JPH0942223A - 尺取虫型アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガイド部材に対し１ピッチ宛歩進する、構造
簡単な尺取虫型アクチュエータを提供する。 【解決手段】 ガイド部材ｂに摺動自在に係合させたケ
ーシング１の往動方向側の半部に往動用歩進ユニット４
₁と、復動方向側の半部に復動用歩進ユニット４₂とを組
込む。各ユニット４₁，４₂を、歩進ピストン４０とそれ
より内方のブレーキピストン４１と、両ピストン間のク
ランプ部材４２とを備えるものに構成し、付勢手段４３
によりブレーキピストン４１を外方に付勢してクランプ
部材４２を挟圧し、ガイド部材ｂをクランプさせる。往
動又は復動時は、対応する一方の歩進ユニットの歩進ピ
ストン用圧力室４５と他方の歩進ユニットのブレーキピ
ストン用圧力室４４とに流体圧を入力し、他方の歩進ユ
ニットのクランプ部材４２をアンクランプし、一方の歩
進ユニットの圧力室４５内の流体圧により該ユニットの
歩進ピストン４０を反力受けとしてケーシング１を該ピ
ストン４０のストローク分歩進させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガイド部材に対し
１ピッチ宛歩進するようにして相対移動する尺取虫型ア
クチュエータに関し、特に、治具上のワーク受けの位置
を保持し、且つ、ワークの機種に応じて変更する際の位
置決め駆動装置に好適なアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、尺取虫型アクチュエータとして、
特開昭47-32631号公報により、油圧ジャッキを介して伸
縮自在に連結される１対のケーシングを棒状のガイド部
材に摺動自在に係合し、各ケーシングに、該各ケーシン
グをガイド部材に対してロック及びアンロックする、油
圧式のブレーキユニットを組込み、一方のケーシングの
ブレーキユニットをロック状態、他方のケーシングのブ
レーキユニットをアンロック状態にして油圧ジャッキの
伸張動作により他方のケーシングを歩進させ、次いで、
他方のケーシングのブレーキユニットをロック状態、一
方のケーシングのブレーキユニットをアンロック状態に
して油圧ジャッキの収縮動作により一方のケーシングを
他方のケーシング側に歩進させ、以上の作動の繰返しで
アクチュエータをガイド部材に沿って１ピッチ宛歩進さ
せるようにしたものが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、アクチュエ
ータの制御の応答性を向上させるには、油圧ジャッキや
ブレーキユニットへの給排油を制御するバルブをケーシ
ングに取付けて、油圧ジャッキやブレーキユニットとバ
ルブとの間の流体通路長さを可及的に短縮することが望
まれる。

【０００４】上記従来例のものは、一方のケーシングに
油圧ジャッキを一体化できるから、該一方のケーシング
にこれに内蔵するブレーキユニット用のバルブと油圧ジ
ャッキ用のバルブとを備えるバルブブロックを取付け、
該バルブブロックに接続する共通の配管部材により各バ
ルブを介してブレーキユニットと油圧ジャッキに流体圧
を入力できるが、他方のケーシングは一方のケーシング
に対し相対移動するため、他方のケーシングに内蔵する
第２のブレーキユニット用のバルブを一方のケーシング
に取付けたバルブブロックに収納すると、バルブブロッ
クと第２のブレーキユニットとの間を可撓性ホースを介
して接続せざるを得なくなり、第２のブレーキユニット
の制御の応答性が悪くなると共に、他方のケーシングの
相対移動に伴う可撓性ホースの屈伸によりホースの疲労
を生じて耐久性が悪くなる。

【０００５】この場合、他方のケーシングに第２のブレ
ーキユニット用のバルブを取付けることも考えられる
が、これでは圧力源に連なる配管部材を一方のケーシン
グ側と他方のケーシング側とに分けて配設しなければな
らず、配管の取回しが面倒になる。

【０００６】更に、上記従来例では、相対移動する２つ
のケーシングでアクチュエータが構成されているため、
ワーク受け等の被駆動物の固定部として利用できるのは
アクチュエータの一部（２つのケーシングの一方）のみ
となり、被駆動物の位置決めの剛性，精度を損う。

