JP2971823B2 - フォーカス検出ユニット及びそれを備えた顕微鏡 - Google Patents
フォーカス検出ユニット及びそれを備えた顕微鏡Info
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/244—Devices for focusing using image analysis techniques
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフォーカス検出ユニ
ット及びそれを備えた顕微鏡、特に挟み込み方式を用い
たフォーカス検出ユニット及びそれを備えた顕微鏡に関
する。
ット及びそれを備えた顕微鏡、特に挟み込み方式を用い
たフォーカス検出ユニット及びそれを備えた顕微鏡に関
する。
【０００２】
【従来の技術】光学機器において、フォーカスをいかに
精度よくかつ確実に検出するかは昔から検討されてきた
テーマであった。例えば、測定顕微鏡を使用する場合被
測定面にマニュアルでピントを合わせるためには、低倍
率の顕微鏡の場合には、焦点深度が深く検出精度が下が
るため、高倍率接眼レンズで倍率を上げるか、開口数
（Numerical aperture，ＮＡ）の大きい高倍率の対物レ
ンズを用い、焦点深度を浅くして用いるのが一般的であ
る。
精度よくかつ確実に検出するかは昔から検討されてきた
テーマであった。例えば、測定顕微鏡を使用する場合被
測定面にマニュアルでピントを合わせるためには、低倍
率の顕微鏡の場合には、焦点深度が深く検出精度が下が
るため、高倍率接眼レンズで倍率を上げるか、開口数
（Numerical aperture，ＮＡ）の大きい高倍率の対物レ
ンズを用い、焦点深度を浅くして用いるのが一般的であ
る。
【０００３】しかしながら、より確実にピント合せを行
うために、近年では図５に示すようなスプリットプリズ
ムを用いた線像ずれ合わせ方式が使用されるようになっ
てきている。
うために、近年では図５に示すようなスプリットプリズ
ムを用いた線像ずれ合わせ方式が使用されるようになっ
てきている。
【０００４】上記線像ずれ合わせ方式は、反射照明顕微
鏡光学系に、精密焦点合わせ機構としてターゲット７２
及びスプリットプリズム７０が組み込まれており、正し
い焦点位置では、被検面の鮮明な像の中央にターゲット
像が左右のずれなく鮮明に見られ、一方微小に焦点位置
がずれるとターゲット像の上下部分が中央で左右にずれ
て観察されるという光学原理を応用したものである。従
って、線像ずれ合わせ方式において、焦点合わせを行う
場合には、被検物の像面のボケを見るのではなくターゲ
ット像の縦線が中央で左右にずれているか（位置２０
２）、又は正しく直線に見られるか（位置２００）を判
断することによって行う。この線像ずれ合わせ方式は、
対物レンズ７６の焦点深度に関係なく、また肉眼の２点
識別力より敏感な合致差識別力を利用しているので、通
常の焦点合わせより高精度の焦点位置確認が行える。
鏡光学系に、精密焦点合わせ機構としてターゲット７２
及びスプリットプリズム７０が組み込まれており、正し
い焦点位置では、被検面の鮮明な像の中央にターゲット
像が左右のずれなく鮮明に見られ、一方微小に焦点位置
がずれるとターゲット像の上下部分が中央で左右にずれ
て観察されるという光学原理を応用したものである。従
って、線像ずれ合わせ方式において、焦点合わせを行う
場合には、被検物の像面のボケを見るのではなくターゲ
ット像の縦線が中央で左右にずれているか（位置２０
２）、又は正しく直線に見られるか（位置２００）を判
断することによって行う。この線像ずれ合わせ方式は、
対物レンズ７６の焦点深度に関係なく、また肉眼の２点
識別力より敏感な合致差識別力を利用しているので、通
常の焦点合わせより高精度の焦点位置確認が行える。
【０００５】しかしながら、線像ずれ合わせ方式に用い
るスプリットプリズムは、複雑な構造であるため、被検
物全体を覆う大きさになってしまい、ピントがずれてい
る場合（位置２０２）には、ターゲット像の縦線が中央
で左右にずれるだけでなく、焦点合わせがしにくいとい
う問題があった。
るスプリットプリズムは、複雑な構造であるため、被検
物全体を覆う大きさになってしまい、ピントがずれてい
る場合（位置２０２）には、ターゲット像の縦線が中央
で左右にずれるだけでなく、焦点合わせがしにくいとい
う問題があった。
【０００６】上記線像ずれ合わせ方式の上記問題点を解
決する方式として焦点合わせの方式が提案されている。
挟み込み方式は、ダブル線の間にシングル線を挟み込ん
で、焦点合せを行う方式である。この挟み込み方式は、
肉眼による２５０ｍｍにおける合致精度において、分離
角度の識別能力が±５秒、長さで±６．５μｍであり、
線像ずれ合わせ方式の分離角度の識別能力が±８秒、長
さで±１０μｍに比べ、更に高精度の焦点合わせをする
ことができる。
決する方式として焦点合わせの方式が提案されている。
挟み込み方式は、ダブル線の間にシングル線を挟み込ん
で、焦点合せを行う方式である。この挟み込み方式は、
肉眼による２５０ｍｍにおける合致精度において、分離
角度の識別能力が±５秒、長さで±６．５μｍであり、
線像ずれ合わせ方式の分離角度の識別能力が±８秒、長
さで±１０μｍに比べ、更に高精度の焦点合わせをする
ことができる。
【０００７】上記挟み込み方式を用いた従来の光学系を
図６を用いて説明する。
図６を用いて説明する。
【０００８】図６に示すように、光源８０からの光軸
は、ハーフミラー８２により半反射されレンズ８６によ
り集光されダブルスリットマスク９０を通過する。これ
により照準ダブル線が生成され、この照準ダブル線は、
投影レンズ９４を介し更にマスク９１により光軸の下半
分が遮光され上半分が通過し、全反射ミラー８４によっ
て全反射される。また、ハーフミラー８２を通過した光
源８０からの光は、全反射ミラー８４により全反射され
レンズ８７により集光されシングルスリットマスク９２
を通過する。これにより照準シングル線が生成され、こ
の照準シングル線は、投影レンズ９６を介し更にマスク
９３により光軸の上半分が遮光され下半分が通過し、ハ
ーフミラー８２によって半反射される。これにより、照
準ダブル線の中央に照準シングルを挟み込む像を結像さ
せることができる。
は、ハーフミラー８２により半反射されレンズ８６によ
り集光されダブルスリットマスク９０を通過する。これ
により照準ダブル線が生成され、この照準ダブル線は、
