JPH0949007A - 金属粉末およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 粒子表面に酸化膜がなく、粒径の均一なほぼ
真球状の金属微粉末を安価かつ容易に製造すること。 【解決手段】 本発明は超音波エネルギーを負荷しつつ
分散媒体中にて溶融分散された低融点金属、低融点合
金、はんだ合金等を冷却して得られる金属粉末およびそ
の製造法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の技術分野】本発明は低融点金属または低融点合
金粉末およびその製造方法に関し、特にはんだ粉末及び
その製造方法に関する。本発明の金属粉末は特に電子工
業への使用に適する。

【０００２】

【従来の技術】低融点金属、低融点合金、はんだ等の微
粉末の製造法には、従来アトマイズ法、遠心噴霧法(回
転ディスク法)、回転水噴霧法が知られている。

【０００３】アトマイズ法は所望の配合組成に調製した
はんだ組成物を加熱溶融し、この融液を高圧ガスを用い
て細いノズルから噴射して粒子状に飛散させ、凝固させ
て微粉末として回収する方法である。ここで用いる高圧
ガスとしては空気、水素ガス、不活性ガス(Ｎ₂、Ｃ
Ｏ₂、希ガス等)などがある。しかしながら、空気を使用
した場合は粒子表面が酸化膜を形成しやすく、一定形状
の金属微粉末を得ることは困難である。また不活性ガス
を使用した場合は表面酸化が抑制されて、金属微粉末の
形状は改善される。しかしながら、アトマイズ法では、
いずれにしても金属微粉末の形状や粒子表面の酸化膜の
存在などはんだ粒子の性状が、噴霧ガスの種類や圧力、
融液の温度、冷却温度条件などによって著しく異なる。
さらに、高圧ガスや回収容器に残存する気体中の酸素の
濃度が８％以上であったり、水分濃度が３０％ＲＨ以上
であると、一定の形状の金属微粉末を得ることは困難で
ある。これは微粒子化された金属融液が凝固するまでの
間に粒子表面が酸化されてしまうためと考えられてい
る。このため、最近では噴出した金属粒子を回収する雰
囲気の酸素分圧および水分率を厳格に低く管理すること
も行われている。

【０００４】つぎに、遠心噴霧法は回転体の表面に広く
薄く形成した融液を回転体の遠心力によって多数の紐状
態に***させ、回転体の先端から遠心力により順次液滴
として振りちぎっていく方法であり、いわゆるちぎれ現
象を利用して融液の微粒子を形成し、冷却凝固させて微
粉末を得る方法である。したがって、この方法では融液
の表面張力と回転体の遠心力とのバランスによって、融
液のひきちぎられる大きさが異なる。したがって形状や
大きさが揃った金属の微粉末を製造するには該融液の温
度と回転体の回転速度および雰囲気温度の厳密な制御管
理が必要であり、均一な微粉末を製造することは非常に
困難である。また、かかる方法では融液の液滴が比較的
長い距離を飛来した後に凝固するため、粒子の表面が酸
化されやすく、このため金属微粒子の形状や大きさが一
層不揃いとなる。

【０００５】さらに、回転水噴霧法はドラム容器内に冷
却媒体を入れてドラムを回転させて冷却媒体の層を回転
ドラムの内壁面に形成し、アトマイズ法などにより液滴
化した融液をこの冷却媒体層に連続的に噴射突入させて
凝固させ金属粉末を得る方法である。この方法では、冷
却媒体の移動速度と融液の移動速度との差、即ち流動速
度差にもとづく剪断力を用いて粉末化が促進される。こ
の方法では融液噴射ノズルを冷却媒体層の直近に設置で
きるので液滴を急冷することが可能となる。したがっ
て、液滴と高温雰囲気との接触時間を極端に短縮でき微
粉末の表面酸化を極力抑制することができ、粒径の揃っ
た比較的真球に近い微粉末を製造することができる。し
かしながら、この方法を用いた場合も、使用する高圧ガ
ス種類、ガス圧、該融液の温度、冷却媒体に突入するま
での時間、即ち飛距離と雰囲気温度や突入した液滴と冷
却媒体の流動速度差から生じる剪断力の大きさの違いな
どにより、液滴の形状や大きさが著しく異なる。したが
って、回転水噴霧法を用いてもアトマイズ法で問題にな
っている粒径や粒形状の不揃いという欠点は完全には解
消されない。また、これらアトマイズ法、遠心噴霧法、
回転水噴霧法は、いずれも装置が大型であり、これらの
方法で製造する微粉末は総じてコストが高い。一方、低
融点金属や低融点合金を融点以上の温度に加熱された液
体状の分散媒体に投入し、該分散媒−金属融液系を機械
的に撹拌機等により撹拌して、該金属を微粒子状に分散
させ、次いで該系全体を冷却して微粒子を凝固させる金
属の球状粉を製造する方法も知られている。この方法で
は、液−液界面における物質の凝集作用を利用して、低
融点金属や低融点合金の融液を微粒子状に分散させ、該
融液微粒子を凝固させるので、真球に近い粉体が得られ
る。

