JPH09261943A - リニアモータ駆動装置 - Google Patents
リニアモータ駆動装置Info
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- JPH09261943A JPH09261943A JP8093076A JP9307696A JPH09261943A JP H09261943 A JPH09261943 A JP H09261943A JP 8093076 A JP8093076 A JP 8093076A JP 9307696 A JP9307696 A JP 9307696A JP H09261943 A JPH09261943 A JP H09261943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- primary side
- bed
- secondary side
- linear motor
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T90/00—Enabling technologies or technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02T90/10—Technologies relating to charging of electric vehicles
- Y02T90/16—Information or communication technologies improving the operation of electric vehicles
Landscapes
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 一次側と二次側との間の信号伝達用のケーブ
ルを廃止し、動作の信頼性を高めること。 【解決手段】 一次側を構成するベッド1には、その長
手方向に沿って一対のレール状電極部7が配設されてお
り、二次側を構成する可動テーブル2には、転動体とし
てのボールを保持する一対のスライダ10が配設されて
いる。前記一対のレール状電極部7に動作電源が供給さ
れ、レール状電極部7を転動するボール及びスライダ1
0を通じて二次側に配置されているリニアスケールセン
サ部及び光変調回路等に動作電源を供給してなる。ま
た、一対のスライダ10に充電が可能な電池及び/又は
コンデンサが接続され、ボールの転動によって生ずるス
パイクノイズを除去してなる。
ルを廃止し、動作の信頼性を高めること。 【解決手段】 一次側を構成するベッド1には、その長
手方向に沿って一対のレール状電極部7が配設されてお
り、二次側を構成する可動テーブル2には、転動体とし
てのボールを保持する一対のスライダ10が配設されて
いる。前記一対のレール状電極部7に動作電源が供給さ
れ、レール状電極部7を転動するボール及びスライダ1
0を通じて二次側に配置されているリニアスケールセン
サ部及び光変調回路等に動作電源を供給してなる。ま
た、一対のスライダ10に充電が可能な電池及び/又は
コンデンサが接続され、ボールの転動によって生ずるス
パイクノイズを除去してなる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば工作機械や
産業用ロボットなどの運動機構部において用いられるリ
ニアモータ駆動装置に関するものであり、特にリニアモ
ータを構成する一次側と二次側との間の信号伝達用のケ
ーブルを廃止し、動作の信頼性を高めることができるリ
ニアモータ駆動装置に関する。
産業用ロボットなどの運動機構部において用いられるリ
ニアモータ駆動装置に関するものであり、特にリニアモ
ータを構成する一次側と二次側との間の信号伝達用のケ
ーブルを廃止し、動作の信頼性を高めることができるリ
ニアモータ駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】リニアモータ駆動装置は、工作機械や産
業用ロボットなどの直線運動機構部において、移動させ
るべき物体を高精度な位置に移動させるために多用され
ている。そして、この種のリニアモータは、一次側及び
二次側から成り、一般的に一次側を給電側にしてしかも
固定側とし、二次側を可動側に構成される。この駆動源
としてのリニアモータに案内手段等を備えたものをリニ
アモータ駆動装置と称する。
業用ロボットなどの直線運動機構部において、移動させ
るべき物体を高精度な位置に移動させるために多用され
ている。そして、この種のリニアモータは、一次側及び
二次側から成り、一般的に一次側を給電側にしてしかも
固定側とし、二次側を可動側に構成される。この駆動源
としてのリニアモータに案内手段等を備えたものをリニ
アモータ駆動装置と称する。
【0003】一次側を構成する給電側には、電機子コイ
ル及びこの電機子コイルに対して駆動電流を供給するた
めの駆動制御回路等が具備され、また二次側を構成する
可動側には、界磁マグネットが装着され、前記電機子コ
イルに電流を供給することによって、一次側及び二次側
の両者間に生ずるフレミングの左手の法則に基づく推力
により一次側に対して二次側である可動側を移動させる
ように構成される。
ル及びこの電機子コイルに対して駆動電流を供給するた
めの駆動制御回路等が具備され、また二次側を構成する
可動側には、界磁マグネットが装着され、前記電機子コ
イルに電流を供給することによって、一次側及び二次側
の両者間に生ずるフレミングの左手の法則に基づく推力
により一次側に対して二次側である可動側を移動させる
ように構成される。
【0004】そして、前記一次側と二次側とには、相対
位置を検出するための位置検出手段が配設されている。
その位置検出手段は、一次側に長手方向に配設されたリ
ニア磁気スケールと、そのリニア磁気スケール上に着磁
された磁極に対向するように二次側に配設された磁電変
換素子(ホール効果素子)等により構成されている。
位置を検出するための位置検出手段が配設されている。
その位置検出手段は、一次側に長手方向に配設されたリ
ニア磁気スケールと、そのリニア磁気スケール上に着磁
された磁極に対向するように二次側に配設された磁電変
換素子(ホール効果素子)等により構成されている。
【0005】この構成によって前記磁電変換素子より検
知されるリニア磁気スケールからの磁束の変化に比例し
た信号を得て一次側に対する二次側の相対位置を検出す
るようになされている。
知されるリニア磁気スケールからの磁束の変化に比例し
た信号を得て一次側に対する二次側の相対位置を検出す
るようになされている。
【0006】そして、二次側に配設された磁電変換素子
等を含む位置検出手段からの位置信号を一次側の前記駆
動制御回路に伝達するために一般にフレキシブルプリン
ト基板が用いられており、二次側より一次側に対して前
記フレキシブルプリント基板が接続されている。
等を含む位置検出手段からの位置信号を一次側の前記駆
動制御回路に伝達するために一般にフレキシブルプリン
ト基板が用いられており、二次側より一次側に対して前
記フレキシブルプリント基板が接続されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、二次側より
一次側に対して位置信号を伝達させるためのフレキシブ
ルプリント基板が接続されたリニアモータ駆動装置にお
いては、そのフレキシブルプリント基板はリニアモータ
の作動により常に一次側と二次側との間にあって直接的
に機械的なストレスを受ける。
一次側に対して位置信号を伝達させるためのフレキシブ
ルプリント基板が接続されたリニアモータ駆動装置にお
いては、そのフレキシブルプリント基板はリニアモータ
の作動により常に一次側と二次側との間にあって直接的
に機械的なストレスを受ける。
【0008】このために、長期の使用により前記フレキ
シブルプリント基板に疲労が生じ、該フレキシブルプリ
ント基板が断線する懸念がある。したがって、この種の
リニアモータ駆動装置を用いる設備等の環境に何ら支障
のないように信頼性を高める必要性がある。
