JPH095356A - 電子部品の検査装置 - Google Patents
電子部品の検査装置Info
- Publication number
- JPH095356A JPH095356A JP15753395A JP15753395A JPH095356A JP H095356 A JPH095356 A JP H095356A JP 15753395 A JP15753395 A JP 15753395A JP 15753395 A JP15753395 A JP 15753395A JP H095356 A JPH095356 A JP H095356A
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- JP
- Japan
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- contact
- inspection
- coil spring
- electronic component
- electronic device
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電子部品を高速で特性検査する際に、電子部
品へのストレスを最小限に抑え、かつ検査接点接触時の
チャタリング現象を低減した安価で高精度な電子部品の
検査装置を提供することを目的とする。 【構成】 上下スライドユニット12によりブロック1
1を持ち上げると同時に、シャフト2、コイルバネ受け
3も持ち上げることにより圧縮されていたコイルバネ接
点1が伸びて先端部分が電子部品7に接触し、フタ9に
より電子部品7をバックアップして検査部22により特
性検査を行う構成とすることにより、高速で高精度の検
査を行うことが可能になる。
品へのストレスを最小限に抑え、かつ検査接点接触時の
チャタリング現象を低減した安価で高精度な電子部品の
検査装置を提供することを目的とする。 【構成】 上下スライドユニット12によりブロック1
1を持ち上げると同時に、シャフト2、コイルバネ受け
3も持ち上げることにより圧縮されていたコイルバネ接
点1が伸びて先端部分が電子部品7に接触し、フタ9に
より電子部品7をバックアップして検査部22により特
性検査を行う構成とすることにより、高速で高精度の検
査を行うことが可能になる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は主にチップ状の電子部品
を検査する際に使用される電子部品の検査装置に関する
ものである。
を検査する際に使用される電子部品の検査装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】近年、電気製品の小型化にともない、こ
れらの電気製品に使用される電子部品はチップ化が進ん
でいるが、チップ部品の単価は非常に安価であり、その
製造工程においては、いかに高速で生産するかが課題に
なっている。そこでチップ部品の最終検査を行う検査装
置には、高速化に対応する高精度な信頼性の高い接点を
用いた電子部品の検査装置が要求されてきている。
れらの電気製品に使用される電子部品はチップ化が進ん
でいるが、チップ部品の単価は非常に安価であり、その
製造工程においては、いかに高速で生産するかが課題に
なっている。そこでチップ部品の最終検査を行う検査装
置には、高速化に対応する高精度な信頼性の高い接点を
用いた電子部品の検査装置が要求されてきている。
【0003】以下に従来のこの種の電子部品の検査装置
について図面を用いて説明する。図7は従来の代表的な
電子部品の検査接点(コンタクトプローブと呼ばれてい
る)を示すものであり、実開平3−112939号公報
に開示されたものである。図7において、13は電子部
品とコンタクトする接触端子、14はこの接触端子13
に一定圧力を与え、又電気的信号をつなぐためのコイル
バネ、15はこのコイルバネ14の受けと接触端子13
の保持を行う摺動部分でもあるコイルバネ受け、16は
接触端子13とコイルバネ受け15をつなぐ連結シャフ
ト、17はコイルバネ受け15との摺動部となり、コイ
ルバネ14の保持ともなるプローブチューブである。
について図面を用いて説明する。図7は従来の代表的な
電子部品の検査接点(コンタクトプローブと呼ばれてい
る)を示すものであり、実開平3−112939号公報
に開示されたものである。図7において、13は電子部
品とコンタクトする接触端子、14はこの接触端子13
に一定圧力を与え、又電気的信号をつなぐためのコイル
