JPH09313869A - 気体清浄装置 - Google Patents
気体清浄装置Info
- Publication number
- JPH09313869A JPH09313869A JP8158868A JP15886896A JPH09313869A JP H09313869 A JPH09313869 A JP H09313869A JP 8158868 A JP8158868 A JP 8158868A JP 15886896 A JP15886896 A JP 15886896A JP H09313869 A JPH09313869 A JP H09313869A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- filters
- gas
- cartridge
- outer frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 24
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 claims description 19
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 claims description 19
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 18
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 19
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-N Sulfurous acid Chemical compound OS(O)=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 239000002957 persistent organic pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000006552 photochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
の短い気体清浄装置を提供すること。 【解決手段】 汚染物質を濾過する複数のフィルタ(3
8,40,42,44)をカートリッジ(22)内に気
体の流れに対して直列に並べて収容し、当該複数のフィ
ルタ(38,40,42,44)を一体で交換可能にす
る。フィルタ(38,40,42,44)の間に、当該
フィルタ同士を良好に保持する調整部材(46,48,
50,52)を配置する。フィルタ(38,40,4
2,44)の各々は、気体の汚染物質を除去する濾過部
材(66,72)と、当該濾過部材(66,72)を支
持する外枠部材(64,70)とを有する。調整部材
(46,48,50,52)は、フィルタ(38,4
0,42,44)の外枠部材(64,70)に当接する
ように配置され、互いに当接する外枠部材(64,7
0)と調整部材(46,48,50,52)との少なく
とも一方の当接面に気密用シール材(46a,64a,
70a)を設ける。
Description
導体製造等の分野において適用される汚染物質を含まな
い清浄な気体を生成する気体清浄装置に関する。
ない清浄な空気が、医療・医薬・バイオ分野では大気中
から細菌等の汚染粒子を除去した清浄な空気が、半導体
分野では汚染粒子およびイオン性のケミカル汚染物質が
除去された清浄な気体が用いられるのが一般的である。
特に、半導体製造分野におけるケミカル汚染物質が除去
された清浄な気体を生成するために、一般に、大別して
2種類のフィルタが目的に応じて使用され、特定の物質
を対象としたフィルタが市販されている。第一の種類
は、濾材に活性炭を用いるもので、活性炭の微小な穴で
汚染物質を物理的に吸着し除去するものである。これ
は、有機汚染物質の除去に適している。第二の種類は、
濾材にイオン交換体を用いるもので、空気中にイオンの
状態で存在する汚染物質をイオン交換能をもつ物質によ
り陰イオンおよび陽イオンを選択的に吸着させる。これ
はアルカリ性または酸性の汚染物質の除去に適してい
る。
ム内の空気のケミカル汚染が問題となり各種の対策が施
されている。特に、投影露光装置の結像性能に及ぼす影
響がクローズアップされている。投影露光装置に与える
大きな影響は2つ上げられる。一つは、エキシマレーザ
光のような短波長の露光光と雰囲気中の物質、たとえば
亜硫酸等との光化学反応による新たな物質の生成であ
る。この生成物が照明光学系や投影光学系の表面に付着
し、曇りを生じさせる。その結果、照明光の透過量が減
少し、照度低下をもたらすという問題が発生する。
パターンに見られる線幅不安定性による解像度の低下で
ある。エキシマレーザ光用の投影露光装置においては、
化学増幅型フォトレジストが用いられる。このレジスト
は、光吸収率が低く高い光透過率を有するので、現像後
にレジスト断面形状がほぼ矩形になるという従来のレジ
ストでは得られない好ましい特徴がある。ところが、こ
