振
動する振動子１２を含む。振動子１２は、たとえば短冊
状の振動体１４を含む。振動体１４は、たとえば、ニッ
ケル，鉄，クロム，チタン、あるいはそれらの合金たと
えばエリンバ，鉄−ニッケル合金などの恒弾性金属材料
で形成される。なお、振動体１４は、たとえば、石英，
ガラス，水晶，セラミックなどのように一般的に機械的
な振動を生じる金属以外の材料で形成されてもよい。The acceleration sensor 10 includes a vibrator 12 that vertically vibrates in the length direction. The vibrator 12 includes, for example, a strip-shaped vibrator 14. The vibrating body 14 is formed of a constant elastic metal material such as nickel, iron, chromium, titanium, or an alloy thereof such as elinvar or an iron-nickel alloy. The vibrating body 14 is made of, for example, quartz,
It may be formed of a material other than a metal that generally causes mechanical vibration, such as glass, crystal, or ceramic.
【００２１】振動体１４の長さ方向における中央から一
端側の部分の両主面には、２つの圧電素子１６ａおよび
１６ｂが対向するように形成される。一方の圧電素子１
６ａは、たとえばセラミックからなる圧電体層１８ａを
含み、圧電体層１８ａの両主面には、電極２０ａおよび
２２ａがそれぞれ形成される。そして、電極２０ａが、
振動体１４の一方の主面にたとえば接着剤で接着され
る。同様に、他方の圧電素子１６ｂは、たとえばセラミ
ックからなる圧電体層１８ｂを含み、圧電体層１８ｂの
両主面には、電極２０ｂおよび２２ｂがそれぞれ形成さ
れる。そして、電極２０ｂが、振動体１４の他方の主面
にたとえば接着剤で接着される。また、これらの圧電素
子１６ａおよび１６ｂの圧電体層１８ａおよび１８ｂ
は、電極２２ａおよび２２ｂから電極２０ａおよび２０
ｂに向かって、すなわち外側から振動体１４側に向かっ
て厚み方向に分極されている。Two piezoelectric elements 16a and 16b are formed so as to face each other on both main surfaces of a portion from the center to one end side in the length direction of the vibrating body 14. One piezoelectric element 1
6a includes a piezoelectric layer 18a made of, for example, ceramic, and electrodes 20a and 22a are formed on both main surfaces of the piezoelectric layer 18a, respectively. And the electrode 20a is
It is bonded to one main surface of the vibrating body 14 with an adhesive, for example. Similarly, the other piezoelectric element 16b includes a piezoelectric layer 18b made of, for example, ceramic, and electrodes 20b and 22b are formed on both main surfaces of the piezoelectric layer 18b, respectively. Then, the electrode 20b is bonded to the other main surface of the vibrating body 14 with, for example, an adhesive. Further, the piezoelectric layers 18a and 18b of the piezoelectric elements 16a and 16b are also included.
From electrodes 22a and 22b to electrodes 20a and 20
It is polarized in the thickness direction toward b, that is, from the outside toward the vibrating body 14 side.
【００２２】さらに、振動体１４の長さ方向における中
央から他端側の部分の両主面には、２つの圧電素子１６
ｃおよび１６ｄが対向するように形成される。一方の圧
電素子１６ｃは、たとえばセラミックからなる圧電体層
１８ｃを含み、圧電体層１８ｃの両主面には、電極２０
ｃおよび２２ｃがそれぞれ形成される。そして、電極２
０ｃが、振動体１４の一方の主面にたとえば接着剤で接
着される。同様に、他方の圧電素子１６ｄは、たとえば
セラミックからなる圧電体層１８ｄを含み、圧電体層１
８ｄの両主面には、電極２０ｄおよび２２ｄがそれぞれ
形成される。そして、電極２０ｄが、振動体１４の他方
の主面にたとえば接着剤で接着される。また、これらの
圧電素子１６ｃおよび１６ｄの圧電体層１８ｃおよび１
８ｄは、電極２０ｃおよび２０ｄから電極２２ｃおよび
２２ｄに向けて、すなわち振動体１４側から外側に向か
って厚み方向に分極されている。Further, two piezoelectric elements 16 are provided on both main surfaces of the portion from the center to the other end in the length direction of the vibrating body 14.
c and 16d are formed so as to face each other. One piezoelectric element 16c includes a piezoelectric layer 18c made of, for example, ceramic, and the electrodes 20 are provided on both main surfaces of the piezoelectric layer 18c.
