JPH0930830A - Apparatus for producing porous glass preform for optical fiber - Google Patents

Apparatus for producing porous glass preform for optical fiber

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JPH0930830A
JPH0930830A JP18518195A JP18518195A JPH0930830A JP H0930830 A JPH0930830 A JP H0930830A JP 18518195 A JP18518195 A JP 18518195A JP 18518195 A JP18518195 A JP 18518195A JP H0930830 A JPH0930830 A JP H0930830A
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JP
Japan
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porous glass
glass preform
container
burner
partition wall
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JP18518195A
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Japanese (ja)
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Sadanori Ishida
禎則 石田
Tetsuo Wada
哲郎 和田
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Furukawa Electric Co Ltd
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Furukawa Electric Co Ltd
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01406—Deposition reactors therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C11/00—Multi-cellular glass ; Porous or hollow glass or glass particles
    • C03C11/007—Foam glass, e.g. obtained by incorporating a blowing agent and heating

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress a change of a refractive index distribution in the longitudinal direction of a porous glass preform by installing a partition wall for isolating the flow of air streams crossing a plane including a core burner and a clad burner in the container. SOLUTION: This apparatus for producing a porous glass preform for an optical fiber is obtained by installing a partition wall 21 for cutting off the flow of air streams crossing a plane 10 including a core burner 4 and a clad burner 6 on the bottom side in the container 1. The air streams from the upper part of the container 1 collide against the partition wall 21 at the bottom of the container 1, then rise and discharge from a vent pipe 9 without producing the flow of the air streams crossing the flame 6 for forming the core part left and right. Thereby, the fluctuation of the refractive index distribution in the longitudinal direction of the porous glass preform 8 for the optical fiber can be reduced to 1/3.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバ用多孔質
ガラス母材製造装置に関するものであり、特に、気相軸
付ＣＶＤ法（ＶＡＤ法）などで光ファイバ用多孔質母材
を合成する場合に該多孔質ガラス母材の品質を向上させ
るのに好適な光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for producing a porous glass preform for an optical fiber, and particularly when synthesizing a porous preform for an optical fiber by a CVD method with a vapor phase axis (VAD method) or the like. The present invention also relates to an apparatus for producing a porous glass preform for optical fibers, which is suitable for improving the quality of the porous glass preform.

【０００２】[0002]

【従来の技術】コア及びクラッドからなる光ファイバ
は、光ファイバ用多孔質ガラス母材（スートプリフォー
ム）を脱水し焼結して透明ガラス化した光ファイバ用ガ
ラス母材（プリフォーム）を線引きして製造される。2. Description of the Related Art An optical fiber consisting of a core and a clad is drawn from a glass base material (preform) for optical fiber which is made into transparent glass by dehydrating and sintering a porous glass base material (soot preform) for optical fiber. Manufactured.

【０００３】このような光ファイバ用多孔質母材を製造
する代表的な方法としては、外付ＣＶＤ法（ＯＶＤ法）
と、気相軸付ＣＶＤ法（ＶＡＤ法）とが知られている。A typical method for producing such a porous preform for optical fibers is an external CVD method (OVD method).
And a CVD method with a vapor phase axis (VAD method) are known.

【０００４】これらいずれの製造方法においても、一般
的に、酸水素バーナを用いて、原料ガス、例えばＳｉＣ
ｌ4 ，ＧｅＣｌ4 の蒸気を酸水素火炎中で加水分解し
て、ＳｉＯ2 ，ＧｅＯ2 のガラス微粒子を形成し、この
ガラス微粒子をターゲットに吹き付け堆積させて多孔質
ガラス母材を得る。In any of these manufacturing methods, a source gas such as SiC is generally used by using an oxyhydrogen burner.
The vapor of l 4 and GeCl 4 is hydrolyzed in an oxyhydrogen flame to form glass particles of SiO 2 and GeO 2 , and the glass particles are sprayed and deposited on a target to obtain a porous glass preform.