【０００７】また、上記従来例では、往復動の何れにお
いても油圧ジャッキのストローク分のピッチで歩進され
ることになるため、往動時の歩進ピッチと復動時の歩進
ピッチとが等しくなり、治具上のワーク受けの位置決め
駆動装置としてアクチュエータを使用する場合、歩進ピ
ッチの整数倍のピッチでしかワーク受けを位置変更でき
なくなり、位置変更の自由度を損う。更に、上記従来例
では、１対のブレーキユニットと歩進用の油圧ジャッキ
とが必要なため、構造が複雑になる。

【０００８】本発明は、以上の点に鑑み、単一のケーシ
ングを用いて歩進可能とすることにより配管部材の取回
しの簡素化を図れるようにすると共に、被駆動物の位置
決めの剛性，精度を確保し、且つ、往動時の歩進ピッチ
と復動時の歩進ピッチとに差異を付けられるようにした
構造簡単な尺取虫型アクチュエータを提供することをそ
の目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明は、ガイド部材に対し相対移動する尺取虫型アク
チュエータであって、ガイド部材の長手方向に長手でガ
イド部材に対し摺動自在なケーシングと、ケーシングの
往動方向側の半部に組付けた往動用の歩進ユニットと、
ケーシングの復動方向側の半部に組付けた復動用の歩進
ユニットとを備え、各歩進ユニットは、歩進用ピストン
と、歩進用ピストンに対しケーシングの長手方向内方に
配置したブレーキ用ピストンと、歩進用ピストンとブレ
ーキ用ピストンとの間に介設した、該両ピストン間で挟
圧されたときにガイド部材をクランプするクランプ部材
と、ブレーキ用ピストンをケーシングの長手方向外方に
付勢する付勢手段と、ブレーキ用ピストンをケーシング
の長手方向内方に押圧する第１圧力室と、歩進用ピスト
ンをケーシングの長手方向内方に押圧する第２圧力室と
を備え、往動歩進時に往動用歩進ユニットの第２圧力室
と復動用歩進ユニットの第１圧力室とに流体圧を入力
し、復動歩進時に復動用歩進ユニットの第２圧力室と往
動用歩進ユニットの第１圧力室とに流体圧を入力する流
体供給手段を設ける、ことを特徴とする。

【００１０】常時は各歩進ユニットのブレーキ用ピスト
ンが付勢手段によってケーシングの長手方向外方に付勢
され、クランプ部材が外方のストローク端位置に存する
歩進用ピストンとの間で挟圧されてクランプ状態にな
る。この状態では、ケーシングに作用する往動方向への
スラスト力が復動用歩進ユニットの歩進用ピストンを介
してそのクランプ部材で受けられると共に、復動方向へ
のスラスト力が往動用歩進ユニットの歩進用ピストンを
介してそのクランプ部材で受けられ、ケーシングは定位
置にロックされる。

【００１１】復動用歩進ユニットの第１圧力室に流体圧
を入力すると、復動用歩進ユニットのブレーキ用ピスト
ンが付勢手段に抗して内方に退動し、復動用歩進ユニッ
トのクランプ部材がアンクランプ状態になって、ケーシ
ングが往動方向に移動可能になる。一方、往動用歩進ユ
ニットのクランプ部材はクランプ状態に維持されるか
ら、往動用歩進ユニットの第２圧力室に流体圧を入力す
ると、その歩進用ピストンを反力受けとしてケーシング
に往動方向の押圧力が作用し、該歩進用ピストンのスト
ローク分ケーシングが往動方向に歩進する。

【００１２】この歩進後、復動用歩進ユニットの第１圧
力室と往動用歩進ユニットの第２圧力室とを共に大気開
放するが、これによれば復動用歩進ユニットのクランプ
部材がクランプ状態になると共に、往動用歩進ユニット
の歩進用ピストンがそのブレーキ用ピストンからの付勢
力でケーシングに対し相対移動しつつ外方のストローク
端位置に押し戻され、元の状態に復帰する。そして、以
上の作動を繰返すことにより、ケーシングが往動用歩進
ユニットの歩進用ピストンのストロークで１ピッチ宛往
動方向に歩進する。

【００１３】往動用歩進ユニットの第１圧力室と復動用
歩進ユニットの第２圧力室とに流体圧を入力したとき
も、上記と同様の作用で、ケーシングが復動用歩進ユニ
ットの歩進用ピストンのストローク分だけ復動方向に歩
進する。このように、往動と復動とを各別の歩進ユニッ
トを用いて行うため、往動時の歩進ピッチと復動時の歩
進ピッチとに差異を付けることが可能となる。

