JPH0940112A - 薄型基板搬送装置 - Google Patents
薄型基板搬送装置Info
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- JPH0940112A JPH0940112A JP19067095A JP19067095A JPH0940112A JP H0940112 A JPH0940112 A JP H0940112A JP 19067095 A JP19067095 A JP 19067095A JP 19067095 A JP19067095 A JP 19067095A JP H0940112 A JPH0940112 A JP H0940112A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin substrate
- centering
- robot
- centering device
- robot hand
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルーム内での省スペース化を図り、
塵埃の付着を少なくすると共に薄型基板の搬送時間を短
縮する事によって、作業性の向上を図る事ができる薄型
基板搬送装置を提供する事。 【解決手段】 機枠1に回転および上下移動可能に配設
されるテーブル3と、テーブル3の上方に配設されるハ
ンド保持体5と、ハンド保持体に対して水平移動するよ
うに配設されるロボットハンド4とを備えてロボット2
が構成され、さらにセンタリング装置6がテーブル3に
上下移動可能に支持される。テーブル3内は空間部が形
成され、空間部にセンタリング装置の駆動部7が配置さ
れている。駆動部7から4本の連結棒14が立設され、ロ
ボットハンド4と平行にロボットハンド4の両外側で、
受け板16、16に連結されている。各受け板16、16上に夫々
ガイド部材17が受け板16の両端部に取り付けられ、夫々
のガイド部材17には内方下部に向かって傾斜面17bが形
成されている。さらに、ガイド部材は複数段に重置さ
れ、ロボットハンド4によって搬送されるガラス基板G
をセンタリングし一時的に支持する。
塵埃の付着を少なくすると共に薄型基板の搬送時間を短
縮する事によって、作業性の向上を図る事ができる薄型
基板搬送装置を提供する事。 【解決手段】 機枠1に回転および上下移動可能に配設
されるテーブル3と、テーブル3の上方に配設されるハ
ンド保持体5と、ハンド保持体に対して水平移動するよ
うに配設されるロボットハンド4とを備えてロボット2
が構成され、さらにセンタリング装置6がテーブル3に
上下移動可能に支持される。テーブル3内は空間部が形
成され、空間部にセンタリング装置の駆動部7が配置さ
れている。駆動部7から4本の連結棒14が立設され、ロ
ボットハンド4と平行にロボットハンド4の両外側で、
受け板16、16に連結されている。各受け板16、16上に夫々
ガイド部材17が受け板16の両端部に取り付けられ、夫々
のガイド部材17には内方下部に向かって傾斜面17bが形
成されている。さらに、ガイド部材は複数段に重置さ
れ、ロボットハンド4によって搬送されるガラス基板G
をセンタリングし一時的に支持する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、クリーンルーム
内で使用される薄型基板搬送装置に関し、更に詳しく
は、薄型基板が収納されたカセット装置から薄型基板を
取り出し、薄型基板の中心位置を合わせるためのセンタ
リングを行なった後、次工程用カセット装置に搬送する
薄型基板搬送装置に関する。
内で使用される薄型基板搬送装置に関し、更に詳しく
は、薄型基板が収納されたカセット装置から薄型基板を
取り出し、薄型基板の中心位置を合わせるためのセンタ
リングを行なった後、次工程用カセット装置に搬送する
薄型基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、薄型基板搬送装置を含んだシステ
ムにおいては図8に示されるように、薄型基板が収納さ
れたカセット装置K1と、前記薄型基板をロボットハン
ドにて取り出し搬送する薄型基板搬送装置H1と、前記
ロボットハンドによって搬送されセンタリング処理する
薄型基板処理装置Sと、センタリング処理された薄型基
板を収納する次工程用カセット装置K2が配置されてい
る。そして薄型基板搬送装置H1のロボットハンドが前
記カセット装置K1の棚に載置された薄型基板を1枚づ
