JPH0930830A - 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置 - Google Patents
光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置Info
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- JPH0930830A JPH0930830A JP18518195A JP18518195A JPH0930830A JP H0930830 A JPH0930830 A JP H0930830A JP 18518195 A JP18518195 A JP 18518195A JP 18518195 A JP18518195 A JP 18518195A JP H0930830 A JPH0930830 A JP H0930830A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C11/00—Multi-cellular glass ; Porous or hollow glass or glass particles
- C03C11/007—Foam glass, e.g. obtained by incorporating a blowing agent and heating
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高品質の多孔質ガラス母材を安定して製造で
きる光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置を提供す
る。 【解決手段】 コアバーナとクラッドバーナバーナとを
含む平面を横切る気流の流れを遮る隔壁２１を容器１内
に設ける。
きる光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置を提供す
る。 【解決手段】 コアバーナとクラッドバーナバーナとを
含む平面を横切る気流の流れを遮る隔壁２１を容器１内
に設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバ用多孔質
ガラス母材製造装置に関するものであり、特に、気相軸
付ＣＶＤ法（ＶＡＤ法）などで光ファイバ用多孔質母材
を合成する場合に該多孔質ガラス母材の品質を向上させ
るのに好適な光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置に
関するものである。
ガラス母材製造装置に関するものであり、特に、気相軸
付ＣＶＤ法（ＶＡＤ法）などで光ファイバ用多孔質母材
を合成する場合に該多孔質ガラス母材の品質を向上させ
るのに好適な光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】コア及びクラッドからなる光ファイバ
は、光ファイバ用多孔質ガラス母材（スートプリフォー
ム）を脱水し焼結して透明ガラス化した光ファイバ用ガ
ラス母材（プリフォーム）を線引きして製造される。
は、光ファイバ用多孔質ガラス母材（スートプリフォー
ム）を脱水し焼結して透明ガラス化した光ファイバ用ガ
ラス母材（プリフォーム）を線引きして製造される。
【０００３】このような光ファイバ用多孔質母材を製造
する代表的な方法としては、外付ＣＶＤ法（ＯＶＤ法）
と、気相軸付ＣＶＤ法（ＶＡＤ法）とが知られている。
する代表的な方法としては、外付ＣＶＤ法（ＯＶＤ法）
と、気相軸付ＣＶＤ法（ＶＡＤ法）とが知られている。
【０００４】これらいずれの製造方法においても、一般
的に、酸水素バーナを用いて、原料ガス、例えばＳｉＣ
ｌ4 ，ＧｅＣｌ4 の蒸気を酸水素火炎中で加水分解し
て、ＳｉＯ2 ，ＧｅＯ2 のガラス微粒子を形成し、この
ガラス微粒子をターゲットに吹き付け堆積させて多孔質
ガラス母材を得る。
的に、酸水素バーナを用いて、原料ガス、例えばＳｉＣ
ｌ4 ，ＧｅＣｌ4 の蒸気を酸水素火炎中で加水分解し
て、ＳｉＯ2 ，ＧｅＯ2 のガラス微粒子を形成し、この
ガラス微粒子をターゲットに吹き付け堆積させて多孔質
ガラス母材を得る。
【０００５】図１２は、気相軸付ＣＶＤ法による従来の
光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の構造を示した
ものである。該光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置
は、ベルジャと呼ばれる上部が開口され下部が閉塞され
ている容器１の開口部２からターゲットとしての種棒３
が昇降自在に垂下されている。最初はこの種棒３の先端
