JPH09296779A - 真空排気方法及び装置 - Google Patents
真空排気方法及び装置Info
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- JPH09296779A JPH09296779A JP8112812A JP11281296A JPH09296779A JP H09296779 A JPH09296779 A JP H09296779A JP 8112812 A JP8112812 A JP 8112812A JP 11281296 A JP11281296 A JP 11281296A JP H09296779 A JPH09296779 A JP H09296779A
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空断熱配管等の封じ切り真空空間の封じ切
り時の判定を適切に行うことができ、封じ切り後の真空
度の劣化を抑えることができ、信頼性の向上が図れる真
空排気方法及び装置を提供する。 【解決手段】 真空断熱配管６等の封じ切り真空空間を
有する機器に対する真空排気工程中あるいは真空排気工
程終了後に、前記真空空間と真空排気手段１との間に設
けた仕切弁２２を閉じて封じ切りを行い、該封じ切り後
の真空空間内の真空度を真空計２３で測定し、その劣化
程度により真空排気操作の終点を判断する。
り時の判定を適切に行うことができ、封じ切り後の真空
度の劣化を抑えることができ、信頼性の向上が図れる真
空排気方法及び装置を提供する。 【解決手段】 真空断熱配管６等の封じ切り真空空間を
有する機器に対する真空排気工程中あるいは真空排気工
程終了後に、前記真空空間と真空排気手段１との間に設
けた仕切弁２２を閉じて封じ切りを行い、該封じ切り後
の真空空間内の真空度を真空計２３で測定し、その劣化
程度により真空排気操作の終点を判断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空排気方法及び
装置に関し、特に、各種低温液化ガスの移送配管や貯蔵
容器に採用されている真空断熱空間の真空排気を行うの
に適した方法及び装置に関する。
装置に関し、特に、各種低温液化ガスの移送配管や貯蔵
容器に採用されている真空断熱空間の真空排気を行うの
に適した方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空断熱方式は、他の断熱方式に比べて
断熱性能が優れているため、特に液体窒素や液体ヘリウ
ム等の低温液化ガスの移送配管あるいは貯蔵容器に多く
採用されている。これらの配管や容器は、一般にステン
レス鋼又はアルミニウム合金で製作されており、まず、
溶接等により構造部分を組み立て、必要な検査を行った
後、最後に真空空間を排気し、排気が終了した時点で封
じ切りを行って真空排気装置と切り離し、製品として出
荷・納品される。
断熱性能が優れているため、特に液体窒素や液体ヘリウ
ム等の低温液化ガスの移送配管あるいは貯蔵容器に多く
採用されている。これらの配管や容器は、一般にステン
レス鋼又はアルミニウム合金で製作されており、まず、
溶接等により構造部分を組み立て、必要な検査を行った
後、最後に真空空間を排気し、排気が終了した時点で封
じ切りを行って真空排気装置と切り離し、製品として出
荷・納品される。
【０００３】このような真空空間は、通常の使用では、
真空排気装置とは接続されずに用いられるもので、この
ような形態は、封じ切り真空と呼ばれており、多くの真
空断熱配管や小型の容器では、この方式を採用してい
る。
真空排気装置とは接続されずに用いられるもので、この
ような形態は、封じ切り真空と呼ばれており、多くの真
空断熱配管や小型の容器では、この方式を採用してい
る。
【０００４】一方、真空断熱方式においては、真空空間
内の真空度の低下に伴って断熱性能が低下し、製品とし
て必要な性能を維持できなくなることが知られている。
特に、近年主流となっている多層真空断熱方式において
は、真空空間内に置かれる輻射熱反射材（商品名：スー
パーインシュレーション）が、真空空間を構成するステ
