JPH09288037A - Ｌｃｄパネルの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は、偽の点欠陥を点欠陥として誤検
出するといったことが防止できるＬＣＤパネルの検査方
法を提供することを目的とする。 【解決手段】 ＬＣＤパネルの濃淡画像に対して、第１
しきい値を用いて２値化処理を行い、得られた第１の２
値化画像から点欠陥、線欠陥および面欠陥のうち、面欠
陥のみが得られるような第１画像を生成する第１ステッ
プ、ＬＣＤパネルの濃淡画像に対して、第１しきい値に
比べて欠陥が抽出されにくい第２しきい値を用いて２値
化処理を行い、得られた第２の２値化画像と上記第１画
像とに基づいて、線欠陥のみが得られるような第２画像
を生成する第２ステップ、ＬＣＤパネルの濃淡画像に対
して、第２しきい値に比べて欠陥が抽出されにくい第３
しきい値を用いて２値化処理を行い、得られた第３の２
値化画像と上記第１画像と上記第２画像とに基づいて、
点欠陥のみが得られるような第３画像を生成する第３ス
テップを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＬＣＤパネルの検査
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤ（liquid crystal display) パネ
ルの検査は、人間の目視による検査が主流である。しか
し、近年、検査基準の定量化、生産性の向上のために自
動検査が試みられている。

【０００３】ＬＣＤパネルの自動検査では、ＣＣＤ（ch
arge coupled device)カメラ等の撮像装置によってＬＣ
Ｄパネルが撮像され、その撮像画像の２値化画像に基づ
いて、ＬＣＤパネルの欠陥の検査が行なわれる。ＬＣＤ
パネルの欠陥には、点欠陥、線欠陥、面欠陥等がある。

【０００４】図１は、ＬＣＤパネルの撮像画像の２値化
画像の一例を示している。

【０００５】図１において、１１は面欠陥を、１２、１
３は線欠陥を、１４、１５は真の点欠陥を示している。
ＬＣＤパネルの撮像画像の２値化画像では、図１に示す
ように、面欠陥１１の周囲に偽の点欠陥が現れることが
ある。また、図１に示すように、線欠陥の延長状に偽の
点欠陥が現れることがある。

【０００６】２値化画像において面欠陥１１の周囲に現
れる偽点欠陥は、本来は面欠陥に属するものであるが、
撮像画像を２値化したために生じたものである。同様
に、２値化画像において線欠陥１２、１３の延長状に現
れる偽点欠陥は、本来は線欠陥に属するものであるが、
撮像画像を２値化したために生じたものである。

【０００７】このような２値化画像に基づいて、点欠陥
を検出した場合には、真の点欠陥１４、１５の他、面欠
陥１１の周囲に現れる偽点欠陥および線欠陥１２、１３
の延長状に現れる偽点欠陥も、点欠陥として検出されて
しまう。

【０００８】ところで、検出された欠陥の種類に基づい
て、欠陥発生原因、欠陥発生工程等を、解明したり、絞
り込んだりすることが可能であるが、上記のように、本
来面欠陥に属する偽点欠陥、本来線欠陥に属する偽点欠
陥を、点欠陥として誤検出した場合には、欠陥発生原
因、欠陥発生工程等の解明、絞り込みが正確にできなく
なる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、偽の点欠
陥を点欠陥として誤検出するといったことが防止できる
ＬＣＤパネルの検査方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明による第１のＬ
ＣＤパネルの検査方法は、ＬＣＤパネルの濃淡画像に対
して、第１しきい値を用いて２値化処理を行い、得られ
た第１の２値化画像から点欠陥、線欠陥および面欠陥の
うち、面欠陥のみが得られるような第１画像を生成する
第１ステップ、ＬＣＤパネルの濃淡画像に対して、第１
しきい値に比べて欠陥が抽出されにくい第２しきい値を
用いて２値化処理を行い、得られた第２の２値化画像と
上記第１画像とに基づいて、線欠陥のみが得られるよう
な第２画像を生成する第２ステップ、ＬＣＤパネルの濃
淡画像に対して、第２しきい値に比べて欠陥が抽出され
にくい第３しきい値を用いて２値化処理を行い、得られ
た第３の２値化画像と上記第１画像と上記第２画像とに
基づいて、点欠陥のみが得られるような第３画像を生成
する第３ステップ、ならびに第３画像に基づいて、点欠
陥を抽出する第４ステップを備えていることを特徴とす
る。

