JPH09319069A - ペリクル光学素子 - Google Patents
ペリクル光学素子Info
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- JPH09319069A JPH09319069A JP13483696A JP13483696A JPH09319069A JP H09319069 A JPH09319069 A JP H09319069A JP 13483696 A JP13483696 A JP 13483696A JP 13483696 A JP13483696 A JP 13483696A JP H09319069 A JPH09319069 A JP H09319069A
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- Japan
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- adhesive
- frame
- contact surface
- resin film
- optical element
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ペリクル光学素子における樹脂フィルムの高
い平坦性を確保する一方で、樹脂フィルムを枠に接着す
る接着剤の塗布量を管理し易くする。 【解決手段】 枠１０には、開口１１の外周側に沿っ
て、樹脂フィルム３に接触して樹脂フィルム３の平坦性
を確保する接触面１２と、接触面１２の外周側に沿い且
つ接触面１２に対して段差を有する接着面１３とが形成
されている。樹脂フィルム３を枠１０に接着するエポキ
シ系接着剤２は、枠１０の接着面１３と、この接着面１
３に対向している樹脂フィルム３の部分との間に施す。
い平坦性を確保する一方で、樹脂フィルムを枠に接着す
る接着剤の塗布量を管理し易くする。 【解決手段】 枠１０には、開口１１の外周側に沿っ
て、樹脂フィルム３に接触して樹脂フィルム３の平坦性
を確保する接触面１２と、接触面１２の外周側に沿い且
つ接触面１２に対して段差を有する接着面１３とが形成
されている。樹脂フィルム３を枠１０に接着するエポキ
シ系接着剤２は、枠１０の接着面１３と、この接着面１
３に対向している樹脂フィルム３の部分との間に施す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光透過性を有する
膜材が枠で保持されているペリクル光学素子に関する。
膜材が枠で保持されているペリクル光学素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】ビームスプリッタやダイクロイックミラ
ーには、所定のコーティングを表面に施した硝子製のも
の、所定のコーティングを表面に施した樹脂フィルム製
のものがある。ビームスプリッタは、入射光線束を二分
割して一部を透過し、もう一部を反射する光学素子であ
り、ダイクロイックミラーは、入射する可視光の一部の
波長範囲を反射し、残りを透過する光学素子である。つ
まり、ビームスプリッタ、ダイクロイックミラーは、共
に透過と反射の機能を持った光学素子である。
ーには、所定のコーティングを表面に施した硝子製のも
の、所定のコーティングを表面に施した樹脂フィルム製
のものがある。ビームスプリッタは、入射光線束を二分
割して一部を透過し、もう一部を反射する光学素子であ
り、ダイクロイックミラーは、入射する可視光の一部の
波長範囲を反射し、残りを透過する光学素子である。つ
まり、ビームスプリッタ、ダイクロイックミラーは、共
に透過と反射の機能を持った光学素子である。
【０００３】反射機能の観点から、これらの光学素子の
表面には、高精度の平面性が要求される。高精度の平面
を形成する上からは、硝子製が有利である。一方、ペリ
クルを用いた光学素子（以下、ペリクル光学素子とい
う。）は、厚さが非常に薄いために材質の屈折率による
光路長の変化を無視できる。しかし、樹脂フィルム製の
ように、薄い硝子を製作することは困難である。したが
って、ビームスプリッタなどを多数用いる光学系では、
全体の光学設計を簡略化するために、樹脂フィルム製の
ペリクル光学素子を用いている。
表面には、高精度の平面性が要求される。高精度の平面
を形成する上からは、硝子製が有利である。一方、ペリ
