JPH09244048A - 液晶パネル基板及び液晶パネルの製造方法 - Google Patents
液晶パネル基板及び液晶パネルの製造方法Info
- Publication number
- JPH09244048A JPH09244048A JP8053054A JP5305496A JPH09244048A JP H09244048 A JPH09244048 A JP H09244048A JP 8053054 A JP8053054 A JP 8053054A JP 5305496 A JP5305496 A JP 5305496A JP H09244048 A JPH09244048 A JP H09244048A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data line
- wiring
- repair
- liquid crystal
- crystal panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136259—Repairing; Defects
- G02F1/136263—Line defects
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136259—Repairing; Defects
- G02F1/136272—Auxiliary lines
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 リペア配線に関し,補修後のデータ線両端の
抵抗値を所定値にする。 【解決手段】 保護配線5に接続されるデータ線3,及
びデータ線3と交叉し保護配線5に接続されるリペア配
線1a,1bを有する液晶パネル基板において,データ
線3を切離し可能に接続する切断部7を介在させて保護
配線5に接続し,かつリペア配線1a,1bをダミーデ
ータ線6を介在させて保護配線5に接続する。
抵抗値を所定値にする。 【解決手段】 保護配線5に接続されるデータ線3,及
びデータ線3と交叉し保護配線5に接続されるリペア配
線1a,1bを有する液晶パネル基板において,データ
線3を切離し可能に接続する切断部7を介在させて保護
配線5に接続し,かつリペア配線1a,1bをダミーデ
ータ線6を介在させて保護配線5に接続する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は,液晶パネルの半製
品として用いられる補修容易な液晶パネル基板の構造,
及びその液晶パネル基板を用いた補修の検査が容易な液
晶パネルの製造方法に関し,特にデータ線のリペア線に
よる修復の良否判別が容易な液晶パネル基板の構造に関
する。
品として用いられる補修容易な液晶パネル基板の構造,
及びその液晶パネル基板を用いた補修の検査が容易な液
晶パネルの製造方法に関し,特にデータ線のリペア線に
よる修復の良否判別が容易な液晶パネル基板の構造に関
する。
【0002】データ線と走査線とをマトリックス状に交
叉させ,その交叉点に画素を形成する液晶パネル,例え
ば交点に薄膜トランジスタスイッチを配したアクテブマ
トリックス液晶パネルでは,データ線の断線の検査とそ
の補修が必須である。
叉させ,その交叉点に画素を形成する液晶パネル,例え
ば交点に薄膜トランジスタスイッチを配したアクテブマ
トリックス液晶パネルでは,データ線の断線の検査とそ
の補修が必須である。
【0003】かかるデータ線の断線の検査はデータ線の
抵抗値の測定によりなされ,また補修はリペア配線をデ
ータ線に接続することでなされている。このため,断線
したデータ線をリペア配線により補修した後,その補修
の良否を容易に判別できる液晶パネル基板が要望されて
いる。
抵抗値の測定によりなされ,また補修はリペア配線をデ
ータ線に接続することでなされている。このため,断線
したデータ線をリペア配線により補修した後,その補修
の良否を容易に判別できる液晶パネル基板が要望されて
いる。
【0004】
【従来の技術】図6は従来例液晶パネル基板平面図であ
り,データ線の修復に使用されるリペア配線を備えたパ
ネル基板を表している。
り,データ線の修復に使用されるリペア配線を備えたパ
ネル基板を表している。
【0005】従来の液晶パネル基板の構造を,図6を参
照して説明する。絶縁性のパネル基板10上に,平行な
複数のデータ線3及びデータ線3と直交する平行な複数
の走査線21とが形成されている。これらデータ線3と
走査線21の交叉部分には薄膜トランジスタスイッチが
配置され,データ線3と走査線21とにより駆動される
画素が形成されている。
照して説明する。絶縁性のパネル基板10上に,平行な
複数のデータ線3及びデータ線3と直交する平行な複数
の走査線21とが形成されている。これらデータ線3と
走査線21の交叉部分には薄膜トランジスタスイッチが
配置され,データ線3と走査線21とにより駆動される
画素が形成されている。
【0006】画素が形成された表示領域の外側周囲を囲
み配設された保護配線5は,液晶パネルの製造工程中は
接地され,保護配線5に接続される配線の帯電を防止す
る。データ線3は,その両端に設けられた抵抗測定用の
端子4の一方が保護配線5に接続され,製造工程中の帯
電が防止される。なお,走査線21も帯電防止のために
保護配線5に接続されている。
み配設された保護配線5は,液晶パネルの製造工程中は
接地され,保護配線5に接続される配線の帯電を防止す
る。データ線3は,その両端に設けられた抵抗測定用の
端子4の一方が保護配線5に接続され,製造工程中の帯
電が防止される。なお,走査線21も帯電防止のために
保護配線5に接続されている。
【0007】一対のリペア配線1a,1bが,走査線2
1と平行に,かつそれぞれデータ線3の両端近傍でデー
タ線3と交叉するように設けられる。リペア配線1a,
1bとデータ線3とは絶縁されているが,その交叉部に
は交叉するリペア配線1a,1bとデータ線3との接続
を可能とする接続部9が設けられ,例えば接続部9にレ
ーザ照射をすることでデータ線3とリペア配線1a,1
bとをその接続部9で接続することができる。このリペ
ア配線1a,1bも帯電防止のために保護配線5に接続
される。
1と平行に,かつそれぞれデータ線3の両端近傍でデー
タ線3と交叉するように設けられる。リペア配線1a,
1bとデータ線3とは絶縁されているが,その交叉部に