【０００５】図１２は、気相軸付ＣＶＤ法による従来の
光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の構造を示した
ものである。該光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置
は、ベルジャと呼ばれる上部が開口され下部が閉塞され
ている容器１の開口部２からターゲットとしての種棒３
が昇降自在に垂下されている。最初はこの種棒３の先端
にコアバーナ４とクラッドバーナ５が対向され、コアバ
ーナ４からのコア部形成用火炎６とクラッドバーナ５か
らのクラッド部形成用火炎７中で形成されたガラス微粒
子がターゲットとしての該種棒３の先端に堆積されて多
孔質ガラス母材８が形成される。この多孔質ガラス母材
８が安定に形成された後は、該多孔質ガラス母材８の先
端にコアバーナ４とクラッドバーナ５が対向され、該多
孔質ガラス母材８をターゲットとしてその先端にガラス
微粒子が堆積されて該多孔質ガラス母材８が成長する。
コアバーナ４とクラッドバーナ５が存在する位置に対し
て多孔質ガラス母材８を間にして反対側の容器１の側面
に排気管９が設けられている。FIG. 12 shows the structure of a conventional apparatus for producing a porous glass preform for optical fibers by the CVD method with a vapor phase axis. In the porous glass preform manufacturing apparatus for optical fibers, a seed bar 3 as a target is provided from an opening 2 of a container 1 called a bell jar which has an open upper part and a closed lower part.
Is hung up and down. First, the core burner 4 and the clad burner 5 are opposed to the tip of the seed rod 3, and the glass particles formed in the core forming flame 6 from the core burner 4 and the clad forming flame 7 from the clad burner 5 are targets. As a result, the porous glass base material 8 is formed by being deposited on the tip of the seed rod 3. After the porous glass base material 8 is stably formed, the core burner 4 and the clad burner 5 are opposed to the tip of the porous glass base material 8, and the porous glass base material 8 is used as a target for the glass at the tip. The fine particles are deposited and the porous glass base material 8 grows.
An exhaust pipe 9 is provided on the side surface of the container 1 opposite to the position where the core burner 4 and the clad burner 5 are located, with the porous glass preform 8 interposed therebetween.

【０００６】このような光ファイバ用多孔質ガラス母材
製造装置では、容器１内に挿入された種棒３を回転させ
つつ、且つ容器１の上部の給気口１ａから空気等のパー
ジ用ガスを供給させつつ多孔質ガラス母材８をその成長
につれて上昇させていく。この多孔質ガラス母材８の形
成のために、該多孔質ガラス母材８の下部中心部のコア
形成部に向けてコアバーナ４からコア部形成用火炎６を
吹き付け、このコア形成部の外側に位置する多孔質ガラ
ス母材８の下部側面のクラッド形成部に向けてクラッド
バーナ５からクラッド部形成用火炎７を吹き付ける。In such a porous glass preform manufacturing apparatus for optical fibers, the seed rod 3 inserted in the container 1 is rotated, and a purging gas such as air is supplied from the air supply port 1a in the upper part of the container 1. While the porous glass base material 8 is being supplied, the porous glass base material 8 is raised as it grows. In order to form the porous glass base material 8, a flame 6 for forming a core portion is blown from the core burner 4 toward the core forming portion in the lower central portion of the porous glass base material 8 and outside the core forming portion. A cladding forming flame 7 is blown from the cladding burner 5 toward the cladding forming portion on the lower side surface of the porous glass base material 8 located.

【０００７】クラッド部形成用火炎７中では、アルゴン
ガス（Ａｒ），ＳｉＣｌ4 ，水素ガス（Ｈ2 ）及び酸素
ガス（Ｏ2 ）による火炎加水分解によってクラッド部形
成用のガラス微粒子が形成される。コア部形成用火炎６
中では、クラッド部形成用火炎７で形成されるクラッド
部形成用のガラス微粒子と同じガラス微粒子に、コア形
成部の屈折率を高めるためのドーパント、例えばＧｅＯ
2 などを加えたガラス微粒子が形成される。ターゲット
に付着しなかったガラス微粒子は排気管９からスクラバ
ー（図示せず）に排気される。In the flame 7 for forming the cladding, glass particles for forming the cladding are formed by flame hydrolysis with argon gas (Ar), SiCl 4 , hydrogen gas (H 2 ) and oxygen gas (O 2 ). . Flame 6 for core formation
Among them, the same glass fine particles as the glass fine particles for forming the clad portion formed by the flame 7 for forming the clad portion are added with a dopant for increasing the refractive index of the core forming portion, such as GeO.
Glass fine particles containing 2 and the like are formed. The glass particles not attached to the target are exhausted from the exhaust pipe 9 to a scrubber (not shown).

【０００８】このような多孔質ガラス母材８の製造時
に、ターゲットである該多孔質ガラス母材８の先端に付
着するガラス微粒子の量及びその付着分布は、バーナ
４，５から噴出される火炎６，７の形状及びガラス微粒
子の流れの状態（以下、これらを形状のプロファイルと
いう）、ターゲットの表面の温度など様々な要因で変化
する。When manufacturing such a porous glass preform 8, the amount and distribution of the fine glass particles adhering to the tip of the porous glass preform 8 as a target are determined by the flames ejected from the burners 4 and 5. The shapes of Nos. 6 and 7 and the state of the flow of the glass particles (hereinafter, these are referred to as shape profiles), the temperature of the surface of the target, and the like change.

【０００９】特に、火炎６，７の揺らぎ、及び火炎６，
７の位置の微妙な変化によって光ファイバの屈折率分布
が変化するので、多孔質ガラス母材８の品質が問題にな
る。In particular, fluctuations of flames 6, 7 and flames 6, 7.
Since the refractive index distribution of the optical fiber changes due to a subtle change in the position of 7, the quality of the porous glass preform 8 becomes a problem.