つ取り出し、一旦薄型基板搬送装置H1の中心位置に引
き出してから、前記薄型基板処理装置Sに搬送し薄型基
板のセンタリングを行なう。その後、ロボットハンドが
センタリングされた1枚の薄型基板を薄型基板処理装置
Sから取り出し、再び薄型基板搬送装置H1の中心位置
に戻した後、次工程用カセット装置K2に収納してい
る。そしてこの搬送作業はカセット装置K1に収納され
ていた全ての薄型基板に対して行なわなければならな
い。
ムにおいては図8に示されるように、薄型基板が収納さ
れたカセット装置K1と、前記薄型基板をロボットハン
ドにて取り出し搬送する薄型基板搬送装置H1と、前記
ロボットハンドによって搬送されセンタリング処理する
薄型基板処理装置Sと、センタリング処理された薄型基
板を収納する次工程用カセット装置K2が配置されてい
る。そして薄型基板搬送装置H1のロボットハンドが前
記カセット装置K1の棚に載置された薄型基板を1枚づ
つ取り出し、一旦薄型基板搬送装置H1の中心位置に引
き出してから、前記薄型基板処理装置Sに搬送し薄型基
板のセンタリングを行なう。その後、ロボットハンドが
センタリングされた1枚の薄型基板を薄型基板処理装置
Sから取り出し、再び薄型基板搬送装置H1の中心位置
に戻した後、次工程用カセット装置K2に収納してい
る。そしてこの搬送作業はカセット装置K1に収納され
ていた全ての薄型基板に対して行なわなければならな
い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】一般に、クリーンルー
ム内で行なわれる作業においては、塵埃や油滴の飛散等
は極度に避けなければならない。しかし、最近の薄型基
板の需要の増加に伴って、クリーンルーム内に設置する
機械が増えてくると、クリーンルーム内が煩雑になり、
各機械から発生する塵埃も少なくない。このような状況
の中で、薄型基板を搬送する時間が長ければ長いほど、
薄型基板に塵埃や油滴等の付着の生じる可能性が多く作
業性も悪くなる。そのため、クリーンルーム内の省スペ
ース化を図ると共に、薄型基板の搬送時間そのものを短
縮する事が望まれていた。
ム内で行なわれる作業においては、塵埃や油滴の飛散等
は極度に避けなければならない。しかし、最近の薄型基
板の需要の増加に伴って、クリーンルーム内に設置する
機械が増えてくると、クリーンルーム内が煩雑になり、
各機械から発生する塵埃も少なくない。このような状況
の中で、薄型基板を搬送する時間が長ければ長いほど、
薄型基板に塵埃や油滴等の付着の生じる可能性が多く作
業性も悪くなる。そのため、クリーンルーム内の省スペ
ース化を図ると共に、薄型基板の搬送時間そのものを短
縮する事が望まれていた。
【0004】しかし、従来の薄型基板搬送装置を含むシ
ステムにあっては、各カセット装置と、薄型基板搬送装
置と、薄型基板処理装置が別々に配置されているので、
クリーンルーム内での機械の設置スペースが広くなり、
また、薄型基板の搬送時間が多くなっていた。
ステムにあっては、各カセット装置と、薄型基板搬送装
置と、薄型基板処理装置が別々に配置されているので、
クリーンルーム内での機械の設置スペースが広くなり、
また、薄型基板の搬送時間が多くなっていた。
【0005】本発明は、上述の課題を解決するものであ
り、クリーンルーム内での省スペース化を図ると共に、
搬送時間を短縮する事によって作業性の向上につながる
薄型基板搬送装置を提供する事を目的とするものであ
る。
り、クリーンルーム内での省スペース化を図ると共に、
搬送時間を短縮する事によって作業性の向上につながる
薄型基板搬送装置を提供する事を目的とするものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
基板搬送装置では、薄型基板が収納されたカセット装置
から、前記薄型基板を取り出し、センタリングを行なっ
た後、次工程用カセット装置に搬送する薄型基板搬送装
置であって、前記薄型基板搬送装置の機枠に対して水平
移動及び回転及び上下移動可能なロボットと、前記ロボ
ットに支持され前記薄型基板をセンタリングし支持する
センタリング装置とを備え、前記センタリング装置が前
記ロボットに対して上下移動可能に配置されることを特
徴とするものである。
基板搬送装置では、薄型基板が収納されたカセット装置
から、前記薄型基板を取り出し、センタリングを行なっ
た後、次工程用カセット装置に搬送する薄型基板搬送装
置であって、前記薄型基板搬送装置の機枠に対して水平
移動及び回転及び上下移動可能なロボットと、前記ロボ