【００１４】また、ケーシングが単一であるため、流体
供給手段を構成する、各歩進ユニットの第１圧力室用の
バルブと第２圧力室用のバルブとを組込んだバルブブロ
ックをケーシングに取付けて、バルブブロックに接続す
る共通の配管部材から各バルブを介して各ユニットに応
答性良く流体圧を入力できるようになり、アクチュエー
タに対する配管部材の取回しが簡素化される。また、単
一のケーシングでアクチュエータが構成されるため、ア
クチュエータ全体を被駆動物の固定部に利用できるよう
になり、被駆動物の位置決めの剛性，精度が確保され
る。更に、１対の歩進ユニットを設けるだけであるた
め、１対のブレーキユニットと歩進用の油圧ジャッキと
を設ける従来のアクチュエータに比し、構造が簡単にな
る。

【００１５】また、両歩進ユニットのブレーキ用ピスト
ンはケーシングの中間部に隣接して配置されることにな
り、この場合、両ブレーキ用ピストンを両者間に配置し
た共通の付勢手段でケーシングの長手方向外方に付勢
し、部品の共用化を図ることが望ましい。

【００１６】クラッチ部材としては種々のものが考えら
れるが、クランプ部材を、歩進用ピストンとブレーキ用
ピストンとの間で挟圧されたときに内径が縮径される皿
ばね状部材で構成すれば、構造が簡単になる。また、ク
ランプ部材を、ガイド部材に外挿されるコレットチャッ
クを備えるものに構成すれば、耐久性が向上すると共
に、ガイド部材に対する拘束力を強くでき、有利であ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は自動車製造ライン等で使用
する治具上のワーク受けの配置部を示しており、治具本
体ａ上に棒状のガイド部材ｂ横設し、ガイド部材ｂに沿
って左右動するアクチュエータＡに被駆動物たるワーク
受けｃを取付け、ワークの機種に応じてワーク受けｃの
位置を変更し得るようにした。

【００１８】アクチュエータＡは、ガイド部材ｂに摺動
自在に係合するケーシング１を備えており、ケーシング
１の外面にバルブブロック２を取付け、該バルブブロッ
ク２にこれに接続した配管部材３を介して圧力流体、例
えば、圧縮エアを供給し、エア圧でアクチュエータＡを
作動させるようにした。

【００１９】アクチュエータＡの詳細は、図２に示す通
りであり、ガイド部材ｂに摺動自在に外挿される筒状の
ケーシング１の右半部に右動用の歩進ユニット４₁が組
込まれ、ケーシング１の左半部に左動用の歩進ユニット
４₂が組込まれている。

【００２０】右動用歩進ユニット４₁は、歩進用ピスト
ン４０と、歩進用ピストン４０に対しケーシング１の長
手方向内方、即ち、左方に配置したブレーキ用ピストン
４１と、歩進用ピストン４０とブレーキ用ピストン４１
との間に介設した、ガイド部材ｂをクランプ可能なクラ
ンプ部材４２と、ブレーキ用ピストン４１をケーシング
１の長手方向外方、即ち、右方に付勢する付勢手段４３
と、ブレーキ用ピストン４１を左方に押圧する第１圧力
室４４と、歩進用ピストン４０を左方に押圧する第２圧
力室４５とを備えている。尚、付勢手段４３はコイルス
プリングで構成されているが、エアスプリング等で構成
することも可能である。

【００２１】ブレーキ用ピストン４１には、これとの間
に第１圧力室４４を画成するケーシング１に固定の隔壁
１０を通して右方にのびるカラー４１ａが一体成形され
ている。クランプ部材４２は、図３に示す如く、内周側
から径方向途中までのびる放射状のスリットを形成した
皿ばね状部材１００で構成されており、該部材１００の
内周部左側面にブレーキ用ピストン４１のカラー４１ａ
を当接させ、該部材１００の外周部右側面に歩進用ピス
トン４０を当接させた。そして、歩進用ピストン４０
が、これとの間に第２圧力室４５を画成するケーシング
１の端壁１１に当接する、外方のストローク端位置に存
する状態において、ブレーキ用ピストン４１を介して作
用する付勢手段４３の付勢力により皿ばね状部材１００
が歩進用ピストン４０との間で挟圧されてその内径が縮
径され、該部材１００の内周縁がガイド部材ｂに食い付
いて、クランプ部材４２がガイド部材ｂをクランプする
クランプ状態に保持されるようにした。