【００１０】このような問題を解決する方法としては、
ターゲットの形状制御や、ターゲットのガラス微粒子堆
積面の温度分布の制御によって、合成される多孔質ガラ
ス母材８の品質の安定化を図ってきているが、これらの
形状，温度分布を決定する因子としては、ある特定的な
火炎ガス条件における火炎６，７の位置、またはその形
状、変動の大きさがある。As a method for solving such a problem,
By controlling the shape of the target and controlling the temperature distribution of the glass particle deposition surface of the target, the quality of the synthesized porous glass base material 8 has been stabilized, but these factors determine the shape and temperature distribution. Includes the positions of the flames 6, 7 under certain specific flame gas conditions, their shapes, and the magnitude of fluctuation.

【００１１】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、特定的な条
件における上記制御要因のみを多孔質ガラス母材の製造
に適用したのでは、種々多様に変化する実際の多孔質ガ
ラス母材の製造には不十分である。By the way, if only the above-mentioned control factors under specific conditions are applied to the production of the porous glass base material, the production of the actual porous glass base material that changes in various ways will not be possible. Is insufficient.

【００１２】その理由は、多孔質ガラス母材を製造中の
種々の気流の変化によって１つの多孔質ガラス母材の製
造中でも時間経過とともに変動が生じているからであ
る。このような変動は再現性がなく不規則である。The reason for this is that, due to various changes in the air flow during the production of the porous glass base material, the variation occurs with the passage of time even during the production of one porous glass base material. Such variations are not reproducible and irregular.

【００１３】その結果、屈折率分布が長手方向で変化
し、高品質の光ファイバを安定して製造することが難し
くなっている。As a result, the refractive index distribution changes in the longitudinal direction, making it difficult to stably manufacture a high-quality optical fiber.

【００１４】本発明の目的は、高品質の多孔質ガラス母
材を安定して製造できる光ファイバ用多孔質ガラス母材
製造装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide an apparatus for producing a porous glass preform for optical fibers, which can stably produce a high quality porous glass preform.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明は、容器内で上下
に並ぶコアバーナとクラッドバーナバーナからの火炎を
ターゲットに当てて光ファイバ用多孔質ガラス母材を製
造する光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置を改良の
対象としている。According to the present invention, a porous glass preform for an optical fiber is manufactured by applying a flame from a core burner and a clad burner burner arranged vertically in a container to a target to produce a porous glass preform for an optical fiber. The material manufacturing equipment is targeted for improvement.

【００１６】本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス母
材製造装置においては、コアバーナとクラッドバーナバ
ーナとを含む平面を横切る気流の流れを遮る隔壁が容器
内に設けられていることを特徴とする。In the apparatus for producing a porous glass preform for an optical fiber according to the present invention, a partition wall for blocking the flow of air flow across a plane including the core burner and the clad burner burner is provided in the container. .

【００１７】このような隔壁を容器内に設けると、両バ
ーナを含む平面を横切る気流の流れを防止できる。その
結果、火炎が両バーナを含む平面の両側に揺れるのを低
減でき、多孔質ガラス母材の屈折率分布の安定性を向上
でき、また多孔質ガラス母材の製造速度も向上させるこ
とができる。By providing such a partition in the container, it is possible to prevent the flow of air flow across the plane including both burners. As a result, it is possible to reduce the fluctuation of the flame on both sides of the plane including both burners, to improve the stability of the refractive index distribution of the porous glass preform, and also to improve the production rate of the porous glass preform. .

【００１８】この場合、隔壁は、その先端をターゲット
に対して接近・離間させ得るように移動型にすることが
好ましい。In this case, it is preferable that the partition wall be of a movable type so that its tip can be moved toward and away from the target.

【００１９】このようにすると、隔壁の先端を、合成初
期にはターゲットである種棒に接近させることができ、
その結果、火炎が両バーナを含む平面の両側に揺れるの
を低減できるため、初期の多孔質ガラス母材の合成速度
が向上し、立ち上げ時間を低減させることができる。ま
た、該隔壁は多孔質ガラス母材の成長につれて後退させ
ることができ、従って最適な間隔で該隔壁を配置でき、
多孔質ガラス母材の成長に合わせて効果的に気流の流れ
を制御することができる。In this way, the tip of the partition wall can be brought close to the seed rod which is the target in the initial stage of synthesis,
As a result, it is possible to reduce the fluctuation of the flame on both sides of the plane including both burners, so that the initial rate of synthesizing the porous glass preform is improved and the start-up time can be reduced. Further, the partition walls can be made to recede as the porous glass base material grows, and thus the partition walls can be arranged at an optimum interval,
The flow of the air flow can be effectively controlled in accordance with the growth of the porous glass base material.

【００２０】また、隔壁は、容器内の隔壁に整列させて
該容器の排気管内にも設けることができる。Further, the partition wall can be arranged in the exhaust pipe of the container by being aligned with the partition wall inside the container.

【００２１】このように排気管内にも隔壁を設けると、
火炎の揺れをより一層小さくすることができ、多孔質ガ
ラス母材の品質のより一層の向上と生産性のより一層の
向上を図ることができる。If a partition wall is provided in the exhaust pipe as described above,
The fluctuation of the flame can be further reduced, and the quality of the porous glass preform and the productivity can be further improved.

【００２２】[0022]

【発明の実施の形態】本発明者は、コアバーナとクラッ
ドバーナバーナ側から容器内の気流の流れを、レーザー
シート法により可視化して観察したところ、図１に示す
ように容器１の上部からの気流が該容器１内の底部で、
コアバーナ４とクラッドバーナバーナ５を含む平面１０
の左右に大きく変動し、これが両バーナの火炎に影響を
及ぼしていることを発見した。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present inventor visualized and observed the flow of air flow in the container from the side of the core burner and the clad burner burner by the laser sheet method, and as shown in FIG. At the bottom inside the container 1,
Plane 10 including core burner 4 and clad burner burner 5
It fluctuated greatly to the left and right of, and discovered that it affected the flames of both burners.

【００２３】この現象を定量的に評価するために、図２
及び図３に示すような火炎位置測定装置１１を用いた。In order to quantitatively evaluate this phenomenon, FIG.
And the flame position measuring device 11 as shown in FIG. 3 was used.

【００２４】この火炎位置測定装置１１は、ＣＣＤカメ
ラ１２と、該ＣＣＤカメラ１２が撮影した画像の生画像
をモニタする生画像モニタ１３と、該ＣＣＤカメラ１２
が撮影した画像の処理を行う画像処理部１４と、該画像
処理部１４で処理した画像を表示する処理画像モニタ１
５と、画像処理部１４で処理した画像データを蓄積加工
するコンピュータ１６と、該コンピュータ１６で加工し
たデータの記録を行う記録部１７とで構成されている。
ＣＣＤカメラ１２はコア部形成用火炎６を監視できる位
置で容器１の監視窓１８の外に配置されている（図２参
照）。The flame position measuring device 11 includes a CCD camera 12, a raw image monitor 13 for monitoring a raw image of an image taken by the CCD camera 12, and the CCD camera 12.
An image processing unit 14 that processes an image captured by a user, and a processed image monitor 1 that displays the image processed by the image processing unit 14.
5, a computer 16 for accumulating and processing the image data processed by the image processing unit 14, and a recording unit 17 for recording the data processed by the computer 16.
The CCD camera 12 is arranged outside the monitoring window 18 of the container 1 at a position where the core forming flame 6 can be monitored (see FIG. 2).

【００２５】該火炎位置測定装置１１では、ＣＣＤカメ
ラ１２でコア部形成用火炎６を直接撮像し、画像処理部
１４で画像処理し、その処理画像を処理画像モニタ１５
で表示する。In the flame position measuring apparatus 11, the CCD camera 12 directly images the core forming flame 6, the image processing unit 14 performs image processing, and the processed image is processed by the processing image monitor 15.
To display.

【００２６】また、図４には処理画像モニタ１５に表示
されるコア部形成用火炎処理画像６Ａを示している。即
ち、図４では撮影した画像を２値化し、抽出された火炎
画像に測定ウインドウ１９をかけ、その中点２０の座標
を多孔質ガラス母材８の合成中常にモニターできるよう
にしている。Further, FIG. 4 shows a flame-processed image 6A for forming a core portion displayed on the processed-image monitor 15. That is, in FIG. 4, the photographed image is binarized, the measurement window 19 is applied to the extracted flame image, and the coordinates of the midpoint 20 thereof can be constantly monitored during the synthesis of the porous glass preform 8.

【００２７】図５は、コア部形成用火炎６の中点２０の
左右の動きを測定した結果を示す。この測定の結果、コ
ア部形成用火炎６は10分間の測定で、約１mmのコア部形
成用火炎６の揺らぎがあることがわかった。FIG. 5 shows the result of measuring the lateral movement of the midpoint 20 of the flame 6 for forming the core portion. As a result of this measurement, it was found that the flame 6 for forming the core portion had a fluctuation of the flame 6 for forming the core portion of about 1 mm in the measurement for 10 minutes.

【００２８】そこで、この対策を施した本発明に係る光
ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の第
１例を図６及び図７に示す。本例の装置では、コアバー
ナ４とクラッドバーナ５とを含む平面１０を横切る気流
の流れを遮る隔壁２１が容器１内の底部側に設けられて
いる。この隔壁２１として、本例では板厚５mmの石英板
を用いた。この隔壁２１の高さは、コアバーナ４の先端
下部と同じレベルとした。Therefore, a first example of the embodiment of the apparatus for producing a porous glass preform for an optical fiber according to the present invention, in which this measure is taken, is shown in FIGS. 6 and 7. In the apparatus of this example, a partition wall 21 that blocks the flow of air flow across the plane 10 including the core burner 4 and the clad burner 5 is provided on the bottom side inside the container 1. In this example, a quartz plate having a plate thickness of 5 mm was used as the partition wall 21. The height of the partition wall 21 was set to the same level as the lower part of the tip of the core burner 4.

【００２９】この状態で、図５のデータを取ったときと
同じガス条件，風量条件で多孔質ガラス母材８を合成
し、同様の測定を行った。その結果を、図８に示す。該
図８に示すように、本例の多孔質ガラス母材製造装置の
場合のコア部形成用火炎６の左右の変動幅は約0.3mm で
あり、図５に示す従来例の装置の場合の約１／３に低減
できた。クラッド部形成用火炎７についても、その左右
の変動幅の低減効果は同様である。In this state, the porous glass base material 8 was synthesized under the same gas condition and air flow condition as when the data of FIG. 5 was taken, and the same measurement was performed. FIG. 8 shows the result. As shown in FIG. 8, in the case of the porous glass preform manufacturing apparatus of this example, the fluctuation width of the flame 6 for forming the core portion on the left and right is about 0.3 mm, and in the case of the conventional apparatus shown in FIG. It could be reduced to about 1/3. With respect to the flame 7 for forming the clad portion, the effect of reducing the fluctuation width on the left and right is similar.

【００３０】このときの容器１内の気流の流れをレーザ
ーシートで可視化したところ、図７のように容器１の上
部からの気流は容器１の底部で隔壁２１にぶつかり、上
昇して排気管９から排気され、コア部形成用火炎６を左
右に横切る気流の流れは発生していないことがわかっ
た。When the flow of the air flow in the container 1 at this time was visualized with a laser sheet, the air flow from the upper part of the container 1 hits the partition wall 21 at the bottom part of the container 1 and rises to the exhaust pipe 9 as shown in FIG. It was found that there was no flow of airflow that was exhausted from the air and traversed the core forming flame 6 to the left and right.

【００３１】本例で製造した多孔質ガラス母材８を脱水
し焼結して透明ガラス化し光ファイバ用ガラス母材（プ
リフォーム）を得て、その屈折率分布を測定したとこ
ろ、長手方向の屈折率分布の変動を１／３に低減でき
た。また、本例の装置によれば、火炎６，７が安定化
し、ターゲットである多孔質ガラス母材８に集中するた
め、該多孔質ガラス母材８の合成速度が従来例の1.2 倍
に向上した。The porous glass preform 8 produced in this example was dehydrated and sintered to obtain a transparent vitrified glass preform (optical fiber), and its refractive index distribution was measured. The fluctuation of the refractive index distribution could be reduced to 1/3. Further, according to the apparatus of this example, the flames 6 and 7 are stabilized and concentrated on the porous glass base material 8 which is the target, so that the synthesis rate of the porous glass base material 8 is improved to 1.2 times that of the conventional example. did.

【００３２】本例では、隔壁２１をバーナ４，５側から
みて容器１の左右中央に設けてあるが、容器１の上部か
らの吸気風量のバランスによっては中央位置でなくとも
よい。In this example, the partition wall 21 is provided at the left and right center of the container 1 as viewed from the side of the burners 4 and 5, but it may not be at the central position depending on the balance of the intake air volume from the upper part of the container 1.

【００３３】図９（Ａ）（Ｂ）は本発明に係る光ファイ
バ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の第２例を
示したものである。FIGS. 9A and 9B show a second example of the embodiment of the apparatus for producing a porous glass preform for optical fibers according to the present invention.

【００３４】本例の装置では、隔壁２１を容器１内に底
部側のみならず、バーナ４，５の間、バーナ４，５の上
部側、排気管９の上部側に設けた例を示したものであ
る。これら隔壁２１は、前述した容器１内に底部側の隔
壁２１を含む平面内に存在するように整列して配置され
ている。In the apparatus of this embodiment, the partition wall 21 is provided not only on the bottom side in the container 1, but also between the burners 4 and 5, on the upper side of the burners 4 and 5, and on the upper side of the exhaust pipe 9. It is a thing. The partition walls 21 are arranged so as to be present in the plane including the partition wall 21 on the bottom side in the container 1 described above.

【００３５】このようにすると、コア部形成用火炎６と
クラッド部形成用火炎７の左右の揺れ防止効果を更に向
上させることができる。By doing so, it is possible to further improve the left-right swaying prevention effect of the core forming flame 6 and the clad forming flame 7.

【００３６】具体的には、この場合の火炎６，７の左右
の揺れは、第１例の場合よりもさらに小さくなり、0.2m
m 以下に低減できた。また、この場合の多孔質ガラス母
材８の合成速度は、従来例の1.5 倍になった。Concretely, the lateral sway of the flames 6 and 7 in this case is smaller than that in the case of the first example and is 0.2 m.
It could be reduced to m or less. Further, the synthesis rate of the porous glass base material 8 in this case was 1.5 times that of the conventional example.

【００３７】図１０（Ａ）（Ｂ）は本発明に係る光ファ
イバ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の第３例
を示したものである。FIGS. 10A and 10B show a third example of the embodiment of the apparatus for producing a porous glass preform for an optical fiber according to the present invention.

【００３８】本例の装置では、隔壁２１を容器１内のみ
ならず、排気管９内にも容器１内の隔壁２１に整列させ
て設け、この隔壁２１で仕切られた排気管９内の通路は
別々に排気を行う例を示したものである。In the apparatus of this embodiment, the partition wall 21 is provided not only in the container 1 but also in the exhaust pipe 9 so as to be aligned with the partition wall 21 in the container 1, and the passage in the exhaust pipe 9 partitioned by this partition wall 21 is provided. Shows an example in which exhaust is performed separately.

【００３９】この場合には、排気管９の左右からの吸気
量を変化させることで、上部からの給気風量のバランス
の差を吸収することができ、図９の場合と同様の効果が
得られた。In this case, by changing the amount of intake air from the left and right of the exhaust pipe 9, it is possible to absorb the difference in the balance of the supply air volume from above, and the same effect as in the case of FIG. 9 is obtained. Was given.

【００４０】図１１（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は本発明に係る
光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の実施の形態の
第４例を示したものである。FIGS. 11A, 11B and 11C show a fourth example of the embodiment of the apparatus for producing a porous glass preform for an optical fiber according to the present invention.

【００４１】本例の装置では、隔壁２１を容器１内に底
部側のみならず、バーナ４，５の上部側、排気管９の上
部側に設けている点は第２例と同様である。本例では、
バーナ４，５の上部側、排気管９の上部側に設けられて
いる隔壁２１が、その先端をターゲットである多孔質ガ
ラス母材８に対して接近・離間させ得るように移動型に
なっている点に特徴がある。これら隔壁２１を移動させ
るために容器１には隔壁２１が貫通できる長穴があけら
れ、この長孔の周囲に金属ベローズの如き伸縮性シール
筒体２２の一端が気密に取付けられ、該伸縮性シール筒
体２２の他端は容器１の外に出る隔壁２１の端部に気密
に取付けられている。The apparatus of this example is similar to the second example in that the partition wall 21 is provided in the container 1 not only on the bottom side but also on the upper side of the burners 4, 5 and on the upper side of the exhaust pipe 9. In this example,
The partition walls 21 provided on the upper side of the burners 4 and 5 and on the upper side of the exhaust pipe 9 are of a movable type so that their tips can approach and separate from the porous glass base material 8 as a target. There is a feature in that In order to move the partition walls 21, a long hole through which the partition wall 21 can penetrate is formed in the container 1, and one end of a stretchable seal tube body 22 such as a metal bellows is airtightly attached around the long hole so that the stretchability is improved. The other end of the seal cylinder 22 is airtightly attached to the end of the partition wall 21 that extends out of the container 1.

【００４２】このような多孔質ガラス母材製造装置にお
いては、合成初期には図１１（Ａ）に示すように上部の
各隔壁２１の先端をターゲットである種棒３に接近させ
て配置し、合成が進行して多孔質ガラス母材８が成長す
ると図１１（Ｂ）に示すように該多孔質ガラス母材８に
対して隔壁２１が所定の間隔を保持するように該隔壁２
１を後退させる。In such a porous glass preform manufacturing apparatus, as shown in FIG. 11 (A), at the initial stage of synthesis, the tips of the upper partition walls 21 are arranged close to the seed rod 3 which is a target. When the synthesis proceeds and the porous glass base material 8 grows, the partition walls 2 are maintained so that the partition walls 21 maintain a predetermined distance from the porous glass base material 8 as shown in FIG. 11B.
Retreat one.

【００４３】このようにして多孔質ガラス母材８の製造
を行うと、合成初期には細い種棒３に対して所定の間隔
をなすように隔壁２１を配置して合成を開始でき、この
ため各火炎６，７が左右に揺れるのを抑制できるため、
初期の合成速度が向上し、立上げ時間を向上させること
ができ、立上げ時間を従来の２／３に短縮することがで
きた。When the porous glass preform 8 is manufactured in this manner, the partition wall 21 can be arranged at a predetermined interval with respect to the thin seed bar 3 in the initial stage of the synthesis, and the synthesis can be started. Since each flame 6 and 7 can be suppressed from swaying left and right,
The initial synthesis speed was improved, the startup time could be improved, and the startup time could be shortened to 2/3 of the conventional one.

【００４４】多孔質ガラス母材８の合成の進行につれて
隔壁２１を後退させると、該多孔質ガラス母材８の大き
さに合わせて効果的に気流の流れを制御でき、合成速度
が向上し、効率よく多孔質ガラス母材８の合成を行うこ
とができる。また、火炎６，７の揺らぎを抑制できる
と、多孔質ガラス母材８の長手方向の屈折率分布の変化
も抑制でき、高品質の多孔質ガラス母材８を安定して製
造することができる。When the partition wall 21 is retracted as the synthesis of the porous glass base material 8 proceeds, the flow of the air flow can be effectively controlled according to the size of the porous glass base material 8, and the synthesis speed is improved. The porous glass base material 8 can be efficiently synthesized. Further, when fluctuations of the flames 6 and 7 can be suppressed, it is also possible to suppress changes in the refractive index distribution of the porous glass base material 8 in the longitudinal direction, and the high quality porous glass base material 8 can be stably manufactured. .

【００４５】[0045]

【発明の効果】本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス
母材製造装置においては、コアバーナとクラッドバーナ
バーナとを含む平面を横切る気流の流れを遮る隔壁を容
器内に設けたので、両バーナを含む平面を横切る気流の
流れを防止することができる。このため火炎が両バーナ
を含む平面の両側に揺れるのを低減できて、多孔質ガラ
ス母材の屈折率分布の安定性を向上でき、また多孔質ガ
ラス母材の製造速度も向上させることができる。In the apparatus for producing a porous glass preform for optical fibers according to the present invention, since both the burners are provided with the partition wall for blocking the flow of the air current across the plane including the core burner and the clad burner burner. Airflow can be prevented from flowing across the containing plane. Therefore, it is possible to reduce the fluctuation of the flame on both sides of the plane including both burners, to improve the stability of the refractive index distribution of the porous glass preform, and also to improve the production rate of the porous glass preform. .

【００４６】また、隔壁をその先端がターゲットに対し
て接近・離間させ得るように移動型にすると、該隔壁の
先端を合成初期にはターゲットである種棒に接近させる
ことができ、その結果、火炎が両バーナを含む平面の両
側に揺れるのを低減できるため、初期の多孔質ガラス母
材の合成速度が向上し、立ち上げ時間を低減させること
ができる。また、該隔壁を多孔質ガラス母材の成長につ
れて後退させることにより、多孔質ガラス母材の成長に
合わせて効果的に気流の流れを制御することができる。Further, when the partition wall is of a movable type so that its tip can approach and separate from the target, the tip of the partition wall can approach the seed rod which is the target in the initial stage of synthesis, and as a result, Since it is possible to reduce the fluctuation of the flame on both sides of the plane including both burners, the synthesis rate of the initial porous glass preform is improved, and the start-up time can be reduced. Further, by making the partition wall recede as the porous glass base material grows, the flow of the air flow can be effectively controlled in accordance with the growth of the porous glass base material.

【００４７】また、容器内の隔壁に整列させて排気管内
にも隔壁を設けると、火炎の揺れをより一層小さくする
ことができ、多孔質ガラス母材の品質のより一層の向上
と生産性のより一層の向上を図ることができる。If the partition wall is provided in the exhaust pipe so as to be aligned with the partition wall in the container, the fluctuation of the flame can be further reduced, and the quality of the porous glass base material can be further improved and the productivity can be improved. Further improvement can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】従来の装置で容器内での多孔質ガラス母材の製
造中における気流を可視化して示した説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing an air flow visualized during manufacturing of a porous glass preform in a container by a conventional apparatus.

【図２】従来の装置に火炎を監視するために用いた火炎
位置測定装置を設けた状態を示す縦断面図である。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing a state in which a flame position measuring device used for monitoring a flame is provided in a conventional device.

【図３】火炎を監視する火炎位置測定装置の一例を示す
ブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing an example of a flame position measuring device for monitoring a flame.

【図４】図３に示す火炎位置測定装置の処理画像モニタ
に表示されるコア部形成用火炎処理画像を示した説明図
である。FIG. 4 is an explanatory view showing a flame processing image for forming a core portion displayed on a processing image monitor of the flame position measuring device shown in FIG.

【図５】図３に示す火炎位置測定装置で測定した従来の
装置でのコア部形成用火炎の中点の左右の動きを測定し
た結果を示す特性図である。5 is a characteristic diagram showing a result of measuring a lateral movement of a midpoint of a flame for forming a core portion in a conventional device measured by the flame position measuring device shown in FIG.

【図６】火炎位置測定装置を取付けた本発明に係る光フ
ァイバ用多孔質ガラス母材製造装置の第１例を示す縦断
面図である。FIG. 6 is a vertical cross-sectional view showing a first example of an apparatus for producing a porous glass preform for optical fibers according to the present invention, to which a flame position measuring device is attached.

【図７】本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス母材製
造装置の第１例の縦断面図である。FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of a first example of an optical fiber porous glass preform manufacturing apparatus according to the present invention.

【図８】図６，図７に示す第１例の多孔質ガラス母材製
造装置におけるコア部形成用火炎の中点の左右の動きを
図３に示す火炎位置測定装置で測定した測定結果を示す
特性図である。FIG. 8 shows the measurement results obtained by measuring the lateral movement of the midpoint of the flame for core formation in the porous glass preform manufacturing apparatus of the first example shown in FIGS. 6 and 7 by the flame position measuring apparatus shown in FIG. It is a characteristic view to show.

【図９】（Ａ）は本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材製造装置の第２例の縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）の
Ｘ−Ｘ線断面図である。9A is a vertical cross-sectional view of a second example of the optical glass porous glass preform manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line XX of FIG. 9A.

【図１０】（Ａ）は本発明に係る光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材製造装置の第３例の縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）
のＹ−Ｙ線断面図である。FIG. 10 (A) is a vertical cross-sectional view of a third example of a porous glass preform manufacturing apparatus for optical fibers according to the present invention, and FIG. 10 (B) is (A).
5 is a sectional view taken along line YY of FIG.

【図１１】（Ａ）は本発明に係る光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材製造装置の第４例の合成初期の縦断面図、
（Ｂ）は本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス母材製
造装置の第４例の合成中期の縦断面図、（Ｃ）は（Ｂ）
のＺ−Ｚ線断面図である。FIG. 11 (A) is a vertical cross-sectional view of a fourth example of the apparatus for producing a porous glass preform for optical fibers according to the present invention at the initial stage of synthesis;
(B) is a vertical cross-sectional view of the fourth example of the apparatus for producing a porous glass preform for optical fibers according to the present invention during the middle stage of synthesis, and (C) is (B).
It is a ZZ line sectional view of.

【図１２】従来の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装
置の縦断面図である。FIG. 12 is a vertical sectional view of a conventional apparatus for producing a porous glass preform for optical fibers.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 容器 ２ 開口部 ３ 種棒 ４ コアバーナ ５ クラッドバーナ ６ コア部形成用火炎 ７ クラッド部形成用火炎 ８ 多孔質ガラス母材 ９ 排気管 １０ 平面 １１ 火炎位置測定装置 １２ ＣＣＤカメラ １３ 生画像モニタ １４ 画像処理部 １５ 処理画像モニタ １６ コンピュータ １７ 記録部 １８ 監視窓 １９ 測定ウインドウ ２０ 中点 ２１ 隔壁 ２２ 伸縮性シール筒体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 container 2 opening part 3 type rod 4 core burner 5 clad burner 6 flame for forming core part 7 flame for forming clad part 8 porous glass base material 9 exhaust pipe 10 plane 11 flame position measuring device 12 CCD camera 13 live image monitor 14 image Processing unit 15 Processed image monitor 16 Computer 17 Recording unit 18 Monitoring window 19 Measurement window 20 Midpoint 21 Partition wall 22 Elastic seal cylinder

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 容器内で上下に並ぶコアバーナとクラッ
ドバーナバーナからの火炎をターゲットに当てて光ファ
イバ用多孔質ガラス母材を製造する光ファイバ用多孔質
ガラス母材製造装置において、 前記コアバーナと前記クラッドバーナバーナとを含む平
面を横切る気流の流れを遮る隔壁が前記容器内に設けら
れていることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母
材製造装置。1. An optical fiber porous glass preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous glass preform for optical fibers by applying a flame from a core burner and a clad burner burner arranged vertically in a container to a target, An apparatus for producing a porous glass preform for an optical fiber, characterized in that a partition wall that blocks a flow of an air current across a plane including the clad burner burner is provided in the container. 【請求項２】 前記隔壁はその先端を前記ターゲットに
対して接近・離間させ得るように移動型になっているこ
とを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材製造装置。2. The apparatus for producing a porous glass preform for an optical fiber according to claim 1, wherein the partition wall is of a movable type so that its tip can be moved toward and away from the target. . 【請求項３】 前記隔壁は前記容器内の該隔壁に整列さ
せて該容器の排気管内にも設けられていることを特徴と
する請求項１または２に記載の光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材製造装置。3. The porous glass preform for an optical fiber according to claim 1, wherein the partition wall is aligned with the partition wall inside the container and is also provided inside the exhaust pipe of the container. Manufacturing equipment.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1065486C (en) * 1996-05-24 2001-05-09 日野自动车工业株式会社 controller for on-vehicle battery

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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