JPH09197124A - ダイクロイックミラー - Google Patents
ダイクロイックミラーInfo
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- JPH09197124A JPH09197124A JP8029975A JP2997596A JPH09197124A JP H09197124 A JPH09197124 A JP H09197124A JP 8029975 A JP8029975 A JP 8029975A JP 2997596 A JP2997596 A JP 2997596A JP H09197124 A JPH09197124 A JP H09197124A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイクロイックコート膜を被覆形成してもガ
ラス基板の平面度の変化が小さいため、反射特性が低下
することのないダイクロイックミラーを提供することを
目的とするものである。 【解決手段】 ガラス基板１０は、イオン交換されてお
り、その表面には、ＴｉＯ2 とＳｉＯ2 の交互の層から
なるダイクロイックコート膜１１が被覆形成されてい
る。
ラス基板の平面度の変化が小さいため、反射特性が低下
することのないダイクロイックミラーを提供することを
目的とするものである。 【解決手段】 ガラス基板１０は、イオン交換されてお
り、その表面には、ＴｉＯ2 とＳｉＯ2 の交互の層から
なるダイクロイックコート膜１１が被覆形成されてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶プロジェクター等
の光学機器において、光の合成、分解を行うための光学
要素として使用されるダイクロイックミラーに関するも
のである。
の光学機器において、光の合成、分解を行うための光学
要素として使用されるダイクロイックミラーに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】液晶プロジェクターにおける映像のカラ
ー化は、高品位の画像とするため、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に
対応させて３枚の液晶パネルが用いられ、光源から放射
された光は、ダイクロイックミラーによって３色に分光
され、各色の光は、それぞれの色に対応した映像信号が
入力された液晶パネルに入射され、映像に応じた変調が
施される。変調された各色の光は、再び他のダイクロイ
ックミラーで合成されフルカラーの映像信号となり、レ
ンズを介してスクリーン上にカラー映像が投影される。
ー化は、高品位の画像とするため、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に
対応させて３枚の液晶パネルが用いられ、光源から放射
された光は、ダイクロイックミラーによって３色に分光
され、各色の光は、それぞれの色に対応した映像信号が
入力された液晶パネルに入射され、映像に応じた変調が
施される。変調された各色の光は、再び他のダイクロイ
ックミラーで合成されフルカラーの映像信号となり、レ
ンズを介してスクリーン上にカラー映像が投影される。
【０００３】このダイクロイックミラーは、ガラス基板
の表面にダイクロイックコート膜が被覆形成されたもの
であり、ダイクロイックコート膜は、ＴｉＯ2 、Ｔａ2
Ｏ5、ＺｎＯ2 、ＳｉＯ2 、ＭｇＦ2 等の屈折率の異な
る複数の誘電体光学薄膜を積層したもので、干渉効果に
よって特定の波長域の光だけを反射させ、残りを透過さ
せる作用を有している。
の表面にダイクロイックコート膜が被覆形成されたもの
であり、ダイクロイックコート膜は、ＴｉＯ2 、Ｔａ2
Ｏ5、ＺｎＯ2 、ＳｉＯ2 、ＭｇＦ2 等の屈折率の異な
る複数の誘電体光学薄膜を積層したもので、干渉効果に
よって特定の波長域の光だけを反射させ、残りを透過さ
せる作用を有している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来よりダイクロイッ
クミラーのガラス基板としては、厚みが１〜２ｍｍで、
平面度に優れたソーダ石灰ガラスからなる基板が使用さ
れているが、その表面にダイクロイックコート膜を被覆
形成すると、膜の内部応力によってガラス基板に歪みが
発生し、表面が凹面になったり、凸面になることがあ
る。
クミラーのガラス基板としては、厚みが１〜２ｍｍで、
平面度に優れたソーダ石灰ガラスからなる基板が使用さ
れているが、その表面にダイクロイックコート膜を被覆
形成すると、膜の内部応力によってガラス基板に歪みが
発生し、表面が凹面になったり、凸面になることがあ
る。
【０００５】このようにガラス基板の平面度が損なわれ
ると、ダイクロイックミラーで反射する光の結像倍率が
変化したり、非点収差が発生して光学性能が低下するた
め好ましくない。
ると、ダイクロイックミラーで反射する光の結像倍率が
変化したり、非点収差が発生して光学性能が低下するた
め好ましくない。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑みなされたもので
あり、ダイクロイックコート膜を被覆形成してもガラス
基板の平面度の変化が小さいため、反射特性が低下する
ことのないダイクロイックミラーを提供することを目的
とするものである。
あり、ダイクロイックコート膜を被覆形成してもガラス
基板の平面度の変化が小さいため、反射特性が低下する
ことのないダイクロイックミラーを提供することを目的
とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明のダイク
ロイックミラーは、イオン交換されたガラス基板の表面
に、ダイクロイックコート膜が被覆形成されてなること
を特徴とする。
ロイックミラーは、イオン交換されたガラス基板の表面
に、ダイクロイックコート膜が被覆形成されてなること
を特徴とする。
【０００８】また本発明のダイクロイックミラーは、ガ
ラス基板が、１．０ｍｍ未満の厚みを有することを特徴
とする。
ラス基板が、１．０ｍｍ未満の厚みを有することを特徴
とする。
【０００９】さらに本発明のダイクロイックミラーは、
ガラス基板が、重量％で、ＴｉＯ2１〜３％、ＺｒＯ2
１〜４％、Ｐ2 Ｏ5 ０〜５％、ＳｉＯ2 ５５〜７
０％、Ａｌ2 Ｏ3 ２０〜３５％、Ｌｉ2 Ｏ ３〜５
％、Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ０．５〜４％、ＭｇＯ ０〜３
％、ＺｎＯ ０〜３％、ＢａＯ ０〜２％、清澄剤０〜
２％の組成を有するガラスからなることを特徴とする。
ガラス基板が、重量％で、ＴｉＯ2１〜３％、ＺｒＯ2
１〜４％、Ｐ2 Ｏ5 ０〜５％、ＳｉＯ2 ５５〜７
０％、Ａｌ2 Ｏ3 ２０〜３５％、Ｌｉ2 Ｏ ３〜５
％、Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ０．５〜４％、ＭｇＯ ０〜３
％、ＺｎＯ ０〜３％、ＢａＯ ０〜２％、清澄剤０〜
２％の組成を有するガラスからなることを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明におけるガラス基板は、表面に圧縮表面
層が形成されるため、ダイクロイックコート膜が被覆形
成され、膜に内部応力が発生しても、平面度の変化が低
減される。
層が形成されるため、ダイクロイックコート膜が被覆形
成され、膜に内部応力が発生しても、平面度の変化が低
減される。
【００１１】また本発明のガラス基板は、イオン交換に
よって曲げ強度が向上するため、その厚みを小さくして
も、基板に要求される強度を保つことが可能となる。強
度面を考えると、ガラス基板の厚みは大きいほど好まし
いが、光学特性を考えた場合には、ガラス基板の厚みは
小さい方が好ましい。すなわちガラス基板の厚みが大き
いほど、これを通過する光の屈折率が大きくなり、反射
特性に悪影響を及ぼすからである。
よって曲げ強度が向上するため、その厚みを小さくして
も、基板に要求される強度を保つことが可能となる。強
度面を考えると、ガラス基板の厚みは大きいほど好まし
いが、光学特性を考えた場合には、ガラス基板の厚みは
小さい方が好ましい。すなわちガラス基板の厚みが大き
いほど、これを通過する光の屈折率が大きくなり、反射
特性に悪影響を及ぼすからである。
【００１２】従ってこの種のガラス基板には、所望の強
度が保たれる範囲で、その厚みをできるだけ小さくする
ことが要求されるが、本発明のガラス基板は、高強度を
有するため、厚みを１．０ｍｍ未満にすることが可能で
あり、材質によっては０．７ｍｍ未満にすることも可能
となる。
度が保たれる範囲で、その厚みをできるだけ小さくする
ことが要求されるが、本発明のガラス基板は、高強度を
有するため、厚みを１．０ｍｍ未満にすることが可能で
あり、材質によっては０．７ｍｍ未満にすることも可能
となる。
【００１３】本発明で使用するガラス基板としては、透
明性に優れ、イオン交換できる材質であればいずれのガ
ラスも使用可能であるが、特に重量％で、ＴｉＯ2 １
〜３％、ＺｒＯ2 １〜４％、Ｐ2 Ｏ5 ０〜５％、Ｓ
ｉＯ2 ５５〜７０％、Ａｌ2 Ｏ3 ２０〜３５％、Ｌ
ｉ2 Ｏ ３〜５％、Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ０．５〜４％、
ＭｇＯ ０〜３％、ＺｎＯ ０〜３％、ＢａＯ ０〜２
％、及びＡｓ2 Ｏ3 やＳｂ2 Ｏ3 等の清澄剤 ０〜２％
の組成を有するガラスが好適である。
明性に優れ、イオン交換できる材質であればいずれのガ
ラスも使用可能であるが、特に重量％で、ＴｉＯ2 １
〜３％、ＺｒＯ2 １〜４％、Ｐ2 Ｏ5 ０〜５％、Ｓ
ｉＯ2 ５５〜７０％、Ａｌ2 Ｏ3 ２０〜３５％、Ｌ
ｉ2 Ｏ ３〜５％、Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ０．５〜４％、
ＭｇＯ ０〜３％、ＺｎＯ ０〜３％、ＢａＯ ０〜２
％、及びＡｓ2 Ｏ3 やＳｂ2 Ｏ3 等の清澄剤 ０〜２％
の組成を有するガラスが好適である。
【００１４】すなわちこのガラスは、３０〜３８０℃の
温度範囲で３０〜６０×１０-7／℃の低い熱膨張係数を
有するため、耐熱性に優れており、しかもＬｉ2 Ｏを比
較的多量に含有するため、溶融塩としてＫＮＯ3 を使用
した場合に、ガラス中のＬｉイオンと溶融塩のＫイオン
が置換され、強度向上の効果が大となり、厚みを０．７
ｍｍ未満にすることが可能となる。
温度範囲で３０〜６０×１０-7／℃の低い熱膨張係数を
有するため、耐熱性に優れており、しかもＬｉ2 Ｏを比
較的多量に含有するため、溶融塩としてＫＮＯ3 を使用
した場合に、ガラス中のＬｉイオンと溶融塩のＫイオン
が置換され、強度向上の効果が大となり、厚みを０．７
ｍｍ未満にすることが可能となる。
【００１５】イオン交換法は、ガラス中のアルカリイオ
ン（Ｌｉ、Ｎａ）を、溶融塩中のイオン半径のより大き
いアルカリイオンと置換することによって、ガラス表面
から数十ミクロンの深さに強い圧縮応力層を発生させ、
実用強度を増大させる方法であり、溶融塩としては、Ｋ
ＮＯ3 やＮａＮＯ3 が使用できる。
ン（Ｌｉ、Ｎａ）を、溶融塩中のイオン半径のより大き
いアルカリイオンと置換することによって、ガラス表面
から数十ミクロンの深さに強い圧縮応力層を発生させ、
実用強度を増大させる方法であり、溶融塩としては、Ｋ
ＮＯ3 やＮａＮＯ3 が使用できる。
【００１６】イオン交換法は、風冷強化に比べて２倍以
上の強度が得られること、形状、肉厚の制限を受けない
こと、変形が起こらないため高い寸法精度が得られるこ
と、保持が困難な小片でも適用できること等の長所を有
している。
上の強度が得られること、形状、肉厚の制限を受けない
こと、変形が起こらないため高い寸法精度が得られるこ
と、保持が困難な小片でも適用できること等の長所を有
している。
【００１７】ガラス基板の表面に、ダイクロイックコー
ト膜を被覆形成する方法としては、比較的安価な膜形成
装置を用いて、付着力の強い膜を比較的簡単に形成する
ことができるという理由から、真空蒸着法が適してい
る。ただし真空蒸着法は、約４００℃の高温下で膜付け
を行うため、耐熱性に優れたガラス基板を使用すること
が必要となる。すなわち耐熱性の低いガラス基板を使用
すると、膜付けの際の加熱によって、ガラスが軟化変形
したり、加熱工程から冷却工程への過程で熱衝撃によっ
てクラックが入るおそれがあるからである。
ト膜を被覆形成する方法としては、比較的安価な膜形成
装置を用いて、付着力の強い膜を比較的簡単に形成する
ことができるという理由から、真空蒸着法が適してい
る。ただし真空蒸着法は、約４００℃の高温下で膜付け
を行うため、耐熱性に優れたガラス基板を使用すること
が必要となる。すなわち耐熱性の低いガラス基板を使用
すると、膜付けの際の加熱によって、ガラスが軟化変形
したり、加熱工程から冷却工程への過程で熱衝撃によっ
てクラックが入るおそれがあるからである。
【００１８】
【実施例】以下、本発明のダイクロイックミラーを実施
例及び比較例に基づいて詳細に説明する。
例及び比較例に基づいて詳細に説明する。
【００１９】（実施例）図１は、本発明のダイクロイッ
クミラーを示す概略断面図である。
クミラーを示す概略断面図である。
【００２０】図中、ガラス基板１０は、イオン交換され
ており、その表面には、ＴｉＯ2 とＳｉＯ2 の交互の層
からなるダイクロイックコート膜１１が被覆形成されて
いる。
ており、その表面には、ＴｉＯ2 とＳｉＯ2 の交互の層
からなるダイクロイックコート膜１１が被覆形成されて
いる。
【００２１】このダイクロイックミラーの製造方法は、
次のとおりである。
次のとおりである。
【００２２】まず重量％で、ＴｉＯ2 ２．０％、Ｚｒ
Ｏ2 ２．０％、Ｐ2 Ｏ5 １．５％、ＳｉＯ2 ６
６．０％、Ａｌ2 Ｏ3 ２２％、Ｌｉ2 Ｏ ４％、Ｎａ
2 Ｏ０．５％、Ｋ2 Ｏ ０．５％、ＭｇＯ ０．５％、
Ａｓ2 Ｏ3 １．０％の組成を有し、４２×１０-7／℃
の熱膨張係数を有するガラス（１００×１００ｍｍ）を
準備し、これを両面研磨することによって、厚み０．５
μｍの平面度に優れたガラス基板１０を得た。
Ｏ2 ２．０％、Ｐ2 Ｏ5 １．５％、ＳｉＯ2 ６
６．０％、Ａｌ2 Ｏ3 ２２％、Ｌｉ2 Ｏ ４％、Ｎａ
2 Ｏ０．５％、Ｋ2 Ｏ ０．５％、ＭｇＯ ０．５％、
Ａｓ2 Ｏ3 １．０％の組成を有し、４２×１０-7／℃
の熱膨張係数を有するガラス（１００×１００ｍｍ）を
準備し、これを両面研磨することによって、厚み０．５
μｍの平面度に優れたガラス基板１０を得た。
【００２３】次いで、このガラス基板１０を、約５００
℃に保持されたＫＮＯ3 の溶液塩中に５時間浸漬するこ
とによって、イオン交換を行った。
℃に保持されたＫＮＯ3 の溶液塩中に５時間浸漬するこ
とによって、イオン交換を行った。
【００２４】その後、このガラス基板１０の表面に、Ｔ
ｉＯ2 とＳｉＯ2 を真空蒸着法によって交互に３０層積
層し、ダイクロイックコート膜１１を被覆した。
ｉＯ2 とＳｉＯ2 を真空蒸着法によって交互に３０層積
層し、ダイクロイックコート膜１１を被覆した。
【００２５】こうして得られたダイクロイックミラーの
平面度を干渉計で測定したところ、直径５０ｍｍの範囲
で中心部と周辺部との間に約０．５μｍの湾曲変形が認
められただけであり、良好な平面精度を有していた。
平面度を干渉計で測定したところ、直径５０ｍｍの範囲
で中心部と周辺部との間に約０．５μｍの湾曲変形が認
められただけであり、良好な平面精度を有していた。
【００２６】（比較例）ソーダ石灰ガラス（１００×１
００ｍｍ）を両面研磨することによって、厚み１ｍｍの
平面度に優れたガラス基板を得た後、その表面に、実施
例と同様にダイクロイックコート膜を被覆形成すること
によってダイクロイックミラーを作製した。
００ｍｍ）を両面研磨することによって、厚み１ｍｍの
平面度に優れたガラス基板を得た後、その表面に、実施
例と同様にダイクロイックコート膜を被覆形成すること
によってダイクロイックミラーを作製した。
【００２７】このダイクロイックミラーの平面度を干渉
計で測定したところ、直径５０ｍｍの範囲で中心部と周
辺部との間に約３．０μｍの湾曲変形が発生していた。
計で測定したところ、直径５０ｍｍの範囲で中心部と周
辺部との間に約３．０μｍの湾曲変形が発生していた。
【００２８】
【発明の効果】以上のように本発明のダイクロイックミ
ラーは、ガラス基板がイオン交換されているため、曲げ
強度が向上し、しかもその表面にダイクロイックコート
膜を被覆形成しても、平面度の変化が小さく、反射特性
が損なわれることがない。
ラーは、ガラス基板がイオン交換されているため、曲げ
強度が向上し、しかもその表面にダイクロイックコート
膜を被覆形成しても、平面度の変化が小さく、反射特性
が損なわれることがない。
【００２９】尚、本発明のダイクロイックミラーには、
必要に応じてダイクロイックコート膜の形成される面の
反対面（裏面）に、反射防止膜を被覆形成することも可
能である。
必要に応じてダイクロイックコート膜の形成される面の
反対面（裏面）に、反射防止膜を被覆形成することも可
能である。
【図１】本発明のダイクロイックミラーを示す概略断面
図である。
図である。
１０ ガラス基板 １１ ダイクロイックコート膜
Claims (3)
- 【請求項１】 イオン交換されたガラス基板の表面に、
ダイクロイックコート膜が被覆形成されてなることを特
徴とするダイクロイックミラー。 - 【請求項２】 ガラス基板が、１．０ｍｍ未満の厚みを
有することを特徴とする請求項１記載のダイクロイック
ミラー。 - 【請求項３】 ガラス基板が、重量％で、ＴｉＯ2 １
〜３％、ＺｒＯ2１〜４％、Ｐ2 Ｏ5 ０〜５％、Ｓｉ
Ｏ2 ５５〜７０％、Ａｌ2 Ｏ3 ２０〜３５％、Ｌｉ
2 Ｏ ３〜５％、Ｎａ2 Ｏ＋Ｋ2 Ｏ ０．５〜４％、Ｍ
ｇＯ ０〜３％、ＺｎＯ ０〜３％、ＢａＯ ０〜２
％、清澄剤 ０〜２％の組成を有するガラスからなるこ
とを特徴とする請求項１記載のダイクロイックミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8029975A JPH09197124A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | ダイクロイックミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8029975A JPH09197124A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | ダイクロイックミラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09197124A true JPH09197124A (ja) | 1997-07-31 |
Family
ID=12290970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8029975A Pending JPH09197124A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | ダイクロイックミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09197124A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6814453B2 (en) * | 2001-08-28 | 2004-11-09 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Low-cost reflector with excellent heat resistance |
| JP2017506363A (ja) * | 2014-01-30 | 2017-03-02 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | ミラー素子を製造する方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5849636A (ja) * | 1981-09-21 | 1983-03-23 | Seiko Epson Corp | 紫外線カツトフイルタ− |
| JPH01239036A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-25 | F G K:Kk | 高強度ガラス |
| JPH0532431A (ja) * | 1991-05-20 | 1993-02-09 | Hoya Corp | 化学強化用ガラス |
| JPH0572441A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-03-26 | Nec Corp | 光コネクタ |
| JPH05286734A (ja) * | 1992-04-10 | 1993-11-02 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 光コネクタ用ガラス製フエル−ルの製造方法 |
| JPH06186418A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-07-08 | Victor Co Of Japan Ltd | ダイクロイックミラーの製造方法 |
| JPH07234315A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-09-05 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 光学多層膜フィルタ |
-
1996
- 1996-01-23 JP JP8029975A patent/JPH09197124A/ja active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5849636A (ja) * | 1981-09-21 | 1983-03-23 | Seiko Epson Corp | 紫外線カツトフイルタ− |
| JPH01239036A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-25 | F G K:Kk | 高強度ガラス |
| JPH0532431A (ja) * | 1991-05-20 | 1993-02-09 | Hoya Corp | 化学強化用ガラス |
| JPH0572441A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-03-26 | Nec Corp | 光コネクタ |
| JPH05286734A (ja) * | 1992-04-10 | 1993-11-02 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 光コネクタ用ガラス製フエル−ルの製造方法 |
| JPH06186418A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-07-08 | Victor Co Of Japan Ltd | ダイクロイックミラーの製造方法 |
| JPH07234315A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-09-05 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 光学多層膜フィルタ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6814453B2 (en) * | 2001-08-28 | 2004-11-09 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Low-cost reflector with excellent heat resistance |
| JP2017506363A (ja) * | 2014-01-30 | 2017-03-02 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | ミラー素子を製造する方法 |
| US10423073B2 (en) | 2014-01-30 | 2019-09-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method for producing a mirror element |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040608 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A521 | Written amendment |
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| A02 | Decision of refusal |
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