シブルプリント基板に疲労が生じ、該フレキシブルプリ
ント基板が断線する懸念がある。したがって、この種の
リニアモータ駆動装置を用いる設備等の環境に何ら支障
のないように信頼性を高める必要性がある。
【0009】特に、一次側とフレキシブルプリント基板
との接続点、及び二次側と前記フレキシブルプリント基
板との接続点が機械的なストレスを受けやすく、当該ス
トレス部分に対して機械的なストレスを与えない各種の
対策が提案されているものの、いずれも根本的な解決に
は至っていないのが現状である。
との接続点、及び二次側と前記フレキシブルプリント基
板との接続点が機械的なストレスを受けやすく、当該ス
トレス部分に対して機械的なストレスを与えない各種の
対策が提案されているものの、いずれも根本的な解決に
は至っていないのが現状である。
【0010】また、一次側と二次側とを結ぶフレキシブ
ルプリント基板がそれ自身の弾性により常に湾曲状態と
なるように配置させる必要があるため、このフレキシブ
ルプリント基板の占有するスペースが大きく、装置の小
形化を図ることが難しいなどの問題がある。
ルプリント基板がそれ自身の弾性により常に湾曲状態と
なるように配置させる必要があるため、このフレキシブ
ルプリント基板の占有するスペースが大きく、装置の小
形化を図ることが難しいなどの問題がある。
【0011】本発明は、これらの問題点に鑑みて成され
たものであり、リニアモータ駆動装置の一次側と二次側
との間のフレキシブルプリント基板、すなわち、信号伝
達用のケーブルを廃止し、動作の信頼性を高めると共
に、より小型に形成し得るリニアモータ駆動装置を提供
するものである。
たものであり、リニアモータ駆動装置の一次側と二次側
との間のフレキシブルプリント基板、すなわち、信号伝
達用のケーブルを廃止し、動作の信頼性を高めると共
に、より小型に形成し得るリニアモータ駆動装置を提供
するものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明に係るリニアモー
タ駆動装置は、一次側及び二次側より成り、該一次側と
二次側とが案内手段により互いに相対運動を成すリニア
モータ駆動装置であって、前記一次側には、長尺状に形
成されたベッドと、前記ベッド上に長手方向に沿って連
続して配設された電機子コイル群と、前記ベッド上に長
手方向に沿って配設されたリニアスケールと、前記ベッ
ド上に長手方向に沿って少なくとも一方が絶縁されて配
設された一対のレール状電極部と、前記ベッド上の長手
方向の一端部に配設され二次側の位置信号を受信するワ
イヤレス受信部とが具備され、前記二次側には、一次側
に対して移動可能な可動テーブルと、前記可動テーブル
に取付けられ、一次側の電機子コイル群に対向して移動
方向に沿って順次異極となって配設された界磁マグネッ
トと、前記可動テーブルの移動に伴い一次側の一対のレ
ール状電極部を転動する転動体と、前記転動体を保持し
前記可動テーブルに少なくとも一方が絶縁されて配設さ
れたスライダと、前記スライダからの動作電源を受け、
一次側のリニアスケールに対向して一次側に対する相対
位置を検出するリニアスケールセンサ部と、前記リニア
スケールセンサ部からの位置信号をワイヤレス信号とし
て発信するワイヤレス発信部とを備えたものである。ま
た、本発明に係るリニアモータ駆動装置は、前記リニア
モータ駆動装置であって、前記一次側には、長尺状に形
成されたベッドと、前記ベッド上に長手方向に沿って連
続して配設された電機子コイル群と、前記ベッド上に長
手方向に沿って配設されたリニアスケールと、前記ベッ
ド上に長手方向に沿って少なくとも一方が絶縁されて配
設された一対のレール状電極部と、前記ベッド上の長手
方向の一端部に配設され二次側の位置信号を受信するワ
イヤレス受信部とが具備され、前記二次側には、一次側
に対して移動可能な可動テーブルと、前記可動テーブル
に取付けられ、一次側の電機子コイル群に対向して移動
方向に沿って順次異極となって配設された界磁マグネッ
トと、前記可動テーブルの移動に伴い一次側の一対のレ
ール状電極部を転動する転動体と、前記転動体を保持し
前記可動テーブルに少なくとも一方が絶縁されて配設さ
れたスライダと、前記スライダからの動作電源を受け、
一次側のリニアスケールに対向して一次側に対する相対
位置を検出するリニアスケールセンサ部と、前記リニア
スケールセンサ部からの位置信号をワイヤレス信号とし
て発信するワイヤレス発信部とを備え、前記二次側にお
ける一対のスライダ間には、スパイクノイズの発生を防
止するためのスパイクノイズ防止手段が設けられてなる
ものである。
タ駆動装置は、一次側及び二次側より成り、該一次側と
二次側とが案内手段により互いに相対運動を成すリニア
モータ駆動装置であって、前記一次側には、長尺状に形
成されたベッドと、前記ベッド上に長手方向に沿って連
続して配設された電機子コイル群と、前記ベッド上に長
手方向に沿って配設されたリニアスケールと、前記ベッ
ド上に長手方向に沿って少なくとも一方が絶縁されて配
設された一対のレール状電極部と、前記ベッド上の長手
方向の一端部に配設され二次側の位置信号を受信するワ
イヤレス受信部とが具備され、前記二次側には、一次側
に対して移動可能な可動テーブルと、前記可動テーブル
に取付けられ、一次側の電機子コイル群に対向して移動
方向に沿って順次異極となって配設された界磁マグネッ
トと、前記可動テーブルの移動に伴い一次側の一対のレ
ール状電極部を転動する転動体と、前記転動体を保持し
前記可動テーブルに少なくとも一方が絶縁されて配設さ
れたスライダと、前記スライダからの動作電源を受け、
一次側のリニアスケールに対向して一次側に対する相対
位置を検出するリニアスケールセンサ部と、前記リニア
スケールセンサ部からの位置信号をワイヤレス信号とし
て発信するワイヤレス発信部とを備えたものである。ま
た、本発明に係るリニアモータ駆動装置は、前記リニア
モータ駆動装置であって、前記一次側には、長尺状に形
成されたベッドと、前記ベッド上に長手方向に沿って連
続して配設された電機子コイル群と、前記ベッド上に長
手方向に沿って配設されたリニアスケールと、前記ベッ
ド上に長手方向に沿って少なくとも一方が絶縁されて配
設された一対のレール状電極部と、前記ベッド上の長手
方向の一端部に配設され二次側の位置信号を受信するワ
イヤレス受信部とが具備され、前記二次側には、一次側
に対して移動可能な可動テーブルと、前記可動テーブル
に取付けられ、一次側の電機子コイル群に対向して移動
方向に沿って順次異極となって配設された界磁マグネッ
トと、前記可動テーブルの移動に伴い一次側の一対のレ
ール状電極部を転動する転動体と、前記転動体を保持し
前記可動テーブルに少なくとも一方が絶縁されて配設さ
れたスライダと、前記スライダからの動作電源を受け、
一次側のリニアスケールに対向して一次側に対する相対
位置を検出するリニアスケールセンサ部と、前記リニア
スケールセンサ部からの位置信号をワイヤレス信号とし
て発信するワイヤレス発信部とを備え、前記二次側にお
ける一対のスライダ間には、スパイクノイズの発生を防
止するためのスパイクノイズ防止手段が設けられてなる
ものである。
【0013】この場合、前記ワイヤレス発信部とワイヤ
レス受信部とで構成されるワイヤレス送受信は、光通信
であることが好ましい。
レス受信部とで構成されるワイヤレス送受信は、光通信
であることが好ましい。
【0014】そして、前記スパイクノイズ防止手段は、
コンデンサ又は電池であることが望ましく更には前記電
池に対してコンデンサを並列に接続して構成することが
好ましい。
コンデンサ又は電池であることが望ましく更には前記電
池に対してコンデンサを並列に接続して構成することが
好ましい。
【0015】上記リニアモータ駆動装置の位置検出手段
は、一次側を構成する長尺状のベッド上に配設された一
対のレール状電極部に動作電源が供給され、このレール
状電極部を転動する転動体を通して前記転動体を保持す
る一対のスライダから二次側に動作電源が取り込まれ
る。
は、一次側を構成する長尺状のベッド上に配設された一