【０００６】しかしながら、この方法でも金属の微粒子
を所定の大きさに制御することは非常に困難である。す
なわち加熱液体媒体中における金属融液の微粒子化をは
かるため、機械的撹拌など外力による液体媒体と金属融
液との間の移動速度差を形成し、あるいは金属の融液と
撹拌子の間の移動速度差を形成することにより生じた剪
断力が用いられる。したがって、形状や大きさの揃った
金属微粉末を製造するには、金属の融液と液体媒体との
移動速度差、あるいは金属の融液と撹拌子との移動速度
差を厳密に制御、管理する必要がある。また、剪断力を
一定値以上に保持するには、速度差を一定値以上に制御
しなければならず、形状や大きさがそろった微粉末の製
造には限界がある。すなわち、該速度差を厳密に制御す
るには、回転するプロペラによる撹拌や液体の吸入、吐
出などによる撹拌では、撹拌方向が限定されるので該系
内での移動は層流になりやすい。このため、剪断力の大
きさには上限が存在し、また系内位置による大きさのば
らつきが生じやすい。したがって、粒径分布の狭い所望
の大きさの微粒子を製造することは極めて困難である。
これは、液体媒体中における物質の移動速度を機械的な
撹拌で得ることに、限界があるためと考えられる。この
ような欠点を解決せんとして、撹拌方向に障害物を設置
したり、撹拌方向を時系列的に反転したりして、剪断力
の大きさを制御する方法も考えられている。しかしこの
ような方法でも、物質の移動速度は高速化できず、通常
必要と考えられる程の大きな剪断力は得られず、さらに
製造条件の厳密な制御管理は事実上困難である。したが
って、任意の大きさのそろった金属微粉末の製造は極め
て困難である。

【０００７】

【発明の目的及び概要】本発明はかかる状況に鑑みてな
されたもので、意外にも高温の分散媒体中にて溶融した
金属に超音波振動を加えつつ分散凝固を行うことによ
り、粒子表面に酸化膜が少なく、粒径の均一なほぼ真球
状の金属微粉末が安価かつ容易に製造できることがわか
った。

【０００８】本発明は超音波エネルギーを負荷しつつ分
散媒体中にて溶融分散された低融点金属、または低融点
合金を冷却して得られる金属粉末を提供するものであ
る。本発明はまたこのような金属粉末の製造法をも提供
するものである。

【０００９】このように本発明は所望の金属組成物の融
点以上の高温度に保持した高温の加熱媒体中に該金属組
成物を投入し、前記加熱媒体中で該金属組成物を融液と
し、該融液に超音波振動を負荷して、融液を微粒状の液
滴とし、ついでこの液滴を冷却凝固させて、微粉末とし
て回収して金属微粉末を製造するものである。

【００１０】

【発明の詳細な開示】本発明でははんだ等の低融点金属
または低融点合金の融液が、加熱された加熱媒体中で微
小な液滴に分断される際に融液固有の物性により球体を
形成し真球に近い粉体粒子が形成される。本発明では、
負荷する超音波の周波数、エネルギー、負荷時間および
金属の融点、製造時の融液の温度などを適宜選択するこ
とにより、液滴に負荷される剪断力を制御し所望の粒径
の金属粉末が得られる。

【００１１】また本発明の製造法によれば、アトマイズ
法や遠心噴霧法、回転水噴霧法などとは異なり、金属の
融液の温度や加熱媒体の温度を極めて正確に制御でき
る。このため、金属融液の液滴の大きさ形状は融液の温
度、負荷した超音波の周波数、負荷エネルギー、負荷時
間等を一定化することで、全く均一となる。このため、
金属粉末の均一なものを再現性よく安定して製造でき
る。また金属の液滴が粒子形成中、終始分散媒体中に分
散されており、金属微粉末粒子と酸素との接触を充分に
遮断することができる。

