JPH0925912A - シリンダの作動速度検出センサ - Google Patents
シリンダの作動速度検出センサInfo
- Publication number
- JPH0925912A JPH0925912A JP19701995A JP19701995A JPH0925912A JP H0925912 A JPH0925912 A JP H0925912A JP 19701995 A JP19701995 A JP 19701995A JP 19701995 A JP19701995 A JP 19701995A JP H0925912 A JPH0925912 A JP H0925912A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- coil
- operating speed
- magnet
- detection sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シリンダの作動速度を、高い精度で検出でき
るようにする。 【構成】 ヘッドカバー７に、シリンダ筒２内をロッド
長方向に向けて突出するコイル９を設ける一方、ピスト
ンロッド５に、コイル外周に対向する永久磁石１３を設
け、油圧シリンダ１の伸縮作動に伴う永久磁石のコイル
に対する相対移動でコイルに発生する誘導起電力を測定
することにより、シリンダの作動速度を検出するように
構成した。
るようにする。 【構成】 ヘッドカバー７に、シリンダ筒２内をロッド
長方向に向けて突出するコイル９を設ける一方、ピスト
ンロッド５に、コイル外周に対向する永久磁石１３を設
け、油圧シリンダ１の伸縮作動に伴う永久磁石のコイル
に対する相対移動でコイルに発生する誘導起電力を測定
することにより、シリンダの作動速度を検出するように
構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば建設機械に設け
られる油圧シリンダ等のシリンダの作動速度検出センサ
に関するものである。
られる油圧シリンダ等のシリンダの作動速度検出センサ
に関するものである。
【０００２】
【従来技術及び発明が解決しようとする課題】一般に、
例えば建設機械に設けられる油圧シリンダ等において
は、該油圧シリンダへの適正な油圧供給制御を行うた
め、油圧シリンダの伸縮作動速度を検出し、これを油圧
ポンプの流量制御装置等にフィードバックするように構
成したものがある。
例えば建設機械に設けられる油圧シリンダ等において
は、該油圧シリンダへの適正な油圧供給制御を行うた
め、油圧シリンダの伸縮作動速度を検出し、これを油圧
ポンプの流量制御装置等にフィードバックするように構
成したものがある。
【０００３】そして、この様な油圧シリンダの作動速度
を検出する手段としては、油圧シリンダの変位量を検出
する変位センサを設け、該変位量を微分して速度を求め
る手段、あるいは油圧シリンダの直線運動を回転運動に
変換し、この回転運動をタコジェネレータ等の発電機に
連動連結し、該発電機で発生する電力を測定することに
より速度を検出する手段等が知られている。
を検出する手段としては、油圧シリンダの変位量を検出
する変位センサを設け、該変位量を微分して速度を求め
る手段、あるいは油圧シリンダの直線運動を回転運動に
変換し、この回転運動をタコジェネレータ等の発電機に
連動連結し、該発電機で発生する電力を測定することに
より速度を検出する手段等が知られている。
【０００４】しかるに、前者のものは、精度の高い速度
検出をするにはデータ抽出のサンプリング間隔を短かく
すれば良いが、この様にした場合や油圧シリンダが低速
作動している時には、変位データの絶対値が小さくなる
ため、検出された変位データに含まれる微小ノイズが、
変位データを微分処理して得られる速度演算値に大きく
影響を与えることになって、演算された検出速度の精度
が悪くなってしまう等の問題がある。
検出をするにはデータ抽出のサンプリング間隔を短かく
すれば良いが、この様にした場合や油圧シリンダが低速
作動している時には、変位データの絶対値が小さくなる
ため、検出された変位データに含まれる微小ノイズが、
変位データを微分処理して得られる速度演算値に大きく