のレジストの表面にアルカリ性物質、たとえばアンモニ
ア等が存在すると、露光によって発生する感光を促進す
る酸と前記のアルカリ性物質とが反応して、化学増幅型
フォトレジストの表層に不溶解層を生ずる。このため現
像後のレジスト断面形状が図7に示すように、略「T」
字形状となり、所望の線幅をもったレジストパターンが
得られなくなる。図7において、符号120はシリコン
ウエハ、122は被エッチング材料、124は現像後の
フォトレジスト、126は不溶解層を示す。
ンルーム内にあるケミカル汚染物質である。これを除去
するために主たる対象汚染物質とその濃度に応じて前記
2種類のフィルタから最適なフィルタを設計、製作し、
気体清浄装置に組み込み、より清浄な空気を投影露光装
置に供給している。その様子を図8に示す。図8におい
て、110は投影露光装置112を収容するチャンバ、
114及び116は気体清浄装置を構成するフィルタ・
ファン・ユニット(FFU)、118はフィルタ・ファ
ン・ユニット116の架台である。
術においては、一種類のフィルタにより対象としている
主たる汚染物質の除去はできるが、その他の汚染物質は
残留してしまう。しかも、フィルタの寿命は比較的短い
ために、取り替え頻度が多く、その都度、露光作業を停
止しなければならなかった。すなわち、露光装置におけ
る所謂ダウンタイムの増加は避けられないという問題が
あった。また、特に活性炭を用いたフィルタは、それ自
体が発塵源に成り得るため、フィルタから落下したパー
ティクル等の異物が気体清浄装置内や、露光装置が設置
されたクリーンルーム内に残ってしまう可能性がある。
ものであり、フィルタ交換の頻度が少なく、且つ交換時
間の短い気体清浄装置を提供することを目的とする。ま
た、フィルタによる発塵を良好に防止できる気体清浄装
置を提供することを他の目的とする。
に、本発明の気体清浄装置は、汚染物質を濾過する複数
のフィルタ(38,40,42,44)と;これら複数
のフィルタ(38,40,42,44)を気体の流れに
対して直列に並べて収容し、当該複数のフィルタ(3
8,40,42,44)を一体で交換可能に保持するカ
ートリッジ(22)と;複数のフィルタ(38,40,
42,44)の間にそれぞれ配置され、当該フィルタ同
士を良好に保持する調整部材(46,48,50,5
2)とを備えている。更に、複数のフィルタ(38,4
0,42,44)の各々は、気体の汚染物質を除去する
濾過部材(66,72)と、当該濾過部材(66,7
2)を支持する外枠部材(64,70)とを有する。ま
た、調整部材(46,48,50,52)は、フィルタ
(38,40,42,44)の外枠部材(64,70)
に当接するように配置され、互いに当接する外枠部材
(64,70)と調整部材(46,48,50,52)
との少なくとも一方の当接面に気密用シール材(46
a,64a,70a)を設けている。
しくは、複数のフィルタ(38,40,42,44)の
外枠部材(64,70)を調整部材(46,48,5
0,52)側に押し付ける押し付け部材(60,58
a,58b,58c)をカートリッジ(22)に取り付
ける。また、カートリッジ(22)の吸気側と排気側の
少なくとも一方に、フィルタ(38,40,42,4
4)から生じる異物の飛散を防止する発塵防止フィルタ
(24,26)を設ける。このような発塵防止フィルタ
としては、カートリッジ(22)の吸気側及び排気側を
塞ぐように、カートリッジ(22)に直接取り付けられ
た発塵防止フィルタ(68)とすることができる。
ッジ(80a,80b)を並列に複数配置すると共に、
当該複数のカートリッジ(80a,80b)を選択的に
使用するように、気体の流路を複数のカートリッジ(8
0a,80b)に対して変更する流路切換手段(86,
88)を備える。
る一枚のフィルタを収納するのが一般的であるが、本発
明では、カートリッジ(22)中に汚染物質の種類と濃
度に応じて、適した濾材の種類と厚さを選定して作られ
た複数のフィルタ(38,40,42,44)を収納可
能であるため、複数の汚染物質を同時に除去できる。ま
た、調整部材(46,48,50,52)とフィルタ
(38,40,42,44)の外枠部材(64,70)
との少なくとも一方の当接面に気密用シール材(46
a,64a,70a)を設けているため、清浄化される
べき気体は必ずフィルタ(38,40,42,44)の
濾過部材(66,72)を通過することになる。すなわ
ち、各フィルタ(38,40,42,44)のサイズの
違いが調整部材(46,48,50,52)によって吸
収(調整)される。その結果、市販のフィルタの使用が
可能となり、気体清浄装置の製作において量産が可能と
なる。
ることにより、厚さに比例して定まる濾材の寿命を各フ
ィルタ(38,40,42,44)とも同程度になるよ
うに設計すれば、全てのフィルタ(38,40,42,
44)の交換時期を一致させることができ、全てのフィ
ルタを無駄なく効率良く使用することができる。更に、
カートリッジ(22)の交換により、複数のフィルタ
(38,40,42,44)を一度に交換できるため、
清浄化された空気が供給されるべき装置(露光装置等)