クルを用いた光学素子（以下、ペリクル光学素子とい
う。）は、厚さが非常に薄いために材質の屈折率による
光路長の変化を無視できる。しかし、樹脂フィルム製の
ように、薄い硝子を製作することは困難である。したが
って、ビームスプリッタなどを多数用いる光学系では、
全体の光学設計を簡略化するために、樹脂フィルム製の
ペリクル光学素子を用いている。
【０００４】図４は、従来のペリクル光学素子の断面図
である。金属製の枠１に接着剤２を使って樹脂フィルム
３を固定している。枠１の材質としてはアルミ系金属で
黒色アルマイト仕上しているものが一般的である。枠１
には、その開口の外周側に沿って、樹脂フィルム３に接
触して樹脂フィルム３の平坦性を確保する接触面１ａ
と、この接触面１ａの外周側に沿い且つ接触面１ａに対
して鈍角を成す接着面１ｂとが、形成されている。樹脂
フィルム３の材料は、例えば、ニトロセルロースであ
る。
である。金属製の枠１に接着剤２を使って樹脂フィルム
３を固定している。枠１の材質としてはアルミ系金属で
黒色アルマイト仕上しているものが一般的である。枠１
には、その開口の外周側に沿って、樹脂フィルム３に接
触して樹脂フィルム３の平坦性を確保する接触面１ａ
と、この接触面１ａの外周側に沿い且つ接触面１ａに対
して鈍角を成す接着面１ｂとが、形成されている。樹脂
フィルム３の材料は、例えば、ニトロセルロースであ
る。
【０００５】樹脂フィルム３は、例えば、図５に示すよ
うな方法で、枠１に接着される。まず、樹脂フィルム３
ａを貼付けホルダー５に接着剤４で仮止めしてから、接
着剤２を接着面１ｂに塗付した枠１をフィルム３ａに載
せ、錘６で加圧する。そして、加熱して接着剤２が固ま
った後に、枠１の外形に合わせてフィルム３を切断す
る。
うな方法で、枠１に接着される。まず、樹脂フィルム３
ａを貼付けホルダー５に接着剤４で仮止めしてから、接
着剤２を接着面１ｂに塗付した枠１をフィルム３ａに載
せ、錘６で加圧する。そして、加熱して接着剤２が固ま
った後に、枠１の外形に合わせてフィルム３を切断す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術では、枠１の接着面１ｂ全体に十分に接着剤２を塗布
すると、樹脂フィルム３ａで押された接着剤２が枠１の
接触面１ａに回り込み、樹脂フィルム３の平坦性が悪く
なる。また、逆に、枠１の接着面１ｂに少なめに接着剤
２を塗布したとしても、樹脂フィルム３ａの外周縁部全
体に接着剤２が行き渡らず、樹脂フィルム３に掛かる張
力が均一にならないために、樹脂フィルム３の平坦性を
確保できない。すなわち、従来技術では、接着剤の塗布
量の管理が非常に難しく、樹脂フィルムの平坦性を確保
することができない場合があるという問題点がある。
術では、枠１の接着面１ｂ全体に十分に接着剤２を塗布
すると、樹脂フィルム３ａで押された接着剤２が枠１の
接触面１ａに回り込み、樹脂フィルム３の平坦性が悪く
なる。また、逆に、枠１の接着面１ｂに少なめに接着剤
２を塗布したとしても、樹脂フィルム３ａの外周縁部全
体に接着剤２が行き渡らず、樹脂フィルム３に掛かる張
力が均一にならないために、樹脂フィルム３の平坦性を
確保できない。すなわち、従来技術では、接着剤の塗布
量の管理が非常に難しく、樹脂フィルムの平坦性を確保
することができない場合があるという問題点がある。
【０００７】本発明は、このような従来の問題点につい
て着目してなされたもので、膜材の高い平坦性を確保す
る一方で、接着剤の塗布量を管理し易いペリクル光学素
子を提供することを目的とする。
て着目してなされたもので、膜材の高い平坦性を確保す
る一方で、接着剤の塗布量を管理し易いペリクル光学素
子を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
のペリクル素子は、光透過性を有する膜材と、開口が形
成され該膜材が接着剤で貼付られている枠と、を備えて
いるペリクル光学素子において、膜材が接着剤で貼付ら
れる枠には、その開口の外周側に沿って、該膜材に接触
して該膜材の平坦性を確保する接触面と、該接触面の外
周側に沿い且つ該接触面に対して段差を有し該膜部材に
対向する接着面とが、形成され、前記接着剤は、前記枠
の前記接着面と、該接着面に対向している前記膜材の部
分との間に施されていることを特徴とするものである。