影響を与えることになって、演算された検出速度の精度
が悪くなってしまう等の問題がある。
【０００５】一方、後者のものは、油圧シリンダの外部
に取り付けられるものの部品点数が多く、これら外付け
部品を外部環境から保護するため、さらにカバー等の保
護装置が必要となって、一段と部品点数が多くなるとい
う問題があり、しかも前者同様、油圧シリンダの低速作
動時には、出力電力が小さいためノイズの影響を受けや
すいという問題もある。
に取り付けられるものの部品点数が多く、これら外付け
部品を外部環境から保護するため、さらにカバー等の保
護装置が必要となって、一段と部品点数が多くなるとい
う問題があり、しかも前者同様、油圧シリンダの低速作
動時には、出力電力が小さいためノイズの影響を受けや
すいという問題もある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の如き実
情に鑑み、これらの課題を解決することができるシリン
ダの作動速度検出センサを提供することを目的として創
案されたものであって、シリンダ筒と、該シリンダ筒に
摺動自在に内嵌するピストンおよび該ピストンが固着さ
れるピストンロッドからなる可動側部材とを備えて伸縮
自在に構成されるシリンダにおいて、前記シリンダ筒に
設けられるヘッドカバーからロッド長方向に向けて突設
される導電性部材からなるコイルと、可動側部材に前記
コイルが遊嵌状に挿入するよう穿設される筒孔と、前記
コイル外周に対向するよう可動側部材に一体的に設けら
れ、コイルに対向する内周面側がＮ、Ｓいずれか一方の
極で、外周面側が他方の極に設定される磁石と、前記磁
石の移動に基づきコイルに発生する誘導起電力の大きさ
を検出する検出手段とを備えて構成されることを特徴と
するものである。そして本発明は、この構成によって、
シリンダの作動速度を、構造簡単なものでありながら、
精度高く検出できるようにしたものである。
情に鑑み、これらの課題を解決することができるシリン
ダの作動速度検出センサを提供することを目的として創
案されたものであって、シリンダ筒と、該シリンダ筒に
摺動自在に内嵌するピストンおよび該ピストンが固着さ
れるピストンロッドからなる可動側部材とを備えて伸縮
自在に構成されるシリンダにおいて、前記シリンダ筒に
設けられるヘッドカバーからロッド長方向に向けて突設
される導電性部材からなるコイルと、可動側部材に前記
コイルが遊嵌状に挿入するよう穿設される筒孔と、前記
コイル外周に対向するよう可動側部材に一体的に設けら
れ、コイルに対向する内周面側がＮ、Ｓいずれか一方の
極で、外周面側が他方の極に設定される磁石と、前記磁
石の移動に基づきコイルに発生する誘導起電力の大きさ
を検出する検出手段とを備えて構成されることを特徴と
するものである。そして本発明は、この構成によって、
シリンダの作動速度を、構造簡単なものでありながら、
精度高く検出できるようにしたものである。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図面において、１は油圧シリンダであって、該
油圧シリンダ１は、円筒状のシリンダ筒２、該シリンダ
筒２内に軸方向摺動自在に内嵌されるピストン３、該ピ
ストン３に基端部側がナット４を介して固着され、先端
部側がシリンダ筒２から突出するピストンロッド５、シ
リンダ筒２のピストンロッド５突出側端部を塞ぐロッド
カバー６、該ロッドカバー６側とは反対側のシリンダ筒
２端部を塞ぐヘッドカバー７等の部材から構成されてお
り、そして、ロッドカバー６に形成される縮小側ポート
６ａ、またはヘッドカバー７に形成される伸長側ポート
７ａからシリンダ筒２内に圧油が供給されることで油圧
シリンダ１が伸縮作動すること等の基本的構成は従来通
りである。尚、図中、８、８ａはクッションリングであ
る。
明する。図面において、１は油圧シリンダであって、該
油圧シリンダ１は、円筒状のシリンダ筒２、該シリンダ
筒２内に軸方向摺動自在に内嵌されるピストン３、該ピ
ストン３に基端部側がナット４を介して固着され、先端
部側がシリンダ筒２から突出するピストンロッド５、シ
リンダ筒２のピストンロッド５突出側端部を塞ぐロッド
カバー６、該ロッドカバー６側とは反対側のシリンダ筒