バネ、15はこのコイルバネ14の受けと接触端子13
の保持を行う摺動部分でもあるコイルバネ受け、16は
接触端子13とコイルバネ受け15をつなぐ連結シャフ
ト、17はコイルバネ受け15との摺動部となり、コイ
ルバネ14の保持ともなるプローブチューブである。
【0004】また、このような検査接点を使用する電子
部品の検査装置について示したものが図6であり、図6
において18は上記図7の検査接点を保持する絶縁材料
からなるブロック、19は検査する電子部品、20は電
子部品19を受けるレール、21はブロック18を上下
動させる駆動部、22は電子部品を評価する検査部、2
3は上記図7の検査接点と検査部22の電気的信号をつ
なぐための配線、24は電子部品19をバックアップす
るフタである。
部品の検査装置について示したものが図6であり、図6
において18は上記図7の検査接点を保持する絶縁材料
からなるブロック、19は検査する電子部品、20は電
子部品19を受けるレール、21はブロック18を上下
動させる駆動部、22は電子部品を評価する検査部、2
3は上記図7の検査接点と検査部22の電気的信号をつ
なぐための配線、24は電子部品19をバックアップす
るフタである。
【0005】次に、このように構成された従来の電子部
品の検査装置の動作について説明する。
品の検査装置の動作について説明する。
【0006】まず、図7に示した検査接点部に、自動的
に搬送されてきた電子部品19に対してブロック18を
駆動部21により上に持ち上げ、電子部品19と接触端
子13を接触させる。接触後、検査接点はさらに駆動部
21により持ち上げられ、そのオーバーストローク分は
コイルバネ14が押し縮められると同時に接触端子13
の接触圧力を決定する。その後、特性を検査する検査部
22により電子部品19の特性検査を行う。特性検査終
了後、駆動部21によりブロック18を下げ、新しい電
子部品19と交換して検査を繰り返して行うように構成
されていた。
に搬送されてきた電子部品19に対してブロック18を
駆動部21により上に持ち上げ、電子部品19と接触端
子13を接触させる。接触後、検査接点はさらに駆動部
21により持ち上げられ、そのオーバーストローク分は
コイルバネ14が押し縮められると同時に接触端子13
の接触圧力を決定する。その後、特性を検査する検査部
22により電子部品19の特性検査を行う。特性検査終
了後、駆動部21によりブロック18を下げ、新しい電
子部品19と交換して検査を繰り返して行うように構成
されていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、以下に述べる問題点を有したものであっ
た。
の構成では、以下に述べる問題点を有したものであっ
た。
【0008】第1の問題は、電子部品19へのストレス
が大きくなることであり、高速で特性検査を行う場合に
当然ながら図6の駆動部21の上下のスピードが速くな
るが、この構造では、コイルバネ14の圧力に加えて接
触端子13、コイルバネ14、コイルバネ受け15、連
結シャフト16の慣性力が電子部品19に加えられ、電
子部品19へ慣性力によるストレスが余分に加えられて
しまうという問題を有していた。
が大きくなることであり、高速で特性検査を行う場合に
当然ながら図6の駆動部21の上下のスピードが速くな
るが、この構造では、コイルバネ14の圧力に加えて接
触端子13、コイルバネ14、コイルバネ受け15、連
結シャフト16の慣性力が電子部品19に加えられ、電
子部品19へ慣性力によるストレスが余分に加えられて
しまうという問題を有していた。
【0009】第2の問題は、上記の電子部品19へのス
トレスを最小にするためにはコイルバネ14の圧力を下
げれば良いが、そうすれば電子部品19と検査接点の接
触時にチャタリング現象が発生しやすくなって検査精度
が悪くなったり、あるいは高速で検査できないという問
題が起こるものであった。
トレスを最小にするためにはコイルバネ14の圧力を下
げれば良いが、そうすれば電子部品19と検査接点の接
触時にチャタリング現象が発生しやすくなって検査精度
が悪くなったり、あるいは高速で検査できないという問
題が起こるものであった。
【0010】第3の問題は、微小電子部品の検査接点に
は適さないことであり、検査接点間の最小ピッチは少な
くともプローブチューブ17の外径寸法以上は必要で、
通常プローブチューブ17の外径は2mm程度はあり、
それ以下の寸法となる微小電子部品の検査接点には適さ
ないという問題があった。しかしながら、図8に示すよ
うに、接触端子の形状を図8のようにすることにより、
