JPH09297266A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
- Publication number
- JPH09297266A JPH09297266A JP11395196A JP11395196A JPH09297266A JP H09297266 A JPH09297266 A JP H09297266A JP 11395196 A JP11395196 A JP 11395196A JP 11395196 A JP11395196 A JP 11395196A JP H09297266 A JPH09297266 A JP H09297266A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflected light
- sample
- illumination light
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な照明系で暗視野顕微鏡を構成するとと
もに、簡単な構成で明視野と暗視野とを切り換えて透明
な試料と不透明な試料とを観察する。 【解決手段】 光源から放射された照明光を平行光に変
換するレンズと、該レンズから入射された照明光を反射
するとともに、この反射された照明光が試料に反射され
て得られた反射光のうち照明光に対して偏光角が所定角
度だけ異なる反射光を透過させるビームスプリッタと、
該ビームスプリッタから出力された照明光を集光させて
試料に照射するとともに、その反射光をビームスプリッ
タに照射する対物レンズと、ビームスプリッタと対物レ
ンズとの間に介挿され、照明光及び反射光を素通りさせ
る中空部が設けられるとともに、照射された照明光及び
反射光の偏光角を１／２波長推移させる光学位相空間フ
ィルタとを具備する。
もに、簡単な構成で明視野と暗視野とを切り換えて透明
な試料と不透明な試料とを観察する。 【解決手段】 光源から放射された照明光を平行光に変
換するレンズと、該レンズから入射された照明光を反射
するとともに、この反射された照明光が試料に反射され
て得られた反射光のうち照明光に対して偏光角が所定角
度だけ異なる反射光を透過させるビームスプリッタと、
該ビームスプリッタから出力された照明光を集光させて
試料に照射するとともに、その反射光をビームスプリッ
タに照射する対物レンズと、ビームスプリッタと対物レ
ンズとの間に介挿され、照明光及び反射光を素通りさせ
る中空部が設けられるとともに、照射された照明光及び
反射光の偏光角を１／２波長推移させる光学位相空間フ
ィルタとを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は顕微鏡に係わり、特
に明視野と暗視野とを切り換えが容易な照明系に関す
る。
に明視野と暗視野とを切り換えが容易な照明系に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】金属材料等、不透明な試料の表面を観察
する顕微鏡の１つとして暗視野顕微鏡がある。この暗視
野顕微鏡は、試料に対して対物レンズ側から照明光を垂
直に落射させ、試料からの正反射光ではなく試料の表面
で散乱された散乱光に基づいて観察するものである。
する顕微鏡の１つとして暗視野顕微鏡がある。この暗視
野顕微鏡は、試料に対して対物レンズ側から照明光を垂
直に落射させ、試料からの正反射光ではなく試料の表面
で散乱された散乱光に基づいて観察するものである。
【０００３】図２は、従来の暗視野顕微鏡の光学系の構
成例を示す図であり、光源から出射された照明光はコリ
メータレンズによって平行光とされて中心部がくり抜か
れた穴あき鏡によって反射され、同じく中心部がくり抜
かれたリング型コンデンサレンズを介して試料に照射さ
れるようになっている。また、リング型コンデンサレン
ズの中心部（くりぬき部）には対物レンズが配置され、
照明光が試料に反射して得られる反射光を該対物レンズ
によって捉えて観察する。ここで、照明光は対物レンズ
の外側から試料に照射されるため、その正反射光は対物
レンズに入射されることはなく、当該対物レズに入射さ
れた反射光は試料の表面において散乱された散乱光とな
る。
成例を示す図であり、光源から出射された照明光はコリ
メータレンズによって平行光とされて中心部がくり抜か
れた穴あき鏡によって反射され、同じく中心部がくり抜
かれたリング型コンデンサレンズを介して試料に照射さ
れるようになっている。また、リング型コンデンサレン
ズの中心部（くりぬき部）には対物レンズが配置され、
照明光が試料に反射して得られる反射光を該対物レンズ
によって捉えて観察する。ここで、照明光は対物レンズ
の外側から試料に照射されるため、その正反射光は対物
レンズに入射されることはなく、当該対物レズに入射さ
れた反射光は試料の表面において散乱された散乱光とな
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記顕微鏡に
よって透明な試料を観察しようとした場合、上記照明の
他に下側から試料に照明光を照射する透過型の照明設備
が必要となるため、構造が複雑になるとともにコストが
