JP3648349B2

JP3648349B2 - Display panel substrate inspection method and apparatus

Info

Publication number: JP3648349B2
Application number: JP09279597A
Authority: JP
Inventors: 昌志長谷川
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1997-03-28
Filing date: 1997-03-28
Publication date: 2005-05-18
Anticipated expiration: 2017-03-28
Also published as: JPH10268248A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、水平面に対して傾斜した検査部において表示パネル基板の点灯状態を目視で検査するようにした検査方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１３は液晶表示パネルの基板（以下、液晶基板という。）を検査するための従来の検査装置の側面断面図、図１４はその正面図である。図１３において、測定ステージ１０とプローブ装置１２は、共に、水平面に対して傾斜している。図１４において、検査装置の右側の開口部１４には、バックライト１１を備えた測定ステージ１０が待機している。オペレータはこの測定ステージ１０に液晶基板を載せる。測定ステージ１０の外周部にはガイド板１５、１６があって、液晶基板の端部をこのガイド板１５、１６に合わせることによって、液晶基板の位置決めを行う。液晶基板は、バックライト１１の外周部に設けられた吸着溝１８（負圧が供給される。）に吸着固定される。液晶基板を搭載した測定ステージ１０は、そのＸ軸ステージが左方向に移動することにより、プローブ装置１２の下方に搬送される。次に、プローブ装置１２に設けられたアライメントカメラ２０によりファインアライメントが行われ、プローブ針と液晶基板の電極との位置合わせが完了する。
【０００３】
それから、Ｚ軸ステージが上昇して測定ステージ１０が上昇し、液晶基板の電極にプローブ針がコンタクトする。ＬＣＤパターン発生器からの信号により液晶基板は全面点灯して、テストパターンを映し出す。オペレータは、液晶基板のテストパターンを自分の目で観察して、液晶基板の良品、不良品の判断をする。検査が終了した液晶基板は、右側の開口部１４に搬送されて、オペレータにより測定ステージ１０から外され、次の液晶基板がセットされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の検査装置は、液晶基板を測定ステージにセットするための基板セット領域（装置右側の開口部１４に露出している部分）と、液晶基板を点灯して検査を行う点灯検査部とが左右に並んでいる。したがって、オペレータは基板セット領域と検査部とを絶えず行き来しなくてはならず、一連の作業は立ち作業となり疲労が多いなど、作業性に問題がある。また、この検査装置は、基板セット領域と検査部とが左右に並んでいるので、プローブ装置の約２倍の左右幅を必要とし、装置の占有面積が大きくなる。さらに、基板セット領域において測定ステージ面が水平面から傾斜しているので、オペレータが液晶基板をセットするときに液晶基板を落として破損させるおそれがあり、液晶基板の取り扱いに不安がある。
【０００５】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、オペレータの作業性が良く、占有面積が小さく、液晶基板のセットも容易でかつ安全な、表示パネル基板の検査方法および装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明の表示パネル基板の検査装置は、次の（イ）乃至（ニ）の構成を備え，（ホ）及び（ヘ）の特徴を備えいる。（イ）水平面に対して傾斜した検査部であって、プローブ装置とこれに対向する測定ステージとを有する検査部。（ロ）表示パネル基板を載せるための搭載面を有するワークテーブル。（ハ）前記ワークテーブルを前記測定ステージに着脱可能に結合するための結合機構。（ニ）前記検査部の手前かつ下方にある基板セット領域と前記検査部との間で前記ワークテーブルを搬送する搬送機構であって、ワークテーブルが前記基板セット領域にあるときはワークテーブルの搭載面が水平状態になるように構成された搬送機構。（ホ）前記搬送機構は、前記基板セット領域から前記検査部の付近まで延びる１対の搬送レールと、これらの搬送レールに沿って移動する搬送体と、この搬送体に設けられていて前記ワークテーブルを着脱可能に保持できる保持機構とを備えている。（ヘ）前記搬送レールは、前記基板セット領域にあって水平に延びる水平部と、前記検査部の付近にあって前記測定ステージの表面に平行に延びる傾斜部と、前記水平部と傾斜部とを滑らかにつなぐ曲線部とからなる。
【０００７】
検査部の手前の基板セット領域において、表示パネル基板を水平状態でワークテーブルにセットすると、このワークテーブルは搬送機構によって、傾斜した検査部まで搬送される。このような装置構成を採用したことにより、基板セット領域と検査部を左右に配置した従来装置と比較して、検査装置の占有面積が小さくなる。また、表示パネル基板を水平状態でセットできるので、傾斜した測定ステージ面にセットする従来装置に比べて、基板のセット作業が安定する。さらに、オペレータは、基板のセット作業及び取り外し作業の場所と、点灯検査作業の場所とを往復移動する必要がなく、オペレータの疲労が少ない。
【０００８】
この検査装置の測定対象は、点灯表示状態をオペレータが観察して良否を判定する必要のある表示パネル基板であり、代表的には、液晶表示パネルやプラズマディスプレーパネルなどのフラットディスプレーパネルの基板である。
【０００９】
この検査装置では、検査部の手前かつ下方に基板セット領域があるが、「手前」とは、点灯状態を観察するためにオペレータが検査装置に向き合ったときに、検査装置からオペレータに向かう方向を意味する。
【００１１】
この発明は、本願出願人が出願した特願平８−５２５４２号の発明（以下、先願発明という。）を改良したものである。この先願発明と本願発明との違いを以下に説明する。先願発明では、基板セット領域の基板設置台に表示パネル基板を水平状態で設置してから、この基板設置台から搬送体へと表示パネル基板を受け渡している。そして、この搬送体を検査部まで搬送して、搬送体から測定ステージへと表示パネル基板を受け渡している。すなわち、表示パネル基板の受け渡し作業が２回必要になる。この２回の受け渡し作業は、表示パネル基板の位置ずれの原因となる。位置ずれが大きくなると、表示パネル基板が測定ステージに吸着固定された状態で、表示パネル基板のアライメントマークがアライメントカメラの視野に入らなくおそれがある。特に、吸着パッドで吊り下げた状態の表示パネル基板を、水平面から傾斜した状態で、測定ステージに受け渡すときに、吸着パッドのゴムが歪むなどして、位置ずれが発生しやすい。これに対して、本願発明では、表示パネル基板を最初からワークテーブルにセットしているので、表示パネル基板の位置ずれの原因となる受け渡し作業は、ワークテーブルをθ回転ステージに受け渡す作業の１回だけとなる。しかも、吸着パッドで表示パネル基板を吊り下げる構造を採用していないので、傾斜状態での上述のゴムの歪みの問題もなく、また、表示パネル基板が吸着パッドから落下する危険もない。さらに、受け渡し作業が１回なので、検査のサイクルタイムも短くなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の検査装置の第１の実施形態の側面断面図、図２はその正面図である。図１において、この検査装置は、大きく分けて、検査部４０と基板セット領域４２とその間の搬送機構４４とからなる。基板セット領域４２は検査部４０の手前（オペレータの側）かつ下方に位置しており、この基板セット領域４２は前面テーブル４３のところに位置している。
