JPH06229800A

JPH06229800A - 異常診断機能付マスフローセンサ及び異常診断方法

Info

Publication number: JPH06229800A
Application number: JP5039521A
Authority: JP
Inventors: Makoto Tanaka; 田中　　誠
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1993-02-03
Filing date: 1993-02-03
Publication date: 1994-08-19

Abstract

(57)【要約】【目的】全流量制御範囲内の任意の指定流量でいつで
もセンサ部の目詰まり等の異常の有無を診断する機能を
備えたマスフローコントローラを提供する。【構成】流体が流れる導管に温度に応じて電気抵抗が
変化する２個の抵抗体を設け、両抵抗体の電気抵抗の差
ΔＲを計測し、該電気抵抗の差ΔＲに基づいて、導管内
の流体の質量流量を計測する流量計において、予め全流
量範囲にわたって両抵抗体に加わるセンサ電圧と電気抵
抗の差ΔＲとを段階的に計測し、これらを基準センサ信
号として記憶する手段と、使用状態で電気抵抗の差ΔＲ
に対応する基準センサ信号を記憶手段から読み出す手段
と、この読み出した基準センサ信号と、このとき両抵抗
体に加わっている実際のセンサ電圧とを許容量を加味し
て比較する手段と、この比較結果に応じて異常信号を表
示する表示手段とを設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は質量流量を計測するマス
フローメータ及び半導体製造プロセスに用いる流体の質
量流量を制御するマスフローコントローラに関し、特に
流量センサ部で生じる異常の有無を自己診断する機能を
備えたマスフローメータ及びマスフローコントローラに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のマスフローコントローラの一例を
図７にブロック図で示す。このマスフローコントローラ
は流体の流入路５０と、この流入路５０の流体を並列に
別けて流すバイパス流路５１と、センサ流路５２と、こ
れらバイパス流路５１およびセンサ流路５２の流体が合
流する流出路５３と、この流出路５３の途中に設けた流
量制御弁５４と、センサ部５５の検出信号を増幅する増
幅回路５６と、この増幅した検出信号と予め設定した質
量流量設定信号５７とを比較し、前記流量制御弁５４へ
駆動信号を出力する比較制御部５８とからなっている。

【０００３】ここでセンサ部５５は、例えば内直径が
０．５mm程の細いステンレス鋼製の細管５２の外周面に
コイル６２と、このコイル６２の下流側にコイル６３と
を巻き、さらにこれらコイル６２、コイル６３と他の抵
抗素子、通常２個とでブリッジ回路６０を構成したもの
である。

【０００４】また、このマスフローコントローラはセン
サ部５５からの増幅検出信号を出力信号として取出し質
量流量を外部で表示したりすることがある。

【０００５】近年、半導体製造プロセスの進展とともに
マスフローコントローラに流す流体の種類は増々多くな
り、多様化して来ている。こうした中でマスフローコン
トローラに例えば腐食性を有するガス、あるいは熱分解
しやすいガスなどを長期間流すと、マスフローコントロ
ーラのセンサ部に用いられているステンレス鋼製の細管
内でガスが分解して固形物化し、これが細管の内壁に付
着したり、他のガスと反応して反応した物質が細管内に
付着したりして細管内に目詰まりを起こすことがある。
この結果センサ部の感度が変化したり、センサ部の圧力
損失が大きくなり、バイパス流路には十分流体が流れて
いるのにセンサ部を流れる流量が少なくなり設定質量流
量に対して実際の流量を多くしてしまうということが起
こる。ところが、従来、マスフローコントローラにはセ
ンサ部の細管の目詰まりの検出手段がないため、半導体
製造プロセスの状態が変化して初めてこの異常を発見す
るのが実状であった。

【０００６】このような問題から最近では次のような方
法による異常診断機能を備えたマスフローコントローラ
が提案されている。

【０００７】例えば１つの方法は、実公平１−４００１
４号公報に開示されたごとく、流量測定用のセンサ管
と、これとは別に内径の大きなチェック用のセンサ管を
設け、両センサ部の出力信号値を比較器で比較し、その
差が一定値以上になったとき、流量測定用のセンサ管に
目詰まりなどの異常が起こったと判断し警報を発するよ
うにしたものである。

【０００８】また他の方法としては特開昭６３−４８４
２２号公報で開示されたように制御回路に制御弁の弁開
度を一定値に設定する弁開度設定手段を設け、異常の有
無を診断するときは診断回路に切換え前記弁開度設定手
段により入力された基準値により制御弁を一旦所定の弁
開度に固定し、所定の流量を得た上で前記基準値と実際
の流量センサの出力信号とを比較して両者の差に応じて
異常の有無を判定するという方法があった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが上記の従来技
術のうち前者の方法では、チェック用のセンサも同時に
経時変化するし、チェック用のセンサ管およびセンサ部
等を機械的に付加して設ける必要があるのでマスフロー
コントローラ自体が大型となり、組み立て等も煩雑にな
るという問題がある。

【００１０】また後者の方法では、制御弁に所定の基準
値（弁の駆動信号）を与えて所定の弁開度に固定した上
でなければこの基準値とセンサの出力信号とを比較して
異常の有無を診断することはできない。即ち流量が一定
であることを前提としているので、この基準値によって
定められた所定の流量以外の流量、例えば今現在制御し
ている流量などでは診断動作がなされないことになる。

【００１１】マスフローコントローラの精度低下の原因
は、センサ部の流量と出力信号の関係を示すグラフの勾
配が変化するスパンドリフトと、ゼロ点がドリフトする
ことである。つまり上記のようにある一点だけでの診断
や校正では他の全流量範囲にわたる流量センサ出力の関
係を校正するようなことはできない。即ちできるだけ多
くの制御流量で異常の有無を診断しなければならないの
に上記の従来技術では細かな診断流量の指定には柔軟に
対応できるものでない。また診断できる流量範囲が限定
されていた。

【００１２】以上のことから本発明は、上記問題点を解
消し、全流量制御範囲内の任意の指定流量（診断流量）
でセンサ部の目詰まり等の異常の有無を診断することが
できる機能を備えたマスフローコントローラを提供する
ことを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、マスフローコ
ントローラ、及びマスフローメータに異常の有無を自己
診断する診断機能を付加したものである。これは、予め
全流量設定範囲にわたって流量出力信号に対応する流量
センサ電圧を段階的に計測し、これらを基準センサ信号
として記憶する手段と、使用状態で、流量出力値に対応
する基準センサ信号を読み出す手段と、この読出した基
準センサ信号と、このとき前記流量センサから実際出力
されているセンサ電圧とを許容量を加味して比較する比
較手段と、この比較結果に応じて異常信号を表示する表
示手段とを設けたものである。

【００１４】

【作用】マスフローコントローラの通常の使用では、別
に設定された質量流量設定信号と流量センサの検出した
流量出力信号とを比較制御部で比較制御し、流量制御弁
へ弁駆動信号を出力している。ここで、流量センサが目
詰まりを起こし始めると、センサの感度が低下したり、
流量センサの圧損が大きくなりバイパス側に流れる流量
が多くなる。比較制御部では流量設定信号と流量出力信
号の偏差をなくすように弁の駆動信号を増大させるので
必要以上に流量は増える。

【００１５】このとき、センサパイプの放熱は、目詰ま
りにより初期状態と比べて大きくなっており、上流、下
流の抵抗体は常に一定電流を流しているので、その温度
即ち抵抗値は初期状態と比べて低くなっている。従っ
て、両抵抗体に加わる電圧も初期状態と比べて低くなっ
ている。

