JPH09248786A - Dust collecting case of single shaft robot - Google Patents
Dust collecting case of single shaft robotInfo
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- JPH09248786A JPH09248786A JP8055995A JP5599596A JPH09248786A JP H09248786 A JPH09248786 A JP H09248786A JP 8055995 A JP8055995 A JP 8055995A JP 5599596 A JP5599596 A JP 5599596A JP H09248786 A JPH09248786 A JP H09248786A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、単軸ロボットに装
着され、ロボットから発生する塵等の異物を回収する単
軸ロボットの集塵ケースに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dust collecting case of a single axis robot which is mounted on the single axis robot and collects foreign matters such as dust generated from the robot.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、ボールねじ機構によりレール
に沿って可動部材を移動させるように構成し、目的に応
じた各種ツールを上記可動部材に取付けて移動させるよ
うにした単軸ロボットは知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a single-axis robot configured to move a movable member along a rail by a ball screw mechanism and attach various tools according to the purpose to the movable member to move the tool. ing.
【０００３】このような単軸ロボットでは、上記機構部
分で発生する塵等の異物の飛散、あるいは外観や安全性
等の理由から一般には機構部分がケーシング内に納めら
れ、可動部分の一部、つまりツール取付部分のみがケー
シングに形成された開口部から外部に突出した構造とな
っている。In such a single-axis robot, the mechanism part is generally housed in a casing for the reason of scattering of foreign matters such as dust generated in the mechanism part, or appearance and safety, and a part of the movable part. In other words, only the tool mounting portion has a structure in which it projects outside from the opening formed in the casing.
【０００４】特に、この種のロボットにおいてクリーン
ルームで用いられるものにつてはケーシング外部への異
物の飛散が厳禁であることから、ケーシング内で発生し
た異物を吸引、廃棄する設備を設けて外部への異物の飛
散を防止するようにした単軸ロボットも提案されてい
る。Particularly, in the case of a robot used in a clean room in this kind of robot, since scattering of foreign matters to the outside of the casing is strictly prohibited, a facility for sucking and discarding the foreign matters generated in the casing is provided to the outside. A single-axis robot that prevents the scattering of foreign matter has also been proposed.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、近年ではこ
の種の単軸ロボットにおいても市場ニーズに応じた多様
化が進んでおり、そのため各ロボット毎にその内部構造
に適した吸引設備を設けることが要求されている。In recent years, however, even single-axis robots of this kind have been diversified in response to market needs, and therefore, it is necessary to provide each robot with suction equipment suitable for its internal structure. Is required.
【０００６】しかし、このように各ロボット毎にその内
部構造に適した吸引設備を設けるのでは設計効率が悪
く、またロボットのコスト高を招く原因にもなる。However, if the suction equipment suitable for the internal structure of each robot is provided as described above, the design efficiency is poor and the cost of the robot is increased.
【０００７】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、ロボット自体に異物吸引のための設備
を設けることなくクリーンルーム内等への異物の飛散を
効果的に防止することができる単軸ロボットの集塵ケー
スを提供することを目的としている。The present invention has been made to solve the above problems, and can effectively prevent scattering of foreign matter into a clean room or the like without providing the robot itself with equipment for sucking foreign matter. It is intended to provide a dust collection case for a single-axis robot.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、ケーシング内
に駆動部が納められ、前記ケーシングに形成された開口
部から可動部の一部が外部に突出するように構成された
単軸ロボットに着脱可能に装着される集塵ケースであっ
て、上記ケーシングとの間に所定の空間を形成した状態
で単軸ロボットを覆うケース本体を有し、このケース本
体に上記可動部をその可動領域において外部に露出させ
るスリットが形成されるとともに多数の吸引孔を備えた
パイプ部材が内設され、このパイプ部材が負圧供給源に
接続された負圧供給管に接続されてなるものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a single-axis robot having a drive portion housed in a casing, and a part of the movable portion protruding outside from an opening formed in the casing. A dust collection case that is detachably mounted, and has a case body that covers the uniaxial robot in a state where a predetermined space is formed between the case body and the movable portion in the movable region. A pipe member having a slit for exposing to the outside and having a large number of suction holes is internally provided, and the pipe member is connected to a negative pressure supply pipe connected to a negative pressure supply source.