c and 22c are respectively formed. And electrode 2
0c is bonded to one main surface of the vibrating body 14 with, for example, an adhesive. Similarly, the other piezoelectric element 16d includes a piezoelectric layer 18d made of, for example, ceramic, and the piezoelectric layer 1
Electrodes 20d and 22d are respectively formed on both main surfaces of 8d. Then, the electrode 20d is bonded to the other main surface of the vibrating body 14 with an adhesive, for example. Further, the piezoelectric layers 18c and 1 of the piezoelectric elements 16c and 16d are
8d is polarized in the thickness direction from the electrodes 20c and 20d toward the electrodes 22c and 22d, that is, from the vibrating body 14 side toward the outside.
【００２３】この発明の実施の形態の実施例では、圧電
体層１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄは、たとえばチタ
ン酸ジルコン酸鉛を主成分とするセラミックスで形成さ
れる。また、電極２０ａ，２２ａ，２０ｂ，２２ｂ，２
０ｃ，２２ｃ，２０ｄ，２２ｄは、たとえば銀ペイント
を焼結したものを長さ１１．５ｍｍ，幅３．０ｍｍ，厚
み０．２ｍｍの大きさに切断し、それをエポキシ樹脂か
らなる接着剤などで圧電体層１８ａ〜１８ｄの表面およ
び裏面にそれぞれ接着することにより形成される。In the example of the embodiment of the present invention, the piezoelectric layers 18a, 18b, 18c and 18d are formed of, for example, a ceramic containing lead zirconate titanate as a main component. In addition, the electrodes 20a, 22a, 20b, 22b, 2
0c, 22c, 20d, and 22d are, for example, sintered silver paint, cut into a size of 11.5 mm in length, 3.0 mm in width, and 0.2 mm in thickness, and then glued with an epoxy resin or the like. It is formed by adhering to the front and back surfaces of the piezoelectric layers 18a to 18d, respectively.
【００２４】この振動子１２は、圧電素子１６ａ〜１６
ｄに同位相の駆動信号を印加すれば、長さ方向に縦振動
する。この場合、圧電素子１６ａおよび１６ｂと、圧電
素子１６ｃおよび１６ｄとは、互いに逆方向に分極され
ているので、互いに逆方向に変位する。そのため、図２
の実線の矢印で示すように、振動体１４の長さ方向にお
ける中央から一端側の部分が伸びるときには、振動体１
４の長さ方向における中央から他端側の部分が縮む。逆
に、図２に１点鎖線の矢印で示すように、振動体１４の
長さ方向における中央から一端側の部分が縮むときに
は、振動体１４の長さ方向における中央から他端側の部
分が伸びる。また、この場合、振動体１４の長さ方向に
おける中央から一端側の部分の伸縮量と、振動体１４の
長さ方向における中央から他端側の部分の伸縮量とが相
殺されるので、振動体１４の長さ方向における両端間の
距離がほとんど変化しない。さらに、この場合、振動体
１４は、圧電素子１６ａおよび１６ｂ間の中央部分と圧
電素子１６ｃおよび１６ｄ間の中央部分とをノード部分
として振動する。また、振動体１４は、その長さ方向に
おける両端部分を腹として振動する。This vibrator 12 includes piezoelectric elements 16a to 16a.
If drive signals of the same phase are applied to d, longitudinal vibration occurs in the length direction. In this case, since the piezoelectric elements 16a and 16b and the piezoelectric elements 16c and 16d are polarized in opposite directions, they are displaced in opposite directions. Therefore,
As indicated by the solid line arrow, when the portion on the one end side extends from the center in the length direction of the vibrating body 14,
4 contracts from the center to the other end in the length direction. On the contrary, as shown by the one-dot chain line arrow in FIG. 2, when the portion from the center to the one end side in the length direction of the vibrating body 14 contracts, the portion from the center to the other end side in the length direction of the vibrating body 14 becomes smaller. extend. Further, in this case, the amount of expansion and contraction of the portion from the center to the one end side in the length direction of the vibrating body 14 and the amount of expansion and contraction of the portion from the center to the other end side in the length direction of the vibrating body 14 are offset, so that vibration The distance between both ends of the body 14 in the length direction hardly changes. Further, in this case, the vibrating body 14 vibrates with the central portion between the piezoelectric elements 16a and 16b and the central portion between the piezoelectric elements 16c and 16d as node portions. Further, the vibrating body 14 vibrates with both end portions in the length direction as antinodes.
