JPH09222344A - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JPH09222344A JPH09222344A JP2929296A JP2929296A JPH09222344A JP H09222344 A JPH09222344 A JP H09222344A JP 2929296 A JP2929296 A JP 2929296A JP 2929296 A JP2929296 A JP 2929296A JP H09222344 A JPH09222344 A JP H09222344A
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- JP
- Japan
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- flow rate
- alarm
- signal
- mass flow
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- Pending
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 設定流量に対する実流量のずれが許容量から
外れた場合に発せられるアラーム機能の信頼性が向上し
たマスフローコントローラとすること。 【解決手段】 流入路１と、バイパス流路２と、センサ
流路31と、質量流量センサ３と、流量制御弁５と、制御
回路部11，12と、流出路４とを有し、設定流量に対する
実流量の差が予め設定した許容量を外れたときアラーム
を発するようにしたアラーム機能を備えたマスフローコ
ントローラであって、前記許容量は、任意の流量で、か
つ可変に設定できるようにした。
外れた場合に発せられるアラーム機能の信頼性が向上し
たマスフローコントローラとすること。 【解決手段】 流入路１と、バイパス流路２と、センサ
流路31と、質量流量センサ３と、流量制御弁５と、制御
回路部11，12と、流出路４とを有し、設定流量に対する
実流量の差が予め設定した許容量を外れたときアラーム
を発するようにしたアラーム機能を備えたマスフローコ
ントローラであって、前記許容量は、任意の流量で、か
つ可変に設定できるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造プロセ
ス等で用いられる各種ガスの質量流量を制御するマスフ
ローコントローラに関し、特に設定流量に対して実流量
が許容量以上に外れたとき警報アラームを発するアラー
ム機能を備えたマスフローコントローラに関するもので
ある。
ス等で用いられる各種ガスの質量流量を制御するマスフ
ローコントローラに関し、特に設定流量に対して実流量
が許容量以上に外れたとき警報アラームを発するアラー
ム機能を備えたマスフローコントローラに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】マスフローコントローラの一例を図４に
示す。このＭＦＣは流体の流入路50と、この流入路50の
流体を所定の割合に別けて流すバイパス流路51と、細管
からなるセンサ流路52と、このセンサ流路に設けた質量
流量センサ55と、前記バイパス流路51およびセンサ流路
52の流体が合流する流出路53と、この流出路53の途中に
設けた流量制御弁54と、質量流量センサ55の検出信号を
増幅する増幅回路56と、この増幅した検出信号と予め設
定した質量流量設定信号57とを比較し、前記流量制御弁
54へ駆動信号を出力する比較制御回路部58とからなって
いる。上記質量流量センサ55としては、例えば内直径が
0.5mm程の細いステンレス鋼製の細管52の外周面の上流
側にコイル62と、下流側にコイル63とを巻き、さらにこ
れらコイル62、コイル63と他の抵抗素子、通常２個とで
ブリッジ回路60を構成した熱式質量流量計がある。（例
えば特公昭56−23094号公報参照）
示す。このＭＦＣは流体の流入路50と、この流入路50の
流体を所定の割合に別けて流すバイパス流路51と、細管
からなるセンサ流路52と、このセンサ流路に設けた質量
流量センサ55と、前記バイパス流路51およびセンサ流路
52の流体が合流する流出路53と、この流出路53の途中に
設けた流量制御弁54と、質量流量センサ55の検出信号を
増幅する増幅回路56と、この増幅した検出信号と予め設
