JPH0933877A - Inspection device - Google Patents
Inspection deviceInfo
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- JPH0933877A JPH0933877A JP20140295A JP20140295A JPH0933877A JP H0933877 A JPH0933877 A JP H0933877A JP 20140295 A JP20140295 A JP 20140295A JP 20140295 A JP20140295 A JP 20140295A JP H0933877 A JPH0933877 A JP H0933877A
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利分野】本発明は、液晶表示体基板(LCD
基板)の検査を行う検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a liquid crystal display substrate (LCD).
The present invention relates to an inspection device that inspects a substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】例えばTFT型LCD基板には、LCD
の画素をON、OFF駆動する電気回路がガラス基板上
にマトリックス状に形成されている。そして、例えばL
CD基板の2辺の電気回路の接点となる電極パッドが多
数配列されている。また、電気的検査を行なう場合に
は、LCD用基板を正確に位置決めした後行なう必要が
あるため、LCD用基板上のコーナー部には例えばクロ
スマークなどからなるアライメントマークが形成されて
いる。2. Description of the Related Art For example, a TFT type LCD substrate has an LCD
An electric circuit for driving the pixels of ON and OFF is formed in a matrix on the glass substrate. And, for example, L
A large number of electrode pads, which are contacts of the electric circuits on the two sides of the CD substrate, are arranged. Further, since the electrical inspection needs to be performed after the LCD substrate is accurately positioned, alignment marks such as cross marks are formed at the corners on the LCD substrate.
【0003】LCD基板の点灯検査を行う検査装置は、
一般に、LCD基板をロード、アンロードするローダ部
と、このローダ部から受け取ったLCD基板の電気的検
査を行なうプローバ部とを備えている。ローダ部はカセ
ット内に例えば25枚収納されたLCD基板を1枚ずつ
ロード、アンロードするように構成されている。このロ
ーダ部は、例えばカセットを載置するカセット載置部
と、このカセット載置部に載置されたカセット内のLC
D基板を1枚ずつ取り出してプローバ部へ搬送する基板
搬送機構と、この基板搬送機構による搬送過程でLCD
基板を予め所定方向へ位置決めするプリアライメント機
構とを備えている。The inspection device for inspecting the lighting of the LCD board is
Generally, a loader unit for loading and unloading the LCD substrate and a prober unit for electrically inspecting the LCD substrate received from the loader unit are provided. The loader unit is configured to load and unload one by one, for example, 25 LCD substrates stored in a cassette. This loader unit includes, for example, a cassette placing unit for placing a cassette and an LC inside the cassette placed on the cassette placing unit.
A substrate transfer mechanism that takes out the D substrates one by one and transfers them to the prober unit, and an LCD during the transfer process by the substrate transfer mechanism.
And a pre-alignment mechanism for pre-positioning the substrate in a predetermined direction.
【0004】また、プローバ部は、ローダ部の基板搬送
機構から受け取ったLCD基板を保持する検査用載置台
と、この検査用載置台上に載置されたLCD基板の各電
極パッドと電気的に接触するプローブ針を有するプロー
ブボードとを備えている。検査用載置台は、X方向、Y
方向、Z方向及びθ方向で移動可能で、ローダ部から受
け取ったLCD基板をアライメントした後プローブボー
ドの下方へ移動させ、LCD基板の各電極パッドをそれ
ぞれに対応したプローブボードの各プローブ針に電気的
に接触させて電気的検査を行なうように構成されてい
る。更に、検査用載置台には照明装置が内蔵されてい
る。そして、この照明装置により検査用載置台上のLC
D基板を裏面から照明すると共に、検査用載置台を移動
させてLCD基板の各電極パッドをプローブに電気的に
接触させ、LCD基板の表示画素に異常がないかを検査
する。この際、プローバ部におけるアライメント状況や
プローブの接触などの検査状況は表示装置により監視す
るようにしている。Further, the prober unit electrically connects with an inspection mounting table for holding the LCD substrate received from the substrate transfer mechanism of the loader unit, and each electrode pad of the LCD substrate mounted on the inspection mounting table. And a probe board having probe needles in contact therewith. Inspection table is in X direction, Y
The LCD board received from the loader unit is aligned and then moved to the lower side of the probe board, and each electrode pad of the LCD board is electrically connected to each probe needle of the corresponding probe board. Are electrically contacted to perform an electrical inspection. Furthermore, the inspection table has a built-in illumination device. Then, the LC on the inspection mounting table is provided by this illumination device.
While illuminating the D substrate from the back surface, the inspection mounting table is moved to electrically contact each electrode pad of the LCD substrate with the probe to inspect whether there is any abnormality in the display pixel of the LCD substrate. At this time, the display device monitors the alignment condition of the prober and the inspection condition such as probe contact.
【0005】そして、点灯検査を行う際には、検査用載
置台を例えばその裏面中央に連結されたボールネジを用
いて上昇させて検査用載置台上のLCD基板をプローブ
に圧接させるようにしている。この時、検査用載置台が
水平を維持した状態で昇降する必要があるため、ガイド
機構を用いて検査用載置台が水平を維持した状態で昇降
するようにしてある。When performing the lighting inspection, the inspection mounting table is raised by using, for example, a ball screw connected to the center of the rear surface of the inspection mounting table so that the LCD substrate on the inspection mounting table is pressed against the probe. . At this time, since it is necessary to move up and down while the inspection table is maintained horizontal, a guide mechanism is used to move up and down while the inspection table is maintained horizontally.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
この種の検査装置の場合には、検査用載置台を昇降案内
するガイド機構がボールネジを囲む上記ボールネジの外
周を囲む円筒状として構成され、しかも、このガイド機
構は検査用載置台に連結された筒体がボールベアリング
に点接触しながら検査用載置台と共に昇降するようにし
てあるため、高荷重に対して必ずしも剛性が高くないと
いう課題があった。そのため、最近のようにLCD基板
が益々大型化し、高精細化して来るとLCD基板の2辺
に形成された電極パッドの数が多くなって検査用載置台
に対して益々大きな偏荷重が掛かるため、ガイド機構も
これに対応させて益々大型化しなくてはならないが、ガ
イド機構が大型化しても、その構造が従来のままであれ
ば剛性面において劣るため、検査時にガイド機構が僅か
ではあるが変形し、電極パッドがプローブから位置ズレ
し、検査精度に不安を残すことになる。しかも、従来の
ガイド機構を大型化すれば、その製造コストが飛躍的に
上昇するという課題があった。However, in the case of the conventional inspection apparatus of this type, the guide mechanism for guiding the inspection mounting table up and down is configured as a cylindrical shape surrounding the outer circumference of the ball screw surrounding the ball screw. Since the guide mechanism is configured such that the cylindrical body connected to the inspection mounting table moves up and down together with the inspection mounting table while making point contact with the ball bearing, there is a problem that the rigidity is not necessarily high against a high load. It was For this reason, as the LCD substrate becomes larger and finer as in recent years, the number of electrode pads formed on the two sides of the LCD substrate becomes large and an unbalanced load is applied to the mounting table for inspection. The guide mechanism must be correspondingly increased in size. However, even if the guide mechanism is increased in size, if the structure remains the same as before, the rigidity is inferior. It deforms and the electrode pad is displaced from the probe, leaving anxiety about inspection accuracy. Moreover, if the conventional guide mechanism is increased in size, there is a problem that the manufacturing cost thereof increases dramatically.
【0007】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、LCD基板が大型化、高精細化し、点灯検
査時に偏荷重が大きくなっても、LCD基板の電極がプ
ローブから位置ズレすることなく高精度の検査を行うこ
とができ、コスト上昇を抑制できる検査装置を提供する
ことを目的としている。The present invention has been made in order to solve the above problems, and the electrodes of the LCD substrate are displaced from the probe even if the LCD substrate becomes large in size and high in definition and an unbalanced load becomes large at the time of lighting inspection. It is an object of the present invention to provide an inspection device that can perform high-precision inspection without a need for cost increase.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
の検査装置は、基板搬送機構により液晶表示体基板を検
査用載置台上に載置し、この液晶表示体基板を裏面から
照明すると共にこの液晶表示体基板の少なくとも連続す
る2辺に形成された電極とプローブが圧接して点灯検査
を行う検査装置において、上記検査用載置台は、液晶表
示体基板を載置する載置体と、この載置体の裏面中央に
取り付けられた昇降機構と、この昇降機構による上記載
置体の昇降動を案内するように上記昇降機構から等間隔
を隔ててその周囲に均等に設けられた少なくとも3箇所
のガイド機構を備え、上記ガイド機構は上端が上記載置
体に連結された筒体と、この筒体に挿入されたロッド
と、これら両者間に介在し且つ両者に線接触する摺動体
を有することを特徴とするものである。According to another aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus in which a liquid crystal display substrate is placed on an inspection table by a substrate transfer mechanism, and the liquid crystal display substrate is illuminated from the back side. In addition, in the inspection device for performing the lighting inspection by pressing the electrodes formed on at least two continuous sides of the liquid crystal display substrate and the probe, the inspection mounting table is a mounting body on which the liquid crystal display substrate is mounted. And an elevating mechanism attached to the center of the back surface of the mounting body, and evenly arranged around the elevating mechanism at equal intervals so as to guide the elevating and lowering movement of the mounting body by the elevating mechanism. At least three guide mechanisms are provided, and the guide mechanism has a cylindrical body whose upper end is connected to the mounting body, a rod inserted into the cylindrical body, and a sliding member which is interposed between them and is in line contact with both. Characterized by having a moving body It is intended to.