【００２２】尚、本実施例ではクランプ部材４２を歩進
用ピストン４０側に配置したが、クランプ部材をブレー
キ用ピストン側に配置し、歩進用ピストンにクランプ部
材に当接するカラーを突設しても良い。

【００２３】左動用歩進ユニット４₂は、右動用歩進ユ
ニット４₁と方向性が反対になっているだけで構造自体
は同一であり、右動用歩進ユニット４₁と同一の部材に
上記と同一の符号を付してその説明を省略する。

【００２４】ところで、右動用と左動用の両歩進ユニッ
ト４₁，４₂のブレーキ用ピストン４１，４１はケーシン
グ１の長手方向内方に隣接して配置されており、そのた
め本実施例では、両ブレーキ用ピストン４１，４１を両
者間に配置した共通の付勢手段４３でケーシング１の長
手方向外方に付勢するようにした。また、両ブレーキ用
ピストン４１，４１間には、該各ピストン４１のケーシ
ング１の長手方向内方への退動位置を規制する、ケーシ
ング１に固定のストッパ１２が設けられている。

【００２５】ケーシング１に取付けた上記バルブブロッ
ク２には、右動用歩進ユニット４₁の各圧力室４４，４
５の給排気ポート４４ａ，４５ａに接続される各バルブ
２０₁，２１₁と、左動用歩進ユニット４₂の各圧力室４
４，４５の給排気ポート４４ａ，４５ａに接続される各
バルブ２０₂，２１₂とが設けられている。これら各バル
ブは２０₁，２０₂，２１₁，２１₂は電磁弁で構成されて
おり、図外のコントローラからの信号で切換制御され
る。また、各バルブ２０₁，２０₂，２１₁，２１₂の給気
ポート２０ａ，２１ａと排気ポート２０ｂ，２１ｂは、
夫々バルブブロック２内の給気用と排気用のマニホルド
通路２２，２３を介して共通の配管部材３と消音器２４
とに接続される。尚、ケーシング１に各バルブ２０₁，
２０₂，２１₁，２１₂を個別に取付ける場合でも、ケー
シング１にマニホルドを取付けて、共通の配管部材３か
ら各バルブ２０₁，２０₂，２１₁，２１₂にエアを供給す
ることができる。

【００２６】次に、上記アクチュエータＡの作用を説明
する。常時は、両歩進ユニット４₁，４₂の第１と第２の
両圧力室４４，４５は共に大気開放されており、この状
態では両歩進ユニット４₁，４₂の歩進用ピストン４０，
４０が共に外方のストローク端位置に存すると共に、両
歩進ユニット４₁，４₂のクランプ部材４２，４２が共に
ガイド部材ｂをクランプする。この場合、アクチュエー
タＡにワーク受けｃを介して作用する左方へのスラスト
力は、ケーシング１の右方の端壁１１と右動用歩進ユニ
ット４₁の歩進用ピストン４０とを介してそのクランプ
部材４２で受けられ、また、右方へのスラスト力は、ケ
ーシング１の左方の端壁１１と左動用歩進ユニット４₂
の歩進用ピストン４０とを介してそのクランプ部材４２
で受けられ、かくて、アクチュエータＡは定位置にロッ
クされる。

【００２７】アクチュエータＡを右動させる際は、先
ず、右動用歩進ユニット４₁の第２圧力室４５にエア圧
を入力する。この場合、該歩進ユニット４₁の歩進用ピ
ストン４０はそのクランプ部材４２を介してガイド部材
ｂに対しロックされているから、第２圧力室４５内のエ
ア圧による反力でケーシング１が右方に押圧される。こ
の状態で左動用歩進ユニット４₂の第１圧力室４４にも
エア圧を入力する。これによれば、左動用歩進ユニット
４₂のブレーキ用ピストン４１が付勢手段４３に抗して
内方に退動し、該歩進ユニット４₂のクランプ部材４２
がアンクランプ状態になって、ケーシング１が右方に移
動可能になり、右動用歩進ユニット４₁の第２圧力室４
５内のエア圧により、アクチュエータＡが図４（ａ）に
示す如く右動用歩進ユニット４₁の歩進用ピストン４０
のストローク分だけ右方に歩進する。尚、図示例では右
動用歩進ユニット４₁のブレーキ用ピストン４１へのス
トッパ１２の当接でその歩進用ピストン４０のストロー
クが規制されるが、クランプ部材４２への隔壁１０の当
接でストロークが規制されるようにしても良い。

