JPH09286666A - Production of ceramic green sheet and substrate for forming ceramic green sheet - Google Patents
Production of ceramic green sheet and substrate for forming ceramic green sheetInfo
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- JPH09286666A JPH09286666A JP8100982A JP10098296A JPH09286666A JP H09286666 A JPH09286666 A JP H09286666A JP 8100982 A JP8100982 A JP 8100982A JP 10098296 A JP10098296 A JP 10098296A JP H09286666 A JPH09286666 A JP H09286666A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、セラミックグリ
ーンシートの製造方法およびセラミックグリーンシート
成形用支持体に関するもので、特に、キャリアフィルム
によって裏打ちされた状態でのセラミックグリーンシー
トの製造方法およびキャリアフィルムとしての機能を有
するセラミックグリーンシート成形用支持体に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a ceramic green sheet and a support for molding a ceramic green sheet, and more particularly, as a method for producing a ceramic green sheet backed by a carrier film and a carrier film. The present invention relates to a ceramic green sheet molding support having the function of.
【０００２】[0002]
【従来の技術】たとえば積層セラミックコンデンサのよ
うな積層セラミック電子部品を製造する場合、積層され
るべきセラミックグリーンシートが用意される。このよ
うなセラミックグリーンシートを成形するため、たとえ
ばポリエチレンテレフタレートからなる可撓性のキャリ
アフィルムが用意され、このキャリアフィルム上でセラ
ミックグリーンシートの成形が行なわれることがある。2. Description of the Related Art When manufacturing a monolithic ceramic electronic component such as a monolithic ceramic capacitor, a ceramic green sheet to be laminated is prepared. In order to form such a ceramic green sheet, a flexible carrier film made of, for example, polyethylene terephthalate is prepared, and the ceramic green sheet may be formed on this carrier film.
【０００３】また、このようなキャリアフィルム上での
セラミックグリーンシートの成形をより能率的に進める
ため、キャリアフィルムをセラミックスラリー内に浸漬
した後、引き上げることにより、キャリアフィルムの両
面上でセラミックグリーンシートを成形することが行な
われることもある。これによれば、一挙に２枚のセラミ
ックグリーンシートが得られ、それぞれのセラミックグ
リーンシートは、通常、キャリアフィルムから剥離され
た後、以後の工程に供される。Further, in order to more efficiently form a ceramic green sheet on such a carrier film, the ceramic green sheet is dipped in the ceramic slurry and then pulled up to make the ceramic green sheet on both sides of the carrier film. Molding may be performed. According to this, two ceramic green sheets are obtained at once, and the respective ceramic green sheets are usually peeled from the carrier film and then subjected to the subsequent steps.
【０００４】ところで、得ようとする積層セラミック電
子部品の小型化あるいは薄型化を図りながら、高性能化
を図るための対策の１つとして、用いられるセラミック
グリーンシートの薄層化が有効である。そのため、従
来、３０〜５０μｍの厚みであったセラミックグリーン
シートは、たとえば厚み１０μｍ程度にまで、その薄層
化が進んでいる。By the way, it is effective to reduce the thickness of the ceramic green sheet used as one of the measures for improving the performance while reducing the size or thickness of the monolithic ceramic electronic component to be obtained. Therefore, the thickness of the ceramic green sheet, which has been conventionally 30 to 50 μm, has been reduced to about 10 μm.
【０００５】しかしながら、セラミックグリーンシート
は軟弱であるため、上述のように薄層化された場合、そ
の機械的強度を補うため、セラミックグリーンシートを
上述のキャリアフィルムによって裏打ちした状態で取り
扱うことも行なわれている。この場合には、セラミック
グリーンシートは、キャリアフィルム上で成形され、そ
のままの状態で以後のいくつかの工程を実施するように
される。However, since the ceramic green sheet is soft, when it is thinned as described above, in order to compensate its mechanical strength, the ceramic green sheet is also handled while being lined with the carrier film described above. Has been. In this case, the ceramic green sheet is formed on the carrier film, and the subsequent several steps are carried out as it is.