【0009】また、本発明の請求項2に記載の検査装置
は、請求項1に記載の発明において、上記摺動体は周方
向及び長手方向それぞれに等間隔を隔てて配列された複
数のベアリングを有し、各ベアリングは摺動体の内周面
及び外周面から一部を露出すると共にその露出部で上記
筒体の内周面及び上記ロッドの外周面双方に線接触する
ことを特徴とするものである。Further, in the inspection device according to claim 2 of the present invention, in the invention according to claim 1, the sliding body comprises a plurality of bearings arranged at equal intervals in the circumferential direction and the longitudinal direction. Each bearing has a part exposed from the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the sliding body, and the exposed portion makes line contact with both the inner peripheral surface of the cylindrical body and the outer peripheral surface of the rod. Is.
【0010】[0010]
【作用】本発明の請求項1及び請求項2に記載の発明に
よれば、液晶表示体基板の点灯検査をするに当たって、
基板搬送機構からの液晶表示体基板を検査用載置台上に
載置し、この液晶表示体基板を裏面から照明すると共に
この液晶表示体基板の少なくとも連続する2辺に形成さ
れた電極とプローブが圧接するが、この時、昇降機構に
より載置体を上昇させるに連れて昇降機構から等間隔を
隔ててその周囲に均等に設けられた少なくとも3箇所の
ガイド機構に偏荷重が掛かるが、これらのガイド機構の
筒体が摺動体のベアリングに線接触しているため、ガイ
ド機構の力学的剛性が強く偏荷重によって変形し難く、
液晶表示体基板の電極パッドのプローブからの位置ズレ
を抑制して高精度の位置合わせを行うことができる。し
かも、偏荷重を複数のガイド機構で受けるようにしてあ
るため、液晶表示体基板が大型化、高精細化してもガイ
ド機構自体はそれほど大型化する必要がなく、コストア
ップを抑制することができる。According to the first and second aspects of the present invention, in the lighting inspection of the liquid crystal display substrate,
The liquid crystal display substrate from the substrate transfer mechanism is placed on the mounting table for inspection, the liquid crystal display substrate is illuminated from the back surface, and electrodes and probes formed on at least two continuous sides of the liquid crystal display substrate are attached. At this time, as the platform is raised by the elevating mechanism, at least three guide mechanisms evenly provided around the elevating mechanism at equal intervals are subjected to an eccentric load. Since the tubular body of the guide mechanism is in line contact with the bearing of the sliding body, the mechanical rigidity of the guide mechanism is strong and it is difficult to deform due to an unbalanced load.
It is possible to suppress the positional deviation of the electrode pad of the liquid crystal display substrate from the probe and perform highly accurate alignment. Moreover, since the unbalanced load is received by the plurality of guide mechanisms, the guide mechanism itself does not need to be so large even if the liquid crystal display substrate becomes large in size and high in definition, and the cost increase can be suppressed. .
【0011】[0011]
【実施例】以下、図1〜図8に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本実施例の検査装置1はLCD基板S
の点灯検査を行うように構成されている。この検査装置
1は、図1に示すように、例えば25枚単位でカセット
C内に収納されたLCD基板Sを載置するカセット載置
部2と、このカセット載置部2のカセットCから未検査
のLCD基板Sを取り出し、検査後のLCD基板Sを収
納する基板搬送部3と、この基板搬送部3から搬送され
たLCD基板Sの点灯検査を行う検査部4とを備えてい
る。図1では基板搬送部3は明確ではないが、基板搬送
部3はカセット載置部2と検査部4の間に介在してい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on the embodiments shown in FIGS. The inspection apparatus 1 according to the present embodiment has an LCD substrate S.
Is configured to perform a lighting inspection. As shown in FIG. 1, the inspection apparatus 1 includes, for example, a cassette mounting portion 2 for mounting the LCD substrates S housed in the cassette C in units of 25 sheets, and a cassette mounting portion 2 that is not mounted on the cassette mounting portion 2. An LCD substrate S to be inspected is taken out, and a substrate transfer section 3 for accommodating the inspected LCD board S and an inspection section 4 for inspecting the lighting of the LCD board S transferred from the substrate transfer section 3 are provided. Although the substrate transfer section 3 is not clear in FIG. 1, the substrate transfer section 3 is interposed between the cassette placing section 2 and the inspection section 4.
【0012】そして、上記カセット載置部3には横方向
に所定間隔を空けて複数個例えば5個のカセットCを載
置するカセット載置台5が設けられている。各カセット
載置部2には異物の侵入を検出したり、カセットC内の
LCD基板Sの種類を読み取ったりする各種のセンサが
取り付けられ、各種のセンサを利用して自動搬送車のカ
セットCをカセット載置台5において自動的且つ安全に
搬入、搬出できるようにしてある。尚、図1において、
3Aは基板搬送部3の操作するタッチパネルであり、4
Aは検査部4状況を表示する表示装置である。この表示
装置4Aは検査部4の上部に配設されたCCDカメラ等
の撮像手段により検査部4におけるプローブとLCD基
板Sの電極パッドの接触状況等の撮像画像を表示すると
共に、検査部4を操作する操作パネルとしても機能する
ようにしてある。上記基板搬送部3には図2に示す基板
搬送機構6が配設されている。この基板搬送機構6は、
図1に示すカセット載置部2と検査部4の間の空間に配
設され、この空間で搬送アーム7がX方向、Y方向、Z
方向及びθ方向で移動できるようにしてある。The cassette mounting portion 3 is provided with a cassette mounting table 5 on which a plurality of, for example, five cassettes C are mounted at a predetermined interval in the lateral direction. Various sensors for detecting the entry of foreign matter and reading the type of the LCD substrate S in the cassette C are attached to each cassette mounting portion 2, and the cassette C of the automatic guided vehicle is loaded using the various sensors. The cassette table 5 can be automatically and safely loaded and unloaded. In FIG. 1,
Reference numeral 3A denotes a touch panel operated by the board transfer unit 3,
A is a display device that displays the status of the inspection unit 4. The display device 4A displays a picked-up image such as a contact state between a probe in the inspection unit 4 and an electrode pad of the LCD substrate S by an image pickup means such as a CCD camera arranged above the inspection unit 4, and It also functions as an operation panel for operation. The substrate transfer section 6 is provided with a substrate transfer mechanism 6 shown in FIG. This substrate transfer mechanism 6
It is arranged in a space between the cassette mounting portion 2 and the inspection portion 4 shown in FIG. 1, and the transfer arm 7 has an X direction, a Y direction, and a Z direction in this space.
It is designed to be movable in the direction and the θ direction.
【0013】即ち、上記基板搬送機構6は、上下2段に
平行に配置された2枚の搬送アーム7A、7Bと、各搬
送アーム7A、7Bを支持する支持台8とを備えてい
る。この支持台8上には長手方向(図2では左右方向)
全長に亘って2対のガイドレール8A、8B(図3参
照)が互いに平行に配設され、各ガイドレール8A、8
Bに取付部材9A、9Bを介して搬送アーム7A、7B
が連結されている。更に、各取付部材9A、9Bの下端
部にはガイドレールに沿って配設された無端状ベルト1
0A、、10Bにそれぞれ連結されている。各無端状ベ
ルト10A、10Bはいずれも図示しないモータで回転
するようにしてある。その結果、各搬送アーム7A、7
Bは、無端状ベルト10A、10Bの回転で取付部材9
A、9Bを介してガイドレール8A、8Bに従って支持
台8上を個別に移動できるようにしてある。そして、下
段の搬送アーム7AがカセットCからLCD基板Sを取
り出し、検査部4へLCD基板Sをロードするローダア
ームとして構成され、上段の搬送アーム7Bが検査部4
からアンロードしたLCD基板SをカセットC内へ収納
するアンローダアームとして構成されている。従って、
以下の説明では必要に応じて下段の搬送アームをローダ
アーム7A、上段の搬送アームをアンローダアーム7B
として説明する。また、各搬送アーム7A、7Bには表
面には図示しない孔が形成され、この孔を介してLCD
用基板Sを真空吸着するようにしてある。各搬送アーム
7A、7Bの前方には後述の方向転換機構の載置台が抜
ける大きさの孔7Cが形成されている。That is, the substrate transfer mechanism 6 is provided with two transfer arms 7A and 7B arranged in parallel in the upper and lower two stages, and a support 8 for supporting the transfer arms 7A and 7B. Longitudinal direction (left and right direction in FIG. 2) on this support base 8
Two pairs of guide rails 8A and 8B (see FIG. 3) are arranged in parallel to each other over the entire length.
B to the transfer arms 7A and 7B via mounting members 9A and 9B.
Are connected. Further, the endless belt 1 arranged along the guide rails at the lower ends of the mounting members 9A and 9B.