投影レンズ９４を介し更にマスク９１により光軸の下半
分が遮光され上半分が通過し、全反射ミラー８４によっ
て全反射される。また、ハーフミラー８２を通過した光
源８０からの光は、全反射ミラー８４により全反射され
レンズ８７により集光されシングルスリットマスク９２
を通過する。これにより照準シングル線が生成され、こ
の照準シングル線は、投影レンズ９６を介し更にマスク
９３により光軸の上半分が遮光され下半分が通過し、ハ
ーフミラー８２によって半反射される。これにより、照
準ダブル線の中央に照準シングルを挟み込む像を結像さ
せることができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
挟み込み方式の場合には、光学系が２系列になるため、
光学系が繁雑であるため、その調整に手間取るという問
題があった。
挟み込み方式の場合には、光学系が２系列になるため、
光学系が繁雑であるため、その調整に手間取るという問
題があった。
【００１０】本発明は上記従来の課題に鑑みたものであ
り、その目的は、高精度を有し、かつ光学系を簡略化し
た挟み込み方式を採用したフォーカス検出ユニット及び
それを備えた顕微鏡を提供することである。
り、その目的は、高精度を有し、かつ光学系を簡略化し
た挟み込み方式を採用したフォーカス検出ユニット及び
それを備えた顕微鏡を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】以上のような課題を解決
するために、本発明に係るフォーカス検出ユニット及び
それを備えた顕微鏡は、以下の特徴を有する。
するために、本発明に係るフォーカス検出ユニット及び
それを備えた顕微鏡は、以下の特徴を有する。
【００１２】（１）照準ダブル線と照準シングル線を顕
微鏡光学系の像面に結像させ、観察する被検物にその像
を投影して、照準ダブル線の中央に照準シングル線を挟
み込むように調整し焦点合せを行うフォーカス検出ユニ
ットにおいて、第１光源と第１光源からの光軸上に前記
照準ダブル線を形成するように配置されたダブルスリッ
トマスクと、第２光源と第２光源からの光軸上に前記照
準シングル線を形成するように配置されたシングルスリ
ットマスクと、任意角度の稜を形成する第１側面及び第
２側面と前記稜に対向する平面とにより三角柱を構成
し、それぞれ第１側面と第２側面に入射された前記照準
ダブル線と照準シングル線を前記稜前方に反射させるプ
リズムと、前記プリズムの稜前方に配設され反射された
前記照準ダブル線と照準シングル線とを結像させ、観察
する被検物に前記照準ダブル線と照準シングル線の像を
投影する投影レンズと、を有する。
微鏡光学系の像面に結像させ、観察する被検物にその像
を投影して、照準ダブル線の中央に照準シングル線を挟
み込むように調整し焦点合せを行うフォーカス検出ユニ
ットにおいて、第１光源と第１光源からの光軸上に前記
照準ダブル線を形成するように配置されたダブルスリッ
トマスクと、第２光源と第２光源からの光軸上に前記照
準シングル線を形成するように配置されたシングルスリ
ットマスクと、任意角度の稜を形成する第１側面及び第
２側面と前記稜に対向する平面とにより三角柱を構成
し、それぞれ第１側面と第２側面に入射された前記照準
ダブル線と照準シングル線を前記稜前方に反射させるプ
リズムと、前記プリズムの稜前方に配設され反射された
前記照準ダブル線と照準シングル線とを結像させ、観察
する被検物に前記照準ダブル線と照準シングル線の像を
投影する投影レンズと、を有する。
【００１３】従って、挟み込み方式においてプリズムを
用いて照準ダブル線と照準シングル線を分離するので、
光学系を簡略化でき、コンパクトなフォーカス検出ユニ
ットを形成することができる。更に、光学系が簡略化さ
れたので、調整も容易となる。また、従来のＴＶ画像を
得るためにＴＶカメラを搭載する顕微鏡のＴＶポートの
位置に上記フォーカス検出ユニットを後付するだけで、
一般の顕微鏡の焦点合わせの精度が向上する。
用いて照準ダブル線と照準シングル線を分離するので、
光学系を簡略化でき、コンパクトなフォーカス検出ユニ
ットを形成することができる。更に、光学系が簡略化さ
れたので、調整も容易となる。また、従来のＴＶ画像を
得るためにＴＶカメラを搭載する顕微鏡のＴＶポートの
位置に上記フォーカス検出ユニットを後付するだけで、
一般の顕微鏡の焦点合わせの精度が向上する。
【００１４】（２）上記（１）に記載のフォーカス検出
ユニットを備え、更に、前記投影レンズにより投影され
た前記照準ダブル線と照準シングル線の像を前記被検物
の像面に結像させる対物レンズを有するフォーカス検出
ユニットを備えた顕微鏡である。
ユニットを備え、更に、前記投影レンズにより投影され
た前記照準ダブル線と照準シングル線の像を前記被検物
の像面に結像させる対物レンズを有するフォーカス検出
ユニットを備えた顕微鏡である。
【００１５】肉眼における検出能力の高い挟み込み方式
を採用する顕微鏡であるため、マニュアルでピント合わ
せの精度が向上する。また、上述したようにプリズムを
用いることにより、光学系を簡略化でき、光学系の調整
も容易になる。
を採用する顕微鏡であるため、マニュアルでピント合わ
せの精度が向上する。また、上述したようにプリズムを
用いることにより、光学系を簡略化でき、光学系の調整
も容易になる。
【００１６】（３）照準ダブル線と照準シングル線を顕
微鏡光学系の像面に結像させ、観察する被検物にその像
を投影して、照準ダブル線の中央に照準シングル線を挟
み込むように調整し焦点合せを行うフォーカス検出ユニ
ットを備えた顕微鏡において、第１光源と第１光源から
の光軸上に前記照準ダブル線を形成するように配置され
たダブルスリットマスクと、第２光源と第２光源からの
光軸上に前記照準シングル線を形成するように配置され
たシングルスリットマスクと、任意角度の稜を形成する
第１側面及び第２側面と前記稜と対向する平面とにより
三角柱を構成し、それぞれ第１側面と第２側面に入射さ
れた前記照準ダブル線と照準シングル線を前記稜前方に
反射させるプリズムと、前記プリズムの稜前方に配設さ
れ反射された前記照準ダブル線と照準シングル線とを結
像させ、観察する被検物に前記照準ダブル線と照準シン
グル線の像を投影する投影レンズと、前記投影レンズに
よる両照準線結像を一定の角度に反射させる全反射ミラ
ーと、全反射ミラーからの両照準線結像を半反射させる
ハーフミラーと、前記ハーフミラーによって前記投影レ
ンズにより投影された前記照準ダブル線と照準シングル