のペリクル素子は、光透過性を有する膜材と、開口が形
成され該膜材が接着剤で貼付られている枠と、を備えて
いるペリクル光学素子において、膜材が接着剤で貼付ら
れる枠には、その開口の外周側に沿って、該膜材に接触
して該膜材の平坦性を確保する接触面と、該接触面の外
周側に沿い且つ該接触面に対して段差を有し該膜部材に
対向する接着面とが、形成され、前記接着剤は、前記枠
の前記接着面と、該接着面に対向している前記膜材の部
分との間に施されていることを特徴とするものである。
【０００９】ここで、前記接着面の前記開口側には、凹
部が形成されていてもよい。
部が形成されていてもよい。
【００１０】また、前記接触面から前記接着面へ伸び、
該接触面に対して該接着面に段差を生じさせているけ込
み面は、該接触面に対する角度が９０°以下であること
が好ましい。
該接触面に対して該接着面に段差を生じさせているけ込
み面は、該接触面に対する角度が９０°以下であること
が好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施形態とし
てのペリクル光学素子について説明する。
てのペリクル光学素子について説明する。
【００１２】まず、図１及び図２を用いて、本発明に係
る一実施形態としてのペリクル光学素子について説明す
る。この実施形態のペリクル光学素子は、図１に示すよ
うに、薄い樹脂フィルム３と、これを支える枠１０とを
有して構成されている。
る一実施形態としてのペリクル光学素子について説明す
る。この実施形態のペリクル光学素子は、図１に示すよ
うに、薄い樹脂フィルム３と、これを支える枠１０とを
有して構成されている。
【００１３】この実施形態において、樹脂フィルム３ａ
（図２に図示、張力を加える前の樹脂フィルム）として
は、ポリエチレンテレフタレート製の二軸延伸フィルム
を用いている。この樹脂フィルム３ａの厚さは、２５μ
ｍである。また、このポリエチレンテレフタレート樹脂
フィルム３ａは、ガラス転移点が約８０℃で、完全に溶
解してしまう溶融温度が約２６０℃である。
（図２に図示、張力を加える前の樹脂フィルム）として
は、ポリエチレンテレフタレート製の二軸延伸フィルム
を用いている。この樹脂フィルム３ａの厚さは、２５μ
ｍである。また、このポリエチレンテレフタレート樹脂
フィルム３ａは、ガラス転移点が約８０℃で、完全に溶
解してしまう溶融温度が約２６０℃である。
【００１４】枠１０は、外形が矩形状を成し、その内側
に同じく矩形状の開口１１が形成されている。枠１０に
は、開口１１の外周側に沿って、樹脂フィルム３に接触
して樹脂フィルム３の平坦性を確保する接触面１２と、
この接触面１２の外周側に沿い且つ接触面１２に対して
段差を有し樹脂フィルム３に対向する接着面１３とが形
成されている。接触面１２は、高い平坦度を確保するた
めにラップ仕上げされている。
に同じく矩形状の開口１１が形成されている。枠１０に
は、開口１１の外周側に沿って、樹脂フィルム３に接触
して樹脂フィルム３の平坦性を確保する接触面１２と、
この接触面１２の外周側に沿い且つ接触面１２に対して
段差を有し樹脂フィルム３に対向する接着面１３とが形
成されている。接触面１２は、高い平坦度を確保するた
めにラップ仕上げされている。
【００１５】枠１０の各部の寸法は、この実施形態にお
いて、その外形の縦寸法が９５ｍｍ、その外形の横寸法
が６５ｍｍで、開口１１の縦寸法が８５ｍｍ、開口１１
の横寸法が５５ｍｍである。従って、開口１１の外縁か
ら枠１０の外縁までの間隔、つまり枠１０の幅Ｗは５ｍ
ｍである。また、枠１０の厚さＴは、１０ｍｍである。
開口１１の外周り形成されている接触面１２の幅Ｗ
1は、０．５ｍｍで、そのさらに外周りに形成されてい
る接着面１３の幅Ｗ2は、枠幅の残りの４．５ｍｍであ
る。接触面１２と接着面１３との間の段差Ｈは、言い換
えると、接触面１２から接着面１３へ伸び、接触面１２
に対して接着面１３に段差を生じさせているけ込み面１
４の高さＨは、０．５ｍｍである。接触面１２とけ込み
面１４との角度、及び、け込み面１４と接着面１３との
角度は、いずれも９０°である。
いて、その外形の縦寸法が９５ｍｍ、その外形の横寸法
が６５ｍｍで、開口１１の縦寸法が８５ｍｍ、開口１１
の横寸法が５５ｍｍである。従って、開口１１の外縁か
ら枠１０の外縁までの間隔、つまり枠１０の幅Ｗは５ｍ