【０００９】この集塵ケースを単軸ロボットに装着した
状態では、単軸ロボットにおいて駆動部で発生してケー
シング外に飛散した塵等の異物が、パイプ部材の吸引孔
を介して吸引、排出される。そのため、単軸ロボットが
異物吸引のための設備を有していない場合でもロボット
が使用される空間、例えばクリーンルーム等への塵等の
異物の飛散を防止することが可能となる。When the dust collecting case is attached to the single-axis robot, foreign matter such as dust generated in the drive section of the single-axis robot and scattered outside the casing is sucked and discharged through the suction hole of the pipe member. It Therefore, even if the single-axis robot does not have a facility for sucking foreign matter, it is possible to prevent scattering of foreign matter such as dust into a space where the robot is used, for example, a clean room.
【００１０】特に、上記パイプ部材を可動部の移動経路
に沿って配置し、上記吸引孔を、上記可動部の可動領域
に対応して形成するようにすれば、単軸ロボットから発
生する異物を効果的に吸引することが可能となる。Particularly, if the pipe member is arranged along the moving path of the movable part and the suction hole is formed corresponding to the movable region of the movable part, foreign matter generated from the single-axis robot can be prevented. It is possible to effectively suck.
【００１１】また、各々独立した複数本の単位パイプを
上記ケース本体に内設する場合には、上記ケース本体内
に閉空間を形成し、この閉空間内に各単位パイプ及び上
記負圧供給管をそれぞれ連通するようにすれば、単位パ
イプ毎に負圧供給管を接続する必要がなくなり、ケース
本体内構造を簡略化することが可能となる。When a plurality of independent unit pipes are provided in the case body, a closed space is formed in the case body, and each unit pipe and the negative pressure supply pipe are provided in the closed space. By connecting each of them, it is not necessary to connect a negative pressure supply pipe for each unit pipe, and it is possible to simplify the internal structure of the case body.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００１３】図１は、本発明に係る集塵ケースを装着し
た単軸ロボットを用いた直交型ロボットを概略的に示し
ている。この図に示すように、直交型ロボット１は、基
台上に固定されてＸ軸方向に延びる第１ユニット２と、
この第１ユニット２に装着されてＹ軸方向に延びる第２
ユニット３と、この第２ユニット３に装着される作業用
ユニット４とから構成されている。そして、第１ユニッ
ト２により第２ユニット３がＸ軸方向に、第２ユニット
３により作業用ユニット４がＹ軸方向にそれぞれ移動さ
せられることにより作業用ユニット４が平面的に移動す
るように構成されている。FIG. 1 schematically shows an orthogonal robot using a single-axis robot equipped with a dust collecting case according to the present invention. As shown in this figure, the orthogonal robot 1 includes a first unit 2 fixed on a base and extending in the X-axis direction,
The second unit mounted on the first unit 2 and extending in the Y-axis direction
It is composed of a unit 3 and a working unit 4 mounted on the second unit 3. The second unit 3 is moved in the X-axis direction by the first unit 2 and the working unit 4 is moved in the Y-axis direction by the second unit 3, so that the working unit 4 moves in a plane. Has been done.
【００１４】図２及び図３は、上記第１ユニット２の具
体的な構成を示している。2 and 3 show a specific structure of the first unit 2.
【００１５】これらの図に示すように、第１ユニット２
は単軸ロボット５とこの単軸ロボット５に装着される本
発明の集塵ケース６とから構成されている。As shown in these figures, the first unit 2
Is composed of a single-axis robot 5 and a dust collection case 6 of the present invention mounted on the single-axis robot 5.
【００１６】上記単軸ロボット５は、基台上に固定され
る箱型のケーシング１０を有しており、このケーシング
１０に搭載した可動部材１５をＸ軸方向に移動させるよ
うに構成されている。The single-axis robot 5 has a box-shaped casing 10 fixed on a base, and is configured to move a movable member 15 mounted on the casing 10 in the X-axis direction. .