対のレール状電極部に動作電源が供給され、このレール
状電極部を転動する転動体を通して前記転動体を保持す
る一対のスライダから二次側に動作電源が取り込まれ
る。
【0016】そして、二次側に配設されたリニアスケー
ルセンサ部が、前記動作電源を受けて作動し、リニアス
ケールからの検知信号を受けて一次側に対する二次側の
相対位置を演算する。そして、リニアスケールセンサ部
より得られる相対位置の位置信号がワイヤレス発信部よ
りワイヤレス信号によって一次側に伝達されて位置検出
がなされる構成になっている。したがって、該構成によ
り二次側と一次側を結ぶ信号伝達用のケーブルを除去す
ることが可能となる。
ルセンサ部が、前記動作電源を受けて作動し、リニアス
ケールからの検知信号を受けて一次側に対する二次側の
相対位置を演算する。そして、リニアスケールセンサ部
より得られる相対位置の位置信号がワイヤレス発信部よ
りワイヤレス信号によって一次側に伝達されて位置検出
がなされる構成になっている。したがって、該構成によ
り二次側と一次側を結ぶ信号伝達用のケーブルを除去す
ることが可能となる。
【0017】なお、リニアスケールセンサ部及びワイヤ
レス発信部に供給される動作電源は、転動体を通して前
記転動体を保持する一対のスライダを介して取り込まれ
ることになり、前記転動体の転動作用によって高レベル
のスパイクノイズが混入されてリニアスケールセンサ部
及びワイヤレス通信(光通信)に対して妨害を与える可
能性が高いために、一対のスライダ間にコンデンサ又は
電池の作用により前記スパイクノイズの発生が防止され
るように成されている。
レス発信部に供給される動作電源は、転動体を通して前
記転動体を保持する一対のスライダを介して取り込まれ
ることになり、前記転動体の転動作用によって高レベル
のスパイクノイズが混入されてリニアスケールセンサ部
及びワイヤレス通信(光通信)に対して妨害を与える可
能性が高いために、一対のスライダ間にコンデンサ又は
電池の作用により前記スパイクノイズの発生が防止され
るように成されている。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るリニアモータ
駆動装置の実施例を図面を用いて説明する。
駆動装置の実施例を図面を用いて説明する。
【0019】以下に説明する実施例はリニア直流モータ
を用いたリニアモータ駆動装置に関するものである。こ
のリニア直流モータは、一次側及び二次側から成り、こ
の例においては一次側を給電側にしてしかも固定側と
し、二次側を可動側としている。
を用いたリニアモータ駆動装置に関するものである。こ
のリニア直流モータは、一次側及び二次側から成り、こ
の例においては一次側を給電側にしてしかも固定側と
し、二次側を可動側としている。
【0020】先ず、これら一次側及び二次側の相互の案
内をなす案内手段から説明する。
内をなす案内手段から説明する。
【0021】図1乃至図3に示すように、この案内手段
は、一次側でなる全体として平板状にして長尺状に形成
されたベッド1と、二次側でなる前記ベッド1の長手方
向に沿って移動すべきテーブル2とを有する。図1及び
図3に示すように、ベッド1の上面には、平板状に形成
されて該ベッド1とほぼ同じ長さを有するコイルヨーク
3が配設されており、複数本のボルト(六角穴つき:図
3参照)5によって該ベッド1に締結されている。
は、一次側でなる全体として平板状にして長尺状に形成
されたベッド1と、二次側でなる前記ベッド1の長手方
向に沿って移動すべきテーブル2とを有する。図1及び
図3に示すように、ベッド1の上面には、平板状に形成
されて該ベッド1とほぼ同じ長さを有するコイルヨーク
3が配設されており、複数本のボルト(六角穴つき:図
3参照)5によって該ベッド1に締結されている。
【0022】前記コイルヨーク3の上面両側部には、2
本のレール状電極部7が該コイルヨーク3の長手方向に
沿って配設されて複数本の平子ねじ8(図3参照)によ
って該コイルヨーク3に締結されている。
本のレール状電極部7が該コイルヨーク3の長手方向に
沿って配設されて複数本の平子ねじ8(図3参照)によ
って該コイルヨーク3に締結されている。
【0023】なお、軌道並びに電極部を形成する2本の
レール状電極部7は、前記コイルヨーク3に対して、絶
縁体25を介して配設されており、このレール状電極部
7を締結する平子ねじ8も、例えばセラミックスで形成
するか又はねじ穴にセラミックスを埋め込む等の方法に
より、電気的な絶縁状態が確保されている。また、この
レール状電極部7は、絶縁体25を介して接着等により
固定されてもよい。そして、このレール状電極部7は、
一方が正極(+)、他方が負極(−)でなっている。
レール状電極部7は、前記コイルヨーク3に対して、絶
縁体25を介して配設されており、このレール状電極部
7を締結する平子ねじ8も、例えばセラミックスで形成
するか又はねじ穴にセラミックスを埋め込む等の方法に
より、電気的な絶縁状態が確保されている。また、この
レール状電極部7は、絶縁体25を介して接着等により
固定されてもよい。そして、このレール状電極部7は、
一方が正極(+)、他方が負極(−)でなっている。
【0024】なお、上記レール状電極部7の絶縁は、一
方のレール状電極部、例えば正極(+)側のみを絶縁し
てもよい。
方のレール状電極部、例えば正極(+)側のみを絶縁し
てもよい。
【0025】図4に示すように、前記レール状電極部7
の外側部には、軌道として、断面形状が略半円形の軌道
溝7aが1条形成されている。そして、図1及び図3か
ら明らかなように、該レール状電極部7の外側には該レ
ール状電極部7に対して相対運動自在な摺動台としての
スライダ10が配設されており、二次側となるテーブル
2の下側面に絶縁体26を介して例えば絶縁された2本
のボルト12によって締結されている。この実施例のス
ライダ10は、レール状電極部7に複数この場合二つず
つ配設され、テーブル2の下側面に二つずつで一対の計
4つが配設されている。
の外側部には、軌道として、断面形状が略半円形の軌道
溝7aが1条形成されている。そして、図1及び図3か
ら明らかなように、該レール状電極部7の外側には該レ
ール状電極部7に対して相対運動自在な摺動台としての
スライダ10が配設されており、二次側となるテーブル
2の下側面に絶縁体26を介して例えば絶縁された2本
のボルト12によって締結されている。この実施例のス
ライダ10は、レール状電極部7に複数この場合二つず
つ配設され、テーブル2の下側面に二つずつで一対の計
4つが配設されている。
【0026】なお、上記スライダ10は、全て、テーブ
ル2に対して電気的な絶縁状態が確保されているが、少
なくとも一方、例えば正極(+)側のみを絶縁してもよ
い。
ル2に対して電気的な絶縁状態が確保されているが、少
なくとも一方、例えば正極(+)側のみを絶縁してもよ
い。
【0027】前記スライダ10には転動体循環路(図示
せず)が形成されており、該転動体循環路内には転動体
としての複数のボール13が配列収納されている。これ
らのボール13は、レール状電極部7に対するスライダ
10の移動に伴ってレール状電極部7の軌道溝7a上を
転動しつつ循環してレール状電極部7とスライダ10と
の間で荷重を受ける。
せず)が形成されており、該転動体循環路内には転動体
としての複数のボール13が配列収納されている。これ
らのボール13は、レール状電極部7に対するスライダ
10の移動に伴ってレール状電極部7の軌道溝7a上を
転動しつつ循環してレール状電極部7とスライダ10と
の間で荷重を受ける。
【0028】図4に示すように、前記スライダ10は、
ケーシング14と、該ケーシング14の両端部にさら小
ねじ15により結合されたエンドキャップ16a,16
bと、該エンドキャップ16a,16bの外面に共締め
されたシール17a及び17bとを有している。前記転
動体循環路は、ケーシング14の長手方向にレール状電
極部7の軌道溝7aと対向して負荷軌道溝が形成され、
これら軌道溝でなる負荷軌道路と、前記ケーシング14
を直線的に貫き前記負荷軌道溝と平行に形成されたリタ
ーン路と、エンドキャップ16a,16bに形成されて
該負荷軌道路及びリターン路の両端部同士を連通させる
略円弧状の方向転換路とから成っている。よって、上記
案内手段は、一次側の長尺状のベッド1に対して長手方
向に沿って相対運動する二次側のテーブル2を転がり案
内する。
ケーシング14と、該ケーシング14の両端部にさら小
ねじ15により結合されたエンドキャップ16a,16
bと、該エンドキャップ16a,16bの外面に共締め
されたシール17a及び17bとを有している。前記転
動体循環路は、ケーシング14の長手方向にレール状電
極部7の軌道溝7aと対向して負荷軌道溝が形成され、
これら軌道溝でなる負荷軌道路と、前記ケーシング14
を直線的に貫き前記負荷軌道溝と平行に形成されたリタ
ーン路と、エンドキャップ16a,16bに形成されて
該負荷軌道路及びリターン路の両端部同士を連通させる
略円弧状の方向転換路とから成っている。よって、上記
案内手段は、一次側の長尺状のベッド1に対して長手方
向に沿って相対運動する二次側のテーブル2を転がり案
内する。
【0029】前記した構成の案内手段は、例えば工作機
械(図示せず)が装備する平坦な取付面に対して複数の
ボルト(図示せず)によって締結される。このため、図
3に示すようにベッド1は、該取付面に固定するための
平坦な取付底面1aを有している。図1乃至図3に示す
ように、ベッド1の両側部には、該ベッドを締結するた
めの前記ボルトの頭部及びねじ部が夫々挿通される座ぐ
り部1b及び挿通孔1cが形成されており、該ボルトは
これら座ぐり部1b、挿通孔1c内に埋没し、ベッド1
の上面に突出することはない。また、図1及び図2に示
すように、このベッド1に対して可動なテーブル2の上
面側には例えば4つのねじ孔2aが四隅に形成されてお
り、当該駆動装置が装備されるべき工作機械等の装置が
具備するテーブル(図示せず)が、これらのねじ孔2a
に螺合するボルト(図示せず)によって該テーブル2に
対して締結される。
械(図示せず)が装備する平坦な取付面に対して複数の
ボルト(図示せず)によって締結される。このため、図
3に示すようにベッド1は、該取付面に固定するための
平坦な取付底面1aを有している。図1乃至図3に示す
ように、ベッド1の両側部には、該ベッドを締結するた
めの前記ボルトの頭部及びねじ部が夫々挿通される座ぐ
り部1b及び挿通孔1cが形成されており、該ボルトは
これら座ぐり部1b、挿通孔1c内に埋没し、ベッド1
の上面に突出することはない。また、図1及び図2に示
すように、このベッド1に対して可動なテーブル2の上
面側には例えば4つのねじ孔2aが四隅に形成されてお
り、当該駆動装置が装備されるべき工作機械等の装置が
具備するテーブル(図示せず)が、これらのねじ孔2a
に螺合するボルト(図示せず)によって該テーブル2に
対して締結される。
【0030】続いて、前記した構成の案内手段と相互付
加されることによって駆動装置を構成するリニア直流モ
ータの一次側及び二次側について詳述する。
加されることによって駆動装置を構成するリニア直流モ
ータの一次側及び二次側について詳述する。
【0031】まず、一次側については、図1乃至図3並
びに図5に示すように、ベッド1上に搭載された前記コ
イルヨーク3と、該コイルヨーク3の上面側に該コイル
ヨーク3の長手方向に沿って配設されたコイル基板20
と、該コイル基板20の下面側、すなわちコイルヨーク
3側に、前記テーブル2が移動すべき方向に沿って一列
に並べて貼着され担持された例えば14個の電機子コイ
ル22と、前記各電機子コイル22に給電等を行うため
の回路基板30とを有している。なお、各電機子コイル
22は、略矩形環状に巻回されている。また、図3及び
図5に示すように、コイル基板20には、各電機子コイ
ル22に対応してホール効果素子43が設けられてい
る。
びに図5に示すように、ベッド1上に搭載された前記コ
イルヨーク3と、該コイルヨーク3の上面側に該コイル
ヨーク3の長手方向に沿って配設されたコイル基板20
と、該コイル基板20の下面側、すなわちコイルヨーク
3側に、前記テーブル2が移動すべき方向に沿って一列
に並べて貼着され担持された例えば14個の電機子コイ
ル22と、前記各電機子コイル22に給電等を行うため
の回路基板30とを有している。なお、各電機子コイル
22は、略矩形環状に巻回されている。また、図3及び
図5に示すように、コイル基板20には、各電機子コイ
ル22に対応してホール効果素子43が設けられてい
る。
【0032】前記各電機子コイル22及びコイル基板2
0は、各電機子コイル22の個々において例えば2本ず
つ挿通された締結部材としてのさら小ねじ24により、
該コイル基板20を外側にしてコイルヨーク3に共締め
されている。
0は、各電機子コイル22の個々において例えば2本ず
つ挿通された締結部材としてのさら小ねじ24により、
該コイル基板20を外側にしてコイルヨーク3に共締め
されている。
【0033】また、図1、図3及び図5に示すように、
回路基板30は、コイルヨーク3を上面側にしてベッド
1の下側面の凹部に該コイル基板20と平行に配設され
ており、複数のボルト(六角穴付き)5により該ベッド
1に締結されている。なお、これらのボルト5は、前記
コイルヨーク3のベッド1に対する締結をもなすもので
ある。
回路基板30は、コイルヨーク3を上面側にしてベッド
1の下側面の凹部に該コイル基板20と平行に配設され
ており、複数のボルト(六角穴付き)5により該ベッド
1に締結されている。なお、これらのボルト5は、前記
コイルヨーク3のベッド1に対する締結をもなすもので
ある。
【0034】図5に示すように、前記回路基板30は、
電子部品33,34等で構成された駆動回路を夫々設け
た複数の区割部35を連ねて成る。これらの区割部35
は、14個併設された各電機子コイル22の2つずつの
電機子コイルに対応して設けられ、その数はこの場合7
と成っている。
電子部品33,34等で構成された駆動回路を夫々設け
た複数の区割部35を連ねて成る。これらの区割部35
は、14個併設された各電機子コイル22の2つずつの
電機子コイルに対応して設けられ、その数はこの場合7
と成っている。
【0035】前記各区割部35に設けられた駆動回路
は、1つの電機子コイルに対して励磁電流を供給する回
路部分を1組、すなわち2つの電機子コイルに対応する
回路を含んでいる。
は、1つの電機子コイルに対して励磁電流を供給する回
路部分を1組、すなわち2つの電機子コイルに対応する
回路を含んでいる。
【0036】図3及び図5に示すように、ベッド1及び
コイルヨーク3を介して互いに離間して配置されたコイ
ル基板20及び回路基板30は、該両基板の相互対向面
側に設けられた複数、この場合7つずつの接続手段とし
ての雌雄両コネクタ63及び64により接続されてい
る。
コイルヨーク3を介して互いに離間して配置されたコイ
ル基板20及び回路基板30は、該両基板の相互対向面
側に設けられた複数、この場合7つずつの接続手段とし
ての雌雄両コネクタ63及び64により接続されてい
る。
【0037】一方、リニア直流モータの二次側に関して
は、図1及び図3に示すように、テーブル2の下面側に
固着されたマグネットヨーク68と、前記一次側の電機
子コイル22の各々と対向して該マグネットヨーク68
の下面に固設された界磁マグネット69とを有してい
る。図6に示すように界磁マグネット69は、全体とし
て矩形板状に形成され、一次側と二次側との相対移動の
方向A、すなわちベッド1の長手方向に沿ってN及びS
の磁極が複数、例えば5極が交互に並ぶように配設着磁
されている。
は、図1及び図3に示すように、テーブル2の下面側に
固着されたマグネットヨーク68と、前記一次側の電機
子コイル22の各々と対向して該マグネットヨーク68
の下面に固設された界磁マグネット69とを有してい
る。図6に示すように界磁マグネット69は、全体とし
て矩形板状に形成され、一次側と二次側との相対移動の
方向A、すなわちベッド1の長手方向に沿ってN及びS
の磁極が複数、例えば5極が交互に並ぶように配設着磁