線の像を前記被検物の像面に結像させる対物レンズと、
を有するフォーカス検出ユニットを備えた顕微鏡であ
る。
微鏡光学系の像面に結像させ、観察する被検物にその像
を投影して、照準ダブル線の中央に照準シングル線を挟
み込むように調整し焦点合せを行うフォーカス検出ユニ
ットを備えた顕微鏡において、第１光源と第１光源から
の光軸上に前記照準ダブル線を形成するように配置され
たダブルスリットマスクと、第２光源と第２光源からの
光軸上に前記照準シングル線を形成するように配置され
たシングルスリットマスクと、任意角度の稜を形成する
第１側面及び第２側面と前記稜と対向する平面とにより
三角柱を構成し、それぞれ第１側面と第２側面に入射さ
れた前記照準ダブル線と照準シングル線を前記稜前方に
反射させるプリズムと、前記プリズムの稜前方に配設さ
れ反射された前記照準ダブル線と照準シングル線とを結
像させ、観察する被検物に前記照準ダブル線と照準シン
グル線の像を投影する投影レンズと、前記投影レンズに
よる両照準線結像を一定の角度に反射させる全反射ミラ
ーと、全反射ミラーからの両照準線結像を半反射させる
ハーフミラーと、前記ハーフミラーによって前記投影レ
ンズにより投影された前記照準ダブル線と照準シングル
線の像を前記被検物の像面に結像させる対物レンズと、
を有するフォーカス検出ユニットを備えた顕微鏡であ
る。
【００１７】従って、挟み込み方式においてプリズムを
用いて照準ダブル線と照準シングル線を分離するので、
光学系を簡略化でき、コンパクトなフォーカス検出ユニ
ットを形成することができる。更に、光学系が簡略化さ
れたので、光学系の調整が容易となる。また、挟み込み
方式のフォーカス検出ユニットが設置されているので、
焦点合わせの精度が向上する。
用いて照準ダブル線と照準シングル線を分離するので、
光学系を簡略化でき、コンパクトなフォーカス検出ユニ
ットを形成することができる。更に、光学系が簡略化さ
れたので、光学系の調整が容易となる。また、挟み込み
方式のフォーカス検出ユニットが設置されているので、
焦点合わせの精度が向上する。
【００１８】（４）上記（２）に記載のフォーカス検出
を備えた顕微鏡において、更に、第３光源と前記第３光
源からの光軸上に配設され中央のみ遮光性を有する光透
過性膜からなる暗視野マスクと、暗視野マスクの像を対
物レンズに半反射するハーフミラーと、を有し、第３光
源からの光は、前記暗視野マスク中央で一部遮光され周
辺部分より透過した光のみ前記ハーフミラーにより半反
射され対物レンズを介して被検物の像面に到達し、被検
物の像面の明視野の中心に両照準線像の写る暗視野を形
成する。
を備えた顕微鏡において、更に、第３光源と前記第３光
源からの光軸上に配設され中央のみ遮光性を有する光透
過性膜からなる暗視野マスクと、暗視野マスクの像を対
物レンズに半反射するハーフミラーと、を有し、第３光
源からの光は、前記暗視野マスク中央で一部遮光され周
辺部分より透過した光のみ前記ハーフミラーにより半反
射され対物レンズを介して被検物の像面に到達し、被検
物の像面の明視野の中心に両照準線像の写る暗視野を形
成する。
【００１９】従って、第３光源と暗視野マスクを用いて
照準ダブル線及び照準シングル線の線像近傍を暗視野に
し、被検物の明るさに対し線像のコントラストを上げる
ことができる。これにより、更に焦点合わせの精度が向
上する。
照準ダブル線及び照準シングル線の線像近傍を暗視野に
し、被検物の明るさに対し線像のコントラストを上げる
ことができる。これにより、更に焦点合わせの精度が向
上する。
【００２０】（５）照準ダブル線と照準シングル線を顕
微鏡光学系の像面に結像させ、観察する被検物にその像
を投影して、照準ダブル線の中央に照準シングル線を挟
み込むように調整し焦点合せを行うフォーカス検出ユニ
ットを備えた顕微鏡において、第１光源と第１光源から
の光軸上に前記照準ダブル線を形成するように配置され
たダブルスリットマスクと、第２光源と第２光源からの
光軸上に前記照準シングル線を形成するように配置され
たシングルスリットマスクと、任意角度の稜を形成する
第１側面及び第２側面と前記稜と対向する平面とにより
三角柱を構成し、それぞれ第１側面と第２側面に入射さ
れた前記照準ダブル線と照準シングル線を前記稜前方に
反射させるプリズムと、前記プリズムの稜前方に配設さ
れ反射された前記照準ダブル線と照準シングル線とを結
像させ、観察する被検物に前記照準ダブル線と照準シン
グル線の像を投影する投影レンズと、前記投影レンズに
よる両照準線結像を一定の角度に反射させる中心部を全
反射ミラーとしたハーフミラーと、前記ハーフミラーか
らの両照準線結像を半反射させる他のハーフミラーと、
前記他のハーフミラーによって前記投影レンズにより投
影された前記照準ダブル線と照準シングル線の像を前記
被検物の像面に結像させる対物レンズと、を有し、更
に、前記ハーフミラーの後方には、第３光源が設けら
れ、第３光源からの光は、前記ハーフミラーで透過した
光のみ前記他のハーフミラーにより半反射され対物レン
ズを介して被検物の像面に到達し、被検物の像面の明視
野の中心に両照準線像の写る暗視野を形成する。
微鏡光学系の像面に結像させ、観察する被検物にその像
を投影して、照準ダブル線の中央に照準シングル線を挟
み込むように調整し焦点合せを行うフォーカス検出ユニ
ットを備えた顕微鏡において、第１光源と第１光源から
の光軸上に前記照準ダブル線を形成するように配置され
たダブルスリットマスクと、第２光源と第２光源からの
光軸上に前記照準シングル線を形成するように配置され
たシングルスリットマスクと、任意角度の稜を形成する
第１側面及び第２側面と前記稜と対向する平面とにより
三角柱を構成し、それぞれ第１側面と第２側面に入射さ
れた前記照準ダブル線と照準シングル線を前記稜前方に
反射させるプリズムと、前記プリズムの稜前方に配設さ
れ反射された前記照準ダブル線と照準シングル線とを結
像させ、観察する被検物に前記照準ダブル線と照準シン
グル線の像を投影する投影レンズと、前記投影レンズに
よる両照準線結像を一定の角度に反射させる中心部を全
反射ミラーとしたハーフミラーと、前記ハーフミラーか
らの両照準線結像を半反射させる他のハーフミラーと、
前記他のハーフミラーによって前記投影レンズにより投
影された前記照準ダブル線と照準シングル線の像を前記
被検物の像面に結像させる対物レンズと、を有し、更
に、前記ハーフミラーの後方には、第３光源が設けら
れ、第３光源からの光は、前記ハーフミラーで透過した