ットに支持され前記薄型基板をセンタリングし支持する
センタリング装置とを備え、前記センタリング装置が前
記ロボットに対して上下移動可能に配置されることを特
徴とするものである。
【0007】また、前記センタリング装置が、内側に向
かって下方に傾斜面を形成する複数のガイド部材を備え
てなることを特徴とするものであれば良い。
かって下方に傾斜面を形成する複数のガイド部材を備え
てなることを特徴とするものであれば良い。
【0008】また、前記ガイド部材が1段であれば良
い。
い。
【0009】さらに、前記ガイド部材が複数段に重置さ
れていることを特徴とするものであればなお良い。
れていることを特徴とするものであればなお良い。
【0010】また、前記センタリング装置を上下移動す
る駆動部が、前記ロボット内に配設される事を特徴とす
るものであればさらに良い。
る駆動部が、前記ロボット内に配設される事を特徴とす
るものであればさらに良い。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【0012】図1は、搬送装置Hの斜視図を示すもので
あり、機枠1上に機枠1に対して回転、及び上下移動可
能なテーブル3と、テーブル3にガラス基板Gを搬送し
水平方向に移動するロボットハンド4を有するハンド保
持体5とを備えたロボット2が配設され、ロボット2に
ガラス基板Gをセンタリングするセンタリング装置6が
支持されている。
あり、機枠1上に機枠1に対して回転、及び上下移動可
能なテーブル3と、テーブル3にガラス基板Gを搬送し
水平方向に移動するロボットハンド4を有するハンド保
持体5とを備えたロボット2が配設され、ロボット2に
ガラス基板Gをセンタリングするセンタリング装置6が
支持されている。
【0013】テーブル3は図2〜図4に示されるよう
に、内部に空間部3aが形成され、空間部3aにセンタ
リング装置6を上下駆動する駆動部7が配置されてい
る。そしてテーブルの下部は機枠1内に配設された筒体
8の上部に連結されている。筒体8は機枠1にベアリン
グを介して立設され、図示しない回転駆動モータによっ
て回転駆動され、下部に取り付けられ上下駆動モータに
よって上下移動可能な可動板とともに上下移動できるよ
うに構成されている。この筒体8の駆動機構については
従来から知られた構成であるため特に番号を付していな
い。
に、内部に空間部3aが形成され、空間部3aにセンタ
リング装置6を上下駆動する駆動部7が配置されてい
る。そしてテーブルの下部は機枠1内に配設された筒体
8の上部に連結されている。筒体8は機枠1にベアリン
グを介して立設され、図示しない回転駆動モータによっ
て回転駆動され、下部に取り付けられ上下駆動モータに
よって上下移動可能な可動板とともに上下移動できるよ
うに構成されている。この筒体8の駆動機構については
従来から知られた構成であるため特に番号を付していな
い。
【0014】筒体8の軸芯方向に沿って中心に、ハンド
駆動シャフト9が貫通され、ハンド駆動シャフト9は下
部に回転駆動モータが取り付けられ、上部にテーブル3
を貫通しハンド保持体5内まで延設している。
駆動シャフト9が貫通され、ハンド駆動シャフト9は下
部に回転駆動モータが取り付けられ、上部にテーブル3
を貫通しハンド保持体5内まで延設している。
【0015】テーブル3の空間部3aに配設されるセン
タリング装置6の駆動部7は、駆動モータ11と、駆動
モータ11にプーリを介して連結されるねじシャフト1
2と、ねじシャフト12に螺着され駆動モータ11によ
って上下移動する移動板13とで構成される。そして、
移動板13に取り付けられる4か所の連結棒14が、ハ
ンド保持体5の両側の各2か所の位置で、移動板13か
ら上方に向かって立設され、テーブル3の上方にあるセ
ンタリング装置6に連結される。
タリング装置6の駆動部7は、駆動モータ11と、駆動
モータ11にプーリを介して連結されるねじシャフト1
2と、ねじシャフト12に螺着され駆動モータ11によ
って上下移動する移動板13とで構成される。そして、
移動板13に取り付けられる4か所の連結棒14が、ハ
ンド保持体5の両側の各2か所の位置で、移動板13か
ら上方に向かって立設され、テーブル3の上方にあるセ
ンタリング装置6に連結される。
【0016】なお、移動板13の中央部にはハンド駆動
シャフト9が貫通するための穴が形成されている。ま
た、移動板13に螺着されるねじシャフト12は本実施
形態においては2か所設けているが、移動板13の大き