ｍである。また、枠１０の厚さＴは、１０ｍｍである。
開口１１の外周り形成されている接触面１２の幅Ｗ
1は、０．５ｍｍで、そのさらに外周りに形成されてい
る接着面１３の幅Ｗ2は、枠幅の残りの４．５ｍｍであ
る。接触面１２と接着面１３との間の段差Ｈは、言い換
えると、接触面１２から接着面１３へ伸び、接触面１２
に対して接着面１３に段差を生じさせているけ込み面１
４の高さＨは、０．５ｍｍである。接触面１２とけ込み
面１４との角度、及び、け込み面１４と接着面１３との
角度は、いずれも９０°である。
【００１６】一般的に、枠１０は、アルミ系金属製で、
その表面に黒色アルマイト処理したものが用いられてい
るが、この実施形態では、ステンレス系金属を用いてい
る。ここでは、ステンレス系金属に表面処理を施してい
ないが、光学的に必要ならば、黒染めや黒クロームなど
の黒色皮膜処理を施したものを用いても構わない。この
実施形態において、枠１０の材料としてステンレス系金
属を用いたのは、枠１０に高い剛性を持たせることによ
り、ペリクルの平面度が悪くなるのを防止できるからで
ある。
その表面に黒色アルマイト処理したものが用いられてい
るが、この実施形態では、ステンレス系金属を用いてい
る。ここでは、ステンレス系金属に表面処理を施してい
ないが、光学的に必要ならば、黒染めや黒クロームなど
の黒色皮膜処理を施したものを用いても構わない。この
実施形態において、枠１０の材料としてステンレス系金
属を用いたのは、枠１０に高い剛性を持たせることによ
り、ペリクルの平面度が悪くなるのを防止できるからで
ある。
【００１７】次に、ペリクル光学素子の作り方につい
て、図２を用いて説明する。まず、ペリクル光学素子の
枠１０とほぼ相似形で、枠１０よりも大きい金属製貼付
けホルダー５を準備する。このホルダー５は、具体的に
は、枠１に対して面積比で４倍（縦２倍、横２倍）の大
きさである。
て、図２を用いて説明する。まず、ペリクル光学素子の
枠１０とほぼ相似形で、枠１０よりも大きい金属製貼付
けホルダー５を準備する。このホルダー５は、具体的に
は、枠１に対して面積比で４倍（縦２倍、横２倍）の大
きさである。
【００１８】そして、このホルダー５に、前述した樹脂
フィルム３ａを接着剤４で仮止めする。次に、枠１０の
接着面１２にエポキシ系接着剤２を塗布して、この枠１
０をホルダー５に仮止めされている樹脂フィルム３ａ上
に置き、枠１０の上から錘６を載せる。つまり、枠１０
の上に錘６を載せることにより、樹脂フィルム３ａを中
心から外周方向へ均等に引っ張っている。この錘６は、
樹脂フィルム３ａの面圧が４０ｇ／ｃｍ2になるものを
用いる。続いて、ホルダー５、樹脂フィルム３ａ、枠１
０、錘６を、この状態に保持したまま加熱炉に入れ、こ
れらを樹脂フィルム３ａのガラス転移転以上で且つ溶融
温度未満の８０℃〜１２０℃の温度で６０分ほど熱す
る。この過程で、樹脂フィルム３ａが伸びる一方で、エ
ポキシ系接着剤２が硬化して、伸びた状態の樹脂フィル
ム３が枠１０に接着される。その後、ホルダー５、樹脂
フィルム３、枠１０等を加熱炉より取り出し、枠１０の
外形に合わせて樹脂フィルム３を切断する。
フィルム３ａを接着剤４で仮止めする。次に、枠１０の
接着面１２にエポキシ系接着剤２を塗布して、この枠１
０をホルダー５に仮止めされている樹脂フィルム３ａ上
に置き、枠１０の上から錘６を載せる。つまり、枠１０
の上に錘６を載せることにより、樹脂フィルム３ａを中
心から外周方向へ均等に引っ張っている。この錘６は、
樹脂フィルム３ａの面圧が４０ｇ／ｃｍ2になるものを
用いる。続いて、ホルダー５、樹脂フィルム３ａ、枠１
０、錘６を、この状態に保持したまま加熱炉に入れ、こ
れらを樹脂フィルム３ａのガラス転移転以上で且つ溶融
温度未満の８０℃〜１２０℃の温度で６０分ほど熱す
る。この過程で、樹脂フィルム３ａが伸びる一方で、エ
ポキシ系接着剤２が硬化して、伸びた状態の樹脂フィル
ム３が枠１０に接着される。その後、ホルダー５、樹脂
フィルム３、枠１０等を加熱炉より取り出し、枠１０の
外形に合わせて樹脂フィルム３を切断する。
【００１９】この実施形態におけるペリクル光学素子
は、ダイクロイックミラーであるので、以上の工程を終
了した後、目的の波長領域の光を反射し、残りの波長領
域の光が透過するよう、所定の物質、例えば、Ｍｇ
Ｆ2，Ａｌ2Ｏ3等を樹脂フィルム３上に蒸着させて、光
学素子を完成させる。
は、ダイクロイックミラーであるので、以上の工程を終
了した後、目的の波長領域の光を反射し、残りの波長領
域の光が透過するよう、所定の物質、例えば、Ｍｇ
Ｆ2，Ａｌ2Ｏ3等を樹脂フィルム３上に蒸着させて、光
学素子を完成させる。
【００２０】以上のように、この実施形態におけるペリ
クル光学素子は、枠１０の接触面１２と接着面１３との
間に段差があるので、接着面１３に接着剤２を多めに塗
布しても、この接着剤２が接触面１２に回り込むことを
防ぐことができる。また、接着材２を接着面１３に多め
に塗布することができることから、樹脂フィルム３ａの
外周縁部全体に接着剤２が確実に行き渡り、樹脂フィル
ム３に掛かる張力を均一にすることができる。従って、
接着剤２の塗布量を厳しく管理しなくとも、樹脂フィル
ム３に関する高い平坦性を確保することができる。
クル光学素子は、枠１０の接触面１２と接着面１３との
間に段差があるので、接着面１３に接着剤２を多めに塗
布しても、この接着剤２が接触面１２に回り込むことを
防ぐことができる。また、接着材２を接着面１３に多め
に塗布することができることから、樹脂フィルム３ａの
外周縁部全体に接着剤２が確実に行き渡り、樹脂フィル
ム３に掛かる張力を均一にすることができる。従って、
接着剤２の塗布量を厳しく管理しなくとも、樹脂フィル
ム３に関する高い平坦性を確保することができる。
【００２１】ところで、接着剤２の接触面１２への回り
込み防止に関しては、接触面１２と接着面１３との間に
段差のみならず、け込み面１４と接触面１２との角度が
９０°であることも寄与している。これは、例えば、け
込み面１４と接触面１２との角度が１５０°ぐらいの場
合、け込み面１４と樹脂フィルム３との成す角度が小さ
くなり、接着剤２が接触面１２側へ流れ易いが、この実
施形態のように、け込み面１４と接触面１２との角度が
９０°である場合には、け込み面１４と樹脂フィルム３
との成す角度が大きく、接着剤２が接触面１２側へ流れ
難くなるからである。従って、この観点から、け込み面
１４と接触面１２との角度を９０°以下にすることが好
ましい。
込み防止に関しては、接触面１２と接着面１３との間に
段差のみならず、け込み面１４と接触面１２との角度が
９０°であることも寄与している。これは、例えば、け
込み面１４と接触面１２との角度が１５０°ぐらいの場
合、け込み面１４と樹脂フィルム３との成す角度が小さ
くなり、接着剤２が接触面１２側へ流れ易いが、この実
施形態のように、け込み面１４と接触面１２との角度が
９０°である場合には、け込み面１４と樹脂フィルム３
との成す角度が大きく、接着剤２が接触面１２側へ流れ
難くなるからである。従って、この観点から、け込み面
１４と接触面１２との角度を９０°以下にすることが好
ましい。
【００２２】なお、接触面１２と接着面１３との間の段
差は、これを大きくすると、接着剤２の量をより多くす
る必要があるので、１ｍｍ以下であることが好ましい。
但し、逆に段差が小さ過ぎると、段差としての効果が無
くなることは言うまでもない。
差は、これを大きくすると、接着剤２の量をより多くす
る必要があるので、１ｍｍ以下であることが好ましい。
但し、逆に段差が小さ過ぎると、段差としての効果が無
くなることは言うまでもない。
【００２３】次に、図３を用いて、本発明に係る他の実
施形態としてのペリクル光学素子について説明する。こ
の実施形態のペリクル光学素子は、基本的には、先の実
施形態のペリクル光学素子と同じで、接着面１３ａの接
触面１２側に凹部１５を形成した点のみ異なる。この凹
部１５は、接触面１２ａの外周、言い換えると接着面１
３ａの内周の全体に形成されている。この凹部１５の大
きさは、接着面１３ａからの深さが０．５ｍｍで、幅が
１ｍｍである。但し、この凹部１５の大きさは、枠１０
ａと樹脂フィルム３との要求接着強度により定まる接着
面１３ａの大きさで決定され、接着面１３ａが大きくな
ると凹部１５の大きさも大きくする。従って、場合によ
っては、凹部１５の深さは０．５ｍｍより深いことも浅
いこともあり、また、凹部１５の幅は１ｍｍより広いこ
とも狭いこともある。
施形態としてのペリクル光学素子について説明する。こ
の実施形態のペリクル光学素子は、基本的には、先の実
施形態のペリクル光学素子と同じで、接着面１３ａの接
触面１２側に凹部１５を形成した点のみ異なる。この凹
部１５は、接触面１２ａの外周、言い換えると接着面１
３ａの内周の全体に形成されている。この凹部１５の大
きさは、接着面１３ａからの深さが０．５ｍｍで、幅が
１ｍｍである。但し、この凹部１５の大きさは、枠１０
ａと樹脂フィルム３との要求接着強度により定まる接着
面１３ａの大きさで決定され、接着面１３ａが大きくな
ると凹部１５の大きさも大きくする。従って、場合によ
っては、凹部１５の深さは０．５ｍｍより深いことも浅
いこともあり、また、凹部１５の幅は１ｍｍより広いこ
とも狭いこともある。
【００２４】このように、接着面１３ａの内周側に凹部
１５を形成することにより、この凹部１５が接着剤溜り
となるため、先の実施形態よりも、より多くの接着剤２
を用いても、樹脂フィルム３の平坦性を確保することが
できる。
１５を形成することにより、この凹部１５が接着剤溜り
となるため、先の実施形態よりも、より多くの接着剤２
を用いても、樹脂フィルム３の平坦性を確保することが
できる。
【００２５】なお、以上の各実施形態における枠の外形
及び枠の開口は、いずれも矩形状であるが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、これらの形状は、例え
ば、円や楕円であってもよい。また、以上の各実施形態
では、樹脂フィルムとして、ポリエチレンテレフタレー
トを用いたが、本発明はこれに限定されるものではな
く、例えば、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォ
ン、ポリカーボネート、ポリスチレン、ニトロセルロー
スなどを用いてもよい。但し、ペリクル光学素子は、光
学的に高い透明性が要求されるので、この観点からポリ
エチレンテレフタレートが最も好ましい。また、フィル
ムの高い平坦度を得るために、フィルムを加熱しつつフ
ィルムに張力を加えているので、ある程度以上の引っ張
り強さも要求される。従って、この観点からも、以上の
樹脂のうち、最も引っ張り強さが大きいポリエチレンテ
レフタレートが最も好ましい。さらに、本発明において
は、膜材としての樹脂フィルムの換わりに、ガラス材を
用いてもよい。
及び枠の開口は、いずれも矩形状であるが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、これらの形状は、例え
ば、円や楕円であってもよい。また、以上の各実施形態
では、樹脂フィルムとして、ポリエチレンテレフタレー
トを用いたが、本発明はこれに限定されるものではな
く、例えば、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォ
ン、ポリカーボネート、ポリスチレン、ニトロセルロー
スなどを用いてもよい。但し、ペリクル光学素子は、光
学的に高い透明性が要求されるので、この観点からポリ
エチレンテレフタレートが最も好ましい。また、フィル
ムの高い平坦度を得るために、フィルムを加熱しつつフ
ィルムに張力を加えているので、ある程度以上の引っ張
り強さも要求される。従って、この観点からも、以上の
樹脂のうち、最も引っ張り強さが大きいポリエチレンテ
レフタレートが最も好ましい。さらに、本発明において
は、膜材としての樹脂フィルムの換わりに、ガラス材を
用いてもよい。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、枠の接触面と接着面と
の間に段差があるので、接着面に接着剤を多めに塗布し
ても、この接着剤が接触面に回り込むことを防ぐことが
できる。また、接着材を接着面に多めに塗布することが
できることから、膜材の外周縁部全体に接着剤が確実に
行き渡り、膜材に掛かる張力を均一にすることができ
る。従って、接着剤の塗布量を厳しく管理しなくとも、
膜材に関する高い平坦性を確保することができる。
の間に段差があるので、接着面に接着剤を多めに塗布し
ても、この接着剤が接触面に回り込むことを防ぐことが
できる。また、接着材を接着面に多めに塗布することが
できることから、膜材の外周縁部全体に接着剤が確実に
行き渡り、膜材に掛かる張力を均一にすることができ
る。従って、接着剤の塗布量を厳しく管理しなくとも、
膜材に関する高い平坦性を確保することができる。
【図１】本発明に係る一実施形態としてのペリクル光学
素子の断面図である。
素子の断面図である。
【図２】本発明に係る一実施形態としてのペリクル光学