【００１３】
検査部４０には、測定ステージ２２とプローブ装置２４があり、両者は共に水平面に対して同じ角度だけ傾斜している。装置フレームに取り付けられた基台２１の上には、Ｘ軸ステージ２６、Ｙ軸ステージ２８、Ｚ軸ステージ３０、θ回転ステージ３２がある。θ回転ステージ３２の表面には、ワークテーブルを吸着保持するための吸着溝３４（図３参照）がある。この吸着溝３４には負圧が供給される。
【００１４】
検査部４０の上部には、枠状のベースプレート３６が４本の支柱３８によって基台２１に固定されている。このベースプレート３６にプローブ装置２４が取り付けられている。プローブ装置２４はθ回転ステージ３２に対向している。
【００１５】
図２に示すように、プローブ装置２４には複数のプローブブロック４６が固定されている。このプローブブロック４６は、液晶基板の全ての電極にプローブ針（またはその他の接触手段）が同時にコンタクトできるように、プローブ針がＴＡＢ単位にブロック化されたものである。各プローブブロック４６のプローブ針は、フレキシブル配線板により、液晶駆動回路を経由して、ＬＣＤパターン発生器につながっている。このプローブ装置２４にはアライメントを行うためのＣＣＤカメラ４８が２台取り付けられている。
【００１６】
図３、図４、図５は基板セット領域４２と搬送機構４４とθ回転ステージ３２とを示す斜視図であり、図３は、搬送体７０によってワークテーブル４１を基板セット領域まで搬送してきた状態、図４は搬送体７０によってワークテーブル４１をθ回転ステージ３２のところまで搬送した状態、図５は搬送体７０を待機位置に待機させた状態をそれぞれ示す。
【００１７】
図３において、ワークテーブル４１は、その上面が液晶基板５０の搭載面になっていて、この搭載面の周辺部には、液晶基板５０を吸着固定するための吸着溝５２が形成されている。この吸着溝５２には負圧が供給される。吸着溝５２の内側には、液晶基板を点灯検査するときに使うバックライト５３が設置されている。ワークテーブル４１の互いに隣り合う二つの辺にはガイド板５４、５５が搭載面から上方に突き出すように固定されている。第１のガイド板５４は液晶基板の左右方向の位置決めをするものであり、第２のガイド板５５は液晶基板の前後方向の位置決めをするものである。液晶基板５０をこのガイド板５４、５５に突き当てることで、ワークテーブル４１の搭載面上の所定位置に液晶基板５０を位置決めできる。
【００１８】
図５に良く示されているように、基板セット領域４２と検査部４０の間には搬送機構４４がある。この搬送機構４４は、１対の互いに平行な搬送レール６４、６６を備えている。この搬送レール６４、６６は、基板セット領域４２のところでは水平方向に延びており（水平部）、検査部４０のところではθ回転ステージ３２の表面に平行になるように水平面に対して傾斜している（傾斜部）。そして、搬送レール６４、６６の水平部と傾斜部の間は曲線部で滑らかにつながっている。搬送レール６４、６６の内面にはローラ溝６８が形成されており、このローラ溝６８の内部を搬送体７０のローラ７２が転がることができる。これにより、搬送体７０は搬送レール６４、６６に沿って摺動する。
【００１９】
搬送体７０はコの字状のフレーム７１を備えており、このフレーム７１の内面には、互いに対向する１対の搬送板７３が進退可能に取り付けられている。搬送板７３は、２本のガイドシャフト７６で案内されながら、エアーシリンダ７４によって矢印７５の方向に進退できる。フレーム７１の左右の外面には、それぞれ２個のローラ７２が回転可能に取り付けられている。
【００２０】
右側の搬送レール６６の外側には駆動レール８２があり、この駆動レール８２に沿ってローディングホルダー８４が摺動する。駆動レール８２は搬送レール６６の傾斜部と平行に配置されている。ローディングホルダー８４と、搬送体７０のフレーム７１は、クランクアーム８６を介して連結されている。ローディングホルダー８４とクランクアーム８６の間、及び、クランクアーム８６とフレーム７１の間は、回転可能に連結されている。ローディングホルダー８４が駆動レール８２に沿って斜め上方に摺動すると、クランクアーム８６を介してフレーム７１が引っ張られることにより、搬送体７０が搬送レール６４、６６に沿って移動する。この実施形態では、ローディングホルダー８４の駆動は、パルスモータの回転運動を直線運動に変換することで、駆動レール８２上を移動するようにしているが、ボールねじやエアーシリンダなどのその他の駆動機構を用いてローディングホルダー８４を駆動してもよい。
【００２１】
図６は搬送体７０とワークテーブル４１とを着脱可能に保持するための保持機構を示す平面図である。搬送体７０のコの字形のフレーム７１の左右の外面にはエアーシリンダ７４が固定されていて、そのピストン７７は、フレーム７１の貫通孔を通過してから搬送板７３に固定されている。搬送板７３には１対のガイドシャフト７６が固定されていて、このガイドシャフト７６はフレーム７１のガイド孔に案内されている。エアーシリンダ７４のピストン７７が進退すると、搬送板７３はワークテーブル４１に近づいたり遠ざかったりする。搬送板７３のほぼ中央には結合ピン７８が突き出している。一方、ワークテーブル４１の左右の側面にはそれぞれ結合穴７９が形成されている。左右の搬送板７３がワークテーブル４１に近づくと、各搬送板７３の結合ピン７８がワークテーブル４１の左右の結合穴７９に入り、搬送板７３とワークテーブル４１が結合される。この実施形態では、搬送体７０とワークテーブル４１とを着脱可能に保持する保持機構は、進退する１対の搬送板７３と、この搬送板７３を駆動および案内するエアーシリンダ７４やガイドシャフト７６と、結合ピン７８と結合穴７９の組み合わせとから成る。
【００２２】
図７はθ回転ステージ３２とワークテーブル４１とを着脱可能に結合する結合機構を示す断面図である。この断面図は図４の矢印６０の方向から見たものである。θ回転ステージ３２の上面には１対の結合ピン５６が上方に突き出すように固定されている。一方、ワークテーブル４１の底面には１対の結合穴５７が形成されている。Ｚ軸ステージ３０の駆動によりθ回転ステージ３２が上昇すると、結合ピン５６が結合穴５７に入り、ワークテーブル４１がθ回転ステージ３２に結合する。それから、θ回転ステージ３２の表面の吸着溝３４（図３を参照）に負圧を供給すると、ワークテーブル４１がθ回転ステージ３２に吸着固定される。
【００２３】
この図７では、搬送板７３の結合ピン７８がワークテーブル４１の結合穴７９に結合する様子も示している。また、ワークテーブル４１の上面の吸着溝５２とバックライト５３も示している。さらに、フレーム７１の外面のローラ７２がレール６４のローラ溝６８に入っている様子も示している。
【００２４】
次に、図３〜図５を参照して、この検査装置の動作を説明する。この検査装置は、初期状態では、図３に示すように、搬送体７０がワークテーブル４１を保持した状態で基板セット領域４２に位置している。このとき、ワークテーブル４１の搭載面は水平になっている。この状態で、オペレータは、ワークテーブル４１の搭載面に液晶基板５０を載せる。そして、２個のガイド板５４、５５に液晶基板５０の端部を押し当てることによって、液晶基板５０を位置決めする。それから、吸着溝５２に負圧を供給して、液晶基板５０をワークテーブル４１に吸着固定する。このようにして、液晶基板５０はワークテーブル４１に対して正確に位置決めされ、この位置決め状態が、検査が完了してワークテーブル４１が基板セット領域４２に戻ってくるまで維持される。すなわち、液晶基板５０自体の受け渡し作業は不要になる。
【００２５】