【００２８】上記の如くアクチュエータＡが歩進する
と、先ず、左動用歩進ユニット４₂の第１圧力室４４を
大気開放して、図４（ｂ）に示す如く、該歩進ユニット
４₂のクランプ部材４２をクランプ状態に切換え、次い
で、右動用歩進ユニット４₁の第２圧力室４５を大気開
放する。これによれば、該歩進ユニット４₁のクランプ
部材４２がアンクランプ状態に切換わり、該歩進ユニッ
ト４₁のブレーキ用ピストン４１に作用する付勢手段４
３の付勢力によりクランプ部材４２を介して歩進用ピス
トン４０がケーシング１及びガイド部材ｂに対し相対移
動しつつ右方のストローク端位置に押し戻され、図２に
示す状態に復帰する。

【００２９】そして、以上の作動を繰返すことによりケ
ーシング１は右動用歩進ユニット４ ₁の歩進用ピストン
４０のストロークで１ピッチ宛右方に歩進する。右動用
歩進ユニット４₁の第１圧力室４４と左動用歩進ユニッ
ト４₂の第２圧力室４５に給排気すれば、上記と同様の
作用で、ケーシング１は左動用歩進ユニット４₂の歩進
用ピストン４０のストロークで１ピッチ宛左方に歩進す
る。

【００３０】ここで、図示例では、各歩進ユニット
４₁，４₂の歩進用ピストン４０のストロークを等しく設
定しているが、このストロークに差異を付けると、ワー
ク受けｃの位置をかなり大きな自由度を持って変更でき
るようになる。例えば、右動用歩進ユニット４₁のピス
トンストロークを５mm、左動用歩進ユニット４₂のピス
トンストロークを２mmに設定しておけば、右方に１回歩
進して左方に２回歩進することによりワーク受けｃを右
方に1mm変位させることができ、ピストンストロークよ
り微小ピッチでの位置変更が可能となる。

【００３１】ところで、上記実施例では、クランプ部材
４２を皿ばね状部材１００で構成したが、図５に示す実
施例のように、ガイド部材ｂに外挿されるコレットチャ
ック１０１を皿ばね状部材１００の内周に嵌合して、ク
ランプ部材４２を構成しても良い。尚、図示例でコレッ
トチャック１０１はブレーキ用ピストン４１のカラー４
１ａに一体化されている。

【００３２】また、クランプ部材４２を、図７に示すよ
うな、周方向に分断された複数のセグメントプレート１
０２で構成することも可能である。この場合、図６に示
すように、セグメントプレート１０２をその外縁部を支
持するリテーナリング１０３を介して歩進用ピストン４
０に当接させる。これによれば、クランプ部材４２が歩
進用ピストン４０とブレーキ用ピストン４１との間で挟
圧されたとき、セグメントプレート１０２がリテーナリ
ング１０３を径方向の反力受けとして径方向に起立する
ように傾動し、その内縁部がガイド部材ｂに食い付く。
尚、図８に示す実施例のように、クランプ部材４２を、
セグメントプレート１０２とコレットチャック１０１と
を組合わせて構成しても良い。

【００３３】また、クランプ部材４２を、図９に示すよ
うな、ボール式のコレットチャック１０４で構成するこ
とも可能である。該チャック１０４は、内周面にテーパ
ーを付けたアウターレース１０４ａと、外周面にテーパ
ーを付けたコレット状のインナーレース１０４ｂと、両
レース１０４ａ，１０４ｂ間に介挿したボール１０４ｃ
とを備えており、両レース１０４ａ，１０４ｂを両端の
１対のエンドピース１０４ｄ，１０４ｄで軸方向に少許
相対移動し得るように連結し、アウターレース１０４ａ
とインナーレース１０４ｂとが歩進用とブレーキ用のピ
ストン間で矢示方向に挟圧されたとき、ボール１０４ｃ
を介してインナーレース１０４ｂが縮径されて、ガイド
部材ｂがクランプされるようにした。図中１０４ｅはボ
ールリテーナである。