光のみ前記他のハーフミラーにより半反射され対物レン
ズを介して被検物の像面に到達し、被検物の像面の明視
野の中心に両照準線像の写る暗視野を形成する。
【００２１】従って、照準ダブル線及び照準シングル線
の線像近傍を暗視野にし、被検物の明るさに対し線像の
コントラストを上げることができる。これにより、更に
焦点合わせの精度が向上する。
の線像近傍を暗視野にし、被検物の明るさに対し線像の
コントラストを上げることができる。これにより、更に
焦点合わせの精度が向上する。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施の形
態を説明する。
態を説明する。
【００２３】第１実施形態．図１を用いて、本実施形態
のフォーカス検出ユニットについて説明する。
のフォーカス検出ユニットについて説明する。
【００２４】本実施形態は、照準ダブル線と照準シング
ル線を顕微鏡光学系の像面に結像させ、観察する被検物
にその像を投影して、照準ダブル線の中央に照準シング
ル線を挟み込むように調整し焦点合せを行うフォーカス
検出ユニットであって、以下に示す構造を有する。すな
わち、図１に示すように、第１光源であるランプ１０の
光軸上には、照準ダブル線を形成するためのダブルスリ
ットマスク１２が配置されている。また、第２光源であ
るランプ１４からの光軸上には、照準シングル線を形成
するためのシングルスリットマスク１６が配置されてい
る。また、任意角度の稜を形成する第１側面及び第２側
面と該稜に対向する平面とにより三角柱を構成するプリ
ズム１８は、照準ダブル線と照準シングル線がそれぞれ
第１側面と第２側面に入射可能な位置に配置され、入射
された照準ダブル線と照準シングル線を稜前方に反射さ
せる。また、プリズム１８の稜前方には、投影レンズ２
０が配設され、プリズム１８によって反射されマスク２
２より光束分離された照準ダブル線と照準シングル線と
を両照準線結像位置１００に結像させ、観察する被検物
に照準ダブル線と照準シングル線の像を投影させる。
ル線を顕微鏡光学系の像面に結像させ、観察する被検物
にその像を投影して、照準ダブル線の中央に照準シング
ル線を挟み込むように調整し焦点合せを行うフォーカス
検出ユニットであって、以下に示す構造を有する。すな
わち、図１に示すように、第１光源であるランプ１０の
光軸上には、照準ダブル線を形成するためのダブルスリ
ットマスク１２が配置されている。また、第２光源であ
るランプ１４からの光軸上には、照準シングル線を形成
するためのシングルスリットマスク１６が配置されてい
る。また、任意角度の稜を形成する第１側面及び第２側
面と該稜に対向する平面とにより三角柱を構成するプリ
ズム１８は、照準ダブル線と照準シングル線がそれぞれ
第１側面と第２側面に入射可能な位置に配置され、入射
された照準ダブル線と照準シングル線を稜前方に反射さ
せる。また、プリズム１８の稜前方には、投影レンズ２
０が配設され、プリズム１８によって反射されマスク２
２より光束分離された照準ダブル線と照準シングル線と
を両照準線結像位置１００に結像させ、観察する被検物
に照準ダブル線と照準シングル線の像を投影させる。
【００２５】本実施形態のフォーカス検出ユニットを備
えた顕微鏡については後述するが、図１に示すように、
被検物に対して顕微鏡の焦点があった場合、すなわちジ
ャストフォーカス１０２の場合では、照準ダブル線の中
央に照準シングル線が挟み込まれる。一方、焦点より手
前の場合、すなわち前ピン１０４の場合、及び焦点より
後方の場合、すなわち後ピン１０６の場合では、照準シ
ングル線が照準ダブル線の中央よりどちらかに偏って挟
み込まれる。挟み込み方式の場合には、上述したよう
に、特に分離角度の識別能力が±５秒、長さで±６．５
μｍであるため、肉眼で高精度の焦点合わせを行うこと
ができる。
えた顕微鏡については後述するが、図１に示すように、
被検物に対して顕微鏡の焦点があった場合、すなわちジ
ャストフォーカス１０２の場合では、照準ダブル線の中
央に照準シングル線が挟み込まれる。一方、焦点より手
前の場合、すなわち前ピン１０４の場合、及び焦点より
後方の場合、すなわち後ピン１０６の場合では、照準シ
ングル線が照準ダブル線の中央よりどちらかに偏って挟
み込まれる。挟み込み方式の場合には、上述したよう
に、特に分離角度の識別能力が±５秒、長さで±６．５
μｍであるため、肉眼で高精度の焦点合わせを行うこと
ができる。
【００２６】以上より、本実施形態のフォーカス検出ユ
ニットによれば、挟み込み方式においてプリズム１８を
用いて照準ダブル線と照準シングル線を分離するので、
従来の挟み込む方式に比べ光学系を簡略化でき、コンパ
クトなフォーカス検出ユニットを形成することができ
る。更に、光学系が簡略化されたことにより光学系の調
整も容易となる。また、従来の顕微鏡の中間像の位置
（すなわち、図１の両照準線結像位置１００）に本実施
形態のフォーカス検出ユニットを後付するだけで、従来
使用していたマニュアル顕微鏡の焦点合わせの精度を向
上させることができる。
ニットによれば、挟み込み方式においてプリズム１８を
用いて照準ダブル線と照準シングル線を分離するので、
従来の挟み込む方式に比べ光学系を簡略化でき、コンパ
クトなフォーカス検出ユニットを形成することができ
る。更に、光学系が簡略化されたことにより光学系の調
整も容易となる。また、従来の顕微鏡の中間像の位置
（すなわち、図１の両照準線結像位置１００）に本実施
形態のフォーカス検出ユニットを後付するだけで、従来
使用していたマニュアル顕微鏡の焦点合わせの精度を向
上させることができる。
【００２７】尚、本実施形態では、ランプ（例えば白熱
ランプ）を用いたがこれに限るものではなくＬＥＤを用
いてもよい（以下の実施形態でも同様である）。
ランプ）を用いたがこれに限るものではなくＬＥＤを用
いてもよい（以下の実施形態でも同様である）。
【００２８】また、本実施形態では、フォーカス検出ユ
ニットを顕微鏡のＴＶポートに装着した場合について説
明したが、これに限るものではなく、光学系の装置であ
って焦点合せを行う装置であれば、本実施形態のフォー
カス検出ユニットを用いることができる。
ニットを顕微鏡のＴＶポートに装着した場合について説
明したが、これに限るものではなく、光学系の装置であ
って焦点合せを行う装置であれば、本実施形態のフォー
カス検出ユニットを用いることができる。
【００２９】第２実施形態．本実施形態は、第１実施形