次に、オペレータが操作パネルのスタートスイッチを押すと、ローディングホルダー８４が駆動レール８２に沿って上限位置まで上昇し、搬送体７０は、図４に示すように、θ回転ステージ３２の上方に来る。θ回転ステージ３２はこのとき、図７に示すように、Ｚ軸ステージ３０により下限位置まで下がった状態にある。それから、θ回転ステージ３２がＺ軸ステージ３０の駆動により上昇して、搬送体７０に保持されているワークテーブル４１が、θ回転ステージ３２に結合する。それからθ回転ステージ３２の吸着溝３４に負圧を供給してワークテーブル４１をθ回転ステージ３２に吸着固定する。次に、搬送体７０のエアーシリンダ７４のピストンを収縮して、左右の搬送板７３を開くと、搬送板７３の結合ピン７８がワークテーブル４１の結合穴７９から抜ける。その後、図５に示すように、ローディングホルダー８４を下げて、搬送体７０を待機位置、すなわち検査部４０と基板セット領域４２の中間位置、まで下げて、この場所に待機させる。
【００２６】
次に、図１に示すように、ワークテーブル４１を受け取った測定ステージ２２は、２個のアライメントカメラ４８（図２を参照）と、Ｘ軸ステージ２６、Ｙ軸ステージ２８、θ回転ステージ３２とを用いて、ファインアライメントを実施する。このファインアライメントが完了したら、Ｚ軸ステージ３０の駆動によりワークテーブル４１が上昇して、液晶基板の電極にプローブ装置２４のプローブ針がコンタクトして、ＬＣＤパターン発生器からの信号により液晶基板はテストパターンを表示する。オペレータは、バックライトを点灯させた状態で、このテストパターンを観察して液晶基板の良否の検査を行う。
【００２７】
検査が終了したら、オペレータが終了スイッチを押すことにより、図５において、待機位置にあった搬送体７０が検査部４０まで上昇して、ワークテーブル４１は上述と逆の順序で、θ回転ステージ３２から搬送体７０に受け渡されて、図３に示すように、基板セット領域４２まで戻ってくる。それから、オペレータはワークテーブル４１から液晶基板５０を取り外して、次の液晶基板５０をワークテーブル４１にセットする。このようにして、液晶基板５０を次々と検査できる。
【００２８】
図８〜１０は、この発明の第２の実施形態の図３〜図５と同様の図面である。図８において、この実施形態では、ワークテーブル４１ａにはバックライトが設けられておらず、拡散板８８だけが設けられている。そして、θ回転ステージ３２ａにバックライト５３ａが設けられている。したがって、この第２の実施形態では、ワークテーブル４１ａの厚さは第１の実施形態のものよりも薄くなっており、重量も軽くなっている。なお、θ回転ステージ３２ａにバックライト５３ａと拡散板８８の両方を設けてもよい。
【００２９】
図１１は、θ回転ステージ３２ａとワークテーブル４１ａとを着脱可能に結合する結合機構を示す断面図である。この断面図は図９の矢印６０ａの方向から見たものである。θ回転ステージ３２ａの上面は矩形になっていて（図８を参照）、その左右両端に一段下がった肩部６１が形成されている。この肩部６１の上面に２個の結合穴６２と吸着溝３４ａ（図８を参照）が形成されている。一方、ワークテーブル４１ａの左右両端部の底面にはそれぞれ１対の（合計で４個の）結合ピン６３が下方に突き出すように固定されている。ワークテーブル４１ａの中央部分は拡散板８８になっている。Ｚ軸ステージ３０の駆動によりθ回転ステージ３２ａが上昇すると、結合穴６２に結合ピン６３がに入り、ワークテーブル４１ａがθ回転ステージ３２ａに結合される。それから、θ回転ステージ３２ａの肩部６１の表面の吸着溝３４ａ（図８を参照）に負圧を供給すると、ワークテーブル４１ａがθ回転ステージ３２ａに吸着固定される。
【００３０】
この第２の実施形態では、液晶基板のサイズを変更する場合、θ回転ステージ３２ａに設けたバックライト５３ａよりも小さいサイズであれば、ワークテーブル４１の構成を変更するだけでよい。この点について図１２を参照して説明する。
【００３１】
図１２（Ａ）は、図１１に示したワークテーブル４１ａとその着脱保持機構を示す平面図である。２個のガイド板５４ａ、５５ａはワークテーブル４１ａの二つの辺に沿って固定されており、吸着溝５２ａはワークテーブル４１ａの周辺の近傍に形成されている。そして、吸着溝５２ａの内側に拡散板８８が配置されている。このワークテーブル４１ａに載せる液晶基板のサイズは、ワークテーブル４１ａの外形寸法とほぼ同じである。
【００３２】
これに対して、液晶基板のサイズを小さくした場合は、ワークテーブルの構成は図１２（Ｂ）に示すようになる。このワークテーブル４１ｂは、外形寸法については、図１２（Ａ）に示すワークテーブル４１ａと同じであって、同じ着脱保持機構を使うことができる。ただし、ガイド板と吸着溝と拡散板が異なっている。すなわち、ワークテーブル４１ｂでは、ガイド板５４ｂ、５５ｂは、ワークテーブル４１ｂの各辺から所定距離だけ中央寄りに配置されていて、吸着溝５２ｂも、このガイド５４ｂ、５５ｂの内側に形成されている。そして、吸着溝５２ｂの内側に拡散板８８ｂが配置されている。
【００３３】
このように、第２の実施形態では、ワークテーブル４１ａからバックライト５３ａを分離して、θ回転ステージ３２ａの側にバックライト５３ａを設けたことにより、液晶基板のサイズを変更しても、バックライト５３ａのサイズよりも液晶基板の表示面が小さい限りにおいて、バックライト５３ａを交換することなく、ワークテーブルのガイド板と吸着溝と拡散板の構成を変更するだけで足りる。したがって、θ回転ステージ３２ａとそれに設けるバックライト５３ａは、検査する可能性のある一番大きな液晶基板に対応できるような大きさにしておけばよい。
【００３４】
この第２の実施形態は、ワークテーブル４１ａとθ回転ステージ３２ａの構造以外は、上述の第１の実施形態と基本的に同じ構造であり、その動作も同様である。
【００３５】
【発明の効果】
この発明は、検査部の手前の基板セット領域で表示パネル基板を水平状態でワークテーブルにセットして、このワークテーブルを、水平面に対して傾斜した検査部に搬送するようにしたので、検査装置の占有面積が小さくなる。また、表示パネル基板を水平状態でセットできるので、傾斜した測定ステージ面にセットする従来装置に比べて、基板のセット作業が安定する。さらに、オペレータは、基板のセット作業及び取り外し作業の場所と、点灯検査作業の場所との間を往復移動する必要がなく、作業性が良くなる。オペレータは、椅子に座った状態で一連の作業を実施することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の検査装置の第１の実施形態の側面断面図である。
【図２】図１の検査装置の正面図である。
【図３】ワークテーブルを基板セット領域にもって来た状態の、基板セット領域と搬送機構とを示す斜視図である。
【図４】ワークテーブルを検査部まで搬送した状態の、基板セット領域と搬送機構とを示す斜視図である。
【図５】搬送体を待機位置に待機させた状態の、基板セット領域と搬送機構とを示す斜視図である。
【図６】搬送体とワークテーブルとを着脱可能に保持するための保持機構を示す平面図である。
【図７】θ回転ステージとワークテーブルとを着脱可能に結合する結合機構を示す断面図である。
【図８】この発明の第２の実施形態の図３と同様の斜視図である。
【図９】第２の実施形態の図４と同様の斜視図である。
【図１０】第２の実施形態の図５と同様の斜視図である。
【図１１】第２の実施形態の図７と同様の断面図である。
【図１２】第２の実施形態の図６と同様の平面図である。
【図１３】液晶基板を検査するための従来の検査装置の側面断面図である。
【図１４】図１３に示す従来の検査装置の正面図である。
【符号の説明】
２２測定ステージ
２４プローブ装置
２６Ｘ軸ステージ
２８Ｙ軸ステージ
３０Ｚ軸ステージ
３２ θ回転ステージ
３４吸着溝
４０検査部
４１ワークテーブル
４２基板セット領域
４４搬送機構
４６プローブブロック
５０液晶基板
５２吸着溝
５３バックライト
５４、５５ガイド板
５６結合ピン
５７結合穴
６４、６６搬送レール
６８ローラ溝
７０搬送体
７１フレーム
７２ローラ
７３搬送板
７４エアーシリンダ
７６ガイドシャフト
