JPH09280824A - 整列確認装置 - Google Patents
整列確認装置Info
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- JPH09280824A JPH09280824A JP9408296A JP9408296A JPH09280824A JP H09280824 A JPH09280824 A JP H09280824A JP 9408296 A JP9408296 A JP 9408296A JP 9408296 A JP9408296 A JP 9408296A JP H09280824 A JPH09280824 A JP H09280824A
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】2つの部品の位置ずれを確認するときに、2つ
の部品の像が明確に区別できる整列確認装置を提供す
る。 【解決手段】互いに対向した2つの部品が互いに整列さ
れた状態にあるか否かを確認するための整列確認装置で
あって、2つの部品の間に挿入され、2つの部品に夫々
異なった色の照明光を照射するための光源73,74
と、2つの部品からの異なる色の反射光を受光するため
のビームスプリッタ12と、ビームスプリッタ12に入
射した2つの部品からの反射光を同一位置に結像させる
ための第1の光学系30,32,36,38,42と、同一
位置に結像された2つの部品からの反射光を受光して、
2つの部品の像が重畳された画像信号を生成するための
撮像素子44とを具備する。
の部品の像が明確に区別できる整列確認装置を提供す
る。 【解決手段】互いに対向した2つの部品が互いに整列さ
れた状態にあるか否かを確認するための整列確認装置で
あって、2つの部品の間に挿入され、2つの部品に夫々
異なった色の照明光を照射するための光源73,74
と、2つの部品からの異なる色の反射光を受光するため
のビームスプリッタ12と、ビームスプリッタ12に入
射した2つの部品からの反射光を同一位置に結像させる
ための第1の光学系30,32,36,38,42と、同一
位置に結像された2つの部品からの反射光を受光して、
2つの部品の像が重畳された画像信号を生成するための
撮像素子44とを具備する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、2つの部品を整列
した状態で接合するために、2つの部品を接合する前の
段階で互いの相対位置及び相対傾斜を確認出来る整列確
認装置に関するものである。
した状態で接合するために、2つの部品を接合する前の
段階で互いの相対位置及び相対傾斜を確認出来る整列確
認装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】LSI等の製造においては、集積回路チ
ップをパターン基板等に取り付けるに当たり、集積回路
チップとパターン基板とを精密に位置合わせすることが
極めて重要である。この様な集積回路チップとパターン
基板とを精密に位置合わせする装置としては、例えば特
開平2−244649号公報に開示されているような装
置が知られている。
ップをパターン基板等に取り付けるに当たり、集積回路
チップとパターン基板とを精密に位置合わせすることが
極めて重要である。この様な集積回路チップとパターン
基板とを精密に位置合わせする装置としては、例えば特
開平2−244649号公報に開示されているような装
置が知られている。
【0003】図14は、上記の従来の位置合わせ装置の
構成を示す図である。この位置合わせ装置は、2つの部
品、例えば集積回路チップとパターン基体の位置を検出
するための光学系と、これらの2つの部品の相対的な傾
きを検出する光学系とを備えている。図14は、主に位
置検出のための光学系を示した平面図であり、図中参照
番号102で示したものは、位置合わせする対象物であ
る集積回路チップとパターン基板とに照明光を出射する
と共に反射光を受光する出射受光プリズムであり、この
出射受光プリズム102の紙面に対して例えば手前側に
集積回路チップが位置し、向こう側にパターン基板が位
置している。
構成を示す図である。この位置合わせ装置は、2つの部
品、例えば集積回路チップとパターン基体の位置を検出
するための光学系と、これらの2つの部品の相対的な傾
きを検出する光学系とを備えている。図14は、主に位
置検出のための光学系を示した平面図であり、図中参照
番号102で示したものは、位置合わせする対象物であ
る集積回路チップとパターン基板とに照明光を出射する
と共に反射光を受光する出射受光プリズムであり、この
出射受光プリズム102の紙面に対して例えば手前側に
集積回路チップが位置し、向こう側にパターン基板が位
置している。
【0004】光源104から出射された照明光はレンズ
系106と三角プリズム108を介して出射受光プリズ
ム102に入射し、出射受光プリズム102により光路
を紙面手前側に曲げられて集積回路チップに照射され
る。集積回路チップで反射された反射光は、照明光と逆
の経路をたどってビデオカメラ110に入射し、集積回
路チップのビデオ画像信号がミキサ112に入力され
る。
系106と三角プリズム108を介して出射受光プリズ
ム102に入射し、出射受光プリズム102により光路
を紙面手前側に曲げられて集積回路チップに照射され
る。集積回路チップで反射された反射光は、照明光と逆
の経路をたどってビデオカメラ110に入射し、集積回
路チップのビデオ画像信号がミキサ112に入力され
る。
【0005】一方、光源114から出射された照明光は
レンズ系116と三角プリズム118を介して出射受光
プリズム102に入射し、この出射受光プリズム102
により光路を紙面向こう側に曲げられてパターン基板に
照射される。パターン基板で反射された反射光は、照明
光と逆の経路をたどってビデオカメラ120に入射し、
パターン基板のビデオ画像信号がミキサ112に入力さ
れる。
レンズ系116と三角プリズム118を介して出射受光
プリズム102に入射し、この出射受光プリズム102
により光路を紙面向こう側に曲げられてパターン基板に
照射される。パターン基板で反射された反射光は、照明
光と逆の経路をたどってビデオカメラ120に入射し、
パターン基板のビデオ画像信号がミキサ112に入力さ
れる。
【0006】ミキサ112では、ビデオカメラ110か
らの集積回路チップの画像と、ビデオカメラ120から
のパターン基板の画像がミックスされ、このミックスさ
れた画像をモニタ122に表示する。これにより、1つ
のモニタ画面上で、集積回路チップとパターン基板が重
ねあわされた画像を見ることができ、両者の相対位置を
一目で確認することが出来る。
らの集積回路チップの画像と、ビデオカメラ120から
のパターン基板の画像がミックスされ、このミックスさ
れた画像をモニタ122に表示する。これにより、1つ
のモニタ画面上で、集積回路チップとパターン基板が重
ねあわされた画像を見ることができ、両者の相対位置を
一目で確認することが出来る。
【0007】また、図15は主に2つの部品の相対的な
傾きを検出する光学系を示した図である。図中参照番号
132で示したものは、傾きを検出する対象物である集
積回路チップとパターン基板とに照明光を出射すると共
に反射光を受光する出射受光プリズムであり、図14の
場合と同様に出射受光プリズム132の紙面に対して手
前側に集積回路チップが位置し、向こう側にパターン基
板が位置している。
傾きを検出する光学系を示した図である。図中参照番号
132で示したものは、傾きを検出する対象物である集
積回路チップとパターン基板とに照明光を出射すると共
に反射光を受光する出射受光プリズムであり、図14の
場合と同様に出射受光プリズム132の紙面に対して手
前側に集積回路チップが位置し、向こう側にパターン基
板が位置している。
【0008】光源134からは、クロスヘアのパターン
像を含む照明光が出射され、この照明光はレンズ系13
6と三角プリズム138を介して出射受光プリズム13
2に入射し、出射受光プリズム132により光路を紙面
手前側に曲げられて集積回路チップに照射される。集積
回路チップで反射された反射光は、照明光と逆の経路を
たどってビデオカメラ110に入射し、クロスヘアのビ
デオ画像信号がミキサ112に入力される。
像を含む照明光が出射され、この照明光はレンズ系13
6と三角プリズム138を介して出射受光プリズム13
2に入射し、出射受光プリズム132により光路を紙面
手前側に曲げられて集積回路チップに照射される。集積
回路チップで反射された反射光は、照明光と逆の経路を
たどってビデオカメラ110に入射し、クロスヘアのビ
デオ画像信号がミキサ112に入力される。
【0009】一方、光源144からは、もう一つのクロ
スヘアのパターン像を含む照明光が出射され、この照明
光はレンズ系146と三角プリズム148を介して出射
受光プリズム132に入射し、この出射受光プリズム1
32により光路を紙面向こう側に曲げられてパターン基
板に照射される。パターン基板で反射された反射光は、
照明光と逆の経路をたどってビデオカメラ120に入射
し、クロスヘアのビデオ画像信号がミキサ112に入力
される。
スヘアのパターン像を含む照明光が出射され、この照明
光はレンズ系146と三角プリズム148を介して出射
受光プリズム132に入射し、この出射受光プリズム1
32により光路を紙面向こう側に曲げられてパターン基
板に照射される。パターン基板で反射された反射光は、
照明光と逆の経路をたどってビデオカメラ120に入射
し、クロスヘアのビデオ画像信号がミキサ112に入力
される。
【0010】ミキサ112では、ビデオカメラ110か
らの一方のクロスヘアの画像と、ビデオカメラ120か
らのもう一方のクロスヘアの画像がミックスされ、この
ミックスされた画像をモニタ122に表示する。これに
より、1つのモニタ画面上で、2つのクロスヘアが重ね
あわされた画像を見ることができ、両者の位置ずれを確
認することにより、集積回路チップとパターン基板との
相対的な傾きを検出することが出来る。
らの一方のクロスヘアの画像と、ビデオカメラ120か
らのもう一方のクロスヘアの画像がミックスされ、この
ミックスされた画像をモニタ122に表示する。これに
より、1つのモニタ画面上で、2つのクロスヘアが重ね
あわされた画像を見ることができ、両者の位置ずれを確
認することにより、集積回路チップとパターン基板との
相対的な傾きを検出することが出来る。
【0011】上記の様な構成により、従来の位置合わせ
装置においては、互いに対向して配置された2つの部品
の位置ずれと相対的な傾きを検出することが出来る。
装置においては、互いに対向して配置された2つの部品
の位置ずれと相対的な傾きを検出することが出来る。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例においては、2つの部品に照射される光の色が同
一であるため、2つの部品の夫々の像が重ね合わされた
ときに、それぞれの像の区別がつきにくく、位置調整が
難しいという問題点があった。
従来例においては、2つの部品に照射される光の色が同
一であるため、2つの部品の夫々の像が重ね合わされた
ときに、それぞれの像の区別がつきにくく、位置調整が
難しいという問題点があった。
【0013】また、上記の従来例においては、2つの部
品の位置ずれを検出する光学系と、2つの部品の傾きを
検出する光学系とが夫々独立して設けられているので、
光学系を構成する光学部品の部品点数が多くコストが高
くなるという問題点がある。また、2つの部品の画像を
合成するために、2つのビデオカメラとビデオ信号を合
成するビデオ混合手段が必要となるため、これも装置の
コストを高くする原因となっている。
品の位置ずれを検出する光学系と、2つの部品の傾きを
検出する光学系とが夫々独立して設けられているので、
光学系を構成する光学部品の部品点数が多くコストが高
くなるという問題点がある。また、2つの部品の画像を
合成するために、2つのビデオカメラとビデオ信号を合
成するビデオ混合手段が必要となるため、これも装置の
コストを高くする原因となっている。
【0014】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、2つの部品の位置ずれ
を確認するときに、2つの部品の像が明確に区別できる
整列確認装置を提供することである。
されたものであり、その目的は、2つの部品の位置ずれ
を確認するときに、2つの部品の像が明確に区別できる
整列確認装置を提供することである。
【0015】また、本発明の他の目的は、2つの部品の
位置ずれと傾きとを検出することが可能でありながら、
コスト的に安い整列確認装置を提供することである。
位置ずれと傾きとを検出することが可能でありながら、
コスト的に安い整列確認装置を提供することである。
【0016】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するために、本発明の整列確認装置は、互いに
対向した2つの部品が互いに整列された状態にあるか否
かを確認するための整列確認装置であって、前記2つの
部品の間に挿入され、前記2つの部品に夫々異なった色
の照明光を照射するための照射手段と、前記2つの部品
からの異なる色の反射光を受光するための光学部材と、
該光学部材に入射した前記2つの部品からの反射光を同
一位置に結像させるための第1の光学系と、前記同一位
置に結像された前記2つの部品からの反射光を受光し
て、前記2つの部品の像が重畳された画像信号を生成す
るための撮像素子とを具備することを特徴としている。
的を達成するために、本発明の整列確認装置は、互いに
対向した2つの部品が互いに整列された状態にあるか否
かを確認するための整列確認装置であって、前記2つの
部品の間に挿入され、前記2つの部品に夫々異なった色
の照明光を照射するための照射手段と、前記2つの部品
からの異なる色の反射光を受光するための光学部材と、
該光学部材に入射した前記2つの部品からの反射光を同
一位置に結像させるための第1の光学系と、前記同一位
置に結像された前記2つの部品からの反射光を受光し
て、前記2つの部品の像が重畳された画像信号を生成す
るための撮像素子とを具備することを特徴としている。
【0017】また、この発明に係わる整列確認装置にお
いて、前記第1の光学系中に配置され、前記撮像素子か
ら出力される画像信号を、前記2つの部品をあたかも同
一方向から透かしてみた様にするために、前記2つの部
品からの反射光のうちの一方を反転させるための光学プ
リズムを更に具備することを特徴としている。
いて、前記第1の光学系中に配置され、前記撮像素子か
ら出力される画像信号を、前記2つの部品をあたかも同
一方向から透かしてみた様にするために、前記2つの部
品からの反射光のうちの一方を反転させるための光学プ
リズムを更に具備することを特徴としている。
【0018】また、この発明に係わる整列確認装置にお
いて、前記照射手段は、前記光学部材の近傍に配置さ
れ、夫々異なった色の光を発する発光体を備えることを
特徴としている。
いて、前記照射手段は、前記光学部材の近傍に配置さ
れ、夫々異なった色の光を発する発光体を備えることを
特徴としている。
【0019】また、この発明に係わる整列確認装置にお
いて、前記照射手段は、発光体と、該発光体からの光を
前記光学部材に導く第2の光学系と、前記光学部材と前
記2つの部品の間に配置され、前記光学部材から発せら
れた光から夫々異なった波長の光を抽出する2つのフィ
ルターとを備えることを特徴としている。
いて、前記照射手段は、発光体と、該発光体からの光を
前記光学部材に導く第2の光学系と、前記光学部材と前
記2つの部品の間に配置され、前記光学部材から発せら
れた光から夫々異なった波長の光を抽出する2つのフィ
ルターとを備えることを特徴としている。
【0020】また、この発明に係わる整列確認装置にお
いて、前記2つの部品を夫々支持するための第1及び第
2の支持体と、該支持体の表面に夫々設けられた2つの
反射面と、前記第2の光学系中に配置され光透過性の基
板上に所定のパターンを形成したチャートとをさらに具
備し、該チャートの像の情報を含む照明光を前記光学部
材から前記2つの反射面に照射し、該2つの反射面から
反射したチャート像を前記第1の光学系を通して前記撮
像素子上に結像させ、前記2つの反射面で夫々反射され
たチャート像のずれから前記第1及び第2の支持体の表
面の相対的な傾きを確認できることを特徴としている。
いて、前記2つの部品を夫々支持するための第1及び第
2の支持体と、該支持体の表面に夫々設けられた2つの
反射面と、前記第2の光学系中に配置され光透過性の基
板上に所定のパターンを形成したチャートとをさらに具
備し、該チャートの像の情報を含む照明光を前記光学部
材から前記2つの反射面に照射し、該2つの反射面から
反射したチャート像を前記第1の光学系を通して前記撮
像素子上に結像させ、前記2つの反射面で夫々反射され
たチャート像のずれから前記第1及び第2の支持体の表
面の相対的な傾きを確認できることを特徴としている。
【0021】また、この発明に係わる整列確認装置にお
いて、前記第1の光学系中に配置され、前記2つの部品
からの反射光を夫々遮光する遮光手段と、該遮光手段に
よる遮光状態に応じて、前記撮像素子からの画像信号を
表示するモニターの表示色を切り替える切り替え手段と
をさらに具備することを特徴としている。
いて、前記第1の光学系中に配置され、前記2つの部品
からの反射光を夫々遮光する遮光手段と、該遮光手段に
よる遮光状態に応じて、前記撮像素子からの画像信号を
表示するモニターの表示色を切り替える切り替え手段と
をさらに具備することを特徴としている。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて、添付図面を参照して詳細に説明する。
ついて、添付図面を参照して詳細に説明する。
【0023】(第1の実施形態)図1及び図2は、本発
明の整列確認装置の第1の実施形態の基本構成を示す図
である。この整列確認装置は、2つの部品、例えば集積
回路チップとパターン基板の位置を検出する機能と、こ
れらの2つの部品の相対的な傾きを検出する機能とを備
えている。
明の整列確認装置の第1の実施形態の基本構成を示す図
である。この整列確認装置は、2つの部品、例えば集積
回路チップとパターン基板の位置を検出する機能と、こ
れらの2つの部品の相対的な傾きを検出する機能とを備
えている。
【0024】図1は、2つの部品の位置検出を行なう場
合の光の経路を示した図であり、図中参照番号12で示
したものは、位置合わせする対象物である集積回路チッ
プとパターン基板とに照明光を出射すると共に反射光を
受光する出射受光部であり、ミラーキューブビームスプ
リッタから構成されている。このビームスプリッタ12
の紙面に対して例えば手前側に集積回路チップが位置
し、向こう側にパターン基板が位置している。すなわ
ち、この整列確認装置は、図3に示す様に、ビームスプ
リッタ12の部分を集積回路チップCとパターン基板P
の間に挿入し、これらの2つの部品の相対位置及び相対
傾きを検出するものである。
合の光の経路を示した図であり、図中参照番号12で示
したものは、位置合わせする対象物である集積回路チッ
プとパターン基板とに照明光を出射すると共に反射光を
受光する出射受光部であり、ミラーキューブビームスプ
リッタから構成されている。このビームスプリッタ12
の紙面に対して例えば手前側に集積回路チップが位置
し、向こう側にパターン基板が位置している。すなわ
ち、この整列確認装置は、図3に示す様に、ビームスプ
リッタ12の部分を集積回路チップCとパターン基板P
の間に挿入し、これらの2つの部品の相対位置及び相対
傾きを検出するものである。
【0025】まず、図1を参照して、整列確認装置の構
成について説明する。
成について説明する。
【0026】図1において、参照番号14は集積回路チ
ップCとパターン基板Pを照明するためのコールドライ
ト等の光源であり、光源14からの照明光は、これを集
光させるための照明用レンズ系16に入射される。照明
用レンズ系16から出射した照明光は、フィルター18
に入射する。フィルター18では、位置測定の対象物で
ある集積回路チップCとパターン基板Pの画像の解像力
を向上させるために照明光が単色光に変換される。フィ
ルター18により単色光にされた照明光は、後述する様
に集積回路チップCとパターン基板Pの傾きを検出する
ために用いられるクロスヘア(クロスチャート)20を
透過して、コリメートレンズ系22に入射する。コリメ
ートレンズ系22では、照明光が平行光に変換され、そ
の平行光はハーフキューブビームスプリッタ24に入射
する。
ップCとパターン基板Pを照明するためのコールドライ
ト等の光源であり、光源14からの照明光は、これを集
光させるための照明用レンズ系16に入射される。照明
用レンズ系16から出射した照明光は、フィルター18
に入射する。フィルター18では、位置測定の対象物で
ある集積回路チップCとパターン基板Pの画像の解像力
を向上させるために照明光が単色光に変換される。フィ
ルター18により単色光にされた照明光は、後述する様
に集積回路チップCとパターン基板Pの傾きを検出する
ために用いられるクロスヘア(クロスチャート)20を
透過して、コリメートレンズ系22に入射する。コリメ
ートレンズ系22では、照明光が平行光に変換され、そ
の平行光はハーフキューブビームスプリッタ24に入射
する。
【0027】ハーフキューブビームスプリッタ24は、
ハーフミラー面24aを有しており、照明光はこのハー
フミラー面24aで一部が透過し一部が反射される。ハ
ーフミラー面24aを透過した照明光は三角プリズム2
8により光路を直角に折り曲げられ、ハーフキューブビ
ームスプリッタ30に入射する。また、ハーフミラー面
24aで反射された光は、20%前後の反射率を持つ減
反射ミラー26で更に反射され、再びハーフミラー面2
4aに入射し、これを透過した照明光がハーフキューブ
ビームスプリッタ32に入射する。そして、この照明光
はハーフキューブビームスプリッタ32のハーフミラー
面32aで反射され、後述する結像レンズ42で撮像素
子44上に結像される。このように、ハーフキューブビ
ームスプリッタ24、ハーフキューブビームスプリッタ
32、結像レンズ42を経由して撮像素子44に入射す
る照明光は、クロスヘアの基準像を直接撮像素子44上
に結像させるためのものである。
ハーフミラー面24aを有しており、照明光はこのハー
フミラー面24aで一部が透過し一部が反射される。ハ
ーフミラー面24aを透過した照明光は三角プリズム2
8により光路を直角に折り曲げられ、ハーフキューブビ
ームスプリッタ30に入射する。また、ハーフミラー面
24aで反射された光は、20%前後の反射率を持つ減
反射ミラー26で更に反射され、再びハーフミラー面2
4aに入射し、これを透過した照明光がハーフキューブ
ビームスプリッタ32に入射する。そして、この照明光
はハーフキューブビームスプリッタ32のハーフミラー
面32aで反射され、後述する結像レンズ42で撮像素
子44上に結像される。このように、ハーフキューブビ
ームスプリッタ24、ハーフキューブビームスプリッタ
32、結像レンズ42を経由して撮像素子44に入射す
る照明光は、クロスヘアの基準像を直接撮像素子44上
に結像させるためのものである。
【0028】一方、ハーフキューブビームスプリッタ3
0は、ハーフミラー面30aを有しており、三角プリズ
ム28からの照明光はこのハーフミラー面30aで一部
が透過し一部が反射される。ハーフミラー面30aで反
射された照明光は、集積回路チップCとパターン基板P
で反射された夫々の光の光路長を合わせるためのダミー
ガラス34に入射する。ダミーガラス34から出射した
照明光は、三角プリズム36で方向を180°反転され
て、ミラーキューブビームスプリッタ12に入射する。
ミラーキューブビームスプリッタ12は、紙面に対して
手前側と向こう側とに光を反射する様に反射面12aを
有しており(図3参照)、三角プリズム36からの照明
光は、紙面手前側に反射され、集積回路チップCに照射
される。
0は、ハーフミラー面30aを有しており、三角プリズ
ム28からの照明光はこのハーフミラー面30aで一部
が透過し一部が反射される。ハーフミラー面30aで反
射された照明光は、集積回路チップCとパターン基板P
で反射された夫々の光の光路長を合わせるためのダミー
ガラス34に入射する。ダミーガラス34から出射した
照明光は、三角プリズム36で方向を180°反転され
て、ミラーキューブビームスプリッタ12に入射する。
ミラーキューブビームスプリッタ12は、紙面に対して
手前側と向こう側とに光を反射する様に反射面12aを
有しており(図3参照)、三角プリズム36からの照明
光は、紙面手前側に反射され、集積回路チップCに照射
される。
【0029】また、ハーフキューブビームスプリッタ3
0を透過した照明光は、ペンタプリズム38に入射し、
反射面38a,38bで反射された後、ミラーキューブ
ビームスプリッタ12に入射する。ペンタプリズム38
からの照明光は、ミラーキューブビームスプリッタ12
により紙面向こう側に反射され、パターン基板Pに照射
される。
0を透過した照明光は、ペンタプリズム38に入射し、
反射面38a,38bで反射された後、ミラーキューブ
ビームスプリッタ12に入射する。ペンタプリズム38
からの照明光は、ミラーキューブビームスプリッタ12
により紙面向こう側に反射され、パターン基板Pに照射
される。
【0030】この様にして、光源14からの照明光が、
集積回路チップCとパターン基板Pとに夫々照射され
る。
集積回路チップCとパターン基板Pとに夫々照射され
る。
【0031】この様にして照射された照明光のうち集積
回路チップCで反射された光は、ミラーキューブビーム
スプリッタ12に入射し、三角プリズム36の方向に反
射され、三角プリズム36で180°方向を反転され
て、ダミーガラス34に入射する。ダミーガラス34で
光路長を調整された反射光は、ハーフキューブビームス
プリッタ30に入射し、ハーフミラー面30aを透過し
た反射光が対物レンズ40に入射する。対物レンズ40
を透過した反射光は、ハーフキューブビームスプリッタ
32のハーフミラー面32aを透過し、結像レンズ42
により撮像素子44上に結像される。すなわち集積回路
チップCの像が撮像素子44上に結像されることとな
る。
回路チップCで反射された光は、ミラーキューブビーム
スプリッタ12に入射し、三角プリズム36の方向に反
射され、三角プリズム36で180°方向を反転され
て、ダミーガラス34に入射する。ダミーガラス34で
光路長を調整された反射光は、ハーフキューブビームス
プリッタ30に入射し、ハーフミラー面30aを透過し
た反射光が対物レンズ40に入射する。対物レンズ40
を透過した反射光は、ハーフキューブビームスプリッタ
32のハーフミラー面32aを透過し、結像レンズ42
により撮像素子44上に結像される。すなわち集積回路
チップCの像が撮像素子44上に結像されることとな
る。
【0032】一方、パターン基板Pで反射された反射光
は、ミラーキューブビームスプリッタ12に入射し、ペ
ンタプリズム38の方向に反射され、ペンタプリズム3
8の反射面38b,38aで更に反射されて、パターン
基板Pの像(反射光)は反転される。ペンタプリズム3
8から出射した反射光は、ハーフキューブビームスプリ
ッタ30に入射し、ハーフミラー面30aで反射された
反射光が対物レンズ40に入射する。対物レンズ40を
透過した反射光は、ハーフキューブビームスプリッタ3
2のハーフミラー面32aを透過し、結像レンズ42に
より撮像素子44上に結像される。すなわちパターン基
板Pの像が集積回路チップCの像と重なり合った状態で
撮像素子44上に結像されることとなる。なお、このと
き、パターン基板Pの像は、ペンタプリズム38により
反転されているので、撮像素子44上に形成される集積
回路チップCの像とパターン基板Pの像は、これらの両
者をあたかも同方向から透かしてみた様な像となる。そ
してこの両者の像を光電変換した画像信号が撮像素子か
ら出力され、モニタ46上に映し出される。
は、ミラーキューブビームスプリッタ12に入射し、ペ
ンタプリズム38の方向に反射され、ペンタプリズム3
8の反射面38b,38aで更に反射されて、パターン
基板Pの像(反射光)は反転される。ペンタプリズム3
8から出射した反射光は、ハーフキューブビームスプリ
ッタ30に入射し、ハーフミラー面30aで反射された
反射光が対物レンズ40に入射する。対物レンズ40を
透過した反射光は、ハーフキューブビームスプリッタ3
2のハーフミラー面32aを透過し、結像レンズ42に
より撮像素子44上に結像される。すなわちパターン基
板Pの像が集積回路チップCの像と重なり合った状態で
撮像素子44上に結像されることとなる。なお、このと
き、パターン基板Pの像は、ペンタプリズム38により
反転されているので、撮像素子44上に形成される集積
回路チップCの像とパターン基板Pの像は、これらの両
者をあたかも同方向から透かしてみた様な像となる。そ
してこの両者の像を光電変換した画像信号が撮像素子か
ら出力され、モニタ46上に映し出される。
【0033】なお、図3に示す様に集積回路チップCと
パターン基板Pを支持するための支持体50,52が設
けられており、この支持体50,52の表面は鏡面に形
成され、前述したクロスヘア20の像を反射出来る様に
なされている。このクロスヘア20の反射像も撮像素子
44上に結像され、支持体50から反射されるクロスヘ
ア像と支持体52から反射されるクロスヘア像のずれか
ら支持体50と支持体52の表面同士の相対傾きが検出
出来る。集積回路チップCとパターン基板Pは、支持体
50,52に密着した状態で配置されるので、支持体5
0と支持体52の相対傾きを検出するということは実質
的に集積回路チップCとパターン基板Pの相対傾きを検
出することに相当する。また、クロスヘア20は、図4
に示す様に、透明な基板上に十字状のパターンが印刷等
により形成されて構成されている。
パターン基板Pを支持するための支持体50,52が設
けられており、この支持体50,52の表面は鏡面に形
成され、前述したクロスヘア20の像を反射出来る様に
なされている。このクロスヘア20の反射像も撮像素子
44上に結像され、支持体50から反射されるクロスヘ
ア像と支持体52から反射されるクロスヘア像のずれか
ら支持体50と支持体52の表面同士の相対傾きが検出
出来る。集積回路チップCとパターン基板Pは、支持体
50,52に密着した状態で配置されるので、支持体5
0と支持体52の相対傾きを検出するということは実質
的に集積回路チップCとパターン基板Pの相対傾きを検
出することに相当する。また、クロスヘア20は、図4
に示す様に、透明な基板上に十字状のパターンが印刷等
により形成されて構成されている。
【0034】また、整列確認装置の光路の各部には、各
光路を閉鎖するためのシャッター58,60,62,6
4が設けられている。このシャッターの作用については
後述する。
光路を閉鎖するためのシャッター58,60,62,6
4が設けられている。このシャッターの作用については
後述する。
【0035】次に、図5は上記の様に構成される整列確
認装置を分解して示した斜視図である。図5に示す様
に、整列確認装置10は、ケース70,72に収納され
て1つのプローブユニットとして構成されている。そし
て、このプローブユニット状の整列確認装置10を集積
回路チップCとパターン基板Pとの間に挿入して、両者
の位置ずれを検出する様になされている。なお、ケース
70の開口部76の周囲には、例えば赤色の光(波長6
60nm)を発するLED73が多数個配置されてお
り、このLED73からの赤色の光により集積回路チッ
プCを照明するようになされている。また、ケース72
の開口部78の周囲には、例えば緑色の光(波長560
nm)を発するLED74が多数個配置されており、こ
のLED74からの緑色の光によりパターン基板Pを照
明するようになされている。この照明の様子を図7に示
す。また、LED73,74の発する光の波長分布は図
8のようになっており、結像レンズ42は、これらの波
長で色収差が極小になるように設計されている。
認装置を分解して示した斜視図である。図5に示す様
に、整列確認装置10は、ケース70,72に収納され
て1つのプローブユニットとして構成されている。そし
て、このプローブユニット状の整列確認装置10を集積
回路チップCとパターン基板Pとの間に挿入して、両者
の位置ずれを検出する様になされている。なお、ケース
70の開口部76の周囲には、例えば赤色の光(波長6
60nm)を発するLED73が多数個配置されてお
り、このLED73からの赤色の光により集積回路チッ
プCを照明するようになされている。また、ケース72
の開口部78の周囲には、例えば緑色の光(波長560
nm)を発するLED74が多数個配置されており、こ
のLED74からの緑色の光によりパターン基板Pを照
明するようになされている。この照明の様子を図7に示
す。また、LED73,74の発する光の波長分布は図
8のようになっており、結像レンズ42は、これらの波
長で色収差が極小になるように設計されている。
【0036】次に、上記の様に構成される整列確認装置
における整列確認動作について説明する。
における整列確認動作について説明する。
【0037】まず、集積回路チップCとパターン基板P
の位置ずれを検出する動作について説明する。
の位置ずれを検出する動作について説明する。
【0038】ここで、本実施形態の整列確認装置は、集
積回路チップCの像とパターン基板Pの像を同じ色でモ
ニタ46に表示するモードと、これら2つの部品の像を
分離して見るために互いに異なる色でモニタ46に表示
するモードとを有している。
積回路チップCの像とパターン基板Pの像を同じ色でモ
ニタ46に表示するモードと、これら2つの部品の像を
分離して見るために互いに異なる色でモニタ46に表示
するモードとを有している。
【0039】まず、2つの部品の像を同じ色で表示する
場合について説明する。集積回路チップCとパターン基
板Pの位置ずれを検出する場合には、図1に破線で示す
様にシャッター58を閉じた状態にしておき、クロスヘ
ア20の照明像が結像レンズ42に直接進入しない様に
する。これにより集積回路チップCとパターン基板Pの
像に不要光によるかぶりが生じない様にする。この状態
で光源14を発光させて、既に述べた様な光路で、集積
回路チップCとパターン基板Pの像を撮像素子44上に
結像させる。このとき集積回路チップCとパターン基板
Pの像は、既に述べた様にあたかも同一方向から透かし
てみた様にモニター46上に映し出されるので、集積回
路チップCとパターン基板Pの位置ずれを容易に確認す
ることが出来る。この様子を示した図が図6である。図
6では、集積回路チップの代わりに三角形状の部材にK
という文字を印刷したチャートを用い、パターン基板の
代わりにBという文字を印刷したチャートを用いた例を
示しているが、これらの2つのチャートを本実施形態の
整列確認装置10で見ると、図6(b)に示す様に、あ
たかも2つのチャートを同一方向から見た様に見える状
態となる。
場合について説明する。集積回路チップCとパターン基
板Pの位置ずれを検出する場合には、図1に破線で示す
様にシャッター58を閉じた状態にしておき、クロスヘ
ア20の照明像が結像レンズ42に直接進入しない様に
する。これにより集積回路チップCとパターン基板Pの
像に不要光によるかぶりが生じない様にする。この状態
で光源14を発光させて、既に述べた様な光路で、集積
回路チップCとパターン基板Pの像を撮像素子44上に
結像させる。このとき集積回路チップCとパターン基板
Pの像は、既に述べた様にあたかも同一方向から透かし
てみた様にモニター46上に映し出されるので、集積回
路チップCとパターン基板Pの位置ずれを容易に確認す
ることが出来る。この様子を示した図が図6である。図
6では、集積回路チップの代わりに三角形状の部材にK
という文字を印刷したチャートを用い、パターン基板の
代わりにBという文字を印刷したチャートを用いた例を
示しているが、これらの2つのチャートを本実施形態の
整列確認装置10で見ると、図6(b)に示す様に、あ
たかも2つのチャートを同一方向から見た様に見える状
態となる。
【0040】なお、この集積回路チップCとパターン基
板Pの位置ずれを確認する動作において、どちらか一方
の像だけを見る必要が生じた場合には、シャッター6
2,64のうちの一方を閉じることにより、集積回路チ
ップCのみを観察したり、パターン基板Pのみを観察し
たりすることも可能である。また、必要な場合には、ど
ちらの像も撮像しない様にすることも可能である。
板Pの位置ずれを確認する動作において、どちらか一方
の像だけを見る必要が生じた場合には、シャッター6
2,64のうちの一方を閉じることにより、集積回路チ
ップCのみを観察したり、パターン基板Pのみを観察し
たりすることも可能である。また、必要な場合には、ど
ちらの像も撮像しない様にすることも可能である。
【0041】次に、集積回路チップCの像とパターン基
板Pの像を異なる色でモニタ46上に表示する場合につ
いて説明する。この場合には、光源14を消灯し、ケー
ス70,72の表面に設けられたLED73,74により
集積回路チップCとパターン基板Pの像を照明する。こ
のようにすれば、カラーの撮像素子44上には、集積回
路チップCの像は赤色の像として結像し、パターン基板
Pの像は緑色の像として結像することとなる。そのた
め、モニタ46上では、集積回路チップCの像は赤色に
表示され、パターン基板Pの像は緑色に表示され、観察
者は両者の像を明確に区別することができる。従って、
観察者は集積回路チップCとパターン基板Pの位置ずれ
をより容易に確認することができる。
板Pの像を異なる色でモニタ46上に表示する場合につ
いて説明する。この場合には、光源14を消灯し、ケー
ス70,72の表面に設けられたLED73,74により
集積回路チップCとパターン基板Pの像を照明する。こ
のようにすれば、カラーの撮像素子44上には、集積回
路チップCの像は赤色の像として結像し、パターン基板
Pの像は緑色の像として結像することとなる。そのた
め、モニタ46上では、集積回路チップCの像は赤色に
表示され、パターン基板Pの像は緑色に表示され、観察
者は両者の像を明確に区別することができる。従って、
観察者は集積回路チップCとパターン基板Pの位置ずれ
をより容易に確認することができる。
【0042】次に、集積回路チップCとパターン基板P
の傾きを検出する動作について説明する。
の傾きを検出する動作について説明する。
【0043】集積回路チップCとパターン基板Pの傾き
を検出する場合には、図2に示す様にシャッター60を
閉じた状態とする。光源14により照明されたクロスヘ
ア20の像を含む照明光が、ハーフキューブビームスプ
リッタ24に入射すると、その一部がハーフミラー面2
4aと減反射ミラー26で反射されて、ハーフキューブ
ビームスプリッタ32に入射する。この照明光は、ハー
フキューブビームスプリッタ32のハーフミラー面32
aにより反射されて、クロスヘア20の基準像が撮像素
子44上に結像される。
を検出する場合には、図2に示す様にシャッター60を
閉じた状態とする。光源14により照明されたクロスヘ
ア20の像を含む照明光が、ハーフキューブビームスプ
リッタ24に入射すると、その一部がハーフミラー面2
4aと減反射ミラー26で反射されて、ハーフキューブ
ビームスプリッタ32に入射する。この照明光は、ハー
フキューブビームスプリッタ32のハーフミラー面32
aにより反射されて、クロスヘア20の基準像が撮像素
子44上に結像される。
【0044】一方、ハーフキューブビームスプリッタ2
4を透過した照明光は、既に述べた様な光路で、集積回
路チップCとパターン基板Pに照射される。この照射光
は、集積回路チップCとパターン基板Pを支持する支持
体50,52の表面で反射されて、元の光路をたどって
ハーフキューブビームスプリッタ24に再び入射する。
そして、この反射光はハーフキューブビームスプリッタ
24のハーフミラー面24aで反射され、ハーフキュー
ブビームスプリッタ32と結像レンズ42を介して撮像
素子44上に結像される。従って、撮像素子44上に
は、支持体50と支持体52の夫々で反射されたクロス
ヘアの像が結像されることになる。これらのクロスヘア
像のずれをモニター46上で確認することにより、支持
体50と支持体52の相対傾きを検出することが出来
る。また、既に述べた様に、撮像素子44には、集積回
路チップCとパターン基板Pをバイパスして、ハーフキ
ューブビームスプリッタ24,32を介して直接結像さ
れたクロスヘア20の基準像が撮像されているので、こ
の基準像と、支持体50,52の夫々で反射されたクロ
スヘア像とのずれを確認することにより、支持体50,
52の夫々の単独の傾きを検出することも可能である。
4を透過した照明光は、既に述べた様な光路で、集積回
路チップCとパターン基板Pに照射される。この照射光
は、集積回路チップCとパターン基板Pを支持する支持
体50,52の表面で反射されて、元の光路をたどって
ハーフキューブビームスプリッタ24に再び入射する。
そして、この反射光はハーフキューブビームスプリッタ
24のハーフミラー面24aで反射され、ハーフキュー
ブビームスプリッタ32と結像レンズ42を介して撮像
素子44上に結像される。従って、撮像素子44上に
は、支持体50と支持体52の夫々で反射されたクロス
ヘアの像が結像されることになる。これらのクロスヘア
像のずれをモニター46上で確認することにより、支持
体50と支持体52の相対傾きを検出することが出来
る。また、既に述べた様に、撮像素子44には、集積回
路チップCとパターン基板Pをバイパスして、ハーフキ
ューブビームスプリッタ24,32を介して直接結像さ
れたクロスヘア20の基準像が撮像されているので、こ
の基準像と、支持体50,52の夫々で反射されたクロ
スヘア像とのずれを確認することにより、支持体50,
52の夫々の単独の傾きを検出することも可能である。
【0045】以上説明した様に、本実施形態の整列確認
装置によれば、2つの部品の位置ずれと相対傾きを検出
することが可能でありながら、部品点数を減らしたロー
コストな整列確認装置が提供される。また、2つの部品
の像を夫々異なる色でモニタ上に表示できるので、2つ
の部品の像を明確に分離することができる。
装置によれば、2つの部品の位置ずれと相対傾きを検出
することが可能でありながら、部品点数を減らしたロー
コストな整列確認装置が提供される。また、2つの部品
の像を夫々異なる色でモニタ上に表示できるので、2つ
の部品の像を明確に分離することができる。
【0046】(第2の実施形態)上記の第1の実施形態
では、集積回路チップCとパターン基板Pを別々の色の
光で照明するためにLEDを用いたが、この第2の実施
形態では、光源14から導かれてミラーキューブビーム
スプリッタ12から集積回路チップCとパターン基板P
に照射される照射光の夫々に異なる色の光学フィルタを
かけて、集積回路チップCとパターン基板Pとを異なる
色の光で照明するようにしている。
では、集積回路チップCとパターン基板Pを別々の色の
光で照明するためにLEDを用いたが、この第2の実施
形態では、光源14から導かれてミラーキューブビーム
スプリッタ12から集積回路チップCとパターン基板P
に照射される照射光の夫々に異なる色の光学フィルタを
かけて、集積回路チップCとパターン基板Pとを異なる
色の光で照明するようにしている。
【0047】具体的には、図9及び図10に示すように
ケース70の開口部76に赤色のフィルタを取り付け、
ケース72の開口部78に緑色のフィルタを取り付け
て、集積回路チップCとパターン基板Pを赤色の光(波
長660nm)と緑色の光(波長560nm)で照明す
る。なお、この第2の実施形態の場合、光源14からの
光が、560nmと660nmの両方の波長成分を以っ
ている必要があるため、第1の実施形態の図1に示した
単色フィルター18を取り外し、光源14にハロゲンラ
ンプ等の白色光を発するものを用いる。この光源の波長
分布を図11に示す。
ケース70の開口部76に赤色のフィルタを取り付け、
ケース72の開口部78に緑色のフィルタを取り付け
て、集積回路チップCとパターン基板Pを赤色の光(波
長660nm)と緑色の光(波長560nm)で照明す
る。なお、この第2の実施形態の場合、光源14からの
光が、560nmと660nmの両方の波長成分を以っ
ている必要があるため、第1の実施形態の図1に示した
単色フィルター18を取り外し、光源14にハロゲンラ
ンプ等の白色光を発するものを用いる。この光源の波長
分布を図11に示す。
【0048】上記のような構成により、この第2の実施
形態においても、第1の実施形態の場合と同様に集積回
路チップCとパターン基板Pの像がモニタ46上に夫々
異なる色で表示され、観察者は両者を明確に区別するこ
とができ、位置ずれを容易に判別することができる。
形態においても、第1の実施形態の場合と同様に集積回
路チップCとパターン基板Pの像がモニタ46上に夫々
異なる色で表示され、観察者は両者を明確に区別するこ
とができ、位置ずれを容易に判別することができる。
【0049】(第3の実施形態)上記の第1及び第2の
実施形態では、撮像素子44にカラー撮像素子を用いた
が、この第3の実施形態では、白黒の撮像素子を用い
る。
実施形態では、撮像素子44にカラー撮像素子を用いた
が、この第3の実施形態では、白黒の撮像素子を用い
る。
【0050】具体的には、図12に示すように、シャッ
タ62と64を光路上に交互に出入りさせ、集積回路チ
ップCとパターン基板Pの像を交互にモニタ46上に表
示させる。このとき、シャッタ62を閉じてシャッタ6
4を開いたときには、図13に破線で示すようにモニタ
46の緑色信号入力端子に撮像素子44(この実施形態
では白黒)の画像信号が入力されるようにする。このよ
うにすれば、シャッタ62により集積回路チップCから
の反射光が遮断され、パターン基板Pからの反射光のみ
が撮像素子44上に結像されるので、パターン基板Pの
画像のみがモニタ46上に緑色で表示される。一方、シ
ャッタ64を閉じてシャッタ62を開いたときには、図
13に実線で示すようにモニタ46の赤色信号入力端子
に撮像素子44の画像信号が入力されるようにする。こ
のようにすれば、シャッタ64によりパターン基板Pか
らの反射光が遮断され、集積回路チップCからの反射光
のみが撮像素子44上に結像されるので、集積回路チッ
プCの画像のみがモニタ46上に赤色で表示される。
タ62と64を光路上に交互に出入りさせ、集積回路チ
ップCとパターン基板Pの像を交互にモニタ46上に表
示させる。このとき、シャッタ62を閉じてシャッタ6
4を開いたときには、図13に破線で示すようにモニタ
46の緑色信号入力端子に撮像素子44(この実施形態
では白黒)の画像信号が入力されるようにする。このよ
うにすれば、シャッタ62により集積回路チップCから
の反射光が遮断され、パターン基板Pからの反射光のみ
が撮像素子44上に結像されるので、パターン基板Pの
画像のみがモニタ46上に緑色で表示される。一方、シ
ャッタ64を閉じてシャッタ62を開いたときには、図
13に実線で示すようにモニタ46の赤色信号入力端子
に撮像素子44の画像信号が入力されるようにする。こ
のようにすれば、シャッタ64によりパターン基板Pか
らの反射光が遮断され、集積回路チップCからの反射光
のみが撮像素子44上に結像されるので、集積回路チッ
プCの画像のみがモニタ46上に赤色で表示される。
【0051】上記のような操作により、集積回路チップ
Cとパターン基板Pの一方のみをモニタ46上に表示す
る場合には、白黒の撮像素子を用いても両者を夫々異な
る色で表示することができる。また、シャッタ62,6
4の交互の出入り動作を高速に(例えば、テレビジョン
信号の1フィールド周期の整数倍の時間間隔で)繰り返
せば、観察者には、あたかも集積回路チップCの赤色の
画像と、パターン基板Pの緑色の画像とがモニタ46上
に同時に表示されているようにみえるので、両者の位置
ずれを確認することも可能である。また、白黒の撮像素
子を用いているので、装置のコストを安くすることがで
きる。
Cとパターン基板Pの一方のみをモニタ46上に表示す
る場合には、白黒の撮像素子を用いても両者を夫々異な
る色で表示することができる。また、シャッタ62,6
4の交互の出入り動作を高速に(例えば、テレビジョン
信号の1フィールド周期の整数倍の時間間隔で)繰り返
せば、観察者には、あたかも集積回路チップCの赤色の
画像と、パターン基板Pの緑色の画像とがモニタ46上
に同時に表示されているようにみえるので、両者の位置
ずれを確認することも可能である。また、白黒の撮像素
子を用いているので、装置のコストを安くすることがで
きる。
【0052】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、位置合わせしようとする2つの部品を夫々異なる
色でモニタ上に表示することが出来るので、2つの部品
の位置ずれをより明確に観察することができる。
れば、位置合わせしようとする2つの部品を夫々異なる
色でモニタ上に表示することが出来るので、2つの部品
の位置ずれをより明確に観察することができる。
【0053】なお、本発明はその主旨を逸脱しない範囲
で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可能
である。
で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可能
である。
【0054】例えば、上記実施形態では、集積回路チッ
プとパターン基板の位置ずれと相対傾きを検出する場合
について説明したが、本発明の装置は、これに限定され
ることなく、互いに対向する2つの部品の内側面同士の
相対位置を検出する場合であれば、どのようなものにも
適用可能である。
プとパターン基板の位置ずれと相対傾きを検出する場合
について説明したが、本発明の装置は、これに限定され
ることなく、互いに対向する2つの部品の内側面同士の
相対位置を検出する場合であれば、どのようなものにも
適用可能である。
【0055】また、互いに異なる色の照明光として赤色
と緑色を例に挙げて説明したが、これに限定されること
なく、目視ではっきり区別できる色であれば他の色でも
良いことは言うまでもない。
と緑色を例に挙げて説明したが、これに限定されること
なく、目視ではっきり区別できる色であれば他の色でも
良いことは言うまでもない。
【0056】さらに、上記の説明では、照明光源として
LEDを用いるように説明したが、他の種類の発光体を
用いてもよい。
LEDを用いるように説明したが、他の種類の発光体を
用いてもよい。
【0057】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の整列確認装
置によれば、整列させようとする部品を夫々異なる色で
モニタ上に表示できるので、2つの部品の位置ずれをよ
り明確に観察することができる。
置によれば、整列させようとする部品を夫々異なる色で
モニタ上に表示できるので、2つの部品の位置ずれをよ
り明確に観察することができる。
【0058】また、2つの部品の反射像を同一の位置に
結像させることにより、光学系が単純化され光学部品の
部品点数を減少させることが出来ると共に、撮像素子も
1つで済み、且つビデオ信号を合成する手段も必要ない
ので、装置のローコスト化を図ることが出来る。
結像させることにより、光学系が単純化され光学部品の
部品点数を減少させることが出来ると共に、撮像素子も
1つで済み、且つビデオ信号を合成する手段も必要ない
ので、装置のローコスト化を図ることが出来る。
【0059】また、2つの部品の画像のうちの一方を反
転させるためのプリズムを有しているので、最終的に得
られるビデオ画像は、あたかも2つの部品を透かしてみ
ている様な状態となり、2つの部品の位置ずれの視認性
が極めて向上する。
転させるためのプリズムを有しているので、最終的に得
られるビデオ画像は、あたかも2つの部品を透かしてみ
ている様な状態となり、2つの部品の位置ずれの視認性
が極めて向上する。
【0060】更には、2つの部品の位置ずれを検出する
ための光学系と、傾きを検出するための光学系が共通で
あるため、部品点数を更に減少させることが出来る。
ための光学系と、傾きを検出するための光学系が共通で
あるため、部品点数を更に減少させることが出来る。
【0061】
【図1】本発明の整列確認装置の一実施形態の構成を示
す図である。
す図である。
【図2】本発明の整列確認装置の一実施形態の構成を示
す図である。
す図である。
【図3】2つの部品の間に、整列確認装置を挿入した状
態を示した図である。
態を示した図である。
【図4】クロスヘアのパターンを示した図である。
【図5】第1の実施形態の整列確認装置の分解斜視図で
ある。
ある。
【図6】2つの部品を整列確認装置で観察した場合の見
え方を示した図である。
え方を示した図である。
【図7】2つの部品を異なる色の照明で照明する状態を
示した図である。
示した図である。
【図8】異なる色の照明光の波長分布を示した図であ
る。
る。
【図9】第2の実施形態の整列確認装置の分解斜視図で
ある。
ある。
【図10】異なる色の光学フィルタの配置を示した図で
ある。
ある。
【図11】異なる色の照明光の波長分布を示した図であ
る。
る。
【図12】シャッタにより2つの部品の像を切り替える
様子を示した図である。
様子を示した図である。
【図13】シャッタの出入り動作にともなうモニタの切
り替えを示す図である。
り替えを示す図である。
【図14】従来例を示した図である。
【図15】従来例を示した図である。
12 ミラーキューブビームスプリッタ 14 光源 16 照明用レンズ系 18 フィルター 20 クロスヘア 22 コリメートレンズ 24 ハーフキューブビームスプリッタ 28 三角プリズム 30,32 ハーフキューブビームスプリッタ 34 ダミーガラス 36 三角プリズム 38 ペンタプリズム 40 対物レンズ 42 結像レンズ 44 撮像素子 46 モニター 50,52 支持体 54,56 照明 58,60,62,64 シャッター 70,72 ケース 73,74 LED 76,78 開口 80,82 光学フィルタ
Claims (6)
- 【請求項1】 互いに対向した2つの部品が互いに整列
された状態にあるか否かを確認するための整列確認装置
であって、 前記2つの部品の間に挿入され、前記2つの部品に夫々
異なった色の照明光を照射するための照射手段と、 前記2つの部品からの異なる色の反射光を受光するため
の光学部材と、 該光学部材に入射した前記2つの部品からの反射光を同
一位置に結像させるための第1の光学系と、 前記同一位置に結像された前記2つの部品からの反射光
を受光して、前記2つの部品の像が重畳された画像信号
を生成するための撮像素子とを具備することを特徴とす
る整列確認装置。 - 【請求項2】 前記第1の光学系中に配置され、前記撮
像素子から出力される画像信号を、前記2つの部品をあ
たかも同一方向から透かしてみた様にするために、前記
2つの部品からの反射光のうちの一方を反転させるため
の光学プリズムを更に具備することを特徴とする請求項
1に記載の整列確認装置。 - 【請求項3】 前記照射手段は、前記光学部材の近傍に
配置され、夫々異なった色の光を発する発光体を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の整列確認装置。 - 【請求項4】 前記照射手段は、発光体と、該発光体か
らの光を前記光学部材に導く第2の光学系と、前記光学
部材と前記2つの部品の間に配置され、前記光学部材か
ら発せられた光から夫々異なった波長の光を抽出する2
つのフィルターとを備えることを特徴とする請求項1に
記載の整列確認装置。 - 【請求項5】 前記2つの部品を夫々支持するための第
1及び第2の支持体と、該支持体の表面に夫々設けられ
た2つの反射面と、前記第2の光学系中に配置され光透
過性の基板上に所定のパターンを形成したチャートとを
さらに具備し、該チャートの像の情報を含む照明光を前
記光学部材から前記2つの反射面に照射し、該2つの反
射面から反射したチャート像を前記第1の光学系を通し
て前記撮像素子上に結像させ、前記2つの反射面で夫々
反射されたチャート像のずれから前記第1及び第2の支
持体の表面の相対的な傾きを確認できることを特徴とす
る請求項4に記載の整列確認装置。 - 【請求項6】 前記第1の光学系中に配置され、前記2
つの部品からの反射光を夫々遮光する遮光手段と、該遮
光手段による遮光状態に応じて、前記撮像素子からの画
像信号を表示するモニターの表示色を切り替える切り替
え手段とをさらに具備することを特徴とする請求項1に
記載の整列確認装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9408296A JPH09280824A (ja) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | 整列確認装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9408296A JPH09280824A (ja) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | 整列確認装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09280824A true JPH09280824A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14100565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9408296A Withdrawn JPH09280824A (ja) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | 整列確認装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09280824A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016092094A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置 |
-
1996
- 1996-04-16 JP JP9408296A patent/JPH09280824A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016092094A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030701 |