【００１７】すなわち、ケーシング１０内にはＸ軸方向
に延びる一対の固定レール１４と、サーボモータ１１に
よりカップリング１２を介して回転駆動されるボールね
じ軸１３とが配設され、上記可動部材１５が固定レール
１４にスライド自在に装着されるとともに、可動部材１
５のナット部分１５ｂが上記ボールねじ軸１３に螺合し
ている。そして、サーボモータ１１の作動により上記可
動部材１５を固定レール１４に沿ってＸ軸方向に移動さ
せるようになっている。That is, a pair of fixed rails 14 extending in the X-axis direction and a ball screw shaft 13 rotatably driven by a servomotor 11 via a coupling 12 are provided in the casing 10, and the movable member 15 is provided. Is slidably mounted on the fixed rail 14, and the movable member 1
The nut portion 15b of No. 5 is screwed onto the ball screw shaft 13. The movable member 15 is moved in the X-axis direction along the fixed rail 14 by the operation of the servomotor 11.
【００１８】上記可動部材１５には、上記第２ユニット
３を第１ユニット２に取付ける一対の取付部１５ａが形
成されており、これらの取付部１５ａがケーシング１０
に形成された開口部１６を介してケーシング外に突出し
ている。上記開口部１６は、ケーシング１０の両側上部
に、可動部材１５の移動領域にわたって形成されてい
る。The movable member 15 is formed with a pair of mounting portions 15a for mounting the second unit 3 on the first unit 2, and these mounting portions 15a are mounted on the casing 10.
It projects to the outside of the casing through an opening 16 formed in the. The openings 16 are formed on both upper sides of the casing 10 over the moving region of the movable member 15.
【００１９】上記集塵ケース６は、下方開口部を有した
箱型のケースからなり、図１及び図２に示すように単軸
ロボット５を上方から覆い、かつ単軸ロボット５のケー
ブル１７を一端側（Ｘ軸方向一端側）に形成された切欠
部２０で逃がした状態で基台に固定されている。なお、
集塵ケース６と基台との間及び上記切欠部２０周縁部と
単軸ロボット５との間には、図２〜図４に示すようにシ
ール部材２１が介在されてシールされている。The dust collecting case 6 is a box-shaped case having a lower opening, covers the uniaxial robot 5 from above, and holds the cable 17 of the uniaxial robot 5 as shown in FIGS. 1 and 2. It is fixed to the base in a state of being released by a notch portion 20 formed on one end side (one end side in the X-axis direction). In addition,
As shown in FIGS. 2 to 4, a seal member 21 is interposed between the dust collection case 6 and the base and between the peripheral portion of the cutout portion 20 and the single-axis robot 5 for sealing.
【００２０】集塵ケース６の上部には、互いに平行な一
対のスリット２２が形成されている。これらのスリット
２２は、上記単軸ロボット５の可動部材１５の移動領域
に亘って形成されており、このスリット２２を介して上
記可動部材１５の取付部１５ａが集塵ケース６の上方に
露出している。そして、このように上方に露出された取
付部１５ａに取付部材３０が取付けられ、この取付部材
３０に上記第２ユニット３が取付けられている。A pair of slits 22 which are parallel to each other are formed on the upper portion of the dust collection case 6. These slits 22 are formed over the moving region of the movable member 15 of the single-axis robot 5, and the mounting portion 15a of the movable member 15 is exposed above the dust collection case 6 through this slit 22. ing. Then, the mounting member 30 is mounted on the mounting portion 15a thus exposed upward, and the second unit 3 is mounted on the mounting member 30.
【００２１】一方、集塵ケース６の内部には、図２〜図
４に示すように多数の吸引孔２５ａを備えたＸ軸方向に
延びる複数のパイプ２５が設けられており、これらの各
パイプ２５が集塵ケース６の内壁に沿って取付けられる
とともにその両端が集塵ケース６の両端（Ｘ軸方向両
端）にそれぞれ形成された密閉空間２３，２４内にそれ
ぞれ連通している。本実施形態では、図３及び図４に示
すように上壁近傍であって可動部材１５の各取付部１５
ａをそれぞれ挟む箇所と、各側壁近傍であって上下方向
中央及び下方箇所の合計８箇所に上記パイプ２５が設け
られている。On the other hand, inside the dust collection case 6, there are provided a plurality of pipes 25 having a large number of suction holes 25a and extending in the X-axis direction, as shown in FIGS. 25 is attached along the inner wall of the dust collection case 6, and both ends thereof communicate with sealed spaces 23 and 24 formed at both ends (both ends in the X-axis direction) of the dust collection case 6, respectively. In the present embodiment, as shown in FIGS. 3 and 4, each mounting portion 15 of the movable member 15 is near the upper wall.