されている。
【0038】さらに、当該駆動装置においては、前記一
次側と二次側との相対位置、すなわち前記ベッド1とテ
ーブル2との相対位置を検出するための位置検出手段と
して、次の構成のものが設けられている。
次側と二次側との相対位置、すなわち前記ベッド1とテ
ーブル2との相対位置を検出するための位置検出手段と
して、次の構成のものが設けられている。
【0039】該位置検出手段は、図1乃至図3に示す一
次側のベッド1に配設された被検知部としてのリニア磁
気スケール71と、該リニア磁気スケール71に対応し
て二次側のテーブル2に配設されたリニアスケールセン
サ部72と、位置検出された位置信号を伝達する信号伝
達手段としてワイヤレス送受信手段とから成っている。
次側のベッド1に配設された被検知部としてのリニア磁
気スケール71と、該リニア磁気スケール71に対応し
て二次側のテーブル2に配設されたリニアスケールセン
サ部72と、位置検出された位置信号を伝達する信号伝
達手段としてワイヤレス送受信手段とから成っている。
【0040】該リニア磁気スケール71は、ベッド1の
長手方向に沿って、N、Sの磁極が交互に微細ピッチで
多極着磁されると共に、一端に原点信号着磁部が形成さ
れている。そして、リニアスケールセンサ部72には、
原点検出用の磁気抵抗素子(MR素子:図示せず)が配
設されると共に、A相及びB相のホール効果素子からな
る2つの磁電変換素子(図示せず)が互いに前記ピッチ
に対して2分の1ずらせて配設されている。かかる構成
によりA相、B相の位置信号が得られ、相対位置の検知
と共に移動方向の判別が成される。
長手方向に沿って、N、Sの磁極が交互に微細ピッチで
多極着磁されると共に、一端に原点信号着磁部が形成さ
れている。そして、リニアスケールセンサ部72には、
原点検出用の磁気抵抗素子(MR素子:図示せず)が配
設されると共に、A相及びB相のホール効果素子からな
る2つの磁電変換素子(図示せず)が互いに前記ピッチ
に対して2分の1ずらせて配設されている。かかる構成
によりA相、B相の位置信号が得られ、相対位置の検知
と共に移動方向の判別が成される。
【0041】そして、前記リニアスケールセンサ部72
によって得られるA相及びB相からなる位置信号は、後
述するワイヤレス発信部及びワイヤレス受信部からなる
ワイヤレス送受信手段によって、一次側に配設された電
源電圧供給装置(図示せず)に伝達される。該電源電圧
供給装置は、二次側からの前記位置信号を受けて電機子
コイル22に所定の電流を供給する。この電流の供給に
より、一次側の電機子コイル22と二次側の界磁マグネ
ット69との両者間にフレミングの左手の法則に基づく
推力を発生させる。この時、例えば一次側のベッド1を
固定側とすれば、二次側のテーブル2がこの推力によっ
て移動する。さらに、移動したところのベッド1に対す
るテーブル2の位置が検知され、その位置信号がワイヤ
レス送受信手段により電源電圧供給装置にフィードバッ
クされるため、テーブル2の駆動方向及び停止位置が制
御される。
によって得られるA相及びB相からなる位置信号は、後
述するワイヤレス発信部及びワイヤレス受信部からなる
ワイヤレス送受信手段によって、一次側に配設された電
源電圧供給装置(図示せず)に伝達される。該電源電圧
供給装置は、二次側からの前記位置信号を受けて電機子
コイル22に所定の電流を供給する。この電流の供給に
より、一次側の電機子コイル22と二次側の界磁マグネ
ット69との両者間にフレミングの左手の法則に基づく
推力を発生させる。この時、例えば一次側のベッド1を
固定側とすれば、二次側のテーブル2がこの推力によっ
て移動する。さらに、移動したところのベッド1に対す
るテーブル2の位置が検知され、その位置信号がワイヤ
レス送受信手段により電源電圧供給装置にフィードバッ
クされるため、テーブル2の駆動方向及び停止位置が制
御される。
【0042】前記ワイヤレス送受信手段は、二次側のテ
ーブル2に配設されたワイヤレス発信部と、一次側のベ
ッド1に配設されたワイヤレス受信部とより構成されて
いる。まず、ワイヤレス発信部81は、図1及び図2に
示すように、テーブル2の移動方向の端面に形成された
矩形状の切欠部2bに嵌め込まれ接着材等で固着されて
いる。一方ワイヤレス受信部82は、ベッド1の長手方
向端部にあるストッパ部材11に形成された矩形状の切
欠部11aに嵌め込まれ接着材等で固着されている。
ーブル2に配設されたワイヤレス発信部と、一次側のベ
ッド1に配設されたワイヤレス受信部とより構成されて
いる。まず、ワイヤレス発信部81は、図1及び図2に
示すように、テーブル2の移動方向の端面に形成された
矩形状の切欠部2bに嵌め込まれ接着材等で固着されて
いる。一方ワイヤレス受信部82は、ベッド1の長手方
向端部にあるストッパ部材11に形成された矩形状の切
欠部11aに嵌め込まれ接着材等で固着されている。
【0043】前記ワイヤレス発信部81とワイヤレス受
信部82とは、一次側のベッド1に対して二次側のテー
ブル2がいずれの位置に移動しても、常に相互が対向す
る位置に配設されており、ワイヤレス信号による光通信
がなされ、ベッド1に対するテーブル2の位置信号をこ
の光通信によって二次側から一次側に伝送する。なお、
このワイヤレス発信部81とワイヤレス受信部82と
は、相互が対向する位置に配設されているが、ミラー等
を介して送信経路を変更して送受信するようにしてもよ
い。この場合には、ワイヤレス発信部81とワイヤレス
受信部82とが相互に対向する位置でなくともよい。
信部82とは、一次側のベッド1に対して二次側のテー
ブル2がいずれの位置に移動しても、常に相互が対向す
る位置に配設されており、ワイヤレス信号による光通信
がなされ、ベッド1に対するテーブル2の位置信号をこ
の光通信によって二次側から一次側に伝送する。なお、
このワイヤレス発信部81とワイヤレス受信部82と
は、相互が対向する位置に配設されているが、ミラー等
を介して送信経路を変更して送受信するようにしてもよ
い。この場合には、ワイヤレス発信部81とワイヤレス
受信部82とが相互に対向する位置でなくともよい。
【0044】図7は、リニアスケールセンサ部の構成を
示したものである。
示したものである。
【0045】図7に示すように、磁電変換素子(ホール
効果素子)43a及び43bから出力されたA相及びB
相の出力波形は、増幅回路101a及び101bに入力
される。この増幅回路101a及び101bには、A/
D変換回路102a及び102b、ラッチ回路103a
及び103b、マルチプレクサ(MPX)104が順次
接続され、このマルチプレクサ104の出力がCPU
(制御回路)105に入力される構成となっている。ま
た、CPU105にはメモリ(ROM)107及びメモ
リ(RAM)110並びに計数手段としてのアップダウ
ンカウンタ108、D/A変換回路109が接続されて
いる。
効果素子)43a及び43bから出力されたA相及びB
相の出力波形は、増幅回路101a及び101bに入力
される。この増幅回路101a及び101bには、A/
D変換回路102a及び102b、ラッチ回路103a
及び103b、マルチプレクサ(MPX)104が順次
接続され、このマルチプレクサ104の出力がCPU
(制御回路)105に入力される構成となっている。ま
た、CPU105にはメモリ(ROM)107及びメモ
リ(RAM)110並びに計数手段としてのアップダウ
ンカウンタ108、D/A変換回路109が接続されて
いる。
【0046】前記A/D変換回路102a及び102b
は、前段の増幅回路101a及び101bによりレベル
増幅されたアナログ波形を二値化データに変換してラッ
チ回路103a及び103bに夫々のデータを入力す
る。このラッチ回路103a及び103bは、前段のA
/D変換回路102a及び102bによって刻々変換さ
れるデータを同期処理するために該A/D変換回路10
2aと102bのデータをラッチしてホールドさせる。
このホールドされたデータはマルチプレクサ104に入
力される。このマルチプレクサ104は、ラッチ回路1