掛かるという問題があった。一方、試料の上側から照明
光を照射することによっても透明な試料を観察すること
が可能であるが、この場合には新たに専用の対物レンズ
を設ける必要があるため構造が複雑になるとともにコス
トが掛かる。
よって透明な試料を観察しようとした場合、上記照明の
他に下側から試料に照明光を照射する透過型の照明設備
が必要となるため、構造が複雑になるとともにコストが
掛かるという問題があった。一方、試料の上側から照明
光を照射することによっても透明な試料を観察すること
が可能であるが、この場合には新たに専用の対物レンズ
を設ける必要があるため構造が複雑になるとともにコス
トが掛かる。
【０００５】本発明は、上述する問題点に鑑みてなされ
たもので、以下の点を目的としている。 （１）簡単な照明系で暗視野顕微鏡を構成することが可
能な顕微鏡を提供する。 （２）簡単な構成で明視野と暗視野とを切り換えること
が可能な顕微鏡を提供する。 （３）透明な試料と不透明な試料とを観察することが可
能な顕微鏡を提供する。
たもので、以下の点を目的としている。 （１）簡単な照明系で暗視野顕微鏡を構成することが可
能な顕微鏡を提供する。 （２）簡単な構成で明視野と暗視野とを切り換えること
が可能な顕微鏡を提供する。 （３）透明な試料と不透明な試料とを観察することが可
能な顕微鏡を提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の手段として、光源から放射された照明光を平
行光に変換するレンズと、該レンズから入射された照明
光を反射するとともに、この反射された照明光が試料に
反射されて得られた反射光のうち照明光に対して偏光角
が所定角度だけ異なる反射光を透過させるビームスプリ
ッタと、該ビームスプリッタから出力された照明光を集
光させて試料に照射するとともに、その反射光を前記ビ
ームスプリッタに照射する対物レンズと、前記ビームス
プリッタと対物レンズとの間に介挿され、照明光及び反
射光を素通りさせる中空部が設けられるとともに、照射
された照明光及び反射光の偏光角を１／２波長推移させ
る光学位相空間フィルタとを具備する手段が採用され
る。
に、第１の手段として、光源から放射された照明光を平
行光に変換するレンズと、該レンズから入射された照明
光を反射するとともに、この反射された照明光が試料に
反射されて得られた反射光のうち照明光に対して偏光角
が所定角度だけ異なる反射光を透過させるビームスプリ
ッタと、該ビームスプリッタから出力された照明光を集
光させて試料に照射するとともに、その反射光を前記ビ
ームスプリッタに照射する対物レンズと、前記ビームス
プリッタと対物レンズとの間に介挿され、照明光及び反
射光を素通りさせる中空部が設けられるとともに、照射
された照明光及び反射光の偏光角を１／２波長推移させ
る光学位相空間フィルタとを具備する手段が採用され
る。
【０００７】第２の手段として、上記第１の手段におい
て、光学位相空間フィルタあるいは照明光及び反射光の
偏光角を１／４波長推移させる１／４波長光学位相フィ
ルタを光路に択一的に挿入するように形成されるという
手段が採用される。
て、光学位相空間フィルタあるいは照明光及び反射光の
偏光角を１／４波長推移させる１／４波長光学位相フィ
ルタを光路に択一的に挿入するように形成されるという
手段が採用される。
【０００８】第３の手段として、上記第１または第２の
手段において、光学位相空間フィルタがリング状に形成
されるという手段が採用される。
手段において、光学位相空間フィルタがリング状に形成
されるという手段が採用される。
【０００９】第４の手段として、上記第１ないし第４い
ずれかの手段において、ビームスプリッタを透過した反
射光を集光させて接眼レンズに照射するチューブレンズ
を具備するという手段が採用される。
ずれかの手段において、ビームスプリッタを透過した反
射光を集光させて接眼レンズに照射するチューブレンズ
を具備するという手段が採用される。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係わる顕微鏡の一実施形態について説明する。
係わる顕微鏡の一実施形態について説明する。
【００１１】 図１において、符号１はランプ等の光源
であり、コリメータレンズ（レンズ）２に向けて照明光
を出射する。コリメータレンズ２は、照明光を平行光に
変換してビームスプリッタ３に照射させる。ビームスプ
リッタ３は偏光型であり、照明光を反射して光学位相空
間フィルタ４に照射するとともに、試料Ａからの射光の
うち照明光に対して偏光面が例えば直交する反射光を透
過させてチューブレンズ５に照射する。
であり、コリメータレンズ（レンズ）２に向けて照明光
を出射する。コリメータレンズ２は、照明光を平行光に
変換してビームスプリッタ３に照射させる。ビームスプ
リッタ３は偏光型であり、照明光を反射して光学位相空
間フィルタ４に照射するとともに、試料Ａからの射光の
うち照明光に対して偏光面が例えば直交する反射光を透
過させてチューブレンズ５に照射する。
【００１２】光学位相空間フィルタ４は、円盤状の１／
２波長板の中心部をくり抜いてリング状に形成したもの
であり、１／２波長板の部分（以下、１／２波長板部と
いう）に照射された照明光及び反射光の偏光面を１／２
