JPH09286666A - セラミックグリーンシートの製造方法およびセラミックグリーンシート成形用支持体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリアフィルムによって裏打ちされたセラ
ミックグリーンシートを能率的に製造できるとともに、
この製造に要する副材料のためのコストの低減を図れる
ようにする。 【解決手段】 粘着剤または接着剤１２により直接貼り
合わされた２枚のキャリアフィルム１３，１４からなる
成形用支持体１１の、キャリアフィルム１３，１４の各
々の外側に向く面上でセラミックグリーンシート１５，
１６を成形し、次いで、キャリアフィルム１３，１４を
互いに剥離する。これによって、キャリアフィルム１
３，１４で各々裏打ちされた２枚のグリーンシート１
５，１６を得ることができるとともに、キャリアフィル
ム１３，１４を貼り合わせるために粘着剤または接着剤
１２を用いるだけであるので、コストを低減できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、セラミックグリ
ーンシートの製造方法およびセラミックグリーンシート
成形用支持体に関するもので、特に、キャリアフィルム
によって裏打ちされた状態でのセラミックグリーンシー
トの製造方法およびキャリアフィルムとしての機能を有
するセラミックグリーンシート成形用支持体に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】たとえば積層セラミックコンデンサのよ
うな積層セラミック電子部品を製造する場合、積層され
るべきセラミックグリーンシートが用意される。このよ
うなセラミックグリーンシートを成形するため、たとえ
ばポリエチレンテレフタレートからなる可撓性のキャリ
アフィルムが用意され、このキャリアフィルム上でセラ
ミックグリーンシートの成形が行なわれることがある。

【０００３】また、このようなキャリアフィルム上での
セラミックグリーンシートの成形をより能率的に進める
ため、キャリアフィルムをセラミックスラリー内に浸漬
した後、引き上げることにより、キャリアフィルムの両
面上でセラミックグリーンシートを成形することが行な
われることもある。これによれば、一挙に２枚のセラミ
ックグリーンシートが得られ、それぞれのセラミックグ
リーンシートは、通常、キャリアフィルムから剥離され
た後、以後の工程に供される。

【０００４】ところで、得ようとする積層セラミック電
子部品の小型化あるいは薄型化を図りながら、高性能化
を図るための対策の１つとして、用いられるセラミック
グリーンシートの薄層化が有効である。そのため、従
来、３０〜５０μｍの厚みであったセラミックグリーン
シートは、たとえば厚み１０μｍ程度にまで、その薄層
化が進んでいる。

【０００５】しかしながら、セラミックグリーンシート
は軟弱であるため、上述のように薄層化された場合、そ
の機械的強度を補うため、セラミックグリーンシートを
上述のキャリアフィルムによって裏打ちした状態で取り
扱うことも行なわれている。この場合には、セラミック
グリーンシートは、キャリアフィルム上で成形され、そ
のままの状態で以後のいくつかの工程を実施するように
される。

【０００６】したがって、キャリアフィルム上で成形さ
れたセラミックグリーンシートを、そのままキャリアフ
ィルムによって裏打ちした状態で取り扱うことを可能に
するためには、前述したようなキャリアフィルムの両面
上でセラミックグリーンシートを成形する方法を採用す
ることができず、セラミックグリーンシートはあくまで
もキャリアフィルムの片面上でのみ成形されなければな
らない。そのため、１枚のキャリアフィルムによって、
１枚のセラミックグリーンシートしか得られない。

【０００７】これらの問題を解決すべく、キャリアフィ
ルム上で成形されたセラミックグリーンシートを、その
ままキャリアフィルムによって裏打ちした状態で取り扱
うことを可能にしながら、セラミックグリーンシートの
成形にあたっては、１回の操作で２枚のセラミックグリ
ーンシートを得ることができる方法が、たとえば特開平
７−１９２９６２号公報に記載されている。図６は、こ
の公報に記載された技術を説明するためのものである。

【０００８】図６に示すように、両面に粘着剤または接
着剤１および２が付与された樹脂シート３によって与え
られる両面粘着シート４が用意され、この両面粘着シー
ト４の両面に、粘着剤または接着剤１および２を介し
て、キャリアフィルム５および６がそれぞれ貼り合わさ
れることにより、成形用支持体７が構成される。この成
形用支持体７は、たとえば、セラミックスラリー中に浸
漬された後、引き上げられる。それによって、成形用支
持体７の両面上で、セラミックグリーンシート８および
９が一挙に成形される。

【０００９】このようにして、２枚のセラミックグリー
ンシート８および９を得た後、キャリアフィルム５およ
び６を、それぞれ、両面粘着シート４から剥離すること
により、キャリアフィルム５によって裏打ちされたセラ
ミックグリーンシート８とキャリアフィルム６によって
裏打ちされたセラミックグリーンシート９とは、それぞ
れ、別に取り扱える状態となる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
図６に示した技術では、最終的には捨てるにもかかわら
ず、比較的高価な両面粘着シート４を用いるため、成形
用支持体７のコストが高くなるという問題がある。ま
た、捨てられた両面粘着シート４は、産業廃棄物を発生
するという問題も引き起こす。