の停止時間(ダウンタイム)が短くなり、生産性の向上
に寄与することになる。
b,58c)によって、複数のフィルタ(38,40,
42,44)の外枠部材(64,70)を調整部材(4
6,48,50,52)側に押し付けることにより、フ
ィルタ(38,40,42,44)をカートリッジ(2
2)内に確実に保持することができる。また、カートリ
ッジ(22)の吸気側と排気側に発塵防止フィルタ(2
4,26)を設けた場合には、カートリッジ(22)交
換時に、カートリッジ(22)内のパーティクル(微粒
子またはゴミ)の落下または飛散の恐れがなくなる。特
に、カートリッジ(22)の吸気側及び排気側を塞ぐよ
うに、発塵防止フィルタ(68)をカートリッジ(2
2)に直接取り付ければ、カートリッジ(22)を交換
することにより、古いカートリッジ(22)に存在して
いたパーティクル等の異物は、そのカートリッジと共に
除去されることになる。
並列に複数配置した場合には、流路切換手段(86,8
8)によって気体の流路を変えることにより、当該複数
のカートリッジ(80a,80b)を選択的に使用する
ことができる。その結果、フィルタの交換は、フィルタ
・カートリッジ(80a,80b)の切り換え、すなわ
ち空気の流路の切り換えのみで済むので、清浄化された
空気が供給されるべき装置(露光装置等)のダウンタイ
ムが極めてゼロに近くなる。
例に基づいて説明する。なお、本実施例は、半導体デバ
イスの製造に用いられる投影露光装置用の気体清浄装置
に本発明を適用したものである。
る。図1は、投影露光装置に適用した本実施例による気
体清浄装置(FFU)の概略構成を示す。また、図2は
本実施例の気体清浄装置の詳細な構成を示す。本実施例
の気体清浄装置は、チャンバー10内に収容された投影
露光装置12の照明系14に供給される空調用の空気を
清浄化するものであり、必要な構成部品はチャンバー1
0の外部に配置された筐体16内に収容されている。気
体清浄装置(筐体16)は、4つのキャスター18によ
って移動可能に構成され、チャンバ10に隣接して設置
することも、またクリーンルーム内の所定の場所や別室
へ移動することもできる。また、筐体16は、固定ジャ
ッキ56(図2参照)によって床に固定可能となってい
る。筐体16の上部には、操作パネル20が設けられ、
オペレータが所定の操作を行うようになっている。ま
た、筐体16の下部には、空気取り入れ口28が設けら
れ、外気を筐体16内部に取り入れるようになってい
る。筐体16は、上下が開放された四角筒状に成形され
ている。なお、筐体16の形状は四角筒状に限らず、円
筒状に成形することも可能である。
カルフィルタ38、40、42、44(図2参照)を備
えたフィルタ・カートリッジ22が出し入れ可能に収容
されている。筐体16の正面には、フィルタ・カートリ
ッジ22を出し入れするためのカートリッジ交換扉(不
図示)が設けられている。フィルタ・カートリッジ22
の上部及び下部には、発塵防止フィルタ24、26が設
けられており、各ケミカルフィルタ(38,40,4
2,44)からのパーティクルの落下、飛散を防止し、
フィルタ・カートリッジ22の交換時の振動や衝撃によ
る発塵を防止している。発塵防止フィルタ24,26と
しては、不織布やULPAフィルタを用いることができ
る。
ルタ・カートリッジ22を通過した清浄な空気を照明系
14に供給するホース(図示せず)に接続される3本の
バルブ機構30が設けられている。各バルブ機構30
は、気体清浄装置から供給される空気の流量を計測する
流量計32と、ボールバルブ34と、ホースへの接続部
36とから構成されている。発塵防止フィルタ26の下
方には、気体取り入れ口28から取り込まれた空気をフ
ィルタ・カートリッジ22側に強制的に送り込む軸流フ
ァン54が配置されている。軸流ファン54によって送
り込まれた空気は、発塵防止フィルタ26、フィルタ・
カートリッジ22及び発塵防止フィルタ24を通ってバ
ルブ機構30に達する。
について、図2に加えて図3を参照して説明する。フィ
ルタ・カートリッジ22内には、複数の異なるタイプの
ケミカルフィルタを直列に収容され、各フィルタの間に
は、スペーサ46,48,50,52が挿入されてい
る。フィルタ・カートリッジ22に収容するフィルタの
数は、実施例のように4枚に限らず、その厚さ等に応じ
て3枚や5枚にすることもできる。また、ケミカルフィ
ルタ38,40,42,44として市販のものを使用で
きるように設計されている。各ケミカルフィルタ38,
40,42,44は、汚染物質の種類と濃度に応じて、
それぞれ適した濾材の種類と厚さを選定して作られてい
る。
ルタ38と40,40と42,42と44との間にそれ
ぞれ配置され、これらのフィルタの間隔を保つ機能と同
時にフィルタ38,40,42,44の外枠(64,7
0)の大きさに合わせて加工が施され、市販品の互換性
を保つ機能を有している。すなわち、仕様の異なるフィ
ルタを組み合わせて使用した場合にも、各々のフィルタ
同士が良好に重ね合わせられるようになっている。スペ
ーサ46,48,50,52の高さ(厚さ)は、フィル
タ・カートリッジ22内のフィルタ枚数および各フィル