さに合わせて設計することができ、1か所でも良い。そ
の場合は、移動板13の上下移動に対して、移動板13
の水平を維持するためにガイドシャフトを設けるのが良
い。
シャフト9が貫通するための穴が形成されている。ま
た、移動板13に螺着されるねじシャフト12は本実施
形態においては2か所設けているが、移動板13の大き
さに合わせて設計することができ、1か所でも良い。そ
の場合は、移動板13の上下移動に対して、移動板13
の水平を維持するためにガイドシャフトを設けるのが良
い。
【0017】センタリング装置6は、ハンド保持体5の
両外側で各連結棒14に取り付けられ、ハンド保持体5
の長手方向と平行に配設される各受け板16、16と、
各受け板16、16の両側部に複数段に重置されるガイ
ド部材17とを備えている。
両外側で各連結棒14に取り付けられ、ハンド保持体5
の長手方向と平行に配設される各受け板16、16と、
各受け板16、16の両側部に複数段に重置されるガイ
ド部材17とを備えている。
【0018】なお、ガイド部材17はもちろん1段であ
っても構わない。
っても構わない。
【0019】また、複数段に重置されるガイド部材17
間には位置決め板18が配設され、全てのガイド部材1
7の位置決めをしている。ガイド部材17は平面視矩形
状に形成され(図1参照)、上面17a、傾斜面17
b、基板受け面17cに形成される。(図1、図2、図
3参照)上面17aは平面視「L」字状で基板受け面1
7cに対して高い位置にあり、基板受け面17cとは傾
斜面17bで連続的に繋がっている。また、4か所のガ
イド部材17はテーブル3の上方の4隅あたりに配置さ
れ、夫々のガイド部材17の基板受け部17c上に、略
正方形のガラス基板Gの4つの角面が載置された時に、
ガラス基板Gの位置決めができるように配置される。さ
らに、ガイド部材17は夫々の箇所で複数段に重置さ
れ、各段に位置決めされるガラス基板17が平面視にお
いて、全て同じ位置になるように各ガイド部材17が位
置決めされる。
間には位置決め板18が配設され、全てのガイド部材1
7の位置決めをしている。ガイド部材17は平面視矩形
状に形成され(図1参照)、上面17a、傾斜面17
b、基板受け面17cに形成される。(図1、図2、図
3参照)上面17aは平面視「L」字状で基板受け面1
7cに対して高い位置にあり、基板受け面17cとは傾
斜面17bで連続的に繋がっている。また、4か所のガ
イド部材17はテーブル3の上方の4隅あたりに配置さ
れ、夫々のガイド部材17の基板受け部17c上に、略
正方形のガラス基板Gの4つの角面が載置された時に、
ガラス基板Gの位置決めができるように配置される。さ
らに、ガイド部材17は夫々の箇所で複数段に重置さ
れ、各段に位置決めされるガラス基板17が平面視にお
いて、全て同じ位置になるように各ガイド部材17が位
置決めされる。
【0020】なお、本実施形態においてはガラス基板G
が略正方形のものを対象にしているが、図6、図7に示
されるように、円形のガラス基板もしくはシリコンウェ
ハWを対象にする場合は、ほぼ半円形に形成したガイド
部材20をアーム保持体の両外側に配置し、夫々上面2
0a、傾斜面20b、基板受け面20cを形成するよう
にすれば良い。
が略正方形のものを対象にしているが、図6、図7に示
されるように、円形のガラス基板もしくはシリコンウェ
ハWを対象にする場合は、ほぼ半円形に形成したガイド
部材20をアーム保持体の両外側に配置し、夫々上面2
0a、傾斜面20b、基板受け面20cを形成するよう
にすれば良い。
【0021】一方、ハンド保持体5の構成については、
従来から良く知られた構成を採用することができる。例
えば本実施形態では実開昭62−14001号に記載さ
れている構成を採用する。(図2、図3参照) ハンド保持体5内に、ガイドシャフト21aとガイド板
21bが含まれるガイドレール21がハンド保持体5の
長手方向に沿って配設され、ガイドレール21にキャリ
ッジ22が配設されている。キャリッジ22には、ガイ
ドシャフト21aに当接する車輪22aが転動可能に設
けられ、ガイド板21b当接するローラ22bが転動可
能に設けられている。
従来から良く知られた構成を採用することができる。例
えば本実施形態では実開昭62−14001号に記載さ
れている構成を採用する。(図2、図3参照) ハンド保持体5内に、ガイドシャフト21aとガイド板
21bが含まれるガイドレール21がハンド保持体5の
長手方向に沿って配設され、ガイドレール21にキャリ