【００１１】そこで、この発明の目的は、図６に示した
技術の利点を維持しながら、上述の問題を解決できる、
セラミックグリーンシートの製造方法およびセラミック
グリーンシート成形用支持体を提供しようとすることで
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明に係るセラミッ
クグリーンシートの製造方法は、上述の技術的課題を解
決するため、２枚のキャリアフィルムを用意し、これら
２枚のキャリアフィルムを粘着剤または接着剤で直接貼
り合わせ、貼り合わされた２枚のキャリアフィルムの各
々の外側に向く面上でセラミックグリーンシートをそれ
ぞれ成形し、２枚のキャリアフィルムを互いに剥離す
る、各工程を備えることを特徴としている。

【００１３】また、この発明に係るセラミック成形用支
持体は、粘着剤または接着剤により直接貼り合わされた
２枚のキャリアフィルムを備え、貼り合わされた２枚の
キャリアフィルムの各々の外側に向く面上でセラミック
グリーンシートをそれぞれ成形するように用いられる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１ないし図３は、この発明の一
実施形態によるセラミックグリーンシート成形用支持体
を用いたセラミックグリーンシートの製造方法を説明す
るためのものである。

【００１５】図１に示すように、成形用支持体１１は、
粘着剤または接着剤１２により直接貼り合わされた２枚
のキャリアフィルム１３および１４を備えている。キャ
リアフィルム１３および１４は、典型的には、長尺のテ
ープ状をなしている。

【００１６】これら貼り合わされた２枚のキャリアフィ
ルム１３および１４の各々の外側に向く面上で、図２に
示すように、セラミックグリーンシート１５および１６
がそれぞれ成形される。

【００１７】次いで、図３に示すように、たとえば、１
対の回転するローラ１７および１８が用いられ、これら
ローラ１７および１８に、一方のキャリアフィルム１３
およびセラミックグリーンシート１５ならびに他方のキ
ャリアフィルム１４およびセラミックグリーンシート１
６を、それぞれ、巻掛けしながら、ローラ１７および１
８の回転に従って送ることにより、２枚のキャリアフィ
ルム１３および１４が、粘着剤または接着剤１２による
貼り合わせ部分において、互いに剥離される。

【００１８】より詳細には、図１において、２枚のキャ
リアフィルム１３および１４を貼り合わせるために用い
られる粘着剤または接着剤１２は、少なくとも図２に示
したセラミックグリーンシート１５および１６の成形工
程において、これら２枚のキャリアフィルム１３および
１４の貼り合わせ状態を維持し得る粘着強度または接着
強度を有していれば十分である。また、図３に示した剥
離工程を考慮すれば、粘着剤または接着剤１２の粘着強
度または接着強度は、上述の条件を満たしつつ、できる
だけ小さい方が好ましい。さらに、剥離工程後において
は、キャリアフィルム１３および／または１４の外側に
向く面上には、粘着剤または接着剤１２が残存すること
になるので、剥離工程後のキャリアフィルム１３および
１４で裏打ちされたセラミックグリーンシート１５およ
び１６の取扱い時に、残存した粘着剤または接着剤１２
が工程の進行に支障を来さないようにするためにも、粘
着剤または接着剤１２の粘着強度または接着強度は、で
きるだけ小さい方が好ましい。これらのことを考慮し
て、粘着剤または接着剤１２の粘着強度または接着強度
は、たとえば、１〜８ｇ／２５mm² 程度に選ばれるのが
好ましい。さらに、粘着剤または接着剤１２は、キャリ
アフィルム１３および１４が互いに分離されると、直ち
にその粘着性や接着性をなくすようなものが選ばれるこ
とが好ましい。

【００１９】図２において、セラミックグリーンシート
１５および１６の成形には、たとえば、セラミックスラ
リー中に成形用支持体１１を浸漬した後、引き上げる方
法が用いられる。この方法によれば、成形用支持体１１
の両面、すなわちキャリアフィルム１３および１４の各
々の外側に向く面上で、一挙に２枚のセラミックグリー
ンシート１５および１６を成形することが容易である。
この方法に代えて、ロールコータを用いてセラミックス
ラリーを塗布する方法、スプレーによってセラミックス
ラリーを塗布する方法、ドクターブレードによってセラ
ミックスラリーを付与する方法、等を用いることもでき
る。

【００２０】図４および図５は、それぞれ、この発明の
他の実施形態によるセラミックグリーンシート成形用支
持体を用いたセラミックグリーンシートの製造方法を説
明するための図２に相当の図である。なお、図４および
図５において、図２に示した要素に相当する要素には同
様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

【００２１】図４に示した実施形態は、２枚のキャリア
フィルム１３および１４を直接貼り合わせて成形用支持
体１１ａを構成するために付与される粘着剤または接着
剤１２が、テープ状のキャリアフィルム１３および１４
の幅方向両端部にのみ存在していることを特徴としてい
る。

【００２２】また、図５に示した実施形態は、２枚のキ
ャリアフィルム１３および１４を直接貼り合わせて成形
用支持体１１ｂを構成するために付与される粘着剤また
は接着剤１２が、テープ状のキャリアフィルム１３およ
び１４の幅方向両端部に存在するとともに、これら両端
部間の少なくとも１箇所において部分的に存在している
ことを特徴としている。

【００２３】これら図４および図５にそれぞれ示した実
施形態においても、前述した実施形態の場合と同様の方
法により、セラミックグリーンシート１５および１６が
成形され、その後、キャリアフィルム１３および１４が
互いに剥離される。

【００２４】なお、この剥離工程については、前述した
実施形態の場合と同様、粘着剤または接着剤１２によっ
て粘着または接着された部分を分断するようにしてもよ
いが、セラミックグリーンシート１５および１６の成形
後、図４および図５にそれぞれ示すように、切断線１９
および２０に沿って切断して、粘着剤または接着剤１２
によって粘着または接着された部分を除去してから、剥
離工程を実施するようにしてもよい。

【００２５】このように、粘着剤または接着剤１２によ
って粘着または接着された部分を除去すれば、剥離工程
をより容易に進めることができるようになるばかりでな
く、粘着剤または接着剤１２の粘着強度または接着強度
についてあまり配慮する必要がなく、粘着剤または接着
剤１２の選択の自由度を高めることができるようにな
る。すなわち、粘着剤または接着剤１２は、少なくとも
セラミックグリーンシート１５および１６の成形工程に
おいて、これら２枚のキャリアフィルム１３および１４
の貼り合わせ状態を維持し得る粘着強度または接着強度
を有しているという条件のみを満たせばよく、剥離工程
での剥離の容易性についても、キャリアフィルム１３お
よび１４で裏打ちされたセラミックグリーンシート１５
および１６の取扱いに対してキャリアフィルム１３およ
び／または１４上に残存する粘着剤または接着剤１２が
支障を及ぼさないようにすることについても、何ら考慮
する必要がない。このことから、粘着強度または接着強
度の高い粘着剤または接着剤１２も問題なく用いること
ができる。

【００２６】また、粘着剤または接着剤１２がセラミッ
クグリーンシート１５および１６にたとえ悪影響（傷、
くっつき、反応、等）を及ぼしても、粘着剤または接着
剤１２によって粘着または接着された部分を除去するの
で、このような悪影響に煩わされることはない。

【００２７】なお、図示した実施形態では、粘着剤また
は接着剤１２は、テープ状のキャリアフィルム１３およ
び１４の長手方向に連続して付与されたが、長手方向に
不連続な態様で分布するように付与されてもよい。

【００２８】

【発明の効果】このように、この発明によれば、２枚の
キャリアフィルムを貼り合わせた状態とするため、高価
な両面粘着シートを用いず、単に粘着剤または接着剤を
用いているにすぎないので、２枚のキャリアフィルムを
備える成形用支持体のコストを低減することができる。
また、捨てられる両面粘着シートによる産業廃棄物が生
じることもない。

【００２９】また、前述した図６に示す技術と同様、成
形用支持体の両面上で、それぞれ、セラミックグリーン
シートを成形でき、その後、２枚のキャリアフィルムを
互いに剥離することにより、第１のキャリアフィルムに
よって裏打ちされた第１のセラミックグリーンシートと
第２のキャリアフィルムによって裏打ちされた第２のセ
ラミックグリーンシートとを、それぞれ、別に取り扱え
る状態にすることができる。したがって、薄層化された
セラミックグリーンシートをキャリアフィルムの裏打ち
によって損傷させることなく取り扱うことが可能とな
り、このようなセラミックグリーンシートを用いて製造
される積層セラミック電子部品の小型化あるいは薄型化
を図りながら、高性能化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態による成形用支持体１１
の一部を示す断面図である。

【図２】図１に示した成形用支持体１１を用いてセラミ
ックグリーンシート１５および１６を成形した状態を示
す断面図である。

【図３】図２に示した工程の後に実施される２枚のキャ
リアフィルム１３および１４の剥離工程を示す図解的正
面図である。

【図４】この発明の他の実施形態を示す、図２に相当の
図である。

【図５】この発明のさらに他の実施形態を示す、図２に
相当の図である。

【図６】この発明にとって興味あるセラミックグリーン
シート８および９の製造方法を説明するための図２に相
当の図である。

【符号の説明】

１１，１１ａ，１１ｂ 成形用支持体 １２ 粘着剤または接着剤 １３，１４ キャリアフィルム １５，１６ セラミックグリーンシート

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２枚のキャリアフィルムを用意し、 ２枚の前記キャリアフィルムを粘着剤または接着剤で直
   接貼り合わせ、 貼り合わされた２枚の前記キャリアフィルムの各々の外
   側に向く面上でセラミックグリーンシートをそれぞれ成
   形し、 ２枚の前記キャリアフィルムを互いに剥離する、各工程
   を備える、セラミックグリーンシートの製造方法。
2. 【請求項２】 粘着剤または接着剤により直接貼り合わ
   された２枚のキャリアフィルムを備え、貼り合わされた
   ２枚の前記キャリアフィルムの各々の外側に向く面上で
   セラミックグリーンシートをそれぞれ成形するように用
   いられる、セラミックグリーンシート成形用支持体。