波長つまり偏光角として１８０゜推移させて対物レンズ
６に向けて透過させる。
２波長板の中心部をくり抜いてリング状に形成したもの
であり、１／２波長板の部分（以下、１／２波長板部と
いう）に照射された照明光及び反射光の偏光面を１／２
波長つまり偏光角として１８０゜推移させて対物レンズ
６に向けて透過させる。
【００１３】対物レンズ６は、平行光である照明光を試
料の表面に集束させて照射するとともに、試料からの反
射光を平行光に変換して上記光学位相空間フィルタ４に
照射する。符号７は接眼レンズであり、ビームスプリッ
タ３を通過しかつチューブレンズ５によって集束された
反射光による像Ｘを結像させる。
料の表面に集束させて照射するとともに、試料からの反
射光を平行光に変換して上記光学位相空間フィルタ４に
照射する。符号７は接眼レンズであり、ビームスプリッ
タ３を通過しかつチューブレンズ５によって集束された
反射光による像Ｘを結像させる。
【００１４】このように構成された顕微鏡によれば、リ
ング状の光学位相空間フィルタ４の１／２波長板部を透
過した照明光は、偏光角が１／２波長推移されて試料Ａ
に照射され、試料Ａにおいて正反射した正反射光は同じ
く光学位相空間フィルタ４によって偏光角が１／２波長
推移される。すなわち、正反射光は、ビームスプリッタ
３を透過することなくコリメータレンズ２に向けて反射
される。
ング状の光学位相空間フィルタ４の１／２波長板部を透
過した照明光は、偏光角が１／２波長推移されて試料Ａ
に照射され、試料Ａにおいて正反射した正反射光は同じ
く光学位相空間フィルタ４によって偏光角が１／２波長
推移される。すなわち、正反射光は、ビームスプリッタ
３を透過することなくコリメータレンズ２に向けて反射
される。
【００１５】一方、上記散乱光のうち１／２波長板部以
外のくり抜かれた中心部を通過し、かつ偏光角が照明光
に対して直交する散乱光は、ビームスプリッタ３を透過
して像Ｘを結像させる。したがって、像Ｘは散乱光のみ
によって結像されるため、当該顕微鏡は暗視野顕微鏡と
なる。照明光の散乱は、試料のエッジ部あるいは試料表
面に付着したゴミやキズ等が存在する部位で激しくなる
ので、このような暗視野顕微鏡は透明な試料の輪郭、ゴ
ミやキズ等を正反射光によって妨害されることなく正確
に検出することができる。
外のくり抜かれた中心部を通過し、かつ偏光角が照明光
に対して直交する散乱光は、ビームスプリッタ３を透過
して像Ｘを結像させる。したがって、像Ｘは散乱光のみ
によって結像されるため、当該顕微鏡は暗視野顕微鏡と
なる。照明光の散乱は、試料のエッジ部あるいは試料表
面に付着したゴミやキズ等が存在する部位で激しくなる
ので、このような暗視野顕微鏡は透明な試料の輪郭、ゴ
ミやキズ等を正反射光によって妨害されることなく正確
に検出することができる。
【００１６】なお、上記光学位相空間フィルタ４に代え
て平板な１／４波長板（１／４波長光学位相フィルタ）
を挿入した場合、光源１から照射された照明光に対して
試料Ａによって正反射した正反射光は１／４波長板を２
回通過することになるので、この正反射光はビームスプ
リッタ３を透過して像Ｘを結ぶようになる。この場合、
当該顕微鏡は明視野顕微鏡となり、不透明な試料を観察
することが可能となるとともに、強度の大きな正反射光
の基づいて対物レンズ６の焦点調整を精度良く行うこと
ができる。
て平板な１／４波長板（１／４波長光学位相フィルタ）
を挿入した場合、光源１から照射された照明光に対して
試料Ａによって正反射した正反射光は１／４波長板を２
回通過することになるので、この正反射光はビームスプ
リッタ３を透過して像Ｘを結ぶようになる。この場合、
当該顕微鏡は明視野顕微鏡となり、不透明な試料を観察
することが可能となるとともに、強度の大きな正反射光
の基づいて対物レンズ６の焦点調整を精度良く行うこと
ができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる顕
微鏡によれば以下のような効果を奏する。 （１）レンズから入射された照明光を反射するととも
に、該照明光が試料に照射されて得られた反射光のうち
照明光に対して偏光角が照明光に対して所定角度だけ異
なる反射光を透過させるビームスプリッタと、ビームス
プリッタと試料との間に介挿され、照明光及び反射光を
素通りさせる中空部が設けられるとともに照明光及び反
射光の偏光角を１／２波長推移させる光学位相空間フィ
ルタとを具備するので、簡単な構成で暗視野顕微鏡を構
成することができる。 （２）光学位相空間フィルタと光学位相フィルタとのい
ずれかが択一的に光路に挿入されるように形成されるの
で、簡単な構成かつ容易に明視野と暗視野とを切り換え
ることができる。 （３）明視野と暗視野とを切り換えることにより、透明
な試料と不透明な試料とを速やかに観察することが可能
である。
微鏡によれば以下のような効果を奏する。 （１）レンズから入射された照明光を反射するととも
に、該照明光が試料に照射されて得られた反射光のうち
照明光に対して偏光角が照明光に対して所定角度だけ異
なる反射光を透過させるビームスプリッタと、ビームス
プリッタと試料との間に介挿され、照明光及び反射光を
素通りさせる中空部が設けられるとともに照明光及び反