微小電子部品への接触は可能となるが接触端子の質量が
増えることとなり、慣性力が増し、電子部品19へのス
トレスがさらに増大するという欠点があり、さらに接触
端子の形状が複雑となって検査接点が高価になるという
問題点があった。
は適さないことであり、検査接点間の最小ピッチは少な
くともプローブチューブ17の外径寸法以上は必要で、
通常プローブチューブ17の外径は2mm程度はあり、
それ以下の寸法となる微小電子部品の検査接点には適さ
ないという問題があった。しかしながら、図8に示すよ
うに、接触端子の形状を図8のようにすることにより、
微小電子部品への接触は可能となるが接触端子の質量が
増えることとなり、慣性力が増し、電子部品19へのス
トレスがさらに増大するという欠点があり、さらに接触
端子の形状が複雑となって検査接点が高価になるという
問題点があった。
【0011】第4に検査接点が上下動するために配線2
3も同じように動くこととなり、高速で使用する場合、
特に断線しやすくなるばかりでなく、配線が動くことに
よる高周波領域での特性検査精度悪化の原因にもなると
いう課題を有したものであった。
3も同じように動くこととなり、高速で使用する場合、
特に断線しやすくなるばかりでなく、配線が動くことに
よる高周波領域での特性検査精度悪化の原因にもなると
いう課題を有したものであった。
【0012】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、微小電子部品を高速で特性検査する場合に、電子部
品へのストレスを最小限に抑え、かつ、検査接点接触時
のチャタリング現象を低減した安価で高精度な電子部品
の検査接点を備えた電子部品の検査装置を提供すること
を目的とするものである。
で、微小電子部品を高速で特性検査する場合に、電子部
品へのストレスを最小限に抑え、かつ、検査接点接触時
のチャタリング現象を低減した安価で高精度な電子部品
の検査接点を備えた電子部品の検査装置を提供すること
を目的とするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の電子部品の検査装置は、接点圧力を与えるコ
イルバネを直接検査接点として使用する構成にしたもの
である。
に本発明の電子部品の検査装置は、接点圧力を与えるコ
イルバネを直接検査接点として使用する構成にしたもの
である。
【0014】
【作用】この構成にすることにより、第1に検査接点か
ら余分な質量物を排除することができ、接触動作による
慣性力を最小限に抑えることができ、電子部品へのスト
レスを最小にし、かつ、チャタリングの生じない接点圧
を確保することができる。
ら余分な質量物を排除することができ、接触動作による
慣性力を最小限に抑えることができ、電子部品へのスト
レスを最小にし、かつ、チャタリングの生じない接点圧
を確保することができる。
【0015】第2にコイルバネのコイルの中心と接点の
中心位置を容易にズラすことができるので微小電子部品
の検査接点として有利であり、また、電子部品に4つの
接点を当てたい時にもレイアウトしやすく非常に有利で
ある。
中心位置を容易にズラすことができるので微小電子部品
の検査接点として有利であり、また、電子部品に4つの
接点を当てたい時にもレイアウトしやすく非常に有利で
ある。
【0016】第3にコイルバネのたわみ量だけで電子部
品に接触させることができるので、コイルバネ全体を上
下させる必要がないために配線を動かすことなく特性検
査を行うことができ、配線の断線を起こしにくく、か
つ、安定した測定を行うことができる。
品に接触させることができるので、コイルバネ全体を上
下させる必要がないために配線を動かすことなく特性検
査を行うことができ、配線の断線を起こしにくく、か
つ、安定した測定を行うことができる。
【0017】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【0018】図1は同実施例による電子部品の検査装置
の全体構成を示す側面断面図、図2は検査接点部を拡大
した要部断面図、図3は検査接点を示す斜視図である。
図1〜図3において、1は接点圧力を決めると共に電子
部品7に接触する接触端子の役割もするコイルバネ接点
で、コイルバネの両端を図3のように90°折り曲げて
形成されている。2はコイルバネ接点1をたわませ、検
査接点となるコイルバネ接点1の先端部を上下動させる
シャフト、3はこのシャフト2の上下動を直接コイルバ
ネ接点1に伝えるためのコイルバネ受けであり、コイル
バネ接点1を交換する際の作業性を良くするためにトラ