２端部を塞ぐヘッドカバー７等の部材から構成されてお
り、そして、ロッドカバー６に形成される縮小側ポート
６ａ、またはヘッドカバー７に形成される伸長側ポート
７ａからシリンダ筒２内に圧油が供給されることで油圧
シリンダ１が伸縮作動すること等の基本的構成は従来通
りである。尚、図中、８、８ａはクッションリングであ
る。
【０００８】９は本発明の速度検出センサを構成するコ
イルであって、導電性部材からなるものであるが、該コ
イル９は、例えば樹脂、セラミックス等の非磁性絶縁物
質１０によって円筒形状に固化されている。さらにこの
非磁性絶縁物質１０の基端部には、外周面部に螺子溝１
１ａが刻設された螺子部材１１が一体的に設けられてい
るが、該螺子部材１１を、ヘッドカバー７の中心部に穿
設された螺子孔７ｂに螺入せしめることにより、前記非
磁性絶縁物質１０によって固化されたコイル９が、シリ
ンダ筒２内を軸方向（ピストンロッド５の長さ方向）に
向けて突出する状態でヘッドカバー７に一体的に取り付
けられるように構成されている。
イルであって、導電性部材からなるものであるが、該コ
イル９は、例えば樹脂、セラミックス等の非磁性絶縁物
質１０によって円筒形状に固化されている。さらにこの
非磁性絶縁物質１０の基端部には、外周面部に螺子溝１
１ａが刻設された螺子部材１１が一体的に設けられてい
るが、該螺子部材１１を、ヘッドカバー７の中心部に穿
設された螺子孔７ｂに螺入せしめることにより、前記非
磁性絶縁物質１０によって固化されたコイル９が、シリ
ンダ筒２内を軸方向（ピストンロッド５の長さ方向）に
向けて突出する状態でヘッドカバー７に一体的に取り付
けられるように構成されている。
【０００９】さらに、前記非磁性絶縁物質１０の筒内部
には、円筒状の補助磁石１２が内装されている。この補
助磁石１２は、本実施例において、外周面側がＮ極で、
内周面側がＳ極に設定されている。勿論、Ｎ、Ｓ極を逆
に設定してもよく、この場合には、後述する永久磁石１
３の極も逆になることはいうまでもない。
には、円筒状の補助磁石１２が内装されている。この補
助磁石１２は、本実施例において、外周面側がＮ極で、
内周面側がＳ極に設定されている。勿論、Ｎ、Ｓ極を逆
に設定してもよく、この場合には、後述する永久磁石１
３の極も逆になることはいうまでもない。
【００１０】一方、ピストンロッド５の軸中心部には、
前記コイル９が遊嵌状に挿入する筒孔５ａが穿設されて
いる。また、この筒孔５ａのヘッドカバー７側端部に
は、内周面部が非磁性絶縁物質１０の外周面に僅かな間
隙を存して対向する円筒状の永久磁石１３が、非磁性絶
縁性を有した接着剤等によって止着されているが、該永
久磁石１３は、コイル９に対向する内周面側がＳ極で、
外周面側がＮ極に設定されている。尚、前記非磁性絶縁
性物質１０によって固化されたコイル９は、筒孔５ａや
永久磁石１３とのあいだに生じる摺動抵抗、およびシリ
ンダ筒２内に流入出する圧油の流体力に耐え得る強度を
有するものであることは言うまでもない。
前記コイル９が遊嵌状に挿入する筒孔５ａが穿設されて
いる。また、この筒孔５ａのヘッドカバー７側端部に
は、内周面部が非磁性絶縁物質１０の外周面に僅かな間
隙を存して対向する円筒状の永久磁石１３が、非磁性絶
縁性を有した接着剤等によって止着されているが、該永
久磁石１３は、コイル９に対向する内周面側がＳ極で、
外周面側がＮ極に設定されている。尚、前記非磁性絶縁
性物質１０によって固化されたコイル９は、筒孔５ａや
永久磁石１３とのあいだに生じる摺動抵抗、およびシリ
ンダ筒２内に流入出する圧油の流体力に耐え得る強度を
有するものであることは言うまでもない。
【００１１】さらに、１４は前記コイル９の両端部に接
続されるリード線であって、該リード線１４は、非磁性
絶縁物質１０のヘッドカバー７側端部から引出されて、
ヘッドカバー７に形成される凹部７ｃに収納された増幅
器１５に接続されている。この増幅器１４は、同じく凹
部７ｃに収納されるコネクタ１６を介して、油圧シリン
ダ１外部の電圧計１７に接続されている。
続されるリード線であって、該リード線１４は、非磁性
絶縁物質１０のヘッドカバー７側端部から引出されて、
ヘッドカバー７に形成される凹部７ｃに収納された増幅
器１５に接続されている。この増幅器１４は、同じく凹