【００３４】以上の如く、クランプ部材４２としては種
々のものが考えられるが、部品点数を削減してコストダ
ウンを図るには、皿ばね状部材１００を用いることが望
ましく、更に、コストダウンと耐久性との両立を図るに
は、皿ばね状部材１００とコレットチャック１０１との
組合せが有利である。また、上記実施例では、アクチュ
エータＡの作動流体としてエアを用いたが、油等の液体
を用いることも可能である。

【００３５】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、単一のケーシングに組込んだ往動用と復動用の１対
の歩進ユニットで往動方向と復動方向とへの歩進を行う
ものであり、アクチュエータの構造が簡単になると共
に、これら各ユニットに共通の配管部材からケーシング
上で分配して流体圧を供給できるため、アクチュエータ
に対する配管部材の取回しを簡素化でき、更に、アクチ
ュエータ全体を被駆動物の固定部に利用できるため、被
駆動物の位置決めの剛性，精度を確保でき、而も、往動
時と復動時とで歩進ピッチに差異を付けることができる
ため、被駆動物の位置変更の自由度を増すことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明アクチュエータの使用例を示す図

【図２】 本発明アクチュエータの第１実施例の截断側
面図

【図３】 第１実施例でクランプ部材として使用する皿
ばね状部材の正面図

【図４】 （ａ）（ｂ）第１実施例の作用を示す図

【図５】 第２実施例の截断側面図

【図６】 第３実施例の截断側面図

【図７】 第３実施例でクランプ部材として使用するセ
グメントプレートの正面図

【図８】 第４実施例の截断側面図

【図９】 クランプ部材として使用するボール式コレッ
トチャックの断面図

【符号の説明】

Ａ アクチュエータ ｂ ガイド部材 １ ケーシング ２ バルブブロック
（流体供給手段） ４₁，４₂ 歩進ユニット ４０ 歩進用ピス
トン ４１ ブレーキ用ピストン ４２ クランプ部材 ４３ 付勢手段 ４４ 第１圧力室 ４５ 第２圧力室 １００ 皿ばね状部材 １０１ コレットチャック

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガイド部材に対し相対移動する尺取虫型
   アクチュエータであって、 ガイド部材の長手方向に長手でガイド部材に対し摺動自
   在なケーシングと、ケーシングの往動方向側の半部に組
   付けた往動用の歩進ユニットと、ケーシングの復動方向
   側の半部に組付けた復動用の歩進ユニットとを備え、 各歩進ユニットは、歩進用ピストンと、歩進用ピストン
   に対しケーシングの長手方向内方に配置したブレーキ用
   ピストンと、歩進用ピストンとブレーキ用ピストンとの
   間に介設した、該両ピストン間で挟圧されたときにガイ
   ド部材をクランプするクランプ部材と、ブレーキ用ピス
   トンをケーシングの長手方向外方に付勢する付勢手段
   と、ブレーキ用ピストンをケーシングの長手方向内方に
   押圧する第１圧力室と、歩進用ピストンをケーシングの
   長手方向内方に押圧する第２圧力室とを備え、 往動歩進時に往動用歩進ユニットの第２圧力室と復動用
   歩進ユニットの第１圧力室とに流体圧を入力し、復動歩
   進時に復動用歩進ユニットの第２圧力室と往動用歩進ユ
   ニットの第１圧力室とに流体圧を入力する流体供給手段
   を設ける、 ことを特徴とする尺取虫型アクチュエータ。
2. 【請求項２】 往動用と復動用の両歩進ユニットのブレ
   ーキ用ピストンを、該両ブレーキ用ピストン間に配置し
   た共通の付勢手段でケーシングの長手方向外方に付勢す
   ることを特徴とする請求項１に記載の尺取虫型アクチュ
   エータ。
3. 【請求項３】 前記クランプ部材は、歩進用ピストンと
   ブレーキ用ピストンとの間で挟圧されたときに内径が縮
   径される皿ばね状部材で構成されることを特徴とする請
   求項１又は２に記載の尺取虫型アクチュエータ。
4. 【請求項４】 前記クランプ部材は、ガイド部材に外挿
   されるコレットチャックを備えるものに構成されること
   を特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の尺取
   虫型アクチュエータ。