ス小ネジを使用している。4はコイルバネ接点1の台座
となる絶縁材料により形成されたブッシュ、5はコイル
バネ接点1の回転方向の位置決めとコイルバネ接点1と
配線とをつなぐソケットであり、上記トラス小ネジを用
いたコイルバネ受け3と同様にコイルバネ接点1を交換
する際の作業性を良くするためにソケットを使用するこ
とによって交換時に半田付け作業がないようにしてい
る。
の全体構成を示す側面断面図、図2は検査接点部を拡大
した要部断面図、図3は検査接点を示す斜視図である。
図1〜図3において、1は接点圧力を決めると共に電子
部品7に接触する接触端子の役割もするコイルバネ接点
で、コイルバネの両端を図3のように90°折り曲げて
形成されている。2はコイルバネ接点1をたわませ、検
査接点となるコイルバネ接点1の先端部を上下動させる
シャフト、3はこのシャフト2の上下動を直接コイルバ
ネ接点1に伝えるためのコイルバネ受けであり、コイル
バネ接点1を交換する際の作業性を良くするためにトラ
ス小ネジを使用している。4はコイルバネ接点1の台座
となる絶縁材料により形成されたブッシュ、5はコイル
バネ接点1の回転方向の位置決めとコイルバネ接点1と
配線とをつなぐソケットであり、上記トラス小ネジを用
いたコイルバネ受け3と同様にコイルバネ接点1を交換
する際の作業性を良くするためにソケットを使用するこ
とによって交換時に半田付け作業がないようにしてい
る。
【0019】6は上記ブッシュ4を保持する固定プレー
ト、7は特性検査を行う被検査対象物である電子部品
(本実施例ではセラミックチップ部品を例に説明す
る)、8はこの電子部品7を受けると共にコイルバネ接
点1の先端部分の位置決めを行うレールであり、このレ
ール8の材料には、絶縁性と耐摩耗性を考慮してジルコ
ニアを使用している。9は電子部品7にコイルバネ接点
1を接触させる時のバックアップとなるフタであり、絶
縁材料を用いている。10はレール8を固定するレール
受け、11はシャフト2を保持するブロック、12はこ
のブロック11を上下動させる上下スライドユニットで
あり、高速対応のためにカム機構にて構成している。
ト、7は特性検査を行う被検査対象物である電子部品
(本実施例ではセラミックチップ部品を例に説明す
る)、8はこの電子部品7を受けると共にコイルバネ接
点1の先端部分の位置決めを行うレールであり、このレ
ール8の材料には、絶縁性と耐摩耗性を考慮してジルコ
ニアを使用している。9は電子部品7にコイルバネ接点
1を接触させる時のバックアップとなるフタであり、絶
縁材料を用いている。10はレール8を固定するレール
受け、11はシャフト2を保持するブロック、12はこ
のブロック11を上下動させる上下スライドユニットで
あり、高速対応のためにカム機構にて構成している。
【0020】23はコイルバネ接点1から引き出された
配線、22はこの配線23が接続された検査部である。
配線、22はこの配線23が接続された検査部である。
【0021】以上のように構成された本発明の電子部品
の検査装置について、以下その動作を説明する。
の検査装置について、以下その動作を説明する。
【0022】まず、検査前のコイルバネ接点1は、シャ
フト2、コイルバネ受け3を介して圧縮された状態であ
り、接点の先端部分は下がった状態にあり、電子部品7
にコイルバネ接点1を接触させる時は、上下スライドユ
ニット12によりブロック11を持ち上げると同時に、
シャフト2、コイルバネ受け3も持ち上げることで圧縮
されていたコイルバネ接点1が伸び、先端部分が電子部
品7に接触することになる。接触することにより電子部
品7も持ち上げられるが、それをフタ9によりバックア
ップし、一定の圧力で電子部品7に接触することにな
る。
フト2、コイルバネ受け3を介して圧縮された状態であ
り、接点の先端部分は下がった状態にあり、電子部品7
にコイルバネ接点1を接触させる時は、上下スライドユ
ニット12によりブロック11を持ち上げると同時に、
シャフト2、コイルバネ受け3も持ち上げることで圧縮
されていたコイルバネ接点1が伸び、先端部分が電子部
品7に接触することになる。接触することにより電子部
品7も持ち上げられるが、それをフタ9によりバックア
ップし、一定の圧力で電子部品7に接触することにな
る。
【0023】なお、本実施例では8msecでチャタリ
ングなく接触動作を行うことができ、高速対応の特性検
査を実現することができた。
ングなく接触動作を行うことができ、高速対応の特性検
査を実現することができた。
【0024】このように本実施例による電子部品の検査