【００２５】この振動子１２の長さ方向における一端側
には、２つの支持部材２４が形成される。２つの支持部
材２４は、振動体１４の長さ方向における一端側のノー
ド部分および端部から幅方向に延びて振動体１４と一体
的に形成される。これらの支持部材２４は、振動子１２
の一端側の部分を支持するためのものである。すなわ
ち、支持部材２４は、振動体１４と間隔を隔てて平行に
配置されるたとえば短冊状の水平支持板２６を含む。水
平支持板２６には、その長さ方向の一端および他端から
水平支持板２６の長さ方向に延びて、それぞれ、切欠き
部２８および３０が形成される。切欠き部２８および３
０は、たとえば平面略Ｕ字状に形成され、水平支持板２
６の長さ方向の一端および他端でかつその幅方向の中央
から、水平支持板２６の長さ方向に延びて形成される。
つまり、切欠き部２８および３０は、振動体１４の長さ
方向と並行して形成される。Two support members 24 are formed on one end side of the vibrator 12 in the length direction. The two support members 24 extend in the width direction from the node portion and the end portion on one end side in the length direction of the vibrating body 14 and are integrally formed with the vibrating body 14. These support members 24 are used for the vibrator 12
Is for supporting a portion on one end side of the. That is, the support member 24 includes, for example, a strip-shaped horizontal support plate 26 that is arranged in parallel with the vibrating body 14 at a distance. Notches 28 and 30 are formed in the horizontal support plate 26 extending from one end and the other end in the length direction of the horizontal support plate 26 in the length direction of the horizontal support plate 26, respectively. Notches 28 and 3
0 is, for example, formed in a substantially U shape in a plane, and is used as the horizontal support plate 2
It is formed so as to extend in the length direction of the horizontal support plate 26 from one end and the other end in the length direction of 6 and the center in the width direction.
That is, the notches 28 and 30 are formed in parallel with the length direction of the vibrating body 14.
【００２６】この水平支持板２６は、２つの結合部３２
および３４で振動体１４と接続される。結合部３４は、
振動体１４のノード部分近傍の両側に配置される。この
場合、ノード部は、振動体１４の縦振動の節となり、振
動体１４の長さ方向の端部からおおむね振動体１４の全
長の１／４の長さの位置にある。水平支持板２６は、振
動体１４の長さ方向における一端側のノード部分および
端部から幅方向に延びて結合部３２および３４で接続さ
れる。２つの結合部３２および３４は、それぞれ、水平
支持板２６の幅方向の一端でかつその長さ方向の一端部
および他端部に接続される。２つの結合部３２および３
４は、振動体１４と一体的に形成される。The horizontal support plate 26 has two connecting portions 32.
And 34 are connected to the vibrating body 14. The coupling portion 34 is
The vibrating body 14 is arranged on both sides in the vicinity of the node portion. In this case, the node portion becomes a node of longitudinal vibration of the vibrating body 14, and is located at a position approximately 1/4 of the entire length of the vibrating body 14 from the end portion in the length direction of the vibrating body 14. The horizontal support plate 26 extends in the width direction from the node portion and the end portion on one end side in the length direction of the vibrating body 14 and is connected by the coupling portions 32 and 34. The two coupling portions 32 and 34 are respectively connected to one end in the width direction of the horizontal support plate 26 and one end portion and the other end portion in the length direction thereof. Two joints 32 and 3
4 is formed integrally with the vibrating body 14.