部７ｃに収納されるコネクタ１６を介して、油圧シリン
ダ１外部の電圧計１７に接続されている。
【００１２】叙述の如く構成された本発明の実施例にお
いて、油圧シリンダ１は、ポート６ａまたはポート７ａ
に圧油が供給されることにより伸縮作動を行うことにな
るが、該伸縮作動に伴って、ヘッドカバー７からシリン
ダ筒２内を軸方向に突出するコイル９に対し、該コイル
９に僅かな間隙を存して対向する状態でピストンロッド
５の筒孔５ａに止着された円筒状の永久磁石１３が軸方
向に進退移動することになり、これに伴ってコイル９に
は誘導電流が流れる。そして、該コイル９に発生した誘
導起電力は、増幅器１５によって増幅された後、電圧計
１７によって測定されることになるが、このとき得られ
る誘導起電力ｅは、永久磁石１３の移動速度、つまりピ
ストンロッド５の移動速度Ｖに比例する（ｅ∝Ｖ）た
め、前記誘導起電力の大きさを測定することにより、ピ
ストンロッド５の移動速度を検出できることになる。
いて、油圧シリンダ１は、ポート６ａまたはポート７ａ
に圧油が供給されることにより伸縮作動を行うことにな
るが、該伸縮作動に伴って、ヘッドカバー７からシリン
ダ筒２内を軸方向に突出するコイル９に対し、該コイル
９に僅かな間隙を存して対向する状態でピストンロッド
５の筒孔５ａに止着された円筒状の永久磁石１３が軸方
向に進退移動することになり、これに伴ってコイル９に
は誘導電流が流れる。そして、該コイル９に発生した誘
導起電力は、増幅器１５によって増幅された後、電圧計
１７によって測定されることになるが、このとき得られ
る誘導起電力ｅは、永久磁石１３の移動速度、つまりピ
ストンロッド５の移動速度Ｖに比例する（ｅ∝Ｖ）た
め、前記誘導起電力の大きさを測定することにより、ピ
ストンロッド５の移動速度を検出できることになる。
【００１３】この様に、本発明が実施されたものにおい
ては、コイル９に発生する誘導起電力の大きさの測定に
より直接的にピストンロッド５の移動速度を検出できる
ことになって、従来のように、油圧シリンダの変位量を
微分して速度を求めたり、油圧シリンダの直線運動を回
転運動に変換したものについて発生した電力を測定する
ことで速度を求めたりするものに比して、ノイズの影響
が小さいうえ、高い感度と高い動特性を得られることに
なる。
ては、コイル９に発生する誘導起電力の大きさの測定に
より直接的にピストンロッド５の移動速度を検出できる
ことになって、従来のように、油圧シリンダの変位量を
微分して速度を求めたり、油圧シリンダの直線運動を回
転運動に変換したものについて発生した電力を測定する
ことで速度を求めたりするものに比して、ノイズの影響
が小さいうえ、高い感度と高い動特性を得られることに
なる。
【００１４】そのうえこのものでは、永久磁石１３が筒
状で、Ｎ極が外周側、Ｓ極が内周側に分極されるものに
設定されているため、永久磁石１３が移動することに伴
いコイル９に発生する誘導起電力は、永久磁石１３の移
動前方側（磁束が増加変化する側）と移動後方側（磁束
が減少変化する側）とで発生する同じ電流方向のものが
合算されたものとなって、同一方向に巻装された汎用性
のあるコイル９を用いながら、検出精度の向上に寄与で
きる。
状で、Ｎ極が外周側、Ｓ極が内周側に分極されるものに
設定されているため、永久磁石１３が移動することに伴
いコイル９に発生する誘導起電力は、永久磁石１３の移
動前方側（磁束が増加変化する側）と移動後方側（磁束
が減少変化する側）とで発生する同じ電流方向のものが
合算されたものとなって、同一方向に巻装された汎用性
のあるコイル９を用いながら、検出精度の向上に寄与で
きる。
【００１５】しかもこのものにおいて、コイル９、補助
磁石１２、永久磁石１３、増幅器１５、コネクタ１６等
の速度検出センサを構成する各部材は、油圧シリンダ１
の内部に収納されることになるため、油圧シリンダ１の
外部に取り付けられる外付け部品を保護するための保護
装置が不要であって、構造の簡略化、部品点数の減少に
貢献できる。そのうえ、発生した誘導起電力は、ヘッド
カバー７に形成の凹部７ｃに設けられた増幅器１５によ
って増幅されたものが出力されるため、誘導起電力をそ
のまま微弱電圧として出力するもののように、拾ったノ
