JP3112398B2 - Board foreign matter inspection device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、基板の異物検査
装置に関し、詳しくは、液晶表示装置（ＬＣＤ）のガラ
ス基板そのもの（洗浄前あるいは洗浄後の素ガラス基
板）、クロム膜付きガラス基板、あるいはＩＴＯ（酸化
インジゥム・錫）等の透明電極が形成されたガラス基板
などに存在する異物を検出する検査装置おいて、基板の
たわみを低減でき、効率よく検査ができるような大型基
板の検査に適する検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting foreign substances on a substrate, and more particularly, to a glass substrate itself (before or after cleaning) of a liquid crystal display (LCD), a glass substrate with a chromium film, or Inspection equipment for detecting foreign substances present on a glass substrate or the like on which a transparent electrode such as ITO (indium oxide / tin) is formed. It is suitable for the inspection of large substrates that can reduce the deflection of the substrate and can be inspected efficiently. It relates to an inspection device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】液晶パネル（ＬＣＤパネル）には、その
製造工程から素ガラス基板、クロム膜付きガラス基板、
ガラス基板の表面にＩＴＯ（酸化インジゥム・錫）の薄
膜を蒸着した透明電極付きガラス基板などがある。そし
て、このようなガラス基板は、上面用と下面用とがあっ
て、それぞれ洗浄工程を挟んでクロム膜や、カラーフィ
ルタ膜、あるいは、パターニング、トランジスタの形成
などが行われる。この明細書では、洗浄前後の素ガラス
基板から膜付き基板を含めて単にガラス基板として説明
する。なお、ガラス基板のサイズには各種があるが、大
型のものは、縦横の幅が３００ｍｍ〜５００ｍｍ程度で
ある。2. Description of the Related Art A liquid crystal panel (LCD panel) includes a glass substrate, a glass substrate with a chromium film,
There is a glass substrate with a transparent electrode in which a thin film of ITO (indium oxide / tin) is deposited on the surface of a glass substrate. Such a glass substrate has an upper surface and a lower surface, and a chromium film, a color filter film, patterning, formation of a transistor, and the like are performed with a cleaning process interposed therebetween. In this specification, a simple glass substrate including a substrate with a film and a plain glass substrate before and after cleaning will be described. In addition, there are various sizes of the glass substrate, and the large one has a width of about 300 mm to about 500 mm in length and width.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】この種のガラス基板の
異物検査装置では、従来、レーザスキャン方式により、
ガラス基板の縦または横に沿ってその表面を直線的に走
査して直線状の受光ラインで各スキャン位置からの異物
による散乱光を受けて異物を検出することが行われてい
る。装置は、小型の基板から大型の基板まで検査できる
ようになっていて、大型基板の大きさに応じてスキャナ
や基板載置テーブルが大型化する。しかも、大型の基板
を対象とするときには、基板にたわみが発生して正確に
異物を検出できない問題がある。このようなたわみを防
止するために、基板を周囲で支持することが行われる
が、周囲全面で支持すると中心部分でのたわみが大きく
なる。そこで、縦横の各辺の中央部分を支持することが
提案されているが、この場合には、中心部のたわみが少
し減少しても、四隅のたわみが増加する。この発明の目
的は、このような従来技術の問題点を解決するものであ
って、基板のたわみを低減でき、効率よく検査ができる
ような大型基板の検査に適する基板の異物検査装置を提
供することにある。In this type of glass substrate foreign matter inspection apparatus, conventionally, a laser scan method is used.
2. Description of the Related Art It has been practiced to linearly scan the surface of a glass substrate along its length or width and receive light scattered by the foreign matter from each scanning position on a linear light receiving line to detect the foreign matter. The apparatus is capable of inspecting from a small substrate to a large substrate, and the size of the scanner or the substrate mounting table increases according to the size of the large substrate. In addition, when a large-sized substrate is targeted, there is a problem that the substrate is bent and a foreign substance cannot be accurately detected. In order to prevent such bending, the substrate is supported around the periphery. However, if the substrate is supported over the entire periphery, the bending at the center becomes large. Therefore, it has been proposed to support the central portion of each of the vertical and horizontal sides, but in this case, the deflection at the four corners increases even if the deflection at the central portion is slightly reduced. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such a problem of the prior art, and to provide a board foreign matter inspection apparatus suitable for large-sized board inspection capable of reducing board deflection and efficiently inspecting. It is in.