【００１１】第１ステップとしては、たとえば、第１し
きい値を用いて濃淡画像を２値化するステップ、得られ
た２値化画像に対して、点欠陥および線欠陥を除去する
ために収縮処理を所定回行なうステップ、および収縮処
理が行なわれた画像に対して、残った面欠陥を元の大き
さに戻すために膨張処理を所定回行なうステップを備え
ているものが用いられる。

【００１２】第２ステップとしては、たとえば、第２し
きい値を用いて濃淡画像を２値化するステップ、得られ
た２値化画像に対して、点欠陥を除去するために収縮処
理を所定回行なうステップ、および収縮処理が行なわれ
た画像と第１ステップで得られた第１画像とに基づい
て、収縮処理が行なわれた画像から面欠陥を除去するス
テップを備えているものが用いられる。

【００１３】この発明による第１のＬＣＤパネルの検査
方法において、第１の２値化画像は、最も欠陥が抽出さ
れやすい画像である。第２の２値化画像は、その次に欠
陥が抽出されやすい画像である。第３の２値化画像は、
最も欠陥が抽出されにくい画像である。第１の２値化画
像に基づいて、面欠陥のみが得られるような第１画像が
生成され、第２の２値化画像に基づいて、線欠陥のみが
得られるような第２画像が生成され、第３の２値化画像
から、第１画像の面欠陥および第２画像の線欠陥が除去
されるので、偽点欠陥のない真の点欠陥のみの第３画像
が得られる。この第３画像に基づいて、点欠陥が抽出さ
れるので、偽点欠陥が点欠陥として抽出されるといった
ことが回避される。

【００１４】この発明による第２のＬＣＤパネルの検査
方法は、ＬＣＤパネルの濃淡画像とその平滑化画像との
差分画像に対して２値化処理を行なうことにより、第１
画像を生成する第１ステップ、上記平滑化画像を２値化
処理し、得られた２値化画像に基づいて、点欠陥および
線欠陥が除去されかつ面欠陥の拡大画像のみが得られる
ような第２画像を生成する第２ステップ、ならびに第１
画像と第２画像とが合成された第３画像を生成し、得ら
れた第３画像に基づいて、点欠陥、線欠陥および面欠陥
を抽出することを特徴とする。

【００１５】第２ステップとしては、たとえば、平滑化
画像を２値化処理するステップ、得られた２値化画像に
対して、点欠陥および線欠陥を除去するために収縮処理
を所定回数行なうステップ、および収縮処理が行なわれ
た画像に対して、残った面欠陥を拡大させるために膨張
処理を収縮処理回数よりも多い所定の回数行なうステッ
プを備えているものが用いられる。

【００１６】この発明による第２のＬＣＤパネルの検査
方法では、ＬＣＤパネルの濃淡画像とその平滑化画像と
の差分画像に対して２値化処理が行なわれることによ
り、第１画像が生成されている。したがって、この第１
画像は、点欠陥および線欠陥を抽出するのに適した画像
となる。この第１画像には、面欠陥は現れないが、面欠
陥の境界部に偽点欠陥が発生することがある。

【００１７】一方、上記平滑化画像が２値化処理され、
得られた２値化画像に基づいて、点欠陥および線欠陥が
除去されかつ面欠陥の拡大画像のみが得られるような第
２画像が生成されている。そして、第１画像と第２画像
とが合成された第３画像が生成されている。したがっ
て、第３画像には、第１画像における点欠陥および面欠
陥と、第３画像における面欠陥とが現れる。しかも、第
３画像では、第１画像において面欠陥の境界部に発生し
た偽点欠陥が第３画像における面欠陥によって覆われる
ので、偽点欠陥が現れなくなる。そして、この第３画像
に基づいて、点欠陥が抽出されるので、偽点欠陥が点欠
陥として抽出されるといったことが回避される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて説明する。

【００１９】〔１〕第１の実施の形態についての説明

【００２０】ＬＣＤパネルの撮像画像を単純に２値化処
理することにより得られた画像が図１である場合を例に
とって、第１の実施の形態であるＬＣＤパネルの検査方
法について説明する。

【００２１】第１の実施の形態であるＬＣＤパネルの検
査方法において行なわれる処理は、図２に示す面欠陥抽
出処理、図３に示す縦線欠陥抽出処理、図４に示す横線
欠陥抽出処理および図５に示す点欠陥抽出処理からな
る。