【００２７】さらに、水平支持板２６の幅方向の他端に
は、垂直支持板３６が形成される。垂直支持板３６は、
水平支持板２６の幅方向の他端から下に垂直に延びて形
成される。この垂直支持板３６には、その長さ方向の一
端および他端でかつその幅方向の中央部に、たとえば平
面略Ｕ字状の切欠き部３８および４０がそれぞれ形成さ
れる。これらの切欠き部３８および４０は、垂直支持板
３６の幅方向に延びて形成される。つまり、切欠き部３
８および４０は、それぞれ、振動体１４の主面と直交す
る方向に並行して形成される。なお、２つの支持部材２
４は、たとえばガラス−エポキシ系プラスチックからな
るプリント基板（図示せず）などに固着される。この場
合、たとえば半田付けなどで垂直支持板３６がプリント
基板に固着される。Further, a vertical support plate 36 is formed at the other widthwise end of the horizontal support plate 26. The vertical support plate 36 is
The horizontal support plate 26 is formed by vertically extending downward from the other end in the width direction. The vertical support plate 36 is provided with notches 38 and 40 having, for example, a substantially U-shape in plan view at one end and the other end in the length direction and in the center in the width direction, respectively. These notches 38 and 40 are formed so as to extend in the width direction of the vertical support plate 36. That is, the notch 3
8 and 40 are formed in parallel with each other in a direction orthogonal to the main surface of the vibrating body 14. The two support members 2
4 is fixed to a printed circuit board (not shown) made of glass-epoxy plastic, for example. In this case, the vertical support plate 36 is fixed to the printed circuit board by, for example, soldering.
【００２８】この発明の実施の形態の実施例では、振動
体１４がたとえば長さ２３ｍｍ，幅２ｍｍ，厚み０．２
ｍｍの大きさに形成され、結合部３２，３４が幅０．２
ｍｍ，長さ１ｍｍ，厚み０．２ｍｍの大きさに形成され
る。また、水平支持板２６は、たとえば幅２ｍｍ，長さ
５．８ｍｍ，厚み０．２ｍｍの大きさに形成され、垂直
支持板３６は、たとえば高さ４．５ｍｍ，長さ５．８ｍ
ｍ，厚み０．２ｍｍの大きさに形成される。さらに、振
動体１４の長さ方向の他端側の自由端部に設けられる重
り４６，４６は、それぞれ、その重さがたとえば０．６
ｇのものが用いられる。In the example of the embodiment of the present invention, the vibrating body 14 has, for example, a length of 23 mm, a width of 2 mm and a thickness of 0.2.
mm in size, and the joints 32 and 34 have a width of 0.2.
mm, length 1 mm, thickness 0.2 mm. The horizontal support plate 26 has a width of 2 mm, a length of 5.8 mm, and a thickness of 0.2 mm, and the vertical support plate 36 has a height of 4.5 mm and a length of 5.8 m.
It is formed in a size of m and a thickness of 0.2 mm. Further, each of the weights 46, 46 provided at the free end portion on the other end side in the length direction of the vibrating body 14 has a weight of, for example, 0.6.
g is used.
【００２９】また、振動体１４と支持部材２４とは、た
とえばＦｅ−Ｎｉ合金（４２Ｎｉ）からなる板材に、フ
ォトリソグラフィなどによるエッチングを施すことよっ
て形成される。この場合、振動体１４と結合部３２，３
２および３４，３４とは同一平面に形成されるが、垂直
支持板３６は水平支持板２６の幅方向の一端部を垂直に
折り曲げることにより形成される。なお、エッチング液
としてはたとえば塩化第二鉄が用いられ、レジストとし
てはたとえばポリビニールアルコール系のものが用いら
れる。The vibrating body 14 and the support member 24 are formed by etching a plate material made of, for example, Fe-Ni alloy (42Ni) by photolithography or the like. In this case, the vibrating body 14 and the coupling portions 32, 3
The vertical support plate 36 is formed by vertically bending one end of the horizontal support plate 26 in the width direction, although the two and 34, 34 are formed on the same plane. Ferric chloride is used as the etching liquid, and polyvinyl alcohol-based resist is used as the resist.
【００３０】さらに、切欠き部２８，３０および３８，
４０は、それぞれ、たとえば幅０．２ｍｍ，長さ１．０
ｍｍ，厚み０．２ｍｍの大きさに形成される。なお、切
欠き部２８，３０および３８，４０の長さをたとえば
２．０ｍｍ以上に形成すると、振動子１２が水平支持板
３６に屈曲振動を誘発させ、支持部材２４に不規則な振
動を発生させるので、却って振動子１２の振動が不安定
になる。Further, the notches 28, 30 and 38,
40 is, for example, 0.2 mm in width and 1.0 in length, respectively
mm and thickness 0.2 mm. If the notches 28, 30 and 38, 40 are formed to have a length of, for example, 2.0 mm or more, the vibrator 12 induces bending vibration in the horizontal support plate 36, and irregular vibration is generated in the support member 24. Therefore, the vibration of the vibrator 12 becomes rather unstable.