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためのこの発明の基板の異物検査装置の特徴は、矩形
の被検査基板の１つの辺の幅に対応する間隔で配置され
被検査基板の１つの辺に直交し対向する２辺を支承する
第１，第２の部材からなりＸ方向およびＹ方向のいずれ
かの一方の方向に移動する第１のテーブルと、第１，第
２の部材の間に配置されＸ方向およびＹ方向で決定され
る平面に直交するＺ方向において第１のテーブルの被検
査基板を支承する面より少し上の第１段階と、これより
上の第２の段階と、被検査基板を支承する面より下の第
３段階の少なくとも３段階で被検査基板を支承する複数
の点接触面を有しこの面が上下に移動する第２のテーブ
ルと、第１のテーブルとこの第２のテーブルとを載置し
てＸ方向およびＹ方向のいずれかの他方の方向に移動す
る第３のテーブルと、第２のテーブルに第１段階で支承
された被検査基板を第２段階にして第１のテーブルを前
記の対向する２辺の長さの１／２以下の所定距離分移動
させた後に第２のテーブルを第３段階にして被検査基板
を第１のテーブルに支承させてこの第１のテーブルを前
記の所定距離分だけ移動して元に戻し第２のテーブルを
第１段階に設定して被検査基板を支承する制御を行うテ
ーブル移動制御部とを備えていて、第１段階が被検査基
板のひずみを低減する高さであり、被検査基板の検査す
るエリアが前記の対向する２辺の長さの１／２以下の所
定距離分の幅であって、テーブル移動制御部により検査
するエリアを前記の所定距離分シフトさせて検査を行う
ものである。A feature of the apparatus for inspecting foreign matter on a substrate according to the present invention for achieving the above object is that a rectangular substrate to be inspected is arranged at intervals corresponding to the width of one side of the substrate to be inspected. A first table comprising first and second members supporting two sides orthogonal to and opposed to one side of the substrate, the first table moving in one of the X direction and the Y direction; A first stage slightly above a surface supporting the substrate to be inspected of the first table in a Z direction orthogonal to a plane determined by the X direction and the Y direction, and a second stage above the first stage. And a second table having a plurality of point contact surfaces for supporting the substrate to be inspected in at least three stages of a third stage below the surface for supporting the substrate to be inspected, the surface moving up and down, The first table and the second table are placed in the X direction and the Y direction. A third table moving in the other direction, and a substrate to be inspected supported in the first stage by the second table in the second stage. After moving by a predetermined distance equal to or less than の of the length, the second table is set to the third stage, the substrate to be inspected is supported by the first table, and the first table is moved by the predetermined distance. And a table movement control unit for performing control to support the substrate to be inspected by setting the second table to the first stage and returning the second table to the first stage, wherein the first stage reduces the distortion of the substrate to be inspected. The area to be inspected on the substrate to be inspected has a width equal to or less than half the length of the two opposite sides, and the area to be inspected by the table movement control unit is shifted by the predetermined distance. The inspection is performed.

【０００５】[0005]

【発明の実施形態】被検査基板は、実施例では、ガラス
基板であるが、カラーフィルタ膜等の平板状の膜もこの
明細書および特許請求の範囲における異物検査の対象と
なる基板の概念に含むものである。要するに、基板は、
矩形状で、テーブルに跨って載置可能な板状のものであ
ればよい。第１のテーブルは、例えば、Ｘテーブルであ
るとすれば、第３のテーブルは、Ｙテーブルであり、第
２のテーブルがＺテーブル（高さ方向のテーブル）にな
る。この発明では、Ｘテーブルが第１，第２の部材に分
割されてガラス基板が跨った状態で支承される。その間
の位置にＺテーブルがあるので、点でガラス基板を支承
するＺテーブルの高さを第１段階の高さにすることで基
板のたわみが補正されてたわみが低減する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The substrate to be inspected is a glass substrate in the embodiment, but a flat film such as a color filter film is also included in the concept of a substrate to be inspected for foreign matter in this specification and claims. Including. In short, the substrate is
Any plate shape may be used as long as it is rectangular and can be placed on a table. If the first table is, for example, an X table, the third table is a Y table, and the second table is a Z table (a table in the height direction). In the present invention, the X table is divided into the first and second members, and is supported in a state where the glass substrate is straddled. Since the Z table is located at a position between them, the height of the Z table supporting the glass substrate at the point is set to the height of the first stage, so that the deflection of the substrate is corrected and the deflection is reduced.

【０００６】しかも、Ｚテーブルでガラス基板を第２段
階で支持することによりＸテーブルより浮かせることが
でき、この状態でＸテーブルを移動してガラス基板をＸ
テーブルに乗せて元の位置に戻すことで、ガラス基板状
の検査エリアをＸテーブルの往復運動でシフトさせるこ
とができる。この場合のＸテーブルの移動が往復移動で
あることから、移動方向において、シフトさせる移動分
の移動距離の増加はない。これにより、装置がその分小
型化できる。さらに、順次シフトする構成であるので、
大きな基板も小さな検査領域で検査でき、その分ひずみ
が少ない状態での検査が可能になる。In addition, by supporting the glass substrate on the Z table in the second stage, the glass substrate can be lifted from the X table.
By returning the inspection area on the table to the original position, the inspection area of the glass substrate can be shifted by the reciprocating movement of the X table. Since the movement of the X table in this case is a reciprocating movement, there is no increase in the moving distance by the amount to be shifted in the moving direction. Thus, the device can be reduced in size accordingly. Furthermore, since the configuration is to shift sequentially,
A large substrate can be inspected in a small inspection area, and inspection can be performed in a state where distortion is small.