定した質量流量設定信号57とを比較し、前記流量制御弁
54へ駆動信号を出力する比較制御回路部58とからなって
いる。上記質量流量センサ55としては、例えば内直径が
0.5mm程の細いステンレス鋼製の細管52の外周面の上流
側にコイル62と、下流側にコイル63とを巻き、さらにこ
れらコイル62、コイル63と他の抵抗素子、通常２個とで
ブリッジ回路60を構成した熱式質量流量計がある。（例
えば特公昭56−23094号公報参照）
【０００３】近年、半導体製造プロセスの進展とともに
ＭＦＣに流す流体の種類は増々多くなり、多様化して来
ている。こうした中でＭＦＣに例えば腐食性を有するガ
ス、あるいは熱分解しやすいガスなどを長時間流すと、
センサ部に用いられている細管内でガスが分解して固形
物化し、内壁に付着したり、他のガスと反応して反応し
た物質が細管内に付着して目詰りを起こすことがある。
この結果センサ部の感度が変化し、バイパス流路には十
分流体が流れているのにセンサ部を流れる流量が少なく
なり設定流量に対して実流量（実際の流量）を多くして
しまうということが起る。このため、マスフローコント
ローラでは、設定流量に対する実流量の差が予め設定し
た許容量（以下アラーム幅という。）が外れたときアラ
ーム（警報音や警報ランプ等）を発するようにしたいわ
ゆるアラーム機能を備えることが行われる。
ＭＦＣに流す流体の種類は増々多くなり、多様化して来
ている。こうした中でＭＦＣに例えば腐食性を有するガ
ス、あるいは熱分解しやすいガスなどを長時間流すと、
センサ部に用いられている細管内でガスが分解して固形
物化し、内壁に付着したり、他のガスと反応して反応し
た物質が細管内に付着して目詰りを起こすことがある。
この結果センサ部の感度が変化し、バイパス流路には十
分流体が流れているのにセンサ部を流れる流量が少なく
なり設定流量に対して実流量（実際の流量）を多くして
しまうということが起る。このため、マスフローコント
ローラでは、設定流量に対する実流量の差が予め設定し
た許容量（以下アラーム幅という。）が外れたときアラ
ーム（警報音や警報ランプ等）を発するようにしたいわ
ゆるアラーム機能を備えることが行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のもの
では上記アラームの設定は、各々のマスフローコントロ
ーラのフルスケール流量に対して±数％（10％前後が多
い）の許容量を設定するということでしか行われていな
かった（図３（ｂ）参照）。この場合、最大流量を流し
たときのアラーム幅が全流量範囲（０〜100％）にわた
って有効に働き常に一定量のアラーム幅でしかなかっ
た。したがって、設定流量を変化させて使用するときで
もアラーム検出幅は変らないから、小流量域になる程、
制御流量に対してアラーム幅が占める流量割合が大きく
なってしまう。つまり相対的に許容できる範囲が広がる
結果となり、小流量域では設定流量と実流量との差が大
きくなってもアラームが発せられないという問題があっ
た。
では上記アラームの設定は、各々のマスフローコントロ
ーラのフルスケール流量に対して±数％（10％前後が多
い）の許容量を設定するということでしか行われていな
かった（図３（ｂ）参照）。この場合、最大流量を流し
たときのアラーム幅が全流量範囲（０〜100％）にわた
って有効に働き常に一定量のアラーム幅でしかなかっ
た。したがって、設定流量を変化させて使用するときで
もアラーム検出幅は変らないから、小流量域になる程、
制御流量に対してアラーム幅が占める流量割合が大きく
なってしまう。つまり相対的に許容できる範囲が広がる
結果となり、小流量域では設定流量と実流量との差が大
きくなってもアラームが発せられないという問題があっ
た。
【０００５】よって、本発明は上記問題点を解決し、ア
ラーム機能の信頼性を高めたマスローコントローラを提
供することを目的とする。
ラーム機能の信頼性を高めたマスローコントローラを提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、流入
路と、バイパス流路と、センサ流路と、質量流量センサ
と、流量制御弁と、制御回路部と、流出路とを有し、設
定流量に対する実流量の差が予め設定した許容量を外れ
たときアラームを発するようにしたアラーム機能を備え
たマスフローコントローラであって、前記許容量は、任
意の設定流量で、かつ可変に設定できるようにしたマス