タの厚さの大小によって変わることになる。すなわち、
フィルタ・カートリッジ22内のフィルタ(38,4
0,42,44)の組合せは、フィルタ・カートリッジ
22の高さ方向の寸法の許す限り自由に設計、選択でき
る。各ケミカルフィルタ38,40,42,44として
は、単一汚染物質を除去するフィルタとすることもでき
るが、複数の汚染物質が除去可能な濾材を組み合わせた
複合フィルタを使用することもできる。
のフィルタ(38,40)間を気密状態に保つようにな
っている。すなわち、スペーサ46は、ケミカルフィル
タ38の外枠と、ケミカルフィルタ40の外枠70とに
密着して、全ての空気が両フィルタ38,40のフィル
タ部66,72(濾材)のみを通過するように設計され
ている。なお、図4は、フィルタ・カートリッジ22の
上部に配置された発塵防止フィルタ24(図2参照)に
代えて、フィルタ・カートリッジ22の上部に固定され
た他の発塵防止フィルタ68を使用した例を示す。この
ように、発塵防止フィルタは、フィルタ・カートリッジ
22の上下の開口部に直接付けても良く、また、図2に
示すように、フィルタ・カートリッジ22の外部に配置
しても良い。発塵防止フィルタ68をフィルタ・カート
リッジ22の上下の開口部を覆うように設けた場合に
は、フィルタ38,40,42,44から落下した異物
がフィルタ・カートリッジ22の外部に飛散するのを防
止することができる。これにより、気体清浄装置内のみ
ならず、クリーンルーム内での発塵を防止することがで
きる。
状に成形され、基部46bとその上面に塗布されたシー
ル材46aと、中央の中空部46cとから構成される。
図4にも示すように、スペーサ46のシール材46a
は、フィルタ38の外枠64の下面に接触し、フィルタ
40の外枠70の上表面に形成されたシール材70aと
接触する。これによって、フィルタ・カートリッジ22
内でのフィルタ40とフィルタ38との気密状態が保た
れ、フィルタ40のフィルタ部(濾材)72を通過した
空気は外部に漏れることなく全てフィルタ38のフィル
タ部66を通過することになる。なお、図4において
は、フィルタ38,40とスペーサ46との関係につい
てのみ示しているが、フィルタ40,42とスペーサ4
8、フィルタ42,44とスペーサ50とについても同
様に構成されている。すなわち、各フィルタ38,4
0,42,44のフィルタ部(66,72)は、それぞ
れスペーサ46,48,50,52によって気密状態を
保たれ、従って、軸流ファン54から送り込まれた空気
は、全て各フィルタのフィルタ部(濾材)を通過するこ
とになる。
ートリッジ22内の最上部のフィルタ38の外枠64の
四隅上には、当て板60が配置され、フィルタ・カート
リッジ22の上面四隅の対応する位置に挿通した締め付
けネジ58a,58b,58c,58d(図示せず)に
よって下方に押し付けられるようになっている。すなわ
ち、4つの当て板60を介して、締め付けネジ58a,
58b,58c,58dによってフィルタ38の外枠6
4に対して押圧力を加えることにより、4枚のフィルタ
38,40,42,44をフィルタ・カートリッジ22
内に固定する。フィルタ・カートリッジ22の両側面に
は、縦長の孔62が形成されており、フィルタ・カート
リッジ22の交換時に筐体16から引き出しやすいよう
に配慮されている。なお、図3では、正面の孔62のみ
を示すが、その裏面にも同様の孔が形成されている。ま
た、フィルタ・カートリッジ22の取り扱いを容易にす
るために、取っ手を設ける等の他の手段を講じることも
できる。
装置においては、複数のフィルタ38,40,42,4
4がカートリッジ22内に直列に設けてあるので、従
来、未処理または残留せざるを得なかった汚染物質をほ
ぼ完全に除去することが可能となる。その結果、例え
ば、投影露光装置においては、結像性能に影響を与える
レジストの線幅不安定性および照明系等での照度低下を
防止する効果がある。また、各フィルタ38,40,4
2,44のサイズの違いをスペーサ46,48,50,
52によって吸収(調整)しているため、市販のフィル
タの使用が容易で、気体清浄装置の製作において量産が
可能となる。また、汚染物質の種類と濃度を予め計測す
ることにより、厚さに比例して定まる濾材の寿命を各フ
ィルタ(38,40,42,44)とも同程度になるよ
うに設計できる。これにより、全てのフィルタ38,4
0,42,44の交換時期が同時に起こり、全てのフィ
ルタを無駄なく使用することができる。更に、本実施例
においては、複数のフィルタ38,40,42,44を
カートリッジ方式で一度に交換できるため、清浄化され
た空気が供給されるべき装置(露光装置等)のダウンタ
イムが短くなり、生産性の向上に貢献する効果がある。
清浄装置の内部構成を示す。この装置は、筐体78内に
2つのフィルタ・カートリッジ80a,80bを横並び
(並列)に収容したものである。筐体78の上方には、
フィルタ・カートリッジ80a,80bを通過した清浄
化された空気を図示しない気体供給ホースに連結する3
本のホース連結部84が設けられている。また、筐体7
8の正面下方には、外気を筐体78に取り入れるための
気体取り入れ口92が設けられている。筐体78の底面
には、筐体78を移動可能にする4つのキャスタ79が
設けられている。
0bは、それぞれ図2に示した第1実施例のフィルタ・
カートリッジ22と同じ構成である。各フィルタ・カー
トリッジ80a,80bの上方には、発塵防止フィルタ
82a,82bが配置されている。また、各フィルタ・
カートリッジ80a,80bの下方にも発塵防止フィル
タ83a,83bが配置されている。フィルタ・カート
リッジ80a,80bの上部には、スライド式のシャッ
タ86が設けられており、どちらのフィルタ・カートリ
ッジから供給される空気をホース連結部84に導くかを
切り替えるようになっている。各フィルタ・カートリッ
ジ80a,80bの下方には、それぞれ軸流ファン90
a,90bが配置されており、気体取り入れ口92から
取り入れられた空気をフィルタ・カートリッジ80a,
80bにそれぞれ強制的に送り込むようになっている。
軸流ファン90a,90bの上方には、スライド式のシ
ャッタ88が設けられており、2つのフィルタ・カート
リッジ80a,80bの内のどちらのフィルタ・カート
リッジに空気を送り込むかを切り替えるようになってい
る。
フィルタ・カートリッジ80aの流路を通るように選択
されたときには、シャッタ86,88によってフィルタ
・カートリッジ80bの流路を閉じる。これにより、気
体取り入れ口92から入ってきた空気は軸流ファン90
a、発塵防止フィルタ83a、フィルタ・カートリッジ
80a、発塵防止フィルタ82aを経て、ホース連結部
84を介して清浄気体取り出しホースに達する。一方、
フィルタ・カートリッジ80aの交換時期となった等の
場合には、未使用のフィルタ・カートリッジ80bを使
用するため、シャッタ86,88をスライドさせて、フ
ィルタ・カートリッジ80aの流路を閉じる。気体取り
入れ口92から入ってくる空気は、軸流ファン90b、
発塵防止フィルタ83b、フィルタ・カートリッジ80
b、発塵防止フィルタ82bを介して、ホース連結部8
4に達する。
限らず、回転式、ロールブラインド式あるいは複数の羽
を並べたブレード式等を採用してもよい。また、フィル
タ・カートリッジは2台に限らず、3台以上を一つの筐
体78内に収納することもできる。さらに、各フィルタ
・カートリッジに収納されるフィルタの種類も同一であ
る必要はなく、汚染物質の種類、濃度、フィルタの寿命
を勘案して各々異なるフィルタを使用することができ
る。
・カートリッジ80a,80bを並列に設けているた
め、フィルタの交換はフィルタ・カートリッジ80a,
80bの切り換え、すなわち空気の流路の切り換えのみ
で済むので、ダウンタイムが極めてゼロに近くなる。
が、本発明はこの様な実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された要旨を逸脱しない範囲
で変更可能である。すなわち、本発明による気体清浄装
置は、半導体製造分野に限られず、清浄な気体を必要と
する原子力分野や医療・医薬・バイオ分野あるいは食品
分野にも適用可能である。
実施例にかかる気体清浄装置(FFU)の使用状態を示
す概略図である。
部構成を示す正面図(一部断面)である。
るフィルタ・カートリッジの内部構造を示す斜視図であ
る。
である。
に用いられるスペーサの構成を示す斜視図である。
装置の構成を示す概略図である。
概念図である。
・・発塵防止フィルタ 38,40,42,44・・・ケミカルフィルタ 46,48,50,52・・・スペーサ 46a,64a,70a・・・シール材 86,88・・・シャッタ
Claims (5)
- 【請求項1】気体中の汚染物質を除去する気体清浄装置
において、 前記汚染物質を濾過する複数のフィルタと;前記複数の
フィルタを前記気体の流れに対して直列に並べて収容
し、当該複数のフィルタを一体で交換可能に保持するカ
ートリッジと;前記複数のフィルタの間にそれぞれ配置
され、当該フィルタ同士を良好に保持する調整部材とを
備え、 前記複数のフィルタの各々は、前記気体の汚染物質を除
去する濾過部材と、当該濾過部材を支持する外枠部材と
を有し、 前記調整部材は、前記フィルタの外枠部材に当接するよ
うに配置され、 互いに当接する前記外枠部材と前記調整部材との少なく
とも一方の当接面に気密用シール材を設けたことを特徴
とする気体清浄装置。 - 【請求項2】前記カートリッジに設けられ、前記複数の
フィルタの外枠部材を前記調整部材側に押し付ける押し
付け部材を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載
の気体清浄装置。 - 【請求項3】前記カートリッジの吸気側と排気側の少な
くとも一方に、前記フィルタから生じる異物の飛散を防
止する発塵防止フィルタを更に備えたことを特徴とする
請求項1に記載の気体清浄装置。 - 【請求項4】前記発塵防止フィルタは、前記カートリッ
ジの吸気側及び排気側を塞ぐように、前記カートリッジ
に直接取り付けられていることを特徴とする請求項3に
記載の気体清浄装置。 - 【請求項5】前記カートリッジを並列に複数配置すると
共に、 当該複数のカートリッジを選択的に使用するように、前
記気体の流路を前記複数のカートリッジに対して変更す
る流路切換手段を更に備えたことを特徴とする請求項1
に記載の気体清浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15886896A JP3856497B2 (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 気体清浄装置及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15886896A JP3856497B2 (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 気体清浄装置及び露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09313869A true JPH09313869A (ja) | 1997-12-09 |
JP3856497B2 JP3856497B2 (ja) | 2006-12-13 |
Family
ID=15681167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15886896A Expired - Lifetime JP3856497B2 (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | 気体清浄装置及び露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3856497B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020071592A (ko) * | 2001-03-07 | 2002-09-13 | 주식회사 카보텍 | 에틸렌 가스 및 이산화탄소 제거 방법 및 제거 장치 |
KR100438486B1 (ko) * | 2001-03-12 | 2004-07-07 | 주식회사환경과생명 | 카트리지 형태의 활성탄섬유 및 첨착활성탄섬유를 이용한산업악취 제거장치 |
JP2005161214A (ja) * | 2003-12-03 | 2005-06-23 | Taikisha Ltd | 電子製品製造設備 |
JP2006059673A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Victor Co Of Japan Ltd | 燃料電池駆動装置 |
JP2007198666A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Shimizu Corp | ケミカルフィルタユニットおよびクリーンルームの空調システム |
CN107308745A (zh) * | 2016-04-26 | 2017-11-03 | 兰州蓝星纤维有限公司 | 一种连续清理碳化炉排气通道内废固物的装置及使用方法 |
CN110314456A (zh) * | 2019-07-09 | 2019-10-11 | 江苏中海华核环保有限公司 | 用于放射性废树脂处理后的排气的高效过滤装置 |
CN110600975A (zh) * | 2019-09-06 | 2019-12-20 | 南京罗默激光科技有限公司 | 一种固体激光器用空气净化装置及固体激光器 |
KR102614282B1 (ko) * | 2023-04-06 | 2023-12-15 | (주) 세라컴 | 흡착필터 캐닝 어셈블리 조립 구조체 및 이를 구비하는 휘발성유기화합물 처리 시스템 |
-
1996
- 1996-05-30 JP JP15886896A patent/JP3856497B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020071592A (ko) * | 2001-03-07 | 2002-09-13 | 주식회사 카보텍 | 에틸렌 가스 및 이산화탄소 제거 방법 및 제거 장치 |
KR100438486B1 (ko) * | 2001-03-12 | 2004-07-07 | 주식회사환경과생명 | 카트리지 형태의 활성탄섬유 및 첨착활성탄섬유를 이용한산업악취 제거장치 |
JP2005161214A (ja) * | 2003-12-03 | 2005-06-23 | Taikisha Ltd | 電子製品製造設備 |
JP4557533B2 (ja) * | 2003-12-03 | 2010-10-06 | 株式会社大気社 | 電子製品製造設備 |
JP2006059673A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Victor Co Of Japan Ltd | 燃料電池駆動装置 |
JP4534661B2 (ja) * | 2004-08-20 | 2010-09-01 | 日本ビクター株式会社 | 燃料電池駆動装置 |
JP2007198666A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Shimizu Corp | ケミカルフィルタユニットおよびクリーンルームの空調システム |
CN107308745A (zh) * | 2016-04-26 | 2017-11-03 | 兰州蓝星纤维有限公司 | 一种连续清理碳化炉排气通道内废固物的装置及使用方法 |
CN110314456A (zh) * | 2019-07-09 | 2019-10-11 | 江苏中海华核环保有限公司 | 用于放射性废树脂处理后的排气的高效过滤装置 |
CN110600975A (zh) * | 2019-09-06 | 2019-12-20 | 南京罗默激光科技有限公司 | 一种固体激光器用空气净化装置及固体激光器 |
KR102614282B1 (ko) * | 2023-04-06 | 2023-12-15 | (주) 세라컴 | 흡착필터 캐닝 어셈블리 조립 구조체 및 이를 구비하는 휘발성유기화합물 처리 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3856497B2 (ja) | 2006-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1866094B1 (en) | Environmental control in a reticle smif pod | |
JP3856497B2 (ja) | 気体清浄装置及び露光装置 | |
JP2003151892A (ja) | 半導体製造装置 | |
JPH10296042A (ja) | クリーンルームにおける気体清浄方法及びその装置 | |
EP0748990B1 (en) | Storehouse for use in storage of clean materials | |
JPH08168628A (ja) | 多機能エアフィルター及び該フィルターが組込まれた空気循環式クリーンユニット | |
TWI417130B (zh) | 過濾系統 | |
JP3415730B2 (ja) | ガス状不純物処理システム及び粒子除去フィルタ | |
JP3489891B2 (ja) | 多機能エアフィルター及び該フィルターが組込まれた空気循環式クリーンユニット | |
TW201300161A (zh) | 過濾器箱、過濾器裝置、及曝光裝置 | |
JPH09275054A (ja) | 半導体製造装置 | |
WO2002053267A1 (fr) | Element de filtre de ventilateur, dispositif d'exposition et leur procede de fabrication | |
JP2006288938A (ja) | 化学フィルター及び化学フィルターを有するファンフィルターユニット | |
JPH109661A (ja) | 空気浄化装置 | |
JP5153979B2 (ja) | 光触媒ユニット | |
TW201206549A (en) | Filter box, exposure device, and device production method | |
JP5491752B2 (ja) | 有機酸や酸性ガス除去装置 | |
KR101174922B1 (ko) | 반도체 또는 디스플레이 제조용 공조시스템 및 상기공조시스템에 구비되는 내기필터유닛 | |
JP2004190892A (ja) | 流体浄化装置 | |
JP2003111825A (ja) | 空気清浄装置並びに光触媒ユニット | |
JP4388734B2 (ja) | 空気清浄装置並びに光触媒ユニット | |
JPH09220431A (ja) | ガス状不純物の除去装置および空気清浄システム | |
KR20040107953A (ko) | 공기 여과 장치 | |
JPH09180974A (ja) | エアフィルタを備えた基板処理装置 | |
JP3552140B2 (ja) | 気体の清浄化方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050614 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050811 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051226 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060227 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060912 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090922 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160922 Year of fee payment: 10 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |