JPH04235611A - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JPH04235611A JPH04235611A JP3001823A JP182391A JPH04235611A JP H04235611 A JPH04235611 A JP H04235611A JP 3001823 A JP3001823 A JP 3001823A JP 182391 A JP182391 A JP 182391A JP H04235611 A JPH04235611 A JP H04235611A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- circuit
- output signal
- valve
- comparison
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は気体の流量を調整するマ
スフローコントローラに関し、特に半導体製造装置のプ
ロセスガスの流量を調整するマスフローコントローラに
関する。
スフローコントローラに関し、特に半導体製造装置のプ
ロセスガスの流量を調整するマスフローコントローラに
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のマスフローコントローラは、図３
のブロック構成図に示すように、センサー管２に巻かれ
た自己発熱抵抗体３ａ，３ｂの抵抗値が、ガスが流れた
時の熱変化により変化し、その変化を検出する検出回路
５と、検出回路５の出力信号を増幅する為の増幅回路６
と、増幅回路６の出力信号を表示する流量表示器９と、
増幅回路６の出力信号と流量設定信号８とを比較し流量
調整バルブ４を制御する比較制御回路７とから構成され
ている。
のブロック構成図に示すように、センサー管２に巻かれ
た自己発熱抵抗体３ａ，３ｂの抵抗値が、ガスが流れた
時の熱変化により変化し、その変化を検出する検出回路
５と、検出回路５の出力信号を増幅する為の増幅回路６
と、増幅回路６の出力信号を表示する流量表示器９と、
増幅回路６の出力信号と流量設定信号８とを比較し流量
調整バルブ４を制御する比較制御回路７とから構成され
ている。
【０００３】次に動作について説明する。マスフローコ
ントローラのＩＮ側から入ってきたガスは、センサー管
２を流れるガスとバイパス部１を流れるガスとに分流さ
れた後再び合流し、流量調整バルブ４を通過しマスフロ
ーコントローラのＯＵＴ側より出てくる。この時、あら
かじめ発熱された自己発熱抵抗体３ａ，３ｂが被測定ガ
スによって冷却され、その時の自己発熱抵抗体３ａ，３
ｂの抵抗値の変化を検出回路５により検出した後、増幅
回路６の出力信号と流量設定信号８とを比較し、流量調
整バルブ４を制御することにより流量調整が可能となっ
ている。検出回路５に生じる出力は、質量流量に比例し
た出力が生じる為、正確な質量流量の調整ができる。
ントローラのＩＮ側から入ってきたガスは、センサー管
２を流れるガスとバイパス部１を流れるガスとに分流さ
れた後再び合流し、流量調整バルブ４を通過しマスフロ
ーコントローラのＯＵＴ側より出てくる。この時、あら
かじめ発熱された自己発熱抵抗体３ａ，３ｂが被測定ガ
スによって冷却され、その時の自己発熱抵抗体３ａ，３
ｂの抵抗値の変化を検出回路５により検出した後、増幅
回路６の出力信号と流量設定信号８とを比較し、流量調
整バルブ４を制御することにより流量調整が可能となっ
ている。検出回路５に生じる出力は、質量流量に比例し
た出力が生じる為、正確な質量流量の調整ができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のマスフロー
コントローラの回路構成では、特にＢｃｌ３ ，ｃｌ２
のような腐食性の高いガスや、ＳｉＨ４ のような詰
まりやすいガスを使用する場合、長期間使用する時や配
管系にリークが生じた場合は、センサー管２又はバイパ
ス部１に詰まりが発生し、センサー管２とバイパス部１
との分流比がくずれる。センサー管２内部に被測定ガス
等の生成物が付着した場合は、センサー管２での流量が
とれない為、流量調整バルブ４は開く方向に進み、実際
の実流量が設定流量より多く流れる。又、この時の流量
表示器９の表示は、センサー管２のみの流量を検知して
いる為設定流量と同じ表示となり、異常は発見できない
。このように、センサー管２又はバイパス部１での生成
物等の付着により分流比がくずれ、被測定ガスの実流量
が変化した場合でも流量表示器９での異常は見られず、
そのまま使用され製品の異常、トラブルの原因となって
いた。
コントローラの回路構成では、特にＢｃｌ３ ，ｃｌ２
のような腐食性の高いガスや、ＳｉＨ４ のような詰
まりやすいガスを使用する場合、長期間使用する時や配
管系にリークが生じた場合は、センサー管２又はバイパ
ス部１に詰まりが発生し、センサー管２とバイパス部１
との分流比がくずれる。センサー管２内部に被測定ガス
等の生成物が付着した場合は、センサー管２での流量が
とれない為、流量調整バルブ４は開く方向に進み、実際
の実流量が設定流量より多く流れる。又、この時の流量
表示器９の表示は、センサー管２のみの流量を検知して
いる為設定流量と同じ表示となり、異常は発見できない
。このように、センサー管２又はバイパス部１での生成
物等の付着により分流比がくずれ、被測定ガスの実流量
が変化した場合でも流量表示器９での異常は見られず、
そのまま使用され製品の異常、トラブルの原因となって
いた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のマスフローコン
トローラは、流量設定データを入力してバルブの初期設
定された出力信号を出力するバルブ初期データ回路と、
前記バルブ初期データ回路の出力信号と流量調整バルブ
への出力信号とを比較する比較回路と、この比較結果を
表示する流量ずれ表示器とから構成される。
トローラは、流量設定データを入力してバルブの初期設
定された出力信号を出力するバルブ初期データ回路と、
前記バルブ初期データ回路の出力信号と流量調整バルブ
への出力信号とを比較する比較回路と、この比較結果を
表示する流量ずれ表示器とから構成される。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の第１実施例のマスフローコントローラ
のブロック構成図である。マスフローコントローラ内部
に入った被測定ガスは、まずセンサー管２とバイパス部
１とに分流される。センサー管２に被測定ガスが流れる
と自己発熱抵抗体３ａ，３ｂの熱平衡状態がくずれ、そ
れに応じた出力信号が検出回路５から増幅回路６に出力
される。増幅回路６の出力信号は流量表示器９に行く一
方、比較制御回路７で流量設定信号８と比較され、それ
に応じて流量調整バルブ４を制御する。又、この比較制
御回路７からの出力信号は、流量調整バルブ４へ出力さ
れる一方、比較回路１１でバルブ初期データ回路１０よ
りの出力と比較し、そのずれ量は流量ずれ表示器１２に
て表示される。又、バルブ初期データ回路１０には、あ
らかじめ被測定ガスの任意の圧力における流量調整バル
ブ４への出力信号の初期値（正常時）のデータが入力さ
れている。このように従来ではセンサー管２とバイパス
部１での分流比の変化で、被測定ガスの実流量が設定流
量と異なった場合でも、流量表示器では異常が認められ
ないが、本実施例はある任意の圧力下では、流量調整バ
ルブ４への出力信号のずれ量が表示される為、早期発見
が可能であり、又、製品へのトラブルも未然に防止でき
る。
。図１は本発明の第１実施例のマスフローコントローラ
のブロック構成図である。マスフローコントローラ内部
に入った被測定ガスは、まずセンサー管２とバイパス部
１とに分流される。センサー管２に被測定ガスが流れる
と自己発熱抵抗体３ａ，３ｂの熱平衡状態がくずれ、そ
れに応じた出力信号が検出回路５から増幅回路６に出力
される。増幅回路６の出力信号は流量表示器９に行く一
方、比較制御回路７で流量設定信号８と比較され、それ
に応じて流量調整バルブ４を制御する。又、この比較制
御回路７からの出力信号は、流量調整バルブ４へ出力さ
れる一方、比較回路１１でバルブ初期データ回路１０よ
りの出力と比較し、そのずれ量は流量ずれ表示器１２に
て表示される。又、バルブ初期データ回路１０には、あ
らかじめ被測定ガスの任意の圧力における流量調整バル
ブ４への出力信号の初期値（正常時）のデータが入力さ
れている。このように従来ではセンサー管２とバイパス
部１での分流比の変化で、被測定ガスの実流量が設定流
量と異なった場合でも、流量表示器では異常が認められ
ないが、本実施例はある任意の圧力下では、流量調整バ
ルブ４への出力信号のずれ量が表示される為、早期発見
が可能であり、又、製品へのトラブルも未然に防止でき
る。
【０００７】次に第２実施例について説明する。図２の
ブロック構成図において、マスフローコントローラのＩ
Ｎ側に圧力センサー１３が取付けられている。この圧力
センサー１３からの出力信号は、比較回路１１で比較制
御回路７の出力信号とバルブ初期データ回路１０の出力
信号と比較し、その結果を流量ずれ表示器１２に表示す
る。この実施例では、被測定ガスの圧力が変動した場合
でも、正確に初期値（正常時）とのずれ量が表示可能と
なっている。
ブロック構成図において、マスフローコントローラのＩ
Ｎ側に圧力センサー１３が取付けられている。この圧力
センサー１３からの出力信号は、比較回路１１で比較制
御回路７の出力信号とバルブ初期データ回路１０の出力
信号と比較し、その結果を流量ずれ表示器１２に表示す
る。この実施例では、被測定ガスの圧力が変動した場合
でも、正確に初期値（正常時）とのずれ量が表示可能と
なっている。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、マ
スフローコントローラの分量比が変化し、被測定ガスの
実流量が変化した場合でも、流量調整バルブへの出力信
号の初期値（正常時）とのずれ量が表示される為、マス
フローコントローラの早期トラブルの発見及び製品トラ
ブルの未然防止が可能であり、歩留り向上製品トラブル
の未然防止等効果は大である。
スフローコントローラの分量比が変化し、被測定ガスの
実流量が変化した場合でも、流量調整バルブへの出力信
号の初期値（正常時）とのずれ量が表示される為、マス
フローコントローラの早期トラブルの発見及び製品トラ
ブルの未然防止が可能であり、歩留り向上製品トラブル
の未然防止等効果は大である。
【図１】本発明の第１実施例のブロック構成図である。
【図２】本発明の第２実施例のブロック構成図である。
【図３】従来のマスフローコントローラのブロック構成
図である。
図である。
１ バイパス部
２ センサー管
３ａ，３ｂ 自己発熱抵抗体
４ 流量調整バルブ
５ 検出回路
６ 増幅回路
７ 比較制御回路
８ 流量設定信号
９ 流量表示器
１０ バルブ初期データ回路
１１ 比較回路
１２ 流量ずれ表示器
１３ 圧力センサー
Claims (1)
- 【請求項１】 流量設定信号に対応した流量調整バル
ブへの出力信号の初期データを保存しておくバルブ初期
データ回路と、前記バルブ初期データ回路の出力信号と
流量調整バルブへの出力信号とを比較する比較回路と、
この比較結果を表示する流量ずれ表示器とを備えること
を特徴とするマスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3001823A JPH04235611A (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3001823A JPH04235611A (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | マスフローコントローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04235611A true JPH04235611A (ja) | 1992-08-24 |
Family
ID=11512285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3001823A Pending JPH04235611A (ja) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04235611A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005001910A1 (en) * | 2003-06-27 | 2005-01-06 | Hyundai Calibration & Certification Technologies Co., Ltd | Apparatus for controlling flow rate of gases used in semiconductor device by differential pressure |
| JP2009157578A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Hitachi Metals Ltd | 流量制御装置、流量制御方法及び流量制御装置の検定方法 |
| JP2009245132A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Hitachi Metals Ltd | 流量制御装置、その検定方法及び流量制御方法 |
| JP2012113581A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Jfe Steel Corp | 流量制御システムの異常監視方法 |
-
1991
- 1991-01-11 JP JP3001823A patent/JPH04235611A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005001910A1 (en) * | 2003-06-27 | 2005-01-06 | Hyundai Calibration & Certification Technologies Co., Ltd | Apparatus for controlling flow rate of gases used in semiconductor device by differential pressure |
| JP2009157578A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Hitachi Metals Ltd | 流量制御装置、流量制御方法及び流量制御装置の検定方法 |
| JP2009245132A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Hitachi Metals Ltd | 流量制御装置、その検定方法及び流量制御方法 |
| JP2012113581A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Jfe Steel Corp | 流量制御システムの異常監視方法 |
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