にコアバーナ４とクラッドバーナ５が対向され、コアバ
ーナ４からのコア部形成用火炎６とクラッドバーナ５か
らのクラッド部形成用火炎７中で形成されたガラス微粒
子がターゲットとしての該種棒３の先端に堆積されて多
孔質ガラス母材８が形成される。この多孔質ガラス母材
８が安定に形成された後は、該多孔質ガラス母材８の先
端にコアバーナ４とクラッドバーナ５が対向され、該多
孔質ガラス母材８をターゲットとしてその先端にガラス
微粒子が堆積されて該多孔質ガラス母材８が成長する。
コアバーナ４とクラッドバーナ５が存在する位置に対し
て多孔質ガラス母材８を間にして反対側の容器１の側面
に排気管９が設けられている。
光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の構造を示した
ものである。該光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置
は、ベルジャと呼ばれる上部が開口され下部が閉塞され
ている容器１の開口部２からターゲットとしての種棒３
が昇降自在に垂下されている。最初はこの種棒３の先端
にコアバーナ４とクラッドバーナ５が対向され、コアバ
ーナ４からのコア部形成用火炎６とクラッドバーナ５か
らのクラッド部形成用火炎７中で形成されたガラス微粒
子がターゲットとしての該種棒３の先端に堆積されて多
孔質ガラス母材８が形成される。この多孔質ガラス母材
８が安定に形成された後は、該多孔質ガラス母材８の先
端にコアバーナ４とクラッドバーナ５が対向され、該多
孔質ガラス母材８をターゲットとしてその先端にガラス
微粒子が堆積されて該多孔質ガラス母材８が成長する。
コアバーナ４とクラッドバーナ５が存在する位置に対し
て多孔質ガラス母材８を間にして反対側の容器１の側面
に排気管９が設けられている。
【０００６】このような光ファイバ用多孔質ガラス母材
製造装置では、容器１内に挿入された種棒３を回転させ
つつ、且つ容器１の上部の給気口１ａから空気等のパー
ジ用ガスを供給させつつ多孔質ガラス母材８をその成長
につれて上昇させていく。この多孔質ガラス母材８の形
成のために、該多孔質ガラス母材８の下部中心部のコア
形成部に向けてコアバーナ４からコア部形成用火炎６を
吹き付け、このコア形成部の外側に位置する多孔質ガラ
ス母材８の下部側面のクラッド形成部に向けてクラッド
バーナ５からクラッド部形成用火炎７を吹き付ける。
製造装置では、容器１内に挿入された種棒３を回転させ
つつ、且つ容器１の上部の給気口１ａから空気等のパー
ジ用ガスを供給させつつ多孔質ガラス母材８をその成長
につれて上昇させていく。この多孔質ガラス母材８の形
成のために、該多孔質ガラス母材８の下部中心部のコア
形成部に向けてコアバーナ４からコア部形成用火炎６を
吹き付け、このコア形成部の外側に位置する多孔質ガラ
ス母材８の下部側面のクラッド形成部に向けてクラッド
バーナ５からクラッド部形成用火炎７を吹き付ける。
【０００７】クラッド部形成用火炎７中では、アルゴン
ガス（Ａｒ），ＳｉＣｌ4 ，水素ガス（Ｈ2 ）及び酸素
ガス（Ｏ2 ）による火炎加水分解によってクラッド部形
成用のガラス微粒子が形成される。コア部形成用火炎６
中では、クラッド部形成用火炎７で形成されるクラッド
部形成用のガラス微粒子と同じガラス微粒子に、コア形
成部の屈折率を高めるためのドーパント、例えばＧｅＯ
2 などを加えたガラス微粒子が形成される。ターゲット
に付着しなかったガラス微粒子は排気管９からスクラバ
ー（図示せず）に排気される。
ガス（Ａｒ），ＳｉＣｌ4 ，水素ガス（Ｈ2 ）及び酸素
ガス（Ｏ2 ）による火炎加水分解によってクラッド部形
成用のガラス微粒子が形成される。コア部形成用火炎６
中では、クラッド部形成用火炎７で形成されるクラッド
部形成用のガラス微粒子と同じガラス微粒子に、コア形
成部の屈折率を高めるためのドーパント、例えばＧｅＯ
2 などを加えたガラス微粒子が形成される。ターゲット
に付着しなかったガラス微粒子は排気管９からスクラバ
ー（図示せず）に排気される。
【０００８】このような多孔質ガラス母材８の製造時
に、ターゲットである該多孔質ガラス母材８の先端に付
着するガラス微粒子の量及びその付着分布は、バーナ
４，５から噴出される火炎６，７の形状及びガラス微粒
子の流れの状態（以下、これらを形状のプロファイルと
いう）、ターゲットの表面の温度など様々な要因で変化
する。
に、ターゲットである該多孔質ガラス母材８の先端に付
着するガラス微粒子の量及びその付着分布は、バーナ
４，５から噴出される火炎６，７の形状及びガラス微粒
子の流れの状態（以下、これらを形状のプロファイルと
いう）、ターゲットの表面の温度など様々な要因で変化
する。