【０００６】したがって、キャリアフィルム上で成形さ
れたセラミックグリーンシートを、そのままキャリアフ
ィルムによって裏打ちした状態で取り扱うことを可能に
するためには、前述したようなキャリアフィルムの両面
上でセラミックグリーンシートを成形する方法を採用す
ることができず、セラミックグリーンシートはあくまで
もキャリアフィルムの片面上でのみ成形されなければな
らない。そのため、１枚のキャリアフィルムによって、
１枚のセラミックグリーンシートしか得られない。Therefore, in order to make it possible to handle the ceramic green sheet formed on the carrier film while being lined with the carrier film as it is, the ceramic green sheet is formed on both sides of the carrier film as described above. However, the ceramic green sheet must be formed only on one side of the carrier film. Therefore, with one carrier film,
Only one ceramic green sheet can be obtained.
【０００７】これらの問題を解決すべく、キャリアフィ
ルム上で成形されたセラミックグリーンシートを、その
ままキャリアフィルムによって裏打ちした状態で取り扱
うことを可能にしながら、セラミックグリーンシートの
成形にあたっては、１回の操作で２枚のセラミックグリ
ーンシートを得ることができる方法が、たとえば特開平
７−１９２９６２号公報に記載されている。図６は、こ
の公報に記載された技術を説明するためのものである。In order to solve these problems, the ceramic green sheet formed on the carrier film can be handled while being lined with the carrier film as it is, while the ceramic green sheet is formed by one operation. A method capable of obtaining two ceramic green sheets is described in, for example, JP-A-7-192962. FIG. 6 is for explaining the technique described in this publication.
【０００８】図６に示すように、両面に粘着剤または接
着剤１および２が付与された樹脂シート３によって与え
られる両面粘着シート４が用意され、この両面粘着シー
ト４の両面に、粘着剤または接着剤１および２を介し
て、キャリアフィルム５および６がそれぞれ貼り合わさ
れることにより、成形用支持体７が構成される。この成
形用支持体７は、たとえば、セラミックスラリー中に浸
漬された後、引き上げられる。それによって、成形用支
持体７の両面上で、セラミックグリーンシート８および
９が一挙に成形される。As shown in FIG. 6, a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet 4 provided by a resin sheet 3 having pressure-sensitive adhesives or adhesives 1 and 2 applied on both sides is prepared. The carrier films 5 and 6 are adhered to each other via the adhesives 1 and 2, respectively, to form the molding support 7. The molding support 7 is, for example, immersed in a ceramic slurry and then pulled up. As a result, the ceramic green sheets 8 and 9 are molded at once on both sides of the molding support 7.
【０００９】このようにして、２枚のセラミックグリー
ンシート８および９を得た後、キャリアフィルム５およ
び６を、それぞれ、両面粘着シート４から剥離すること
により、キャリアフィルム５によって裏打ちされたセラ
ミックグリーンシート８とキャリアフィルム６によって
裏打ちされたセラミックグリーンシート９とは、それぞ
れ、別に取り扱える状態となる。After the two ceramic green sheets 8 and 9 are obtained in this manner, the carrier films 5 and 6 are peeled off from the double-sided adhesive sheet 4, respectively, whereby the ceramic green lined with the carrier film 5 is peeled off. The sheet 8 and the ceramic green sheet 9 backed by the carrier film 6 can be handled separately.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
図６に示した技術では、最終的には捨てるにもかかわら
ず、比較的高価な両面粘着シート４を用いるため、成形
用支持体７のコストが高くなるという問題がある。ま
た、捨てられた両面粘着シート４は、産業廃棄物を発生
するという問題も引き起こす。However, in the technique shown in FIG. 6 described above, since the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet 4 which is relatively expensive is used although it is finally discarded, the cost of the molding support 7 is reduced. There is a problem that is high. Further, the discarded double-sided pressure-sensitive adhesive sheet 4 also causes a problem that industrial waste is generated.