03a及び103bでラッチ処理されたデータを同時に
出力することができないので、時分割処理して別々にC
PU105に出力する。
は、前段の増幅回路101a及び101bによりレベル
増幅されたアナログ波形を二値化データに変換してラッ
チ回路103a及び103bに夫々のデータを入力す
る。このラッチ回路103a及び103bは、前段のA
/D変換回路102a及び102bによって刻々変換さ
れるデータを同期処理するために該A/D変換回路10
2aと102bのデータをラッチしてホールドさせる。
このホールドされたデータはマルチプレクサ104に入
力される。このマルチプレクサ104は、ラッチ回路1
03a及び103bでラッチ処理されたデータを同時に
出力することができないので、時分割処理して別々にC
PU105に出力する。
【0047】前記CPU105は、初期動作としてテー
ブル2が駆動されて基準位置に移動し磁気抵抗素子(M
R素子)が原点たる着磁部を検知することにより発する
信号に応じて、メモリ(RAM)110にメモリされた
スケール位置データをリセットし、そして、このリセッ
ト指令によりテーブル2が所望の位置に移動を開始して
磁電変換素子43a及び43bからは90度の位相の異
なるA相及びB相の連続波形が得られ、この異なるデー
タを比較することによってテーブル2の移動の方向と距
離を演算する。
ブル2が駆動されて基準位置に移動し磁気抵抗素子(M
R素子)が原点たる着磁部を検知することにより発する
信号に応じて、メモリ(RAM)110にメモリされた
スケール位置データをリセットし、そして、このリセッ
ト指令によりテーブル2が所望の位置に移動を開始して
磁電変換素子43a及び43bからは90度の位相の異
なるA相及びB相の連続波形が得られ、この異なるデー
タを比較することによってテーブル2の移動の方向と距
離を演算する。
【0048】該CPU105によって演算されたデータ
は、D/A変換回路109においてアナログ変換され、
図示せぬ光変調回路を介してワイヤレス発信部81に伝
達され、ワイヤレス発信部81よりワイヤレス信号とし
て光送信される。この光送信された変調光は、前記ワイ
ヤレス受信部82によって受信されて、ワイヤレス受信
部82においてアナログ信号に変換される。このアナロ
グ信号は、図示せぬデコード回路を介して位置信号に復
調され、前記電機子コイル22に駆動電流を供給する電
源電圧供給装置(図示せず)に与えられる。
は、D/A変換回路109においてアナログ変換され、
図示せぬ光変調回路を介してワイヤレス発信部81に伝
達され、ワイヤレス発信部81よりワイヤレス信号とし
て光送信される。この光送信された変調光は、前記ワイ
ヤレス受信部82によって受信されて、ワイヤレス受信
部82においてアナログ信号に変換される。このアナロ
グ信号は、図示せぬデコード回路を介して位置信号に復
調され、前記電機子コイル22に駆動電流を供給する電
源電圧供給装置(図示せず)に与えられる。
【0049】ここで、図1乃至図4における一対のレー
ル状電極部7には、電源電圧供給装置からリニアスケー
ルセンサ部72などへの動作電源が供給される。例え
ば、絶縁体25を介してコイルヨーク3に対して絶縁さ
れて取付けられた一方のレール状電極部7に正極電源が
供給され、また他方のレール状電極部7に負極電源が供
給される。
ル状電極部7には、電源電圧供給装置からリニアスケー
ルセンサ部72などへの動作電源が供給される。例え
ば、絶縁体25を介してコイルヨーク3に対して絶縁さ
れて取付けられた一方のレール状電極部7に正極電源が
供給され、また他方のレール状電極部7に負極電源が供
給される。
【0050】この供給された動作電源は、二次側を構成
するスライダ10に形成された前記転動体循環路(図示
せず)に収納されている転動体としての複数のボール1
3を通して前記一方のスライダ10に正極電源が供給さ
れ、また前記他方のスライダ10に負極電源が供給され
る。該スライダ10は、図3に示すように夫々絶縁体2
6で絶縁されているが、テーブル2に対して少なくとも
一方が絶縁体26を介して絶縁されて取付けられていれ
ばよい。したがって、スライダ10に供給された動作電
源が前記リニアスケールセンサ部などへ取り込まれるこ
とに成る。
するスライダ10に形成された前記転動体循環路(図示
せず)に収納されている転動体としての複数のボール1
3を通して前記一方のスライダ10に正極電源が供給さ
れ、また前記他方のスライダ10に負極電源が供給され
る。該スライダ10は、図3に示すように夫々絶縁体2
6で絶縁されているが、テーブル2に対して少なくとも
一方が絶縁体26を介して絶縁されて取付けられていれ
ばよい。したがって、スライダ10に供給された動作電
源が前記リニアスケールセンサ部などへ取り込まれるこ
とに成る。
【0051】図8は、一対のスライダ10に供給された
正極電源及び負極電源から二次側における接続構成を示
したものである。
正極電源及び負極電源から二次側における接続構成を示
したものである。
【0052】この一対のスライダ10間には、スパイク
ノイズ防止手段としての充電が可能な蓄電池又はニッケ
ル−カドミウム電池等の電池91が接続されており、ま
た該電池91と並列にコンデンサ92が接続されてい
る。そして、前記したリニアスケールセンサ部72及び
ワイヤレス発信部81に対して変調信号を供給する光変
調回路94が接続されている。すなわち、これらリニア
スケールセンサ部72及び光変調回路94は一対のスラ
イダ10から動作電源を得ている。
ノイズ防止手段としての充電が可能な蓄電池又はニッケ
ル−カドミウム電池等の電池91が接続されており、ま
た該電池91と並列にコンデンサ92が接続されてい
る。そして、前記したリニアスケールセンサ部72及び
ワイヤレス発信部81に対して変調信号を供給する光変
調回路94が接続されている。すなわち、これらリニア
スケールセンサ部72及び光変調回路94は一対のスラ
イダ10から動作電源を得ている。
【0053】ところで、前記一対のスライダ10の動作
電源は、該スライダ10が複数のボール13を介して一
次側のレール状電極部7と導通接触して循環しているた
め、高レベルのスパイクノイズが混入する。そこで、前
記電池91がこのような高レベルのスパイクノイズを除
去すると共に瞬時的な電源遮断に対して電源補償を行う
ために接続されている。なお、この電池91は、通常の
動作時において一対のスライダ10より電源を受け充電
がなされるので、例えば蓄電池又はニッケル−カドミウ
ム電池を用いることが望ましい。
電源は、該スライダ10が複数のボール13を介して一
次側のレール状電極部7と導通接触して循環しているた
め、高レベルのスパイクノイズが混入する。そこで、前
記電池91がこのような高レベルのスパイクノイズを除
去すると共に瞬時的な電源遮断に対して電源補償を行う
ために接続されている。なお、この電池91は、通常の
動作時において一対のスライダ10より電源を受け充電
がなされるので、例えば蓄電池又はニッケル−カドミウ
ム電池を用いることが望ましい。
【0054】さらに、図8に示すように電池91と並列
にコンデンサ92を接続することで、前記スパイクノイ
ズの除去効果をさらに増大させることができる。
にコンデンサ92を接続することで、前記スパイクノイ
ズの除去効果をさらに増大させることができる。
【0055】
【実施例】前記実施例では、電池91とコンデンサ92
でスパイクノイズの除去をするようにしているが、コン
デンサ92のみでスパイクノイズの除去を行うようにし
てもよい。
でスパイクノイズの除去をするようにしているが、コン
デンサ92のみでスパイクノイズの除去を行うようにし
てもよい。
【0056】なお、前記実施例では、リニア磁気スケー
ルを用いるようにしているが、光信号を用いて位置信号
の検出を行うリニアスケールやその他光以外の方法によ
り位置検出を行うリニアスケールにも適用することがで
きる。
ルを用いるようにしているが、光信号を用いて位置信号
の検出を行うリニアスケールやその他光以外の方法によ
り位置検出を行うリニアスケールにも適用することがで
きる。