0A and 10B are respectively connected. Each of the endless belts 10A and 10B is rotated by a motor (not shown). As a result, each transfer arm 7A, 7A
B is the attachment member 9 when the endless belts 10A and 10B are rotated.
The guide rails 8A and 8B can be individually moved on the support base 8 via A and 9B. Then, the lower transfer arm 7A is configured as a loader arm that takes out the LCD substrate S from the cassette C and loads the LCD substrate S onto the inspection unit 4, and the upper transfer arm 7B is configured as the inspection unit 4.
It is configured as an unloader arm for accommodating the LCD substrate S unloaded from the inside into the cassette C. Therefore,
In the following description, the lower transfer arm will be the loader arm 7A and the upper transfer arm will be the unloader arm 7B, if necessary.
It will be described as. Further, holes (not shown) are formed on the surface of each of the transfer arms 7A and 7B, and the LCD is provided through these holes.
The substrate S for vacuum is vacuum-adsorbed. In front of each of the transfer arms 7A and 7B, a hole 7C having a size through which a mounting table of a direction changing mechanism described later can be removed is formed.
【0014】また、この支持台8の裏面にはボールネジ
11が回転自在に上端で連結され、図示しないモータ等
の駆動機構から回転力を得て回転駆動するようにしてあ
る。更に、支持台8の裏面にはボールネジ11を三方向
から囲むレール12が上端で連結されている。そして、
ボールネジ11及び各レール12は、下方の回転体13
をそれぞれ貫通し、ボールネジ11は回転体13に固定
されたナット部材(図示せず)に螺合している。これに
よりボールネジ11が駆動機構によりナット部材を介し
て正逆回転し、もって支持台8が上下方向(Z方向)で
移動するようにしてある。A ball screw 11 is rotatably connected to the back surface of the support base 8 at its upper end so as to be rotationally driven by receiving a rotational force from a drive mechanism such as a motor (not shown). Further, a rail 12 surrounding the ball screw 11 in three directions is connected to the back surface of the support base 8 at the upper end. And
The ball screw 11 and each rail 12 are provided with a lower rotating body 13
Respectively, and the ball screw 11 is screwed into a nut member (not shown) fixed to the rotating body 13. As a result, the ball screw 11 is normally and reversely rotated by the drive mechanism via the nut member, so that the support base 8 is moved in the vertical direction (Z direction).
【0015】上記回転体13は、図2に示すように、Y
テーブル14上に配設されている。このYテーブル14
の下方には基台15が配設され、この基台15上面には
Yテーブル14をY方向へ往復移動させる一対のボール
ネジ16及びガイドレール17が配設され、ボールネジ
16は一方(図2では右側)のガイドレール17の外側
に位置している。そして、ボールネジ16にはYテーブ
ル14の裏面に取り付けられたナット部材18が螺合
し、一対のガイドレール17にはYテーブル14の裏面
に取り付けられた係合部材19が係合し、ボールネジ1
6に連結されたモータ20により、Yテーブル14がカ
セット載置部2に沿ってY方向で往復移動するようにし
てある。As shown in FIG. 2, the rotary body 13 has a Y
It is arranged on the table 14. This Y table 14
A base 15 is disposed below the base 15, and a pair of ball screws 16 and a guide rail 17 for reciprocating the Y table 14 in the Y direction are disposed on the upper surface of the base 15. One of the ball screws 16 (in FIG. 2, It is located outside the right guide rail 17. Then, the ball screw 16 is screwed with the nut member 18 attached to the back surface of the Y table 14, and the pair of guide rails 17 is engaged with the engaging member 19 attached to the back surface of the Y table 14, so that the ball screw 1
The Y table 14 is reciprocally moved in the Y direction along the cassette mounting portion 2 by the motor 20 connected to the motor 6.
【0016】また、上記回転体13は例えばベルト(図
示せず)を介してモータ(図示せず)に連結され、この
モータにより回転体13が図2の矢印で示すようにθ方
向で回転するようにしてある。この回転体13の周縁近
傍には回転可能に構成された方向転換機構21配設され
ている。この方向転換機構21は、θ方向で正逆回転す
る載置台21Aと、この載置台21Aを昇降させるエア
シリンダなどからなる昇降機構(図示せず)とを有し、
必要に応じて基板搬送機構6から受け取ったLCD基板
Sを検査部4へ引き渡す前に検査に必要な向きに修正す
るようにしてある。そのため、この方向転換機構21は
必要に応じて適宜使用される。また、この方向転換機構
21の載置台21Aには真空吸着用の孔(図示せず)が
形成され、この孔によりLCD用基板Sを真空吸着する
ようにしてある。The rotating body 13 is connected to a motor (not shown) via, for example, a belt (not shown), and the rotating body 13 is rotated by the motor in the θ direction as shown by the arrow in FIG. Is done. A direction changing mechanism 21 configured to be rotatable is disposed near the peripheral edge of the rotating body 13. The direction changing mechanism 21 has a mounting table 21A that rotates forward and backward in the θ direction, and an elevating mechanism (not shown) including an air cylinder for elevating the mounting table 21A.
Before handing over the LCD substrate S received from the substrate transport mechanism 6 to the inspection unit 4, it is corrected to a direction necessary for the inspection if necessary. Therefore, the direction changing mechanism 21 is appropriately used as needed. A vacuum suction hole (not shown) is formed in the mounting table 21A of the direction changing mechanism 21, and the LCD substrate S is vacuum suctioned by the hole.
【0017】また、本実施例の基板搬送機構6には、図
2〜図4に示すように、プリアライメント機構22が配
設されている。このプリアライメント機構22は、カセ
ットCから取り出したLCD基板Sの向きを方向転換機
構21で方向修正する前に、LCD基板Sの中心を方向
転換機構21の載置台21Aの中心に位置決めするもの
である。Further, the substrate transfer mechanism 6 of this embodiment is provided with a pre-alignment mechanism 22 as shown in FIGS. The pre-alignment mechanism 22 positions the center of the LCD substrate S at the center of the mounting table 21A of the direction changing mechanism 21 before the direction changing mechanism 21 corrects the direction of the LCD substrate S taken out from the cassette C. is there.
【0018】上記プリアライメント機構22は、LCD
基板Sの各隅角部を2辺から挟むように対をなして互い
に直交方向に配置された回転自在な位置決めローラ22
A、22Bと、両ローラ22A、22Bで位置決めされ
たLCD基板Sを支持する支持ローラ22Cと、これら
のローラ22A、22B、22Cを支持台8の左右両側
で支持する左右一対の細長形状のフラットバー22D
と、各フラットバー22Dを介して各ローラを一体的に
昇降する第2昇降機構として例えばエアシリンダ22E
とを備えている。エアシリンダ22Eは支持台8にその
下方から昇降可能に連結された側面コ字形状の枠部材2
2F上に前後一対固定されている。そして、枠部材22
F上には前後のエアシリンダ22E間で略等間隔を空け
たガイド部材22Gが配設されている。従って、エアシ
リンダ22Eによりフラットバー22Dを介して位置決
めローラ22A、22B及び支持ローラ22Bが昇降す
るようにしてある。更に、この枠部材22Fの垂直枠に
はバネ22Hが弾装され、このバネ22Hにより枠部材
22Fを常時下方へ付勢するようにしてある。この枠部
材22Fには回転体13上に立設されたストッパー22
Iが下方から接触している。また、各位置決めローラ2
2A、22BはLCD基板Sの大きさに応じてそれぞれ
取付位置を調整できるようになっている。The pre-alignment mechanism 22 is an LCD.
Rotatable positioning rollers 22 arranged in pairs so as to sandwich each corner of the substrate S from two sides and arranged in mutually orthogonal directions.
A, 22B, a support roller 22C for supporting the LCD substrate S positioned by the rollers 22A, 22B, and a pair of left and right elongated flats for supporting these rollers 22A, 22B, 22C on both the left and right sides of the support base 8. Bar 22D
And a second elevating mechanism that integrally elevates and lowers each roller via each flat bar 22D, for example, an air cylinder 22E.
And The air cylinder 22E is a side U-shaped frame member 2 which is connected to the support base 8 so as to be vertically movable from below.
A pair of front and rear is fixed on 2F. Then, the frame member 22
On the F, guide members 22G are arranged between the front and rear air cylinders 22E at substantially equal intervals. Therefore, the positioning rollers 22A and 22B and the support roller 22B are moved up and down by the air cylinder 22E via the flat bar 22D. Further, a spring 22H is elastically mounted on the vertical frame of the frame member 22F, and the spring 22H constantly urges the frame member 22F downward. The frame member 22F has a stopper 22 provided upright on the rotating body 13.
I touches from below. In addition, each positioning roller 2
The mounting positions of 2A and 22B can be adjusted according to the size of the LCD substrate S.
【0019】従って、プリアライメント機構22は、ボ
ールネジ11の駆動で支持台8を介して搬送アーム7が
下降するとストッパー22Iの作用で枠部材22Fがバ
ネ22Hの弾力に抗して支持台8から持ち上げられ、し
かもエアシリンダ22Eの作動で位置決めローラ22
A、22B及び支持ローラ22Cが更に上昇するように
してある。Therefore, in the pre-alignment mechanism 22, when the transfer arm 7 is lowered through the support base 8 by driving the ball screw 11, the frame member 22F is lifted from the support base 8 against the elastic force of the spring 22H by the action of the stopper 22I. In addition, the positioning roller 22 is driven by the operation of the air cylinder 22E.