【０００７】[0007]

【実施例】図１は、この発明の基板の異物検査装置の一
実施例の基板載置テーブルを中心とする構成図であり、
図２は、そのガラス基板のハンドリング動作の説明図で
ある。図１に示すように、基板の異物検査装置１０は、
被検査物である素ガラス基板１（図２参照）を載置する
基板載置テーブル２を有していて、例えば、この載置テ
ーブル２の上部に設けられた投光系（図示せず）により
半導体レーザ素子によるＳ偏光のレーザビームとＰ偏光
のレーザビームとをそれぞれ発生して、素ガラス基板１
の表面を走査して素ガラス基板１の表裏にある異物（傷
を含む）からの散乱光を受光系により受光してそれぞれ
の散乱光の受光レベルに応じて表裏の異物検出を行う。FIG. 1 is a block diagram mainly showing a substrate mounting table of an embodiment of a substrate foreign matter inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram of the handling operation of the glass substrate. As shown in FIG. 1, a substrate foreign matter inspection apparatus 10 includes:
It has a substrate mounting table 2 on which the elementary glass substrate 1 (see FIG. 2) to be inspected is mounted. For example, a light projecting system (not shown) provided on the mounting table 2 To generate an S-polarized laser beam and a P-polarized laser beam by the semiconductor laser element, respectively.
The surface of the glass substrate 1 is scanned to receive scattered light from foreign substances (including flaws) on the front and back of the glass substrate 1 by a light receiving system, and the front and back foreign substances are detected according to the light receiving levels of the respective scattered lights.

【０００８】基板載置テーブル２は、ＸＹＺテーブルに
なっていて、下側に矩形のＹテーブル３が設けられ、そ
の上に２つの短冊状のＸ、Ｚテーブルが対称に配置され
る構成を採る。４，５は、所定の間隔でＹテーブルにス
ライド可能に支承され、Ｘ、Ｚテーブルが載置されるＸ
Ｚベースであり、６，７は、ＸＺベース４，５にそれぞ
れ搭載され固定された２つのＸテーブルであって、これ
らは、前記の所定の間隔の中心線に対して対称に配置さ
れている。これらＸテーブル６，７は、素ガラス基板１
の最大縦幅（矩形のいずれかの一辺で可）よりも少し小
さい間隔でＸＺベース４，５上に搭載されかつこれらが
平行になるように前記のＸＺベース４，５の所定の間隔
が選択されている。なお、ＸＺベース４，５は、Ｙテー
ブル３に設けられたレール３ａ，３ｂ上にスライドでき
るように載置されていて、これらベースは独立にそれぞ
れ移動が可能になっている。この間隔は、検査基板のサ
イズに応じて調整される。The substrate mounting table 2 is an XYZ table, in which a rectangular Y table 3 is provided on the lower side, and two strip-shaped X and Z tables are symmetrically arranged thereon. . X and Z are slidably supported on a Y table at predetermined intervals, and X and Z tables on which X and Z tables are placed are mounted.
Z bases 6 and 7 are two X tables mounted and fixed on the XZ bases 4 and 5, respectively, which are symmetrically arranged with respect to the center line at the predetermined interval. . These X tables 6 and 7 are used for the glass substrate 1
Are mounted on the XZ bases 4, 5 at intervals slightly smaller than the maximum vertical width of the XZ bases (any one side of the rectangle), and the predetermined intervals of the XZ bases 4, 5 are selected so that they are parallel to each other. Have been. The XZ bases 4, 5 are slidably mounted on rails 3a, 3b provided on the Y table 3, and these bases can be independently moved. This interval is adjusted according to the size of the inspection board.

【０００９】２つのＸテーブル６，７の間には、Ｚテー
ブル８，９が前記と同様に対称にＸＺベース４，５にそ
れぞれ搭載され固定されている。なお、Ｚテーブル８
は、ＸＺベース４，５の配置と直交する方向において、
所定間隔離れて配置されたテーブル８ａと８ｂとからな
り、Ｚテーブル９も同様にＸＺベース４，５の配置と直
交する方向でテーブル８ａと８ｂとの間隔と同じ距離だ
け離れて配置されたテーブル９ａと９ｂとからなる。テ
ーブル８ａと８ｂ、そしてテーブル９ａと９ｂとの間に
形成される空間は検査エリアＳを形成する。この検査エ
リアＳ（図２のＢ，Ｄ参照）のＸ方向の幅は、Ｘテーブ
ル６，７で支承されている辺の長さの１／２以下、例え
ば、これは後述するように３１５mmであって、この幅の
エリアが後述するモータ駆動・制御回路３０によりシフ
トさせて検査エリアＳごとに順次ガラス基板１のほぼ全
面に亘って検査される。Between the two X tables 6, 7, Z tables 8, 9 are mounted on and fixed to the XZ bases 4, 5 symmetrically in the same manner as described above. The Z table 8
Is in a direction orthogonal to the arrangement of the XZ bases 4 and 5,
Tables 8a and 8b are arranged at predetermined intervals, and Z table 9 is also arranged at a distance equal to the distance between tables 8a and 8b in a direction orthogonal to the arrangement of XZ bases 4 and 5. 9a and 9b. The space formed between the tables 8a and 8b and between the tables 9a and 9b forms the inspection area S. The width of the inspection area S (see B and D in FIG. 2) in the X direction is 以下 or less of the length of the side supported by the X tables 6 and 7, for example, 315 mm as described later. The area of this width is shifted by a motor drive / control circuit 30 described later and the inspection is performed over substantially the entire surface of the glass substrate 1 sequentially for each inspection area S.