態のフォーカス検出ユニットを備えた顕微鏡である。
尚、第１実施形態のフォーカス検出ユニットと同様の構
成要素には同一の符号を付しその説明を省略する。
態のフォーカス検出ユニットを備えた顕微鏡である。
尚、第１実施形態のフォーカス検出ユニットと同様の構
成要素には同一の符号を付しその説明を省略する。
【００３０】本実施形態の顕微鏡は、上述の第１実施形
態のフォーカス検出ユニットを備え、更に投影レンズ２
０により投影された照準ダブル線と照準シングル線の像
を被検物の像面に結像させる対物レンズ３４を有する。
また、第３光源であるランプ３２とランプ３２からの光
軸上に配設され中央のみ遮光性を有する光透過性膜から
なる暗視野マスク３０と、暗視野マスク３０の像を対物
レンズ３４に半反射するハーフミラー２６とを有する。
従って、ランプ３２からの光は、暗視野マスク３０の中
央で一部遮光され周辺部分より透過した光のみハーフミ
ラー２６により半反射され対物レンズ３４を介して被検
物の像面に到達する。このため、被検物の像面の明視野
の中心に両照準線像の写る暗視野を形成することができ
る。
態のフォーカス検出ユニットを備え、更に投影レンズ２
０により投影された照準ダブル線と照準シングル線の像
を被検物の像面に結像させる対物レンズ３４を有する。
また、第３光源であるランプ３２とランプ３２からの光
軸上に配設され中央のみ遮光性を有する光透過性膜から
なる暗視野マスク３０と、暗視野マスク３０の像を対物
レンズ３４に半反射するハーフミラー２６とを有する。
従って、ランプ３２からの光は、暗視野マスク３０の中
央で一部遮光され周辺部分より透過した光のみハーフミ
ラー２６により半反射され対物レンズ３４を介して被検
物の像面に到達する。このため、被検物の像面の明視野
の中心に両照準線像の写る暗視野を形成することができ
る。
【００３１】また、本実施形態の顕微鏡は、ハーフミラ
ー２６と両照準線結像位置１００との間にハーフミラー
２４が配置され、このハーフミラー２４により半反射さ
れた被検物の像は、接眼レンズ（図示せず）を介して肉
眼で観察することができる。更に、図２に示すように、
両照準線結像位置１００の近傍にハーフミラー４０を配
置し、ハーフミラー４０で半反射された被検物５０の像
をレンズ４１を介し全反射ミラー４４で反射することに
より、カメラ４２においても被検物５０の像を観察及び
撮影することができる。また、カメラ４２の替わりにＴ
Ｖカメラを接続すれば、肉眼で観察すると同時にＴＶ観
察も行うことができる。
ー２６と両照準線結像位置１００との間にハーフミラー
２４が配置され、このハーフミラー２４により半反射さ
れた被検物の像は、接眼レンズ（図示せず）を介して肉
眼で観察することができる。更に、図２に示すように、
両照準線結像位置１００の近傍にハーフミラー４０を配
置し、ハーフミラー４０で半反射された被検物５０の像
をレンズ４１を介し全反射ミラー４４で反射することに
より、カメラ４２においても被検物５０の像を観察及び
撮影することができる。また、カメラ４２の替わりにＴ
Ｖカメラを接続すれば、肉眼で観察すると同時にＴＶ観
察も行うことができる。
【００３２】第３実施形態．本実施形態の顕微鏡は、照
準ダブル線と照準シングル線を顕微鏡光学系の像面に結
像させ、観察する被検物にその像を投影して、照準ダブ
ル線の中央に照準シングル線を挟み込むように調整し焦
点合せを行うフォーカス検出ユニットを備えた顕微鏡で
あって、図３及び図４に示す構成を有する。尚、第１及
び第２実施形態と同様の構成要素には同様の符号を付し
その説明を省略する。
準ダブル線と照準シングル線を顕微鏡光学系の像面に結
像させ、観察する被検物にその像を投影して、照準ダブ
ル線の中央に照準シングル線を挟み込むように調整し焦
点合せを行うフォーカス検出ユニットを備えた顕微鏡で
あって、図３及び図４に示す構成を有する。尚、第１及
び第２実施形態と同様の構成要素には同様の符号を付し
その説明を省略する。
【００３３】すなわち、図３に示すように、フォーカス
検出ユニットには、第１光源であるランプ１０からの光
軸上に照準ダブル線を形成するためのダブルスリットマ
スク１２が配置されており、また第２光源であるランプ
１４からの光軸上に照準シングル線を形成するためのシ
ングルスリットマスク１６が配置されている。また、任
意角度の稜を形成する第１側面及び第２側面と該稜に対
向する平面とにより三角柱を構成するプリズム１８は、
照準ダブル線と照準シングル線がそれぞれ第１側面と第
２側面にそれぞれ入射可能な位置に配置され、入射され
た照準ダブル線と照準シングル線を稜前方に反射させ
る。また、プリズム１８の稜前方には、投影レンズ２０
が配設され、プリズム１８によって反射されマスク２２
より光束分離された照準ダブル線と照準シングル線とを
結像させ、観察する被検物に照準ダブル線と照準シング
ル線の像を投影させる。
検出ユニットには、第１光源であるランプ１０からの光
軸上に照準ダブル線を形成するためのダブルスリットマ
スク１２が配置されており、また第２光源であるランプ
１４からの光軸上に照準シングル線を形成するためのシ
ングルスリットマスク１６が配置されている。また、任
意角度の稜を形成する第１側面及び第２側面と該稜に対
向する平面とにより三角柱を構成するプリズム１８は、
照準ダブル線と照準シングル線がそれぞれ第１側面と第
２側面にそれぞれ入射可能な位置に配置され、入射され
た照準ダブル線と照準シングル線を稜前方に反射させ
る。また、プリズム１８の稜前方には、投影レンズ２０
が配設され、プリズム１８によって反射されマスク２２
より光束分離された照準ダブル線と照準シングル線とを
結像させ、観察する被検物に照準ダブル線と照準シング
ル線の像を投影させる。
【００３４】更に、上記フォーカス検出ユニットに加
え、本実施形態の顕微鏡は、投影レンズ２０による両照
準線結像を一定の角度に反射させる中心部を全反射ミラ
ーとしたハーフミラー６２と、ハーフミラー６２からの
両照準線結像を半反射させるハーフミラー６４と、ハー
フミラー６４によって投影レンズ２０により投影された
照準ダブル線と照準シングル線の像を前記被検物の像面
に結像させる対物レンズ３４と、を有する。
え、本実施形態の顕微鏡は、投影レンズ２０による両照
準線結像を一定の角度に反射させる中心部を全反射ミラ
ーとしたハーフミラー６２と、ハーフミラー６２からの
両照準線結像を半反射させるハーフミラー６４と、ハー
フミラー６４によって投影レンズ２０により投影された
照準ダブル線と照準シングル線の像を前記被検物の像面