７８結合ピン
７９結合穴
８２駆動レール
８４ローディングホルダー
８６クランクアーム[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection method and apparatus in which a lighting state of a display panel substrate is visually inspected in an inspection section inclined with respect to a horizontal plane.
[0002]
[Prior art]
FIG. 13 is a side sectional view of a conventional inspection apparatus for inspecting a substrate of a liquid crystal display panel (hereinafter referred to as a liquid crystal substrate), and FIG. 14 is a front view thereof. In FIG. 13, the measurement stage 10 and the probe device 12 are both inclined with respect to the horizontal plane. In FIG. 14, the measurement stage 10 provided with the backlight 11 is waiting in the opening 14 on the right side of the inspection apparatus. The operator places a liquid crystal substrate on the measurement stage 10. Guide plates 15 and 16 are provided on the outer periphery of the measurement stage 10, and the liquid crystal substrate is positioned by aligning the end portions of the liquid crystal substrate with the guide plates 15 and 16. The liquid crystal substrate is sucked and fixed in a suction groove 18 (a negative pressure is supplied) provided in the outer peripheral portion of the backlight 11. The measurement stage 10 on which the liquid crystal substrate is mounted is conveyed below the probe device 12 by moving the X-axis stage in the left direction. Next, fine alignment is performed by the alignment camera 20 provided in the probe device 12, and the alignment between the probe needle and the electrode of the liquid crystal substrate is completed.
[0003]
Then, the Z-axis stage is raised, the measurement stage 10 is raised, and the probe needle contacts the electrode of the liquid crystal substrate. The entire surface of the liquid crystal substrate is turned on by a signal from the LCD pattern generator to display a test pattern. The operator observes the test pattern on the liquid crystal substrate with his / her own eyes, and determines whether the liquid crystal substrate is non-defective or defective. The liquid crystal substrate that has been inspected is transferred to the opening 14 on the right side, removed from the measurement stage 10 by the operator, and the next liquid crystal substrate is set.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
The above-described conventional inspection apparatus includes a substrate setting region (a portion exposed to the opening 14 on the right side of the apparatus) for setting the liquid crystal substrate on the measurement stage, and a lighting inspection unit that performs inspection by lighting the liquid crystal substrate. Are side by side. Therefore, the operator has to go back and forth between the substrate setting area and the inspection unit, and there is a problem in workability such that a series of work is standing work and a lot of fatigue occurs. In addition, since the substrate setting area and the inspection unit are arranged side by side in this inspection apparatus, the inspection apparatus requires a width that is approximately twice that of the probe apparatus, and the area occupied by the apparatus increases. Furthermore, since the measurement stage surface is inclined from the horizontal plane in the substrate setting region, the operator may drop and damage the liquid crystal substrate when setting the liquid crystal substrate, and there is concern about handling of the liquid crystal substrate.