【００１０】Ｚテーブル８，９のテーブル８ａ，８ｂ，
９ａ，９ｂには、それぞれ砲弾形のピン１１が８本が図
示するように植設され、うち４本が四隅に、そして、他
の４本が中央部に所定の間隔で配置されるように植設さ
れている。短冊状のテーブル８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂの
それぞれの下側には、２つのカム機構１２，１３がそれ
ぞれ設けられていて、カム機構１２，１３は、後端側が
これらカム機構のカムフォロアーとなり、先端側がそれ
ぞれのテーブルに植設された棒部材１２ａ，１３ａとこ
の棒部材１２ａ，１３ａの後端を受けるカム面を持つ偏
心カム１２ｂ，１３ｂとからなる。棒部材１２ａ，１３
ａは、その外側にスリーブ（図示せず）が嵌合されて、
このスリーブがそれぞれのベースであるＸＺベース４，
５に固定される構成を採るが、説明の都合上、これにつ
いては省略してある。The tables 8a, 8b of the Z tables 8, 9
In each of 9a and 9b, eight bullet-shaped pins 11 are implanted as shown in the drawing, four of which are arranged at four corners and the other four are arranged at predetermined intervals in the center. It has been planted. Below the strip tables 8a, 8b, 9a, 9b, two cam mechanisms 12, 13 are provided, respectively. The rear ends of the cam mechanisms 12, 13 are cam followers for these cam mechanisms. The distal end side comprises bar members 12a, 13a planted on the respective tables, and eccentric cams 12b, 13b having cam surfaces for receiving the rear ends of the bar members 12a, 13a. Rod members 12a, 13
a has a sleeve (not shown) fitted on the outside thereof,
This sleeve is the base of each XZ base 4,
5, but this is omitted for convenience of explanation.

【００１１】したがって、テーブル８ａ，８ｂ，９ａ，
９ｂは、棒部材１２ａ，１３ａを介して上下移動可能に
ＸＺベース４，５に固定される。その上下の移動量は、
ここでは、３段階ある。すなわち、偏心カム１２ｂ，１
３ｂのカム面が回転中心から最も離れたときには、Ｚテ
ーブルのピン１１の先端がＸテーブル６，７の面より上
になり、最も近づいたときには、ピン１１の先端がＸテ
ーブル６，７の面より下に位置し、その中間の位置に設
定されたときには、ピン１１の先端がガラス基板１のた
わみを防止する程度にＸテーブル６，７の面よりほんの
少し上に位置付けられる。Therefore, the tables 8a, 8b, 9a,
9b is fixed to the XZ bases 4, 5 so as to be able to move up and down via the rod members 12a, 13a. The amount of movement up and down
Here, there are three stages. That is, the eccentric cams 12b, 1
When the cam surface of 3b is farthest from the center of rotation, the tip of the pin 11 of the Z table is higher than the surface of the X tables 6, 7; When set at a lower position and at an intermediate position, the tip of the pin 11 is positioned slightly above the surface of the X tables 6 and 7 to such an extent that the glass substrate 1 is prevented from bending.

【００１２】ＸＺベース４，５に配置される各偏心カム
１２ｂ，１３ｂの回転中心には、それぞれの軸１４，１
５がそれぞれに貫通していて軸１４，１５にそれぞれ固
定されている。軸１４，１５は、軸受１６，１７と軸受
１８，１９を介してＸＺベース４，５に回転できるよう
に固定されていて、軸１４，１５を回動させるために、
その一方の端部はモータ２１，２２（あるいはロータリ
ソレノイド２１，２２）の回転軸が結合されている。し
たがって、モータ２１，２２の回転駆動によりテーブル
８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂはカム機構１２，１３を介して
Ｚ方向に昇降する。The rotation centers of the eccentric cams 12b and 13b arranged on the XZ bases 4 and 5 have respective shafts 14 and 1 attached thereto.
5 penetrate each and are fixed to the shafts 14 and 15, respectively. The shafts 14 and 15 are fixed to the XZ bases 4 and 5 via bearings 16 and 17 and bearings 18 and 19 so as to be rotatable.
One end thereof is connected to the rotating shafts of the motors 21 and 22 (or the rotary solenoids 21 and 22). Therefore, the tables 8 a, 8 b, 9 a, 9 b move up and down in the Z direction via the cam mechanisms 12, 13 by the rotational driving of the motors 21, 22.

【００１３】Ｘテーブル６，７は、それぞれの両端部に
設けられた脚部６ａ，６ｂ，脚部７ａ，７ｂを介してＸ
Ｚベース４，５に固定されたレール４ａ，５ａ上にブリ
ッジ状に支承され、レール４ａ，５ａ上を移動する。そ
れぞれの脚部６ａ，６ｂ，脚部７ａ，７ｂには、ボール
スクリュウ６ｃ，７ｃが嵌合していて、脚部６ａ，６
ｂ，脚部７ａ，７ｂには、その軸受部６ｄ，６ｅ，７
ｄ，７ｅが埋設されている。ボールスクリュウ６ｃ，７
ｃの中央部により脚部６ｂ，７ｂよりに、この軸に結合
する駆動モータ２３，２４がそれぞれ設けられている。
したがって、モータ２３，２４の回転駆動によりＸテー
ブル６，７は、ボールスクリュウ６ｃ，７ｃを介してＸ
方向に移動する。The X tables 6 and 7 are connected to the X tables via legs 6a and 6b and legs 7a and 7b provided at both ends.
It is supported in a bridge shape on rails 4a, 5a fixed to Z bases 4, 5, and moves on rails 4a, 5a. The ball screws 6c, 7c are fitted to the legs 6a, 6b and the legs 7a, 7b, respectively.
b, leg portions 7a, 7b have bearings 6d, 6e, 7
d and 7e are buried. Ball screw 6c, 7
Drive motors 23 and 24 connected to this shaft are provided at the center of c from the legs 6b and 7b, respectively.
Therefore, the X tables 6 and 7 are driven by the motors 23 and 24 to rotate the X tables 6 and 7 via the ball screws 6c and 7c.
Move in the direction.