The pipes 25 are provided at a total of eight places, ie, a place sandwiching a and a place in the vicinity of each side wall in the vertical direction and at a lower place.
【００２２】また、上記一方の密閉空間２３は、集塵ケ
ース６の端側に設けられたノズル２６及びこれに装着さ
れた負圧供給管２７を介して図外の負圧供給源に接続さ
れており、直交型ロボット１の作動時には負圧供給源で
発生された負圧が密閉空間２３を介して各パイプ２５に
供給されるようになっている。The one closed space 23 is connected to a negative pressure supply source (not shown) via a nozzle 26 provided on the end side of the dust collection case 6 and a negative pressure supply pipe 27 attached thereto. Therefore, when the orthogonal robot 1 is operated, the negative pressure generated by the negative pressure supply source is supplied to each pipe 25 through the sealed space 23.
【００２３】なお、以上は第１ユニット２の具体的な構
成であるが、上記第２ユニット３もこの第１ユニット２
と同様に単軸ロボット７とこれを覆う集塵ケース８とか
ら構成されており、単軸ロボット７及び集塵ケース８の
具体的な構成は上記第１ユニット２の単軸ロボット５及
び集塵ケース６と共通の構成となっている。但し、第２
ユニット３の集塵ケース８では、上記集塵ケース６の下
方開口部に相当する部分が蓋体によって塞がれるように
なっており、この点において上記集塵ケース６と構成が
相違している。The above is the specific structure of the first unit 2, but the second unit 3 is also the first unit 2.
The single-axis robot 7 and the dust-collecting case 8 covering the same are included. The single-axis robot 7 and the dust-collecting case 8 have a specific configuration by the single-axis robot 5 and the dust-collecting case of the first unit 2. It has the same configuration as Case 6. However, the second
In the dust collecting case 8 of the unit 3, the portion corresponding to the lower opening of the dust collecting case 6 is closed by the lid, and in this respect, the configuration is different from the dust collecting case 6. .
【００２４】上記の直交型ロボット１によれば、各ユニ
ット２，３の単軸ロボット５，７の駆動により作業用ユ
ニット４がＸ−Ｙ平面上を移動させられるとともに、こ
のような直交型ロボット１の作動中に負圧発生源で発生
された負圧が各ユニット２，３の集塵ケース６，８に供
給される。これにより直交型ロボット１の作動中は、密
閉空間２３、パイプ２５及び吸引孔２５ａを介して各集
塵ケース６，８内に負圧が作用し、集塵ケース６，８内
を浮遊する塵や埃等の異物がパイプ２５を介して吸引排
気される。つまり、各単軸ロボット５，７の内部で発生
し、ケーシング１０の開口部１６等から外部に飛散した
異物がパイプ２５を介して吸引、排出される。そのた
め、クリーンルーム等への異物の飛散が効果的に防止さ
れる。According to the orthogonal robot 1 described above, the working unit 4 is moved on the XY plane by driving the single-axis robots 5 and 7 of the units 2 and 3, and such an orthogonal robot is also used. The negative pressure generated by the negative pressure generating source during the operation of 1 is supplied to the dust collecting cases 6 and 8 of the units 2 and 3. As a result, during operation of the orthogonal robot 1, negative pressure acts on the dust collection cases 6 and 8 through the closed space 23, the pipe 25, and the suction holes 25a, and the dust floating in the dust collection cases 6 and 8 is generated. Foreign matter such as dust and the like is sucked and exhausted through the pipe 25. That is, the foreign matter generated inside the single-axis robots 5 and 7 and scattered to the outside from the opening 16 of the casing 10 is sucked and discharged through the pipe 25. Therefore, scattering of foreign matter into a clean room or the like is effectively prevented.