素子の製造過程を示す説明図である。
素子の製造過程を示す説明図である。
【図３】本発明に係る他の実施形態としてのペリクル光
学素子の断面図である。
学素子の断面図である。
【図４】従来のペリクル光学素子の断面図である。
【図５】従来のペリクル光学素子の製造過程を示す説明
図である。
図である。
２…エポキシ系樹脂、３…樹脂フィルム（張力を加える
前）、３ａ…樹脂フィルム（張力を加えた後）、５…貼
付けホルダー、６…錘、１０，１０ａ…枠、１１…開
口、１２…接触面、１３，１３ａ…接着面、１４，１４
ａ…け込み面、１５…凹部。
前）、３ａ…樹脂フィルム（張力を加えた後）、５…貼
付けホルダー、６…錘、１０，１０ａ…枠、１１…開
口、１２…接触面、１３，１３ａ…接着面、１４，１４
ａ…け込み面、１５…凹部。
Claims (3)
- 【請求項１】光透過性を有する膜材と、開口が形成され
該膜材が接着剤で貼付られている枠と、を備えているペ
リクル光学素子において、 前記枠には、前記開口の外周側に沿って、前記膜材に接
触して該膜材の平坦性を確保する接触面と、該接触面の
外周側に沿い且つ該接触面に対して段差を有し該膜部材
に対向する接着面とが、形成され、 前記接着剤は、前記枠の前記接着面と、該接着面に対向
している前記膜材の部分との間に施されていることを特
徴とするペリクル光学素子。 - 【請求項２】請求項１記載のペリクル光学素子におい
て、 前記接着面の前記開口側には、凹部が形成されているこ
とを特徴とするペリクル光学素子。 - 【請求項３】請求項１又は２記載のペリクル光学素子に
おいて、 前記接触面から前記接着面へ伸び、該接触面に対して該
接着面に段差を生じさせているけ込み面は、該接触面に
対する角度が９０°以下であることを特徴とするペリク
ル光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13483696A JPH09319069A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ペリクル光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13483696A JPH09319069A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ペリクル光学素子 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007074645A Division JP2007183675A (ja) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | ペリクル光学素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09319069A true JPH09319069A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15137606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13483696A Pending JPH09319069A (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | ペリクル光学素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09319069A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2001201845A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-07-27 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクル |
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-
1996
- 1996-05-29 JP JP13483696A patent/JPH09319069A/ja active Pending
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