【００１６】本発明は、流量出力信号に対応した両抵抗
体の電気抵抗の差ΔＲと、初期の両抵抗体に加わる電圧
を記憶しており、使用時に上記ΔＲをもとにこれを取り
出し、この取り出した電圧と、このとき実際に両抵抗体
に加わっている電圧とを比較して、許容量の範囲を超え
た場合に、警報を発生するようにしたものである。

【００１７】更に本発明では、制御流量を変えた時も、
異常の有無を診断する流量値を自由に設定することがで
き、このときの流量出力信号に対応する基準センサ電圧
を取出し、これと実際のセンサ電圧とを比較し、この結
果が許容範囲を外れた場合には、警報をランプや音等で
表示するというものである。

【００１８】ここで流量出力信号に対応した両抵抗体の
電気抵抗の差ΔＲと基準センサ電圧とからなる基準特性
データは全流量範囲にわたって段階的にデータがとられ
系列的に記憶されているので、診断時、流量設定値を随
時任意の値を選定しても、このときの流量出力値に対応
する基準センサ電圧を取出すことができる。また記憶さ
れていない流量値や、小数点以下の流量値でも、それに
対応する基準センサ電圧は、直線補間演算によって求め
ることができるし、全流量範囲にわたって繰り返して診
断することも可能である。また、圧力変化の影響を受け
ないので、入口と出口の圧力差が変化した場合でも診断
を行なうことができる。

【００１９】以上のことにより、診断の流量値設定に柔
軟性があり、しかもインライン状態で今現在制御してい
る流量で異常の有無の診断することができる。

【００２０】

【実施例】本発明の一実施例を以下図面に基づき説明す
る。図１は一実施例を示す異常診断機能付マスフローコ
ントローラの要部ブロック図である。本実施例の異常診
断機能付マスフローコントローラは、マスフローコント
ローラ部分Ａ（…で示す）と診断機能部分Ｂ（−で示
す）と、コンソール部分Ｃ（‐・‐で示す）とからなっ
ており、マスフローコントローラ部分Ａ（但し図１では
部分的に診断機能部分Ｂと重複する）に診断機能部分Ｂ
とコンソール部分Ｃを付加したものである。ただし、こ
れらの構成部分が一体的にあるいは近接して設けられて
いると限定するものではない。

【００２１】まず、マスフローコントローラ部分Ａを説
明する。図１で被測定流体例えばガス体がマスフローコ
ントローラの流入口から流入路１を流れ並列に分かれた
バイパス流路２とセンサ流路３１とに所定の割合で分流
する。更にバイパス流路２およびセンサ流路３１を通過
したガスは再び合流して流出路４を流れ、この流出路４
の途中に設けられた流量制御弁５によって流量を制御さ
れ流出口より流出される。

【００２２】センサ流路３１には流量に応じた質量流量
信号を出力するセンサ部３が設けられており、通常上流
側コイル３２と下流側コイル３３とは同電気抵抗値で、
一定電流を流すと同熱量を発生する。センサ流路３１に
ガスが流れると、上流側コイル３２に発生した熱量をガ
スが奪い、この温度の上昇したガスによって下流側コイ
ル３３は加温される。この結果下流側コイル３３の方が
上流側コイル３２より温度が高くなり、これに応じて電
気抵抗値にも差が出てくる。この差をブリッジ回路６を
介して不平衡電圧として取り出すと、センサ流路３１内
を流れるガスの質量流量はこの不平衡電圧とある関係に
あるので、不平衡電圧を検出することにより質量流量を
測定することができる。