【００２２】面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査におい
ては、明側の面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査（以
下、明側欠陥検査という）と、暗側の面欠陥、線欠陥お
よび点欠陥の検査（以下、暗側欠陥検査という）とが行
なわれるが、ここでは、暗側欠陥検査についてのみ説明
する。また、撮像画像は、白が”２５５”、黒が”０”
の２５６階調の濃淡画像であるものとする。

【００２３】また、面欠陥抽出処理、線欠陥抽出処理お
よび点欠陥抽出処理は、いずれも撮像画像（以下、元画
像という）の２値化画像に基づいて行なわれるが、その
しきい値は異なっている。面欠陥抽出処理に用いられる
しきい値をα、線欠陥抽出処理に用いられるしきい値を
β、点欠陥抽出処理に用いられるしきい値γとすると、
これらのしきい値の関係は、暗側欠陥検査においては、
図６に示すように、α＞β＞γとなる。

【００２４】したがって、面欠陥抽出処理に用いられる
しきい値αは厳しく（欠陥が２値の”０”（黒）として
現れやすいしきい値であることを意味する）、点欠陥抽
出処理に用いられるしきい値γは甘く（欠陥が２値の”
０”（黒）として現れにくいしきい値であることを意味
する）、線欠陥抽出処理に用いられるしきい値βは両者
の中間である。

【００２５】〔１−１〕面欠陥抽出処理についての説明 図２および図７に基づいて、面欠陥抽出処理について説
明する。

【００２６】まず、元画像が、しきい値αを用いて２値
化される（ステップ１）。得られた２値化画像を、図７
（ａ）に示す。

【００２７】次に、点欠陥、偽点欠陥および線欠陥を除
去するために、得られた２値化画像に対して、収縮処理
が所定のｎ回、この例では２回行なわれる（ステップ
２）。収縮処理としては、たとえば、注目画素を中心と
する３×３画素のうち、注目画素の周囲の８画素に白画
素”１”が１つでもあれば、注目画素の画素値を”１”
とする処理が用いられる。このようにして得られた画像
を、図７（ｂ）に示す。図７（ｂ）の画像では、図７
（ａ）の２値化画像から点欠陥、偽点欠陥および線欠陥
が除去され、面欠陥のみが残っている。

【００２８】次に、ステップ２で得られた画像中に残っ
ている面欠陥の大きさを元の大きさに戻すために、得ら
れた画像に対して、膨張処理が所定のｎ回、この例では
２回行なわれる（ステップ３）。膨張処理としては、た
とえば、注目画素を中心とする３×３画素のうち、注目
画素の周囲の８画素に黒画素”０”が１つでもあれば、
注目画素の画素値を”０”とする処理が用いられる。こ
のようにして得られた画像を、図７（ｃ）に示す。図７
（ｃ）の画像では、図７（ｂ）の画像中に残っていた面
欠陥が元の大きさに戻されている。

【００２９】次に、ステップ３で得られた画像に対して
ラベリングが行なわれることにより、面欠陥が抽出され
る（ステップ４）。

【００３０】次に、ステップ３で得られた画像に対し
て、反転処理が行なわれることにより、面欠陥をマスク
するための第１のマスク画像が生成される（ステップ
５）。第１のマスク画像を図７（ｄ）に示す。

【００３１】〔１−２〕縦線欠陥抽出処理についての説
明 図３および図８に基づいて、縦線欠陥抽出処理について
説明する。

【００３２】まず、元画像が、しきい値βを用いて２値
化される（ステップ１１）。得られた２値化画像を、図
８（ａ）に示す。

【００３３】次に、縦線欠陥をできるだけ連結させるた
めに、得られた２値化画像に対して、縦方向の膨張処理
が所定のｍ回、この例では１回行なわれる（ステップ１
２）。この膨張処理としては、たとえば、注目画素の上
下２画素のうち、黒画素”０”が１つでもあれば、注目
画素の画素値を”０”とする処理が用いられる。このよ
うにして得られた画像を、図８（ｂ）に示す。図８
（ｂ）の画像では、図８（ａ）の２値化画像の上側の縦
線欠陥の下端が若干下方にのび、２値化画像の下側の縦
線欠陥の上端が若干上方にのびている。

【００３４】次に、点欠陥（真の点欠陥および偽点欠陥
の両方を含む）および横線欠陥を除去するために、ステ
ップ１２で得られた画像に対して、縦方向の収縮処理が
所定のｋ回、この例では２回行なわれる（ステップ１
３）。収縮処理としては、たとえば、注目画素の上下２
画素のうち、白画素”１”が１つでもあれば、注目画素
の画素値を”１”とする処理が用いられる。このように
して得られた画像を、図８（ｃ）に示す。図８（ｃ）の
画像では、図８（ｂ）の画像から、点欠陥および横線欠
陥が除去されている。