イズによる影響が大きくなってしまうことが回避されて
検出精度の向上に寄与できるという利点もある。
磁石１２、永久磁石１３、増幅器１５、コネクタ１６等
の速度検出センサを構成する各部材は、油圧シリンダ１
の内部に収納されることになるため、油圧シリンダ１の
外部に取り付けられる外付け部品を保護するための保護
装置が不要であって、構造の簡略化、部品点数の減少に
貢献できる。そのうえ、発生した誘導起電力は、ヘッド
カバー７に形成の凹部７ｃに設けられた増幅器１５によ
って増幅されたものが出力されるため、誘導起電力をそ
のまま微弱電圧として出力するもののように、拾ったノ
イズによる影響が大きくなってしまうことが回避されて
検出精度の向上に寄与できるという利点もある。
【００１６】そのうえまた、コイル９、補助磁石１２お
よび永久磁石１３等の速度検出センサがシリンダ筒２に
よって電磁的にシールドされたものとなり、これによっ
てシリンダ筒２を、速度検出センサが外部磁力に影響さ
れることを防止するためのシールド部材に有効利用でき
ることになって、別途シールド部材が必要になることも
ない。
よび永久磁石１３等の速度検出センサがシリンダ筒２に
よって電磁的にシールドされたものとなり、これによっ
てシリンダ筒２を、速度検出センサが外部磁力に影響さ
れることを防止するためのシールド部材に有効利用でき
ることになって、別途シールド部材が必要になることも
ない。
【００１７】さらに、本実施例においては、コイル９の
内筒部に、永久磁石１３の内周面側の極とは逆の極に設
定される補助磁石１２が内装されているため、該補助磁
石１２と永久磁石１３とのあいだに安定した磁界が形成
されることになって、より精度の高い速度検出を行え
る。
内筒部に、永久磁石１３の内周面側の極とは逆の極に設
定される補助磁石１２が内装されているため、該補助磁
石１２と永久磁石１３とのあいだに安定した磁界が形成
されることになって、より精度の高い速度検出を行え
る。
【００１８】
【作用効果】以上要するに、本発明は叙述の如く構成さ
れたものであるから、油圧シリンダの伸縮作動に伴い、
ヘッドカバーからロッド長方向に向けて突設されたコイ
ルに対し、可動側部材に一体的に設けられた磁石が相対
移動することになるが、このときコイルには、可動側部
材の移動速度に比例する誘導起電力が発生することにな
る。この結果、コイルに発生する誘導起電力の大きさの
測定により直接的にピストンロッドの移動速度を検出で
きることになって、従来のように、油圧シリンダの変位
量を微分して速度を求めたり、油圧シリンダの直線運動
を回転運動に変換したものについて発生した電力を測定
することで速度を求めたりするものに比して、ノイズの
影響が小さいうえ、高い感度と高い動特性を得られるこ
とになる。しかも、コイル、磁石等の速度検出センサを
構成する部材は、油圧シリンダの内部に収納されること
になるため、油圧シリンダの外部に取り付けられる外付
け部品を保護するための保護装置が不要であって、構造
の簡略化、部品点数の減少に貢献できる。
れたものであるから、油圧シリンダの伸縮作動に伴い、
ヘッドカバーからロッド長方向に向けて突設されたコイ
ルに対し、可動側部材に一体的に設けられた磁石が相対
移動することになるが、このときコイルには、可動側部
材の移動速度に比例する誘導起電力が発生することにな
る。この結果、コイルに発生する誘導起電力の大きさの
測定により直接的にピストンロッドの移動速度を検出で
きることになって、従来のように、油圧シリンダの変位
量を微分して速度を求めたり、油圧シリンダの直線運動
を回転運動に変換したものについて発生した電力を測定
することで速度を求めたりするものに比して、ノイズの
影響が小さいうえ、高い感度と高い動特性を得られるこ
とになる。しかも、コイル、磁石等の速度検出センサを
構成する部材は、油圧シリンダの内部に収納されること
になるため、油圧シリンダの外部に取り付けられる外付
け部品を保護するための保護装置が不要であって、構造
の簡略化、部品点数の減少に貢献できる。
【図１】油圧シリンダの断面図である。
【図２】要部拡大断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】速度検出センサの出力回路図である。