【００３１】一方、振動子１２の長さ方向における他端
側には、たとえば略コ字形の細い接続部材４２を介し
て、帯状の取付部材４４が形成される。この場合、接続
部材４２および取付部材４４は、振動体１４の長さ方向
における他端側の端部から延びて振動体１４と一体的に
形成される。そして、取付部材４４の両主面には、溶接
あるいははんだ付けによって、重り４６が取り付けられ
る。この重り４６は、加速度による振動子１２の撓みを
大きくするためのものである。On the other hand, a strip-shaped mounting member 44 is formed on the other end side in the length direction of the vibrator 12 via a thin connecting member 42 of, for example, a substantially U shape. In this case, the connection member 42 and the attachment member 44 extend from the end portion on the other end side in the length direction of the vibrating body 14 and are integrally formed with the vibrating body 14. Then, the weights 46 are attached to both main surfaces of the attachment member 44 by welding or soldering. The weight 46 is for increasing the flexure of the vibrator 12 due to acceleration.
【００３２】この加速度センサ１０では、２つの支持部
材２４を固定することによって振動子１２の一端側を支
持するとともに、４つの圧電素子１６ａ〜１６ｄに同位
相の駆動信号を印加すれば、振動子１２は、図２の実線
の矢印および１点鎖線の矢印で示すように、長さ方向に
振動する。すなわち、この振動子１２の振動モードとし
ては、長さ方向縦振動となる。In this acceleration sensor 10, the two support members 24 are fixed to support one end of the vibrator 12, and when the drive signals of the same phase are applied to the four piezoelectric elements 16a to 16d, the vibrator is provided. 12 vibrates in the lengthwise direction as indicated by the solid arrow and the one-dot chain line arrow in FIG. That is, the vibration mode of the vibrator 12 is longitudinal vibration in the length direction.
【００３３】そして、振動子１２の振動体１４にその主
面に直交する方向に加速度を加えると、その加速度に応
じて振動体１４が圧電素子１６ａ〜１６ｄとともに撓
み、その撓みに応じた電圧が圧電素子１６ａ〜１６ｄに
発生する。そのため、圧電素子１６ａ〜１６ｄに発生す
る電圧のいずれかを測定することによって、加速度を検
出することができる。When acceleration is applied to the vibrating body 14 of the vibrator 12 in a direction orthogonal to its main surface, the vibrating body 14 bends together with the piezoelectric elements 16a to 16d according to the acceleration, and a voltage corresponding to the bending is generated. It is generated in the piezoelectric elements 16a to 16d. Therefore, the acceleration can be detected by measuring any of the voltages generated in the piezoelectric elements 16a to 16d.
【００３４】この加速度センサ１０では、振動体１４の
一端部と振動体１４の一端側のノード部分近傍とを結合
部３２および３４を介して結合しているため、振動子１
２が長さ方向に振動することにより、支持部材２４の水
平支持板２６が波打つように振動するが、水平支持板２
６に形成された切欠き部２８および３０によって、その
水平支持板２６の振動が抑制される。そのため、水平支
持板２６の振動による変位が緩和され、支持部材２４の
不規則な振動が抑制される。この場合、垂直支持板３６
にも切欠き部３８および４０が形成されているため、よ
り一層、支持部材２４の不規則な振動が抑制される。す
なわち、切欠き部２８，３０，３８，４０によって、支
持部材２４の不要振動が開放され、除外される。In this acceleration sensor 10, one end portion of the vibrating body 14 and the vicinity of the node portion on the one end side of the vibrating body 14 are coupled to each other via coupling portions 32 and 34.
When 2 vibrates in the lengthwise direction, the horizontal support plate 26 of the support member 24 vibrates in a wavy manner.
The notches 28 and 30 formed in 6 suppress the vibration of the horizontal support plate 26. Therefore, the displacement of the horizontal support plate 26 due to the vibration is reduced, and the irregular vibration of the support member 24 is suppressed. In this case, the vertical support plate 36
Since the notches 38 and 40 are also formed, the irregular vibration of the support member 24 is further suppressed. That is, the notch portions 28, 30, 38, 40 open and eliminate unnecessary vibration of the support member 24.