は交叉するリペア配線1a,1bとデータ線3との接続
を可能とする接続部9が設けられ,例えば接続部9にレ
ーザ照射をすることでデータ線3とリペア配線1a,1
bとをその接続部9で接続することができる。このリペ
ア配線1a,1bも帯電防止のために保護配線5に接続
される。
【0008】このパネル基板の検査,補修は,以下のよ
うになされる。先ず,検査装置のプロープをデータ線3
両端に設けられた端子4に接触させ,端子4間の抵抗を
測定する。データ線3が正常な場合は設計された抵抗値
が測定される。i番目のデータ線3−iの断線は,デー
タ線3−iの抵抗値の増大として検出される。次いで,
断線が検出されたデータ線3−iがリペア配線1a,1
bと交叉する接続部9にレーザ照射して,このデータ線
3−iの両端をそれぞれリペア配線1a,1bに接続す
ることによりデータ線3−iの補修がなされる。
うになされる。先ず,検査装置のプロープをデータ線3
両端に設けられた端子4に接触させ,端子4間の抵抗を
測定する。データ線3が正常な場合は設計された抵抗値
が測定される。i番目のデータ線3−iの断線は,デー
タ線3−iの抵抗値の増大として検出される。次いで,
断線が検出されたデータ線3−iがリペア配線1a,1
bと交叉する接続部9にレーザ照射して,このデータ線
3−iの両端をそれぞれリペア配線1a,1bに接続す
ることによりデータ線3−iの補修がなされる。
【0009】しかし,上述した従来のパネル基板では,
対をなすリペア配線1a,1bの両方が保護配線5に直
接接続されているため,補修されたデータ線3─iの両
端に設けられた端子4間の抵抗は殆ど零となり,他の不
良,例えば短絡不良との区別がつかない。また,端子4
の一方は常に保護配線5に接続されており,この端子4
とリペア配線1bとは保護配線5を通して短絡状態にあ
るため,リペア配線1bとデータ線3−iとの接続が不
良であってもこの不良を検出することができない。この
ため,補修が完全になされているか否かの検査をするこ
とができない。また,通常のリペア装置では,端子間に
表れるデータ線の抵抗値が一定の範囲にあるか否かによ
りデータ線の良否を判断するため,補修後の端子間の抵
抗が著しく変化する従来のパネル基板の補修では,補修
後の検査のために別に検査装置を用意しなければならな
い。
対をなすリペア配線1a,1bの両方が保護配線5に直
接接続されているため,補修されたデータ線3─iの両
端に設けられた端子4間の抵抗は殆ど零となり,他の不
良,例えば短絡不良との区別がつかない。また,端子4
の一方は常に保護配線5に接続されており,この端子4
とリペア配線1bとは保護配線5を通して短絡状態にあ
るため,リペア配線1bとデータ線3−iとの接続が不
良であってもこの不良を検出することができない。この
ため,補修が完全になされているか否かの検査をするこ
とができない。また,通常のリペア装置では,端子間に
表れるデータ線の抵抗値が一定の範囲にあるか否かによ
りデータ線の良否を判断するため,補修後の端子間の抵
抗が著しく変化する従来のパネル基板の補修では,補修
後の検査のために別に検査装置を用意しなければならな
い。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
パネル基板では,抵抗測定用の端子が保護配線に接続さ
れているためリペア配線とデータ線との接続を確認する
ことができない。また,リペア配線が保護配線に接続さ
れているため,補修が正常になされたか否かを判別する
ことができないという問題がある。さらに補修後の検査
のために別のリペア装置を必要とするという問題があ
る。
パネル基板では,抵抗測定用の端子が保護配線に接続さ
れているためリペア配線とデータ線との接続を確認する
ことができない。また,リペア配線が保護配線に接続さ
れているため,補修が正常になされたか否かを判別する
ことができないという問題がある。さらに補修後の検査
のために別のリペア装置を必要とするという問題があ
る。
【0011】本発明は,データ線の抵抗測定用端子を補
修後に保護配線から切り離すと共に,リペア配線と保護
配線間にダミーデータ線を挿入することで,補修後の端
子間にダミーデータ線抵抗が現れるようにして,補修後
の検査を補修前の検査と同一リペア検査装置により確実
になすことができる液晶パネル基板を提供し,及びその
液晶パネル基板を用いて補修後の検査を確実にできる液
晶パネルを提供することを目的とする。
修後に保護配線から切り離すと共に,リペア配線と保護
配線間にダミーデータ線を挿入することで,補修後の端
子間にダミーデータ線抵抗が現れるようにして,補修後
の検査を補修前の検査と同一リペア検査装置により確実
になすことができる液晶パネル基板を提供し,及びその
液晶パネル基板を用いて補修後の検査を確実にできる液
晶パネルを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】図1及び図4はそれぞれ
本発明の第一実施形態例平面図及び本発明の第二実施形
態例平面図であり,液晶パネル基板上のデータ線及びリ
ペア配線を表している。
本発明の第一実施形態例平面図及び本発明の第二実施形
態例平面図であり,液晶パネル基板上のデータ線及びリ
ペア配線を表している。
【0013】図1を参照して,上記課題を解決するため
の本発明の第一の構成に係る液晶パネル基板は,パネル
基板10上の表示領域内に相互に平行な複数のデータ線
3及び該データ線3と交叉する相互に平行な複数の走査
線を備え,該データ線3と該走査線の交叉部に画素が形
成された液晶パネル基板において,該表示領域の外側の
該パネル基板10上に設けられた帯電防止用の保護配線
5と,該データ線3に並設されたダミーデータ線6と,
該データ線3の一端に接続された第一の端子4aと,該
データ線3の他端に接続された第二の端子4bと,該第
一の端子4aと該保護配線5との間の電気的接続を,切
断可能に接続する切断部7と,該第一の端子4a近傍で
該データ線3と交叉し,かつ該保護配線5に電気的に接
続された第一のリペア配線1aと,該第二の端子4b近
傍で該データ線3と交叉し,かつ該ダミーデータ線6を
介して該保護配線5に電気的に接続された第二のリペア
配線1bと,該第一及び該第二のリペア配線1a,1b
と該データ線3との交叉位置に,該データ線3と該第一
及び該第二のリペア配線1a,1bとの電気的接続を可
能とする接続部9とを有することを特徴として構成し,