【０００９】特に、火炎６，７の揺らぎ、及び火炎６，
７の位置の微妙な変化によって光ファイバの屈折率分布
が変化するので、多孔質ガラス母材８の品質が問題にな
る。
７の位置の微妙な変化によって光ファイバの屈折率分布
が変化するので、多孔質ガラス母材８の品質が問題にな
る。
【００１０】このような問題を解決する方法としては、
ターゲットの形状制御や、ターゲットのガラス微粒子堆
積面の温度分布の制御によって、合成される多孔質ガラ
ス母材８の品質の安定化を図ってきているが、これらの
形状，温度分布を決定する因子としては、ある特定的な
火炎ガス条件における火炎６，７の位置、またはその形
状、変動の大きさがある。
ターゲットの形状制御や、ターゲットのガラス微粒子堆
積面の温度分布の制御によって、合成される多孔質ガラ
ス母材８の品質の安定化を図ってきているが、これらの
形状，温度分布を決定する因子としては、ある特定的な
火炎ガス条件における火炎６，７の位置、またはその形
状、変動の大きさがある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、特定的な条
件における上記制御要因のみを多孔質ガラス母材の製造
に適用したのでは、種々多様に変化する実際の多孔質ガ
ラス母材の製造には不十分である。
件における上記制御要因のみを多孔質ガラス母材の製造
に適用したのでは、種々多様に変化する実際の多孔質ガ
ラス母材の製造には不十分である。
【００１２】その理由は、多孔質ガラス母材を製造中の
種々の気流の変化によって１つの多孔質ガラス母材の製
造中でも時間経過とともに変動が生じているからであ
る。このような変動は再現性がなく不規則である。
種々の気流の変化によって１つの多孔質ガラス母材の製
造中でも時間経過とともに変動が生じているからであ
る。このような変動は再現性がなく不規則である。
【００１３】その結果、屈折率分布が長手方向で変化
し、高品質の光ファイバを安定して製造することが難し
くなっている。
し、高品質の光ファイバを安定して製造することが難し
くなっている。
【００１４】本発明の目的は、高品質の多孔質ガラス母
材を安定して製造できる光ファイバ用多孔質ガラス母材
製造装置を提供することにある。
材を安定して製造できる光ファイバ用多孔質ガラス母材
製造装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、容器内で上下
に並ぶコアバーナとクラッドバーナバーナからの火炎を
ターゲットに当てて光ファイバ用多孔質ガラス母材を製
造する光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置を改良の
対象としている。
に並ぶコアバーナとクラッドバーナバーナからの火炎を
ターゲットに当てて光ファイバ用多孔質ガラス母材を製
造する光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置を改良の
対象としている。
【００１６】本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス母
材製造装置においては、コアバーナとクラッドバーナバ
ーナとを含む平面を横切る気流の流れを遮る隔壁が容器
内に設けられていることを特徴とする。
材製造装置においては、コアバーナとクラッドバーナバ
ーナとを含む平面を横切る気流の流れを遮る隔壁が容器
内に設けられていることを特徴とする。
【００１７】このような隔壁を容器内に設けると、両バ
ーナを含む平面を横切る気流の流れを防止できる。その
結果、火炎が両バーナを含む平面の両側に揺れるのを低
減でき、多孔質ガラス母材の屈折率分布の安定性を向上
でき、また多孔質ガラス母材の製造速度も向上させるこ
とができる。
ーナを含む平面を横切る気流の流れを防止できる。その
結果、火炎が両バーナを含む平面の両側に揺れるのを低
減でき、多孔質ガラス母材の屈折率分布の安定性を向上
でき、また多孔質ガラス母材の製造速度も向上させるこ
とができる。
【００１８】この場合、隔壁は、その先端をターゲット
に対して接近・離間させ得るように移動型にすることが
好ましい。
に対して接近・離間させ得るように移動型にすることが
好ましい。
【００１９】このようにすると、隔壁の先端を、合成初
期にはターゲットである種棒に接近させることができ、
その結果、火炎が両バーナを含む平面の両側に揺れるの
を低減できるため、初期の多孔質ガラス母材の合成速度
が向上し、立ち上げ時間を低減させることができる。ま
た、該隔壁は多孔質ガラス母材の成長につれて後退させ
ることができ、従って最適な間隔で該隔壁を配置でき、
多孔質ガラス母材の成長に合わせて効果的に気流の流れ
を制御することができる。
期にはターゲットである種棒に接近させることができ、
その結果、火炎が両バーナを含む平面の両側に揺れるの
を低減できるため、初期の多孔質ガラス母材の合成速度
が向上し、立ち上げ時間を低減させることができる。ま
た、該隔壁は多孔質ガラス母材の成長につれて後退させ
ることができ、従って最適な間隔で該隔壁を配置でき、
多孔質ガラス母材の成長に合わせて効果的に気流の流れ
を制御することができる。
【００２０】また、隔壁は、容器内の隔壁に整列させて
該容器の排気管内にも設けることができる。
該容器の排気管内にも設けることができる。
【００２１】このように排気管内にも隔壁を設けると、
火炎の揺れをより一層小さくすることができ、多孔質ガ
ラス母材の品質のより一層の向上と生産性のより一層の
向上を図ることができる。
火炎の揺れをより一層小さくすることができ、多孔質ガ
ラス母材の品質のより一層の向上と生産性のより一層の
向上を図ることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】本発明者は、コアバーナとクラッ
ドバーナバーナ側から容器内の気流の流れを、レーザー
シート法により可視化して観察したところ、図１に示す
ように容器１の上部からの気流が該容器１内の底部で、
コアバーナ４とクラッドバーナバーナ５を含む平面１０
の左右に大きく変動し、これが両バーナの火炎に影響を
及ぼしていることを発見した。
ドバーナバーナ側から容器内の気流の流れを、レーザー
シート法により可視化して観察したところ、図１に示す
ように容器１の上部からの気流が該容器１内の底部で、
コアバーナ４とクラッドバーナバーナ５を含む平面１０
の左右に大きく変動し、これが両バーナの火炎に影響を
及ぼしていることを発見した。
【００２３】この現象を定量的に評価するために、図２
及び図３に示すような火炎位置測定装置１１を用いた。
及び図３に示すような火炎位置測定装置１１を用いた。
【００２４】この火炎位置測定装置１１は、ＣＣＤカメ
ラ１２と、該ＣＣＤカメラ１２が撮影した画像の生画像
をモニタする生画像モニタ１３と、該ＣＣＤカメラ１２
が撮影した画像の処理を行う画像処理部１４と、該画像
処理部１４で処理した画像を表示する処理画像モニタ１
５と、画像処理部１４で処理した画像データを蓄積加工
するコンピュータ１６と、該コンピュータ１６で加工し
たデータの記録を行う記録部１７とで構成されている。
ＣＣＤカメラ１２はコア部形成用火炎６を監視できる位
置で容器１の監視窓１８の外に配置されている（図２参
照）。
ラ１２と、該ＣＣＤカメラ１２が撮影した画像の生画像
をモニタする生画像モニタ１３と、該ＣＣＤカメラ１２
が撮影した画像の処理を行う画像処理部１４と、該画像
処理部１４で処理した画像を表示する処理画像モニタ１
５と、画像処理部１４で処理した画像データを蓄積加工
するコンピュータ１６と、該コンピュータ１６で加工し
たデータの記録を行う記録部１７とで構成されている。
ＣＣＤカメラ１２はコア部形成用火炎６を監視できる位
置で容器１の監視窓１８の外に配置されている（図２参
照）。
【００２５】該火炎位置測定装置１１では、ＣＣＤカメ
ラ１２でコア部形成用火炎６を直接撮像し、画像処理部
１４で画像処理し、その処理画像を処理画像モニタ１５
で表示する。
ラ１２でコア部形成用火炎６を直接撮像し、画像処理部
１４で画像処理し、その処理画像を処理画像モニタ１５
で表示する。
【００２６】また、図４には処理画像モニタ１５に表示
されるコア部形成用火炎処理画像６Ａを示している。即
ち、図４では撮影した画像を２値化し、抽出された火炎
画像に測定ウインドウ１９をかけ、その中点２０の座標
を多孔質ガラス母材８の合成中常にモニターできるよう
にしている。
されるコア部形成用火炎処理画像６Ａを示している。即
ち、図４では撮影した画像を２値化し、抽出された火炎
画像に測定ウインドウ１９をかけ、その中点２０の座標
を多孔質ガラス母材８の合成中常にモニターできるよう
にしている。
【００２７】図５は、コア部形成用火炎６の中点２０の
左右の動きを測定した結果を示す。この測定の結果、コ
ア部形成用火炎６は10分間の測定で、約１mmのコア部形
成用火炎６の揺らぎがあることがわかった。
左右の動きを測定した結果を示す。この測定の結果、コ
ア部形成用火炎６は10分間の測定で、約１mmのコア部形
成用火炎６の揺らぎがあることがわかった。
【００２８】そこで、この対策を施した本発明に係る光
ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の第
１例を図６及び図７に示す。本例の装置では、コアバー
ナ４とクラッドバーナ５とを含む平面１０を横切る気流
の流れを遮る隔壁２１が容器１内の底部側に設けられて
いる。この隔壁２１として、本例では板厚５mmの石英板
を用いた。この隔壁２１の高さは、コアバーナ４の先端
下部と同じレベルとした。
ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の第
１例を図６及び図７に示す。本例の装置では、コアバー
ナ４とクラッドバーナ５とを含む平面１０を横切る気流
の流れを遮る隔壁２１が容器１内の底部側に設けられて
いる。この隔壁２１として、本例では板厚５mmの石英板
を用いた。この隔壁２１の高さは、コアバーナ４の先端
下部と同じレベルとした。
【００２９】この状態で、図５のデータを取ったときと
同じガス条件，風量条件で多孔質ガラス母材８を合成
し、同様の測定を行った。その結果を、図８に示す。該
図８に示すように、本例の多孔質ガラス母材製造装置の
場合のコア部形成用火炎６の左右の変動幅は約0.3mm で
あり、図５に示す従来例の装置の場合の約１／３に低減
できた。クラッド部形成用火炎７についても、その左右
の変動幅の低減効果は同様である。
同じガス条件，風量条件で多孔質ガラス母材８を合成
し、同様の測定を行った。その結果を、図８に示す。該
図８に示すように、本例の多孔質ガラス母材製造装置の
場合のコア部形成用火炎６の左右の変動幅は約0.3mm で
あり、図５に示す従来例の装置の場合の約１／３に低減
できた。クラッド部形成用火炎７についても、その左右
の変動幅の低減効果は同様である。
【００３０】このときの容器１内の気流の流れをレーザ
ーシートで可視化したところ、図７のように容器１の上
部からの気流は容器１の底部で隔壁２１にぶつかり、上
昇して排気管９から排気され、コア部形成用火炎６を左
右に横切る気流の流れは発生していないことがわかっ
た。
ーシートで可視化したところ、図７のように容器１の上
部からの気流は容器１の底部で隔壁２１にぶつかり、上
昇して排気管９から排気され、コア部形成用火炎６を左
右に横切る気流の流れは発生していないことがわかっ
た。
【００３１】本例で製造した多孔質ガラス母材８を脱水
し焼結して透明ガラス化し光ファイバ用ガラス母材（プ
リフォーム）を得て、その屈折率分布を測定したとこ
ろ、長手方向の屈折率分布の変動を１／３に低減でき
た。また、本例の装置によれば、火炎６，７が安定化
し、ターゲットである多孔質ガラス母材８に集中するた
め、該多孔質ガラス母材８の合成速度が従来例の1.2 倍
に向上した。
し焼結して透明ガラス化し光ファイバ用ガラス母材（プ
リフォーム）を得て、その屈折率分布を測定したとこ
ろ、長手方向の屈折率分布の変動を１／３に低減でき
た。また、本例の装置によれば、火炎６，７が安定化
し、ターゲットである多孔質ガラス母材８に集中するた
め、該多孔質ガラス母材８の合成速度が従来例の1.2 倍
に向上した。
【００３２】本例では、隔壁２１をバーナ４，５側から
みて容器１の左右中央に設けてあるが、容器１の上部か
らの吸気風量のバランスによっては中央位置でなくとも
よい。
みて容器１の左右中央に設けてあるが、容器１の上部か
らの吸気風量のバランスによっては中央位置でなくとも
よい。
【００３３】図９（Ａ）（Ｂ）は本発明に係る光ファイ
バ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の第２例を
示したものである。
バ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の第２例を
示したものである。
【００３４】本例の装置では、隔壁２１を容器１内に底
部側のみならず、バーナ４，５の間、バーナ４，５の上
部側、排気管９の上部側に設けた例を示したものであ
る。これら隔壁２１は、前述した容器１内に底部側の隔
壁２１を含む平面内に存在するように整列して配置され
ている。
部側のみならず、バーナ４，５の間、バーナ４，５の上
部側、排気管９の上部側に設けた例を示したものであ
る。これら隔壁２１は、前述した容器１内に底部側の隔
壁２１を含む平面内に存在するように整列して配置され
ている。
【００３５】このようにすると、コア部形成用火炎６と
クラッド部形成用火炎７の左右の揺れ防止効果を更に向
上させることができる。
クラッド部形成用火炎７の左右の揺れ防止効果を更に向
上させることができる。
【００３６】具体的には、この場合の火炎６，７の左右
の揺れは、第１例の場合よりもさらに小さくなり、0.2m
m 以下に低減できた。また、この場合の多孔質ガラス母
材８の合成速度は、従来例の1.5 倍になった。
の揺れは、第１例の場合よりもさらに小さくなり、0.2m
m 以下に低減できた。また、この場合の多孔質ガラス母
材８の合成速度は、従来例の1.5 倍になった。
【００３７】図１０（Ａ）（Ｂ）は本発明に係る光ファ
イバ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の第３例
を示したものである。
イバ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の第３例
を示したものである。
【００３８】本例の装置では、隔壁２１を容器１内のみ
ならず、排気管９内にも容器１内の隔壁２１に整列させ
て設け、この隔壁２１で仕切られた排気管９内の通路は
別々に排気を行う例を示したものである。
ならず、排気管９内にも容器１内の隔壁２１に整列させ
て設け、この隔壁２１で仕切られた排気管９内の通路は
別々に排気を行う例を示したものである。
【００３９】この場合には、排気管９の左右からの吸気
量を変化させることで、上部からの給気風量のバランス
の差を吸収することができ、図９の場合と同様の効果が
得られた。
量を変化させることで、上部からの給気風量のバランス
の差を吸収することができ、図９の場合と同様の効果が
得られた。
【００４０】図１１（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は本発明に係る
光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の
第４例を示したものである。
光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の
第４例を示したものである。
【００４１】本例の装置では、隔壁２１を容器１内に底
部側のみならず、バーナ４，５の上部側、排気管９の上
部側に設けている点は第２例と同様である。本例では、
バーナ４，５の上部側、排気管９の上部側に設けられて
いる隔壁２１が、その先端をターゲットである多孔質ガ
ラス母材８に対して接近・離間させ得るように移動型に
なっている点に特徴がある。これら隔壁２１を移動させ
るために容器１には隔壁２１が貫通できる長穴があけら
れ、この長孔の周囲に金属ベローズの如き伸縮性シール
筒体２２の一端が気密に取付けられ、該伸縮性シール筒
体２２の他端は容器１の外に出る隔壁２１の端部に気密
に取付けられている。
部側のみならず、バーナ４，５の上部側、排気管９の上
部側に設けている点は第２例と同様である。本例では、
バーナ４，５の上部側、排気管９の上部側に設けられて
いる隔壁２１が、その先端をターゲットである多孔質ガ
ラス母材８に対して接近・離間させ得るように移動型に
なっている点に特徴がある。これら隔壁２１を移動させ
るために容器１には隔壁２１が貫通できる長穴があけら
れ、この長孔の周囲に金属ベローズの如き伸縮性シール
筒体２２の一端が気密に取付けられ、該伸縮性シール筒
体２２の他端は容器１の外に出る隔壁２１の端部に気密
に取付けられている。
【００４２】このような多孔質ガラス母材製造装置にお
いては、合成初期には図１１（Ａ）に示すように上部の
各隔壁２１の先端をターゲットである種棒３に接近させ
て配置し、合成が進行して多孔質ガラス母材８が成長す
ると図１１（Ｂ）に示すように該多孔質ガラス母材８に
対して隔壁２１が所定の間隔を保持するように該隔壁２
１を後退させる。
いては、合成初期には図１１（Ａ）に示すように上部の
各隔壁２１の先端をターゲットである種棒３に接近させ
て配置し、合成が進行して多孔質ガラス母材８が成長す
ると図１１（Ｂ）に示すように該多孔質ガラス母材８に
対して隔壁２１が所定の間隔を保持するように該隔壁２
１を後退させる。
【００４３】このようにして多孔質ガラス母材８の製造
を行うと、合成初期には細い種棒３に対して所定の間隔
をなすように隔壁２１を配置して合成を開始でき、この
ため各火炎６，７が左右に揺れるのを抑制できるため、
初期の合成速度が向上し、立上げ時間を向上させること
ができ、立上げ時間を従来の２／３に短縮することがで
きた。
を行うと、合成初期には細い種棒３に対して所定の間隔
をなすように隔壁２１を配置して合成を開始でき、この
ため各火炎６，７が左右に揺れるのを抑制できるため、
初期の合成速度が向上し、立上げ時間を向上させること
ができ、立上げ時間を従来の２／３に短縮することがで
きた。
【００４４】多孔質ガラス母材８の合成の進行につれて
隔壁２１を後退させると、該多孔質ガラス母材８の大き
さに合わせて効果的に気流の流れを制御でき、合成速度
が向上し、効率よく多孔質ガラス母材８の合成を行うこ
とができる。また、火炎６，７の揺らぎを抑制できる
と、多孔質ガラス母材８の長手方向の屈折率分布の変化
も抑制でき、高品質の多孔質ガラス母材８を安定して製
造することができる。
隔壁２１を後退させると、該多孔質ガラス母材８の大き
さに合わせて効果的に気流の流れを制御でき、合成速度