A, 22B and the support roller 22C are further raised.
【0020】また、上述した前後左右の各位置決めロー
ラ22A、22Bの軸心の高さは、各支持ローラ22C
で支持されるLCD基板Sの前後の両辺の高さと略一致
している。従って、図4に示すように、前後の位置決め
ローラ22A、22A間で最も距離の近い位置でLCD
基板Sの前後を挟み、左右の位置決めローラ22B、2
2B間で最も距離の近い位置でLCD基板Sの左右を挟
み、LCD基板Sを前後左右の位置決めし、位置決めロ
ーラ22A、22Bの最も高い位置より内側、即ち、図
4の一点鎖線で示した長方形の受領領域A内でLCD基
板Sを受領するようにしてある。この受領領域A内でL
CD基板Sを受け取れば、LCD基板Sを各位置決めロ
ーラ22A、22Bの回転で支持ローラ22Cへ落とし
込んで自動的に位置決するようにしてある。Further, the height of the shaft center of each of the front, rear, left and right positioning rollers 22A, 22B is the same as that of each supporting roller 22C.
The heights of the front and rear sides of the LCD substrate S supported by are substantially the same. Therefore, as shown in FIG. 4, the LCD is set at the position where the distance between the front and rear positioning rollers 22A and 22A is the shortest.
The front and rear sides of the substrate S are sandwiched between the left and right positioning rollers 22B, 2
The left and right sides of the LCD substrate S are sandwiched at the position closest to each other between the 2Bs, and the LCD substrate S is positioned in the front, rear, left, and right, inside the highest position of the positioning rollers 22A and 22B, that is, the rectangle shown by the dashed line in FIG. The LCD substrate S is received in the receiving area A of the. L in this receiving area A
When the CD substrate S is received, the LCD substrate S is dropped onto the support roller 22C by the rotation of the positioning rollers 22A and 22B, and is automatically positioned.
【0021】ところで、このプリアライメント機構22
でLCD基板Sを位置決めする時には、ローダアーム7
AからLCD基板Sを受領領域A内へ引き渡す必要があ
る。そのためにはカセットC内のLCD基板Sを受領領
域A内に入るように取り出さなくてはならない。その対
策として、図4に示すようにローダアーム7Aの孔7C
のやや後方にはLCD基板Sの前後方向の位置を決める
位置決め部材7Dが取り付けられている。この位置決め
部材7Dは、搬送アーム7AによりカセットCからLC
D基板Sを取り出す際に、仮にカセットC内からそのL
CD基板Sが突出していたとしても、そのLCD基板S
を一旦カセットC内の正規の収納位置へ押し込み、前後
の位置を矯正し、受領領域AからLCD基板Sが外れな
いように位置決めするものである。尚、LCD基板Sの
横方向の位置ズレはカセットCによって規制されるた
め、受領領域Aから外れるほどの位置ズレはない。By the way, this pre-alignment mechanism 22
When positioning the LCD substrate S with, the loader arm 7
It is necessary to transfer the LCD substrate S from A into the receiving area A. For that purpose, the LCD substrate S in the cassette C must be taken out so as to enter the receiving area A. As a countermeasure, as shown in FIG. 4, the hole 7C of the loader arm 7A
A positioning member 7D that determines the position of the LCD substrate S in the front-rear direction is attached slightly rearward. The positioning member 7D is transferred from the cassette C to the LC by the transfer arm 7A.
When removing the D substrate S, the L
Even if the CD substrate S is protruding, the LCD substrate S
Is once pushed into the regular storage position in the cassette C, the front and rear positions are corrected, and the LCD substrate S is positioned so as not to come off from the receiving area A. Since the positional deviation of the LCD substrate S in the lateral direction is regulated by the cassette C, there is no positional deviation that deviates from the receiving area A.
【0022】上記検査部4は、図1に示すように、LC
D基板Sの点灯検査を行う検査領域23と、この検査領
域23の両側に形成されたアライメント領域24A、2
4Bと、これらのアライメント領域24A、24B内に
それぞれ配設され且つこれらの領域で基板搬送機構6と
の間でLCD基板Sを授受する2台の検査用載置台2
5、25と、これらの検査用載置台25、25を上記領
域間で往復移動させる駆動機構26とを備えている。As shown in FIG. 1, the inspection unit 4 has an LC
An inspection region 23 for performing a lighting inspection of the D substrate S, and alignment regions 24A and 2A formed on both sides of the inspection region 23.
4B, and two inspection mounting tables 2 arranged in the alignment areas 24A and 24B and for transferring the LCD substrate S to and from the substrate transport mechanism 6 in these areas.
5 and 25, and a drive mechanism 26 that reciprocally moves the inspection mounting tables 25 and 25 between the regions.
【0023】上記検査用載置台25は例えばアルミニウ
ムによって形成されている。そして、この検査用載置台
25の表面には艶消し処理としてアルミニウムの陽極酸
化により黒色アルマイト処理が施されている。この検査
用載置台25は、図5に示すように、全体として矩形の
ボックス形状に形成され、駆動機構26等によってX方
向及びY方向で往復移動するようにしてある。ボックス
状の検査用載置台25は、LCD基板Sを載置する載置
体251と、この載置体251を昇降させるボールネジ
等を有する昇降機構(図示せず)と、この昇降機構によ
り載置体251の昇降を案内するように載置体251裏
面の4箇所の隅角部に取り付けられたガイドポスト25
2とを備えている。The inspection mounting table 25 is made of aluminum, for example. The surface of the inspection mounting table 25 is black anodized by anodic oxidation of aluminum as a matting treatment. As shown in FIG. 5, the inspection mounting table 25 is formed in a rectangular box shape as a whole, and is configured to reciprocate in the X direction and the Y direction by the drive mechanism 26 and the like. The box-shaped inspection mounting table 25 includes a mounting body 251 on which the LCD substrate S is mounted, an elevating mechanism (not shown) having a ball screw or the like for elevating the mounting body 251, and the mounting mechanism by the elevating mechanism. Guide posts 25 attached to four corners of the back surface of the mounting body 251 so as to guide the lifting and lowering of the body 251.
2 is provided.
【0024】上記載置体251は、その載置面において
昇降して搬送アーム7A、7Bとの間でLCD基板Sの
受け渡しを行う受け渡し機構253と、この受け渡し機
構253の内側に配置されこの機構で受け取ったLCD
基板Sをその点灯検査に備えて載置面上に固定する固定
機構254と、この固定機構254で固定されたLCD
基板Sを裏面から照明するように検査用載置台25に内
蔵された照明装置255とを備えている。尚、図5にお
いて、251Aはプローブを撮像し、そのプローブを電
極パッドに対して位置決めする時に用いられるCCDカ
メラ等からなる撮像手段である。The above-mentioned mount 251 is moved up and down on its mounting surface to transfer the LCD substrate S between the transfer arms 7A and 7B, and a transfer mechanism 253 disposed inside this transfer mechanism 253. LCD received in
A fixing mechanism 254 for fixing the substrate S on the mounting surface in preparation for the lighting inspection, and an LCD fixed by the fixing mechanism 254.
An illumination device 255 built in the inspection mounting table 25 is provided so as to illuminate the substrate S from the back surface. In FIG. 5, reference numeral 251A denotes an image pickup means including a CCD camera used for picking up an image of the probe and positioning the probe with respect to the electrode pad.
【0025】上記受け渡し機構253は、図5、図6に
示すように、LCD基板Sを左右両側縁部の前後で支持
する一対の位置決めフレーム253A、253Aと、各
位置決めフレーム253Aの裏面から垂下し下側のθテ
ーブル256及び支持基板257を貫通するロッド25
3Bと、このロッド253Bの真下にこれとは離隔する
ように上記Xテーブル261に立設されたストッパー2
53Cと、上記ロッド253Bを挟むように各位置決め
フレーム253Aから垂下するガイドロッド253Dと
を備えている。そして、受け渡し機構253は、昇降機
構により検査用載置台25が所定距離だけ下降した時に
ロッド253Bがストッパー253Cに接触して載置面
から浮上するように構成されている。As shown in FIGS. 5 and 6, the transfer mechanism 253 has a pair of positioning frames 253A and 253A for supporting the LCD substrate S in the front and rear of the left and right side edges, and is hung from the rear surface of each positioning frame 253A. The rod 25 penetrating the lower θ table 256 and the supporting substrate 257.
3B and a stopper 2 that is erected on the X-table 261 so as to be separated from it directly below the rod 253B.
53C and a guide rod 253D hanging from each positioning frame 253A so as to sandwich the rod 253B. The delivery mechanism 253 is configured so that the rod 253B comes into contact with the stopper 253C and floats from the mounting surface when the inspection mounting table 25 is lowered by a predetermined distance by the elevating mechanism.