に結像させる対物レンズ３４と、を有する。
【００３５】本実施形態の顕微鏡によれば、挟み込み方
式においてプリズム１８を用いて照準ダブル線と照準シ
ングル線を分離するので、従来の挟み込み方式に比べ光
学系を簡略化でき、コンパクトなフォーカス検出ユニッ
トを形成することができる。更に、光学系を簡略化でき
たので、光学系の調整も容易となる。また、挟み込み方
式のフォーカス検出ユニットが設置されているので、焦
点合わせの精度が向上する。
式においてプリズム１８を用いて照準ダブル線と照準シ
ングル線を分離するので、従来の挟み込み方式に比べ光
学系を簡略化でき、コンパクトなフォーカス検出ユニッ
トを形成することができる。更に、光学系を簡略化でき
たので、光学系の調整も容易となる。また、挟み込み方
式のフォーカス検出ユニットが設置されているので、焦
点合わせの精度が向上する。
【００３６】また、ハーフミラー６２は、中心部が全反
射ミラーとなっており、ハーフミラー６２の後方には、
第３光源であるランプ６０が設けられ、ランプ６０から
の光は、レンズ６１で集光されハーフミラー６２で透過
した光のみハーフミラー６４により半反射され対物レン
ズ３４を介して被検物の像面に到達する。従って、被検
物の像面の明視野の中心に両照準線像の写る暗視野を形
成することができる。
射ミラーとなっており、ハーフミラー６２の後方には、
第３光源であるランプ６０が設けられ、ランプ６０から
の光は、レンズ６１で集光されハーフミラー６２で透過
した光のみハーフミラー６４により半反射され対物レン
ズ３４を介して被検物の像面に到達する。従って、被検
物の像面の明視野の中心に両照準線像の写る暗視野を形
成することができる。
【００３７】また、本実施形態の顕微鏡は、ハーフミラ
ー６４と両照準線結像位置１００との間には、ハーフミ
ラー２４が配置され、このハーフミラー２４により半反
射された被検物の像は、接眼レンズ（図示せず）を介し
て肉眼で観察することができる。
ー６４と両照準線結像位置１００との間には、ハーフミ
ラー２４が配置され、このハーフミラー２４により半反
射された被検物の像は、接眼レンズ（図示せず）を介し
て肉眼で観察することができる。
【００３８】また、図４に示すように、両照準線結像位
置１００にハーフミラー４０を配置し、ハーフミラー４
０で半反射された被検物５０の像をレンズ４１を介して
全反射ミラー４４で反射することにより、ＴＶカメラ４
８においても被検物５０の像を観察することができる。
更に、本実施形態の顕微鏡は、第２実施形態の顕微鏡の
ように両照準線結像位置１００からの光軸の延長線上に
フォーカス検出ユニットが配置されていないので、前記
ハーフミラー４０において一部通過した被検物５０の像
はリレーレンズ４６で集束してカメラ４２で観察・撮影
することができる。従って、ＴＶ観察しながら、カメラ
により被検物の撮影を行うことができる。
置１００にハーフミラー４０を配置し、ハーフミラー４
０で半反射された被検物５０の像をレンズ４１を介して
全反射ミラー４４で反射することにより、ＴＶカメラ４
８においても被検物５０の像を観察することができる。
更に、本実施形態の顕微鏡は、第２実施形態の顕微鏡の
ように両照準線結像位置１００からの光軸の延長線上に
フォーカス検出ユニットが配置されていないので、前記
ハーフミラー４０において一部通過した被検物５０の像
はリレーレンズ４６で集束してカメラ４２で観察・撮影
することができる。従って、ＴＶ観察しながら、カメラ
により被検物の撮影を行うことができる。
【００３９】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るフォーカス
検出ユニットによれば、挟み込み方式においてプリズム
を用いて照準ダブル線と照準シングル線を分離できるの
で、光学系を簡略化でき、コンパクトなフォーカス検出
ユニットを形成することができる。更に、光学系が簡略
化されたので、調整も容易となる。また、一般の顕微鏡
のＴＶポートの位置に上記フォーカス検出ユニットを設
置すれば（すなわち、レトロフィット）、一般の顕微鏡
の焦点合わせの精度が向上する。従って、従来使用して
いた顕微鏡に本発明のフォーカス検出ユニットを装着す
ることにより、高精度の焦点合せが可能となり、経済性
にも優れる。
検出ユニットによれば、挟み込み方式においてプリズム
を用いて照準ダブル線と照準シングル線を分離できるの
で、光学系を簡略化でき、コンパクトなフォーカス検出
ユニットを形成することができる。更に、光学系が簡略
化されたので、調整も容易となる。また、一般の顕微鏡
のＴＶポートの位置に上記フォーカス検出ユニットを設
置すれば（すなわち、レトロフィット）、一般の顕微鏡
の焦点合わせの精度が向上する。従って、従来使用して
いた顕微鏡に本発明のフォーカス検出ユニットを装着す
ることにより、高精度の焦点合せが可能となり、経済性
にも優れる。
【００４０】また、本発明に係るフォーカス検出ユニッ
トを備えた顕微鏡によれば、眼の検出能力の高い挟み込
み方式を採用する顕微鏡であるため、ピント合わせの精
度が向上する。また、上述したようにプリズムを用いる
ことにより、光学系を簡略化でき、光学系の調整も容易
になる。更に、暗視野マスク又は中心全反射ミラーと光
源とを組み合わせることにより、照準ダブル線及び照準
シングル線の線像近傍を暗視野にし、被検物の明るさに
対し線像のコントラストを上げることができる。これに
より、更に焦点合わせの精度が向上する。
トを備えた顕微鏡によれば、眼の検出能力の高い挟み込
み方式を採用する顕微鏡であるため、ピント合わせの精
度が向上する。また、上述したようにプリズムを用いる
ことにより、光学系を簡略化でき、光学系の調整も容易
になる。更に、暗視野マスク又は中心全反射ミラーと光
源とを組み合わせることにより、照準ダブル線及び照準
シングル線の線像近傍を暗視野にし、被検物の明るさに
対し線像のコントラストを上げることができる。これに
より、更に焦点合わせの精度が向上する。
【図１】 本発明に係るフォーカス検出ユニット及びそ
れを備えた顕微鏡の構成を示す図である。
れを備えた顕微鏡の構成を示す図である。
【図２】 図１に示す顕微鏡においてＴＶポートを接続
する構成を示す図である。
する構成を示す図である。
【図３】 本発明に係るフォーカス検出ユニットを備え
た他の顕微鏡の構成を示す図である。
た他の顕微鏡の構成を示す図である。
【図４】 図３に示す顕微鏡においてＴＶポート及びカ
メラポートを接続する構成を示す図である。
メラポートを接続する構成を示す図である。
【図５】 スプリットプリズムを用いた線像ずれ合わせ
方式の原理を説明する図である。
方式の原理を説明する図である。
【図６】 従来の挟み込み方式のフォーカス検出ユニッ
トの光学系の構成を示す図である。
トの光学系の構成を示す図である。
１０，１４，３２ ランプ、１２ ダブルスリットマス
ク、１６ シングルスリットマスク、１８ プリズム、
２０ 投影レンズ、２２ マスク、２４，２６ハーフミ
ラー、３０ 暗視野マスク、１００ 両照準線結像位
置、１０２ ジャストフォーカス、１０４ 前ピン、１
０６ 後ピン。
ク、１６ シングルスリットマスク、１８ プリズム、
２０ 投影レンズ、２２ マスク、２４，２６ハーフミ
ラー、３０ 暗視野マスク、１００ 両照準線結像位
置、１０２ ジャストフォーカス、１０４ 前ピン、１
０６ 後ピン。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 21/26 G02B 7/11
Claims (5)
- 【請求項１】 照準ダブル線と照準シングル線を顕微鏡
光学系の像面に結像させ、観察する被検物にその像を投
影して、照準ダブル線の中央に照準シングル線を挟み込
むように調整し焦点合せを行うフォーカス検出ユニット
において、 第１光源と第１光源からの光軸上に前記照準ダブル線を
形成するように配置されたダブルスリットマスクと、 第２光源と第２光源からの光軸上に前記照準シングル線
を形成するように配置されたシングルスリットマスク
と、 任意角度の稜を形成する第１側面及び第２側面と前記稜
に対向する平面とにより三角柱を構成し、それぞれ第１
側面と第２側面に入射された前記照準ダブル線と照準シ
ングル線を前記稜前方に反射させるプリズムと、 前記プリズムの稜前方に配設され反射された前記照準ダ
ブル線と照準シングル線とを結像させ、観察する被検物
に前記照準ダブル線と照準シングル線の像を投影する投
影レンズと、 を有することを特徴とするフォーカス検出ユニット。 - 【請求項２】 請求項１に記載のフォーカス検出ユニッ
トを備え、 更に、前記投影レンズにより投影された前記照準ダブル
線と照準シングル線の像を前記被検物の像面に結像させ
る対物レンズを有することを特徴とするフォーカス検出
ユニットを備えた顕微鏡。 - 【請求項３】 照準ダブル線と照準シングル線を顕微鏡
光学系の像面に結像させ、観察する被検物にその像を投
影して、照準ダブル線の中央に照準シングル線を挟み込
むように調整し焦点合せを行うフォーカス検出ユニット
を備えた顕微鏡において、 第１光源と第１光源からの光軸上に前記照準ダブル線を
形成するように配置されたダブルスリットマスクと、 第２光源と第２光源からの光軸上に前記照準シングル線
を形成するように配置されたシングルスリットマスク
と、 任意の角度の稜を形成する第１側面及び第２側面と前記
稜と対向する平面とにより三角柱を構成し、それぞれ第
１側面と第２側面に入射された前記照準ダブル線と照準
シングル線を前記稜前方に反射させるプリズムと、 前記プリズムの稜前方に配設され反射された前記照準ダ
ブル線と照準シングル線とを結像させ、観察する被検物
に前記照準ダブル線と照準シングル線の像を投影する投
影レンズと、 前記投影レンズによる両照準線結像を一定の角度に反射
させる全反射ミラーと、 全反射ミラーからの両照準線結像を半反射させるハーフ
ミラーと、 前記ハーフミラーによって前記投影レンズにより投影さ
れた前記照準ダブル線と照準シングル線の像を前記被検
物の像面に結像させる対物レンズと、 を有することを特徴とするフォーカス検出ユニットを備
えた顕微鏡。 - 【請求項４】 請求項２に記載のフォーカス検出を備え
た顕微鏡において、 更に、第３光源と前記第３光源からの光軸上に配設され
中央のみ遮光性を有する光透過性膜からなる暗視野マス
クと、 暗視野マスクの像を対物レンズに半反射するハーフミラ
ーと、を有し、 第３光源からの光は、前記暗視野マスク中央で一部遮光
され周辺部分より透過した光のみ前記ハーフミラーによ
り半反射され対物レンズを介して被検物の像面に到達
し、被検物の像面の明視野の中心に両照準線像の写る暗
視野を形成することを特徴とするフォーカス検出ユニッ
トを備えた顕微鏡。 - 【請求項５】 照準ダブル線と照準シングル線を顕微鏡
光学系の像面に結像させ、観察する被検物にその像を投
影して、照準ダブル線の中央に照準シングル線を挟み込
むように調整し焦点合せを行うフォーカス検出ユニット
を備えた顕微鏡において、 第１光源と第１光源からの光軸上に前記照準ダブル線を
形成するように配置されたダブルスリットマスクと、 第２光源と第２光源からの光軸上に前記照準シングル線
を形成するように配置されたシングルスリットマスク
と、 任意角度の稜を形成する第１側面及び第２側面と前記稜
と対向する平面とにより三角柱を構成し、それぞれ第１
側面と第２側面に入射された前記照準ダブル線と照準シ
ングル線を前記稜前方に反射させるプリズムと、 前記プリズムの稜前方に配設され反射された前記照準ダ
ブル線と照準シングル線とを結像させ、観察する被検物
に前記照準ダブル線と照準シングル線の像を投影する投
影レンズと、 前記投影レンズによる両照準線結像を一定の角度に反射
させる中心部を全反射ミラーとしたハーフミラーと、 前記ハーフミラーからの両照準線結像を半反射させる他
のハーフミラーと、 前記他のハーフミラーによって前記投影レンズにより投
影された前記照準ダブル線と照準シングル線の像を前記
被検物の像面に結像させる対物レンズと、 を有し、 更に、前記ハーフミラーの後方には、第３光源が設けら
れ、第３光源からの光は、前記ハーフミラーで透過した
光のみ前記他のハーフミラーにより半反射され対物レン
ズを介して被検物の像面に到達し、被検物の像面の明視
野の中心に両照準線像の写る暗視野を形成することを特
徴とするフォーカス検出ユニットを備えた顕微鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8298454A JP2971823B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | フォーカス検出ユニット及びそれを備えた顕微鏡 |