射光の偏光角を１／２波長推移させる光学位相空間フィ
ルタとを具備するので、簡単な構成で暗視野顕微鏡を構
成することができる。 （２）光学位相空間フィルタと光学位相フィルタとのい
ずれかが択一的に光路に挿入されるように形成されるの
で、簡単な構成かつ容易に明視野と暗視野とを切り換え
ることができる。 （３）明視野と暗視野とを切り換えることにより、透明
な試料と不透明な試料とを速やかに観察することが可能
である。
【図１】本発明に係わる顕微鏡の光学系の一実施形態を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図２】⌒従来の暗視野顕微鏡の光学系の一例を示す正
面図である。
面図である。
１ 光源 ２ コリメータレンズ ３ ビームスプリッタ ４ 光学位相空間フィルタ ５ チューブレンズ ６ 対物レンズ ７ 接眼レンズ Ａ 試料 Ｘ 像
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 立川 茂 東京都品川区上大崎１丁目１番17号 石川 島システムテクノロジー株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 光源から放射された照明光を平行光に変
換するレンズと、 該レンズから入射された照明光を反射するとともに、こ
の反射された照明光が試料に反射されて得られた反射光
のうち照明光に対して偏光角が所定角度だけ異なる反射
光を透過させるビームスプリッタと、 該ビームスプリッタから出力された照明光を集光させて
試料に照射するとともに、その反射光を前記ビームスプ
リッタに照射する対物レンズと、 前記ビームスプリッタと対物レンズとの間に介挿され、
照明光及び反射光を素通りさせる中空部が設けられると
ともに、照射された照明光及び反射光の偏光角を１／２
波長推移させる光学位相空間フィルタと、 を具備することを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項２】 光学位相空間フィルタあるいは照明光及
び反射光の偏光角を１／４波長推移させる１／４波長光
学位相フィルタを光路に択一的に挿入するように形成さ
れることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。 - 【請求項３】 光学位相空間フィルタがリング状に形成
されることを特徴とする請求項１または２記載の顕微
鏡。 - 【請求項４】 ビームスプリッタを透過した反射光を集
光させて接眼レンズに照射するチューブレンズを具備す
ることを特徴とする請求項１ないし３いずれかに記載の
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11395196A JPH09297266A (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11395196A JPH09297266A (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | 顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09297266A true JPH09297266A (ja) | 1997-11-18 |
Family
ID=14625304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11395196A Withdrawn JPH09297266A (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09297266A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002061485A3 (en) * | 2000-12-01 | 2003-11-27 | Univ Auburn | High-resolution optical microscope |
| US6992819B2 (en) | 2000-12-01 | 2006-01-31 | Auburn University | High-resolution optical microscope for quick detection of pathogens |
| EP1684106A2 (en) * | 2000-12-01 | 2006-07-26 | Auburn University | High-resolution optical microscope |
| JP2007163553A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 顕微鏡、顕微鏡のための対物レンズユニット及び対物レンズ用アダプタ |
| WO2007136100A1 (ja) | 2006-05-24 | 2007-11-29 | Japan Science And Technology Agency | 暗視野顕微鏡及びその調整方法 |
-
1996