フローコントローラである。
路と、バイパス流路と、センサ流路と、質量流量センサ
と、流量制御弁と、制御回路部と、流出路とを有し、設
定流量に対する実流量の差が予め設定した許容量を外れ
たときアラームを発するようにしたアラーム機能を備え
たマスフローコントローラであって、前記許容量は、任
意の設定流量で、かつ可変に設定できるようにしたマス
フローコントローラである。
【０００７】このマスフローコントローラによれば、図
３の実線（ｂ）に示すように従来は、対フルスケール流
量に対する許容量を用いており、アラーム検出幅は全流
量範囲にわたって一律であったのに対し、本発明では、
この許容量およびアラーム幅の設定がそれぞれ流量制御
しようとする設定流量（以下セットポイント流量と言う
ことがある。）に対して独自にかつ可変に出来るから、
例えば図３の点線（ａ）で示すように、大流量域であれ
ばそのアラーム幅（許容量とみなす）は大きく、逆に小
流量域では狭くするというように、相対的にその流量に
見合った許容幅とすることができ、その結果アラーム機
能の誤差が少なく信頼性の高いものとなる。また、例え
ばパージをするためだけのマスフローコントローラであ
れば、アラーム幅の大小は無視できるから、この場合は
従来同様フルスケール流量だけに対してアラーム幅を設
定すれば良いというように、マスフローコントローラの
使用目的に合せてアラーム検出幅を設定すればよくアラ
ーム機能の選択の幅が広がった。
３の実線（ｂ）に示すように従来は、対フルスケール流
量に対する許容量を用いており、アラーム検出幅は全流
量範囲にわたって一律であったのに対し、本発明では、
この許容量およびアラーム幅の設定がそれぞれ流量制御
しようとする設定流量（以下セットポイント流量と言う
ことがある。）に対して独自にかつ可変に出来るから、
例えば図３の点線（ａ）で示すように、大流量域であれ
ばそのアラーム幅（許容量とみなす）は大きく、逆に小
流量域では狭くするというように、相対的にその流量に
見合った許容幅とすることができ、その結果アラーム機
能の誤差が少なく信頼性の高いものとなる。また、例え
ばパージをするためだけのマスフローコントローラであ
れば、アラーム幅の大小は無視できるから、この場合は
従来同様フルスケール流量だけに対してアラーム幅を設
定すれば良いというように、マスフローコントローラの
使用目的に合せてアラーム検出幅を設定すればよくアラ
ーム機能の選択の幅が広がった。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を以下図面に基
づき説明する。図１は一実施例を示すアラーム機能付の
マスフローコントローラの機能ブロック図である。本実
施例のマスフローコントローラは、基本的に従来と同様
のマスフローコントローラ部分にアラーム機能を付加し
たものである。ただし、これらの構成部分が一体的にあ
るいは近接して設けられていると限定するものではな
い。
づき説明する。図１は一実施例を示すアラーム機能付の
マスフローコントローラの機能ブロック図である。本実
施例のマスフローコントローラは、基本的に従来と同様
のマスフローコントローラ部分にアラーム機能を付加し
たものである。ただし、これらの構成部分が一体的にあ
るいは近接して設けられていると限定するものではな
い。
【０００９】先ず、マスフローコントローラ部分を説明
する。図１で被測定流体、例えばプロセスガスがマスフ
ローコントローラの流入口から流入路１を通り、並列に
分かれたバイパス流路２とセンサ流路31とに所定の割合
で分流する。更にバイパス流路２およびセンサ流路31を
通過したガスは再び合流して流出路４を流れ、この流出
路４の途中に設けられた流量制御弁５によって流量を制
御され流出口より流出される。
する。図１で被測定流体、例えばプロセスガスがマスフ
ローコントローラの流入口から流入路１を通り、並列に
分かれたバイパス流路２とセンサ流路31とに所定の割合
で分流する。更にバイパス流路２およびセンサ流路31を
通過したガスは再び合流して流出路４を流れ、この流出
路４の途中に設けられた流量制御弁５によって流量を制
御され流出口より流出される。
【００１０】センサ流路31には流量に応じた質量流量信
号を出力するセンサ３が設けられており、通常上流側コ
イル32と下流側コイル33とは同電気抵抗値で、一定電流
を流すと同熱量を発生する。センサ流路31にガスが流れ
ると、上流側コイル32に発生した熱量をガスが奪い、こ