【００１４】Ｘテーブル６，７の内側に沿って設けられ
たフランジ部６ｆ，７ｆは、それぞれガラス基板１の端
部を受けて支承する受け部分であって、その面は、Ｘテ
ーブル６，７の面より少し低く位置付けられ、先端側が
少し突き出て線接触する形になっている。これにより、
Ｘテーブル６，７の間隔は、ガラス基板１の縦または横
の辺の長さより少し小さいに距離に設定されていて、い
ずれかの辺をフランジ部６ｆ，７ｆを介して両側で支持
する。The flange portions 6f and 7f provided along the inside of the X tables 6 and 7 are receiving portions for receiving and supporting the ends of the glass substrate 1, respectively. It is positioned slightly lower than the surface, and the tip side protrudes slightly to make line contact. This allows
The distance between the X tables 6, 7 is set to a distance slightly smaller than the length of the vertical or horizontal sides of the glass substrate 1, and either side is supported on both sides via the flange portions 6f, 7f.

【００１５】Ｙテーブル３の下側には、点線で示すよう
に、ボールスクリュウ３ｃが設けられていて、その軸受
部３ｄがＹテーブル３の裏面側の底面に固定されてい
る。ボールスクリュウ３ｃは、モータ２５の軸に結合さ
れていて、これにより回転駆動され、Ｙテーブル３をＹ
方向に移動させる。この移動のために、Ｙテーブル３
は、両側に設けられたレール３ｅ，３ｆにスライド移動
可能に支承されいる。３０は、モータ駆動・制御回路で
あって、ＭＰＵとメモリとを有していて、メモリに記憶
された制御プログラムをＭＰＵが実行することで、前記
の各モータ２１，２２，２３，２４，２５にそれぞれ駆
動信号を送出して、それぞれを正転あるいは逆転させ
て、Ｘ，Ｙ，Ｚテーブルを所定の量それぞれの方向に移
動させる。また、モータ駆動・制御回路３０は、Ｙテー
ブル３に設けれたガラス基板１のエッジを検出する光学
センサ（発光・受光素子）２６からの信号を受ける。A ball screw 3c is provided below the Y table 3 as shown by a dotted line, and its bearing 3d is fixed to the bottom surface on the back side of the Y table 3. The ball screw 3c is coupled to the shaft of the motor 25, and is driven to rotate by this.
Move in the direction. For this movement, Y table 3
Are slidably supported by rails 3e, 3f provided on both sides. Reference numeral 30 denotes a motor drive / control circuit, which has an MPU and a memory. The MPU executes a control program stored in the memory so that the motors 21, 22, 23, 24, 25 The X, Y, and Z tables are respectively moved in the respective directions by rotating the X, Y, and Z tables by rotating them forward or backward. Further, the motor drive / control circuit 30 receives a signal from an optical sensor (light emitting / receiving element) 26 that detects an edge of the glass substrate 1 provided on the Y table 3.

【００１６】次に、基板載置テーブル１０のガラス基板
のハンドリング動作について図２に従って説明する。ガ
ラス基板１は、図示しないハンドリング機構によりＸテ
ーブル６，７上のフランジ部６ｆ，７ｆにその両端部
（矩形基板の対向する２辺）が支承されるようにセット
される（処理動作Ａ参照）。Ｘテーブル６，７上にガラ
ス基板１が載置されると、モータ駆動・制御回路３０
は、モータ２３，２４を駆動してＸテーブル６，７を移
動し、ガラス基板１を光学センサ２６からの信号を監視
する。Next, the handling operation of the glass substrate of the substrate mounting table 10 will be described with reference to FIG. The glass substrate 1 is set so that both ends (two opposing sides of the rectangular substrate) are supported on the flanges 6f and 7f on the X tables 6 and 7 by a handling mechanism (not shown) (see processing operation A). . When the glass substrate 1 is placed on the X tables 6 and 7, the motor drive / control circuit 30
Drives the motors 23 and 24 to move the X tables 6 and 7, and monitors a signal from the optical sensor 26 on the glass substrate 1.