ッジ22が配設されている。キャリッジ22には、ガイ
ドシャフト21aに当接する車輪22aが転動可能に設
けられ、ガイド板21b当接するローラ22bが転動可
能に設けられている。
【0022】また、ハンド保持体5の上部には、先端部
が吸着部を有しT字状に形成されているロボットハンド
4が取り付けられている。
が吸着部を有しT字状に形成されているロボットハンド
4が取り付けられている。
【0023】さらに、ハンド保持体5内には、ハンド保
持体5内に延設されたハンド駆動シャフト9の上端部に
固着されたプーリ23aと、ハンド保持体5の先端部と
後端部に各1個づづ固着されたプーリ23b、23bが
配置され、ワイヤ24が夫々のプーリに懸架されるとと
もに、キャリッジ22の下部に設けられたロープ受け部
22cに固着されている。そして、ハンド駆動シャフト
9の下部に配置された回転駆動モータの駆動によってワ
イヤ24が回転し、キャリッジ22がガイドレール21
に沿って水平移動できるように構成される。
持体5内に延設されたハンド駆動シャフト9の上端部に
固着されたプーリ23aと、ハンド保持体5の先端部と
後端部に各1個づづ固着されたプーリ23b、23bが
配置され、ワイヤ24が夫々のプーリに懸架されるとと
もに、キャリッジ22の下部に設けられたロープ受け部
22cに固着されている。そして、ハンド駆動シャフト
9の下部に配置された回転駆動モータの駆動によってワ
イヤ24が回転し、キャリッジ22がガイドレール21
に沿って水平移動できるように構成される。
【0024】次に上記構成の薄型搬送装置の作用につい
て説明する。
て説明する。
【0025】図5は本実施形態における各装置の配置を
示す平面図であり、搬送装置Hを挟んで、薄型基板Gが
収納されているカセット装置K1と、次工程用カセット
装置K2が対向するように配置されている。次工程用カ
セット装置K2はレイアウトの都合上、搬送装置Hのロ
ボットハンド4が届く範囲であればどこでも良い。
示す平面図であり、搬送装置Hを挟んで、薄型基板Gが
収納されているカセット装置K1と、次工程用カセット
装置K2が対向するように配置されている。次工程用カ
セット装置K2はレイアウトの都合上、搬送装置Hのロ
ボットハンド4が届く範囲であればどこでも良い。
【0026】カセット装置K1の複数段の棚には、前工
程で収納されたガラス基板Gが1枚づつ配置されてい
る。搬送装置Hのテーブル上下移動用駆動モータによ
り、まず、テーブル3がカセット装置K1の最上段の棚
の高さに合わせて上昇する。次に、ハンド駆動シャフト
回転駆動モータにより、ハンド駆動シャフト9が回転す
ると、ワイヤ24が回転しキャリッジ22がガイドレー
ル21に沿って移動する。キャリッジ22とともにキャ
リッジ22に取り付けられたロボットハンド4はカセッ
ト装置K1に向かって水平移動し、最上段のガラス基板
Gを吸着する。
程で収納されたガラス基板Gが1枚づつ配置されてい
る。搬送装置Hのテーブル上下移動用駆動モータによ
り、まず、テーブル3がカセット装置K1の最上段の棚
の高さに合わせて上昇する。次に、ハンド駆動シャフト
回転駆動モータにより、ハンド駆動シャフト9が回転す
ると、ワイヤ24が回転しキャリッジ22がガイドレー
ル21に沿って移動する。キャリッジ22とともにキャ
リッジ22に取り付けられたロボットハンド4はカセッ
ト装置K1に向かって水平移動し、最上段のガラス基板
Gを吸着する。
【0027】ロボットハンド4によって吸着されたガラ
ス基板Gは、搬送装置H上に配置されるセンタリング装
置6上に位置すると、テーブル3内に配設されているセ
ンタリング装置の駆動部7によりセンタリング装置6が
上昇する。すなわち、駆動モータ11が駆動すると、プ
ーリを介して2本のねじシャフト12が回転する。ねじ
シャフト12に螺着された移動板13がねじシャフト1
2の回転に伴って上昇すると、連結棒14、受け板16
を介して4か所のガイド部材17がロボットハンド4上
より僅かに上方の位置まで上昇し、複数段に重置された
ガイド部材のうち、最上段のガイド部材17がガラス基
板Gをロボットハンド4上から受け取る。
ス基板Gは、搬送装置H上に配置されるセンタリング装
置6上に位置すると、テーブル3内に配設されているセ
ンタリング装置の駆動部7によりセンタリング装置6が
上昇する。すなわち、駆動モータ11が駆動すると、プ
ーリを介して2本のねじシャフト12が回転する。ねじ
シャフト12に螺着された移動板13がねじシャフト1
2の回転に伴って上昇すると、連結棒14、受け板16