【0026】上記各位置決めフレーム253は同一構成
を有するため、一方の位置決めフレームについて図6の
(a)、(b)、(c)を参照しながら説明する。この
位置決めフレーム253A内側の前後両端には第1突起
部253E、253Eが内方(図6では右方)へ延設さ
れ、更に、第1突起部253E、253Eの間には所定
間隔を空けて3個の第2突起部253Fが同様に延設さ
れ、第1、第2突起部253E、253Fを介してLC
D基板Sを固定機構254上で位置決めするようにして
ある。第1突起部253Eは、突出方向とは直交する方
向で且つ内方(図6では下方または上方)へ下降傾斜し
たテーパ面からなるガイド部253Gと、このガイド部
253Gの下端から更に内方へ水平に延設された水平面
からなる支持部253Hを有している。また、第2突起
部253Fは、その先端部で内方(図6では右方)へ下
降傾斜するテーパ面からなるガイド部253Iを有して
いる。そして、この受け渡し機構253は、基板搬送機
構6においてプリアライメントされたLCD基板Sに対
して各ガイド部253G、253Iで接触し、これら両
者253G、253Iを介して4隅の支持部253Hへ
LCD基板Sを落とし込むことによってLCD基板Sの
位置決めを行って支持し、その後検査用載置台253の
上昇により固定機構254へLCD基板Sを引き渡すよ
うにしてある。Since the positioning frames 253 have the same structure, one positioning frame will be described with reference to FIGS. 6 (a), 6 (b) and 6 (c). First protrusions 253E and 253E are extended inward (rightward in FIG. 6) at both front and rear ends inside the positioning frame 253A, and a predetermined space is provided between the first protrusions 253E and 253E. Similarly, three second protrusions 253F are extended, and LC is provided via the first and second protrusions 253E and 253F.
The D substrate S is positioned on the fixing mechanism 254. The first projecting portion 253E is a guide portion 253G formed of a tapered surface that is inclined inward (downward or upward in FIG. 6) in a direction orthogonal to the projecting direction, and further inward from the lower end of the guide portion 253G. It has a supporting portion 253H formed of a horizontal surface extending horizontally. In addition, the second protrusion 253F has a guide portion 253I formed of a tapered surface that is inclined downward inward (to the right in FIG. 6) at its tip. The delivery mechanism 253 contacts the LCD substrate S pre-aligned by the substrate transport mechanism 6 with the guide portions 253G and 253I, and the support portions 253H at the four corners via the two guide portions 253G and 253I. The LCD substrate S is positioned and supported by dropping S, and then the LCD substrate S is handed over to the fixing mechanism 254 by raising the mounting table 253 for inspection.
【0027】また、上記固定機構254は、図7の
(a)で示すように、矩形状の枠体として形成され、そ
の内側縁部でLCD基板Sの画素形成部分以外の外側縁
部を支持するように構成されている。この固定機構25
4は、LCD基板Sの直交する2辺には電極パッドが配
列され、他の2辺には電極パッド部よりも更に幅の狭い
LCD基板Sの取付部が形成され、これらの内側全面に
微細な画素が形成されている。そのため、固定機構25
4は、同図(a)で示すように、LCD基板Sの電極パ
ッドの部分を支持する第1支持部254Aと、電極パッ
ドの部分以外の部分を支持する第2支持部254Bとを
有している。そして、幅の広い第1支持部254Aには
同図(a)、(b)で示すように真空吸着用の細長形状
の凹陥部254Cが所定間隔を空けて複数個配列され、
更に、各凹陥部254Cの底面に同図(b)で示すよう
な真空排気用の排気孔254Dが形成されている。とこ
ろが、第2支持部254Bは第1支持部254Aよりも
狭いため、真空吸着用の凹陥部を設けられていない。Further, as shown in FIG. 7A, the fixing mechanism 254 is formed as a rectangular frame body, and its inner edge portion supports the outer edge portion of the LCD substrate S other than the pixel forming portion. Is configured to. This fixing mechanism 25
In the reference numeral 4, electrode pads are arranged on two orthogonal sides of the LCD substrate S, and mounting portions of the LCD substrate S having a width narrower than the electrode pad portion are formed on the other two sides. Pixels are formed. Therefore, the fixing mechanism 25
As shown in FIG. 4A, 4 has a first support portion 254A that supports the electrode pad portion of the LCD substrate S and a second support portion 254B that supports the portion other than the electrode pad portion. ing. Then, a plurality of elongated recesses 254C for vacuum suction are arranged at a predetermined interval on the wide first support portion 254A as shown in FIGS.
Further, an exhaust hole 254D for vacuum exhaust is formed on the bottom surface of each recess 254C as shown in FIG. However, since the second supporting portion 254B is narrower than the first supporting portion 254A, the concave portion for vacuum suction is not provided.
【0028】また、図7の(a)、(c)で示すように
第1、第2支持部254A、254Bには上記位置決め
フレーム253Aの第1、第2突起部253E、253
Fが嵌入する第1、第2嵌入溝254E、254Fが形
成されている。各嵌入溝254E、254Fの深さは、
いずれもLCD基板Sが第1、第2支持部254A、2
54B上で支持された時に、第1、第2突起部253
E、253Fを完全に収納し得る深さに形成されてい
る。As shown in FIGS. 7A and 7C, the first and second support portions 254A and 254B have first and second protrusions 253E and 253 of the positioning frame 253A.
First and second fitting grooves 254E and 254F into which F is fitted are formed. The depth of each fitting groove 254E, 254F is
In both cases, the LCD substrate S has the first and second support portions 254A, 2 and
54B, when supported on the first and second protrusions 253.
It is formed to a depth that can completely accommodate E and 253F.
【0029】また、載置体251の昇降動作をガイドす
るガイドポスト252は、図8の(a)に示すように、
上端が載置体251の底面に固定された筒体252A
と、この筒体252Aに挿入され下端がXテーブル26
1に固定されたロッド252Bと、これら両者252
A、252B間に介在し且つ複数のニードルベアリング
を外周面に有する円筒状の摺動体252Cとを備えて構
成されている。摺動体252Cの外周面には縦方向に3
筋の溝252Dが形成されている。これらの溝252D
は周方向等間隔(120°間隔)に形成され、各溝25
2Dにはその全長に亘って横方向を向くニードルベアリ
ング252Eが上下に配列されている。各ニードルベア
リング252Eは周面の一部が摺動体252Cの外周面
及び内周面の双方から露出するように回転自在に支持さ
れている。また、同図の(b)、(c)に示すように、
筒体252Aの内周面にはニードルベアリング252E
が線接触する平坦な膨出面252Fが3筋形成され、ま
た、ロッド252Bの外周面にはニードルベアリング2
52Eが線接触する平坦な膨出面252Gが3筋形成さ
れている。従って、載置体251が昇降する時に、筒体
252Aが上下すると、摺動体252Cがその1/2だ
け昇降するようになっている。このように筒体252A
及びロッド252Bはそれぞれの膨出面252F、25
2Gで摺動体252Cの多数のニードルベアリング25
2Eと線接触しているため、従来のボールベアリングの
場合と比較して偏荷重に対しての力学的剛性が高く、そ
れだけLCD基板Sの電極パッドのプローブからの位置
ズレを抑制し、高精度の位置合わせを行うことができる
ようになっている。The guide post 252 for guiding the raising / lowering operation of the mounting body 251 is, as shown in FIG.
A cylindrical body 252A whose upper end is fixed to the bottom surface of the mounting body 251.
And the lower end of the X-table 26 is inserted into the cylindrical body 252A.
The rod 252B fixed to 1 and these two 252
And a cylindrical sliding body 252C which is interposed between A and 252B and has a plurality of needle bearings on its outer peripheral surface. The outer surface of the sliding body 252C has a vertical length of 3
A groove 252D of the streak is formed. These grooves 252D
Are formed at equal intervals in the circumferential direction (120 ° intervals), and each groove 25
In 2D, needle bearings 252E that are oriented in the lateral direction are vertically arranged over the entire length thereof. Each needle bearing 252E is rotatably supported so that a part of the peripheral surface is exposed from both the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the sliding body 252C. Further, as shown in (b) and (c) of FIG.
Needle bearings 252E are provided on the inner peripheral surface of the cylindrical body 252A.
Has three flat bulging surfaces 252F that come into line contact with each other, and the needle bearing 2 is formed on the outer peripheral surface of the rod 252B.
The flat bulging surface 252G with which 52E is in line contact is formed with three lines. Therefore, when the mounting body 251 moves up and down, if the cylindrical body 252A moves up and down, the sliding body 252C moves up and down by half. Thus, the cylindrical body 252A
And the rod 252B has respective bulging surfaces 252F, 25F.
Many needle bearings 25 of sliding body 252C in 2G
Since it is in line contact with the 2E, the mechanical rigidity against an eccentric load is higher than in the case of the conventional ball bearing, and the positional deviation of the electrode pad of the LCD substrate S from the probe is suppressed accordingly, and the accuracy is high. Can be aligned.