【００３５】そのため、この加速度センサ１０では、支
持部材２４の不規則な振動で誘発される振動子１２の不
規則な振動が抑制され、振動子１２の振動が安定する。
つまり、振動子１２のＱm が向上する。したがって、こ
の加速度センサ１０では、圧電素子１６ａ〜１６ｄに発
生する出力電圧の変動を防止することができ、温度ドリ
フトなどによる誤動作などを防止することができる。Therefore, in the acceleration sensor 10, the irregular vibration of the vibrator 12 induced by the irregular vibration of the support member 24 is suppressed, and the vibration of the vibrator 12 is stabilized.
That is, the Q m of the vibrator 12 is improved. Therefore, in the acceleration sensor 10, it is possible to prevent fluctuations in the output voltage generated in the piezoelectric elements 16a to 16d and prevent malfunctions due to temperature drift and the like.
【００３６】図３および図４は、図１および図２に示す
加速度センサと同様に、支持部材に切欠き部を設けた他
の加速度センサの振動状態をたとえば有限要素法により
解析して視覚的にわかりやすくした図解図である。この
場合、図３は支持部材の水平支持板に切欠き部を設けた
場合の振動状態を示す図解図であり、図４は支持部材の
水平支持板および垂直支持板に切欠き部を設けた場合の
図解図である。なお、図３および図４において、図１お
よび図２に示した加速度センサと同じ符号を付した部材
は、それぞれ同じ機能を有するものである。3 and 4, similarly to the acceleration sensor shown in FIGS. 1 and 2, the vibration state of another acceleration sensor having a notch in the supporting member is analyzed by, for example, the finite element method and visually. It is an illustration that is easy to understand. In this case, FIG. 3 is an illustrative view showing a vibration state when a notch portion is provided in the horizontal support plate of the support member, and FIG. 4 is shown in which the notch portion is provided in the horizontal support plate and the vertical support plate of the support member. It is an illustration figure of a case. In FIGS. 3 and 4, members designated by the same reference numerals as those of the acceleration sensor shown in FIGS. 1 and 2 have the same functions.
【００３７】支持部材２４の水平支持板２６だけに切欠
き部２８，３０を設けた加速度センサ１０では、図３に
示すように、振動子１２の一端部と振動子１２の一端側
のノード部分近傍とを結合部３２および３４を介して結
合しているため、振動子１２が長さ方向に振動すること
により、支持部材２４の水平支持板２６が波打つように
振動するが、水平支持板２６に形成された切欠き部２８
および３０によって、その水平支持板２６の振動が抑制
されている。さらに、垂直支持板３６に切欠き部３８，
４０を設けた加速度センサ１０では、図４に示すよう
に、図３に示す加速度センサ１０と比べて、一層、支持
部材２４の不要振動が抑制されている。すなわち、支持
部材に切欠き部を形成した加速度センサでは、支持部材
の不規則な振動が抑制され、振動子の振動が安定する。
つまり、振動子のＱm も向上する。そのため、不要な振
動による出力電圧の変動を防止して、正確に加速度を検
出することができる。In the acceleration sensor 10 in which the notches 28 and 30 are provided only on the horizontal support plate 26 of the support member 24, as shown in FIG. 3, one end portion of the vibrator 12 and a node portion on one end side of the vibrator 12 are provided. Since the vicinities of the vibrator 12 are vibrated in the length direction, the horizontal support plate 26 of the support member 24 vibrates in a wavy manner because the vicinities of the vicinities of the vicinities of the vicinities of the vibrating elements 12 and the vicinities of the vicinities of the vicinities of the vicinities of the horizontal support plate 26 are coupled. Notch 28 formed in the
And 30 suppress the vibration of the horizontal support plate 26. Further, the vertical support plate 36 has a notch 38,
In the acceleration sensor 10 provided with 40, as shown in FIG. 4, unnecessary vibration of the support member 24 is further suppressed as compared with the acceleration sensor 10 shown in FIG. That is, in the acceleration sensor in which the notch is formed in the support member, the irregular vibration of the support member is suppressed and the vibration of the vibrator is stabilized.
That is also improved Q m of vibrator. Therefore, it is possible to prevent fluctuations in the output voltage due to unnecessary vibration and accurately detect the acceleration.
【００３８】上述の各実施例では、切欠き部２８，３０
が支持部材２４の水平支持板２６の長さ方向の両端か
ら、水平支持板２６の長さ方向に延びて形成されたが、
この切欠き部２８，３０は水平支持板２６の幅方向に延
びるように形成してもよい。また、切欠き部２８，３０
は、水平支持板２６の幅方向の端部から、その長さ方向
あるいは幅方向に延びるように形成してもよい。In each of the above-described embodiments, the cutout portions 28 and 30 are provided.