及び,第二の構成は,図4を参照して,パネル基板10
上の表示領域内に相互に平行な複数のデータ線3及び該
データ線3と交叉する相互に平行な複数の走査線を備
え,該データ線3と該走査線の交叉部に画素が形成され
た液晶パネル基板において,該表示領域の外側の該パネ
ル基板10上に設けられた帯電防止用の保護配線5と,
該データ線3に並設されたダミーデータ線6と,該デー
タ線3の一端に接続された第一の端子4aと,該データ
線3の他端に接続された第二の端子4bと,該第一の端
子4aと該保護配線5との間の電気的接続を,切断可能
に接続する切断部7と,該データ線3の該一端の近傍で
該データ線3と交叉し,かつ該ダミーデータ線6を介し
て該保護配線5に電気的に接続された第一のリペア配線
1aと,該データ線3の該他端の近傍で該データ線3と
交叉し,かつ該ダミーデータ線6を介して該保護配線5
に電気的に接続された第二のリペア配線1bと,該第一
及び該第二のリペア配線1a,1bと該データ線3との
交叉位置に,該データ線3と該第一及び該第二のリペア
配線1a,1bとの電気的接続を可能とする接続部9と
を有することを特徴として構成し,及び,第三の構成
は,図1及び図4を参照して,第一又は第二の構成の液
晶パネル基板において,該第一及び該第二のリペア配線
1a,1b間に接続された該ダミーデータ線6の合成抵
抗が,該データ線3の抵抗に等しいことを特徴として構
成し,及び,第四の構成は,第一,第二又は第三の構成
の液晶パネル基板において,該データ線6に代えて走査
線とし,該走査線に代えてデータ線としたことを特徴と
して構成し,及び,第五の構成に係る液晶パネルの製造
方法は,第一,第二又は第三の構成の液晶パネル基板を
用いた液晶パネルの製造方法において,該第一及び該第
二の端子4a,4b間の抵抗値を測定し,該データ線3
の断線を検出する工程と,断線が検出された該データ線
3−iに接続された該切断部7を切断状態とする切離し
工程と,該第一及び該第二のリペア配線1a,1bと断
線が検出された該データ線3−iとを該接続部9で電気
的に接続する接続工程と,該切離し工程及び該接続工程
の後,該リペア配線1a,1bが接続された該データ線
3−iの両端に設けられた該第一及び該第二の端子4
a,4b間の抵抗値を測定し,該リペア配線1a,1b
の接続の良否を検査する工程とを有することを特徴とし
て構成する。
の本発明の第一の構成に係る液晶パネル基板は,パネル
基板10上の表示領域内に相互に平行な複数のデータ線
3及び該データ線3と交叉する相互に平行な複数の走査
線を備え,該データ線3と該走査線の交叉部に画素が形
成された液晶パネル基板において,該表示領域の外側の
該パネル基板10上に設けられた帯電防止用の保護配線
5と,該データ線3に並設されたダミーデータ線6と,
該データ線3の一端に接続された第一の端子4aと,該
データ線3の他端に接続された第二の端子4bと,該第
一の端子4aと該保護配線5との間の電気的接続を,切
断可能に接続する切断部7と,該第一の端子4a近傍で
該データ線3と交叉し,かつ該保護配線5に電気的に接
続された第一のリペア配線1aと,該第二の端子4b近
傍で該データ線3と交叉し,かつ該ダミーデータ線6を
介して該保護配線5に電気的に接続された第二のリペア
配線1bと,該第一及び該第二のリペア配線1a,1b
と該データ線3との交叉位置に,該データ線3と該第一
及び該第二のリペア配線1a,1bとの電気的接続を可
能とする接続部9とを有することを特徴として構成し,
及び,第二の構成は,図4を参照して,パネル基板10
上の表示領域内に相互に平行な複数のデータ線3及び該
データ線3と交叉する相互に平行な複数の走査線を備
え,該データ線3と該走査線の交叉部に画素が形成され
た液晶パネル基板において,該表示領域の外側の該パネ
ル基板10上に設けられた帯電防止用の保護配線5と,
該データ線3に並設されたダミーデータ線6と,該デー
タ線3の一端に接続された第一の端子4aと,該データ
線3の他端に接続された第二の端子4bと,該第一の端
子4aと該保護配線5との間の電気的接続を,切断可能
に接続する切断部7と,該データ線3の該一端の近傍で
該データ線3と交叉し,かつ該ダミーデータ線6を介し
て該保護配線5に電気的に接続された第一のリペア配線
1aと,該データ線3の該他端の近傍で該データ線3と
交叉し,かつ該ダミーデータ線6を介して該保護配線5
に電気的に接続された第二のリペア配線1bと,該第一
及び該第二のリペア配線1a,1bと該データ線3との
交叉位置に,該データ線3と該第一及び該第二のリペア
配線1a,1bとの電気的接続を可能とする接続部9と
を有することを特徴として構成し,及び,第三の構成
は,図1及び図4を参照して,第一又は第二の構成の液
晶パネル基板において,該第一及び該第二のリペア配線
1a,1b間に接続された該ダミーデータ線6の合成抵
抗が,該データ線3の抵抗に等しいことを特徴として構
成し,及び,第四の構成は,第一,第二又は第三の構成
の液晶パネル基板において,該データ線6に代えて走査
線とし,該走査線に代えてデータ線としたことを特徴と
して構成し,及び,第五の構成に係る液晶パネルの製造
方法は,第一,第二又は第三の構成の液晶パネル基板を
用いた液晶パネルの製造方法において,該第一及び該第
二の端子4a,4b間の抵抗値を測定し,該データ線3
の断線を検出する工程と,断線が検出された該データ線
3−iに接続された該切断部7を切断状態とする切離し
工程と,該第一及び該第二のリペア配線1a,1bと断
線が検出された該データ線3−iとを該接続部9で電気
的に接続する接続工程と,該切離し工程及び該接続工程
の後,該リペア配線1a,1bが接続された該データ線
3−iの両端に設けられた該第一及び該第二の端子4
a,4b間の抵抗値を測定し,該リペア配線1a,1b
の接続の良否を検査する工程とを有することを特徴とし
て構成する。
【0014】本発明の第一の構成では,図1を参照し
て,データ線3の両端に第一の端子4a及び第二の端子
4bが設けられ,この端子4a,4b間の抵抗が測定さ
れ,その測定された抵抗値からデータ線3の断線の有無
が検出される。データ線3は第一の端子4aから切断部
7を通して保護配線5に電気的に接続される。切断部7
は,当初は端子4aと保護配線5とを電気的に接続する
が,断線を生じたデータ線3−iと接続する切断部7
は,断線を生じたデータ線3−iと保護配線5との電気