[0005]
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to inspect a display panel substrate that is easy for an operator to work, has a small occupation area, and is easy and safe to set a liquid crystal substrate. It is to provide a method and apparatus.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The display panel substrate inspection apparatus of the present invention has the following configurations (a) to (d), and has the features (e) and (f) . (A) An inspection unit that is inclined with respect to a horizontal plane and includes a probe device and a measurement stage facing the probe device. (B) A work table having a mounting surface for mounting a display panel substrate. (C) A coupling mechanism for detachably coupling the work table to the measurement stage. (D) A transport mechanism for transporting the work table between a substrate set area before and below the inspection unit and the inspection unit, and mounting the work table when the work table is in the substrate set area A transport mechanism configured such that the surface is horizontal. (E) The transport mechanism includes a pair of transport rails extending from the substrate setting region to the vicinity of the inspection unit, a transport body that moves along the transport rails, and a transport body provided on the transport body, A holding mechanism capable of detachably holding the table. (F) The transport rail includes a horizontal portion that extends horizontally in the substrate setting region, an inclined portion that is in the vicinity of the inspection unit and extends in parallel to the surface of the measurement stage, and the horizontal portion and the inclined portion. It consists of a curved part that smoothly connects the two.
[0007]
When the display panel substrate is set on the work table in a horizontal state in the substrate setting area in front of the inspection unit, the work table is transferred to the inclined inspection unit by the transfer mechanism. By adopting such an apparatus configuration, the area occupied by the inspection apparatus is reduced as compared with the conventional apparatus in which the substrate set region and the inspection unit are arranged on the left and right. In addition, since the display panel substrate can be set in a horizontal state, the substrate setting operation is more stable than in the conventional apparatus in which the display panel substrate is set on an inclined measurement stage surface. Furthermore, the operator does not need to reciprocate between the place of the board setting and removing work and the place of the lighting inspection work, and the operator is less fatigued.
[0008]
The measurement target of this inspection apparatus is a display panel substrate that requires an operator to observe the lighting display state to determine whether it is acceptable or not, and is typically a substrate of a flat display panel such as a liquid crystal display panel or a plasma display panel. is there.
[0009]
In this inspection device, there is a substrate set area in front of and below the inspection unit, but `` front '' means the direction from the inspection device to the operator when the operator faces the inspection device to observe the lighting state. means.
[0011]
This invention is an improvement of the invention of Japanese Patent Application No. 8-52542 (hereinafter referred to as the prior invention) filed by the applicant of the present application. Differences between the prior invention and the present invention will be described below. In the prior invention, after the display panel substrate is horizontally installed on the substrate installation table in the substrate setting area, the display panel substrate is delivered from the substrate installation table to the carrier. And this conveyance body is conveyed to the test | inspection part, and the display panel board | substrate is delivered from the conveyance body to the measurement stage. That is, it is necessary to deliver the display panel substrate twice. The two delivery operations cause a position shift of the display panel substrate. When the positional deviation increases, there is a possibility that the alignment mark of the display panel substrate does not enter the field of view of the alignment camera in a state where the display panel substrate is attracted and fixed to the measurement stage. In particular, when the display panel substrate suspended from the suction pad is transferred to the measurement stage while being inclined from the horizontal plane, the displacement of the suction pad rubber is likely to occur due to distortion of the rubber of the suction pad. On the other hand, in the present invention, since the display panel substrate is set on the work table from the beginning, the transfer operation that causes the displacement of the display panel substrate is one of the operations of transferring the work table to the θ rotation stage. Only once. In addition, since the structure in which the display panel substrate is suspended by the suction pad is not employed, there is no problem of the above-described rubber distortion in an inclined state, and there is no risk of the display panel substrate falling from the suction pad. Further, since the delivery work is performed once, the inspection cycle time is also shortened.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a side sectional view of a first embodiment of the inspection apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a front view thereof. In FIG. 1, the inspection apparatus is roughly composed of an inspection unit 40, a substrate setting region 42, and a transport mechanism 44 therebetween. The substrate setting area 42 is located in front of the inspection unit 40 (on the operator side) and below, and the substrate setting area 42 is located at the front table 43.
[0013]
The inspection unit 40 includes a measurement stage 22 and a probe device 24, both of which are inclined by the same angle with respect to a horizontal plane. On the base 21 attached to the apparatus frame, there are an X-axis stage 26, a Y-axis stage 28, a Z-axis stage 30, and a θ rotation stage 32. On the surface of the θ rotation stage 32, there is a suction groove 34 (see FIG. 3) for holding the work table by suction. A negative pressure is supplied to the suction groove 34.
[0014]
A frame-shaped base plate 36 is fixed to the base 21 by four support columns 38 at the upper part of the inspection unit 40. The probe device 24 is attached to the base plate 36. The probe device 24 faces the θ rotation stage 32.
[0015]
As shown in FIG. 2, a plurality of probe blocks 46 are fixed to the probe device 24. In the probe block 46, the probe needles are blocked in TAB units so that the probe needles (or other contact means) can contact all the electrodes of the liquid crystal substrate at the same time. The probe needle of each probe block 46 is connected to the LCD pattern generator via a liquid crystal drive circuit by a flexible wiring board. Two CCD cameras 48 for performing alignment are attached to the probe device 24.
[0016]
3, 4, and 5 are perspective views showing the substrate setting area 42, the transfer mechanism 44, and the θ rotation stage 32. FIG. 3 shows a state in which the work table 41 is transferred to the substrate setting area by the transfer body 70. 4 shows a state in which the work table 41 is conveyed to the θ-rotation stage 32 by the conveyance body 70, and FIG. 5 shows a state in which the conveyance body 70 is in a standby position.