Is formed to extend in the length direction of the horizontal support plate 26 from both ends of the support member 24 in the length direction of the horizontal support plate 26.
The notches 28 and 30 may be formed so as to extend in the width direction of the horizontal support plate 26. Also, the cutouts 28, 30
May be formed so as to extend in the length direction or the width direction from the widthwise end of the horizontal support plate 26.
【００３９】なお、上述の各実施例では、振動体１４お
よび支持部材２４をたとえばＦｅ−Ｎｉ合金で形成した
が、これらの部材は、たとえばＮｉ−Ｓｐａｎ−Ｃ（商
品名）等の恒弾性鋼やインバー等の板材で形成してもよ
い。この場合、板の厚みは、たとえば０．１〜１．０ｍ
ｍが望ましい。また、支持部材２４に設けられる切欠き
部２８，３０，３８，４０の大きさは、振動体１４の材
質や形状によって最適条件が異なるので、振動体１４の
形状や大きさが異なれば、たとえば有限要素法等の手法
により設定するとよい。In each of the above-mentioned embodiments, the vibrating body 14 and the supporting member 24 are made of, for example, Fe-Ni alloy, but these members are made of constant-elastic steel such as Ni-Span-C (trade name). It may be formed of a plate material such as or Invar. In this case, the thickness of the plate is, for example, 0.1 to 1.0 m.
m is desirable. Further, the size of the notches 28, 30, 38, 40 provided in the support member 24 has different optimum conditions depending on the material and shape of the vibrating body 14, and therefore, if the shape and size of the vibrating body 14 are different, for example, It may be set by a method such as the finite element method.
【００４０】また、上述の各実施例では、圧電素子１６
ａおよび１６ｂに発生する電圧の差や圧電素子１６ｃお
よび１６ｄに発生する電圧の差を検出することによって
も、加速度を検出することができる。さらに、上述の各
実施例において、１以上の圧電素子の圧電体層の分極方
向を逆にするとともに、分極方向を逆にした圧電素子に
印加する駆動信号の位相を逆にしてもよい。なお、上述
の各実施例において、振動子を長さ方向に縦振動してい
るのは、常時振動子が縦振動していると、加速度０付近
に不感帯がなく、微小加速度が検出できるからであり、
振動子に加速度を加えた場合に振動子が大きく撓み、加
速度を検出する感度がよくなるからである。In each of the above embodiments, the piezoelectric element 16
The acceleration can also be detected by detecting the voltage difference between a and 16b or the voltage difference between the piezoelectric elements 16c and 16d. Furthermore, in each of the above-described embodiments, the polarization directions of the piezoelectric layers of one or more piezoelectric elements may be reversed, and the phases of the drive signals applied to the piezoelectric elements whose polarization directions are reversed may be reversed. In each of the above-described embodiments, the vibrator is longitudinally vibrated in the longitudinal direction because if the vibrator is constantly vibrating vertically, there is no dead zone near acceleration 0 and a minute acceleration can be detected. Yes,
This is because, when acceleration is applied to the vibrator, the vibrator is largely bent, and the sensitivity for detecting acceleration is improved.
【図１】この発明の実施の形態の一例を示す斜視図であ
る。FIG. 1 is a perspective view showing an example of an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示す加速度センサの側面図である。FIG. 2 is a side view of the acceleration sensor shown in FIG.
【図３】支持部材の水平支持板に切欠き部を設けた他の
加速度センサに加速度が加わったときの振動子および支
持部材の変位状態を有限要素法により解析して視覚的に
わかりやすくした図解図である。FIG. 3 is a view of a displacement state of a vibrator and a support member when an acceleration is applied to another acceleration sensor in which a notch portion is provided on a horizontal support plate of the support member, which is analyzed by a finite element method to make it visually easy to understand. It is an illustration figure.
【図４】支持部材の水平振動板および垂直振動板の両側
に切欠き部を設けたさらに他の加速度センサに加速度が
加わったときの振動子および支持部材の変位状態を有限
要素法により解析して視覚的にわかりやすくした図解図
である。FIG. 4 is a finite element method for analyzing displacement states of a vibrator and a supporting member when acceleration is applied to another acceleration sensor having notches on both sides of a horizontal diaphragm and a vertical diaphragm of a supporting member. It is an illustration that is visually easy to understand.