的接続を切離すため開放状態にされる。なお,図1には
データ線3と交叉する走査線は省略されている。
て,データ線3の両端に第一の端子4a及び第二の端子
4bが設けられ,この端子4a,4b間の抵抗が測定さ
れ,その測定された抵抗値からデータ線3の断線の有無
が検出される。データ線3は第一の端子4aから切断部
7を通して保護配線5に電気的に接続される。切断部7
は,当初は端子4aと保護配線5とを電気的に接続する
が,断線を生じたデータ線3−iと接続する切断部7
は,断線を生じたデータ線3−iと保護配線5との電気
的接続を切離すため開放状態にされる。なお,図1には
データ線3と交叉する走査線は省略されている。
【0015】リペア配線1a,1bは,通常のリペア配
線と同様にデータ線3と交叉して設けられ,各交叉位置
には必要に応じてデータ線3とリペア配線1a,1bと
を電気的に接続することができる接続部9が設けられ,
断線が検出されたデータ線3−iは接続部9を用いてリ
ペア配線1a,1bに接続される。
線と同様にデータ線3と交叉して設けられ,各交叉位置
には必要に応じてデータ線3とリペア配線1a,1bと
を電気的に接続することができる接続部9が設けられ,
断線が検出されたデータ線3−iは接続部9を用いてリ
ペア配線1a,1bに接続される。
【0016】保護配線5に接続される側の第一の端子4
aに近い第一のリペア配線1aは,直接保護配線に接続
される。他方,第二の端子4bに近い第二のリペア配線
1bは,一端が保護配線5に接続されたダミーデータ線
6の他端に接続され,このダミーデータ線6を通して保
護配線に接続される。このダミーデータ線は,データ線
と近似する抵抗を発生するために設けられたもので,デ
ータ線3と同時に製造され,データ線と同一の材料から
同一の工程を経て形成される。そのパターンは,データ
線のパターンと同一形状又は所要の抵抗値とするために
必要があれば異なる形状とすることもできる。
aに近い第一のリペア配線1aは,直接保護配線に接続
される。他方,第二の端子4bに近い第二のリペア配線
1bは,一端が保護配線5に接続されたダミーデータ線
6の他端に接続され,このダミーデータ線6を通して保
護配線に接続される。このダミーデータ線は,データ線
と近似する抵抗を発生するために設けられたもので,デ
ータ線3と同時に製造され,データ線と同一の材料から
同一の工程を経て形成される。そのパターンは,データ
線のパターンと同一形状又は所要の抵抗値とするために
必要があれば異なる形状とすることもできる。
【0017】図2は本発明の第一実施形態例等価回路図
であり,データ線の補修後の端子間抵抗の等価回路を表
している。上述した本第一の構成では,図1及び図2を
参照して,破断8を生じて断線した抵抗値Rのデータ線
3−iは,第一及び第二の端子4a,4b間の抵抗値の
上昇として検出され,接続部9を用いて第一及び第二の
リペア配線1a,1bに電気的に接続される。
であり,データ線の補修後の端子間抵抗の等価回路を表
している。上述した本第一の構成では,図1及び図2を
参照して,破断8を生じて断線した抵抗値Rのデータ線
3−iは,第一及び第二の端子4a,4b間の抵抗値の
上昇として検出され,接続部9を用いて第一及び第二の
リペア配線1a,1bに電気的に接続される。
【0018】本構成では,保護配線5に直接接続する第
一のリペア配線1aが接続されたデータ線3−i及び第
一の端子4aは,切断部7により保護配線5から切り離
される。このため,第一の端子4aは,データ線3iか
ら接続部9を介し第一のリペア配線1aを通して保護配
線5に接続する。従って,この間の接続不良,即ち補修
が不良なために抵抗値の上昇がある場合は,第一及び第
二の端子4a,4b間抵抗を測定することでこの接続不
良を用意に検出することができる。
一のリペア配線1aが接続されたデータ線3−i及び第
一の端子4aは,切断部7により保護配線5から切り離
される。このため,第一の端子4aは,データ線3iか
ら接続部9を介し第一のリペア配線1aを通して保護配
線5に接続する。従って,この間の接続不良,即ち補修
が不良なために抵抗値の上昇がある場合は,第一及び第
二の端子4a,4b間抵抗を測定することでこの接続不
良を用意に検出することができる。
【0019】他方,ダミーデータ線6を通して保護配線
5と接続する第二のリペア配線1bが接続されたデータ
線3−i及び第二の端子4bは,直接には保護配線5と
接続することはない。即ち,断線したデータ線3−iが
接続する第二の端子4bと保護配線5との間には,ダミ
ーデータ線6の抵抗が接続される。言い換えれば,正常
に補修がされた場合,第一の端子4aと第二の端子4b
との間には,ダミーデータ線6の抵抗が観察される。ダ
ミーデータ線6の抵抗値は予め知ることができるから,
端子4a,4b間の抵抗の測定により補修の良否,即ち
データ線3−iと第二のリペア配線1bとの接続不良,
又は短絡の有無を検査することができる。
5と接続する第二のリペア配線1bが接続されたデータ
線3−i及び第二の端子4bは,直接には保護配線5と
接続することはない。即ち,断線したデータ線3−iが
接続する第二の端子4bと保護配線5との間には,ダミ
ーデータ線6の抵抗が接続される。言い換えれば,正常
に補修がされた場合,第一の端子4aと第二の端子4b
との間には,ダミーデータ線6の抵抗が観察される。ダ
ミーデータ線6の抵抗値は予め知ることができるから,
端子4a,4b間の抵抗の測定により補修の良否,即ち
データ線3−iと第二のリペア配線1bとの接続不良,
又は短絡の有無を検査することができる。
【0020】かかるダミーデータ線6は,データ線と同
時に同一材料から形成される。従って,ダミーデータ線
6の抵抗値は,同一線幅,同一パターン形状であれば同
一となる。このため,端子4a,4b間抵抗がデータ線
3抵抗から掛け離れたものとなることはなく,一般的な
リペア検査装置を用いて抵抗値を測定することができる
から容易に補修の良否を判別することができる。
時に同一材料から形成される。従って,ダミーデータ線
6の抵抗値は,同一線幅,同一パターン形状であれば同
一となる。このため,端子4a,4b間抵抗がデータ線
3抵抗から掛け離れたものとなることはなく,一般的な
リペア検査装置を用いて抵抗値を測定することができる
から容易に補修の良否を判別することができる。
【0021】ダミーデータ線6は,端子4a,4b間に
1個又は複数個を直列又は並列に配することができる。