【００１１】そこで、この発明の目的は、図６に示した
技術の利点を維持しながら、上述の問題を解決できる、
セラミックグリーンシートの製造方法およびセラミック
グリーンシート成形用支持体を提供しようとすることで
ある。Therefore, the object of the present invention is to solve the above-mentioned problems while maintaining the advantages of the technique shown in FIG.
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic green sheet and a support for molding the ceramic green sheet.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】この発明に係るセラミッ
クグリーンシートの製造方法は、上述の技術的課題を解
決するため、２枚のキャリアフィルムを用意し、これら
２枚のキャリアフィルムを粘着剤または接着剤で直接貼
り合わせ、貼り合わされた２枚のキャリアフィルムの各
々の外側に向く面上でセラミックグリーンシートをそれ
ぞれ成形し、２枚のキャリアフィルムを互いに剥離す
る、各工程を備えることを特徴としている。In order to solve the above-mentioned technical problems, the method for manufacturing a ceramic green sheet according to the present invention prepares two carrier films, and uses these two carrier films as an adhesive or The method further comprises the steps of directly bonding with an adhesive, molding each of the ceramic green sheets on the outward facing surface of each of the two bonded carrier films, and peeling the two carrier films from each other. There is.
【００１３】また、この発明に係るセラミック成形用支
持体は、粘着剤または接着剤により直接貼り合わされた
２枚のキャリアフィルムを備え、貼り合わされた２枚の
キャリアフィルムの各々の外側に向く面上でセラミック
グリーンシートをそれぞれ成形するように用いられる。Further, the ceramic molding support according to the present invention comprises two carrier films which are directly adhered to each other by a pressure sensitive adhesive or an adhesive, and each of the two adhered carrier films has an outward facing surface. Used to form ceramic green sheets respectively.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】図１ないし図３は、この発明の一
実施形態によるセラミックグリーンシート成形用支持体
を用いたセラミックグリーンシートの製造方法を説明す
るためのものである。1 to 3 are diagrams for explaining a method of manufacturing a ceramic green sheet using a support for molding a ceramic green sheet according to an embodiment of the present invention.
【００１５】図１に示すように、成形用支持体１１は、
粘着剤または接着剤１２により直接貼り合わされた２枚
のキャリアフィルム１３および１４を備えている。キャ
リアフィルム１３および１４は、典型的には、長尺のテ
ープ状をなしている。As shown in FIG. 1, the molding support 11 comprises:
It is provided with two carrier films 13 and 14 which are directly adhered to each other by an adhesive or an adhesive 12. The carrier films 13 and 14 typically have a long tape shape.
【００１６】これら貼り合わされた２枚のキャリアフィ
ルム１３および１４の各々の外側に向く面上で、図２に
示すように、セラミックグリーンシート１５および１６
がそれぞれ成形される。As shown in FIG. 2, ceramic green sheets 15 and 16 are formed on the outward facing surfaces of the two carrier films 13 and 14 which are bonded together.
Are molded respectively.
【００１７】次いで、図３に示すように、たとえば、１
対の回転するローラ１７および１８が用いられ、これら
ローラ１７および１８に、一方のキャリアフィルム１３
およびセラミックグリーンシート１５ならびに他方のキ
ャリアフィルム１４およびセラミックグリーンシート１
６を、それぞれ、巻掛けしながら、ローラ１７および１
８の回転に従って送ることにより、２枚のキャリアフィ
ルム１３および１４が、粘着剤または接着剤１２による
貼り合わせ部分において、互いに剥離される。Then, as shown in FIG.
A pair of rotating rollers 17 and 18 are used with which one carrier film 13
And ceramic green sheet 15 and the other carrier film 14 and ceramic green sheet 1
6 while respectively winding the rollers 17 and 1
By feeding according to the rotation of 8, the two carrier films 13 and 14 are separated from each other at the bonding portion with the adhesive or the adhesive 12.
【００１８】より詳細には、図１において、２枚のキャ
リアフィルム１３および１４を貼り合わせるために用い
られる粘着剤または接着剤１２は、少なくとも図２に示
したセラミックグリーンシート１５および１６の成形工
程において、これら２枚のキャリアフィルム１３および
１４の貼り合わせ状態を維持し得る粘着強度または接着
強度を有していれば十分である。また、図３に示した剥
離工程を考慮すれば、粘着剤または接着剤１２の粘着強
度または接着強度は、上述の条件を満たしつつ、できる
だけ小さい方が好ましい。さらに、剥離工程後において
は、キャリアフィルム１３および／または１４の外側に
向く面上には、粘着剤または接着剤１２が残存すること
になるので、剥離工程後のキャリアフィルム１３および
１４で裏打ちされたセラミックグリーンシート１５およ
び１６の取扱い時に、残存した粘着剤または接着剤１２
が工程の進行に支障を来さないようにするためにも、粘
着剤または接着剤１２の粘着強度または接着強度は、で
きるだけ小さい方が好ましい。これらのことを考慮し
て、粘着剤または接着剤１２の粘着強度または接着強度
は、たとえば、１〜８ｇ／２５mm2 程度に選ばれるのが
好ましい。さらに、粘着剤または接着剤１２は、キャリ
アフィルム１３および１４が互いに分離されると、直ち
にその粘着性や接着性をなくすようなものが選ばれるこ
とが好ましい。More specifically, in FIG. 1, the pressure-sensitive adhesive or adhesive 12 used to bond the two carrier films 13 and 14 together is at least the step of forming the ceramic green sheets 15 and 16 shown in FIG. In the above, it is sufficient to have an adhesive strength or an adhesive strength capable of maintaining the bonded state of these two carrier films 13 and 14. Further, in consideration of the peeling step shown in FIG. 3, it is preferable that the adhesive strength or the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive or the adhesive 12 is as small as possible while satisfying the above conditions. Further, after the peeling step, the adhesive or the adhesive 12 remains on the surface of the carrier films 13 and / or 14 that faces the outside, so that the carrier films 13 and 14 after the peeling step are lined. Which remain when the ceramic green sheets 15 and 16 are handled
In order not to hinder the progress of the process, it is preferable that the adhesive strength or adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive or the adhesive 12 is as small as possible. In consideration of these matters, the adhesive strength or adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive or the adhesive 12 is preferably selected to be, for example, about 1 to 8 g / 25 mm 2 . Furthermore, it is preferable that the pressure-sensitive adhesive or adhesive 12 be selected so that the tackiness or the adhesiveness is immediately lost when the carrier films 13 and 14 are separated from each other.
【００１９】図２において、セラミックグリーンシート
１５および１６の成形には、たとえば、セラミックスラ
リー中に成形用支持体１１を浸漬した後、引き上げる方
法が用いられる。この方法によれば、成形用支持体１１
の両面、すなわちキャリアフィルム１３および１４の各
々の外側に向く面上で、一挙に２枚のセラミックグリー
ンシート１５および１６を成形することが容易である。
この方法に代えて、ロールコータを用いてセラミックス
ラリーを塗布する方法、スプレーによってセラミックス
ラリーを塗布する方法、ドクターブレードによってセラ
ミックスラリーを付与する方法、等を用いることもでき
る。In FIG. 2, the ceramic green sheets 15 and 16 are molded by, for example, a method of immersing the molding support 11 in a ceramic slurry and then pulling it up. According to this method, the molding support 11
It is easy to form the two ceramic green sheets 15 and 16 at one time on both surfaces of the carrier films 13 and 14, that is, on the surfaces of the carrier films 13 and 14 facing outward.
Instead of this method, a method of applying the ceramic slurry by using a roll coater, a method of applying the ceramic slurry by spraying, a method of applying the ceramic slurry by a doctor blade, or the like can be used.
【００２０】図４および図５は、それぞれ、この発明の
他の実施形態によるセラミックグリーンシート成形用支
持体を用いたセラミックグリーンシートの製造方法を説
明するための図２に相当の図である。なお、図４および
図５において、図２に示した要素に相当する要素には同
様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。FIGS. 4 and 5 are views corresponding to FIG. 2 for explaining a method of manufacturing a ceramic green sheet using a ceramic green sheet forming support according to another embodiment of the present invention. In FIGS. 4 and 5, elements corresponding to those shown in FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.
【００２１】図４に示した実施形態は、２枚のキャリア
フィルム１３および１４を直接貼り合わせて成形用支持
体１１ａを構成するために付与される粘着剤または接着
剤１２が、テープ状のキャリアフィルム１３および１４
の幅方向両端部にのみ存在していることを特徴としてい
る。In the embodiment shown in FIG. 4, the adhesive or the adhesive 12 applied to form the support 11a for molding by directly bonding the two carrier films 13 and 14 is a tape-shaped carrier. Films 13 and 14
It is characterized in that it exists only at both ends in the width direction.
【００２２】また、図５に示した実施形態は、２枚のキ
ャリアフィルム１３および１４を直接貼り合わせて成形
用支持体１１ｂを構成するために付与される粘着剤また
は接着剤１２が、テープ状のキャリアフィルム１３およ
び１４の幅方向両端部に存在するとともに、これら両端
部間の少なくとも１箇所において部分的に存在している
ことを特徴としている。In the embodiment shown in FIG. 5, the pressure-sensitive adhesive or adhesive 12 applied to form the support 11b for molding by directly bonding the two carrier films 13 and 14 is tape-shaped. The carrier films 13 and 14 are characterized in that they are present at both ends in the width direction and are partially present at at least one place between these both ends.
【００２３】これら図４および図５にそれぞれ示した実
施形態においても、前述した実施形態の場合と同様の方
法により、セラミックグリーンシート１５および１６が
成形され、その後、キャリアフィルム１３および１４が
互いに剥離される。Also in the embodiments shown in FIGS. 4 and 5, the ceramic green sheets 15 and 16 are formed by the same method as in the above-described embodiment, and then the carrier films 13 and 14 are peeled from each other. To be done.
【００２４】なお、この剥離工程については、前述した
実施形態の場合と同様、粘着剤または接着剤１２によっ
て粘着または接着された部分を分断するようにしてもよ
いが、セラミックグリーンシート１５および１６の成形
後、図４および図５にそれぞれ示すように、切断線１９
および２０に沿って切断して、粘着剤または接着剤１２
によって粘着または接着された部分を除去してから、剥
離工程を実施するようにしてもよい。In the peeling step, as in the case of the above-described embodiment, the portion adhered or adhered by the adhesive or the adhesive 12 may be divided, but the ceramic green sheets 15 and 16 may be separated. After molding, as shown in FIGS. 4 and 5, respectively, the cutting line 19
And adhesive 20 by cutting along 20
The peeling step may be performed after removing the portion that is adhered or adhered by.
【００２５】このように、粘着剤または接着剤１２によ
って粘着または接着された部分を除去すれば、剥離工程
をより容易に進めることができるようになるばかりでな
く、粘着剤または接着剤１２の粘着強度または接着強度
についてあまり配慮する必要がなく、粘着剤または接着
剤１２の選択の自由度を高めることができるようにな
る。すなわち、粘着剤または接着剤１２は、少なくとも
セラミックグリーンシート１５および１６の成形工程に
おいて、これら２枚のキャリアフィルム１３および１４
の貼り合わせ状態を維持し得る粘着強度または接着強度
を有しているという条件のみを満たせばよく、剥離工程
での剥離の容易性についても、キャリアフィルム１３お
よび１４で裏打ちされたセラミックグリーンシート１５
および１６の取扱いに対してキャリアフィルム１３およ
び／または１４上に残存する粘着剤または接着剤１２が
支障を及ぼさないようにすることについても、何ら考慮
する必要がない。このことから、粘着強度または接着強
度の高い粘着剤または接着剤１２も問題なく用いること
ができる。As described above, if the portion adhered or adhered by the adhesive or the adhesive 12 is removed, not only the peeling process can be facilitated but also the adhesion of the adhesive or the adhesive 12 can be achieved. It is possible to increase the degree of freedom in selecting the pressure-sensitive adhesive or the adhesive 12 without much consideration on the strength or the adhesive strength. That is, the pressure-sensitive adhesive or the adhesive 12 is used for these two carrier films 13 and 14 at least in the molding process of the ceramic green sheets 15 and 16.
It suffices to satisfy only the condition that the adhesive strength or the adhesive strength capable of maintaining the bonded state of No. 1 is satisfied, and the ease of peeling in the peeling step also relates to the ceramic green sheet 15 lined with the carrier films 13 and 14.
It is also not necessary to consider that the pressure-sensitive adhesive or the adhesive 12 remaining on the carrier films 13 and / or 14 does not interfere with the handling of the sheets 16 and 16. Therefore, the pressure-sensitive adhesive or the adhesive 12 having high adhesive strength or adhesive strength can be used without any problem.
【００２６】また、粘着剤または接着剤１２がセラミッ
クグリーンシート１５および１６にたとえ悪影響（傷、
くっつき、反応、等）を及ぼしても、粘着剤または接着
剤１２によって粘着または接着された部分を除去するの
で、このような悪影響に煩わされることはない。Further, even if the pressure-sensitive adhesive or the adhesive 12 adversely affects the ceramic green sheets 15 and 16 (scratches,
Adhesion, reaction, etc.) does not cause such an adverse effect because the portion adhered or adhered by the adhesive or the adhesive 12 is removed.
【００２７】なお、図示した実施形態では、粘着剤また
は接着剤１２は、テープ状のキャリアフィルム１３およ
び１４の長手方向に連続して付与されたが、長手方向に
不連続な態様で分布するように付与されてもよい。In the illustrated embodiment, the pressure-sensitive adhesive or the adhesive 12 is continuously applied in the longitudinal direction of the tape-shaped carrier films 13 and 14, but is distributed in a discontinuous manner in the longitudinal direction. May be given to.
【００２８】[0028]
【発明の効果】このように、この発明によれば、２枚の
キャリアフィルムを貼り合わせた状態とするため、高価
な両面粘着シートを用いず、単に粘着剤または接着剤を
用いているにすぎないので、２枚のキャリアフィルムを
備える成形用支持体のコストを低減することができる。
また、捨てられる両面粘着シートによる産業廃棄物が生
じることもない。As described above, according to the present invention, since two carrier films are stuck together, an expensive double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is not used, and only a pressure-sensitive adhesive or an adhesive is used. Since there is no carrier, the cost of the molding support provided with two carrier films can be reduced.
In addition, no industrial waste is generated due to the double-sided adhesive sheet being discarded.
【００２９】また、前述した図６に示す技術と同様、成
形用支持体の両面上で、それぞれ、セラミックグリーン
シートを成形でき、その後、２枚のキャリアフィルムを
互いに剥離することにより、第１のキャリアフィルムに
よって裏打ちされた第１のセラミックグリーンシートと
第２のキャリアフィルムによって裏打ちされた第２のセ
ラミックグリーンシートとを、それぞれ、別に取り扱え
る状態にすることができる。したがって、薄層化された
セラミックグリーンシートをキャリアフィルムの裏打ち
によって損傷させることなく取り扱うことが可能とな
り、このようなセラミックグリーンシートを用いて製造
される積層セラミック電子部品の小型化あるいは薄型化
を図りながら、高性能化を図ることができる。Further, similar to the technique shown in FIG. 6 described above, ceramic green sheets can be formed on both sides of the forming support, and then two carrier films are peeled from each other to form the first green film. The first ceramic green sheet backed by the carrier film and the second ceramic green sheet backed by the second carrier film can be separately handled. Therefore, it becomes possible to handle the thinned ceramic green sheet without damaging it by lining the carrier film, and it is possible to reduce the size or thickness of the laminated ceramic electronic component manufactured using such a ceramic green sheet. However, high performance can be achieved.
【図１】この発明の一実施形態による成形用支持体１１
の一部を示す断面図である。FIG. 1 shows a molding support 11 according to an embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows some.
【図２】図１に示した成形用支持体１１を用いてセラミ
ックグリーンシート１５および１６を成形した状態を示
す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state where ceramic green sheets 15 and 16 are molded using the molding support 11 shown in FIG.
【図３】図２に示した工程の後に実施される２枚のキャ
リアフィルム１３および１４の剥離工程を示す図解的正
面図である。FIG. 3 is a schematic front view showing a peeling process of two carrier films 13 and 14 performed after the process shown in FIG.
【図４】この発明の他の実施形態を示す、図２に相当の
図である。FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 2 and showing another embodiment of the present invention.
【図５】この発明のさらに他の実施形態を示す、図２に
相当の図である。FIG. 5 is a view corresponding to FIG. 2 and showing still another embodiment of the present invention.
【図６】この発明にとって興味あるセラミックグリーン
シート８および９の製造方法を説明するための図２に相
当の図である。FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 2 for explaining a method of manufacturing the ceramic green sheets 8 and 9 which is of interest to the present invention.
１１，１１ａ，１１ｂ 成形用支持体 １２ 粘着剤または接着剤 １３，１４ キャリアフィルム １５，１６ セラミックグリーンシート 11, 11a, 11b Support for molding 12 Adhesive or adhesive 13,14 Carrier film 15,16 Ceramic green sheet
Claims (2)
接貼り合わせ、 貼り合わされた２枚の前記キャリアフィルムの各々の外
側に向く面上でセラミックグリーンシートをそれぞれ成
形し、 ２枚の前記キャリアフィルムを互いに剥離する、各工程
を備える、セラミックグリーンシートの製造方法。1. Two carrier films are prepared, and the two carrier films are directly adhered to each other with an adhesive or an adhesive, and the ceramic is provided on the outer surface of each of the two adhered carrier films. A method for producing a ceramic green sheet, comprising the steps of molding green sheets and peeling the two carrier films from each other.
された２枚のキャリアフィルムを備え、貼り合わされた
２枚の前記キャリアフィルムの各々の外側に向く面上で
セラミックグリーンシートをそれぞれ成形するように用
いられる、セラミックグリーンシート成形用支持体。2. A method comprising two carrier films directly attached by a pressure-sensitive adhesive or an adhesive, and forming ceramic green sheets on the outward facing surfaces of each of the two adhered carrier films. A ceramic green sheet molding support used.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8100982A JPH09286666A (en) | 1996-04-23 | 1996-04-23 | Production of ceramic green sheet and substrate for forming ceramic green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8100982A JPH09286666A (en) | 1996-04-23 | 1996-04-23 | Production of ceramic green sheet and substrate for forming ceramic green sheet |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09286666A true JPH09286666A (en) | 1997-11-04 |
Family
ID=14288549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8100982A Pending JPH09286666A (en) | 1996-04-23 | 1996-04-23 | Production of ceramic green sheet and substrate for forming ceramic green sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09286666A (en) |
-
1996
- 1996-04-23 JP JP8100982A patent/JPH09286666A/en active Pending
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