【００３５】次に、ステップ１３で得られた画像中に含
まれている面欠陥が、第１のマスク画像（図７（ｄ）参
照）によってマスクされる（ステップ１４）。つまり、
ステップ１３で得られた画像と第１のマスク画像との論
理和（ＯＲ）が演算される。この演算結果により得られ
た画像を、図８（ｄ）に示す。図８（ｄ）の画像では、
図８（ｃ）の画像から、面欠陥が除去され、縦線欠陥の
みが残っている。次に、ステップ１４で得られた画像に
対してラベリングが行なわれることにより、縦線欠陥が
抽出される（ステップ１５）。

【００３６】次に、ステップ１４で得られた画像に対し
て、反転処理が行なわれる（ステップ１６）。得られた
画像を図８（ｅ）に示す。

【００３７】次に、ステップ１６で得られた反転画像
と、第１のマスク画像（図７（ｄ）参照）との論理和
（ＯＲ）が演算されることにより、第２のマスク画像が
得られる（ステップ１７）。第２のマスク画像を、図８
（ｆ）に示す。

【００３８】〔１−３〕横線欠陥抽出処理についての説
明 図４および図９に基づいて、横線欠陥抽出処理について
説明する。

【００３９】まず、元画像が、しきい値βを用いて２値
化される（ステップ２１）。得られた２値化画像を、図
９の（ａ）に示す。

【００４０】次に、横線欠陥をできるだけ連結させるた
めに、得られた２値化画像に対して、横方向の膨張処理
が所定のｍ回、この例では１回行なわれる（ステップ２
２）。この膨張処理としては、たとえば、注目画素の左
右２画素のうち、黒画素”０”が１つでもあれば、注目
画素の画素値を”０”とする処理が用いられる。このよ
うにして得られた画像を、図９（ｂ）に示す。図９
（ｂ）の画像では、図９（ａ）の２値化画像の横線欠陥
の右端が若干右方向にのびている。

【００４１】次に、点欠陥（真の点欠陥および偽点欠陥
の両方を含む）および縦線欠陥を除去するために、ステ
ップ２２で得られた画像に対して、横方向の収縮処理が
所定のｋ回、この例では２回行なわれる（ステップ２
３）。収縮処理としては、たとえば、注目画素の左右２
画素のうち、白画素”１”が１つでもあれば、注目画素
の画素値を”１”とする処理が用いられる。このように
して得られた画像を、図９（ｃ）に示す。図９（ｃ）の
画像では、図９（ｂ）の画像から、点欠陥および縦線欠
陥が除去されている。

【００４２】次に、ステップ２３で得られた画像中に含
まれている面欠陥が、第１のマスク画像（図７（ｄ）参
照）によってマスクされる（ステップ２４）。つまり、
ステップ２３で得られた画像と第１のマスク画像との論
理和（ＯＲ）が演算される。この演算結果により得られ
た画像を、図９（ｄ）に示す。図９（ｄ）の画像では、
図９（ｃ）の画像から、面欠陥が除去され、横線欠陥の
みが残っている。

【００４３】次に、ステップ２４で得られた画像に対し
てラベリングが行なわれることにより、横線欠陥が抽出
される（ステップ２５）。

【００４４】次に、ステップ２４で得られた画像に対し
て、反転処理が行なわれる（ステップ２６）。得られた
画像を図９（ｅ）に示す。

【００４５】次に、ステップ２６で得られた反転画像
と、第２のマスク画像（図８（ｆ）参照）との論理和
（ＯＲ）が演算されることにより、第３のマスク画像が
得られる（ステップ２７）。第３のマスク画像を、図９
（ｆ）に示す。

【００４６】〔１−４〕点欠陥抽出処理についての説明 図５および図１０に基づいて、点欠陥抽出処理について
説明する。

【００４７】まず、元画像が、しきい値γを用いて２値
化される（ステップ３１）。得られた２値化画像を、図
１０（ａ）に示す。図１０（ａ）の２値化画像では、し
きい値が甘いため、面欠陥は、図７（ａ）に比べて小さ
く現れる。また、図１０（ａ）の２値化画像では、しき
い値が甘いため、線欠陥の延長線上の偽点欠点が現れな
くなる。

【００４８】次に、ステップ３１で得られた２値化画像
が、第３のマスク画像（図９（ｆ）参照）によってマス
クされる（ステップ３２）。つまり、ステップ３１で得
られた画像と第３のマスク画像との論理和（ＯＲ）が演
算される。この演算結果により得られた画像を、図１０
（ｂ）に示す。図１０（ｂ）の画像では、図１０（ａ）
の画像から、面欠陥、線欠陥および偽点欠陥が除去さ
れ、真の点欠陥のみが残っている。

【００４９】次に、ステップ３２で得られた画像に対し
てラベリングが行なわれることにより、点欠陥が抽出さ
れる（ステップ３３）。

【００５０】〔２〕第２の実施の形態の説明 以下、図１１〜図１４を参照して、この発明の第２の実
施の形態について説明する。

【００５１】ＬＣＤパネルの撮像画像では、照明の不均
一性、モアレの発生等により、欠陥がない場合でも、撮
像画像内部の各位置によって輝度が変化してしまう。た
とえば、ある水平ラインに対する輝度分布は、図１１の
元画像のようになる。図１１において、ピーク部分Ｐ１
は明側の点欠陥または線欠陥であり、ピーク部分Ｐ２は
暗側の点欠陥または線欠陥である。ピーク部分以外の定
常部分は、同じ輝度値ではなく緩やかに変化しているこ
とが分かる。

【００５２】このような撮像画像が得られた場合に、暗
側の点欠陥または線欠陥を抽出するために、ピーク部分
Ｐ２を抽出できるしきい値を用いて撮像画像を２値化す
ると、定常部分の一部もしきい値以下となって欠陥とし
て抽出されてしまうおそれがある。

【００５３】このような誤抽出を防止するために、図１
１に示すように、元画像からその平滑化画像を減算した
後、所定の輝度値、この例では”１２８”を加算するこ
とによって、定常部分が一定の輝度値となる画像（以
下、平滑−差分画像という）を生成し、平滑−差分画像
に対してしきい値η１またはη２を用いて２値化を行な
うことが考えられる。

【００５４】このような考え方は、欠陥部分がピーク部
分として現れる線欠陥および点欠陥を抽出する場合には
好適であるが、欠陥部分がピーク部分として現れない面
欠陥を抽出することは困難である。

【００５５】例えば、図１２に示すように、面欠陥部分
Ｑと、線欠陥または点欠陥部分Ｐ１、Ｐ２とを含む元画
像からその平滑化画像を減算した後、所定の輝度値を加
算することによって平滑−差分画像を生成した場合に
は、得られた平滑−差分画像には、面欠陥部分Ｑは現れ
なくなる。したがって、線欠陥および点欠陥は平滑−差
分画像の２値化画像に基づいて抽出し、面欠陥は元画像
の２値化画像に基づいて抽出することが好ましい。

【００５６】しかしながら、線欠陥および点欠陥を平滑
−差分画像の２値化画像に基づいて抽出する場合には、
次のような問題がある。

【００５７】つまり、図１３に示すように、輝度差の大
きな欠陥、この例では暗側の面欠陥が存在する場合、そ
の平滑−差分画像には、元画像の面欠陥の境界部分の内
側に暗側のピーク部分Ｐ１が、元画像の面欠陥の境界部
分の外側に明側のピーク部分Ｐ２が発生するため、これ
らを点欠陥として誤抽出するおそれがある。

【００５８】このような誤抽出を防止するためには、ピ
ーク部分Ｐ１およびＰ２を含む様な大きさの面欠陥マス
クを用いて、平滑−差分画像からピーク部分Ｐ１および
Ｐ２を除去した後、線欠陥または点欠陥の抽出を行なえ
ばよい。

【００５９】図１４は、以上のような考え方を採用した
ＬＣＤパネルの検査方法を示している。

【００６０】面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査におい
ては、明側の面欠陥、線欠陥および点欠陥の検査（以
下、明側欠陥検査という）と、暗側の面欠陥、線欠陥お
よび点欠陥の検査（以下、暗側欠陥検査という）とが行
なわれるが、ここでは、明側欠陥検査についてのみ説明
する。また、撮像画像は、白が”２５５”、黒が”０”
の２５６階調の濃淡画像であるものとする。

【００６１】また、ＬＣＤパネルは、ＣＣＤカメラで撮
像されるものとし、ＣＣＤカメラの画素数に応じた解像
度の画像をＣＣＤ画像といい、ＬＣＤパネルの画素数に
応じた解像度の画像をＬＣＤ画像ということにする。

【００６２】まず、ＣＣＤ画像に対して、ＣＣＤカメラ
の各画素の感度のばらつき、バックライトの光量の位置
的なばらつき等の補正を行なうためにシェーディング補
正が行なわれる。次に、平滑化処理が行なわれる。

【００６３】この後、ＣＣＤカメラの画素とＬＣＤパネ
ルの画素との対応関係が記憶されたインデックステーブ
ルに基づいてＣＣＤ画像がＬＣＤ画像に変換される。こ
れにより、ＬＣＤ画像Ａが得られる。

【００６４】得られたＬＣＤ画像Ａに対して、平滑化処
理が行なわれることにより、平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得ら
れる。

【００６５】平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得られると、線およ
び点欠陥抽出用画像の生成処理が行なわれるとともに面
欠陥マスク生成処理が行なわれる。

【００６６】線および点欠陥抽出用画像の生成処理にお
いては、ＬＣＤ画像Ａと、平滑化ＬＣＤ画像Ｂとの差分
が取られることにより、平滑−差分画像が生成される。
そして、平滑−差分画像が２値化されることにより、平
滑−差分画像の２値化画像Ｃが得られる。

【００６７】この平滑−差分画像の２値化画像Ｃにおい
て、白の縦線は、線欠陥を示し、右下の３つの白点は点
欠陥を示し、左上の５つの白点は図１３で説明した理由
によって面欠陥の境界部に発生した偽点欠陥を示してい
る。

【００６８】面欠陥マスク生成処理では、まず、平滑化
ＬＣＤ画像Ｂに対して２値化処理が施されることによ
り、平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄが得られる。この
平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄでは、面欠陥、線欠陥
および点欠陥が現れている。この平滑化ＬＣＤ画像の２
値化画像Ｄには、図示されていないが、実際には、従来
例で説明したような偽点欠陥が発生している。

【００６９】得られた平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄ
に対して、線欠陥、点欠陥および偽点欠陥を除去するた
めに収縮処理が２回施される。この後、収縮処理後の画
像に残った面欠陥を元の大きさより大きくするために、
収縮処理によって得られた画像に対して膨張処理が４回
施される。これにより、面欠陥マスク画像Ｅが得られ
る。

【００７０】このようにして、平滑−差分画像の２値化
画像Ｃが生成されるとともに、面欠陥マスク画像Ｅが生
成されると、平滑−差分画像の２値化画像Ｃにおいて面
欠陥の境界で発生した偽点欠陥を面欠陥マスク画像Ｅで
マスクするために、平滑−差分画像の２値化画像Ｃと面
欠陥マスク画像Ｅとの論理和（ＯＲ）が演算される。こ
れにより、画像Ｆが得られる。つまり、両画像において
共に黒”０”である部分以外は、白”１”となる画像が
得られる。

【００７１】次に、得られた画像Ｆに対してラベリング
処理が行なわれる。そして、ラベル付けされた画像に対
して、面欠陥、線欠陥または点欠陥の識別処理が行なわ
れることにより、面欠陥、線欠陥および点欠陥がそれぞ
れ抽出される。

【００７２】図１５は、明側欠陥検査と暗側欠陥検査の
両方を効率良く行なう場合のＬＣＤパネルの検査方法を
示している。

【００７３】まず、ＣＣＤカメラから得られたＣＣＤ画
像に対して、シェーディング補正、平滑化処理が行なわ
れた後、ＣＣＤ画像がＬＣＤ画像に変換される。これに
より、ＬＣＤ画像Ａが得られる。

【００７４】得られたＬＣＤ画像Ａに対して、平滑化処
理が行なわれることにより、平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得ら
れる。

【００７５】平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得られると、明側の
線および点欠陥抽出用画像の生成処理が行なわれるとと
もに面欠陥マスク生成処理が行なわれる。

【００７６】明側の線および点欠陥抽出用画像の生成処
理においては、ＬＣＤ画像Ａと、平滑化ＬＣＤ画像Ｂと
の差分が取られることにより、平滑−差分画像が生成さ
れる。そして、平滑−差分画像が明側欠陥抽出用のしき
い値Ｔａを用いて２値化されることにより、平滑−差分
画像の２値化画像Ｃが得られる。

【００７７】この平滑−差分画像の２値化画像Ｃにおい
て、白の縦線は、明側線欠陥を示し、右下の３つの白点
は明側点欠陥を示し、左上および右上の５つの白点は図
１３で説明した理由によって明側面欠陥および暗側面欠
陥の境界部に発生した偽点欠陥を示している。

【００７８】面欠陥マスク生成処理では、まず、平滑化
ＬＣＤ画像Ｂに対して明暗両側の欠陥を抽出するための
２値化処理が施される。つまり、明側欠陥抽出用のしき
い値Ｔａと、暗側欠陥抽出用のしきい値Ｔｂ（Ｔａ＞Ｔ
ｂ）を用い、しきい値Ｔａより大きな輝度値およびしき
い値Ｔｂより小さな輝度値を白”１”とし、両しきい値
Ｔａ、Ｔｂの間の輝度値が黒”０”とされる。このよう
にして、平滑化ＬＣＤ画像Ｂの２値化画像Ｄが得られ
る。

【００７９】得られた平滑化ＬＣＤ画像の２値化画像Ｄ
に対して、線欠陥、点欠陥および偽点欠陥を除去するた
めに収縮処理が２回施される。この後、収縮処理後の画
像に残った面欠陥を元の大きさより大きくするために、
収縮処理によって得られた画像に対して膨張処理が４回
施される。これにより、面欠陥マスク画像Ｅが得られ
る。この面欠陥マスク画像Ｅでは、２つの面欠陥が現れ
ている。左側の面欠陥は明側の面欠陥であり、右側の面
欠陥は暗側の面欠陥である。

【００８０】このようにして、平滑−差分画像の２値化
画像Ｃが生成されるとともに、面欠陥マスク画像Ｅが生
成されると、平滑−差分画像の２値化画像Ｃにおいて面
欠陥の境界で発生した偽点欠陥を面欠陥マスク画像Ｅで
マスクするために、平滑−差分画像の２値化画像Ｃと面
欠陥マスク画像Ｅとの論理和（ＯＲ）が演算される。こ
れにより、画像Ｆが得られる。つまり、両画像において
共に黒”０”である部分以外は、白”１”となる画像が
得られる。

【００８１】次に、得られた画像Ｆに対してラベリング
処理が行なわれる。そして、ラベリング付けされた画像
に対して、面欠陥、線欠陥または点欠陥の識別処理が行
なわれることにより、明側および暗側両方の面欠陥、明
側線欠陥および明側点欠陥が抽出される。

【００８２】次に、暗側の線および点欠陥抽出用画像の
生成処理が行なわれる。つまり、上述のようにして得ら
れたＬＣＤ画像Ａに対して、平滑化処理が行なわれるこ
とにより、平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得られる。

【００８３】平滑化ＬＣＤ画像Ｂが得られると、ＬＣＤ
画像Ａと、平滑化ＬＣＤ画像Ｂとの差分が取られること
により、平滑−差分画像が生成される。そして、平滑−
差分画像が暗側欠陥抽出用のしきい値Ｔｂを用いて２値
化されることにより、平滑−差分画像の２値化画像Ｇが
得られる。

【００８４】この平滑−差分画像の２値化画像Ｇにおい
て、白の横線は、暗側線欠陥を示し、下半分に存在する
３つの白点は暗側点欠陥を示し、左上および右上の５つ
の白点は図１３で説明した理由によって明側面欠陥およ
び暗側面欠陥の境界部に発生した偽点欠陥を示してい
る。

【００８５】次に、平滑−差分画像の２値化画像Ｇにお
いて面欠陥の境界で発生した偽点欠陥を除去するため
に、上述した面欠陥マスク生成処理で生成された面欠陥
マスク画像Ｅの反転画像Ｈと、平滑−差分画像の２値化
画像Ｇとの論理積（ＡＮＤ）が演算される。つまり、両
画像において共に白”１”である部分以外は、黒”０”
となる画像が得られる。これにより、平滑−差分画像の
２値化画像Ｇから面欠陥の境界で発生した偽点欠陥が除
去された画像Ｉが得られる。

【００８６】次に、得られた画像Ｉに対してラベリング
処理が行なわれる。そして、ラベリング付けされた画像
に対して、線欠陥または点欠陥の識別処理が行なわれる
ことにより、暗側線欠陥および暗側点欠陥が抽出され
る。

【００８７】

【発明の効果】この発明によれば、偽の点欠陥を点欠陥
として誤検出するといったことが防止される。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＬＣＤパネルの撮像画像の２値化画像の一例を
示す模式図である。

【図２】面欠陥抽出処理を示すフローチャートである。

【図３】縦線欠陥抽出処理を示すフローチャートであ
る。

【図４】横線欠陥抽出処理を示すフローチャートであ
る。

【図５】点線欠陥抽出処理を示すフローチャートであ
る。

【図６】面欠陥抽出処理、線欠陥抽出処理および点線欠
陥抽出処理で行なわれる２値化処理に用いられるしきい
値を示す模式図である。

【図７】面欠陥抽出処理を説明するための模式図であ
る。

【図８】縦線欠陥抽出処理を説明するための模式図であ
る。

【図９】横線欠陥抽出処理を説明するための模式図であ
る。

【図１０】点欠陥抽出処理を説明するための模式図であ
る。

【図１１】点または線欠陥を有する元画像と、その平滑
−差分画像とを示す模式図である。

【図１２】点または線欠陥および面欠陥を有する元画像
と、その平滑−差分画像とを示す模式図である。

【図１３】輝度差の大きい面欠陥を有する元画像と、そ
の平滑−差分画像とを示す模式図である。

【図１４】ＬＣＤパネルの検査方法を説明するための模
式図である。

【図１５】明側欠陥および暗側欠陥の両方を抽出する場
合の処理方法を説明するための模式図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 南浦 清隆 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 今井 清正 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三 洋電機株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＬＣＤパネルの濃淡画像に対して、第１
   しきい値を用いて２値化処理を行い、得られた第１の２
   値化画像から点欠陥、線欠陥および面欠陥のうち、面欠
   陥のみが得られるような第１画像を生成する第１ステッ
   プ、 ＬＣＤパネルの濃淡画像に対して、第１しきい値に比べ
   て欠陥が抽出されにくい第２しきい値を用いて２値化処
   理を行い、得られた第２の２値化画像と上記第１画像と
   に基づいて、線欠陥のみが得られるような第２画像を生
   成する第２ステップ、 ＬＣＤパネルの濃淡画像に対して、第２しきい値に比べ
   て欠陥が抽出されにくい第３しきい値を用いて２値化処
   理を行い、得られた第３の２値化画像と上記第１画像と
   上記第２画像とに基づいて、点欠陥のみが得られるよう
   な第３画像を生成する第３ステップ、ならびに第３画像
   に基づいて、点欠陥を抽出する第４ステップ、 を備えているＬＣＤパネルの検査方法。
2. 【請求項２】 第１ステップは、第１しきい値を用いて
   濃淡画像を２値化するステップ、 得られた２値化画像に対して、点欠陥および線欠陥を除
   去するために収縮処理を所定回行なうステップ、および
   収縮処理が行なわれた画像に対して、残った面欠陥を元
   の大きさに戻すために膨張処理を所定回行なうステッ
   プ、 を備えている請求項１に記載のＬＣＤパネルの検査方
   法。
3. 【請求項３】 第２ステップは、第２しきい値を用いて
   濃淡画像を２値化するステップ、 得られた２値化画像に対して、点欠陥を除去するために
   収縮処理を所定回行なうステップ、および収縮処理が行
   なわれた画像と第１ステップで得られた第１画像とに基
   づいて、収縮処理が行なわれた画像から面欠陥を除去す
   るステップ、 を備えている請求項１および２のいずれかに記載のＬＣ
   Ｄパネルの検査方法。
4. 【請求項４】 ＬＣＤパネルの濃淡画像とその平滑化画
   像との差分画像に対して２値化処理を行なうことによ
   り、第１画像を生成する第１ステップ、 上記平滑化画像を２値化処理し、得られた２値化画像に
   基づいて、点欠陥および線欠陥が除去されかつ面欠陥の
   拡大画像のみが得られるような第２画像を生成する第２
   ステップ、ならびに第１画像と第２画像とが合成された
   第３画像を生成し、得られた第３画像に基づいて、点欠
   陥、線欠陥および面欠陥を抽出するＬＣＤパネルの検査
   方法。
5. 【請求項５】 第２ステップは、平滑化画像を２値化処
   理するステップ、 得られた２値化画像に対して、点欠陥および線欠陥を除
   去するために収縮処理を所定回数行なうステップ、およ
   び収縮処理が行なわれた画像に対して、残った面欠陥を
   拡大させるために膨張処理を収縮処理回数よりも多い所
   定の回数行なうステップ、 を備えている請求項４に記載のＬＣＤパネルの検査方
   法。