の温度の上昇したガスによって下流側コイル33は加温さ
れる。この結果下流側コイル33の方が上流側コイル32よ
り温度が高くなり、これに応じて電気抵抗値にも差が出
てくる。この差をブリッジ回路６を介して不平衡電圧と
して取り出すと、センサ流路31内を流れるガスの質量流
量はこの不平衡電圧とある関係にあるので、不平衡電圧
を検出することにより質量流量を測定することができ
る。尚、このような熱式質量流量センサとして、他に定
温度センサ（特公平４−４９８９３号）や定温度差セン
サ（特開平１−１５０８１７号）が利用できる。
号を出力するセンサ３が設けられており、通常上流側コ
イル32と下流側コイル33とは同電気抵抗値で、一定電流
を流すと同熱量を発生する。センサ流路31にガスが流れ
ると、上流側コイル32に発生した熱量をガスが奪い、こ
の温度の上昇したガスによって下流側コイル33は加温さ
れる。この結果下流側コイル33の方が上流側コイル32よ
り温度が高くなり、これに応じて電気抵抗値にも差が出
てくる。この差をブリッジ回路６を介して不平衡電圧と
して取り出すと、センサ流路31内を流れるガスの質量流
量はこの不平衡電圧とある関係にあるので、不平衡電圧
を検出することにより質量流量を測定することができ
る。尚、このような熱式質量流量センサとして、他に定
温度センサ（特公平４−４９８９３号）や定温度差セン
サ（特開平１−１５０８１７号）が利用できる。
【００１１】検出された不平衡電圧ｅは増幅回路７とＡ
／Ｄ変換器８を通って、増幅され質量流量信号ｂとなっ
て比較部11に入力される。一方、比較部11には制御流量
に相当する質量流量設定信号ａ（電圧）が流量設定部９
よりＡ／Ｄ変換器10を通って入力される。そのため比較
部11はセンサ部で検出した質量流量信号ｂと質量流量設
定信号ａとを比較し、この差に比例した信号ｈを弁駆動
電圧決定回路12へ出力する。弁駆動電圧決定回路12では
上記信号ｈと現在の駆動信号をもとに内蔵された弁駆動
電圧決定プログラムでＰＩＤ制御が行われ弁駆動信号Ｖ
を出力する。そしてＤ／Ａ変換器13を介して流量制御弁
５のアクチュエータに駆動電圧として入力され、その結
果流量制御弁５を駆動し弁開度は上記の差を減じるよう
に変化する。こうして流量制御弁５は弁開度を調整され
質量流量設定信号ａに応じた制御流量を保つように制御
される。
／Ｄ変換器８を通って、増幅され質量流量信号ｂとなっ
て比較部11に入力される。一方、比較部11には制御流量
に相当する質量流量設定信号ａ（電圧）が流量設定部９
よりＡ／Ｄ変換器10を通って入力される。そのため比較
部11はセンサ部で検出した質量流量信号ｂと質量流量設
定信号ａとを比較し、この差に比例した信号ｈを弁駆動
電圧決定回路12へ出力する。弁駆動電圧決定回路12では
上記信号ｈと現在の駆動信号をもとに内蔵された弁駆動
電圧決定プログラムでＰＩＤ制御が行われ弁駆動信号Ｖ
を出力する。そしてＤ／Ａ変換器13を介して流量制御弁
５のアクチュエータに駆動電圧として入力され、その結
果流量制御弁５を駆動し弁開度は上記の差を減じるよう
に変化する。こうして流量制御弁５は弁開度を調整され
質量流量設定信号ａに応じた制御流量を保つように制御
される。
【００１２】次にアラーム機能について図２のアラーム
検知ルーチンを示すフローチャートと共に説明する。ま
ず各種アラーム機能（設定流量対実流量不一致エラー，
ＣＰＵエラー，通信エラー，電源電圧異常など）の出力
ＯＦＦの有無を確認（図２−）し、次に上記アラーム
の内、本発明でもある設定流量対実流量不一致アラーム
の出力ＯＦＦの有無を確認（図２−）する。上記でい
ずれも出力ＯＦＦ有の場合はアラーム機能は出力オフ
（図２−）となる。
検知ルーチンを示すフローチャートと共に説明する。ま
ず各種アラーム機能（設定流量対実流量不一致エラー，
ＣＰＵエラー，通信エラー，電源電圧異常など）の出力
ＯＦＦの有無を確認（図２−）し、次に上記アラーム
の内、本発明でもある設定流量対実流量不一致アラーム
の出力ＯＦＦの有無を確認（図２−）する。上記でい
ずれも出力ＯＦＦ有の場合はアラーム機能は出力オフ
（図２−）となる。
【００１３】さて、流量設定部９では任意の設定流量、
いわゆるセットポイント流量を０〜５Ｖの出力電圧に代
えて設定することができ、これを設定流量値の信号ａと
して出力する。スイッチ14は、設定流量値ａと、フルス
ケール流量における出力電圧信号であるフルスケール流