１ 油圧シリンダ ２ シリンダ筒 ３ ピストン ５ ピストンロッド ７ ヘッドカバー ９ コイル １０ 非磁性絶縁物質 １２ 補助磁石 １３ 永久磁石 １５ 増幅器 １７ 電圧計
Claims (7)
- 【請求項１】 シリンダ筒と、該シリンダ筒に摺動自在
に内嵌するピストンおよび該ピストンが固着されるピス
トンロッドからなる可動側部材とを備えて伸縮自在に構
成されるシリンダにおいて、前記シリンダ筒に設けられ
るヘッドカバーからロッド長方向に向けて突設される導
電性部材からなるコイルと、可動側部材に前記コイルが
遊嵌状に挿入するよう穿設される筒孔と、前記コイル外
周に対向するよう可動側部材に一体的に設けられ、コイ
ルに対向する内周面側がＮ、Ｓいずれか一方の極で、外
周面側が他方の極に設定される磁石と、前記磁石の移動
に基づきコイルに発生する誘導起電力の大きさを検出す
る検出手段とを備えて構成されることを特徴とするシリ
ンダの作動速度検出センサ。 - 【請求項２】 請求項１において、磁石は円筒形をし、
内筒面側がＮ、Ｓいずれか一方の極で、外筒面側が他方
の極に設定されていることを特徴とするシリンダの作動
速度検出センサ。 - 【請求項３】 請求項１または２において、コイルは、
非磁性材からなる絶縁性物質により固化されていること
を特徴とするシリンダの作動速度検出センサ。 - 【請求項４】 請求項３において、絶縁性物質は筒状に
形成されていることを特徴とするシリンダの作動速度検
出センサ。 - 【請求項５】 請求項４において、絶縁性物質の筒内に
は、外周面側が前記磁石の内周面側の極とは逆の極に設
定された補助磁石が内装されていることを特徴とするシ
リンダの作動速度検出センサ。 - 【請求項６】 請求項１乃至５において、検出手段は、
誘導起電力を増幅する増幅器と、該増幅された出力電力
の大きさを検出する検出器であることを特徴とするシリ
ンダの作動速度検出センサ。 - 【請求項７】 請求項６において、増幅器は、ヘッドカ
バーに埋設されていることを特徴とするシリンダの作動
速度検出センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19701995A JPH0925912A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | シリンダの作動速度検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19701995A JPH0925912A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | シリンダの作動速度検出センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0925912A true JPH0925912A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=16367424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19701995A Withdrawn JPH0925912A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | シリンダの作動速度検出センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0925912A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007071363A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Kayaba Ind Co Ltd | シリンダ装置 |
| CN104265735A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-01-07 | 山东同力液压装备有限公司 | 一种精密位移非接触式液压油缸 |
| CN104895863A (zh) * | 2015-05-18 | 2015-09-09 | 合肥长源液压股份有限公司 | 带有一体式缸底的伺服液压缸 |