[0017]
In FIG. 3, the work table 41 has an upper surface serving as a mounting surface for the liquid crystal substrate 50, and suction grooves 52 for sucking and fixing the liquid crystal substrate 50 are formed around the mounting surface. A negative pressure is supplied to the suction groove 52. Inside the suction groove 52, a backlight 53 used for lighting inspection of the liquid crystal substrate is installed. Guide plates 54 and 55 are fixed to two adjacent sides of the work table 41 so as to protrude upward from the mounting surface. The first guide plate 54 is for positioning the liquid crystal substrate in the left-right direction, and the second guide plate 55 is for positioning the liquid crystal substrate in the front-rear direction. The liquid crystal substrate 50 can be positioned at a predetermined position on the mounting surface of the work table 41 by abutting the liquid crystal substrate 50 against the guide plates 54 and 55.
[0018]
As well shown in FIG. 5, there is a transport mechanism 44 between the substrate setting area 42 and the inspection unit 40. The transport mechanism 44 includes a pair of transport rails 64 and 66 that are parallel to each other. The transport rails 64 and 66 extend in the horizontal direction at the substrate setting region 42 (horizontal portion), and are inclined with respect to the horizontal plane so as to be parallel to the surface of the θ rotation stage 32 at the inspection portion 40. (Inclined part). The horizontal portion and the inclined portion of the transport rails 64 and 66 are smoothly connected by a curved portion. Roller grooves 68 are formed on the inner surfaces of the transport rails 64 and 66, and the rollers 72 of the transport body 70 can roll inside the roller grooves 68. Thereby, the conveyance body 70 slides along the conveyance rails 64 and 66.
[0019]
The transport body 70 includes a U-shaped frame 71, and a pair of transport plates 73 facing each other are attached to the inner surface of the frame 71 so as to be able to advance and retreat. The conveyance plate 73 can be advanced and retracted in the direction of the arrow 75 by the air cylinder 74 while being guided by the two guide shafts 76. Two rollers 72 are rotatably attached to the left and right outer surfaces of the frame 71, respectively.
[0020]
A driving rail 82 is provided outside the right conveyance rail 66, and the loading holder 84 slides along the driving rail 82. The drive rail 82 is disposed in parallel with the inclined portion of the transport rail 66. The loading holder 84 and the frame 71 of the transport body 70 are connected via a crank arm 86. The loading holder 84 and the crank arm 86 and the crank arm 86 and the frame 71 are rotatably connected. When the loading holder 84 slides obliquely upward along the drive rail 82, the frame 71 is pulled via the crank arm 86, so that the conveyance body 70 moves along the conveyance rails 64 and 66. In this embodiment, the loading holder 84 is driven to move on the drive rail 82 by converting the rotational motion of the pulse motor into a linear motion. However, other driving mechanisms such as a ball screw and an air cylinder are used. May be used to drive the loading holder 84.
[0021]
FIG. 6 is a plan view showing a holding mechanism for detachably holding the transport body 70 and the work table 41. Air cylinders 74 are fixed to the left and right outer surfaces of the U-shaped frame 71 of the conveyance body 70, and the piston 77 is fixed to the conveyance plate 73 after passing through the through hole of the frame 71. A pair of guide shafts 76 are fixed to the transport plate 73, and the guide shafts 76 are guided in the guide holes of the frame 71. When the piston 77 of the air cylinder 74 advances and retreats, the conveyance plate 73 approaches or moves away from the work table 41. A coupling pin 78 protrudes substantially at the center of the conveyance plate 73. On the other hand, coupling holes 79 are formed in the left and right side surfaces of the work table 41, respectively. When the left and right transport plates 73 approach the work table 41, the coupling pins 78 of the respective transport plates 73 enter the left and right coupling holes 79 of the work table 41, and the transport plate 73 and the work table 41 are coupled. In this embodiment, the holding mechanism that detachably holds the transport body 70 and the work table 41 includes a pair of transport plates 73 that move forward and backward, and an air cylinder 74 and a guide shaft 76 that drive and guide the transport plate 73. And a combination of a coupling pin 78 and a coupling hole 79.
[0022]
FIG. 7 is a sectional view showing a coupling mechanism for detachably coupling the θ rotation stage 32 and the work table 41. This sectional view is seen from the direction of the arrow 60 in FIG. A pair of coupling pins 56 are fixed on the upper surface of the θ rotation stage 32 so as to protrude upward. On the other hand, a pair of coupling holes 57 are formed on the bottom surface of the work table 41. When the θ-rotation stage 32 is raised by driving the Z-axis stage 30, the coupling pin 56 enters the coupling hole 57 and the work table 41 is coupled to the θ-rotation stage 32. Then, when a negative pressure is supplied to the suction groove 34 (see FIG. 3) on the surface of the θ rotation stage 32, the work table 41 is suction fixed to the θ rotation stage 32.
[0023]
FIG. 7 also shows how the coupling pins 78 of the transport plate 73 are coupled to the coupling holes 79 of the work table 41. Further, an adsorption groove 52 and a backlight 53 on the upper surface of the work table 41 are also shown. Further, a state in which the roller 72 on the outer surface of the frame 71 is in the roller groove 68 of the rail 64 is also shown.
[0024]
Next, the operation of this inspection apparatus will be described with reference to FIGS. In the initial state, the inspection apparatus is positioned in the substrate setting region 42 with the transport body 70 holding the work table 41, as shown in FIG. At this time, the mounting surface of the work table 41 is horizontal. In this state, the operator places the liquid crystal substrate 50 on the mounting surface of the work table 41. Then, the liquid crystal substrate 50 is positioned by pressing the end portions of the liquid crystal substrate 50 against the two guide plates 54 and 55. Then, a negative pressure is supplied to the suction groove 52 to fix the liquid crystal substrate 50 to the work table 41 by suction. In this way, the liquid crystal substrate 50 is accurately positioned with respect to the work table 41, and this positioning state is maintained until the work table 41 returns to the substrate setting area 42 after the inspection is completed. That is, it is not necessary to deliver the liquid crystal substrate 50 itself.
[0025]
Next, when the operator presses the start switch on the operation panel, the loading holder 84 rises to the upper limit position along the drive rail 82, and the conveyance body 70 comes above the θ rotation stage 32 as shown in FIG. . At this time, the θ-rotation stage 32 is in a state of being lowered to the lower limit position by the Z-axis stage 30, as shown in FIG. Then, the θ rotation stage 32 is raised by driving the Z-axis stage 30, and the work table 41 held by the transport body 70 is coupled to the θ rotation stage 32. Then, negative pressure is supplied to the suction groove 34 of the θ rotation stage 32 to fix the work table 41 to the θ rotation stage 32 by suction. Next, when the piston of the air cylinder 74 of the transport body 70 is contracted and the left and right transport plates 73 are opened, the coupling pins 78 of the transport plate 73 come out of the coupling holes 79 of the work table 41. Thereafter, as shown in FIG. 5, the loading holder 84 is lowered, and the conveyance body 70 is lowered to a standby position, that is, an intermediate position between the inspection unit 40 and the substrate setting area 42, and is made to wait at this place.