【図５】従来の加速度センサの一例を示す斜視図であ
る。FIG. 5 is a perspective view showing an example of a conventional acceleration sensor.
【図６】支持部材に切欠き部が設けられていない他の従
来の加速度センサに加速度が加わったときの振動子およ
び支持部材の変位状態を有限要素法により解析して視覚
的にわかりやすくした図解図である。FIG. 6 shows a displacement state of a vibrator and a supporting member when acceleration is applied to another conventional acceleration sensor in which a notch portion is not provided in the supporting member, which is analyzed by a finite element method to make it visually easy to understand. It is an illustration figure.
１０ 加速度センサ １２ 振動子 １４ 振動体 １６ａ〜１６ｄ 圧電素子 １８ａ〜１８ｄ 圧電体層 ２０ａ〜２０ｄ，２２ａ〜２２ｄ 電極 ２４ 支持部材 ２６ 水平支持板 ２８，３０，３８，４０ 切欠き部 ３２，３４ 結合部 ３６ 垂直支持板 ４２ 接続部材 ４４ 取付部材 ４６ 重り 10 Acceleration Sensor 12 Vibrator 14 Vibrating Body 16a to 16d Piezoelectric Element 18a to 18d Piezoelectric Layer 20a to 20d, 22a to 22d Electrode 24 Supporting Member 26 Horizontal Supporting Plate 28, 30, 38, 40 Cutout 32, 34 Coupling Part 36 Vertical Support Plate 42 Connection Member 44 Mounting Member 46 Weight
Claims (5)
の支持部材を含む加速度センサの支持構造であって、 前記支持部材に切欠き部が形成されたことを特徴とす
る、加速度センサの支持構造。1. A support structure for an acceleration sensor including a vibrator and a support member for supporting the vibrator, wherein a notch is formed in the support member. Construction.
梁構造の加速度センサであって、 前記振動子は、板状の振動体および前記振動体の両主面
に形成される圧電素子を含み、さらに、 前記支持部材は、前記振動体と並行に配置される水平支
持板と、前記振動体の一端部および前記振動体の一端側
のノード部近傍に形成され、前記振動体と前記水平支持
板とを接続する結合部と、前記水平支持板の端部から垂
直に延びる垂直支持板とを含み、 前記切欠き部は、前記水平支持板に形成される、請求項
１に記載の加速度センサの支持構造。2. An acceleration sensor having a cantilever structure including a vibrator vibrating in a length direction, wherein the vibrator is a plate-shaped vibrating body and piezoelectric elements formed on both main surfaces of the vibrating body. Further, the support member is formed in the vicinity of a horizontal support plate arranged in parallel with the vibrating body, one end portion of the vibrating body and a node portion on one end side of the vibrating body, and the vibrating body and the vibrating body. The coupling part which connects with a horizontal support plate, and the vertical support plate which extends perpendicularly from the edge part of the said horizontal support plate, The said notch part is formed in the said horizontal support plate of Claim 1. Accelerometer support structure.
から前記振動体の長さ方向と同方向に延びて形成され
る、請求項２に記載の加速度センサの支持構造。3. The support structure for an acceleration sensor according to claim 2, wherein the cutout portion is formed to extend from an end portion of the horizontal support plate in the same direction as a length direction of the vibrating body.
向の端部に形成される、請求項２に記載の加速度センサ
の支持構造。4. The support structure for an acceleration sensor according to claim 2, wherein the cutout portion is formed at an end portion in the width direction of the horizontal support plate.
に形成される、請求項２ないし４のいずれかに記載の加
速度センサの支持構造。5. The support structure for an acceleration sensor according to claim 2, wherein the cutout portion is further formed on the vertical support plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP24056095A JP3228089B2 (en) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | Accelerometer support structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24056095A JP3228089B2 (en) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | Accelerometer support structure |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961451A true JPH0961451A (en) | 1997-03-07 |
| JP3228089B2 JP3228089B2 (en) | 2001-11-12 |
Family
ID=17061349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24056095A Expired - Fee Related JP3228089B2 (en) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | Accelerometer support structure |
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| JP (1) | JP3228089B2 (en) |
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|---|---|---|---|---|
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-
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3228089B2 (en) | 2001-11-12 |
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