JPH09294909A - ファン付きフィルタ装置 - Google Patents

ファン付きフィルタ装置

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JPH09294909A
JPH09294909A JP13435696A JP13435696A JPH09294909A JP H09294909 A JPH09294909 A JP H09294909A JP 13435696 A JP13435696 A JP 13435696A JP 13435696 A JP13435696 A JP 13435696A JP H09294909 A JPH09294909 A JP H09294909A
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fan
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axial
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filter
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Hisakuni Hasebe
久國 長谷部
Takayuki Nokura
隆行 野倉
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Nippon Muki Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小形且つ薄形に構成でき、しかも騒音が少な
く、風速分布の均一なファン付きフィルタ装置を提供す
る。 【解決手段】 軸流ファンを内蔵したチャンバの下流側
にフィルタを配置したファン付きフィルタ装置におい
て、前記軸流ファンの上流側に該軸流ファンの空気吸込
口より小さな開口部を有する気流逆流防止板を設けたこ
とを特徴とするファン付きフィルタ装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームや
クリーンストッカー等を構成するために用いるファン付
きフィルタ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のファン付きフィルタ装置
としては、例えば、特開平1−200137号公報に開
示されるように、チャンバ内の上流側に複数個の軸流フ
ァンを配置すると共に、前記チャンバの下流側にフィル
タを配置したものがある。ところが、このようなファン
付きフィルタ装置の場合、軸流ファンの隣接部において
気流が集中する領域が生じ、その領域においては他の領
域よりもかなり大きな風速の気流が衝突することにな
る。従って、チャンバ内での部分的な気流の乱れが生じ
ることになり、フィルタの下流側での風速分布が不均一
になるだけでなく、フィルタの寿命も短くなる不都合を
有していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そこで発明者らは、特
開平6−226022号公報に開示されるように、チャ
ンバ内を4分割し、その内の3ヶ所にのみ軸流ファンを
配置すると共に軸流ファン間に仕切板を設けたもの、或
いは、特開平7−47217号公報や、実開平7−13
4176号公報に開示されるように、チャンバ内を4分
割し、その対角線上に軸流ファンを配置すると共に軸流
ファン間に仕切板を設けたものを提案した。
【0004】ところが、従来、この種のファン付きフィ
ルタ装置は、装置の大きさが400×400mm角が最
小であったため、上記のようなファンの配置が可能であ
ったが、250×250mm角というような更なる装置
の小形化の要求があり、ファン1個で性能を満足させる
必要がでてきた。ファン1個の場合は、小形の軸流ファ
ンよりも、遠心ファン、斜流ファン、或いは、シロッコ
ファン等の方が風量を確保する上で有利であるが、騒音
が大きくなり好ましくない。このため、風量は小さいが
騒音が小さく且つ消費電力の小さい軸流ファンを採用す
る必要がある。ところが、軸流ファン1個を使用したも
のは、ファンを通った吹き込み風がフィルタに当たり、
跳ね返り風が発生し、この跳ね返り風と吹き込み風がぶ
つかりあって乱流が発生し、風量低下や異音発生の問題
が生じる。更に、跳ね返り風が強くなると、乱流による
異音が増大すると同時に、ファンの空気吸込口から外部
へ逆流し、塵埃を外部にまき散らす問題が生じる。この
ような理由から、ファン吹き出し面とフィルタ当たり面
との距離を充分とる必要があり、厚味140mm程度の
超薄形のファン付きフィルタ装置の実現は困難であっ
た。
【0005】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明のファン
付きフィルタ装置は、前記不都合を解消するべく、軸流
ファンを内蔵したチャンバの下流側にフィルタを配置し
たファン付きフィルタ装置において、前記ファンの上流
側に該ファンの空気吸込口より小さな開口部を有する気
流逆流防止板を設けたことを特徴とする。また、請求項
2記載のファン付きフィルタ装置は、前記空気吸込口と
前記開口部との開口面積比が1:0.55〜1:0.8
0であることを特徴とする。また、請求項3記載のファ
ン付きフィルタ装置は、請求項1または2記載のファン
付きフィルタ装置において、前記ファンと前記気流逆流
防止板との間にプレフィルタを設けたことを特徴とす
る。また、請求項4記載のファン付きフィルタ装置は、
請求項1乃至3記載のファン付きフィルタ装置におい
て、前記ファンが前記チャンバの中心ではなく端子台の
反対壁側に寄せて設けられたことを特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明によれば、軸流ファンの上
流側に軸流ファンの空気吸込口より小さな開口部を有す
る気流逆流防止板を設けたことにより、軸流ファンを通
った吹き込み風がフィルタに当たり跳ね返り風が発生し
ても、気流逆流防止板により再度フィルタ側へ跳ね返す
ことで吹き込み風と乱流を生じ難くなる。
【0007】前記軸流ファンの空気吸込口と前記開口部
との開口面積比は、軸流ファンの空気吸込口の開口面積
を1とした場合に、0.55〜0.80の範囲にするこ
とが好ましい。これは、0.80を越えると気流逆流防
止板を設ける効果がなく、跳ね返り風がファンの空気吸
込口から逆流してしまい、また、0.55未満では吹き
込み風量(ファン吸い込み風量)が不足して風量不足と
異音発生を生ずる結果となるからである。
【0008】前記軸流ファンとフィルタの間隔は、11
〜14mmの範囲にするのが好ましい。これは、14m
mを越えると跳ね返り風及び異音の発生は少なくなる
が、ファンユニット全体の高さ寸法が大きくなり、超薄
形ファンユニットを実現することができなくなり、ま
た、11mm未満では、異音の発生及び跳ね返り風が強
く、気流逆流防止板を使用しても、軸流ファンの空気吹
込口からの逆流及び異音の発生を防止することができな
くなるからである。
【0009】また、前記軸流ファンと気流逆流防止板と
の間にプレフィルタを設けることにより上記乱流を更に
生じ難くできる。プレフィルタは粒径大の塵埃を捕りメ
インフィルタの寿命を向上させる通常の働きと共に跳ね
返り風の逆流による塵埃まき散らしも防止できる。ま
た、気流逆流防止板はプレフィルタの押さえとしても働
くので、プレフィルタを設けても位置ズレすることがな
い。
【0010】前記軸流ファンをチャンバの中心ではなく
端子台の反対壁側に寄せて設けることにより、チャンバ
内で端子台により空気の流れのバランスが崩れたことで
フィルタからの吹出風速分布が不均一になることを補正
して、風速分布を均一にできる。また、端子台を取り付
ける端子台取付ベースは、軸流ファンからの空気の流れ
が端子台取付ベースに衝突して気流の乱れが生ずること
を防止するために空気が通過しやすい構造、配置にして
取り付けることが好ましい。
【0011】また、軸流ファンの中心からのズレはチャ
ンバの縦横幅の大きさを1とすると0.05〜0.12
の範囲にするのが好ましい。これは、0.12を越える
とファンを寄せた側の風速が大きくなり、風速分布の不
均一が生ずる結果となり、また、0.05未満ではチャ
ンバ内に設けた端子台によって生ずる整流効果の影響
で、風速分布の不均一を招く結果となるからである。
【0012】
【実施例】次に、本発明のファン付きフィルタ装置の実
施例について図面により説明する。図1は、本発明の一
実施例を示す縦断面図、図2はそのA−A線断面図であ
る。図中1はチャンバを示し、チャンバ1内には1個の
軸流ファン2が設けられ、このチャンバ1の下流側には
フィルタ3が設けられている。前記軸流ファン2は、中
心位置にモータ部2aを備え、このモータ部2aの周囲
に4枚の羽根2b,2b,2b,2bが設けられ、これ
らの羽根2b、2b,2b,2bを円筒状のベンチュリ
ーケース2cで囲繞する構成となっている。
【0013】本実施例では、軸流ファン2はチャンバ1
の中心ではなく、端子台4の反対壁1a側に寄せて設け
られている。前記端子台4を取り付ける端子台取付ベー
ス5は、平板を折り曲げてその底面部5aに端子台4を
載置するようにしたもので、開口部5b,5bを軸流フ
ァン2側に向けて配置することより、軸流ファン2から
の気流が該開口部5b,5bを通過して端子台取付ベー
ス5に衝突しにくくされている。
【0014】軸流ファン2の上流側には軸流ファン2の
空気吸込口2dより小さな開口部6aを有する気流逆流
防止板6が設けられている。尚、前記軸流ファン2と気
流逆流防止板6との間には、プレフィルタを設けるよう
にしてもよい。尚、本実施例では、軸流ファン2として
標準パーキーファン(15W)を使用し、フィルタ3と
して低圧損フィルタを使用し、通風体7としてパンチン
グメタル(φ3×5P,SUS)を用いた。また、チャ
ンバ1の高さは45mm、フィルタ3の高さは65m
m、フィルタ3の縦横幅は各250mm、空気吸込口2
dはφ130mm、気流逆流防止板6の開口部6aはφ
110mmとした。即ち、ファン付きフィルタ装置は、
250×250mm角の小形に構成すると共に110m
mの薄形に構成し、前記空気吸込口2dと開口部6aと
の開口面積比を1:0.72とした。
【0015】次に、上記のように構成された実施例のフ
ァン付きフィルタ装置の風速分布について、図3に示す
各測定点において風速を測定し、その風速分布測定結果
を表1に示した。
【0016】
【表1】
【0017】次に、比較例として、気流逆流防止板を除
いた以外は前記実施例と同様の構成のファン付きフィル
タ装置を構成し、前記実施例と同様に風速分布について
測定し、その風速分布測定結果を表2に示した。
【0018】
【表2】
【0019】前記表1及び表2の測定結果から明らかな
ように、250×250mm角の小形且つ、110mm
の超薄形に構成されているにも関わらず、比較例に比し
て、実施例のファン付きフィルタ装置の方が騒音が少な
くしかも風速分布が均一であった。
【0020】
【発明の効果】このように、本発明によれば、小形且つ
薄形に構成でき、しかも騒音が少なく、風速分布の均一
なファン付きフィルタ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す縦断面図
【図2】図1のA−A線断面図
【図3】ファン付きフィルタ装置の風速分布測定点を示
す図
【符号の説明】 1 チャンバ 1a 反対壁 2 軸流ファン 2a モータ部 2b 羽根 2c ベンチュリーケース 2d 空気吸込口 3 フィルタ 4 端子台 5 端子台取付ベース 5a 底面部 5b 開口部 6 気流逆流防止板 6a 開口部 7 通風体

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 軸流ファンを内蔵したチャンバの下流側
    にフィルタを配置したファン付きフィルタ装置におい
    て、前記軸流ファンの上流側に該軸流ファンの空気吸込
    口より小さな開口部を有する気流逆流防止板を設けたこ
    とを特徴とするファン付きフィルタ装置。
  2. 【請求項2】 前記空気吸込口と前記開口部との開口面
    積比が1:0.55〜1:0.80であることを特徴と
    する請求項1記載のファン付きフィルタ装置。
  3. 【請求項3】 前記軸流ファンと前記気流逆流防止板と
    の間にプレフィルタを設けたことを特徴とする請求項1
    または2記載のファン付きフィルタ装置。
  4. 【請求項4】 前記軸流ファンが前記チャンバの中心で
    はなく端子台の反対壁側に寄せて設けられたことを特徴
    とする請求項1乃至3の何れかに記載のファン付きフィ
    ルタ装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007260655A (ja) * 2006-03-30 2007-10-11 Nippon Muki Co Ltd ファン付フィルタユニット
WO2012017483A1 (ja) * 2010-08-04 2012-02-09 三菱電機株式会社 空気調和機の室内機、及び空気調和機

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