を介して4か所のガイド部材17がロボットハンド4上
より僅かに上方の位置まで上昇し、複数段に重置された
ガイド部材のうち、最上段のガイド部材17がガラス基
板Gをロボットハンド4上から受け取る。
【0028】ガラス基板Gの一部は、一旦、いずれかの
ガイド部材17の傾斜面17bに掛かるが、傾斜面17
bは夫々内側に向かって下方に傾斜されているため、自
然にガイド部材17の基板受け面17c上に移動する。
4か所のガイド部材の基板受け面17c上にガラス基板
Gの角面が載置された状態で、ガラス基板Gはセンタリ
ングされる。そして一時的にセンタリング装置に支持さ
れる。
ガイド部材17の傾斜面17bに掛かるが、傾斜面17
bは夫々内側に向かって下方に傾斜されているため、自
然にガイド部材17の基板受け面17c上に移動する。
4か所のガイド部材の基板受け面17c上にガラス基板
Gの角面が載置された状態で、ガラス基板Gはセンタリ
ングされる。そして一時的にセンタリング装置に支持さ
れる。
【0029】ガラス基板Gがロボットハンド4からガイ
ド部材17に移動すると同時に、ロボットハンド4は再
びカセット装置K1に向かって移動するように、駆動モ
ータを作動させる。この場合、ロボットハンド4の移動
の際における高さ位置が、次に搬送されるカセット装置
内に収納されたガラス基板Gの高さ位置に合うように1
段分下降した後に移動するのが良いが、もちろん、移動
後に高さ位置を下げても良い。
ド部材17に移動すると同時に、ロボットハンド4は再
びカセット装置K1に向かって移動するように、駆動モ
ータを作動させる。この場合、ロボットハンド4の移動
の際における高さ位置が、次に搬送されるカセット装置
内に収納されたガラス基板Gの高さ位置に合うように1
段分下降した後に移動するのが良いが、もちろん、移動
後に高さ位置を下げても良い。
【0030】次のガラス基板Gがカセット装置K1から
搬送されて、再びセンタリング装置6の2段目の位置に
来る時には、搬送されたガラス基板Gはセンタリングさ
れた最上段のガラス基板Gより僅かに低い位置にある。
そして、前述のようにセンタリング装置6を上昇させる
と、2段目のガラス基板Gを2段目のガイド部材17に
引き渡すことができる。
搬送されて、再びセンタリング装置6の2段目の位置に
来る時には、搬送されたガラス基板Gはセンタリングさ
れた最上段のガラス基板Gより僅かに低い位置にある。
そして、前述のようにセンタリング装置6を上昇させる
と、2段目のガラス基板Gを2段目のガイド部材17に
引き渡すことができる。
【0031】このように、カセット装置K1に収納され
ている全てのガラス基板Gを、搬送装置Hのセンタリン
グ装置6に搬送し、上段から順にセンタリングすると共
にセンタリング装置6に支持した後、今度は下段から上
段に向かって順にセンタリング装置6から次工程用カセ
ット装置K2に収納する。
ている全てのガラス基板Gを、搬送装置Hのセンタリン
グ装置6に搬送し、上段から順にセンタリングすると共
にセンタリング装置6に支持した後、今度は下段から上
段に向かって順にセンタリング装置6から次工程用カセ
ット装置K2に収納する。
【0032】この場合は、最下段のガラス基板Gの下側
にロボットハンド4を移動する。次に、センタリング装
置6を僅かに下降すると、ガラス基板Gはガイド部材1
7からロボットハンド4の上面に移動し、ロボットハン
ド4に吸着される。この状態でテーブル3を、テーブル
回転用の駆動モータの駆動によって、ロボットハンド4
が次工程用カセット装置K2の正面に向かうように回転
する。そして、次工程用カセット装置K2の最下段の棚
にガラス基板Gを収納する。
にロボットハンド4を移動する。次に、センタリング装
置6を僅かに下降すると、ガラス基板Gはガイド部材1
7からロボットハンド4の上面に移動し、ロボットハン
ド4に吸着される。この状態でテーブル3を、テーブル
回転用の駆動モータの駆動によって、ロボットハンド4
が次工程用カセット装置K2の正面に向かうように回転
する。そして、次工程用カセット装置K2の最下段の棚
にガラス基板Gを収納する。
【0033】次に、再び搬送装置Hに戻り、下から2段
目のガラス基板の下にロボットハンド4を移動する。前
述と同様にセンタリング装置を下降する事によって、ガ
ラス基板Gがロボットハンド4に移動され、吸着され
る。そして同様に次工程用カセット装置K2の下から2
段目に収納される。
目のガラス基板の下にロボットハンド4を移動する。前
述と同様にセンタリング装置を下降する事によって、ガ