【0030】次に動作について説明する。LCD基板S
の点灯検査を行う場合には、図1に示すようにカセット
載置部2のカセット載置台5上に載置されたカセットC
からLCD基板Sを取り出すが、それにはまず基板搬送
機構6のモータ20が駆動してYテーブル14を介して
基板搬送装置6を所定のカセットCの前方へ移動させる
と共に、回転体13が回転して搬送アーム7の先端を図
2に示すようにカセットCの方へ向けた状態で基板搬送
機構6がカセットCと対向する。Next, the operation will be described. LCD substrate S
When performing the lighting inspection of the cassette C, the cassette C mounted on the cassette mounting table 5 of the cassette mounting portion 2 as shown in FIG.
The LCD substrate S is taken out from the substrate S. First, the motor 20 of the substrate transport mechanism 6 is driven to move the substrate transport device 6 to the front of the predetermined cassette C via the Y table 14, and the rotating body 13 rotates. 2, the substrate transfer mechanism 6 faces the cassette C with the tip of the transfer arm 7 facing the cassette C as shown in FIG.
【0031】次いで、駆動機構によりボールネジ11が
正逆回転し、ローダアーム7Aを取り出すべきLCD基
板Sの高さに合わせる。すると、ローダアーム7Aの駆
動機構が駆動し、無端状ベルト10A及び取付部材9A
を介してローダアーム7AがカセットCに向けて進出
し、図2の二点鎖線で示すようにカセットC内へ侵入す
る。この時、そのLCD基板SがカセットCから突出し
ていると、そのLCD基板Sに位置決め部材7Dが当接
してLCD基板Sを押し込み、それを略正規の位置へ位
置合わせする。そして、ボールネジ11が僅かに駆動し
てローダアーム7Aを上昇させてLCD基板Sをローダ
アーム7Aに載せると同時にそれを真空吸着する。次い
で、無端状ベルト10Aが逆方向へ回転してローダアー
ム7Aが後退してカセットCからLCD基板Sを取り出
す。そして、回転体13の回転により搬送アーム7が向
きを180°変えて先端を検査部4に向ける。Then, the ball screw 11 is rotated in the forward and reverse directions by the drive mechanism, and the loader arm 7A is adjusted to the height of the LCD substrate S to be taken out. Then, the drive mechanism of the loader arm 7A is driven to drive the endless belt 10A and the attachment member 9A.
The loader arm 7A advances toward the cassette C via the, and enters the cassette C as shown by the chain double-dashed line in FIG. At this time, if the LCD substrate S projects from the cassette C, the positioning member 7D contacts the LCD substrate S and pushes the LCD substrate S, and aligns it to a substantially regular position. Then, the ball screw 11 is slightly driven to raise the loader arm 7A so that the LCD substrate S is placed on the loader arm 7A and at the same time, it is vacuum-sucked. Next, the endless belt 10A rotates in the opposite direction, the loader arm 7A retracts, and the LCD substrate S is taken out from the cassette C. Then, the transport arm 7 changes its direction by 180 ° by the rotation of the rotating body 13 and directs the tip toward the inspection unit 4.
【0032】ローダアーム7Aがプリアライメント機構
22の上方に来ると、ボールネジ11が駆動してローダ
アーム7Aが下降すると同時にアライメント機構22の
エアシリンダ22Eが駆動して位置決めローラ22A、
22B及び支持ローラ22Cをローダアーム7Aに向け
て持ち上げる。この時、プリアライメント機構22の枠
部材22Fにストッパー22Iが接触しているため、こ
のストッパー22Iがプリアライメント機構22をバネ
22Eの弾力に抗して持ち上げる。その結果、ストッパ
ー22Iによるプリアライメント機構の持ち上げ動作と
エアシリンダ22Eによる位置決めローラ22A、22
B及び支持ローラ22Cの持ち上げ動作が相乗的に働い
てローダアーム7Aは迅速に位置決めローラ22A、2
2Bへ接近する。そして、4箇所の位置決めローラ22
A、22Bが下方からLCD基板Sの4隅に接触し、こ
れらのローラ上にLCD基板Sを載せると、ローダアー
ム7Aはこれらのローラ上にLCD基板Sを残したまま
左右のフラットバー22D、22Dの間を通り抜け、フ
ラットバーのやや下方に来た時点でボールネジ11及び
エアシリンダ22Eの双方が停止する。尚、LCD基板
Sを引き渡す時には、ローダアーム7Aの真空吸着作用
は解除されている。When the loader arm 7A comes above the pre-alignment mechanism 22, the ball screw 11 is driven to lower the loader arm 7A, and at the same time, the air cylinder 22E of the alignment mechanism 22 is driven to position the positioning roller 22A.
22B and the support roller 22C are lifted toward the loader arm 7A. At this time, since the stopper 22I is in contact with the frame member 22F of the pre-alignment mechanism 22, the stopper 22I lifts the pre-alignment mechanism 22 against the elasticity of the spring 22E. As a result, the lifting operation of the pre-alignment mechanism by the stopper 22I and the positioning rollers 22A, 22 by the air cylinder 22E.
The loader arm 7A quickly moves the positioning rollers 22A, 2 and
Approach 2B. Then, the positioning rollers 22 at four locations
When A and 22B come into contact with the four corners of the LCD substrate S from below and the LCD substrate S is placed on these rollers, the loader arm 7A leaves the LCD substrate S on these rollers and left and right flat bars 22D, Both of the ball screw 11 and the air cylinder 22E stop when passing through the space 22D and slightly below the flat bar. When the LCD substrate S is handed over, the vacuum suction action of the loader arm 7A is released.
【0033】ここでプリアライメント機構22による位
置決め動作について説明する。ロードアーム7Aからプ
リアライメント機構22へLCD基板Sの引き渡し時に
は、LCD基板SはカセットC及びローダアーム7A上
の位置決め部材7Dによって既に前後左右の位置ズレは
ある程度矯正され、LCD基板Sはプリアライメント機
構22の受領領域A(図4参照)内に入っている。その
ため、LCD基板Sが位置決めローラ22A、22B上
に載ると、LCD基板Sはその受領領域A内で多少位置
ズレがあっても、LCD基板Sは各位置決めローラ22
A、22Bの内側へ湾曲する周面に接触する。ところ
が、各位置決めローラ22A、22Bはいずれも回転自
在になっており、それぞれの周面にLCD基板Sの摩擦
力が作用した状態でLCD基板Sが自重落下しようとす
ると、各位置決めローラ22A、22BはLCD基板S
との摩擦力により円滑に回転し、LCD基板Sを支持ロ
ーラ22Cへ衝撃力を伴うことなく落とし込む。支持ロ
ーラ22CでLCD基板Sを支持すると、4隅の位置決
めローラ22A、22BがそのLCD基板Sをその4隅
から挟持した状態で正確且つ自動的に位置決めする。こ
の位置決め後、再びボールネジ11及びエアシリンダ2
2Eが駆動してローダアーム7Aが迅速に支持ローラ2
2Cに近づき、フラットバー22D、22Dの間を通り
抜け、その間に位置決め後のLCD基板Sを支持ローラ
22Cから受け取り、それを真空吸着し、基板搬送機構
6におけるLCD基板Sにプリアライメントを終了す
る。Now, the positioning operation by the pre-alignment mechanism 22 will be described. When the LCD substrate S is transferred from the load arm 7A to the pre-alignment mechanism 22, the LCD substrate S is already corrected to some extent by the positioning member 7D on the cassette C and the loader arm 7A, and the LCD substrate S is pre-aligned by the pre-alignment mechanism. It is inside the receiving area A (see FIG. 4) of 22. Therefore, when the LCD substrate S is placed on the positioning rollers 22A and 22B, even if the LCD substrate S is slightly misaligned within the receiving area A, the LCD substrate S is not moved by the positioning rollers 22A and 22B.
It contacts the inwardly curved peripheral surfaces of A and 22B. However, each of the positioning rollers 22A and 22B is rotatable, and when the LCD substrate S tries to drop by its own weight in a state where the frictional force of the LCD substrate S acts on the peripheral surface of each, the positioning rollers 22A and 22B. Is the LCD substrate S
The LCD substrate S is smoothly rotated by the frictional force with and drops the LCD substrate S onto the support roller 22C without any impact force. When the LCD substrate S is supported by the support rollers 22C, the positioning rollers 22A and 22B at the four corners accurately and automatically position the LCD substrate S while sandwiching the LCD substrate S from the four corners. After this positioning, the ball screw 11 and the air cylinder 2 again.
2E is driven so that the loader arm 7A quickly moves to the support roller 2
2C, it passes through between the flat bars 22D and 22D, the LCD substrate S after positioning is received from the support roller 22C in the meantime, it is vacuum-sucked, and the pre-alignment on the LCD substrate S in the substrate transport mechanism 6 is completed.