【0057】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
係るリニアモータ駆動装置は、一次側を構成する長尺状
のベッド上に配設された一対のレール状電極部に動作電
源が供給され、このレール状電極部に転動する転動体を
通じて該転動体を保持する一対のスライダから二次側に
動作電源が供給される。そして、二次側に配設されたリ
ニアスケールセンサ部が前記動作電源を受けて作動し、
リニアスケールからの信号を受けて一次側に対する二次
側の相対位置を演算する。さらに、リニアスケールセン
サ部より得られる位置信号がワイヤレス発信部によって
ワイヤレス信号で一次側に伝達される構成に成ってい
る。したがって、この構成により二次側と一次側を結ぶ
信号伝達用のケーブルを除去することが可能となって、
信号伝達用のケーブルを備える従来の装置に比較して、
該ケーブルの機械的なストレスに基づく断線等の故障及
び塵埃の発生要因をなくすることができ、信頼性の高い
リニアモータ駆動装置を提供することができる。また、
装置の小形化を図ることができる。また、本発明に係る
リニアモータ駆動装置は、一対のスライダ間に例えば蓄
電池又はニッケル−カドミウム電池を接続し、場合によ
っては更にコンデンサを並列接続して構成されているの
で、ボールの転動によって生ずるスパイクノイズを効果
的に抑制し、リニアスケールセンサ部或いは光変調回路
の誤動作の発生を防止することができる。
係るリニアモータ駆動装置は、一次側を構成する長尺状
のベッド上に配設された一対のレール状電極部に動作電
源が供給され、このレール状電極部に転動する転動体を
通じて該転動体を保持する一対のスライダから二次側に
動作電源が供給される。そして、二次側に配設されたリ
ニアスケールセンサ部が前記動作電源を受けて作動し、
リニアスケールからの信号を受けて一次側に対する二次
側の相対位置を演算する。さらに、リニアスケールセン
サ部より得られる位置信号がワイヤレス発信部によって
ワイヤレス信号で一次側に伝達される構成に成ってい
る。したがって、この構成により二次側と一次側を結ぶ
信号伝達用のケーブルを除去することが可能となって、
信号伝達用のケーブルを備える従来の装置に比較して、
該ケーブルの機械的なストレスに基づく断線等の故障及
び塵埃の発生要因をなくすることができ、信頼性の高い
リニアモータ駆動装置を提供することができる。また、
装置の小形化を図ることができる。また、本発明に係る
リニアモータ駆動装置は、一対のスライダ間に例えば蓄
電池又はニッケル−カドミウム電池を接続し、場合によ
っては更にコンデンサを並列接続して構成されているの
で、ボールの転動によって生ずるスパイクノイズを効果
的に抑制し、リニアスケールセンサ部或いは光変調回路
の誤動作の発生を防止することができる。
【図1】図1は、本発明に係るリニアモータ駆動装置の
実施例を一部破断して示した斜視図である。
実施例を一部破断して示した斜視図である。
【図2】図2は、図1に示したリニアモータ駆動装置の
平面図である。
平面図である。
【図3】図3は、図2におけるB−B線を矢印方向に見
た断面図である。
た断面図である。
【図4】図4は、図1乃至図3に示したリニアモータ駆
動装置が具備するレール状電極部及びスライダ部分の一
部を破断して示した斜視図である。
動装置が具備するレール状電極部及びスライダ部分の一
部を破断して示した斜視図である。
【図5】図5は、本発明に係るリニアモータ駆動装置の
一実施例を示した回路ブロック図である。
一実施例を示した回路ブロック図である。
【図6】図6は、二次側の構成部材である界磁マグネッ
トの斜視図である。
トの斜視図である。
【図7】図7は、図1に示したリニアモータ駆動装置に
用いられる位置検出手段としてのリニアスケールセンサ
部の回路構成を示したブロック図である。
用いられる位置検出手段としてのリニアスケールセンサ
部の回路構成を示したブロック図である。
【図8】図8は、図1に示したリニアモータ駆動装置の
二次側の給電系統を示したブロック図である。
二次側の給電系統を示したブロック図である。
1 ベッド 2 テーブル 3 コイルヨーク 7 レール状電極部 10 スライダ 13 ボール(転動体) 20 コイル基板 22 電機子コイル 30 回路基板 43 磁電変換素子(ホール効果素子) 54 基本基板K(回路基板用) 59 基本基板C(コイル基板用) 68 マグネットヨーク 69 界磁マグネット 71 リニアスケール 72 リニアスケールセンサ部 81 ワイヤレス発信部 82 ワイヤレス受信部 91 電池 92 コンデンサ
Claims (7)
- 【請求項1】 一次側及び二次側より成り、該一次側と
二次側とが案内手段により互いに相対運動を成すリニア
モータ駆動装置であって、 前記一次側には、長尺状に形成されたベッドと、 前記ベッド上に長手方向に沿って連続して配設された電
機子コイル群と、 前記ベッド上に長手方向に沿って配設されたリニアスケ
ールと、 前記ベッド上に長手方向に沿って少なくとも一方が絶縁
されて配設された一対のレール状電極部と、 前記ベッド上の長手方向の一端部に配設され二次側の位
置信号を受信するワイヤレス受信部とが具備され、 前記二次側には、一次側に対して移動可能な可動テーブ
ルと、 前記可動テーブルに取付けられ、一次側の電機子コイル
群に対向して移動方向に沿って順次異極となって配設さ
れた界磁マグネットと、 前記可動テーブルの移動に伴い一次側の一対のレール状
電極部を転動する転動体と、 前記転動体を保持し前記可動テーブルに少なくとも一方
が絶縁されて配設されたスライダと、 前記スライダからの動作電源を受け、一次側のリニアス
ケールに対向して一次側に対する相対位置を検出するリ
ニアスケールセンサ部と、 前記リニアスケールセンサ部からの位置信号をワイヤレ
ス信号として発信するワイヤレス発信部とを備えたこと
を特徴とするリニアモータ駆動装置。 - 【請求項2】 一次側及び二次側より成り、該一次側と
二次側とが案内手段により互いに相対運動を成すリニア
モータ駆動装置であって、 前記一次側には、長尺状に形成されたベッドと、 前記ベッド上に長手方向に沿って連続して配設された電
機子コイル群と、 前記ベッド上に長手方向に沿って配設されたリニアスケ
ールと、 前記ベッド上に長手方向に沿って少なくとも一方が絶縁
されて配設された一対のレール状電極部と、 前記ベッド上の長手方向の一端部に配設され二次側の位
置信号を受信するワイヤレス受信部とが具備され、 前記二次側には、一次側に対して移動可能な可動テーブ
ルと、 前記可動テーブルに取付けられ、一次側の電機子コイル
群に対向して移動方向に沿って順次異極となって配設さ
れた界磁マグネットと、 前記可動テーブルの移動に伴い一次側の一対のレール状
電極部を転動する転動体と、 前記転動体を保持し前記可動テーブルに少なくとも一方
が絶縁されて配設されたスライダと、 前記スライダからの動作電源を受け、一次側のリニアス
ケールに対向して一次側に対する相対位置を検出するリ
ニアスケールセンサ部と、 前記リニアスケールセンサ部からの位置信号をワイヤレ
ス信号として発信するワイヤレス発信部とを備え、 前記二次側における一対のスライダ間には、スパイクノ
イズの発生を防止するためのスパイクノイズ防止手段が
設けられていることを特徴とするリニアモータ駆動装
置。 - 【請求項3】 前記ワイヤレス発信部とワイヤレス受信
部とで構成されるワイヤレス送受信は、光通信であるこ
とを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のリニアモ
ータ駆動装置。 - 【請求項4】 前記スパイクノイズ防止手段は、コンデ
ンサであることを特徴とする請求項2に記載のリニアモ
ータ駆動装置。 - 【請求項5】 前記スパイクノイズ防止手段は、電池で
あることを特徴とする請求項2に記載のリニアモータ駆
動装置。 - 【請求項6】 前記電池は、充電が可能な蓄電池又はニ
ッケル−カドミウム電池であることを特徴とする請求項
5に記載のリニアモータ駆動装置。 - 【請求項7】 前記スパイクノイズ防止手段は、前記電
池とコンデンサとを並列に接続したことを特徴とする請
求項2に記載のリニアモータ駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8093076A JPH09261943A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | リニアモータ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8093076A JPH09261943A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | リニアモータ駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09261943A true JPH09261943A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=14072430
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8093076A Pending JPH09261943A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | リニアモータ駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09261943A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008535449A (ja) * | 2005-03-23 | 2008-08-28 | ボッシュ レックスロート アクチエンゲゼルシャフト | リニアモータ、およびリニアモータの駆動方法 |
JP2009187238A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Murata Mach Ltd | 移動体システム |
JP2009187239A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Murata Mach Ltd | 移動体システム |
DE102009059323A1 (de) | 2008-12-25 | 2010-07-01 | Thk Co., Ltd. | Linearmotor |
EP2234252A1 (en) * | 2008-01-11 | 2010-09-29 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Linear motor, part mounting apparatus, and part inspecting apparatus |
WO2011043152A1 (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-14 | Thk株式会社 | リニアモータアクチュエータ |
JP2011517766A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-06-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多次元位置センサ |
CN106961199A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-07-18 | 海安县申菱电器制造有限公司 | 一种电梯用直线电机的驱动机构 |
TWI618668B (zh) * | 2017-03-01 | 2018-03-21 | 台達電子工業股份有限公司 | 動磁式移載平台 |
-
1996
- 1996-03-22 JP JP8093076A patent/JPH09261943A/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008535449A (ja) * | 2005-03-23 | 2008-08-28 | ボッシュ レックスロート アクチエンゲゼルシャフト | リニアモータ、およびリニアモータの駆動方法 |
JP2011517766A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-06-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多次元位置センサ |
EP2234252A1 (en) * | 2008-01-11 | 2010-09-29 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Linear motor, part mounting apparatus, and part inspecting apparatus |
EP2234252A4 (en) * | 2008-01-11 | 2011-04-06 | Yamaha Motor Co Ltd | LINEAR MOTOR, MOUNTING APPARATUS AND PARTS INSPECTION APPARATUS |
US8368259B2 (en) | 2008-01-11 | 2013-02-05 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Linear motor component mounting apparatus and component inspecting apparatus |
JP2009187239A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Murata Mach Ltd | 移動体システム |
KR101301167B1 (ko) * | 2008-02-06 | 2013-09-03 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 이동체 시스템 |
JP2009187238A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Murata Mach Ltd | 移動体システム |
US8217538B2 (en) | 2008-12-25 | 2012-07-10 | Thk Co., Ltd. | Linear motor having a slidable element |
DE102009059323A1 (de) | 2008-12-25 | 2010-07-01 | Thk Co., Ltd. | Linearmotor |
WO2011043152A1 (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-14 | Thk株式会社 | リニアモータアクチュエータ |
CN102549896A (zh) * | 2009-10-07 | 2012-07-04 | Thk株式会社 | 直线电机操动机构 |
JP2011083113A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | Thk Co Ltd | リニアモータアクチュエータ |
TWI618668B (zh) * | 2017-03-01 | 2018-03-21 | 台達電子工業股份有限公司 | 動磁式移載平台 |
CN106961199A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-07-18 | 海安县申菱电器制造有限公司 | 一种电梯用直线电机的驱动机构 |
WO2018209695A1 (zh) * | 2017-05-16 | 2018-11-22 | 海安县申菱电器制造有限公司 | 一种电梯用直线电机的驱动机构 |
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