また,ダミーデータ線6の線幅又はパターン形状をデー
タ線と異なるものとすることもできる。このため,端子
4a,4b間の合成抵抗をリペア検査装置に適した値と
することができる。とくに,合成抵抗をデータ線3の抵
抗値と等しくすることで,リペア検査装置の設定を変え
ることなく補修前後のリペア検査を行うことができる。
1個又は複数個を直列又は並列に配することができる。
また,ダミーデータ線6の線幅又はパターン形状をデー
タ線と異なるものとすることもできる。このため,端子
4a,4b間の合成抵抗をリペア検査装置に適した値と
することができる。とくに,合成抵抗をデータ線3の抵
抗値と等しくすることで,リペア検査装置の設定を変え
ることなく補修前後のリペア検査を行うことができる。
【0022】本発明の第二の構成では,図1を参照し
て,第一の構成では直接に保護配線5に接続していた第
一のリペア配線1aを,図4を参照して,ダミーデータ
線6を介して保護配線5に接続する。従って,補修後の
第一及び第二の端子4a,4b間には,第一の端子4a
と保護配線5間に挿入されたダミーデータ線6の抵抗
と,第二の端子4aと保護配線5間に挿入されたダミー
データ線6の抵抗との直列抵抗が観測される。本構成で
は,第一のリペア配線1aと保護配線との短絡をも検出
できる利点がある。また,2本のリペア配線1a,1b
の特性が同一になるから,データ線3の保護配線5への
接続方向を一本おきに反対向きとする,いわゆる千鳥の
配線に適用しても,端子間特性の変動を少なくすること
ができる。
て,第一の構成では直接に保護配線5に接続していた第
一のリペア配線1aを,図4を参照して,ダミーデータ
線6を介して保護配線5に接続する。従って,補修後の
第一及び第二の端子4a,4b間には,第一の端子4a
と保護配線5間に挿入されたダミーデータ線6の抵抗
と,第二の端子4aと保護配線5間に挿入されたダミー
データ線6の抵抗との直列抵抗が観測される。本構成で
は,第一のリペア配線1aと保護配線との短絡をも検出
できる利点がある。また,2本のリペア配線1a,1b
の特性が同一になるから,データ線3の保護配線5への
接続方向を一本おきに反対向きとする,いわゆる千鳥の
配線に適用しても,端子間特性の変動を少なくすること
ができる。
【0023】本発明の第四の構成では,上述した第一〜
第三の構成におけるデータ線と走査線とを入れ換える。
即ち,リペア配線は走査線に対して接続され,走査線の
断線を救済する。本構成では,走査線とデータ線とが交
換される他はその作用,効果は第一〜第三の構成と同様
である。
第三の構成におけるデータ線と走査線とを入れ換える。
即ち,リペア配線は走査線に対して接続され,走査線の
断線を救済する。本構成では,走査線とデータ線とが交
換される他はその作用,効果は第一〜第三の構成と同様
である。
【0024】
【発明の実施の形態】本発明の第一実施形態例は,第一
の構成にかかる液晶パネル基板に関する。第一実施形態
例では,図1を参照して,絶縁性のパネル基板10の主
面に,n本のデータ線3−1〜3−nと複数本の走査線
(図1中では省略している。)とを,直交するようにマ
トリック状に形成する。これらのデータ線3−1〜3−
nと走査線との交叉点には,図外の薄膜トランジスタス
イッチを介して図外の画素電極が接続された画素が形成
されている。
の構成にかかる液晶パネル基板に関する。第一実施形態
例では,図1を参照して,絶縁性のパネル基板10の主
面に,n本のデータ線3−1〜3−nと複数本の走査線
(図1中では省略している。)とを,直交するようにマ
トリック状に形成する。これらのデータ線3−1〜3−
nと走査線との交叉点には,図外の薄膜トランジスタス
イッチを介して図外の画素電極が接続された画素が形成
されている。
【0025】かかる画素が形成される表示領域の外側
に,リペア配線1a,1b,データ線3の抵抗を測定す
るための端子4a,4b,及び接続部9が内側から外側
にこの順序で配置され,さらにその外側を取り囲む保護
配線5が設けられる。データ線3の図1中の下端は,第
一の端子4a及び切断部7を通り保護配線5に接続され
る。データ線の図1中の上端は,第二の端子に接続され
る。
に,リペア配線1a,1b,データ線3の抵抗を測定す
るための端子4a,4b,及び接続部9が内側から外側
にこの順序で配置され,さらにその外側を取り囲む保護
配線5が設けられる。データ線3の図1中の下端は,第
一の端子4a及び切断部7を通り保護配線5に接続され
る。データ線の図1中の上端は,第二の端子に接続され
る。
【0026】データ線は,例えばスパッタ法により堆積
されたTi/Al/Tiの3層構造の薄膜をパターニン
グして形成される。この時,同時にデータ線3と平行な
2本のダミーデータ線6を表示領域の両側に形成する。
このダミーデータ線6の線幅はデータ線の1/2とす
る,従って,その抵抗はデータ線3の2倍となる。
されたTi/Al/Tiの3層構造の薄膜をパターニン
グして形成される。この時,同時にデータ線3と平行な
2本のダミーデータ線6を表示領域の両側に形成する。
このダミーデータ線6の線幅はデータ線の1/2とす
る,従って,その抵抗はデータ線3の2倍となる。
【0027】第一のリペア配線1aは第一の端子4a近
くでデータ線3と交叉するように,また,第二のリペア
配線1bは第二の端子4b近くでデータ線3と交叉する
ように,第一及び第二のリペア配線1a,1bを一対と
して設ける。第一のリペア配線1aは,その両端で保護
配線5に接続される。また,第二のリペア配線1bは,
その両端においてダミーデータ線6の一端に接続され
る。このダミーデータ線6の他端は保護配線5に接続さ
れる。
くでデータ線3と交叉するように,また,第二のリペア
配線1bは第二の端子4b近くでデータ線3と交叉する
ように,第一及び第二のリペア配線1a,1bを一対と
して設ける。第一のリペア配線1aは,その両端で保護
配線5に接続される。また,第二のリペア配線1bは,
その両端においてダミーデータ線6の一端に接続され
る。このダミーデータ線6の他端は保護配線5に接続さ
れる。
【0028】図3は本発明の第一実施形態例部分平面図
であり,図1の配線の一部を拡大したものである。図3
を参照して,データ線3とリペア配線1a,1bとは,
薄い絶縁膜を介在させて交叉させ,この交叉部分を接続
部9とする。この接続部9をレーザ照射することにより
絶縁膜を破壊し,データ線3とリペア配線1a,1bと