が向上し、効率よく多孔質ガラス母材８の合成を行うこ
とができる。また、火炎６，７の揺らぎを抑制できる
と、多孔質ガラス母材８の長手方向の屈折率分布の変化
も抑制でき、高品質の多孔質ガラス母材８を安定して製
造することができる。
【００４５】
【発明の効果】本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス
母材製造装置においては、コアバーナとクラッドバーナ
バーナとを含む平面を横切る気流の流れを遮る隔壁を容
器内に設けたので、両バーナを含む平面を横切る気流の
流れを防止することができる。このため火炎が両バーナ
を含む平面の両側に揺れるのを低減できて、多孔質ガラ
ス母材の屈折率分布の安定性を向上でき、また多孔質ガ
ラス母材の製造速度も向上させることができる。
母材製造装置においては、コアバーナとクラッドバーナ
バーナとを含む平面を横切る気流の流れを遮る隔壁を容
器内に設けたので、両バーナを含む平面を横切る気流の
流れを防止することができる。このため火炎が両バーナ
を含む平面の両側に揺れるのを低減できて、多孔質ガラ
ス母材の屈折率分布の安定性を向上でき、また多孔質ガ
ラス母材の製造速度も向上させることができる。
【００４６】また、隔壁をその先端がターゲットに対し
て接近・離間させ得るように移動型にすると、該隔壁の
先端を合成初期にはターゲットである種棒に接近させる
ことができ、その結果、火炎が両バーナを含む平面の両
側に揺れるのを低減できるため、初期の多孔質ガラス母
材の合成速度が向上し、立ち上げ時間を低減させること
ができる。また、該隔壁を多孔質ガラス母材の成長につ
れて後退させることにより、多孔質ガラス母材の成長に
合わせて効果的に気流の流れを制御することができる。
て接近・離間させ得るように移動型にすると、該隔壁の
先端を合成初期にはターゲットである種棒に接近させる
ことができ、その結果、火炎が両バーナを含む平面の両
側に揺れるのを低減できるため、初期の多孔質ガラス母
材の合成速度が向上し、立ち上げ時間を低減させること
ができる。また、該隔壁を多孔質ガラス母材の成長につ
れて後退させることにより、多孔質ガラス母材の成長に
合わせて効果的に気流の流れを制御することができる。
【００４７】また、容器内の隔壁に整列させて排気管内
にも隔壁を設けると、火炎の揺れをより一層小さくする
ことができ、多孔質ガラス母材の品質のより一層の向上
と生産性のより一層の向上を図ることができる。
にも隔壁を設けると、火炎の揺れをより一層小さくする
ことができ、多孔質ガラス母材の品質のより一層の向上
と生産性のより一層の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の装置で容器内での多孔質ガラス母材の製
造中における気流を可視化して示した説明図である。
造中における気流を可視化して示した説明図である。
【図２】従来の装置に火炎を監視するために用いた火炎
位置測定装置を設けた状態を示す縦断面図である。
位置測定装置を設けた状態を示す縦断面図である。
【図３】火炎を監視する火炎位置測定装置の一例を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図４】図３に示す火炎位置測定装置の処理画像モニタ
に表示されるコア部形成用火炎処理画像を示した説明図
である。
に表示されるコア部形成用火炎処理画像を示した説明図
である。
【図５】図３に示す火炎位置測定装置で測定した従来の
装置でのコア部形成用火炎の中点の左右の動きを測定し
た結果を示す特性図である。
装置でのコア部形成用火炎の中点の左右の動きを測定し
た結果を示す特性図である。
【図６】火炎位置測定装置を取付けた本発明に係る光フ
ァイバ用多孔質ガラス母材製造装置の第１例を示す縦断
面図である。
ァイバ用多孔質ガラス母材製造装置の第１例を示す縦断
面図である。
【図７】本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス母材製
造装置の第１例の縦断面図である。
造装置の第１例の縦断面図である。
【図８】図６，図７に示す第１例の多孔質ガラス母材製
造装置におけるコア部形成用火炎の中点の左右の動きを
図３に示す火炎位置測定装置で測定した測定結果を示す
特性図である。
造装置におけるコア部形成用火炎の中点の左右の動きを
図３に示す火炎位置測定装置で測定した測定結果を示す
特性図である。
【図９】（Ａ）は本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材製造装置の第２例の縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）の
Ｘ−Ｘ線断面図である。