量値ｆとを切替えるものであり、ここで対設定流量のア
ラーム設定とするか、あるいは対フルスケール流量のア
ラーム設定とするかの選択（図２−）が行えるように
した。
いわゆるセットポイント流量を０〜５Ｖの出力電圧に代
えて設定することができ、これを設定流量値の信号ａと
して出力する。スイッチ14は、設定流量値ａと、フルス
ケール流量における出力電圧信号であるフルスケール流
量値ｆとを切替えるものであり、ここで対設定流量のア
ラーム設定とするか、あるいは対フルスケール流量のア
ラーム設定とするかの選択（図２−）が行えるように
した。
【００１４】ここで、対設定流量のアラームが選択され
たとすると、設定流量値ａは乗算回路23へ入力される。
他方、ここにはアラーム幅メモリ22から任意のアラーム
幅、例えば５％などの信号ｉも入力され、両者を乗算し
た許容量ｇが決定される。そして、この許容量ｇは比較
回路26へ出力される。一方で、設定流量値ａと、センサ
からの質量値信号ｂは減算回路24に入り、設定流量値−
実流量値（Ｃ＝ａ−ｂ）の流量差値ｃを出力し、続いて
流量差値ｃは絶対回路25で絶対値化された信号値ｄとな
る。そして、この信号ｄは上記比較回路26へ出力され
る。比較回路26では、上記した許容量ｇと流量差値ｄと
を比較し、ｇ＜ｄとなったときの信号Ｒが出力される
（図２−）と、設定流量値対実流量値不一致アラーム
出力をオン（図２−）し、アラーム27を出力する。
たとすると、設定流量値ａは乗算回路23へ入力される。
他方、ここにはアラーム幅メモリ22から任意のアラーム
幅、例えば５％などの信号ｉも入力され、両者を乗算し
た許容量ｇが決定される。そして、この許容量ｇは比較
回路26へ出力される。一方で、設定流量値ａと、センサ
からの質量値信号ｂは減算回路24に入り、設定流量値−
実流量値（Ｃ＝ａ−ｂ）の流量差値ｃを出力し、続いて
流量差値ｃは絶対回路25で絶対値化された信号値ｄとな
る。そして、この信号ｄは上記比較回路26へ出力され
る。比較回路26では、上記した許容量ｇと流量差値ｄと
を比較し、ｇ＜ｄとなったときの信号Ｒが出力される
（図２−）と、設定流量値対実流量値不一致アラーム
出力をオン（図２−）し、アラーム27を出力する。
【００１５】一方、図２−でフルスケール流量でのア
ラームを設定したいときは、スイッチ14をフルスケール
値側に切替え、フルスケール流量値ｆを信号ｊとして乗
算回路23へ入力させる。その後は図２−のフローに入
り、上記と同様の乗減算及び比較を行うので以下の説明
は省略する。
ラームを設定したいときは、スイッチ14をフルスケール
値側に切替え、フルスケール流量値ｆを信号ｊとして乗
算回路23へ入力させる。その後は図２−のフローに入
り、上記と同様の乗減算及び比較を行うので以下の説明
は省略する。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、フルスケ
ール流量でも、また任意の設定（セットポイント）流量
でもアラームの設定ができるから、それぞれ流量に見合
うアラーム幅となり、アラーム機能の正確性が増し、ま
た誤差が少なくなり信頼性の高いマスフローコントロー
ラとなった。
ール流量でも、また任意の設定（セットポイント）流量
でもアラームの設定ができるから、それぞれ流量に見合
うアラーム幅となり、アラーム機能の正確性が増し、ま
た誤差が少なくなり信頼性の高いマスフローコントロー
ラとなった。
【図１】 本発明の一実施例を示すマスフローコントロ
ーラのブロック図である。
ーラのブロック図である。
【図２】 実施例のアラーム検知ルーチンを示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図３】 アラーム幅の設定を説明する図である。
【図４】 マスフローコントローラの基本構成を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
１…流入路 ２…バイパ
ス流路 ３（32，33）…質量流量センサ ４…流出路 ５…流量制御弁 ６…ブリッ
チ回路 ７…アンプ ８，10…Ａ
／Ｄ変換器 ９…質量設定部 11…比較部 12…弁駆動電圧決定回路 13…Ｄ／Ａ
変換器 14…切替スイッチ 20…フルス
ケール流量値 21…アラームモードメモリ 22…アラー
ム幅メモリ 23…乗算回路 24…減算回
路 25…絶対値回路 26…比較回
路 27…アラーム出力部