[0026]
Next, as shown in FIG. 1, the measurement stage 22 that has received the work table 41 includes two alignment cameras 48 (see FIG. 2), an X-axis stage 26, a Y-axis stage 28, and a θ rotation stage 32. Fine alignment is performed using When the fine alignment is completed, the work table 41 is raised by driving the Z-axis stage 30, the probe needle of the probe device 24 contacts the electrode of the liquid crystal substrate, and the liquid crystal substrate is tested by the signal from the LCD pattern generator. Display the pattern. The operator checks the quality of the liquid crystal substrate by observing the test pattern with the backlight turned on.
[0027]
When the inspection is completed, the operator presses the end switch, so that in FIG. 5, the transport body 70 at the standby position rises to the inspection unit 40, and the work table 41 is rotated in the reverse order to the θ rotation stage 32. Then, as shown in FIG. 3, the substrate is returned to the substrate setting area 42. Then, the operator removes the liquid crystal substrate 50 from the work table 41 and sets the next liquid crystal substrate 50 on the work table 41. In this way, the liquid crystal substrates 50 can be inspected one after another.
[0028]
8 to 10 are drawings similar to FIGS. 3 to 5 of the second embodiment of the present invention. In FIG. 8, in this embodiment, the work table 41a is not provided with a backlight, and only the diffusion plate 88 is provided. A backlight 53a is provided on the θ rotation stage 32a. Therefore, in the second embodiment, the work table 41a is thinner than the first embodiment, and the weight is lighter. Note that both the backlight 53a and the diffusion plate 88 may be provided on the θ rotation stage 32a.
[0029]
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a coupling mechanism for detachably coupling the θ rotation stage 32a and the work table 41a. This sectional view is seen from the direction of arrow 60a in FIG. The upper surface of the θ rotation stage 32a has a rectangular shape (see FIG. 8), and shoulder portions 61 that are lowered by one step are formed at both left and right ends thereof. Two coupling holes 62 and suction grooves 34a (see FIG. 8) are formed on the upper surface of the shoulder 61. On the other hand, a pair of (four in total) connecting pins 63 are fixed to the bottom surfaces of the left and right ends of the work table 41a so as to protrude downward. A central portion of the work table 41a is a diffusion plate 88. When the θ rotation stage 32a is lifted by driving the Z-axis stage 30, the connection pin 63 enters the connection hole 62, and the work table 41a is connected to the θ rotation stage 32a. Then, when a negative pressure is supplied to the suction groove 34a (see FIG. 8) on the surface of the shoulder 61 of the θ rotation stage 32a, the work table 41a is suction fixed to the θ rotation stage 32a.
[0030]
In the second embodiment, when the size of the liquid crystal substrate is changed, it is only necessary to change the configuration of the work table 41 as long as the size is smaller than the backlight 53a provided on the θ rotation stage 32a. This point will be described with reference to FIG.
[0031]
FIG. 12A is a plan view showing the work table 41a and its attachment / detachment holding mechanism shown in FIG. The two guide plates 54a and 55a are fixed along two sides of the work table 41a, and the suction grooves 52a are formed in the vicinity of the periphery of the work table 41a. And the diffusion plate 88 is arrange | positioned inside the adsorption | suction groove | channel 52a. The size of the liquid crystal substrate placed on the work table 41a is substantially the same as the external dimensions of the work table 41a.
[0032]
On the other hand, when the size of the liquid crystal substrate is reduced, the configuration of the work table is as shown in FIG. This work table 41b has the same external dimensions as the work table 41a shown in FIG. 12A, and the same attachment / detachment holding mechanism can be used. However, the guide plate, the suction groove, and the diffusion plate are different. That is, in the work table 41b, the guide plates 54b and 55b are arranged at a center distance from each side of the work table 41b by a predetermined distance, and the suction groove 52b is also formed inside the guides 54b and 55b. A diffusion plate 88b is disposed inside the suction groove 52b.
[0033]
As described above, in the second embodiment, the backlight 53a is separated from the work table 41a, and the backlight 53a is provided on the θ rotation stage 32a side. As long as the display surface of the liquid crystal substrate is smaller than the size of the light 53a, it is only necessary to change the configuration of the guide plate, the suction groove and the diffusion plate of the work table without replacing the backlight 53a. Therefore, the θ-rotation stage 32a and the backlight 53a provided on the θ-rotation stage 32a may be sized so as to correspond to the largest liquid crystal substrate that may be inspected.
[0034]
The second embodiment has basically the same structure as that of the first embodiment described above except for the structure of the work table 41a and the θ rotation stage 32a, and the operation thereof is also the same.
[0035]
【The invention's effect】
In the present invention, the display panel substrate is horizontally set on the work table in the substrate setting area in front of the inspection unit, and the work table is conveyed to the inspection unit inclined with respect to the horizontal plane. Occupies a small area. In addition, since the display panel substrate can be set in a horizontal state, the substrate setting operation is more stable than in the conventional apparatus in which the display panel substrate is set on an inclined measurement stage surface. Furthermore, the operator does not need to reciprocate between the place of the board setting and removing work and the place of the lighting inspection work, and the workability is improved. The operator can also perform a series of operations while sitting on a chair.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side sectional view of a first embodiment of an inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a front view of the inspection apparatus of FIG.
FIG. 3 is a perspective view showing a substrate setting area and a transport mechanism in a state where a work table is brought into the substrate setting area.
FIG. 4 is a perspective view showing a substrate setting area and a transport mechanism in a state where a work table is transported to an inspection unit.
FIG. 5 is a perspective view illustrating a substrate setting region and a transport mechanism in a state where the transport body is in a standby position.
FIG. 6 is a plan view showing a holding mechanism for detachably holding a transport body and a work table.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a coupling mechanism for detachably coupling a θ rotation stage and a work table.
FIG. 8 is a perspective view similar to FIG. 3 of the second embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a perspective view similar to FIG. 4 of the second embodiment.
FIG. 10 is a perspective view similar to FIG. 5 of the second embodiment.
FIG. 11 is a cross-sectional view similar to FIG. 7 of the second embodiment.