装置は、コイル状に巻回したバネを直接検査接点とする
コイルバネ接点1を用いた構成にすることで、第1に検
査用のコイルバネ接点1を電子部品7に接触させる時
に、可動部の質量がコイルバネしかないので慣性力が最
小にでき、電子部品7に対してのストレスを、従来の検
査接点では考えられない程小さなものにでき、これによ
り、さらに高速化の実現が可能となるものである。
装置は、コイル状に巻回したバネを直接検査接点とする
コイルバネ接点1を用いた構成にすることで、第1に検
査用のコイルバネ接点1を電子部品7に接触させる時
に、可動部の質量がコイルバネしかないので慣性力が最
小にでき、電子部品7に対してのストレスを、従来の検
査接点では考えられない程小さなものにでき、これによ
り、さらに高速化の実現が可能となるものである。
【0025】第2にコイルバネ接点1の形状が図1〜図
3でわかるように電子部品7に接触する先端部分とコイ
ルバネ部の位相が自然にずれているので、微小電子部品
に使用することが容易となるものである。
3でわかるように電子部品7に接触する先端部分とコイ
ルバネ部の位相が自然にずれているので、微小電子部品
に使用することが容易となるものである。
【0026】第3に本実施例のコイルバネ接点1は、近
来のコイルバネ製造機械の発達により容易に製造でき、
また、非常に安価に製作することができるために装置の
製作費用を低減することができる。
来のコイルバネ製造機械の発達により容易に製造でき、
また、非常に安価に製作することができるために装置の
製作費用を低減することができる。
【0027】第4にコイルバネ接点1の交換作業が、ト
ラス小ネジやソケットを用いることにより非常に容易に
行えるものである。
ラス小ネジやソケットを用いることにより非常に容易に
行えるものである。
【0028】第5に検査接点部が上下するのはコイルバ
ネの上部だけであり、下部は固定であるため検査部につ
ながる配線が動くことがないので、配線の断線や、高周
波領域での特性検査精度に影響することがない。
ネの上部だけであり、下部は固定であるため検査部につ
ながる配線が動くことがないので、配線の断線や、高周
波領域での特性検査精度に影響することがない。
【0029】また、図4に示すようにコイルバネ接点1
のコイルの中心と接点の中心位置を容易にズラすことが
できるので微小電子部品の検査接点として有利であり、
さらに図5で示すように電子部品7に4つの接点を当て
たい時にもレイアウトしやすく、非常に有利なものであ
る。
のコイルの中心と接点の中心位置を容易にズラすことが
できるので微小電子部品の検査接点として有利であり、
さらに図5で示すように電子部品7に4つの接点を当て
たい時にもレイアウトしやすく、非常に有利なものであ
る。
【0030】また、コイルバネのたわみ量だけで電子部
品7にコイルバネ接点1を接触させることができるの
で、コイルバネ全体を上下させる必要がなく、従って配
線23を動かすことなく特性検査を行うことができるた
め、配線23の断線をおこしにくく、かつ、安定した測
定を行うことができるものである。
品7にコイルバネ接点1を接触させることができるの
で、コイルバネ全体を上下させる必要がなく、従って配
線23を動かすことなく特性検査を行うことができるた
め、配線23の断線をおこしにくく、かつ、安定した測
定を行うことができるものである。
【0031】なお、本実施例ではコイルバネ接点1の電
子部品に接触する先端部分の形状をフラットなものにし
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、傾斜を
つけたり、とがらせたりしたり、又、コイルバネを形成
している線材を丸でなく角などに形成することにより電
子部品7との接触を安定させてもよいことは言うまでも
ない。
子部品に接触する先端部分の形状をフラットなものにし
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、傾斜を
つけたり、とがらせたりしたり、又、コイルバネを形成
している線材を丸でなく角などに形成することにより電
子部品7との接触を安定させてもよいことは言うまでも
ない。
【0032】
【発明の効果】以上のように本発明による電子部品の検
査装置は、検査接点をコイルバネのみで構成することに
より、微小電子部品へのストレスを最小にして高速で高
精度に検査を行うことが可能であり、又、安価で交換時
の作業性を向上できる優れた電子部品の検査装置を実現
できるものである。
査装置は、検査接点をコイルバネのみで構成することに
より、微小電子部品へのストレスを最小にして高速で高
精度に検査を行うことが可能であり、又、安価で交換時
の作業性を向上できる優れた電子部品の検査装置を実現
できるものである。
【図1】本発明の一実施例による電子部品の検査装置の
全体構成を示す側面断面図
全体構成を示す側面断面図
【図2】同検査接点部の詳細を示す要部側面断面図
【図3】同検査接点を示す斜視図
【図4】同検査接点のレイアウトを示す平面図
【図5】同検査接点のレイアウトの他の例を示す平面図
【図6】従来の電子部品の検査装置の全体構成を示す側
面断面図
面断面図
【図7】従来の検査接点を示す正面断面図
【図8】従来の検査接点部を示す要部断面図
1 コイルバネ接点 2 シャフト 3 コイルバネ受け 4 ブッシュ 5 ソケット 6 固定プレート 7 電子部品 8 レール 9 フタ 10 レール受け 11 ブロック 12 上下スライドユニット 22 検査部 23 配線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高杉 義秀 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 喜多 祥晃 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項1】 被検査物となる電子部品を保持する保持
部と、始終端がそれぞれ伸長方向に向かって折り曲げ加
工されると共に、一端を上記電子部品に当接して検査を
行う検査接点とし、他端を絶縁状態でプレートに結合し
たコイルバネからなる一対の接点と、この一対の接点の
検査接点側のコイル部に係合してコイル部を伸縮するこ
とにより検査接点を昇降する駆動部と、上記一対の接点
の他端側に接続されて電子部品の検査を行う検査部から
なる電子部品の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15753395A JPH095356A (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 電子部品の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15753395A JPH095356A (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 電子部品の検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH095356A true JPH095356A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15651763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15753395A Pending JPH095356A (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 電子部品の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH095356A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008197009A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Hioki Ee Corp | 電子部品検査プローブ |
WO2008133209A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Nhk Spring Co., Ltd. | 導電性接触子および導電性接触子ユニット |
WO2009096318A1 (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Nhk Spring Co., Ltd. | プローブユニット |
WO2016063676A1 (ja) * | 2014-10-23 | 2016-04-28 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の試験装置 |
-
1995
- 1995-06-23 JP JP15753395A patent/JPH095356A/ja active Pending
Cited By (9)
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