ンレス鋼等の内壁以上の脱ガス源となっており、真空度
の劣化を加速する因子となっている。
内の真空度の低下に伴って断熱性能が低下し、製品とし
て必要な性能を維持できなくなることが知られている。
特に、近年主流となっている多層真空断熱方式において
は、真空空間内に置かれる輻射熱反射材（商品名：スー
パーインシュレーション）が、真空空間を構成するステ
ンレス鋼等の内壁以上の脱ガス源となっており、真空度
の劣化を加速する因子となっている。
【０００５】このような真空度の劣化を防止するために
は、製作時の真空排気を確実に行い、その度合いを的確
に把握することが品質管理の上で重要である。
は、製作時の真空排気を確実に行い、その度合いを的確
に把握することが品質管理の上で重要である。
【０００６】図４は、従来の真空排気装置の概略を示す
もので、封じ切り真空空間を有する機器の一つである真
空断熱配管の真空空間の排気を行う状態を示している。
真空排気手段１には、ターボ分子ポンプ等の高真空排気
ポンプを用いた主排気ポンプ２と、該主排気ポンプ２の
背圧側に接続された油回転ポンプ等の前段ポンプ３とが
用いられており、一度に複数の機器の真空空間を排気で
きるように、排気母管４には、複数個の引口弁５，５が
設けられている。
もので、封じ切り真空空間を有する機器の一つである真
空断熱配管の真空空間の排気を行う状態を示している。
真空排気手段１には、ターボ分子ポンプ等の高真空排気
ポンプを用いた主排気ポンプ２と、該主排気ポンプ２の
背圧側に接続された油回転ポンプ等の前段ポンプ３とが
用いられており、一度に複数の機器の真空空間を排気で
きるように、排気母管４には、複数個の引口弁５，５が
設けられている。
【０００７】一方、真空断熱配管６には、封じ切り装置
としてシールオフバルブ７や真空弁８が装着されてお
り、シールオフバルブ７はオペレーター９により、真空
弁８はクランプ１０あるいはこれに類するものにより、
それぞれフレキシブルホース１１を介して前記引口弁
５，５に接続される。
としてシールオフバルブ７や真空弁８が装着されてお
り、シールオフバルブ７はオペレーター９により、真空
弁８はクランプ１０あるいはこれに類するものにより、
それぞれフレキシブルホース１１を介して前記引口弁
５，５に接続される。
【０００８】また、前記排気母管４には真空計１２が設
けられており、該真空計１２の値をもって真空断熱配管
６の真空空間の真空度とし、その値で封じ切りの可否を
決定していた。
けられており、該真空計１２の値をもって真空断熱配管
６の真空空間の真空度とし、その値で封じ切りの可否を
決定していた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、真空計１２の
値は、真空断熱配管６の引口から主排気ポンプ２の吸気
口の経路の中間部の真空度を示しているに過ぎず、実際
には、ポンプ吸気口寄りの真空度を示していることが多
い。また、微小ではあるが、個々の真空断熱配管６の排
気具合が排気母管４に反映されるとしても、これらの平
均を示すことになる。
値は、真空断熱配管６の引口から主排気ポンプ２の吸気
口の経路の中間部の真空度を示しているに過ぎず、実際
には、ポンプ吸気口寄りの真空度を示していることが多
い。また、微小ではあるが、個々の真空断熱配管６の排
気具合が排気母管４に反映されるとしても、これらの平
均を示すことになる。
【００１０】さらに、真空断熱配管６が封じ切り真空で
使用されることを考慮すれば、封じ切り後の真空度の劣
化を所定量以下に抑えることが肝要であり、封じ切り時
は、その良否を判定できる測定でなければならない。と
ころが、上記手法では、真空排気手段１で排気しながら
の真空度しか測定できなかった。すなわち、従来の真空
度の測定方法は、直接的ではなく、判定手順として信頼
性に乏しいものであった。
使用されることを考慮すれば、封じ切り後の真空度の劣
化を所定量以下に抑えることが肝要であり、封じ切り時
は、その良否を判定できる測定でなければならない。と
ころが、上記手法では、真空排気手段１で排気しながら
の真空度しか測定できなかった。すなわち、従来の真空
度の測定方法は、直接的ではなく、判定手順として信頼
性に乏しいものであった。
【００１１】上述の問題を回避するため、図５に示すよ
うに、真空断熱配管６自体に真空計１３を取り付ける方
法が考えられる。しかし、この方法では、真空計１３及
びその保護措置に生じる費用を製品に割り付けなければ
ならない。これらの費用は一般的に高価であり、真空断
熱配管等の単価の低い製品にあっては、原価に占める割
合が高くなるため、適用するにしても特殊な機器に限ら
れ、実用的とはいえない。
うに、真空断熱配管６自体に真空計１３を取り付ける方
法が考えられる。しかし、この方法では、真空計１３及
びその保護措置に生じる費用を製品に割り付けなければ
ならない。これらの費用は一般的に高価であり、真空断
熱配管等の単価の低い製品にあっては、原価に占める割
合が高くなるため、適用するにしても特殊な機器に限ら
れ、実用的とはいえない。
【００１２】そこで本発明は、真空断熱配管等の封じ切
り真空空間の封じ切り時の判定を適切に行うことがで
き、封じ切り後の真空度の劣化を抑えることができ、信
頼性の向上が図れる真空排気方法及び装置を提供するこ
とを目的としている。
り真空空間の封じ切り時の判定を適切に行うことがで
き、封じ切り後の真空度の劣化を抑えることができ、信
頼性の向上が図れる真空排気方法及び装置を提供するこ
とを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の真空排気方法は、真空断熱配管等の封じ切
り真空空間を有する機器に対する真空排気工程中あるい
は真空排気工程終了後に、前記真空空間と真空排気手段
との間に設けた仕切弁を閉じて封じ切りを行い、該封じ
切り後の真空空間内の真空度を測定し、その劣化程度に
より真空排気操作の終点を判断することを特徴とし、さ
らに、前記封じ切り後の真空空間内の真空度の測定を、
ベーキングを継続した状態で行うことを特徴としてい
る。
め、本発明の真空排気方法は、真空断熱配管等の封じ切
り真空空間を有する機器に対する真空排気工程中あるい
は真空排気工程終了後に、前記真空空間と真空排気手段
との間に設けた仕切弁を閉じて封じ切りを行い、該封じ
切り後の真空空間内の真空度を測定し、その劣化程度に
より真空排気操作の終点を判断することを特徴とし、さ
らに、前記封じ切り後の真空空間内の真空度の測定を、
ベーキングを継続した状態で行うことを特徴としてい
る。
【００１４】また、本発明の真空排気装置は、真空断熱
配管等の封じ切り真空空間を有する機器に対する真空排
気を行う真空排気手段と、前記機器と真空排気手段とを
接続する配管の途中に設けた仕切弁と、該仕切弁と機器
との間の配管内の真空度を測定する真空計とを備えたを
特徴としている。
配管等の封じ切り真空空間を有する機器に対する真空排
気を行う真空排気手段と、前記機器と真空排気手段とを
接続する配管の途中に設けた仕切弁と、該仕切弁と機器
との間の配管内の真空度を測定する真空計とを備えたを
特徴としている。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面を参照して
さらに詳細に説明する。図１は、本発明の真空排気装置
の一例を示すもので、前記従来例と同様に、封じ切り真
空空間を有する機器の一つである真空断熱配管の真空空
間の排気を行う状態を示している。なお、前記従来例と
同一要素のものには同一符号を付して、その詳細な説明
は省略する。
さらに詳細に説明する。図１は、本発明の真空排気装置
の一例を示すもので、前記従来例と同様に、封じ切り真
空空間を有する機器の一つである真空断熱配管の真空空
間の排気を行う状態を示している。なお、前記従来例と
同一要素のものには同一符号を付して、その詳細な説明
は省略する。
【００１６】主排気ポンプ２及び前段ポンプ３を備えた
真空排気手段１に接続する排気母管４には、従来と同様
に複数個の引口弁５，５が設けられるとともに、排気母
管４内の真空度を測定する真空計１２が設けられてい
る。また、製品となる真空断熱配管６には、従来と同様
にシールオフバルブ７や真空弁８が装着されており、オ
ペレーター９やクランプ１０等を介して排気管２１に接
続される。
真空排気手段１に接続する排気母管４には、従来と同様
に複数個の引口弁５，５が設けられるとともに、排気母
管４内の真空度を測定する真空計１２が設けられてい
る。また、製品となる真空断熱配管６には、従来と同様
にシールオフバルブ７や真空弁８が装着されており、オ
ペレーター９やクランプ１０等を介して排気管２１に接
続される。
【００１７】上記排気管２１は、引口弁５に接続したフ
レキシブルホース１１に仕切弁２２を介して接続するも
ので、仕切弁２２と前記シールオフバルブ７や真空弁８
との間には、各排気管２１内の真空度を測定することが
できる真空計２３がそれぞれ設けられている。
レキシブルホース１１に仕切弁２２を介して接続するも
ので、仕切弁２２と前記シールオフバルブ７や真空弁８
との間には、各排気管２１内の真空度を測定することが
できる真空計２３がそれぞれ設けられている。
【００１８】また、真空断熱配管６には、排気効果を促
進するためのベーキングヒーター２４が設けられてい
る。なお、このベーキングヒーター２４は、真空断熱配
管６の内管内、即ち低温流体の流路に設けることもで
き、ヒーターに代えて熱風を用いることもできる。
進するためのベーキングヒーター２４が設けられてい
る。なお、このベーキングヒーター２４は、真空断熱配
管６の内管内、即ち低温流体の流路に設けることもで
き、ヒーターに代えて熱風を用いることもできる。
【００１９】次に、上記装置を用いて真空断熱配管６の
真空空間の真空排気を行う手順を、図２を参照しながら
説明する。まず、所定の機械加工，溶接組立，検査を終
えた真空断熱配管６を、前記シールオフバルブ７や真空
弁８を介して排気管２１に接続する。この時点での真空
断熱配管６の真空空間の圧力は、図２の点イに示すよう
に、大気圧状態であり、このままでは真空断熱としての
機能はない。
真空空間の真空排気を行う手順を、図２を参照しながら
説明する。まず、所定の機械加工，溶接組立，検査を終
えた真空断熱配管６を、前記シールオフバルブ７や真空
弁８を介して排気管２１に接続する。この時点での真空
断熱配管６の真空空間の圧力は、図２の点イに示すよう
に、大気圧状態であり、このままでは真空断熱としての
機能はない。
【００２０】引口弁５，シールオフバルブ７，真空弁８
及び仕切弁２２を開とし、前段ポンプ３を稼働させて粗
引きを開始する。これにより、真空空間内の圧力は次第
に低下し、点ロを経て真空度が高まっていく。真空度が
ある程度に達したときにベーキングヒーター２４への通
電を開始し、真空断熱配管６を加熱する。この加熱によ
り、真空断熱配管６の真空空間を構成する内壁や輻射熱
反射材の表面からの脱ガスが促進されるため、一旦、真
空度が低下する（点ハ）。なお、このときの加熱温度
は、高いほどベーキングの効果が大きいが、構成する材
料の耐熱温度を考慮して適当に設定すればよい。
及び仕切弁２２を開とし、前段ポンプ３を稼働させて粗
引きを開始する。これにより、真空空間内の圧力は次第
に低下し、点ロを経て真空度が高まっていく。真空度が
ある程度に達したときにベーキングヒーター２４への通
電を開始し、真空断熱配管６を加熱する。この加熱によ
り、真空断熱配管６の真空空間を構成する内壁や輻射熱
反射材の表面からの脱ガスが促進されるため、一旦、真
空度が低下する（点ハ）。なお、このときの加熱温度
は、高いほどベーキングの効果が大きいが、構成する材
料の耐熱温度を考慮して適当に設定すればよい。
【００２１】その後の排気により、所定の真空度に達し
たら（点ニ）、主排気ポンプ２を起動して本排気を開始
する。この本排気により真空度が高まり、十分な真空度
になったと判断したら（点ホ）、ベーキングヒーター２
４を切り、真空断熱配管６の内外管が共に室温に戻るま
で待つ。なお、ここまでの操作は、排気母管４に設けた
真空計１２の指示値で行ってもよく、排気管２１の真空
計２３の指示値で行ってもよい。
たら（点ニ）、主排気ポンプ２を起動して本排気を開始
する。この本排気により真空度が高まり、十分な真空度
になったと判断したら（点ホ）、ベーキングヒーター２
４を切り、真空断熱配管６の内外管が共に室温に戻るま
で待つ。なお、ここまでの操作は、排気母管４に設けた
真空計１２の指示値で行ってもよく、排気管２１の真空
計２３の指示値で行ってもよい。
【００２２】内外管の温度が室温まで戻り、真空度が一
定になった時点で（点ヘ）、仕切弁２２を閉じる。この
操作により、仕切弁２２から真空断熱配管６の真空空間
側を封じ切った状態を模擬することができる。
定になった時点で（点ヘ）、仕切弁２２を閉じる。この
操作により、仕切弁２２から真空断熱配管６の真空空間
側を封じ切った状態を模擬することができる。
【００２３】そして、この状態で所定の保持期間放置
し、その期間内でのビルトアップ量（圧力上昇）ΔＰを
測定し、あらかじめ設定されている規定値ΔＰａ以内で
あれば（点ト）、ビルトアップテストを合格とする。保
持期間は、通常、数日から１週間程度確保すれば、圧力
上昇を有意差として測定できる。
し、その期間内でのビルトアップ量（圧力上昇）ΔＰを
測定し、あらかじめ設定されている規定値ΔＰａ以内で
あれば（点ト）、ビルトアップテストを合格とする。保
持期間は、通常、数日から１週間程度確保すれば、圧力
上昇を有意差として測定できる。
【００２４】上記テストに合格した真空断熱配管６は、
再び仕切弁２２を開として排気を行い、真空度がビルト
アップテスト直前まで戻った時点で（点チ）、オペレー
ター９又は真空弁８を操作して封じ切りを行い、排気装
置から切り離す。なお、シールオフバルブ７や真空弁８
は、真空断熱配管６に装着された状態のままとなる。
再び仕切弁２２を開として排気を行い、真空度がビルト
アップテスト直前まで戻った時点で（点チ）、オペレー
ター９又は真空弁８を操作して封じ切りを行い、排気装
置から切り離す。なお、シールオフバルブ７や真空弁８
は、真空断熱配管６に装着された状態のままとなる。
【００２５】ここで、上記ビルトアップテストにおける
規定値ΔＰａ［Ｐａ：パスカル］及びビルトアップの保
持期間ｔ［秒］は、真空空間の容積Ｖ［ｍ3 ］、真空断
熱配管の保証期間ｔE ［秒］、この期間内における真空
度劣化許容値ΔＰE ［Ｐａ］及び内壁や輻射熱反射材か
らの脱ガス速度Ｑ［Ｐａ・ｍ3 ／秒］を基準にして決定
することができる。
規定値ΔＰａ［Ｐａ：パスカル］及びビルトアップの保
持期間ｔ［秒］は、真空空間の容積Ｖ［ｍ3 ］、真空断
熱配管の保証期間ｔE ［秒］、この期間内における真空
度劣化許容値ΔＰE ［Ｐａ］及び内壁や輻射熱反射材か
らの脱ガス速度Ｑ［Ｐａ・ｍ3 ／秒］を基準にして決定
することができる。
【００２６】すなわち、保証期間内における真空度劣化
値ＰE は、真空空間の単位容積あたりの脱ガス速度Ｑの
積分値として求めることができるので、真空度劣化許容
値ΔＰE と真空空間の容積Ｖとから、脱ガス速度Ｑの許
容される最大値を求めることができる。即ち次式により
求められる。
値ＰE は、真空空間の単位容積あたりの脱ガス速度Ｑの
積分値として求めることができるので、真空度劣化許容
値ΔＰE と真空空間の容積Ｖとから、脱ガス速度Ｑの許
容される最大値を求めることができる。即ち次式により
求められる。
【００２７】
【式１】
【００２８】そして、ビルトアップテストにおける規定
値ΔＰａは、単位容積あたりの保持期間ｔ［秒］内にお
ける脱ガス速度Ｑの積分値として求めることができ、容
積Ｖは既知であるから、保持期間ｔを適当に設定すれ
ば、該保持期間ｔと前記脱ガス速度Ｑの許容最大値とか
ら、前記規定値ΔＰａを決定することができる。即ち次
式により求められる。
値ΔＰａは、単位容積あたりの保持期間ｔ［秒］内にお
ける脱ガス速度Ｑの積分値として求めることができ、容
積Ｖは既知であるから、保持期間ｔを適当に設定すれ
ば、該保持期間ｔと前記脱ガス速度Ｑの許容最大値とか
ら、前記規定値ΔＰａを決定することができる。即ち次
式により求められる。
【００２９】
【式２】
【００３０】次に、図３は、ベーキングを継続しながら
ビルトアップテストを行った際の真空度の変化を示す図
である。点イから点ホに至るまでの過程は、前記図２と
同様であるが、十分な真空度になったと判断したら（点
ホ）、ベーキングヒーター２４を入れた状態のままで仕
切弁２２を閉じる。この操作により、仕切弁２２から真
空断熱配管６の真空空間側は、加熱温度において封じ切
った状態を模擬することができる。
ビルトアップテストを行った際の真空度の変化を示す図
である。点イから点ホに至るまでの過程は、前記図２と
同様であるが、十分な真空度になったと判断したら（点
ホ）、ベーキングヒーター２４を入れた状態のままで仕
切弁２２を閉じる。この操作により、仕切弁２２から真
空断熱配管６の真空空間側は、加熱温度において封じ切
った状態を模擬することができる。
【００３１】この状態で所定の保持期間放置することに
より、その期間内での加熱ビルトアップ量ΔＰｂを測定
することができ、これが規定値ΔＰｂａ以内であれば
（点リ）、ビルトアップテストを合格とする。このとき
の保持期間は、加熱により脱ガスが促進されて圧力上昇
が早くなるため、通常、数十分程度で十分であり、圧力
上昇を有意差として測定できる時間を大幅に短縮するこ
とができる。なお、脱ガス速度は温度の関数であり、関
数式により室温時の脱ガス速度に換算できるので、換算
後に上記同様に規定値を計算すればよい。
より、その期間内での加熱ビルトアップ量ΔＰｂを測定
することができ、これが規定値ΔＰｂａ以内であれば
（点リ）、ビルトアップテストを合格とする。このとき
の保持期間は、加熱により脱ガスが促進されて圧力上昇
が早くなるため、通常、数十分程度で十分であり、圧力
上昇を有意差として測定できる時間を大幅に短縮するこ
とができる。なお、脱ガス速度は温度の関数であり、関
数式により室温時の脱ガス速度に換算できるので、換算
後に上記同様に規定値を計算すればよい。
【００３２】この加熱ビルトアップテストに合格した真
空断熱配管６は、ベーキングヒーター２４を切るととも
に再び仕切弁２２を開として排気を行いながら室温まで
戻せばよい（点ヌ）。
空断熱配管６は、ベーキングヒーター２４を切るととも
に再び仕切弁２２を開として排気を行いながら室温まで
戻せばよい（点ヌ）。
【００３３】一方、ビルトアップテストで不合格の判定
となった場合は、その原因に応じて対処すればよく、例
えば脱ガスが不十分な場合には、必要に応じてベーキン
グを行いながら真空排気を再び行って十分に脱ガスさせ
ればよい。
となった場合は、その原因に応じて対処すればよく、例
えば脱ガスが不十分な場合には、必要に応じてベーキン
グを行いながら真空排気を再び行って十分に脱ガスさせ
ればよい。
【００３４】なお、前記真空排気ポンプ２には、ターボ
分子ポンプの他、同程度の排気性能を有する油拡散ポン
プやクライオポンプ等を用いることができる。また、排
気管２１は、フレキシブルホース１１の一部でもよく、
仕切弁２２と真空計２３とを備えていれば、その形態は
任意である。
分子ポンプの他、同程度の排気性能を有する油拡散ポン
プやクライオポンプ等を用いることができる。また、排
気管２１は、フレキシブルホース１１の一部でもよく、
仕切弁２２と真空計２３とを備えていれば、その形態は
任意である。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空空間の封じ切りの可否の判定を確実に行うことがで
きるので、真空断熱配管や断熱容器、その他の封じ切り
真空空間を有する機器における真空断熱能力の信頼性を
向上させることができる。
真空空間の封じ切りの可否の判定を確実に行うことがで
きるので、真空断熱配管や断熱容器、その他の封じ切り
真空空間を有する機器における真空断熱能力の信頼性を
向上させることができる。
【図１】 本発明の真空排気装置の一例を示す系統図で
ある。
ある。
【図２】 真空排気時の真空度の変化の一例を示す図で
ある。
ある。
【図３】 同じく真空排気時の真空度の変化の他の例を
示す図である。
示す図である。
【図４】 従来の真空排気装置の一例を示す系統図であ
る。
る。
【図５】 真空計１３を取り付けた真空断熱配管の説明
図である。
図である。
１…真空排気手段、２…主排気ポンプ、３…前段ポン
プ、４…排気母管、５…引口弁、６…真空断熱配管、７
…シールオフバルブ、８…真空弁、９…オペレーター、
１０…クランプ、１１…フレキシブルホース、１２…真
空計、２１…排気管、２２…仕切弁、２３…真空計、２
４…ベーキングヒーター
プ、４…排気母管、５…引口弁、６…真空断熱配管、７
…シールオフバルブ、８…真空弁、９…オペレーター、
１０…クランプ、１１…フレキシブルホース、１２…真
空計、２１…排気管、２２…仕切弁、２３…真空計、２
４…ベーキングヒーター
Claims (3)
- 【請求項１】 真空断熱配管等の封じ切り真空空間を有
する機器に対する真空排気工程中あるいは真空排気工程
終了後に、前記真空空間と真空排気手段との間に設けた
仕切弁を閉じて封じ切りを行い、該封じ切り後の真空空
間内の真空度を測定し、その劣化程度により真空排気操
作の終点を判断することを特徴とする真空排気方法。 - 【請求項２】 前記封じ切り後の真空空間内の真空度の
測定を、ベーキングを継続した状態で行うことを特徴と
する請求項１記載の真空排気方法。 - 【請求項３】 真空断熱配管等の封じ切り真空空間を有
する機器に対する真空排気を行う真空排気手段と、前記
機器と真空排気手段とを接続する配管の途中に設けた仕
切弁と、該仕切弁と機器との間の配管内の真空度を測定
する真空計とを備えたことを特徴とする真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8112812A JPH09296779A (ja) | 1996-05-07 | 1996-05-07 | 真空排気方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8112812A JPH09296779A (ja) | 1996-05-07 | 1996-05-07 | 真空排気方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09296779A true JPH09296779A (ja) | 1997-11-18 |
Family
ID=14596158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8112812A Pending JPH09296779A (ja) | 1996-05-07 | 1996-05-07 | 真空排気方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09296779A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7002116B2 (en) | 2003-05-26 | 2006-02-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Baking method |
| CN105649952A (zh) * | 2016-03-23 | 2016-06-08 | 杭州川空通用设备有限公司 | 一种真空管道抽空装置及其抽空方法 |
| CN108591028A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-09-28 | 嘉兴市华鼎日用品有限公司 | 一种抽真空机 |
-
1996
- 1996-05-07 JP JP8112812A patent/JPH09296779A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7002116B2 (en) | 2003-05-26 | 2006-02-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Baking method |
| CN100379318C (zh) * | 2003-05-26 | 2008-04-02 | 住友电气工业株式会社 | 烘烤方法 |
| CN105649952A (zh) * | 2016-03-23 | 2016-06-08 | 杭州川空通用设备有限公司 | 一种真空管道抽空装置及其抽空方法 |
| CN108591028A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-09-28 | 嘉兴市华鼎日用品有限公司 | 一种抽真空机 |
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