【0034】基板搬送機構6でのプリアライメントが終
了すると、基板搬送機構6ではボールネジ11及び無端
状ベルト10Aの動作によりロードアーム7Aが検査部
4に向けて進出すると共に、例えば検査部4のアライメ
ント領域24Aの検査用載置台25へのLCD基板Sの
引き渡し高さになる。この動作と並行して検査用載置台
25の駆動機構のボールネジ264等が回転すると、検
査用載置台25がX方向及びY方向で移動してLCD基
板Sを受け取る位置へ到達する。このようにして基板搬
送機構のローダアーム7A及び検査用載置台25による
LCD基板Sの移載準備が完了する。When the pre-alignment by the substrate transfer mechanism 6 is completed, the load arm 7A advances toward the inspection unit 4 by the operation of the ball screw 11 and the endless belt 10A in the substrate transfer mechanism 6, and, for example, the alignment of the inspection unit 4 is performed. It is the transfer height of the LCD substrate S to the inspection mounting table 25 in the area 24A. When the ball screw 264 or the like of the drive mechanism of the inspection mounting table 25 rotates in parallel with this operation, the inspection mounting table 25 moves in the X direction and the Y direction to reach the position for receiving the LCD substrate S. In this way, the transfer preparation of the LCD substrate S by the loader arm 7A of the substrate transfer mechanism and the mounting table 25 for inspection is completed.
【0035】ここでLCD基板Sの移載動作について説
明する。移載位置に到達した検査用載置台25では図示
しない昇降機構のボールネジが回転して載置体251が
下降する。すると、受け渡し機構253のロッド253
Bが下方のストッパー253Cに接触し、更に載置体2
51が下降すると、左右一対の位置決めフレーム253
A、253Aが固定機構254から浮上し、固定機構2
54との間に隙間を作る。この時既に、ローダアーム7
Aはその隙間に侵入する位置にある。そこで、ローダア
ーム7Aの無端状ベルト10Aが回転し、ローダアーム
7Aが隙間に進出し、その進出端においてLCD基板S
を固定機構254及び照明装置255の真上に持ってく
る。この時点でLCD基板Sは既にプリアライメントさ
れているため、LCD基板Sは左右の位置決めフレーム
253A、253Aの各第1、第2突起部253E、2
53Fのガイド部253G、253Iに対する引き渡し
位置にある。Here, the transfer operation of the LCD substrate S will be described. At the inspection mounting table 25 that has reached the transfer position, a ball screw of an elevating mechanism (not shown) rotates and the mounting body 251 descends. Then, the rod 253 of the transfer mechanism 253
B comes in contact with the lower stopper 253C, and further the mounting body 2
When 51 is lowered, a pair of left and right positioning frames 253
A and 253A float from the fixing mechanism 254,
Make a gap with 54. At this time, already the loader arm 7
A is in a position to enter the gap. Then, the endless belt 10A of the loader arm 7A rotates, the loader arm 7A advances into the gap, and the LCD substrate S
Is brought directly above the fixing mechanism 254 and the lighting device 255. At this point, since the LCD substrate S has already been pre-aligned, the LCD substrate S has the first and second protrusions 253E, 253E of the left and right positioning frames 253A, 253A.
It is in the delivery position with respect to the guide portions 253G and 253I of 53F.
【0036】次いで、ローダアーム7Aがボールネジ1
1を介してやや下降し、LCD基板Sを各位置決めフレ
ーム253A、253Aへ引き渡す。これによりLCD
基板Sの各辺が各位置決めフレーム253A、253A
の各ガイド部253G、253Iに接触する。LCD基
板Sを引き渡したローダアーム7Aは無端状ベルト10
Aの作用で載置体251から後退し、その位置で待機す
る。Next, the loader arm 7A is attached to the ball screw 1
It slightly descends via 1 and transfers the LCD substrate S to each positioning frame 253A, 253A. This enables LCD
Each side of the board S has each positioning frame 253A, 253A
Of each of the guide portions 253G and 253I. The loader arm 7A that has handed over the LCD substrate S is an endless belt 10
By the action of A, it is retracted from the mounting body 251 and stands by at that position.
【0037】一方、受け渡し機構253はLCD基板S
の位置決めを行う。即ち、各ガイド部253G、253
IではLCD基板Sが載ると、LCD基板Sをそれぞれ
のテーパ面に従って自重落下させて前後端の第1突起部
253E、253Eに形成された支持部253H、25
3HでLCD基板Sを支持すると共に各ガイド部253
G、253Iに連続する垂直壁でLCD基板Sを位置決
めする。LCD基板Sの位置決めが終了すると、載置体
251が上昇し、固定機構254が受け渡し機構253
へ接近し、更に載置体251が上昇すると、受け渡し機
構253の第1、第2突起部253E、253Fが固定
機構254の第1、第2嵌入溝254E、254Fへ嵌
入するが、その途中でLCD基板Sを固定機構254の
第1、第2支持部254A、254B上へ引き渡し、各
突起部253E、253Fが各嵌入溝254E、254
Fへ完全に嵌入して停止する。このようにして固定機構
254の各支持部254E、254FでLCD基板Sを
支持すると、第1支持部254Aの各排気孔254Dか
ら真空排気して凹陥部254Cを真空状態にし、LCD
基板Sの2辺を真空吸着して固定する。On the other hand, the transfer mechanism 253 is the LCD substrate S.
Position. That is, each guide portion 253G, 253
In I, when the LCD substrate S is mounted, the LCD substrate S is dropped by its own weight according to the respective tapered surfaces, and the support portions 253H, 25 formed on the first protrusions 253E, 253E at the front and rear ends.
The LCD substrate S is supported by 3H and each guide portion 253
The LCD substrate S is positioned by the vertical wall continuous with G and 253I. When the positioning of the LCD substrate S is completed, the mounting body 251 is raised and the fixing mechanism 254 is transferred by the transfer mechanism 253.
When the mounting body 251 is further raised, the first and second protrusions 253E and 253F of the transfer mechanism 253 are fitted into the first and second fitting grooves 254E and 254F of the fixing mechanism 254. The LCD substrate S is handed over to the first and second support portions 254A and 254B of the fixing mechanism 254, and the protrusions 253E and 253F are inserted into the fitting grooves 254E and 254.
Completely insert into F and stop. When the LCD substrate S is supported by the support portions 254E and 254F of the fixing mechanism 254 in this way, the exhaust holes 254D of the first support portion 254A are evacuated to bring the recessed portion 254C into a vacuum state, and the LCD
The two sides of the substrate S are vacuum-adsorbed and fixed.
【0038】次いで、アライメント領域24Aで検査用
載置台25をボールネジ264等によりアライメントす
る。その後、検査用載置台25が検査領域23へ移動
し、検査領域23ではCCDカメラ251Aを介してL
CD基板Sの電極パッドをプローブに位置合わせする。
この時、CCDカメラ251Aによって撮像された状況
は表示装置4Aで表示される。そして、ボールネジを介
して載置体251がガイドポスト252に案内されなが
ら水平を保持して上昇し、LCD基板Sの2辺に形成さ
れた電極パッドがプローブに電気的に接触し、更にオー
バドライブをかけてより確実に両者の接触を図る。そし
て、このような接触下でプローブに所定の信号を送ると
共に照明装置255からLCD基板Sを裏面から照明す
ると、LCD基板Sに形成された画素の良否が現れ、こ
れを検査領域23の上方に配置された撮像手段により撮
像し、この画像データを図示されていないテスタに取り
込み解析することによりLCD基板Sの良否を検査する
ことができる。Next, the inspection mounting table 25 is aligned in the alignment area 24A with the ball screw 264 or the like. After that, the inspection mounting table 25 moves to the inspection area 23, and in the inspection area 23, the L level is passed through the CCD camera 251A.
The electrode pad of the CD substrate S is aligned with the probe.
At this time, the situation captured by the CCD camera 251A is displayed on the display device 4A. Then, the mounting body 251 is held horizontally while being guided by the guide post 252 via the ball screw and ascends, the electrode pads formed on the two sides of the LCD substrate S electrically contact with the probe, and further overdrive. To ensure more reliable contact between the two. Then, when a predetermined signal is sent to the probe under such a contact and the LCD substrate S is illuminated from the back surface by the illumination device 255, the quality of the pixels formed on the LCD substrate S appears, and this is displayed above the inspection region 23. The quality of the LCD substrate S can be inspected by taking an image with the image pickup means arranged and taking in this image data to a tester (not shown) for analysis.
【0039】検査時には、載置体251上のLCD基板
Sの2辺にのみプローブから荷重が掛かるが、その荷重
は偏荷重になり、4本のガイドポスト252にも偏荷重
が掛かる。ところが、ガイドポスト252では摺動体2
52Cのニードルベアリング252Dが筒体252Aの
膨出面252F及びロッド252Bの膨出面252Gに
線接触しているため、ガイドポスト252の剛性が高ま
り、検査時の偏荷重に対する力学的耐性が大きくなっ
て、電極パッドがプローブから位置ズレすることがな
く、正確な検査を行うことができる。この検査を終了し
た後、検査後のLCD基板Sを検査部4からカセットC
へ収納するが、この時には、基板搬送機構6のアンロー
ドアーム7Bを使ってLCD基板Sを搬送する。その動
作はロード時とは略逆の動作になる。At the time of inspection, the load is applied from the probe only to the two sides of the LCD substrate S on the mounting body 251, but the load becomes an eccentric load, and the eccentric load is also applied to the four guide posts 252. However, in the guide post 252, the sliding body 2
Since the needle bearing 252D of 52C is in line contact with the bulging surface 252F of the cylindrical body 252A and the bulging surface 252G of the rod 252B, the rigidity of the guide post 252 is increased, and the mechanical resistance against an unbalanced load at the time of inspection increases. Accurate inspection can be performed without the electrode pad being displaced from the probe. After this inspection is finished, the LCD substrate S after the inspection is transferred from the inspection unit 4 to the cassette C.
At this time, the LCD substrate S is transported by using the unload arm 7B of the substrate transport mechanism 6. The operation is almost the reverse of that at the time of loading.
【0040】以上説明したように本実施例によれば、検
査用載置台25は、LCD基板Sを載置する載置体25
1と、この載置体251の裏面中央に取り付けられた昇
降機構と、この昇降機構による載置体251の昇降動を
案内するように昇降機構から等間隔を隔ててその周囲に
均等に設けられた4箇所のガイド機構252とを備え、
ガイド機構252は上端が載置体251に連結された筒
体252Aと、この筒体252Aに挿入されたロッド5
25Bと、これら両者252A、252B間に介在し且
つ両者に線接触する摺動体252Cを有するため、LC
D基板Sの電極パッドとプローブが圧接する時、昇降機
構により載置体251を上昇させるに連れて4箇所のガ
イド機構252に偏荷重が掛かるが、これらのガイド機
構252の筒体252A及びロッド252Bが摺動体2
52Cのベアリング252Eに線接触しているため、ガ
イド機構252の力学的剛性が強く偏荷重によって変形
し難く、LCD基板Sの電極パッドのプローブからの位
置ズレを抑制して高精度の位置合わせを行うことができ
る。しかも、偏荷重を4本のガイド機構252で受ける
ようにしてあるため、LCD基板Sが大型化、高精細化
してもガイド機構252自体はそれほど大型化する必要
がなく、コストアップを抑制することができる。As described above, according to this embodiment, the inspection mounting table 25 includes the mounting body 25 on which the LCD substrate S is mounted.
1, an elevating mechanism attached to the center of the back surface of the mounting body 251, and evenly arranged around the elevating mechanism at equal intervals so as to guide the elevating motion of the mounting body 251 by the elevating mechanism. With four guide mechanisms 252,
The guide mechanism 252 has a cylindrical body 252A whose upper end is connected to the mounting body 251, and a rod 5 inserted in the cylindrical body 252A.
25B and a sliding body 252C interposed between the two 252A and 252B and in line contact with both 252A and 252B, the LC
When the electrode pad of the D substrate S and the probe are brought into pressure contact with each other, an unbalanced load is applied to the four guide mechanisms 252 as the mounting body 251 is raised by the elevating mechanism. 252B is sliding body 2
Since the guide mechanism 252 is in linear contact with the bearing 252E of 52C, the mechanical rigidity of the guide mechanism 252 is strong, and it is difficult for the guide mechanism 252 to be deformed by an unbalanced load. It can be carried out. In addition, since the unbalanced load is received by the four guide mechanisms 252, the guide mechanism 252 itself does not need to be so large even if the LCD substrate S is made large and the resolution is high, and the cost increase is suppressed. You can
【0041】尚 上記実施例では、筒体252A及びロ
ッド252Bに線接触する部材としてニードルベアリン
グ252Eを用いたものについて説明したが、筒体25
2A及びロッド252Bと線接触するベアリングであれ
ば、ニードルベアリングに制限されるものではない。In the above embodiment, the needle bearing 252E is used as a member that comes into line contact with the cylindrical body 252A and the rod 252B.
The bearing is not limited to the needle bearing as long as the bearing is in line contact with the 2A and the rod 252B.
【0042】[0042]
【発明の効果】本発明の請求項1及び請求項2に記載の
発明によれば、LCD基板が大型化、高精細化し、点灯
検査時に偏荷重が大きくなっても、LCD基板の電極が
プローブから位置ズレすることなく高精度の検査を行う
ことができ、コスト上昇を抑制できる検査装置を提供す
ることができる。According to the first and second aspects of the present invention, the electrodes of the LCD substrate are probed even if the LCD substrate becomes large in size and fine in definition and an unbalanced load becomes large during the lighting inspection. It is possible to provide an inspection device that can perform high-precision inspection without positional deviation from the above, and can suppress an increase in cost.
【図1】本発明の検査装置の一実施例を示す全体斜視図
である。FIG. 1 is an overall perspective view showing an embodiment of an inspection apparatus of the present invention.
【図2】図2は図1に示す検査装置に適用された基板搬
送機構を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing a substrate transfer mechanism applied to the inspection apparatus shown in FIG.
【図3】図2に示す基板搬送装置の要部を示す正面図で
ある。FIG. 3 is a front view showing a main part of the substrate transfer device shown in FIG.
【図4】図2、図3に示す基板搬送装置の要部を示す平
面図である。FIG. 4 is a plan view showing a main part of the substrate transfer device shown in FIGS. 2 and 3.
【図5】図1に示す検査用載置台の要部を示す斜視図で
ある。5 is a perspective view showing a main part of the inspection mounting table shown in FIG. 1. FIG.
【図6】図5に示す検査用載置台の受け渡し機構の片方
を示す図で、同図(a)はその平面図、同図(b)は同
図(a)の側面図、同図(c)はガイド部の横方向の断
面斜視図である。6A and 6B are views showing one side of a delivery mechanism of the inspection mounting table shown in FIG. 5, in which FIG. 6A is a plan view thereof, FIG. 6B is a side view thereof, and FIG. c) is a lateral cross-sectional perspective view of the guide portion.
【図7】図5に示す検査用載置台の固定機構を示す図
で、同図(a)はその平面図、同図(b)は同図(a)
の真空吸着用の凹陥部を拡大して示す部分斜視図、同図
(c)は同図(a)のB−B線方向の断面図である。7A and 7B are views showing a fixing mechanism of the inspection mounting table shown in FIG. 5, in which FIG. 7A is a plan view thereof and FIG.
The partial perspective view which expands and shows the recessed part for vacuum suction of FIG. 6 (c) is sectional drawing of the BB line direction of the same figure (a).
【図8】図5に示す検査用載置台の昇降用のガイド柱を
示す図で、同図(a)はその一部を示す側面図、同図
(b)は同図(a)の横方向の断面図の要部図を示す部
分断面図、同図(c)は同図(b)を拡大して示す断面
図、同図(d)はガイド柱の動きを示す説明図である。8A and 8B are views showing a guide column for raising and lowering the inspection mounting table shown in FIG. 5, in which FIG. 8A is a side view showing a part thereof, and FIG. 8B is a side view of FIG. FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a main part of a cross-sectional view in the direction, FIG. 7C is an enlarged cross-sectional view of FIG. 7B, and FIG. 7D is an explanatory view showing the movement of the guide column.
1 検査装置 6 基板搬送機構 251 載置体 252 ガイド機構 252A 筒体 252B ロッド 252C 摺動体 252E ニードルベアリング DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection device 6 Substrate transfer mechanism 251 Mounting body 252 Guide mechanism 252A Cylindrical body 252B Rod 252C Sliding body 252E Needle bearing
Claims (2)
査用載置台上に載置し、この液晶表示体基板を裏面から
照明すると共にこの液晶表示体基板の少なくとも連続す
る2辺に形成された電極とプローブが圧接して点灯検査
を行う検査装置において、上記検査用載置台は、液晶表
示体基板を載置する載置体と、この載置体の裏面中央に
取り付けられた昇降機構と、この昇降機構による上記載
置体の昇降動を案内するように上記昇降機構から等間隔
を隔ててその周囲に均等に設けられた少なくとも3箇所
のガイド機構を備え、上記ガイド機構は上端が上記載置
体に連結された筒体と、この筒体に挿入されたロッド
と、これら両者間に介在し且つ両者に線接触する摺動体
を有することを特徴とする検査装置。1. A liquid crystal display substrate is mounted on a mounting table for inspection by a substrate transfer mechanism, the liquid crystal display substrate is illuminated from the backside, and formed on at least two continuous sides of the liquid crystal display substrate. In an inspection device that performs lighting inspection by pressure contact between an electrode and a probe, the inspection mounting table is a mounting body on which a liquid crystal display substrate is mounted, and an elevating mechanism attached to the center of the back surface of the mounting body, The guide mechanism is provided with at least three guide mechanisms evenly provided around the lift mechanism at equal intervals so as to guide the lifting / lowering movement of the mounting body by the lift mechanism. The upper end of the guide mechanism is described above. An inspection apparatus comprising: a tubular body connected to a mounting body; a rod inserted into the tubular body; and a sliding body interposed between the two and a line contacting the two.
れに等間隔を隔てて配列された複数のベアリングを有
し、各ベアリングは摺動体の内周面及び外周面から一部
を露出すると共にその露出部で上記筒体の内周面及び上
記ロッドの外周面双方に線接触することを特徴とする請
求項1に記載の検査装置。2. The sliding body has a plurality of bearings arranged at equal intervals in the circumferential direction and the longitudinal direction, and each bearing is partially exposed from the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the sliding body. The inspection device according to claim 1, wherein the exposed portion makes line contact with both the inner peripheral surface of the cylindrical body and the outer peripheral surface of the rod.
Priority Applications (4)
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JP20140295A JPH0933877A (en) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | Inspection device |
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