| US08/965,527 US5963366A (en) | 1996-11-11 | 1997-11-06 | Focus detection unit and microscope using the focus detection unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8298454A JP2971823B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | フォーカス検出ユニット及びそれを備えた顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142515A JPH10142515A (ja) | 1998-05-29 |
| JP2971823B2 true JP2971823B2 (ja) | 1999-11-08 |
Family
ID=17859923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8298454A Expired - Fee Related JP2971823B2 (ja) | 1996-11-11 | 1996-11-11 | フォーカス検出ユニット及びそれを備えた顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5963366A (ja) |
| JP (1) | JP2971823B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3615412B2 (ja) | 1999-03-02 | 2005-02-02 | 株式会社ミツトヨ | フォーカス検出ユニットおよびそれを備えた光学式測定機 |
| US6657219B2 (en) | 2001-02-12 | 2003-12-02 | International Business Machines Corporation | Optical detection and measurement system |
| US7095901B2 (en) * | 2001-03-15 | 2006-08-22 | Lg Electronics, Inc. | Apparatus and method for adjusting focus position in iris recognition system |
| DE10112639A1 (de) * | 2001-03-16 | 2002-09-19 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Mikroskop mit Autofokussiereinrichtung |
| DE10125971A1 (de) * | 2001-05-29 | 2002-12-05 | Leica Mikroskopie Systeme Ag H | Verfahren zur Entfernungsmessung ausgedehnter Objekte in Verbindung mit einer optischen Betrachtungseinrichtung und Mikroskop zur Durchführung desselben |
| DE10204367B4 (de) * | 2002-02-02 | 2006-05-11 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Autofokusmodul für mikroskopbasierte Systeme und Autofokusverfahren für ein mikroskopbasiertes System |
| JP2006293222A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Olympus Corp | 焦点検出装置 |
| US7348528B2 (en) * | 2005-12-20 | 2008-03-25 | Marshall Daniel R | Distance measuring system |
| JP6378936B2 (ja) * | 2014-05-28 | 2018-08-22 | 株式会社ミツトヨ | 光学装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4406526A (en) * | 1980-05-19 | 1983-09-27 | Vickers Limited | Focusing of optical viewing apparatus |
| US4734570A (en) * | 1985-11-20 | 1988-03-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Active focus detecting device with infrared source |
| DE3617421A1 (de) * | 1986-04-30 | 1987-11-05 | Leitz Ernst Gmbh | Optisches bauelement und vorrichtung zu dessen verwendung |
| JPH0786588B2 (ja) * | 1988-06-02 | 1995-09-20 | 株式会社ミツトヨ | 合焦検出装置 |
| JPH0420910A (ja) * | 1990-05-16 | 1992-01-24 | Mitsutoyo Corp | 簡易型オートフォーカス光学測定機 |
| JPH05142462A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Olympus Optical Co Ltd | 合焦装置 |
-
1996
- 1996-11-11 JP JP8298454A patent/JP2971823B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-11-06 US US08/965,527 patent/US5963366A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5963366A (en) | 1999-10-05 |
| JPH10142515A (ja) | 1998-05-29 |
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