の電気的接続がなされる。第一のリペア配線1aと保護
配線5との接続及び第二のリペア配線2bとダミーデー
タ線6との接続は,接続部9と同様に薄い絶縁膜を介在
させた構造のコンタクト部12a,12bを形成し,こ
れをレーザ照射して電気的接続をとることによりなされ
る。もちろん,絶縁膜を介在させず直接に接続すること
もできる。
であり,図1の配線の一部を拡大したものである。図3
を参照して,データ線3とリペア配線1a,1bとは,
薄い絶縁膜を介在させて交叉させ,この交叉部分を接続
部9とする。この接続部9をレーザ照射することにより
絶縁膜を破壊し,データ線3とリペア配線1a,1bと
の電気的接続がなされる。第一のリペア配線1aと保護
配線5との接続及び第二のリペア配線2bとダミーデー
タ線6との接続は,接続部9と同様に薄い絶縁膜を介在
させた構造のコンタクト部12a,12bを形成し,こ
れをレーザ照射して電気的接続をとることによりなされ
る。もちろん,絶縁膜を介在させず直接に接続すること
もできる。
【0029】切断部7は,例えばレーザ照射により熔断
されるヒューズから構成される。また,外部接続用パッ
ド11が,端子4aと切断部7の間に設けられる。ダミ
ーデータ線6は,線幅がデータ線3の1/2である他は
同一形状とする。これにより,ダミーデータ線6のイン
ピーダンスをデータ線3のインピーダンスに近くするこ
とができる。また第一及び第二の端子4a,4b間の合
成抵抗は,データ線3の抵抗と同じになる。このため,
検査装置の設定値を補修の前後で同一とすることができ
る他,液晶装置の駆動回路の負荷変動を最少に抑制する
ことができる。
されるヒューズから構成される。また,外部接続用パッ
ド11が,端子4aと切断部7の間に設けられる。ダミ
ーデータ線6は,線幅がデータ線3の1/2である他は
同一形状とする。これにより,ダミーデータ線6のイン
ピーダンスをデータ線3のインピーダンスに近くするこ
とができる。また第一及び第二の端子4a,4b間の合
成抵抗は,データ線3の抵抗と同じになる。このため,
検査装置の設定値を補修の前後で同一とすることができ
る他,液晶装置の駆動回路の負荷変動を最少に抑制する
ことができる。
【0030】本発明の第二実施形態例では,図4を参照
して,全てのリペア配線1a,1bをダミーデータ線6
を通して保護配線5に接続する。即ち,それぞれデータ
線3の両端近傍で交叉するように配設された第一及び第
二のリペア配線1a,1bの両端に,保護配線5に接続
されたダミーデータ線6を接続する。
して,全てのリペア配線1a,1bをダミーデータ線6
を通して保護配線5に接続する。即ち,それぞれデータ
線3の両端近傍で交叉するように配設された第一及び第
二のリペア配線1a,1bの両端に,保護配線5に接続
されたダミーデータ線6を接続する。
【0031】ダミーデータ線6及びデータ線3は,それ
ぞれ直接に及び端子4aを通して,一本おきに反対側の
保護配線5に千鳥に接続される。ダミーデータ線6はデ
ータ線3と同一パターン形状することで,端子4a,4
b間の合成抵抗をデータ線3の抵抗と同一にすることが
できる。本構成では,保護配線5と各端子4a,4b間
との抵抗を測定して補修の良否を判断することもでき
る。
ぞれ直接に及び端子4aを通して,一本おきに反対側の
保護配線5に千鳥に接続される。ダミーデータ線6はデ
ータ線3と同一パターン形状することで,端子4a,4
b間の合成抵抗をデータ線3の抵抗と同一にすることが
できる。本構成では,保護配線5と各端子4a,4b間
との抵抗を測定して補修の良否を判断することもでき
る。
【0032】図5は本発明の第三実施形態例平面図であ
り,データ配線及びリペア配線の構成を表している。第
三実施形態例では,第一実施形態例においてリペア配線
の両側に接続するダミーデータ線を,図5を参照して,
リペア配線1bの片側にのみ設けたものである。この構
成では,ダミーデータ線6をデータ線3と同一形状に形
成することにより,端子4a,4b間の合成抵抗をデー
タ線3の抵抗と等しくすることができる。なお,第二の
実施形態例においても,リペア配線1a,1bの片側に
のみダミーデータ線を接続してもよい。さらに,第三の
実施形態例において,データ配線を千鳥に設けることも
できる。また,本発明の実施形態例において,外部接続
用パッドと抵抗測定用の端子とを一個の端子で兼用する
こともできる。
り,データ配線及びリペア配線の構成を表している。第
三実施形態例では,第一実施形態例においてリペア配線
の両側に接続するダミーデータ線を,図5を参照して,
リペア配線1bの片側にのみ設けたものである。この構
成では,ダミーデータ線6をデータ線3と同一形状に形
成することにより,端子4a,4b間の合成抵抗をデー
タ線3の抵抗と等しくすることができる。なお,第二の
実施形態例においても,リペア配線1a,1bの片側に
のみダミーデータ線を接続してもよい。さらに,第三の
実施形態例において,データ配線を千鳥に設けることも
できる。また,本発明の実施形態例において,外部接続
用パッドと抵抗測定用の端子とを一個の端子で兼用する
こともできる。
【0033】
【発明の効果】上述したように,本発明によれば,デー
タ線抵抗測定用の端子間の抵抗値を補修前後で同程度に
することができるので,補修前後の端子間抵抗を同一の
リペア検査装置で測定することができる。また,リペア
配線の短絡及び接続不良を検出することができる。この
ため,信頼性に優れた液晶パネルを容易に製造すること
ができ,液晶表示装置の性能向上に寄与するところが大
きい。
タ線抵抗測定用の端子間の抵抗値を補修前後で同程度に
することができるので,補修前後の端子間抵抗を同一の
リペア検査装置で測定することができる。また,リペア
配線の短絡及び接続不良を検出することができる。この
ため,信頼性に優れた液晶パネルを容易に製造すること
ができ,液晶表示装置の性能向上に寄与するところが大
きい。
【図1】 本発明の第一実施形態例平面図
【図2】 本発明の第一実施形態例等価回路図
【図3】 本発明の第一実施形態例部分平面図
【図4】 本発明の第二実施形態例平面図
【図5】 本発明の第三実施形態例平面図
【図6】 従来例液晶パネル基板平面図
1a,1b リペア配線 3,3−1〜3−n データ線 4a,4b 端子 5 保護配線 6 ダミーデータ線 7 切断部 9 接続部 10 パネル基板 11 外部接続用パッド 12a,12b コンタクト部 21 走査線