【００２５】このように、上記のような集塵ケース６を
単軸ロボット５に装着するようにすれば、単軸ロボット
５自体に塵等の異物吸引のための設備を設けることなく
クリーンルーム等への異物の飛散を防止することができ
る。そのため、例えば、単軸ロボットの設計、製作にお
いては、多様化するロボット構造に応じた複雑、かつ煩
雑な設計、製作を不要にすることができ、設計、製作効
率を高めることが可能になるとともにコストアップを抑
えることが可能となる。By mounting the dust collecting case 6 on the single-axis robot 5 as described above, the single-axis robot 5 itself can be installed in a clean room or the like without providing a facility for sucking foreign matter such as dust. It is possible to prevent the scattering of foreign matter. Therefore, for example, in designing and manufacturing a single-axis robot, complicated and complicated designing and manufacturing corresponding to diversifying robot structures can be eliminated, and designing and manufacturing efficiency can be improved. It is possible to suppress cost increase.
【００２６】しかも、上記のような集塵ケース６は、上
述のように単軸ロボット５を覆うように装着するだけで
集塵機能が発揮されるので、単軸ロボット５のサイズ、
あるいは可動部材１５の可動範囲等が一致すれば既存の
機種にも装着することが可能である。Moreover, since the dust collecting case 6 as described above exhibits the dust collecting function only by being mounted so as to cover the single-axis robot 5 as described above, the size of the single-axis robot 5 is
Alternatively, if the movable range of the movable member 15 is the same, it can be mounted on an existing model.
【００２７】なお、上記実施形態の直交型ロボット１
は、本発明に係る集塵ケースを用いたロボットの一例で
あって、各単軸ロボットや集塵ケースの具体的な構成は
本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。The orthogonal robot 1 of the above embodiment.
Is an example of a robot using the dust collection case according to the present invention, and the specific configurations of the single-axis robots and the dust collection case can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention.
【００２８】例えば、上記実施形態の集塵ケース６で
は、その内部に吸引孔２５ａを備えたＸ軸方向のパイプ
２５を合計８本設けるようにしているが、パイプ２５の
数、形状、吸引孔２５ａの穿設位置等は、集塵ケース６
内の塵等の異物を効果的に吸引できるように適宜選定す
るようにすればよい。例えば、ロボット内部で発生した
異物の殆どは可動部材１５の移動に伴いケーシング１０
の開口部１６を介して集塵ケース６内に飛散するため、
パイプ２５の吸引孔２５ａを可動部材１５の可動領域近
傍にのみ集中的に配置して集塵効率を高めるようにして
もよい。また、可動部材１５の取付部１５ａを挟んで配
設されるパイプ２５については、図５に示すように吸引
孔２５ａを取付部１５ａに向かって開口させ、これによ
り可動部材１５の移動に伴い発生する異物を吸引し易く
するようにしてもよい。For example, in the dust collecting case 6 of the above embodiment, eight pipes 25 in the X-axis direction having the suction holes 25a are provided therein, but the number, shape, and suction holes of the pipes 25 are provided. The dust collection case 6 is provided at the drilling position of 25a.
It may be appropriately selected so that foreign matter such as dust inside can be effectively sucked. For example, most of the foreign matter generated inside the robot is caused by the movement of the movable member 15 and the casing 10
Since it scatters into the dust collection case 6 through the opening 16 of
The suction holes 25a of the pipe 25 may be intensively arranged only in the vicinity of the movable region of the movable member 15 to enhance the dust collection efficiency. As for the pipe 25 disposed with the mounting portion 15a of the movable member 15 interposed therebetween, the suction hole 25a is opened toward the mounting portion 15a as shown in FIG. It is also possible to make it easier to suck in foreign matter.
【００２９】また、上記実施形態では各パイプ２５の両
端を密閉空間２３，２４内にそれぞれ連通し、密閉空間
２３に負圧を供給するようにしているが、例えば、密閉
空間２３，２４を設けることなく、パイプ２５の両端を
直接集塵ケース６のＸ軸方向の両端に接続して、各パイ
プ２５を個別に負圧供給源に接続するようにしてもよ
い。但し、上記実施形態のように密閉空間２３を介して
パイプ２５に負圧を供給する場合には、簡単な構成で各
パイプ２５に均一に負圧を供給することができるため、
集塵ケース６の構造を簡略化することができるという利
点がある。また、パイプ２５の端部を密閉空間２４に連
通する場合には各パイプ２５の他端部（図４では右側端
部）が一体に閉端部となるため、各パイプ２５毎に端部
を塞ぐ手間が省け製作が容易になる。In the above embodiment, both ends of each pipe 25 are communicated with the closed spaces 23 and 24 to supply a negative pressure to the closed spaces 23. However, for example, the closed spaces 23 and 24 are provided. Alternatively, both ends of the pipe 25 may be directly connected to both ends of the dust collection case 6 in the X-axis direction, and each pipe 25 may be individually connected to the negative pressure supply source. However, when negative pressure is supplied to the pipes 25 through the closed space 23 as in the above embodiment, the negative pressure can be uniformly supplied to each pipe 25 with a simple configuration.
There is an advantage that the structure of the dust collection case 6 can be simplified. In addition, when the end portions of the pipes 25 are communicated with the closed space 24, the other end portions (the right end portions in FIG. 4) of the pipes 25 are integrally closed ends. Eliminates the work of closing and facilitates production.
【００３０】さらに、上記のような集塵ケース６は、塵
等の異物の吸引設備を備えていない単軸ロボット５に限
らず、異物の吸引設備を備えた単軸ロボット５に装着す
るようにしてもよい。このような使用方法によれば、ロ
ボット内部で吸引されずに外部に飛散した異物を集塵ケ
ース６内で吸引することが可能となり、クリーンルーム
等への異物の飛散をより確実に防止することができる。Further, the dust collection case 6 as described above is not limited to the single-axis robot 5 having no suction equipment for foreign matter such as dust, and should be attached to the single-axis robot 5 having suction equipment for foreign matter. May be. According to such a usage method, it is possible to suck the foreign matter that is not sucked inside the robot and is scattered to the outside in the dust collection case 6, and it is possible to more reliably prevent the foreign matter from scattering to the clean room or the like. it can.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の集塵ケー
スは、単軸ロボットを覆うケース本体に単軸ロボットの
可動部をその可動領域において外部に露出させるスリッ
トを形成するとともに、その内部に吸引孔を備えたパイ
プ部材を内設し、このパイプ部材を負圧供給源に接続す
るようにしたので、単軸ロボットへ装着することによ
り、単軸ロボットから発生して当該ロボット外部に飛散
した塵等の異物を効果的に吸引して排気することができ
る。そのため、単軸ロボット自体に異物吸引のための設
備を設けることなく、クリーンルーム等への塵等の異物
飛散を防止することができる。As described above, in the dust collecting case of the present invention, the case body covering the uniaxial robot is formed with the slit for exposing the movable part of the uniaxial robot to the outside in the movable area, and the inside thereof. Since a pipe member equipped with a suction hole is installed inside, and this pipe member is connected to a negative pressure supply source, by attaching to a single-axis robot, it is generated from the single-axis robot and scattered to the outside of the robot. Foreign matter such as dust can be effectively sucked and exhausted. Therefore, it is possible to prevent scattering of foreign matter such as dust into the clean room without providing the single-axis robot itself with equipment for sucking foreign matter.
【００３２】特に、上記のような集塵ケースにおいて、
上記パイプ部材を可動部の移動経路に沿って配置し、上
記吸引孔を可動部の可動領域に対応して形成するように
すれば、単軸ロボットから発生する異物を効果的に回収
してクリーンルーム等への飛散をより確実に防止するこ
とができる。Particularly, in the dust collecting case as described above,
By disposing the pipe member along the moving path of the movable part and forming the suction hole corresponding to the movable region of the movable part, the foreign matter generated from the uniaxial robot can be effectively collected to clean room. It is possible to more reliably prevent the particles from scattering.
【００３３】また、各々独立した複数本の単位パイプを
ケース本体に内設する場合には、ケース本体内に閉空間
を形成し、この閉空間内に各単位パイプ及び上記負圧供
給管をそれぞれ連通するようにすれば、簡単な構成で単
位パイプに負圧を供給することができ、ケース本体内の
構造を簡略化することができる。When a plurality of independent unit pipes are provided in the case body, a closed space is formed in the case body, and each unit pipe and the negative pressure supply pipe are respectively provided in the closed space. If they are communicated with each other, negative pressure can be supplied to the unit pipe with a simple structure, and the structure inside the case body can be simplified.