【００１７】光学センサ２６がガラス基板１のエッジに
より発光された光の反射光を受光すると、その検出信号
がモータ駆動・制御回路３０に入力される。モータ駆動
・制御回路３０は、光学センサ２６の検出信号の入力時
点の位置からあらかじめ選択されている所定量、すなわ
ち、Ｚテーブル８，９のそれぞれのテーブル８ａ，８
ｂ，９ａ，９ｂにおいて、ガラス基板１のＸ方向の移動
に対してテーブル９ａ，９ｂの後端部に植設されたピン
１１，１１にガラス基板１の先端側の辺が支承され、ガ
ラス基板１のＸ方向の移動に対してテーブル８ａ，８ｂ
の先端部に植設されたピン１１，１１と中央部に植設さ
れたピン１１，１１とによりガラス基板１の中央部から
後ろの部分が支承されて状態になるまでＸテーブル６，
７を移動させた後に、モータ２２，２３の駆動を停止す
る。そして、次にモータ２１，２２を駆動してＺテーブ
ル８，９を上昇させて、Ｘテーブル６，７の面よりほん
の少しピン１１の先端を上昇させてたわみを防止する位
置にする（処理動作Ｂ参照）。なお、このときには、基
板のＸテーブル６，７で支承される２辺あるいはその一
部は、Ｘテーブル６，７に支承される状態にある。When the optical sensor 26 receives the reflected light of the light emitted by the edge of the glass substrate 1, the detection signal is input to the motor drive / control circuit 30. The motor drive / control circuit 30 is provided with a predetermined amount selected from the position at the time of input of the detection signal of the optical sensor 26, that is, the tables 8a, 8 of the Z tables 8, 9, respectively.
b, 9a and 9b, the front side of the glass substrate 1 is supported by the pins 11 and 11 planted at the rear ends of the tables 9a and 9b with respect to the movement of the glass substrate 1 in the X direction. Tables 8a and 8b for movement in the X direction
The X table 6, until the rear portion from the central portion of the glass substrate 1 is supported by the pins 11, 11 implanted at the tip of the glass substrate 1 and the pins 11, 11 implanted at the central portion.
After the movement of the motor 7, the driving of the motors 22 and 23 is stopped. Then, the motors 21 and 22 are driven to raise the Z tables 8 and 9 to raise the tips of the pins 11 slightly more than the surfaces of the X tables 6 and 7 to a position where bending is prevented (processing operation). B). At this time, two sides or a part of the substrate supported by the X tables 6 and 7 are in a state of being supported by the X tables 6 and 7.

【００１８】Ｂにおいて、斜線で示す部分Ｓが検査エリ
アであり、その図面右下に位置する点Ｋが検査開始点に
なる。また、各図の右側に示す図面でピン１１で示す状
態がたわみを防止するピンの高さであり、点線で示す部
分がＸテーブル６，７であって、Ｘテーブルの面よりの
上昇量は、微小である。なお、この図では、ピン１１
は、説明の都合上、その長さを誇張して示していて、Ｚ
ステージ８，９の支持をピン１１のみで代表させてい
る。モータ駆動・制御回路３０は、外部から端子３０ａ
に検査開始信号を受けると、モータ２５を駆動して図の
Ｂの矢印３１で示すＹ方向に所定のタイミングでＹテー
ブルを移動させる。一方、図示しない、投光・受光光学
系は、矢印３２で示すＸ方向に沿って斜線の検査エリア
ＳのＸ方向の幅に亘ってのＸ方向での走査をする。例え
ば、この走査幅を３１５ｍｍとすると、この走査幅は、
例えば、ポリゴンミラーを回転させて、レーザ光により
走査する範囲である。In FIG. 2B, a hatched portion S is an inspection area, and a point K located at the lower right of the drawing is an inspection start point. In the drawings shown on the right side of each drawing, the state shown by the pin 11 is the height of the pin for preventing the bending, the portions shown by the dotted lines are the X tables 6 and 7, and the amount of rise from the surface of the X table is , Small. In this figure, the pin 11
Shows the length exaggeratedly for the sake of explanation, and Z
The supports of the stages 8 and 9 are represented only by the pins 11. The motor drive / control circuit 30 is externally connected to a terminal 30a.
When the inspection start signal is received, the motor 25 is driven to move the Y table at a predetermined timing in the Y direction indicated by the arrow 31 in FIG. On the other hand, a light projecting / receiving optical system (not shown) scans in the X direction over the width of the oblique inspection area S in the X direction along the X direction indicated by the arrow 32. For example, if the scanning width is 315 mm, the scanning width is
For example, it is a range in which the polygon mirror is rotated and scanned by laser light.

【００１９】検査エリアＳの検査が終了すると、モータ
駆動・制御回路３０は、外部から端子３０ａにガラス基
板シフト信号を受ける。これを受けたモータ駆動・制御
回路３０は、モータ２１，２２を駆動してＺテーブル
８，９をさらに上昇させて、Ｘテーブル６，７の面より
ピン１１の先端をさらに上にする。これによりガラス基
板１がＸテーブル６，７から浮く。そして、モータ２
３，２４を駆動して前記の走査幅である３１５mm分だ
け、矢印３３の方向にＸテーブル６，７を戻す（Ｃ処理
動作参照）。そして、モータ２３，２４の駆動を停止し
てモータ２１，２２を駆動してＺテーブル８，９を降下
させてピン１１の先端をＸテーブル６，７の面より下側
にしてガラス基板１をＸテーブル６，７上に載置して、
再びモータ２３，２４を駆動して前記の走査幅である３
１５mm分だけ、矢印３３の方向と逆の方向にＸテーブル
６，７を移動させて最初の位置に戻し、モータ２３，２
４の駆動を停止してモータ２１，２２を駆動してＺテー
ブル８，９を上昇させて、Ｘテーブル６，７の面よりほ
んの少しピン１１の先端を上昇させてたわみを防止する
位置にする（処理動作Ｄ参照）。When the inspection of the inspection area S is completed, the motor drive / control circuit 30 receives a glass substrate shift signal from the outside to the terminal 30a. In response to this, the motor drive / control circuit 30 drives the motors 21 and 22 to further raise the Z tables 8 and 9 so that the tips of the pins 11 are further higher than the surfaces of the X tables 6 and 7. Thereby, the glass substrate 1 floats from the X tables 6 and 7. And motor 2
The X-tables 3 and 24 are driven to return the X-tables 6 and 7 in the direction of the arrow 33 by the above-mentioned scanning width of 315 mm (see the C processing operation). Then, the driving of the motors 23 and 24 is stopped, and the motors 21 and 22 are driven to lower the Z tables 8 and 9 so that the tips of the pins 11 are lower than the surfaces of the X tables 6 and 7 to remove the glass substrate 1. Place on X tables 6 and 7,
By driving the motors 23 and 24 again, the scanning width of 3
The X tables 6 and 7 are moved by 15 mm in the direction opposite to the direction of the arrow 33 to return to the initial position, and the motors 23 and 2
4 is stopped, the motors 21 and 22 are driven to raise the Z tables 8 and 9, and the tips of the pins 11 are slightly raised from the surfaces of the X tables 6 and 7 to a position where bending is prevented. (See processing operation D).

【００２０】このＤの状態では、ガラス基板１のＸ方向
の移動に対してテーブル８ａ，８ｂの先端部に植設され
たピン１１，１１にガラス基板１の後端側の辺が支承さ
れ、ガラス基板１のＸ方向の移動に対してテーブル９
ａ，９ｂの先端部に植設されたピン１１，１１と中央部
に植設されたピン１１，１１とによりガラス基板１の中
央部から先までが支承され、かつ、ガラス基板のたわみ
が防止される。そこで、今度は、前記の矢印３１とは、
反対方向の矢印３４に沿って戻る方向で検査のためのレ
ーザ光による走査が開始される。このようにして、ガラ
ス基板１の検査エリア全体を検査エリアＳで２分割して
２回に分けて検査を行う。In the state of D, the rear end side of the glass substrate 1 is supported by the pins 11, 11 implanted at the distal ends of the tables 8a, 8b with respect to the movement of the glass substrate 1 in the X direction. Table 9 against the movement of glass substrate 1 in the X direction
The pins 11 and 11 planted at the tips of the a and 9b and the pins 11 and 11 planted at the center support the glass substrate 1 from the center to the tip and prevent the glass substrate from bending. Is done. So, this time, the arrow 31
Scanning by laser light for inspection is started in the direction returning along the opposite arrow 34. In this way, the entire inspection area of the glass substrate 1 is divided into two by the inspection area S, and the inspection is performed twice.

【００２１】以上説明してきたが、実施例では、検査エ
リアを２分割する例を示しているが、同様な処理を繰り
返すことで３分割あるいはそれ以上の分割により順次検
査することができることはもちろんである。この場合
に、基板の移動する距離は、分割された検査エリア分の
部分だけの距離で済むので、テーブル全体の大きさが小
さくなり、また、分割された部分の小さい面積について
その周囲の少なくとも２辺をピンにより支持することで
たわみが補正され、基板全体としてたわみが減少する。
Ｚテーブルにおけるピンの数は、実施例では、各テーブ
ルに８本設けているが、支持すべき基板の大きさに応じ
て設ければよく、複数本設けられればよい。また、各テ
ーブルのＸ、Ｙの方向は、相互に入れ替えることができ
る。As described above, the embodiment shows an example in which the inspection area is divided into two. However, it is needless to say that the inspection can be sequentially performed in three or more divisions by repeating the same processing. is there. In this case, the substrate moves only by the distance corresponding to the divided inspection area, so that the size of the entire table is reduced, and the small area of the divided portion is at least 2 mm around the divided area. By supporting the sides with the pins, the deflection is corrected, and the deflection of the entire substrate is reduced.
In the embodiment, the number of pins in the Z table is eight in each table, but may be provided according to the size of the substrate to be supported, and a plurality of pins may be provided. The X and Y directions of each table can be interchanged.

【００２２】[0022]

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による基
板の異物検査装置にあっては、Ｘテーブルが第１，第２
の部材に分割されてガラス基板が跨った状態で支承され
る。その間の位置にＺテーブルがあるので、点でガラス
基板を支承するＺテーブルの高さを第１段階の高さにす
ることで基板のたわみが補正されてたわみが低減する。
さらに、Ｚテーブルでガラス基板を第２段階で支持する
ことによりＸテーブルより浮かせることができ、この状
態でＸテーブルを移動してガラス基板をＸテーブルに乗
せて元の位置に戻すことで、ガラス基板の対象となる検
査エリアをＸテーブルの往復運動でシフトさせることが
でき、この場合のＸテーブルの移動が往復移動であるこ
とから、移動方向において、シフトさせる移動分の移動
距離の増加はない。その結果、装置がその分小型化でき
る。さらに、順次シフトする構成であるので、大きな基
板も小さな検査領域で検査でき、その分ひずみが少ない
状態での検査が可能になる。As described above, in the apparatus for inspecting foreign matter of a substrate according to the present invention, the X table is composed of the first and second X-tables.
And is supported with the glass substrate straddling. Since the Z table is located at a position between them, the height of the Z table supporting the glass substrate at the point is set to the height of the first stage, so that the deflection of the substrate is corrected and the deflection is reduced.
Further, by supporting the glass substrate on the Z table in the second stage, the glass substrate can be lifted from the X table. In this state, the X table is moved, and the glass substrate is placed on the X table and returned to the original position. The inspection area to be inspected on the substrate can be shifted by reciprocating movement of the X table. In this case, since the movement of the X table is reciprocating movement, there is no increase in the moving distance for the shifted movement in the moving direction. . As a result, the size of the device can be reduced accordingly. Further, since the configuration is such that the shift is performed sequentially, a large substrate can be inspected in a small inspection area, and the inspection can be performed in a state where the distortion is small.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】図１は、この発明の基板の異物検査装置の一実
施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of a substrate foreign matter inspection apparatus according to the present invention.