Claims (5)
- 【請求項1】 パネル基板上の表示領域内に相互に平行
な複数のデータ線及び該データ線と交叉する相互に平行
な複数の走査線を備え,該データ線と該走査線の交叉部
に画素が形成された液晶パネル基板において,該表示領
域の外側の該パネル基板上に設けられた帯電防止用の保
護配線と,該データ線に並設されたダミーデータ線と,
該データ線の一端に接続された第一の端子と,該データ
線の他端に接続された第二の端子と,該第一の端子と該
保護配線との間の電気的接続を,切断可能に接続する切
断部と,該第一の端子近傍で該データ線と交叉し,かつ
該保護配線に電気的に接続された第一のリペア配線と,
該第二の端子近傍で該データ線と交叉し,かつ該ダミー
データ線を介して該保護配線に電気的に接続された第二
のリペア配線と,該第一及び該第二のリペア配線と該デ
ータ線との交叉位置に,該データ線と該第一及び該第二
のリペア配線との電気的接続を可能とする接続部とを有
することを特徴とする液晶パネル基板。 - 【請求項2】 パネル基板上の表示領域内に相互に平行
な複数のデータ線及び該データ線と交叉する相互に平行
な複数の走査線を備え,該データ線と該走査線の交叉部
に画素が形成された液晶パネル基板において,該表示領
域の外側の該パネル基板上に設けられた帯電防止用の保
護配線と,該データ線に並設されたダミーデータ線と,
該データ線の一端に接続された第一の端子と,該データ
線の他端に接続された第二の端子と,該第一の端子と該
保護配線との間の電気的接続を,切断可能に接続する切
断部と,該データ線の該一端の近傍で該データ線と交叉
し,かつ該ダミーデータ線を介して該保護配線に電気的
に接続された第一のリペア配線と,該データ線の該他端
の近傍で該データ線と交叉し,かつ該ダミーデータ線を
介して該保護配線に電気的に接続された第二のリペア配
線と,該第一及び該第二のリペア配線と該データ線との
交叉位置に,該データ線と該第一及び該第二のリペア配
線との電気的接続を可能とする接続部とを有することを
特徴とする液晶パネル基板。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載の液晶パネル基板に
おいて,該第一及び該第二のリペア配線間に接続された
該ダミーデータ線の合成抵抗が,該データ線の抵抗に等
しいことを特徴とする液晶パネル基板。 - 【請求項4】 請求項1,2又は3記載の液晶パネル基
板において,該データ線に代えて走査線とし,該走査線
に代えてデータ線としたことを特徴とする液晶パネル基
板。 - 【請求項5】 請求項1,2又は3記載の液晶パネル基
板を用いた液晶パネルの製造方法において,該第一及び
該第二の端子間の抵抗値を測定し,該データ線の断線を
検出する工程と,断線が検出された該データ線に接続さ
れた該切断部を切断状態とする切離し工程と,該第一及
び該第二のリペア配線と断線が検出された該データ線と
を該接続部で電気的に接続する接続工程と,該切離し工
程及び該接続工程の後,該リペア配線が接続された該デ
ータ線の両端に設けられた該第一及び該第二の端子間の
抵抗値を測定し,該リペア配線の接続の良否を検査する
工程とを有することを特徴とする液晶パネルの製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8053054A JPH09244048A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 液晶パネル基板及び液晶パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8053054A JPH09244048A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 液晶パネル基板及び液晶パネルの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09244048A true JPH09244048A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=12932153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8053054A Withdrawn JPH09244048A (ja) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 液晶パネル基板及び液晶パネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09244048A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000004398A (ko) * | 1998-06-30 | 2000-01-25 | 김영환 | 액정 표시 패널의 리페어 방법 |
JP2006171672A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Samsung Electronics Co Ltd | アレイ基板、アレイ基板を有する表示装置、及びアレイ基板のリペアー方法 |
US7439589B2 (en) | 2005-08-08 | 2008-10-21 | Au Optronics Corporation | Active matrix substrate and repairing method thereof |
CN102608799A (zh) * | 2011-11-30 | 2012-07-25 | 友达光电股份有限公司 | 裸眼式立体显示器 |
US8354989B2 (en) * | 2004-02-19 | 2013-01-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display panel and display apparatus having the same |
TWI401492B (zh) * | 2010-05-17 | 2013-07-11 | Au Optronics Corp | 主動元件陣列基板及其修補方法 |
CN104216149A (zh) * | 2014-09-30 | 2014-12-17 | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 | 一种具有修补线结构的液晶显示面板 |