【図１】本発明の単軸ロボットの集塵ケースが用いられ
た直交型ロボットを示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an orthogonal robot in which a dust collecting case of a single-axis robot of the present invention is used.
【図２】上記直交型ロボットの第１ユニットの構成を示
す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration of a first unit of the orthogonal robot.
【図３】図２におけるＡ−Ａ断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG. 2;
【図４】図２におけるＢ−Ｂ断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB in FIG.
【図５】パイプに形成される吸引孔の一例を示す断面図
である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of suction holes formed in a pipe.
１ 直交型ロボット ２ 第１ユニット ３ 第２ユニット ４ 作業用ユニット ５，７ 単軸ロボット ６，８ 集塵ケース １０ ケーシング １５ 可動部材 １５ａ 取付部 ２３，２４ 密閉空間 ２５ パイプ ２１ シール部材 ２２ スリット ２５ａ 吸引孔 1 Orthogonal robot 2 1st unit 3 2nd unit 4 Working unit 5,7 Single axis robot 6,8 Dust collection case 10 Casing 15 Movable member 15a Mounting part 23,24 Sealed space 25 Pipe 21 Seal member 22 Slit 25a Suction Hole
Claims (3)
ケーシングに形成された開口部から可動部の一部が外部
に突出するように構成された単軸ロボットに着脱可能に
装着される集塵ケースであって、上記ケーシングとの間
に所定の空間を形成した状態で単軸ロボットを覆うケー
ス本体を有し、このケース本体に上記可動部をその可動
領域において外部に露出させるスリットが形成されると
ともに多数の吸引孔を備えたパイプ部材が内設され、こ
のパイプ部材が負圧供給源に接続された負圧供給管に接
続されてなることを特徴とする単軸ロボットの集塵ケー
ス。1. A dust collector detachably attached to a single-axis robot configured to have a drive unit housed in a casing, and a part of a movable unit protruding outside from an opening formed in the casing. The case has a case body that covers the uniaxial robot in a state where a predetermined space is formed between the case and the casing, and a slit that exposes the movable portion to the outside in the movable region is formed in the case body. A dust collecting case for a single-axis robot, characterized in that a pipe member having a large number of suction holes is internally provided, and the pipe member is connected to a negative pressure supply pipe connected to a negative pressure supply source.
路に沿って配置され、上記吸引孔は、上記可動部の可動
領域に対応して形成されてなることを特徴とする請求項
１記載の単軸ロボットの集塵ケース。2. The pipe member is arranged along a moving path of the movable portion, and the suction hole is formed corresponding to a movable region of the movable portion. Dust collection case for a single-axis robot.
単位パイプからなるものであって、上記ケース本体内に
は閉空間が形成され、この閉空間内に上記各単位パイプ
及び上記負圧供給管がそれぞれ連通されてなることを特
徴とする請求項１又は２記載の単軸ロボットの集塵ケー
ス。3. The pipe member is composed of a plurality of independent unit pipes, and a closed space is formed in the case body, and the unit pipes and the negative pressure supply are provided in the closed space. The dust collection case for a single-axis robot according to claim 1 or 2, wherein the pipes are communicated with each other.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8055995A JPH09248786A (en) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | Dust collecting case of single shaft robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8055995A JPH09248786A (en) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | Dust collecting case of single shaft robot |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09248786A true JPH09248786A (en) | 1997-09-22 |
Family
ID=13014674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8055995A Pending JPH09248786A (en) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | Dust collecting case of single shaft robot |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09248786A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009023020A (en) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Yaskawa Electric Corp | Substrate carrying robot having dust-tight mechanism, and semiconductor manufacturing apparatus having the robot |
| CN114837149A (en) * | 2022-04-02 | 2022-08-02 | 长江大学 | Floating type spider-type water garbage cleaning device |
-
1996
- 1996-03-13 JP JP8055995A patent/JPH09248786A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009023020A (en) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Yaskawa Electric Corp | Substrate carrying robot having dust-tight mechanism, and semiconductor manufacturing apparatus having the robot |
| CN114837149A (en) * | 2022-04-02 | 2022-08-02 | 长江大学 | Floating type spider-type water garbage cleaning device |
| CN114837149B (en) * | 2022-04-02 | 2023-09-01 | 长江大学 | Floating type spider-type water garbage cleaning device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040210 |