- 1996-05-08 JP JP11395196A patent/JPH09297266A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002061485A3 (en) * | 2000-12-01 | 2003-11-27 | Univ Auburn | High-resolution optical microscope |
| US6690509B2 (en) | 2000-12-01 | 2004-02-10 | Auburn University | High-resolution optical microscope |
| US6865013B2 (en) | 2000-12-01 | 2005-03-08 | Auburn University | High-resolution optical microscope |
| US6992819B2 (en) | 2000-12-01 | 2006-01-31 | Auburn University | High-resolution optical microscope for quick detection of pathogens |
| EP1684106A2 (en) * | 2000-12-01 | 2006-07-26 | Auburn University | High-resolution optical microscope |
| US7106503B2 (en) | 2000-12-01 | 2006-09-12 | Auburn University | High-resolution optical microscope |
| EP1684106A3 (en) * | 2000-12-01 | 2006-10-04 | Auburn University | High-resolution optical microscope |
| JP2007163553A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 顕微鏡、顕微鏡のための対物レンズユニット及び対物レンズ用アダプタ |
| WO2007136100A1 (ja) | 2006-05-24 | 2007-11-29 | Japan Science And Technology Agency | 暗視野顕微鏡及びその調整方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4558944B2 (ja) | 共焦点顕微鏡検査装置および方法 | |
| JP5171744B2 (ja) | 欠陥検査方法およびその装置 | |
| JP2836829B2 (ja) | 走査式共焦点型光学顕微鏡 | |
| KR100293126B1 (ko) | 검사장치 | |
| KR920007196B1 (ko) | 이물질 검출방법 및 그 장치 | |
| JP2003149169A (ja) | ウエハ欠陥検査装置 | |
| JP5162781B2 (ja) | 顕微鏡組立物 | |
| US7480046B2 (en) | Scanning microscope with evanescent wave illumination | |
| US7915575B2 (en) | Laser scanning microscope having an IR partial transmission filter for realizing oblique illumination | |
| JP3762952B2 (ja) | 光学装置並びにそれを用いた画像測定装置及び検査装置 | |
| JP2002525651A (ja) | 共焦点蛍光顕微鏡のビーム路における光学装置 | |
| JPH04171415A (ja) | 長焦点深度高分解能照射光学系 | |
| JPH1152224A (ja) | 自動焦点検出方法およびその装置並びに検査装置 | |
| US20160054552A1 (en) | Confocal laser scanning microscope | |
| JP2006105780A (ja) | 微細構造観察方法および欠陥検査装置 | |
| JP3965325B2 (ja) | 微細構造観察方法、および欠陥検査装置 | |
| JPH09297266A (ja) | 顕微鏡 | |
| JP2004144764A (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
| JP2001242383A (ja) | 顕微鏡 | |
| JPH10186240A (ja) | 暗視野落射顕微鏡装置 | |
| JPH1195114A (ja) | 走査型光学顕微鏡装置 | |
| KR102315010B1 (ko) | 파라볼릭 미러를 이용한 반사형 ｆｐｍ | |
| JPH10186241A (ja) | 暗視野落射顕微鏡装置 | |
| JP2004212800A (ja) | 顕微鏡照明装置及びそれを用いた共焦点顕微鏡 | |
| JPH01176932A (ja) | 微小異物検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030805 |