FIG. 12 is a plan view similar to FIG. 6 of the second embodiment.
FIG. 13 is a side sectional view of a conventional inspection apparatus for inspecting a liquid crystal substrate.
14 is a front view of the conventional inspection apparatus shown in FIG.
[Explanation of symbols]
22 Measuring stage 24 Probe device 26 X-axis stage 28 Y-axis stage 30 Z-axis stage 32 θ rotation stage 34 Suction groove 40 Inspection unit 41 Work table 42 Substrate setting area 44 Transport mechanism 46 Probe block 50 Liquid crystal substrate 52 Suction groove 53 Backlight 54, 55 Guide plate 56 Coupling pin 57 Coupling hole 64, 66 Conveying rail 68 Roller groove 70 Conveying body 71 Frame 72 Roller 73 Conveying plate 74 Air cylinder 76 Guide shaft 78 Coupling pin 79 Coupling hole 82 Drive rail 84 Loading holder 86 Crank arm

Claims

次の（イ）乃至（ニ）の構成を備え，（ホ）及び（ヘ）の特徴を備える表示パネル基板の検査装置。
（イ）水平面に対して傾斜した検査部であって、プローブ装置とこれに対向する測定ステージとを有する検査部。
（ロ）表示パネル基板を載せるための搭載面を有するワークテーブル。
（ハ）前記ワークテーブルを前記測定ステージに着脱可能に結合するための結合機構。
（ニ）前記検査部の手前かつ下方にある基板セット領域と前記検査部との間で前記ワークテーブルを搬送する搬送機構であって、ワークテーブルが前記基板セット領域にあるときはワークテーブルの搭載面が水平状態になるように構成された搬送機構。
（ホ）前記搬送機構は、前記基板セット領域から前記検査部の付近まで延びる１対の搬送レールと、これらの搬送レールに沿って移動する搬送体と、この搬送体に設けられていて前記ワークテーブルを着脱可能に保持できる保持機構とを備えている。
（ヘ）前記搬送レールは、前記基板セット領域にあって水平に延びる水平部と、前記検査部の付近にあって前記測定ステージの表面に平行に延びる傾斜部と、前記水平部と傾斜部とを滑らかにつなぐ曲線部とからなる。 A display panel substrate inspection apparatus having the following configurations (a) to (d) and having the features (e) and (f) .
(A) An inspection unit that is inclined with respect to a horizontal plane and includes a probe device and a measurement stage facing the probe device.
(B) A work table having a mounting surface for mounting a display panel substrate.
(C) A coupling mechanism for detachably coupling the work table to the measurement stage.
(D) A transport mechanism for transporting the work table between a substrate set area before and below the inspection unit and the inspection unit, and mounting the work table when the work table is in the substrate set area A transport mechanism configured such that the surface is horizontal.
(E) The transport mechanism includes a pair of transport rails extending from the substrate setting region to the vicinity of the inspection unit, a transport body that moves along the transport rails, and a transport body provided on the transport body, A holding mechanism capable of detachably holding the table.
(F) The transport rail includes a horizontal portion that extends horizontally in the substrate setting region, an inclined portion that is in the vicinity of the inspection unit and extends in parallel to the surface of the measurement stage, and the horizontal portion and the inclined portion. It consists of a curved part that smoothly connects the two.

前記搬送機構は、前記搬送レールの傾斜部に平行な駆動レールと、この駆動レールに沿って摺動するローディングホルダーと、このローディングホルダーに回転可能に連結されているクランクアームとを備え、このクランクアームが前記搬送体に回転可能に連結されていることを特徴とする請求項１記載の検査装置。The transport mechanism includes a drive rail parallel to the inclined portion of the transport rail, a loading holder that slides along the drive rail, and a crank arm that is rotatably connected to the loading holder. inspection apparatus according to claim 1, wherein the arm is characterized in that it is rotatably connected to the conveying member.

前記ワークテーブルに、液晶基板の点灯検査のためのバックライトを設けたことを特徴とする請求項１記載の検査装置。 The inspection apparatus according to claim 1, wherein a backlight for inspecting lighting of the liquid crystal substrate is provided on the work table.

前記測定ステージに、液晶基板の点灯検査のためのバックライトを設けたことを特徴とする請求項１記載の検査装置。 The inspection apparatus according to claim 1, wherein a backlight for lighting inspection of the liquid crystal substrate is provided on the measurement stage.

次の（イ）乃至（ホ）の各段階を備え，（ヘ）の特徴を備える表示パネル基板の検査方法。
（イ）検査部の手前かつ下方にある基板セット領域において水平状態のワークテーブルの搭載面に表示パネル基板を載せる段階。
（ロ）表示パネル基板を搭載した状態の前記ワークテーブルを、前記基板セット領域から、水平面に対して傾斜した検査部まで、搬送機構によって搬送する段階。
（ハ）前記搬送機構から前記検査部の測定ステージに前記ワークテーブルを受け渡す段階。
（ニ）前記検査部において、前記ワークテーブル上の表示パネル基板をプローブ装置に接触させて、表示パネル基板を点灯表示させる段階。
（ホ）前記検査部から前記基板セット領域まで前記搬送機構で前記ワークテーブルを戻す段階。
（ヘ）前記表示パネル基板は液晶基板であり、液晶基板の点灯検査のためのバックライトを前記測定ステージに設けて、液晶基板のサイズを変更しても前記バックライトを変更せずに、液晶基板のサイズに合わせて前記ワークテーブルの構成だけを変更する。 A method for inspecting a display panel substrate comprising the following steps (a) to (e) and having the characteristics (f) .
(A) A stage in which a display panel substrate is placed on the mounting surface of the work table in a horizontal state in the substrate setting area before and below the inspection unit.
(B) A step of transporting the work table on which the display panel substrate is mounted from the substrate set region to an inspection unit inclined with respect to a horizontal plane by a transport mechanism.
(C) transferring the work table from the transport mechanism to the measurement stage of the inspection unit;
(D) A step of bringing the display panel substrate on the work table into contact with the probe device and lighting the display panel substrate in the inspection unit.
(E) returning the work table by the transport mechanism from the inspection unit to the substrate setting region;
(F) The display panel substrate is a liquid crystal substrate, a backlight for lighting inspection of the liquid crystal substrate is provided on the measurement stage, and the liquid crystal is not changed even if the size of the liquid crystal substrate is changed. Only the configuration of the work table is changed according to the size of the substrate.