ラス基板Gがロボットハンド4に移動され、吸着され
る。そして同様に次工程用カセット装置K2の下から2
段目に収納される。
【0034】このように、搬送装置Hに搬送され、セン
タリングされた全てのガラス基板Gは、一時的にセンタ
リング装置6に支持され、その後下から順に次工程用カ
セット装置K2に全て収納される。
タリングされた全てのガラス基板Gは、一時的にセンタ
リング装置6に支持され、その後下から順に次工程用カ
セット装置K2に全て収納される。
【0035】なお、ガイド部材17の重置される数はカ
セット装置の棚数と同じにするのが良い。そして、セン
タリング装置に一時的に載置するガラス基板の数はカセ
ット装置K1に収納されている数と同じである事が好ま
しいが、テーブル3内の移動板13の移動量によって、
限定しても構わない。
セット装置の棚数と同じにするのが良い。そして、セン
タリング装置に一時的に載置するガラス基板の数はカセ
ット装置K1に収納されている数と同じである事が好ま
しいが、テーブル3内の移動板13の移動量によって、
限定しても構わない。
【0036】また、ガラス基板が円形の場合においても
作用は上述と同様である。
作用は上述と同様である。
【0037】
【発明の効果】以上のように、本発明においては、搬送
装置の機枠上に回転及び上下移動するロボットが配設さ
れ、ロボットに支持されたセンタリング装置が上下移動
可能に配設されているため、従来の単独に配置されてい
たセンタリング装置が薄型搬送装置内に配設されること
になり、省スペース化が図られると共に、カセット装置
K1から搬送される全ての薄型基板を一時的に薄型搬送
装置内に支持し、その後薄型基板を次工程用カセット装
置に全て搬送するため、薄型基板の搬送時間が従来に比
べて略半減できるようになった。そのため、塵埃の付着
が減少し作業性の向上につながる。
装置の機枠上に回転及び上下移動するロボットが配設さ
れ、ロボットに支持されたセンタリング装置が上下移動
可能に配設されているため、従来の単独に配置されてい
たセンタリング装置が薄型搬送装置内に配設されること
になり、省スペース化が図られると共に、カセット装置
K1から搬送される全ての薄型基板を一時的に薄型搬送
装置内に支持し、その後薄型基板を次工程用カセット装
置に全て搬送するため、薄型基板の搬送時間が従来に比
べて略半減できるようになった。そのため、塵埃の付着
が減少し作業性の向上につながる。
【0038】また、センタリング装置が内側に向かって
傾斜面を有するガイド部材を備えているので、カセット
装置から搬送された薄型基板がガイド部材に移動するだ
けで、薄型基板のセンタリングが行なえる。そのため、
センタリング作業が極めて容易にできる。
傾斜面を有するガイド部材を備えているので、カセット
装置から搬送された薄型基板がガイド部材に移動するだ
けで、薄型基板のセンタリングが行なえる。そのため、
センタリング作業が極めて容易にできる。
【0039】さらに、ガイド部材が複数段に重置されて
いるので、搬送されたガラス基板がセンタリングされて
いる間に、ロボットハンドが搬送作業に入ることができ
るので、全体の搬送時間の短縮になる。
いるので、搬送されたガラス基板がセンタリングされて
いる間に、ロボットハンドが搬送作業に入ることができ
るので、全体の搬送時間の短縮になる。
【図1】本発明による1実施形態の薄型基板搬送装置の
斜視図
斜視図
【図2】センタリング装置の詳細を示す断面図
【図3】ハンド保持体の詳細を示す断面図
【図4】テーブル内の詳細を示す平面断面図
【図5】薄型基板搬送装置を含む全体平面図
【図6】センタリング装置の別の実施形態を示す図
【図7】図6の縦断面図
【図8】従来の薄型基板搬送装置の全体図
1…機枠 2…ロボット 3…テーブル 6…センタリング装置 17…ガイド部材 17b…傾斜面 G…ガラス基板(薄型基板) H…搬送装置 K1…カセット装置 K2…次工程用カセット装置
Claims (5)
- 【請求項1】 薄型基板が収納されたカセット装置か
ら、前記薄型基板を取り出し、センタリングを行なった
後、次工程用カセット装置に搬送する薄型基板搬送装置
であって、前記薄型基板搬送装置の機枠に対して水平移
動及び回転及び上下移動可能なロボットと、前記ロボッ
トに支持され前記薄型基板をセンタリングし支持するセ
ンタリング装置とを備え、前記センタリング装置が前記
ロボットに対して上下移動可能に配置されることを特徴
とする薄型基板搬送装置。 - 【請求項2】 前記センタリング装置が、内側に向かっ