【００２３】検出された不平衡電圧ｅは増幅回路７とＡ
／Ｄ変換器８を通って、増幅され質量流量信号ｆとなっ
て比較部１１に入力される。一方、比較部１１には所望
する制御流量に相当する質量流量設定信号ｇが切換スイ
ッチ１４のａ接点を介して外部より入力される。そのた
め比較部１１はセンサ部で検出した質量流量信号ｆと質
量流量設定信号ｇとを比較し、この差に比例した信号ｈ
を弁駆動電圧決定回路１２へ出力する。弁駆動電圧決定
回路１２では上記信号ｈと現在の駆動信号をもとに内蔵
された弁駆動電圧決定プログラムでＰＩＤ制御が行われ
弁駆動信号（ここでは電圧なので以下電圧という）Ｖを
出力する。そしてＤ／Ａ変換器１３を介して流量制御弁
５のアクチュエータに駆動電圧として入力され、その結
果流量制御弁５を駆動し弁開度は上記の差を減じるよう
に変化する。こうして流量制御弁５は弁開度を調整され
質量流量設定信号ｇに応じた制御流量を保つように制御
される。

【００２４】次に、このマスフローコントローラ部分Ａ
内のブリッジ回路６について図２を参照して詳細に説明
する。

【００２５】このブリッジ回路６は、同一抵抗値を持つ
定抵抗４２，４３及びセンスコイル３２，３３の４つの
抵抗を接続してなるホイートストン・ブリッジを有す
る。定抵抗４２と上流側センスコイル３２との接続点に
は、定電圧源Ｖ_cc（例えば＋１５Ｖ）から限流抵抗４１
を介して電流Ｉ₀が供給される。この電流Ｉは、センス
コイル３２，３３の直列体と定抵抗Ｒ₂，Ｒ₃の直列体
へそれぞれ分電流Ｉ₁，Ｉ₂に分かれて流れ、分電流Ｉ
₁，Ｉ₂は定抵抗４３と下流側センスコイル３３との接
続点で合流して、電流制御トランジスタ４４を通じてア
ースへ流される。ここに、定抵抗４２，４３の抵抗値を
Ｒ₂，Ｒ₃、センスコイルの抵抗値をＲ₄，Ｒ₅とする
と、その実際の値は、Ｒ₂，Ｒ₃は例えば５ｋΩ，Ｒ₄
及びＲ₅は流量ゼロにおいて例えば５０Ωである。

【００２６】このブリッジに流れる電流Ｉは常に一定値
となるように制御される。即ち、限流抵抗４１での電圧
降下に対応する電圧が演算増幅器４５の非反転入力端子
に入力され、また、ツェナーダイオード４６の一定のツ
ェナー電圧に対応する電圧が演算増幅回路４５の反転入
力端子に入力され、両入力電圧の差に応じた電圧が演算
増幅器４５の出力端子に現れ、これが電流制御トランジ
スタ４４のベースに加えられる。これにより、限流抵抗
４１での電圧降下が一定に、つまりブリッジを流れる電
流Ｉが一定に制御される。

【００２７】このような構成において、ブリッジの定抵
抗４２，４３の接続点とセンスコイル３２，３３の接続
点との間に生じる不平衡電圧ｅが前述のように流量制御
に利用される。また、センスコイル３２，３３の各々の
電圧降下ｅ₀，ｅ₁が取り出され、後述する診断機能部
Ｂへ入力される。

【００２８】尚、このセンスコイル３２，３３の電圧ｅ
₀，ｅ₁と、上記不平衡電圧ｅとの間には、Ｒ₂＝Ｒ₃
の条件下で、ｅ＝（ｅ₁−ｅ₀）／２という関係が成立する。これらの電圧ｅ₀，ｅ₁，ｅが
流量に対してどの様に変化するかを図３，図４に示す。

【００２９】ｅはセンサパイプに目詰まりを生じると低
下するが、マスフローコントローラでは、制御回路によ
るフィードバック制御が行われるために、常に目標値と
位置する。従って、ｅを監視しても、流量の異常は監視
できない。一方、ｅ₀，ｅ₁はパイプの目詰まりによ
り、図３に示すごとく、電圧が低下する。本実施例では
ｅ₀，ｅ₁を監視することで異常検出を行なっている。

【００３０】次に、診断機能部分Ｂについて図１及び図
５を参照して説明する図５は初期状態で基準特性データ
を設定するフローチャートの概略である。

【００３１】まず診断機能部分Ｂを用いてそれぞれのマ
スフローコントローラについて、予め初期状態において
各流量設定値に対応する流量出力信号とセンスコイルで
の電圧降下ｅ₀，ｅ₁とが１対１に対応した基準特性デ
ータを得る。この時、切換えスイッチ１４をａ接点から
ｂ接点に切換え、設定信号自動発生回路１５に切換え
る。設定信号発生回路１５では流量０％から例えば余裕
をみて１２０％程度までの全流量範囲にわたって段階的
に流量設定が行われるプログラムを内蔵している。これ
は各流量設定値ｉ％を任意の間隔（例えば１％間隔）で
段階的に発生させることができ、この流量設定値ｉ％に
対応して流量設定信号ｋｉが発生するようになってい
る。この信号ｋは上述の質量流量設定信号ｇと実質的に
同一のものであるが、ｋはｋ0 からｋ120 まで全流量範
囲にわたって対応する信号が存在する（図５の５ｂ）。
そして、発生させられた流量設定信号ｋｉは、基準デー
タ書込部１６及び比較部１１に入力される。比較部１１
では、既に説明したように、センサ部３からの質量流量
信号ｆと比較し弁駆動信号決定回路１２を介して弁駆動
電圧Ｖｉが出力され、それにより弁５が駆動されて流量
設定値ｉ％に等しい流量を実現する。

【００３２】この状態において、基準データ書込部１６
が、センスコイル３２，３３の電圧降下ｅ_0i及びｅ_1iを
増幅器１７₀，１７₁及びＡ／Ｄ変換回路１８₀，１８
₁を介して取込む。（図５の５ｃ，５ｄ）。そして、基
準データ書込部１６は、流量信号自動発生部１５からの
流量設定信号ｋｉと、取込んだセンスコイル電圧降下ｅ
_0i及びｅ_1iとを１対１に対応した形でメモリ１９に書き
込む（図５の５ｅ）。

【００３３】以上の操作を０〜１２０％に対応してｋ０
〜ｋ１２０まで繰り返すことによって（図５の５ｆ，５
ｇ）とセンスコイル電圧降下ｅ_{0 ・0}〜ｅ_{0 ・120}及び
ｅ₁ _・0〜ｅ_{1 ・120}とがそれぞれ対応した１２１組の
基準特性データが前記メモリ１９に記憶される。この基
準特性データによって図３を得ることができる。図３に
はこの基準特性データを線図化したものの他に許容誤差
範囲を併記したが、本発明は要するに実線で示す基準値
に対し、稼働時におけるセンサ部での実測値を重ねて比
較し、この差が斜線で示す許容範囲内にあるかないかを
みて異常の有無を判断するものである。しかも、上流側
センサと下流側センサとで、これを別々に行なうことが
できる。

【００３４】データ読出し部２０は、後述する診断モー
ドにした時にある流量値ｘに対応する基準電圧降下値ｅ
_0x，ｅ_1xを読み出す機能を持っている。より詳細には、
後述のように、その時の流量値ｘの前後の流量設定値ｋ
に対応する基準電圧降下値を読み出す。そして、これに
基づき直線補間を行って流量値ｘに対応する基準電圧降
下値ｅ_0x，ｅ_1xを計算する。このデータ読出し部２０か
らの電圧降下値ｅ0 ，ｅ₁と流量設定信号ｋとの関係を
外部のモニター２２にも表示すればこのモニターでも監
視がしやすいものとなる。

【００３５】比較部２１は、診断モードの時上記データ
読出し部２０から出力された基準電圧降下値と、センサ
からの実際の電圧降下値とを比較して、異常があると判
定したとき結果をモニター２２へ出力するものである。

【００３６】許容誤差設定部２４は、比較部２５で上記
の比較をする場合に加味される許容誤差εを設定すると
ころである。許容誤差εは例えば各マスフローコントロ
ーラに許容された測定誤差、通常フルスケール流量に対
して決められた一定量から割り出した値を用いることが
多いが、これにこだわることはなく制御流量の範囲等に
よって可変に設定することもできる（図５の５ｈ）。ま
たメモリ２５は、設定された許容誤差εを記憶するとこ
ろである（図５の５ｉ）。

【００３７】以上の各機能は全てマイコン内で構成し処
理するようにしている。

【００３８】モニタ２２は、異常判断結果を受けたとき
に警報を発するために、ブザーなどの聴覚に訴えるも
の、ランプなど視覚に訴えるもの、又は両者を兼ねた警
報器を備えている。

【００３９】次に、診断モードにおいて、異常の有無を
診断する場合の動作について、図１及び図６とともに説
明する。図６は診断の場合のフローチャートの概略を示
している。

【００４０】あらかじめ許容誤差はコンソールから設定
されている。通常切換スイッチ１４は接点ａ側の運転モ
ードに位置しており、この場合はマスフローコントロー
ラ部Ａが機能して所望する流量、例えば６５％の流量が
欲しい時はこの流量に相当する質量流量設定信号ｇに基
づいて上記の通り流量制御が行われる。

【００４１】この流量設定信号ｑを受けて基準データ検
出部２０がメモリ１９に記憶されている基準流量設定値
の中から上記流量設定値ｑ％の上下の最も近い値Ｑ_j及
びＱ_j+1を求め（図６の６ｂ）、この基準流量設定値Ｑ
_j，Ｑ_j+1に対応する基準電圧降下値ｅ_0j，ｅ_0j+1，ｅ
_1j，ｅ_1j+1をメモリ１９から読み出す。次にこの流量設
定信号ｋｑに対する基準電圧降下値ｅ_0q，ｅ_1qを直線補
間により求め（図６の６ｃ）、これを比較部２１へ出力
する。尚、流量設定信号ｋｑが上記した初期設定時に予
め記憶されていればメモリ１９の中から流量設定信号ｋ
ｑに対応する基準電圧降下ｅ_0q，ｅ_1qを直接読出し比較
部２１へ出力する。尚、この時流量設定信号ｑは比較部
１１にも入力される。

【００４２】一方、センサ部３で検出した実際の電圧降
下ｅ₀′，ｅ₁′が比較部２１へ入力され（図６の６
ｄ，６ｇ）、上記基準電圧降下値ｅ_0q，ｅ_1qと比較され
る。この比較をする場合（ｅ₀′，ｅ₁′）＝（ｅ_0q，
ｅ_1q）のとき正常であると判定し、（ｅ₀′，ｅ₁′）
≠（ｅ_0q，ｅ_1q）のとき異常であると判定してもよい
が、上述のように許容量±εを加味することが望まし
く、メモリ２５から入力された許容誤差±εを取り入れ
て、（ｅ_0q，ｅ_1q）−ε≦（ｅ₀′，ｅ₁′）≦
（ｅ_0q，ｅ_1q）＋εの判定を行う（図６の６ｅ，６
ｈ）。従って、この範囲を外れる場合は異常信号Ｐをモ
ニター２２に出力し、警報を発するようにする。また、
範囲を外れる場合でもタイマをセットして（図６の６
ｊ，６ｌ）数秒間、例えば５秒間同じ状態が継続した場
合（図６の６ｋ，６ｍ）に初めて警報を表示するように
し（図６の６ｎ）、それまでの間はモニター２２に注意
表示を行うようにしてもよい。更に上記の比較で範囲内
にあるときはモニター２２に正常信号Ｏを出力してＯＫ
表示をするようにしてもよい。以上のようにしてセンサ
部の異常の有無を自己診断することができる。

【００４３】

【発明の効果】以上のように本発明の異常診断機能付マ
スフローコントローラによれば、診断する流量値を任意
にかつ何時でも設定できるので、目詰まりなどのセンサ
部の異常の有無を確認できる幅が広がり、柔軟に対応で
きるのでより使い易いものとなった。とくに圧力変化が
あったり、制御流量を比較的頻繁に変更するような半導
体製造プロセスに使用するマスフローコントローラに適
している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の異常診断機能付マスフローコントロー
ラのブロック図。

【図２】マスフローコントローラのブリッジ回路を示す
図。

【図３】流量に対してセンスコイルの電圧₀，ｅ₁がど
のように変化するかを示す図。

【図４】流量に対してセンスコイルの電圧₀，ｅ₁がど
のように変化するかを示す図。

【図５】初期状態で基準特性データを設定するフローチ
ャート。

【図６】使用状態で異常の診断を行うフローチャート。

【図７】従来のマスフローコントローラを示すブロック
図。

【符号の説明】

２バイパス流路３センサ部５流量制御弁１１比較部１２弁駆動電圧決定回路１４切換スイッチ１５流量信号自動発生回路１６基準データ書込部１９メモリ２０基準データ読出部２１比較部２２モニター

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体が流れる導管に温度に応じて電気抵
抗が変化する２個の同一の抵抗体を相接して直列に巻回
し、定電流回路によって前記両抵抗体を通じる電流を一
定に保ち、前記両抵抗体の電気抵抗の差ΔＲを計測し、
該電気抵抗の差ΔＲに基づいて、前記導管内の流体の質
量流量を計測する流量計において、予め全流量範囲にわたって前記両抵抗体に加わるセンサ
電圧と前記電気抵抗の差ΔＲとを段階的に計測し、これ
らを基準センサ信号として記憶する手段と、使用状態で前記電気抵抗の差ΔＲに対応する基準センサ
信号を前記記憶手段から読み出す手段と、この読み出した基準センサ信号と、このとき前記両抵抗
体に加わっている実際のセンサ電圧とを許容量を加味し
て比較する手段と、この比較結果に応じて異常信号を表示する表示手段とを
設けたことを特徴とする異常診断機能付マスフローセン
サ。
【請求項２】前記読出し手段が、前記記憶手段に記憶
された基準センサ信号に基づき直線補間演算により前記
電気抵抗の差ΔＲにおける基準センサ信号を求める補正
手段を有し、この補正手段からの基準センサ信号と前記
実際出力されているセンサ電圧とを許容量を加味して比
較することを特徴とする請求項１記載の異常診断機能付
マスフローセンサ。
【請求項３】流体が流れる導管に温度に応じて電気抵
抗が変化する２個の同一の抵抗体を相接して直列に巻回
し、定電流回路によって前記両抵抗体を通じる電流を一
定に保ち、前記両抵抗体の電気抵抗の差ΔＲを計測し、
該電気抵抗の差ΔＲに基づいて、前記導管内の流体の質
量流量を計測する流量計において、予め全流量範囲にわたって前記両抵抗体に加わるセンサ
電圧と前記電気抵抗の差ΔＲとを段階的に計測して、こ
れらを基準センサ信号とし、使用状態で前記電気抵抗の差ΔＲに対応する基準センサ
信号を読み出し、この読み出した基準センサ信号と、このとき前記両抵抗
体に加わっている実際のセンサ電圧とを許容量を加味し
て比較し、この比較結果に応じて異常信号を表示することを特徴と
する異常診断機能付マスフローセンサの異常診断方法。
【請求項４】前記記憶されている基準センサ信号から
直線補間演算により前記電気抵抗の差ΔＲに対応する基
準センサ信号を求め、この求めた基準センサ信号と実際
出力されたセンサ電圧とを許容量を加味して比較するこ
とを特徴とする請求項３記載のマスフローセンサの異常
診断方法。