【図２】図２は、そのガラス基板のハンドリング動作の
説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a handling operation of the glass substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…ガラス基板、２…基板載置テーブル、３…Ｙテーブ
ル、４，５…ＸＺベース、６，７…Ｘテーブル、８，９
…Ｚテーブル、１０…基板の異物検査装置、１１…ピ
ン、１２，１３…カム機構、１４，１５…軸、１６，１
７，１８，１９…軸受、２１，２２，２３，２４，２５
…モータ、３０…モータ駆動・制御回路。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass substrate, 2 ... Substrate mounting table, 3 ... Y table, 4,5 ... XZ base, 6,7 ... X table, 8, 9
... Z table, 10 ... Substrate foreign matter inspection device, 11 ... Pin, 12,13 ... Cam mechanism, 14,15 ... Shaft, 16,1
7, 18, 19 ... bearings 21, 22, 23, 24, 25
... Motor, 30 ... Motor drive / control circuit.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−255771（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−229934（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−49853（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/956 B65G 49/06 G12B 5/00 H01L 21/68 G01B 11/00 - 11/30 G02F 1/13 - 1/137 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-6-255771 (JP, A) JP-A-6-229934 (JP, A) JP-A-4-49853 (JP, U) (58) Field (Int.Cl. ⁷ , DB name) G01N 21/84-21/956 B65G 49/06 G12B 5/00 H01L 21/68 G01B 11/00-11/30 G02F 1/13-1/137

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】矩形の被検査基板の１つの辺の幅に対応す
る間隔で配置され前記被検査基板の前記１つの辺に直交
し対向する２辺を支承する第１，第２の部材からなりＸ
方向およびＹ方向のいずれかの一方の方向に移動する第
１のテーブルと、前記第１，第２の部材の間に配置され
前記Ｘ方向およびＹ方向で決定される平面に直交するＺ
方向において前記第１のテーブルの前記被検査基板を支
承する面より少し上の第１段階と、これより上の第２の
段階と、前記被検査基板を支承する面より下の第３段階
の少なくとも３段階で前記被検査基板を支承する複数の
点接触面を有しこの面が上下に移動する第２のテーブル
と、前記第１のテーブルとこの第２のテーブルとを載置
して前記Ｘ方向および前記Ｙ方向のいずれかの他方の方
向に移動する第３のテーブルと、前記第２のテーブルに
前記第１段階で支承された前記被検査基板を前記第２段
階にして前記第１のテーブルを前記対向する２辺の長さ
の１／２以下の所定距離分移動させた後に前記第２のテ
ーブルを前記第３段階にして前記被検査基板を前記第１
のテーブルに支承させてこの第１のテーブルを前記所定
距離分だけ移動して元に戻し前記第２のテーブルを第１
段階に設定して前記被検査基板を支承する制御を行うテ
ーブル移動制御部とを備え、前記第１段階が前記被検査
基板のひずみを低減する高さであり、前記被検査基板の
検査するエリアが前記対向する２辺の長さの１／２以下
の所定距離分の幅であって、前記テーブル移動制御部に
より前記検査するエリアを前記所定距離分シフトさせて
検査を行う基板の異物検査装置。The first and second members are arranged at intervals corresponding to the width of one side of a rectangular substrate to be inspected and support two sides orthogonal to and opposed to the one side of the substrate to be inspected. Becoming X
A first table that moves in one of the direction and the Y direction, and a Z that is disposed between the first and second members and that is orthogonal to a plane determined by the X and Y directions.
A first stage slightly above the surface of the first table supporting the substrate to be inspected, a second stage above the surface, and a third stage below the surface supporting the substrate to be inspected. A second table having a plurality of point contact surfaces for supporting the substrate to be inspected in at least three stages, the surface moving up and down, the first table, and the second table placed on the second table; A third table moving in the other direction of the X direction and the Y direction; and the substrate to be inspected supported by the second table in the first stage in the second stage in the second stage. After moving the table by a predetermined distance equal to or less than の of the length of the two opposite sides, the second table is set to the third stage, and the substrate to be inspected is moved to the first stage.
The first table is moved by the predetermined distance and returned to the original position, and the second table is moved to the first table.
A table movement control unit configured to perform control for supporting the substrate to be inspected in a stage, wherein the first stage has a height for reducing distortion of the substrate to be inspected, and an area to be inspected of the substrate to be inspected. Is a width of a predetermined distance equal to or less than の of the length of the two opposite sides, and the table movement control unit shifts the area to be inspected by the predetermined distance to inspect the substrate for foreign matter. . 【請求項２】前記第２のテーブルの表面には、ピンが複
数植設されていて、前記第１段階および第２段階におい
て前記ピンの先端により前記被検査基板が複数の点で支
承される請求項１記載の基板の異物検査装置。2. A plurality of pins are implanted on the surface of the second table, and the substrate to be inspected is supported at a plurality of points by tips of the pins in the first and second stages. The substrate foreign matter inspection device according to claim 1.