ス流路 ３（32，33）…質量流量センサ ４…流出路 ５…流量制御弁 ６…ブリッ
チ回路 ７…アンプ ８，10…Ａ
／Ｄ変換器 ９…質量設定部 11…比較部 12…弁駆動電圧決定回路 13…Ｄ／Ａ
変換器 14…切替スイッチ 20…フルス
ケール流量値 21…アラームモードメモリ 22…アラー
ム幅メモリ 23…乗算回路 24…減算回
路 25…絶対値回路 26…比較回
路 27…アラーム出力部
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/3065 Ｈ０１Ｌ 21/302 Ｂ
Claims (2)
- 【請求項１】 流入路と、バイパス流路と、センサ流路
と、質量流量センサと、流量制御弁と、制御回路部と、
流出路とを有し、設定流量に対する実流量の差が予め設
定した許容量を外れたときアラームを発するようにした
アラーム機能を備えたマスフローコントローラであっ
て、前記許容量は、任意の設定流量で、かつ可変に設定
できるようにしたことを特徴とするマスフローコントロ
ーラ。 - 【請求項２】 前記アラーム機能は、アラーム幅の設定
手段と、フルスケール流量値信号あるいは設定流量値信
号とアラーム幅を乗算して許容値を出す手段と、設定流
量信号と実流量値信号との差の絶対値をとる手段と、前
記許容値と前記絶対値を比較する手段と、アラーム出力
手段とを有することを特徴とする請求項１記載のマスフ
ローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2929296A JPH09222344A (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2929296A JPH09222344A (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | マスフローコントローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09222344A true JPH09222344A (ja) | 1997-08-26 |
Family
ID=12272179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2929296A Pending JPH09222344A (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09222344A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002054020A1 (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-11 | Ses Tech Co Ltd | Time based mass flow controller and method for controlling flow rate using it |
| US6782906B2 (en) | 2000-12-28 | 2004-08-31 | Young-Chul Chang | Time based mass flow controller and method for controlling flow rate using it |
| KR100489307B1 (ko) * | 2002-08-14 | 2005-05-16 | 장영철 | 시간식 비압축성 유체 유량 제어장치 및 이를 이용한시간식 비압축성 유체 유량 제어방법 |
| JP2007075316A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Pentax Corp | 内視鏡用送気装置 |
| CN114121585A (zh) * | 2020-08-26 | 2022-03-01 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种等离子体处理装置及气体供应方法 |
-
1996
- 1996-02-16 JP JP2929296A patent/JPH09222344A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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