-
1995
- 1995-07-10 JP JP19701995A patent/JPH0925912A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007071363A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Kayaba Ind Co Ltd | シリンダ装置 |
| JP4733481B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2011-07-27 | カヤバ工業株式会社 | シリンダ装置 |
| CN104265735A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-01-07 | 山东同力液压装备有限公司 | 一种精密位移非接触式液压油缸 |
| CN104895863A (zh) * | 2015-05-18 | 2015-09-09 | 合肥长源液压股份有限公司 | 带有一体式缸底的伺服液压缸 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4229696A (en) | Sensor for measuring magnetic field changes | |
| JP2006153879A (ja) | リニアポジションセンサ | |
| US9559565B2 (en) | Homopolar permanent-magnet-biased action magnetic bearing with an integrated rotational speed sensor | |
| US4665362A (en) | Magnetic-type of analog distance sensor having a hall effect sensing element | |
| JPH08114403A (ja) | 移動量検出器 | |
| JP3352366B2 (ja) | パルス信号発生装置 | |
| JPH08136558A (ja) | 回転速度検出装置 | |
| JP2001309636A (ja) | リニアドライブ | |
| JP2001124590A (ja) | 位置検出器 | |
| JPH0925912A (ja) | シリンダの作動速度検出センサ | |
| JPS61134601A (ja) | 磁気形変位センサ | |
| EP3407077A1 (en) | Magnetic detecting unit and stroke detecting device provided with same | |
| JPS5914305B2 (ja) | ダイカスト機におけるラムの変位量検出装置 | |
| JP2933939B2 (ja) | 流体圧シリンダのピストン位置検知方法 | |
| KR101402331B1 (ko) | 전자기유도 방식을 이용한 선형변위센서 및 이를 이용한 가동물체의 선형변위 측정시스템 | |
| JP3386723B2 (ja) | 磁気検知装置 | |
| US7808132B2 (en) | Electric machine comprising a screened leakage-field-sensitive sensor | |
| KR0153451B1 (ko) | 마그네틱 베어링 장치 | |
| JPH10332733A (ja) | 加速度センサ | |
| JPH01318901A (ja) | 磁気誘導式センサ | |
| JPS54103372A (en) | Magnetic sensor | |
| JP2003302252A (ja) | 磁気型位置および、または速度センサ | |
| CN210689504U (zh) | 一种静磁栅位置检测机构 | |
| JPH0125305B2 (ja) | ||
| JP2982881B2 (ja) | ギャップ検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021001 |