ス母材製造装置の第２例の縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）の
Ｘ−Ｘ線断面図である。
【図１０】（Ａ）は本発明に係る光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材製造装置の第３例の縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）
のＹ−Ｙ線断面図である。
ラス母材製造装置の第３例の縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）
のＹ−Ｙ線断面図である。
【図１１】（Ａ）は本発明に係る光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材製造装置の第４例の合成初期の縦断面図、
（Ｂ）は本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス母材製
造装置の第４例の合成中期の縦断面図、（Ｃ）は（Ｂ）
のＺ−Ｚ線断面図である。
ラス母材製造装置の第４例の合成初期の縦断面図、
（Ｂ）は本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス母材製
造装置の第４例の合成中期の縦断面図、（Ｃ）は（Ｂ）
のＺ−Ｚ線断面図である。
【図１２】従来の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装
置の縦断面図である。
置の縦断面図である。
１ 容器 ２ 開口部 ３ 種棒 ４ コアバーナ ５ クラッドバーナ ６ コア部形成用火炎 ７ クラッド部形成用火炎 ８ 多孔質ガラス母材 ９ 排気管 １０ 平面 １１ 火炎位置測定装置 １２ ＣＣＤカメラ １３ 生画像モニタ １４ 画像処理部 １５ 処理画像モニタ １６ コンピュータ １７ 記録部 １８ 監視窓 １９ 測定ウインドウ ２０ 中点 ２１ 隔壁 ２２ 伸縮性シール筒体
Claims (3)
- 【請求項１】 容器内で上下に並ぶコアバーナとクラッ
ドバーナバーナからの火炎をターゲットに当てて光ファ
イバ用多孔質ガラス母材を製造する光ファイバ用多孔質
ガラス母材製造装置において、 前記コアバーナと前記クラッドバーナバーナとを含む平
面を横切る気流の流れを遮る隔壁が前記容器内に設けら
れていることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母
材製造装置。 - 【請求項２】 前記隔壁はその先端を前記ターゲットに
対して接近・離間させ得るように移動型になっているこ
とを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材製造装置。 - 【請求項３】 前記隔壁は前記容器内の該隔壁に整列さ
せて該容器の排気管内にも設けられていることを特徴と
する請求項１または２に記載の光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18518195A JPH0930830A (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18518195A JPH0930830A (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0930830A true JPH0930830A (ja) | 1997-02-04 |
Family
ID=16166266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18518195A Pending JPH0930830A (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0930830A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1065486C (zh) * | 1996-05-24 | 2001-05-09 | 日野自动车工业株式会社 | 车载电池的控制装置 |
-
1995
- 1995-07-21 JP JP18518195A patent/JPH0930830A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1065486C (zh) * | 1996-05-24 | 2001-05-09 | 日野自动车工业株式会社 | 车载电池的控制装置 |
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