【００１２】本発明は前記の加熱媒体を用いた場合の有
利性に着目してなされたものであり、低融点金属粉末お
よびはんだ粉末の製造を試みたところ粒径が一様な任意
の大きさの真球状の低融点金属粉末やはんだ粉末が容易
に製造できることがわかった。

【００１３】本発明の金属粉末の原料となる低融点金属
としては、Ｇa(29.8℃)、Ｉn(156℃)、Ｌi(186℃)、Ｓe
(217℃)、Ｓn(232℃)、Ｂi(271℃)、Ｔl(302℃)、Ｐb(3
27℃)、Ｚn(419℃)、Ｔe(452℃)等を用いることができ
る。また低融点合金としては、67Ａg−33Ｔe(351℃)、9
7.2Ａg−2.8Ｔl(291℃)、45.6Ａg−54.4Ｚn(258℃)、9
5.3Ａg−4.7Ｂi(262℃)、52.7Ｂi−47.3Ｉn(110℃)、4
7.2Ｉn−52.8Ｓn(117℃)、95.3Ａg−4.7Ｐb(304℃)、8
6.6Ａg−3.4Ｌi(154℃)、8.1Ｂi−91.9Ｚn(254.5℃)な
どを用いることができる。さらに、はんだ合金として
は、Ｐb−Ｓn共晶はんだなど従来電子工業やその他の用
途に用いられている公知のはんだ合金がいずれも用いる
ことができる。このようなはんだ組成物としては、例え
ば１００％Ｓn(232℃)、Ｐb−Ｓn系(37Ｐb−63Ｓn(183
℃)、40Ｐb−60Ｓn(183℃)、50Ｐｂ−50Ｓn(212℃)、44
Ｐb−56Ｓｎ(125℃)など)、Ｐb−Ｉn系(50Ｐb−50Ｉn(1
98℃)など)、Ｓn−Ｉn系(49Ｓn−51Ｉn(120℃)、48Ｓn
−52Ｉn(117〜120℃)、65Ｓn−35Ｉn(162℃)など)、Ｓn
−Ｂi系(43Ｓn−57Ｂi(139℃)、42Ｓn−58Ｂi(138℃)な
ど)、Ｓn−Ａg系(98Ｓn−2Ａg(221〜226℃)、96.5Ｓn−
3.5Ａg(221℃)、96Ｓn−4Ａg(232℃)、95Ｓn−5Ａg(232
℃)など)、Ｓn−Ｚn系（91Ｓn−9Ｚn(199〜203℃)、30
Ｓn−70Ｚnなど）、Ｓn−Ｃu系（99.3Ｓn−0.7Ｃu(227
℃)など）、Ｃd−Ｚn系（60Ｃd−30Ｚnなど）、Ｓn−Ｓ
b系（95Ｓn−5Ｓb(238℃)など）、Ａg−Ｉn系（3Ａg−9
7Ｉn(141℃)など）やＡu−Ｓn系(80Ａu−20Ｓn(283℃)
など)、Ｓn−Ｃd−Ａg系（10Ｓn−85Ｃd−5Ａgなど）、
Ｓn−Ａg−Ｉn系（95.5Ｓn−3.5Ａg−1Ｉnなど）、Ｓn
−Ｚn−Ｉn系（86Ｓn−9Ｚn−5Ｉn(192℃)、81Ｓn−9Ｚ
n−10Ｉn(178℃)など）、Ｓn−Ｃu−Ａg系(95.5Ｓn−4
Ｃu−0.5Ａg(216℃)など)、Ｓn−Ｐb−Ｂi系(16Ｓn−32
Ｐb−52Ｂi(99.5℃)、19Ｓn−31Ｐb−50Ｂi(96℃)、34
Ｓn−20Ｐb−46Ｂi(100℃)、43Ｓn−43Ｐb−14Ｂi(136
〜166℃)など)、Ｓn−Ｐb−Ｓb系(35Ｓn−64.5Ｐb−0.5
Ｓb、32Ｓn−66Ｐb−2Ｓbなど)、Ｓn−Ｂi−Ｉn系(17Ｓ
n−57Ｂi−26Ｉnなど)、Ｐb−Ａg系(97.5Ｐb−2.5Ａ
g)、Ｓn−Ｂi−Ａg(90.5Ｓn−7.5Ｂi−2Ａg(207〜212
℃)など)などの組成を有するはんだがいずれも用いられ
てよい。

【００１４】金属融液を微細な液滴に分散するのに用い
られる加熱分散媒体としては、シリコンオイル、エンジ
ンオイル、工業用潤滑油(スピンドル油、マシン油、シ
リンダ油、ギヤ油など)、絶縁油、植物油(やし油(215
℃)、パーム油、オリーブ油、ひまわり油、ひまし油(22
9℃)、大豆油(282℃)、あまに油、菜種油(162℃)、桐油
(289℃)、綿実油(252℃)など)、鯨油(230℃)、牛脂(265
℃)、天然樹脂(ロジン、コパール、ダンマルなど)や流
動パラフィン、デカン、ドデカン、テトラデカン、ヘキ
サデカン、オクタデカン、ウンデカンなどの高級炭化水
素化合物、オレイン酸(255℃)、パルミチン酸(215℃)、
ラウリン酸(176℃)、ミリスチン酸(196℃)、ステアリン
酸(291℃)、ダイマー酸(280℃)などの高級炭化水素カル
ボン酸、グリセリン酸(290℃)、エチレングリコール、
ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリ
エチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどの
グリコール類、及びその類縁化合物、トリメチルフォス
フェート、トリエチルフォスフェート、トリブチルフォ
スフェートなどのフォスフェート誘導体化合物、オクチ
ルフェノール、トリクロルフェノール、ノニルフェノー
ルなどのフェノール誘導体、トリクロロアニリンなどや
ジフェニル系、トリフェニル系の有機熱媒体、フェニル
イミダゾール、ウンデシルイミダゾール、ヘプタデシル
イミダゾールなどが好ましく用いられる。これらは引火
防止が施されることが更に好ましい。

【００１５】これら加熱媒体は、用いる低融点の金属ま
たは合金の溶融温度により１２０〜４６０℃の範囲で適
宜選択する。加熱分散媒体は、使用温度が分解温度以下
であれば使用可能であり、通常、４７０℃まで実用に供
することができる。

【００１６】これら高温加熱媒体には酸化防止剤を添加
し、加熱媒体の酸化を抑制してもよい。かかる酸化防止
剤としては、例えば油脂類やゴム、合成樹脂に普通使用
されているフェノール系酸化防止剤(２,６ージ−ｔ−ブ
チル−９−クレゾール、ブチル化ヒドロキシアニゾー
ル、２,６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノール、
２,６−ジ−ｔ−ブチル−４−ブチルフェノール、３,５
−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニルプロピオネ
ートなど)、ビスフェノール系酸化防止剤(２,２'−メチ
レンビス(４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール)、
２,２'−メチレンビス(４−エチル−６−ｔ−ブチルフ
ェノール)、４,４'−チオビス(３−メチル−６−ｔ−ブ
チルフェノール)、４,４'−ブチリジンビス(３−メチル
−６−ｔ−ブチルフェノール)など)、ポリマー型フェノ
ール系酸化防止剤(１,１,３−トリス(２−メチル−４−
ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル)ブタン、１,３,
５−トリメチル−２,４,６−トリス(３,５−ジ−ｔ−ブ
チル−４−ヒドロキシベンジル)ベンゼン、ビス(３,３'
−ビス(４'−ヒドロキシ−３−ｔ−ブチルフェニル)ブ
チリックアシッド)グリコールエステル、トコフェロー
ルなど)、硫黄系酸化防止剤(ジラウリルチオプロピオネ
ート、ジミリスチルチオプロピオネート、ジステアリル
チオジプロピオネートなど)、リン系酸化防止剤(トリフ
ェニルホスファイト、ジフェニルイソデシルホスファイ
ト、フェニルジイソデシルホスファイト、サイクリック
ネオベンタンテトライルビス(オクタデシルホスファイ
ト)、トリス(ノニルフェニル)ホスファイト、トリス(モ
ノおよびあるいはジノニルフェニル)ホスファイト、ジ
イソデシルペンタエリスリトールジホスファイト、９,
１０−ジヒドロ−９−オキサ−１０−ホスファフェナン
スレン−１０−オキサイド、１０(３,５−ジ−ｔ−ブチ
ル−４−ヒドロキシベンジル）−９,１０−ジヒドロ−
９−オキサ−１０−ホスファフェナンスレン−１０−オ
キサイド、１０−デシロキシ−９,１０−ジヒドロ−９
−オキサ−１０−ホスファフェナンスレンなど)が使用
してよい。

【００１７】その他、酸化抑制効果を有するとされるイ
ミダゾール類(イミダゾール、２メチルイミダゾール、
２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニルイ
ミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタ
デシルイミダゾール、１−ベンジル−２−メチルイミダ
ゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、１−
シアノエチル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエ
チル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−
２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−アミノエチ
ル−２−メチルイミダゾール、１−(シアノエチルアミ
ノエチル)−２−メチルイミダゾール、Ｎ−(２−メチル
イミアゾリル−１−エチル)尿素、１−シアノエチル−
２−ウンデシルイミダゾール、１−シアノエチル−２−
メチルイミダゾールトリメリテート、１−シアノエチル
−２−フェニールイミダゾールトリメリテート、１−シ
アノエチル−２−エチル−４−メチルイミダゾールトリ
メリテート、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダ
ゾールトリメリテート、２,４−ジアミノ−６−(２−メ
チルイミダゾール(１')エチル−Ｓ−トリアジン、２,４
ジアミノ−６−(２'−ウンデシルイミダゾリル(１')エ
チル−Ｓ−トリアジン、２,４−ジアミノ−６−(２'−
エチル−４'−メチルイミダゾリル(１')エチルＳトリア
ジン、１−ドデシル−２−メチル−３−ベンジルイミダ
ゾリウムクロライド、Ｎ，Ｎ'−ビス(２−メチルイミダ
ゾリル−１−エチル)尿素、Ｎ，Ｎ−(２メチルイミダゾ
ール(1)エチル−９−アジポイルジアミド、２,４−ジア
キルイミダゾール−５−ジチオカルボン酸、１,３−ジ
ベンジル−２−メチルイミダゾリウムクロライド、２−
フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾ
ール、２−フェニル−４,５−ジヒドロキシメチルイミ
ダゾール、１，−シアオノエチル−２−フェニル−４,
５−ジ(シアノエトキシメチル)イミダゾール、２−メチ
ルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、２−フェニルイ
ミダゾールイソシアヌル酸付加物、２,４−ジアミノ−
６−(２'−メチルイミダゾール(１')エチル−Ｓ−トリ
アジンイソシアヌレート酸付加物、２−アルキル−４−
フォルミルイミダゾール、ジアルキル−５−フォルミル
イミダゾールなど)を用いてよい。

【００１８】本発明の金属粉末の製造にあたっては、こ
れら適宜の加熱媒体中に前記の低融点金属、低融点合
金、はんだ合金を投入し加熱分散する。媒体中の低融点
金属、低融点合金、はんだ合金の分散にあたっては、機
械的な撹拌を行いながら超音波エネルギーを負荷して溶
融金属の微粒子液滴を均一かつ効率的に分割分散するの
が好ましい。機械的な撹拌は、ホモジナイザーや従来公
知の撹拌機により行うことができる。超音波振動を発生
させるには、例えば発振機と振動子を分離したセパレー
ト型、一体化した一体型あるいは投込タイプ、平置タイ
プなど従来公知の装置がいずれも用いられてよい。また
周波数の異なる超音波振動を併せ使用した併用タイプも
よい。

【００１９】低融点金属、低融点合金、はんだ合金の溶
融分散の条件は、金属の種類、組成により大きく異なる
が、例えば、Ｐb−Ｓn共晶はんだの場合、はんだ融液１
８３〜２８０℃、超音波周波数１０〜４８KHz、超音波
照射時間１〜５分にて均一なはんだ粉末が製造できる。

【００２０】低融点金属、低融点合金、はんだ合金が、
加熱媒体中で充分均一な微粒液滴に分散したら、低温
(金属融液の凝固温度以下)の液体媒体を投入して急冷す
るか、あるいは低温の液体媒体中に連続的に投入して金
属液滴を冷却凝固させる。ここで用いられる冷却用媒体
は、先の加熱媒体と同一であっても異なっていてもよ
い。冷却凝固により生成する金属凝固体は、加熱媒体中
の液滴径によって定まる微細な金属粉末であり、この金
属粉末の粒子形状は液体が物理的作用により形作るほぼ
真球を有する。また金属粒子の大きさは付加した超音波
の周波数、エネルギー、負荷時間および加熱媒体の温
度、金属組成物の種類、構成比率などにより定まり、所
望により、通常使用の金属粉末の大きさ(１０〜１５μ
ｍ)で充分一様に制御製造できる。

【００２１】図１〜３に40Ｐb−60Ｓn(mp183℃)を１８
３〜２８０℃の加熱媒体(大豆油)中にて、超音波を負荷
した時の加熱媒体の温度、超音波の周波数および超音波
の負荷時間と得られたはんだ粉末の平均粒径との関係を
検討した結果を示す。

【００２２】このようにして製造したはんだ粉末等の金
属粉末は、適宜の溶媒で加熱媒体を洗浄除去、乾燥す
る。なお、得られた乾燥粉末は容易に酸化するので粉末
化の過程で加熱媒体中に酸化防止剤を予め添加しておく
とよいが、粉末を乾燥回収時に改めて酸化防止剤で処理
してもよく、はんだ粉末の場合にはこの際にフラックス
処理をすれば更に好ましい。

【００２３】得られた粉末がはんだ粉末の場合には、従
来公知の方法ではんだペーストあるいははんだクリーム
に適用できる。なおはんだ粉末のフラックス処理にはイ
ミダゾール処理、有機酸処理が用い得るが従来公知の活
性ロジン、塩化亜鉛などの塩化金属、無機ハロゲン化物
または無機酸類が単独であるいは混合物として好んで用
いられる。

【００２４】

【実施例】つぎに本発明を実施例に基づきさらに具体的
に説明する。

【００２５】５種類のはんだ合金；40Ｐb−60Ｓn(mp183
℃)、49Ｓn−51Ｉn(mp120℃)、43Ｓn−57Ｂi(mp139
℃)、96.5Ｓn−3.5Ａg(mp221℃)及び91Ｓn−9Ｚn(mp199
℃）を各々をおよそ３〜５ｍｍの大きさのチップに切断
した。このはんだチップを各５０ｇづつ秤量してトール
ビーカー(600cc)に各々別々に投入した。ついで、この
トールビーカーに高温の加熱媒体として２３０℃の綿実
油３００ccを注ぎ合金を融液とした。次いでこの融液お
よび加熱媒体を３００℃に維持し、スリーワンモーター
を用いてプロペラ撹拌しながら、投げ込みタイプの振動
子を用いて２８KHzの超音波を５分間負荷した。このよ
うにして、融液となった合金を３００℃の綿実油中で充
分微細な液滴に分割し分散した。その後、加熱をやめ超
音波を負荷しながら別に準備した常温(２３℃)の綿実油
２００ｃｃをトールビーカーに一気に投入し、分散系を
急冷して合金微粉末を生成した。得られた合金粉末をデ
カンテーションにより綿実油から分離回収し、トルエン
により洗浄して球状の合金粉末を得た。

【００２６】次に加熱媒体として大豆油を用い、２６０
℃と２８０℃で前記と同様の条件により合金粉末を得
た。

【００２７】また、上記と同一条件で超音波の周波数だ
けを１０KHz、２０KHz、４７KHzに各々変更して同様に
して球状合金粉末を製造した。

【００２８】得られた合金粉末の平均粒径を表１に示
す。いずれの合金粉末もその形状はほぼ真球状であり、
粒径もほぼ均一であった。

【００２９】

【表１】

【００３０】

【発明の効果】本発明の低融点金属、低融点合金粉末は
粒子が、非常に微細で、かつほぼ真球状で均一である。
このため、電子工業用など特に精度の要求される用途に
好ましい。また、スクリーン印刷用や浸漬塗布、その他
の一般塗布機用のペースト、クリームあるいはペイント
として使用すると、ファインパターンの形成が容易であ
り、表面が平滑で且つ緻密な塗膜が極めて精度よく形成
でき極めて有用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】高温分散媒体の温度と生成したはんだ粉末の平
均粒径の関係を超音波の周波数（負荷時間は５分）をパ
ラメータとして示したグラフである。

【図２】負荷した超音波の周波数と生成したはんだ粉末
の平均粒径の関係を高温分散媒体の温度をパラメータに
し、超音波負荷時間を５分に固定したグラフである。

【図３】超音波の周波数を４７KHzに固定し、超音波負
荷時間と生成したはんだ粉末の平均粒径との関係を加熱
媒体の温度をパラメータとして示したグラフである。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 超音波エネルギーを負荷しつつ加熱分散
   媒体中にて低融点金属または低融点合金を溶融分散し、
   ついで冷却して微粒子を凝固させた後、分離を行う金属
   粉末の製造方法。
2. 【請求項２】 超音波エネルギーを負荷しつつ分散媒体
   中にて溶融分散された低融点金属、低融点合金またはは
   んだ合金を冷却して得られる金属粉末。