て下方に傾斜面を形成する複数のガイド部材を備えてな
ることを特徴とする請求項1記載の薄型基板搬送装置。 - 【請求項3】 前記ガイド部材が1段であることを特徴
とする請求項2記載の薄型基板搬送装置。 - 【請求項4】 前記ガイド部材が複数段に重置されてい
ることを特徴とする請求項2記載の薄型基板搬送装置。 - 【請求項5】 前記センタリング装置を上下移動する駆
動部が、前記ロボット内に配設されることを特徴とする
請求項1記載の薄型基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19067095A JPH0940112A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 薄型基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19067095A JPH0940112A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 薄型基板搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0940112A true JPH0940112A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16261946
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19067095A Withdrawn JPH0940112A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 薄型基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0940112A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999052142A1 (fr) * | 1998-04-04 | 1999-10-14 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de transfert pour corps a traiter |
WO1999052143A1 (fr) * | 1998-04-04 | 1999-10-14 | Tokyo Electron Limited | Mecanisme d'alignement et dispositif de traitement de semi-conducteurs utilisant ce mecanisme |
WO2004032593A3 (de) * | 2002-10-07 | 2004-09-30 | Schott Glas | Dünnstsubstratträger |
-
1995
- 1995-07-26 JP JP19067095A patent/JPH0940112A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999052142A1 (fr) * | 1998-04-04 | 1999-10-14 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de transfert pour corps a traiter |
WO1999052143A1 (fr) * | 1998-04-04 | 1999-10-14 | Tokyo Electron Limited | Mecanisme d'alignement et dispositif de traitement de semi-conducteurs utilisant ce mecanisme |
US6702865B1 (en) | 1998-04-04 | 2004-03-09 | Tokyo Electron Limited | Alignment processing mechanism and semiconductor processing device using it |
WO2004032593A3 (de) * | 2002-10-07 | 2004-09-30 | Schott Glas | Dünnstsubstratträger |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021001 |