US10211366B2 (en) | 2016-02-05 | 2019-02-19 | Au Optronics Corporation | Self-emission type display and repairing method thereof |
CN109683413A (zh) * | 2019-02-13 | 2019-04-26 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种阵列基板及其断线修复方法 |
-
1996
- 1996-03-11 JP JP8053054A patent/JPH09244048A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000004398A (ko) * | 1998-06-30 | 2000-01-25 | 김영환 | 액정 표시 패널의 리페어 방법 |
US8354989B2 (en) * | 2004-02-19 | 2013-01-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display panel and display apparatus having the same |
JP2006171672A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Samsung Electronics Co Ltd | アレイ基板、アレイ基板を有する表示装置、及びアレイ基板のリペアー方法 |
US7439589B2 (en) | 2005-08-08 | 2008-10-21 | Au Optronics Corporation | Active matrix substrate and repairing method thereof |
TWI401492B (zh) * | 2010-05-17 | 2013-07-11 | Au Optronics Corp | 主動元件陣列基板及其修補方法 |
CN102608799A (zh) * | 2011-11-30 | 2012-07-25 | 友达光电股份有限公司 | 裸眼式立体显示器 |
US8582039B2 (en) | 2011-11-30 | 2013-11-12 | Au Optronics Corporation | Naked-eye type stereoscopic display |
CN104216149A (zh) * | 2014-09-30 | 2014-12-17 | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 | 一种具有修补线结构的液晶显示面板 |
US10211366B2 (en) | 2016-02-05 | 2019-02-19 | Au Optronics Corporation | Self-emission type display and repairing method thereof |
CN109683413A (zh) * | 2019-02-13 | 2019-04-26 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种阵列基板及其断线修复方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR940006156B1 (ko) | 액정표시소자 제조방법 | |
JP2715936B2 (ja) | 薄膜トランジスタ型液晶表示装置とその製造方法 | |
JP3251474B2 (ja) | アクティブマトリクス基板 | |
JPH0626987A (ja) | Lcdパネルにおける交差短絡欠陥の位置を決定する方法および装置 | |
KR0142014B1 (ko) | 표시장치의 검사장치 및 검사방법 | |
KR100490040B1 (ko) | 두개이상의쇼팅바를갖는액정표시장치및그제조방법 | |
JPH09244048A (ja) | 液晶パネル基板及び液晶パネルの製造方法 | |
KR100576629B1 (ko) | 액정표시장치의 tft어레이 기판 및 그 검사방법 | |
JPH07281210A (ja) | 液晶表示デバイスおよびその欠陥救済確認の検査方法 | |
JP2834935B2 (ja) | アクティブマトリクス型表示素子及びその製造方法 | |
JP3586049B2 (ja) | 液晶表示パネル | |
KR100318537B1 (ko) | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 수리 방법 | |
JPH05333370A (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示素子 | |
KR20070033699A (ko) | 박막트랜지스터 기판 및 그 검사와 수리방법 | |
JP2020531874A (ja) | アレイ基板の製造方法、アレイ基板の中間製品、及びアレイ基板 | |
US7049527B1 (en) | Conductor-pattern testing method, and electro-optical device | |
JPH07287249A (ja) | 薄膜トランジスタアレイ及びその検査方法 | |
JPH10268273A (ja) | 液晶表示基板 | |
TWI400515B (zh) | 薄膜電晶體陣列電路缺陷修補之即時檢測方法 | |
JP3014915B2 (ja) | 多面取り薄膜トランジスタアレイ基板及びその検査方法 | |
JPH0264594A (ja) | マトリクス型画像表示装置用検査装置およびその短絡検査方法、短絡欠陥修正方法、点欠陥検査方法 | |
JPH0394223A (ja) | アクティブマトリクス表示装置の製造方法 | |
KR20020088450A (ko) | 액정표시장치 어레이 기판 | |
JPH08110526A (ja) | 薄膜トランジスタ基板の集合基板 | |
JPH07113727B2 (ja) | アクティブマトリックスアレイ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |