JPH091809A - インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェットヘッドInfo
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- JPH091809A JPH091809A JP7153270A JP15327095A JPH091809A JP H091809 A JPH091809 A JP H091809A JP 7153270 A JP7153270 A JP 7153270A JP 15327095 A JP15327095 A JP 15327095A JP H091809 A JPH091809 A JP H091809A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 130
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 86
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 69
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 57
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 57
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 63
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 28
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract 8
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 10
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/135—Nozzles
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
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- B41J2/1639—Manufacturing processes molding sacrificial molding
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 樹脂プレート注型法を用いるインクジェット
ヘッドの製造方法において、より簡単に、型部材におけ
る基板に対して凸状のコーナー部分付近を被覆する樹脂
の膜厚が薄くなることを防ぐ。 【構成】 基板２上に、ノズル形成のために基板２上の
ヒータ１の各々を覆うノズル部型材４と、各ノズル型部
材４の一端と接続された、液室形成のための液室部型材
３と、ノズル部型材４の一端が接続された部分以外の液
室部型材３の周辺より所定間隔毎に凸状に突出する周辺
部型材５と、からなる型部材を形成した後、ノズルプレ
ート部材材料を塗布するインクジェットヘッドの製造方
法である。
ヘッドの製造方法において、より簡単に、型部材におけ
る基板に対して凸状のコーナー部分付近を被覆する樹脂
の膜厚が薄くなることを防ぐ。 【構成】 基板２上に、ノズル形成のために基板２上の
ヒータ１の各々を覆うノズル部型材４と、各ノズル型部
材４の一端と接続された、液室形成のための液室部型材
３と、ノズル部型材４の一端が接続された部分以外の液
室部型材３の周辺より所定間隔毎に凸状に突出する周辺
部型材５と、からなる型部材を形成した後、ノズルプレ
ート部材材料を塗布するインクジェットヘッドの製造方
法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッドの
製造方法に関する。
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットヘッドは、インクを微小
な液滴としてノズルより吐出することにより文字・図形
等の記録を行い、高精細な画像の出力、高速印字の手段
として優れた利点を有している。特に、電気熱変換体
（以下、「ヒータ」という）等により生成したバブル
（気泡）圧を用いる方法、いわゆる熱インクジェット記
録方法（特公昭６１−５９９１１〜４号参照）は装置の
小型化、画像の高密度化が容易であるなどの特徴を有し
ている。
な液滴としてノズルより吐出することにより文字・図形
等の記録を行い、高精細な画像の出力、高速印字の手段
として優れた利点を有している。特に、電気熱変換体
（以下、「ヒータ」という）等により生成したバブル
（気泡）圧を用いる方法、いわゆる熱インクジェット記
録方法（特公昭６１−５９９１１〜４号参照）は装置の
小型化、画像の高密度化が容易であるなどの特徴を有し
ている。
【０００３】上記熱インクジェットヘッドの一つの形態
例としては図１４に示されるものがある。図１４は、い
わゆるサイドシュータータイプの熱インクジェットヘッ
ドの斜視図であり、図１５は図１４に示したヘッドを構
成するヒータ基板の斜視図である。
例としては図１４に示されるものがある。図１４は、い
わゆるサイドシュータータイプの熱インクジェットヘッ
ドの斜視図であり、図１５は図１４に示したヘッドを構
成するヒータ基板の斜視図である。
【０００４】図１４に示すインクジェットヘッドは、複
数のオリフォス１０１を有するノズルプレート部材１０
２を基板１０３上に接合して構成される。基板１０３に
は図１５に示すように、インク供給口１０４が開口さ
れ、基板１０３のノズルプレート部材１０２と接合され
る面にはオリフィス１０１の位置と対応する複数のヒー
タ１０５が配設されている。
数のオリフォス１０１を有するノズルプレート部材１０
２を基板１０３上に接合して構成される。基板１０３に
は図１５に示すように、インク供給口１０４が開口さ
れ、基板１０３のノズルプレート部材１０２と接合され
る面にはオリフィス１０１の位置と対応する複数のヒー
タ１０５が配設されている。
【０００５】また、図１４に示したインクジェットヘッ
ドのＡ−Ａ線断面を示す図１６のように、基板１０３と
ノズルプレート部材１０２の間には、インク供給口１０
４からヒータ１０５上のオリフィス１０１まで連通して
いる液室１０６およびノズル１０７が形成されている。
従って、インクはインク供給口１０４より液室１０６を
通ってノズル１０７に供給され、ヒータ１０５上に発生
するバブルの圧力によりオリフィス１０１より吐出され
る。
ドのＡ−Ａ線断面を示す図１６のように、基板１０３と
ノズルプレート部材１０２の間には、インク供給口１０
４からヒータ１０５上のオリフィス１０１まで連通して
いる液室１０６およびノズル１０７が形成されている。
従って、インクはインク供給口１０４より液室１０６を
通ってノズル１０７に供給され、ヒータ１０５上に発生
するバブルの圧力によりオリフィス１０１より吐出され
る。
【０００６】上記のようなインクジェットヘッドの特徴
的構造は、液室およびノズルのための空間が基板１０１
とノズルプレート部材１０２を接合することで形成され
ていることである。
的構造は、液室およびノズルのための空間が基板１０１
とノズルプレート部材１０２を接合することで形成され
ていることである。
【０００７】このヘッド構造は、例えば図１７に示す製
造工程により実現できる。以下、図１７を参照して前記
インクジェットヘッドの製造方法を説明する。
造工程により実現できる。以下、図１７を参照して前記
インクジェットヘッドの製造方法を説明する。
【０００８】インク供給口１０４およびヒータ１０５を
予め設けた基板１０３を用意する（図１７（ａ））。そ
して、基板１０３上に、ＯＤＵＲ（商品名：東京応化
社製）などのドライフィルム化された光反応性ポジ型レ
ジスト材１０７をラミネートし（図１７（ｂ））、フォ
トリソ工程により、ノズルおよび液室となる型部材１０
９を基板１０３上に形成する（図１７（ｃ））。この型
部材１０９の平面形状を図１８に示す。図１８におい
て、型部材１０９のＢ部、Ｃ部が、それぞれノズル、液
室を形成する部分である。
予め設けた基板１０３を用意する（図１７（ａ））。そ
して、基板１０３上に、ＯＤＵＲ（商品名：東京応化
社製）などのドライフィルム化された光反応性ポジ型レ
ジスト材１０７をラミネートし（図１７（ｂ））、フォ
トリソ工程により、ノズルおよび液室となる型部材１０
９を基板１０３上に形成する（図１７（ｃ））。この型
部材１０９の平面形状を図１８に示す。図１８におい
て、型部材１０９のＢ部、Ｃ部が、それぞれノズル、液
室を形成する部分である。
【０００９】次に、基板１０３および型部材１０９上
に、以下の混合材料をキシレン／シクロヘキサン＝８／
２溶剤に５０ｗ％で溶かしてできた樹脂をスピンコート
し、光硬化または熱硬化し、ノズルプレート部材１０２
を形成する（図１７（ｄ））。
に、以下の混合材料をキシレン／シクロヘキサン＝８／
２溶剤に５０ｗ％で溶かしてできた樹脂をスピンコート
し、光硬化または熱硬化し、ノズルプレート部材１０２
を形成する（図１７（ｄ））。
【００１０】 ノズルプレート材料：エヒ゜コート1002（商品名：油化シェルエホ゜キシ社製） １００部 エホ゜ライト3002（商品名：共栄社製） ２０部 イルカ゛キュアー261（商品名：チハ゛カ゛イキ゛ー社製） ３部 この後、ノズルプレート部材１０２上に光硬化型の耐酸
素プラズマ材料１１０を薄膜に塗布し、フォトリソ工程
により所定の位置、ここではヒータに対向する位置にお
いてオリフィスの形状に除去部１１１を形成し（図１７
（ｅ））、プラズマ照射によりノズルプレート部材１０
２にオリフィス１０１を形成し（図１７（ｆ））、型部
材１０９を溶解除去し、ノズル１０７、液室１０６を形
成する（図１７（ｇ））。
素プラズマ材料１１０を薄膜に塗布し、フォトリソ工程
により所定の位置、ここではヒータに対向する位置にお
いてオリフィスの形状に除去部１１１を形成し（図１７
（ｅ））、プラズマ照射によりノズルプレート部材１０
２にオリフィス１０１を形成し（図１７（ｆ））、型部
材１０９を溶解除去し、ノズル１０７、液室１０６を形
成する（図１７（ｇ））。
【００１１】以上の製造方法で形成されたインクジェッ
トヘッドは、ヒータ面とオリフィス形成面間の距離によ
ってインクの吐出性能が大きく左右されるが、樹脂を塗
布してノズルプレート部材を作る構造であるため、製造
時においてインクの吐出特性に大きく影響するヒータ面
とオリフィス形成面間の距離の制御が簡単であり、また
安価である。特に高精細な画像を得るために小さな液
滴、例えば１０ｐｌ以下の液滴を得るのに適した寸法を
得ることができる。また、フォトリソ工程によりオリフ
ィスを形成するため、ヒータとオリフィスの位置合わせ
が簡単にできるなどの特徴を有している。このように型
部材を有する基板上に樹脂を塗布してノズルプレート部
材を作る製造方法を、以下「樹脂プレート注型法」とい
う。
トヘッドは、ヒータ面とオリフィス形成面間の距離によ
ってインクの吐出性能が大きく左右されるが、樹脂を塗
布してノズルプレート部材を作る構造であるため、製造
時においてインクの吐出特性に大きく影響するヒータ面
とオリフィス形成面間の距離の制御が簡単であり、また
安価である。特に高精細な画像を得るために小さな液
滴、例えば１０ｐｌ以下の液滴を得るのに適した寸法を
得ることができる。また、フォトリソ工程によりオリフ
ィスを形成するため、ヒータとオリフィスの位置合わせ
が簡単にできるなどの特徴を有している。このように型
部材を有する基板上に樹脂を塗布してノズルプレート部
材を作る製造方法を、以下「樹脂プレート注型法」とい
う。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ヒータ
面とオリフィス形成面間の距離が短いほどインクの吐出
特性が良好である事に基いて、図３に示される製造工程
によって厚さ１００（μｍ）以下の極めて薄いノズルプ
レート部材を形成した場合には、型部材における基板に
対して凸状のコーナー部分付近でのノズルプレート部材
材料の樹脂の被覆状態が不均一になる事がある。
面とオリフィス形成面間の距離が短いほどインクの吐出
特性が良好である事に基いて、図３に示される製造工程
によって厚さ１００（μｍ）以下の極めて薄いノズルプ
レート部材を形成した場合には、型部材における基板に
対して凸状のコーナー部分付近でのノズルプレート部材
材料の樹脂の被覆状態が不均一になる事がある。
【００１３】この場合に生じる問題点を図１８および図
１９を参照して下述する。図１９は、樹脂プレート注型
法によって極めて薄いノズルプレート部材を形成した場
合のヘッドの部分断面図である。
１９を参照して下述する。図１９は、樹脂プレート注型
法によって極めて薄いノズルプレート部材を形成した場
合のヘッドの部分断面図である。
【００１４】すなわち、図１８のＤ部に相当する図１９
のＥ部に示すように、液室を形成する型部材の、基板に
対して凸状のコーナー部分付近では、基板上に塗布した
樹脂の厚さが局部的に薄くなってしまうという問題点が
生じる。従って、この薄くなった部分に応力が集中し、
ノズルプレート部材にクラック１１２が発生し、著しい
ときには液室が陥没し、インクジェットヘッドの製造時
の歩留り低下の原因にもなる。
のＥ部に示すように、液室を形成する型部材の、基板に
対して凸状のコーナー部分付近では、基板上に塗布した
樹脂の厚さが局部的に薄くなってしまうという問題点が
生じる。従って、この薄くなった部分に応力が集中し、
ノズルプレート部材にクラック１１２が発生し、著しい
ときには液室が陥没し、インクジェットヘッドの製造時
の歩留り低下の原因にもなる。
【００１５】これを防ぐためには、図１９におけるノズ
ルおよび液室部分の膜厚Ｈとそれ以外の膜厚ｈの差が小
さく、好ましくはＨ≒ｈすなわちノズルプレート部材の
表面が実質的にフラットであればよい。しかし単なる樹
脂の塗布方法の工夫だけでは改善は困難であり、また例
えば複数回の塗布を行うことでフラット面を得る方法で
は、工程が複雑になり、インクジェットヘッドのコスト
アップにつながってしまう。さらに、型部材の基板に対
して凸状のコーナー部分における樹脂の被覆状態を向上
させるために、単にノズルプレート部材材料を型部材の
厚さに対し十分厚く塗布することも考えられる。しかし
この場合は、ヒータ面からオリフィス形成面までの距離
が大きくなり、所定の吐出特性を得るためのノズル設計
が困難である。
ルおよび液室部分の膜厚Ｈとそれ以外の膜厚ｈの差が小
さく、好ましくはＨ≒ｈすなわちノズルプレート部材の
表面が実質的にフラットであればよい。しかし単なる樹
脂の塗布方法の工夫だけでは改善は困難であり、また例
えば複数回の塗布を行うことでフラット面を得る方法で
は、工程が複雑になり、インクジェットヘッドのコスト
アップにつながってしまう。さらに、型部材の基板に対
して凸状のコーナー部分における樹脂の被覆状態を向上
させるために、単にノズルプレート部材材料を型部材の
厚さに対し十分厚く塗布することも考えられる。しかし
この場合は、ヒータ面からオリフィス形成面までの距離
が大きくなり、所定の吐出特性を得るためのノズル設計
が困難である。
【００１６】そこで本発明は、上記従来技術の有する問
題点に鑑み、樹脂プレート注型法を用いるインクジェッ
トヘッドの製造方法において、より簡単に、型部材にお
ける基板に対して凸状のコーナー部分付近を被覆する樹
脂の膜厚が薄くなることを防ぐことができるインクジェ
ットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
題点に鑑み、樹脂プレート注型法を用いるインクジェッ
トヘッドの製造方法において、より簡単に、型部材にお
ける基板に対して凸状のコーナー部分付近を被覆する樹
脂の膜厚が薄くなることを防ぐことができるインクジェ
ットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、インクジェットヘッド製造時にクラックな
どの発生が従来、ノズルが所定の密度以上で液室に接続
された面、例えば図１９に示したＦ部では見られず、ま
た前記Ｆ部ではノズルプレート部材がほぼフラットに形
成されるという現象に注目してなされたものである。
の本発明は、インクジェットヘッド製造時にクラックな
どの発生が従来、ノズルが所定の密度以上で液室に接続
された面、例えば図１９に示したＦ部では見られず、ま
た前記Ｆ部ではノズルプレート部材がほぼフラットに形
成されるという現象に注目してなされたものである。
【００１８】すなわち本発明は、圧力発生手段を有する
基板上に、ノズルを形成するためのノズル部型材と共通
液室を形成するための液室部型材とからなる型部材を形
成し、該型部材上に樹脂材料を重層して該樹脂材料を硬
化した後に前記型部材を除去することで、前記基板と前
記樹脂材料の間にノズルおよび共通液室を形成するイン
クジェットヘッドの製造方法において、前記樹脂材料の
重層時に前記型部材の端部付近における該樹脂材料の表
面の傾斜を緩和するための手段を有することを特徴とす
る方法や、前記液室部型材の前記ノズル部型材が接続さ
れた周辺以外の少なくとも一部に、前記液室部型材より
突出する形状の周辺部型材を設けたことを特徴とする方
法や、前記液室部型材の前記ノズル部型材が接続された
周辺以外の少なくとも一部と所定間隔を開けた位置ある
いは接触する位置に、孤立部材を設けたことを特徴とす
る方法であってもよい。
基板上に、ノズルを形成するためのノズル部型材と共通
液室を形成するための液室部型材とからなる型部材を形
成し、該型部材上に樹脂材料を重層して該樹脂材料を硬
化した後に前記型部材を除去することで、前記基板と前
記樹脂材料の間にノズルおよび共通液室を形成するイン
クジェットヘッドの製造方法において、前記樹脂材料の
重層時に前記型部材の端部付近における該樹脂材料の表
面の傾斜を緩和するための手段を有することを特徴とす
る方法や、前記液室部型材の前記ノズル部型材が接続さ
れた周辺以外の少なくとも一部に、前記液室部型材より
突出する形状の周辺部型材を設けたことを特徴とする方
法や、前記液室部型材の前記ノズル部型材が接続された
周辺以外の少なくとも一部と所定間隔を開けた位置ある
いは接触する位置に、孤立部材を設けたことを特徴とす
る方法であってもよい。
【００１９】また、上記のいずれかに記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法において、重層とは塗布工程であ
る。
ットヘッドの製造方法において、重層とは塗布工程であ
る。
【００２０】さらに、上記のいずれかの製造方法からな
るインクジェットヘッドも本発明に属する。
るインクジェットヘッドも本発明に属する。
【００２１】
【作用】本発明では、圧力発生手段を有する基板上に、
共通液室を形成するための液室部型材とノズルを形成す
るためのノズル部型材とからなる型部材と、前記液室部
型材の周辺の前記ノズル部型材が接続されていない側部
より突出する形状の周辺部型材とを設けた後、樹脂材料
を塗布することにより、前記型部材の基板に対して凸状
のコーナー部分付近に被覆された樹脂の膜厚が薄くなら
ずに済むため、前記樹脂を硬化し前記型部材を除去して
できたノズルプレート部材において局部的に肉厚が薄い
箇所ができない。その結果、ノズルプレート部材にクラ
ックが発生せず、インクジェットヘッドの製造時の歩留
りも良くなる。
共通液室を形成するための液室部型材とノズルを形成す
るためのノズル部型材とからなる型部材と、前記液室部
型材の周辺の前記ノズル部型材が接続されていない側部
より突出する形状の周辺部型材とを設けた後、樹脂材料
を塗布することにより、前記型部材の基板に対して凸状
のコーナー部分付近に被覆された樹脂の膜厚が薄くなら
ずに済むため、前記樹脂を硬化し前記型部材を除去して
できたノズルプレート部材において局部的に肉厚が薄い
箇所ができない。その結果、ノズルプレート部材にクラ
ックが発生せず、インクジェットヘッドの製造時の歩留
りも良くなる。
【００２２】また、前記周辺部型材に代え、前記液室部
型材の周辺の前記ノズル部型材が接続されていない側部
と所定間隔を開けた位置あるいは接触する位置に孤立部
材を設けた後、樹脂材料を塗布しても、上記と同様に前
記型部材の基板に対して凸状のコーナー部分付近に被覆
された樹脂の膜厚が薄くならずに済む。
型材の周辺の前記ノズル部型材が接続されていない側部
と所定間隔を開けた位置あるいは接触する位置に孤立部
材を設けた後、樹脂材料を塗布しても、上記と同様に前
記型部材の基板に対して凸状のコーナー部分付近に被覆
された樹脂の膜厚が薄くならずに済む。
【００２３】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００２４】（第１の実施例）図１は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第１の実施例の特徴部である
型部材の形状を示す平面図である。
ェットヘッドの製造方法の第１の実施例の特徴部である
型部材の形状を示す平面図である。
【００２５】本実施例は、前述した樹脂プレート注型法
を用いてインクジェットヘッドのノズルおよび液室を形
成するとき、基板上の型部材の周辺に、ノズルに類型し
た凸部を所定間隔毎に複数個設ける方法である。
を用いてインクジェットヘッドのノズルおよび液室を形
成するとき、基板上の型部材の周辺に、ノズルに類型し
た凸部を所定間隔毎に複数個設ける方法である。
【００２６】すなわち図１に示すように、インク供給口
（不図示）およびヒータ１を予め設けた基板２上に、従
来技術と同様、ＯＤＵＲ（商品名：東京応化 社製）な
どのドライフィルム化された光反応性ポジ型レジスト材
をラミネートする。そして、フォトリソ工程により基板
２上に、図１中のＢ６部にてノズル形成のために基板２
上のヒータ１の各々を覆うノズル部型材４と、各ノズル
部型材４の一端と接続された、液室形成のための液室部
型材３と、ノズル部型材４の一端が接続された部分以外
の液室部型材３の周辺より所定間隔毎に凸状に突出する
周辺部型材５と、からなる型部材を形成した。この後は
図１７の（ｄ）〜（ｇ）に示した工程と同じであるので
説明を省略する。
（不図示）およびヒータ１を予め設けた基板２上に、従
来技術と同様、ＯＤＵＲ（商品名：東京応化 社製）な
どのドライフィルム化された光反応性ポジ型レジスト材
をラミネートする。そして、フォトリソ工程により基板
２上に、図１中のＢ６部にてノズル形成のために基板２
上のヒータ１の各々を覆うノズル部型材４と、各ノズル
部型材４の一端と接続された、液室形成のための液室部
型材３と、ノズル部型材４の一端が接続された部分以外
の液室部型材３の周辺より所定間隔毎に凸状に突出する
周辺部型材５と、からなる型部材を形成した。この後は
図１７の（ｄ）〜（ｇ）に示した工程と同じであるので
説明を省略する。
【００２７】本実施例では、図１９に示したノズルプレ
ート部材の厚さＨに相当する距離 0.025(mm)、型部材の
厚さｔ=0.015(mm)とし、ノズルと液室の接続部から先端
までの距離Ｌ=0.12(mm)、ノズルピッチＰ=0.0635(mm)、
ノズル幅Ｗ=0.045(mm)としている。また、１個の周辺部
型材６１１は、液室の接続部から先端までの距離Ｌｄ=
0.1(mm)、幅Ｗｄ=0.03(mm)とし、ピッチＰｄ=0.127(mm)
で配置した。
ート部材の厚さＨに相当する距離 0.025(mm)、型部材の
厚さｔ=0.015(mm)とし、ノズルと液室の接続部から先端
までの距離Ｌ=0.12(mm)、ノズルピッチＰ=0.0635(mm)、
ノズル幅Ｗ=0.045(mm)としている。また、１個の周辺部
型材６１１は、液室の接続部から先端までの距離Ｌｄ=
0.1(mm)、幅Ｗｄ=0.03(mm)とし、ピッチＰｄ=0.127(mm)
で配置した。
【００２８】図１に示した形状の型部材を用い樹脂プレ
ート注型法によりインクジェットヘッドを形成したとこ
ろ、図１に示した型部材と実質的に同じ形状の液室およ
びノズルが得られた。また、本実施例によるインクジェ
ットヘッドでは、型部材における基板に対して凸状のコ
ーナー部分付近、例えば図１９に示したＥ部に相当する
部分においてノズルプレート部材が局部的に薄くならな
いので、クラック等の欠陥もほとんど解消することがで
きた。また比較例として、周辺部型材５を用いない従来
のインクジェットヘッドを、上記と同じ条件で作成した
ところ、型部材を溶解する工程での超音波洗浄時などに
ノズルプレート部材にクラックが発生した。
ート注型法によりインクジェットヘッドを形成したとこ
ろ、図１に示した型部材と実質的に同じ形状の液室およ
びノズルが得られた。また、本実施例によるインクジェ
ットヘッドでは、型部材における基板に対して凸状のコ
ーナー部分付近、例えば図１９に示したＥ部に相当する
部分においてノズルプレート部材が局部的に薄くならな
いので、クラック等の欠陥もほとんど解消することがで
きた。また比較例として、周辺部型材５を用いない従来
のインクジェットヘッドを、上記と同じ条件で作成した
ところ、型部材を溶解する工程での超音波洗浄時などに
ノズルプレート部材にクラックが発生した。
【００２９】このように本実施例では、ノズル部型材４
と接続された部分以外の液室部型材３の周辺より所定間
隔毎に凸状に突出する周辺部型材５を設けることによ
り、従来、樹脂プレート注型法によるインクジェットヘ
ッドでみられたクラックなどの問題点を解消することが
できた。
と接続された部分以外の液室部型材３の周辺より所定間
隔毎に凸状に突出する周辺部型材５を設けることによ
り、従来、樹脂プレート注型法によるインクジェットヘ
ッドでみられたクラックなどの問題点を解消することが
できた。
【００３０】上記の実施例では、周辺部型材５はノズル
部型材４と類似した凸形状であったが、例えば、型部材
の厚さｔが0.05(mm)以下で、かつノズルプレート部材の
オリフィス周辺での厚さが0.2×ｔ〜2.0×ｔの場合、液
室の接続部から先端までの距離Ｌｄ=0.01(mm)以上、幅
Ｗｄと厚さｔの比率を4.0以下、幅Ｗｄと周辺部型材の
配置間隔の比率を0.01〜0.95程度の形状で、型部材に使
用するレジスト材料によりパターン形成ができるように
すればよい。
部型材４と類似した凸形状であったが、例えば、型部材
の厚さｔが0.05(mm)以下で、かつノズルプレート部材の
オリフィス周辺での厚さが0.2×ｔ〜2.0×ｔの場合、液
室の接続部から先端までの距離Ｌｄ=0.01(mm)以上、幅
Ｗｄと厚さｔの比率を4.0以下、幅Ｗｄと周辺部型材の
配置間隔の比率を0.01〜0.95程度の形状で、型部材に使
用するレジスト材料によりパターン形成ができるように
すればよい。
【００３１】図２は本発明の製造方法の第１の実施例よ
り得られる液室形状を説明するための図である。
り得られる液室形状を説明するための図である。
【００３２】図２（ａ）に示すように、上述したような
周辺部型材５を有する型部材の形状を用いたとき、製造
後において好ましくは図２（ｂ）に示す液室を得るが、
型部材の溶解除去時に周辺部型材５の先端部分の型材料
が完全に除去されず、その結果、図２（ｃ）に示すよう
に液室６の周辺が突出した形状でなくなることもある。
しかし、これも本発明の一つの実施形態と考えてもよ
い。この場合には、周辺部型材５の真上のノズルプレー
ト部材に周辺部型材５に連通する開口を設けることで、
型材料の溶解除去を容易にすることも考えられる。
周辺部型材５を有する型部材の形状を用いたとき、製造
後において好ましくは図２（ｂ）に示す液室を得るが、
型部材の溶解除去時に周辺部型材５の先端部分の型材料
が完全に除去されず、その結果、図２（ｃ）に示すよう
に液室６の周辺が突出した形状でなくなることもある。
しかし、これも本発明の一つの実施形態と考えてもよ
い。この場合には、周辺部型材５の真上のノズルプレー
ト部材に周辺部型材５に連通する開口を設けることで、
型材料の溶解除去を容易にすることも考えられる。
【００３３】また本実施例において、周辺部型材の配置
は図１に示した箇所としたが、これに限られるものでは
なく、ノズル部型材４と接続された部分以外の液室部型
材３の周辺において、インクジェットヘッドとなった際
に特に欠陥の発生しやすい一部の箇所でも、あるいは周
辺全部でもよい。
は図１に示した箇所としたが、これに限られるものでは
なく、ノズル部型材４と接続された部分以外の液室部型
材３の周辺において、インクジェットヘッドとなった際
に特に欠陥の発生しやすい一部の箇所でも、あるいは周
辺全部でもよい。
【００３４】さらに所定の効果を得る範囲であれば、周
辺部型材を等間隔で配置する必要はない。
辺部型材を等間隔で配置する必要はない。
【００３５】（第２の実施例）図３は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第２の実施例の特徴部である
型部材の周辺形状を部分的に示す平面図である。
ェットヘッドの製造方法の第２の実施例の特徴部である
型部材の周辺形状を部分的に示す平面図である。
【００３６】本実施例に用いる型部材は、図３に示すよ
うに、複数種類の周辺部型材５ａ、５ｂなどを同一の液
室部型材３の周辺に接続した形状を有している。このよ
うな型形状においても、第１の実施例と同様の効果を奏
する。
うに、複数種類の周辺部型材５ａ、５ｂなどを同一の液
室部型材３の周辺に接続した形状を有している。このよ
うな型形状においても、第１の実施例と同様の効果を奏
する。
【００３７】（第３の実施例）図４は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第３の実施例の特徴部である
型部材の形状を示す平面図である。
ェットヘッドの製造方法の第３の実施例の特徴部である
型部材の形状を示す平面図である。
【００３８】本実施例は、液室内にノズル隔壁部材を液
室の周辺から孤立して配置することでノズルを形成した
インクジェットヘッドを製造する場合に、本発明の方法
を用いた例である。
室の周辺から孤立して配置することでノズルを形成した
インクジェットヘッドを製造する場合に、本発明の方法
を用いた例である。
【００３９】すなわち図４に示すように、ヒータ１１お
よびインク供給口１６を予め設けた基板１２上に、従来
技術と同様、ＯＤＵＲ（商品名：東京応化 社製）など
のドライフィルム化された光反応性ポジ型レジスト材を
ラミネートする。そして、フォトリソ工程により基板１
２上に、ノズル形成のために基板１２上のヒータ１１の
各々を覆うノズル部型材１４と、ノズル隔壁部材が液室
の周辺から孤立して液室内に配置されたインクジェット
ヘッドの液室を形成するために各ノズル部型材１４の両
端と接続された液室部型材１３と、液室部型材１３の周
辺より所定間隔毎に凸状に突出する周辺部型材１５とか
らなる型部材を形成した。この後は図１７の（ｄ）〜
（ｇ）に示した工程と同じであるので説明を省略する。
よびインク供給口１６を予め設けた基板１２上に、従来
技術と同様、ＯＤＵＲ（商品名：東京応化 社製）など
のドライフィルム化された光反応性ポジ型レジスト材を
ラミネートする。そして、フォトリソ工程により基板１
２上に、ノズル形成のために基板１２上のヒータ１１の
各々を覆うノズル部型材１４と、ノズル隔壁部材が液室
の周辺から孤立して液室内に配置されたインクジェット
ヘッドの液室を形成するために各ノズル部型材１４の両
端と接続された液室部型材１３と、液室部型材１３の周
辺より所定間隔毎に凸状に突出する周辺部型材１５とか
らなる型部材を形成した。この後は図１７の（ｄ）〜
（ｇ）に示した工程と同じであるので説明を省略する。
【００４０】上記のように得られた型部材を有する基板
においても、第１の実施例と同様、型部材における基板
に対して凸状のコーナー部分付近のノズルプレート部材
が薄くならないので、クラック等の欠陥をほとんど解消
することができた。
においても、第１の実施例と同様、型部材における基板
に対して凸状のコーナー部分付近のノズルプレート部材
が薄くならないので、クラック等の欠陥をほとんど解消
することができた。
【００４１】（第４の実施例）図５は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第４の実施例の特徴部である
型部材の形状を示す平面図である。
ェットヘッドの製造方法の第４の実施例の特徴部である
型部材の形状を示す平面図である。
【００４２】本実施例は、液室部型材の周辺より突出す
る周辺部型材と所定の間隔を有するように、さらに別の
型材パターンを配置してインクジェットヘッドを製造す
る方法である。
る周辺部型材と所定の間隔を有するように、さらに別の
型材パターンを配置してインクジェットヘッドを製造す
る方法である。
【００４３】すなわち本実施例に用いる型部材は、図５
に示すように、ノズル形成のために基板２２上のヒータ
２１の各々を覆うノズル部型材２４と、各ノズル部型材
２４の一端と接続された、液室形成のための液室部型材
２３と、ノズル部型材２４の一端が接続された部分以外
の液室部型材２３の周辺より所定間隔毎に凸状に突出す
る周辺部型材２５と、液室部型材２３の周辺部型材２５
と所定の距離をおいて基板２２上に配置された型材パタ
ーン２６とからなる。
に示すように、ノズル形成のために基板２２上のヒータ
２１の各々を覆うノズル部型材２４と、各ノズル部型材
２４の一端と接続された、液室形成のための液室部型材
２３と、ノズル部型材２４の一端が接続された部分以外
の液室部型材２３の周辺より所定間隔毎に凸状に突出す
る周辺部型材２５と、液室部型材２３の周辺部型材２５
と所定の距離をおいて基板２２上に配置された型材パタ
ーン２６とからなる。
【００４４】本実施例においても、第１の実施例と同
様、クラック等の欠陥をほとんど解消することができ
た。
様、クラック等の欠陥をほとんど解消することができ
た。
【００４５】次に、本実施例と同様、型部材の周辺と所
定の間隔をおいて型材パターン（以下、「孤立部材」と
いう）を基板上に配設することにより、型部材における
基板に対して凸状のコーナー部分付近のノズルプレート
部材が薄くならないようにする製造方法を幾つか挙げ
る。
定の間隔をおいて型材パターン（以下、「孤立部材」と
いう）を基板上に配設することにより、型部材における
基板に対して凸状のコーナー部分付近のノズルプレート
部材が薄くならないようにする製造方法を幾つか挙げ
る。
【００４６】（第５の実施例）図６は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第５の実施例を説明するため
の工程図である。
ェットヘッドの製造方法の第５の実施例を説明するため
の工程図である。
【００４７】本実施例は、図１７に示した樹脂プレート
注型法によってインクジェットヘッドの液室を形成する
とき、ノズル部型材もしくは液室部型材と所定の間隔を
開けた位置に、ノズルプレート部材を形成する樹脂によ
り予め孤立部材を設ける方法である。
注型法によってインクジェットヘッドの液室を形成する
とき、ノズル部型材もしくは液室部型材と所定の間隔を
開けた位置に、ノズルプレート部材を形成する樹脂によ
り予め孤立部材を設ける方法である。
【００４８】すなわち、ヒータおよびインク供給口が予
め形成された基板３２上に光反応性ポジ型レジスト材を
ラミネートし、フォトリソ工程によりノズルおよび液室
となる型部材３６を形成する（図６（ａ））。
め形成された基板３２上に光反応性ポジ型レジスト材を
ラミネートし、フォトリソ工程によりノズルおよび液室
となる型部材３６を形成する（図６（ａ））。
【００４９】さらに、基板３２および型部材３６上に、
ノズルプレート部材となる樹脂３７で第１の塗布を行う
（図６（ｂ））。このとき、基板直上での第１の塗布に
よる樹脂３７の厚みｈ6は、型部材３６の厚みとほぼ同
じであることが望ましい。樹脂３７は光により選択的に
硬化可能なものであり、本実施例では樹脂パターニング
により基板３２上の型部材３６の側面から所定の距離Ｌ
6だけ離れた場所のみに、孤立部材３５を形成する（図
６（ｃ））。
ノズルプレート部材となる樹脂３７で第１の塗布を行う
（図６（ｂ））。このとき、基板直上での第１の塗布に
よる樹脂３７の厚みｈ6は、型部材３６の厚みとほぼ同
じであることが望ましい。樹脂３７は光により選択的に
硬化可能なものであり、本実施例では樹脂パターニング
により基板３２上の型部材３６の側面から所定の距離Ｌ
6だけ離れた場所のみに、孤立部材３５を形成する（図
６（ｃ））。
【００５０】ここで、ノズルおよび液室となる型部材
と、孤立部材との配置を図７の平面図に示す。図７に示
すように、ノズル形成のために基板３２上のヒータ３１
の各々を覆うノズル部型材３４と、各ノズル部型材３４
の一端と接続された、液室形成のための液室部型材３３
とから型部材が構成され、液室部型材３３の、ノズル部
型材３４が接続されている部分と反対側の一側面より所
定距離離れた位置に、直線状の孤立部材３５が設けられ
ている。
と、孤立部材との配置を図７の平面図に示す。図７に示
すように、ノズル形成のために基板３２上のヒータ３１
の各々を覆うノズル部型材３４と、各ノズル部型材３４
の一端と接続された、液室形成のための液室部型材３３
とから型部材が構成され、液室部型材３３の、ノズル部
型材３４が接続されている部分と反対側の一側面より所
定距離離れた位置に、直線状の孤立部材３５が設けられ
ている。
【００５１】次に基板３２、型部材および孤立部材３５
上に、孤立部材３５と同一の光または熱硬化性の樹脂で
第２の塗布を行い、この樹脂を基板全面で光硬化または
熱硬化し、ノズルプレート部材３８を形成する（図６
（ｄ））。
上に、孤立部材３５と同一の光または熱硬化性の樹脂で
第２の塗布を行い、この樹脂を基板全面で光硬化または
熱硬化し、ノズルプレート部材３８を形成する（図６
（ｄ））。
【００５２】この後、ノズルプレート部材３８上に光硬
化型の耐酸素プラズマ材料３９を薄膜に塗布し、フォト
リソ工程により所定の位置、ここではヒータに対向する
位置においてオリフィスの形状に除去部４０を形成し
（図６（ｅ））、プラズマ照射によりノズルプレート部
材３８にオリフィス４１を形成し、型部材３６を溶解除
去し、ノズルおよび液室を形成する（図６（ｆ））。
化型の耐酸素プラズマ材料３９を薄膜に塗布し、フォト
リソ工程により所定の位置、ここではヒータに対向する
位置においてオリフィスの形状に除去部４０を形成し
（図６（ｅ））、プラズマ照射によりノズルプレート部
材３８にオリフィス４１を形成し、型部材３６を溶解除
去し、ノズルおよび液室を形成する（図６（ｆ））。
【００５３】なお、図６（ｅ）に示した型部材３６の一
側面と孤立部材３５との距離Ｌ6は、ノズルプレート部
材３８表面が基板６０１に対しほぼ水平になるように、
型部材３６上におけるノズルプレート部材３８の膜厚Ｈ
6によって適当に選べばよく、例えば上記の実施例では
Ｈ6≦0.1(mm)のときは、おおよそＬ6＜２０×Ｈ6であ
る。
側面と孤立部材３５との距離Ｌ6は、ノズルプレート部
材３８表面が基板６０１に対しほぼ水平になるように、
型部材３６上におけるノズルプレート部材３８の膜厚Ｈ
6によって適当に選べばよく、例えば上記の実施例では
Ｈ6≦0.1(mm)のときは、おおよそＬ6＜２０×Ｈ6であ
る。
【００５４】本実施例によれば、孤立部材３５が、型部
材３６の周辺でのノズルプレート部材となる樹脂材料の
流れだしを防ぐ、いわば堤防のような作用をするため、
型部材の基板に対して凸状のコーナー部分付近で樹脂の
厚さが局部的に薄くならず、クラック等の欠陥の発生を
防ぐことができる。
材３６の周辺でのノズルプレート部材となる樹脂材料の
流れだしを防ぐ、いわば堤防のような作用をするため、
型部材の基板に対して凸状のコーナー部分付近で樹脂の
厚さが局部的に薄くならず、クラック等の欠陥の発生を
防ぐことができる。
【００５５】また孤立部材３５とノズルプレート部材３
８は同一材料で形成されるため、両者の密着性は良好で
あり、また製造時の工程の管理も容易である。
８は同一材料で形成されるため、両者の密着性は良好で
あり、また製造時の工程の管理も容易である。
【００５６】（第６の実施例）図８は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第６の実施例を説明するため
の工程図である。
ェットヘッドの製造方法の第６の実施例を説明するため
の工程図である。
【００５７】本実施例は、図８に示すように、第５の実
施例と同様に型部材５２の一側面と所定距離を有する孤
立部材５４（図７参照）を設けて製造する方法である
が、この孤立部材５４を、型部材５２のレジスト材料お
よびノズルプレート部材５５の材料とは異なる材料５３
により形成する点で第５の実施例とは異なる方法であ
る。
施例と同様に型部材５２の一側面と所定距離を有する孤
立部材５４（図７参照）を設けて製造する方法である
が、この孤立部材５４を、型部材５２のレジスト材料お
よびノズルプレート部材５５の材料とは異なる材料５３
により形成する点で第５の実施例とは異なる方法であ
る。
【００５８】孤立部材５４の材料５３としては、例えば
光反応性ネガ型レジスト ＯＲＤＹＬ ＳＹ３００（商
品名：東京応化 社製）が考えられる。
光反応性ネガ型レジスト ＯＲＤＹＬ ＳＹ３００（商
品名：東京応化 社製）が考えられる。
【００５９】型部材５２がポジ型レジストの場合、孤立
部材５４のパターニング時に型部材５２が光反応しない
ように、型部材５２上を遮光することが好ましい。
部材５４のパターニング時に型部材５２が光反応しない
ように、型部材５２上を遮光することが好ましい。
【００６０】また本実施例に用いる型部材５２の材質
は、材料５３のパターニング時に材料５３の現像液によ
り実質的に溶解しないものを選ぶ必要がある。
は、材料５３のパターニング時に材料５３の現像液によ
り実質的に溶解しないものを選ぶ必要がある。
【００６１】さらに本実施例では、孤立部材５４はノズ
ルプレート部材５５の形成終了後にノズルプレート部材
５５の中に残留する為、化学的性質および機械的性質が
ノズルプレート部材の材料と近いものを選ぶことが望ま
しい。
ルプレート部材５５の形成終了後にノズルプレート部材
５５の中に残留する為、化学的性質および機械的性質が
ノズルプレート部材の材料と近いものを選ぶことが望ま
しい。
【００６２】（第７の実施例）図９は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第７の実施例を説明するため
の工程図である。
ェットヘッドの製造方法の第７の実施例を説明するため
の工程図である。
【００６３】本実施例も、図９に示すように、第５およ
び第６の実施例と同様に型部材６４の一側面と所定距離
を有する孤立部材６４（図７参照）を設けて製造する方
法であるが、この孤立部材６４を、型部材６３と同じレ
ジスト材料６２によって形成する点で第５および第６の
実施例とは異なる方法である。
び第６の実施例と同様に型部材６４の一側面と所定距離
を有する孤立部材６４（図７参照）を設けて製造する方
法であるが、この孤立部材６４を、型部材６３と同じレ
ジスト材料６２によって形成する点で第５および第６の
実施例とは異なる方法である。
【００６４】すなわち、不図示のインク供給口およびヒ
ータを予め設けた基板６１上にレジスト材６２を均一に
ラミネートする（図９（ａ））。そして、フォトリソ工
程により、ノズルおよび液室を形成するための型部材６
３と、型部材６３と所定距離を有する孤立部材６４を形
成する（図９（ｂ））。
ータを予め設けた基板６１上にレジスト材６２を均一に
ラミネートする（図９（ａ））。そして、フォトリソ工
程により、ノズルおよび液室を形成するための型部材６
３と、型部材６３と所定距離を有する孤立部材６４を形
成する（図９（ｂ））。
【００６５】次いで、基板６１、型部材６３および孤立
部材６４上に、光または熱硬化性の樹脂を塗布し、光硬
化または熱硬化し、ノズルプレート部材６５を形成する
（図９（ｃ））。
部材６４上に、光または熱硬化性の樹脂を塗布し、光硬
化または熱硬化し、ノズルプレート部材６５を形成する
（図９（ｃ））。
【００６６】この後、ノズルプレート部材１０２上に光
硬化型の耐酸素プラズマ材料６６を薄膜に塗布し、フォ
トリソ工程により所定の位置、ここではヒータに対向す
る位置においてオリフィスの形状に除去部６７を形成し
（図６（ｄ））、プラズマ照射によりノズルプレート部
材６５にオリフィス６９を形成し、型部材６３を溶解除
去し、ノズルおよび液室を形成する（図６（ｅ））。
硬化型の耐酸素プラズマ材料６６を薄膜に塗布し、フォ
トリソ工程により所定の位置、ここではヒータに対向す
る位置においてオリフィスの形状に除去部６７を形成し
（図６（ｄ））、プラズマ照射によりノズルプレート部
材６５にオリフィス６９を形成し、型部材６３を溶解除
去し、ノズルおよび液室を形成する（図６（ｅ））。
【００６７】但し、上記の方法で、レジスト材料６２と
してＯＤＵＲ（商品名：東京応化社製）などの光等によ
る反応時にガスを発生する材料を使用した場合は、ノズ
ルプレート部材６５上に形成された耐酸素プラズマ材料
６６に、フォトリソ工程によりオリフィス形成のための
除去部６７を形成すると同時に、孤立部材６４の反応硬
化時に発生したガスを抜く穴の形成のために除去部６８
も形成し（図９（ｄ）参照）、その後、プラズマ照射に
より除去部６８を通してノズルプレート部材６５にガス
抜き穴７０を形成する（図９（ｅ）参照）することも考
えられる。
してＯＤＵＲ（商品名：東京応化社製）などの光等によ
る反応時にガスを発生する材料を使用した場合は、ノズ
ルプレート部材６５上に形成された耐酸素プラズマ材料
６６に、フォトリソ工程によりオリフィス形成のための
除去部６７を形成すると同時に、孤立部材６４の反応硬
化時に発生したガスを抜く穴の形成のために除去部６８
も形成し（図９（ｄ）参照）、その後、プラズマ照射に
より除去部６８を通してノズルプレート部材６５にガス
抜き穴７０を形成する（図９（ｅ）参照）することも考
えられる。
【００６８】なお、ガス抜き穴７０を設ける工程は、図
５に示した第４の実施例や図８に示した第６の実施例に
用いてもよい。
５に示した第４の実施例や図８に示した第６の実施例に
用いてもよい。
【００６９】（第７の実施例）上記第５および第６の実
施例における孤立部材の形状は、図７に示した形状に限
られず、図１０および図１１に示すような形状も考えら
れる。
施例における孤立部材の形状は、図７に示した形状に限
られず、図１０および図１１に示すような形状も考えら
れる。
【００７０】図１０および図１１は、孤立部材の他の形
状例を示す平面図である。
状例を示す平面図である。
【００７１】すなわち図１０に示される孤立部材７３
は、ノズル形成のために基板７２上のヒータ７４の各々
を覆うノズル部型材と、該各ノズル部型材の一端と接続
された、液室形成のための液室部型材と、からなる型部
材７１全体を所定の距離をおいて囲むように基板７２上
に形成したものである。
は、ノズル形成のために基板７２上のヒータ７４の各々
を覆うノズル部型材と、該各ノズル部型材の一端と接続
された、液室形成のための液室部型材と、からなる型部
材７１全体を所定の距離をおいて囲むように基板７２上
に形成したものである。
【００７２】また、図１１に示される孤立部材８１ａ，
８１ｂは、ノズル形成のために基板８４上のヒータ８３
の各々を覆うノズル部型材と、ノズル隔壁部材が液室の
周辺から孤立して液室内に配置されるインクジェットヘ
ッドの液室を形成するために前記各ノズル部型材の両端
と接続された液室部型材と、からなる型部材８２全体を
所定の距離をおいて囲むように基板８４上に分割形成し
たものである。
８１ｂは、ノズル形成のために基板８４上のヒータ８３
の各々を覆うノズル部型材と、ノズル隔壁部材が液室の
周辺から孤立して液室内に配置されるインクジェットヘ
ッドの液室を形成するために前記各ノズル部型材の両端
と接続された液室部型材と、からなる型部材８２全体を
所定の距離をおいて囲むように基板８４上に分割形成し
たものである。
【００７３】上記のいずれかの構成の孤立部材を用いる
方法においても、第１乃至第６の実施例と同様に、型部
材の基板に対して凸状のコーナー部分付近で樹脂の厚さ
が局部的に薄くならず、クラック等の欠陥の発生を防ぐ
ことができる。
方法においても、第１乃至第６の実施例と同様に、型部
材の基板に対して凸状のコーナー部分付近で樹脂の厚さ
が局部的に薄くならず、クラック等の欠陥の発生を防ぐ
ことができる。
【００７４】なお、本発明は、図７、図１０および図１
１に示される型形状に限らず、ヘッド製造後、型部材の
基板に対して凸状のコーナー部分でクラック等の欠陥が
発生しないようなノズルプレート部材の厚みとなる形状
であれば、型部材と孤立部材の間でノズルプレート部材
の表面が必ずしも基板面に対しフラットである必要はな
い。
１に示される型形状に限らず、ヘッド製造後、型部材の
基板に対して凸状のコーナー部分でクラック等の欠陥が
発生しないようなノズルプレート部材の厚みとなる形状
であれば、型部材と孤立部材の間でノズルプレート部材
の表面が必ずしも基板面に対しフラットである必要はな
い。
【００７５】（第８の実施例）さらに、上記第５乃至第
７の実施例における孤立部材は、ノズルおよび液室の型
部材と分離した部材である必要はない。
７の実施例における孤立部材は、ノズルおよび液室の型
部材と分離した部材である必要はない。
【００７６】図１２は、本発明のインクジェットヘッド
の第８の実施例の特徴部である型部材の形状を示す平面
図である。
の第８の実施例の特徴部である型部材の形状を示す平面
図である。
【００７７】本実施例では、図１２に示すように、基板
９１上に形成された型部材９２のうちの液室部型材に部
材９３を接触配置させ、基板９１上にノズルプレート部
材材料を塗布し、光または熱硬化した後、部材９３の材
料を型部材９２とともに溶解除去せずにインクジェット
ヘッドの液室の壁の一部として残こすことも考えられ
る。
９１上に形成された型部材９２のうちの液室部型材に部
材９３を接触配置させ、基板９１上にノズルプレート部
材材料を塗布し、光または熱硬化した後、部材９３の材
料を型部材９２とともに溶解除去せずにインクジェット
ヘッドの液室の壁の一部として残こすことも考えられ
る。
【００７８】また、上記第５乃至第７の実施例におい
て、孤立部材をクラックなどの欠陥が発生しやすい部分
にのみ局部的に配置してもよく、さらには複数種類の形
状の孤立部材を同一の液室部型材の周辺と間隔を開けて
あるいは接触させて配置してもよい。
て、孤立部材をクラックなどの欠陥が発生しやすい部分
にのみ局部的に配置してもよく、さらには複数種類の形
状の孤立部材を同一の液室部型材の周辺と間隔を開けて
あるいは接触させて配置してもよい。
【００７９】（第９の実施例）加えて、図４および図１
１に示したような型形状からなるインクジェットヘッド
のノズル形状を除いた、ノズル壁の基板への投影形状が
ヒータ周囲を三方から実質的に囲むノズル形状を樹脂プ
レート注型法により形成する場合、液滴の良好な吐出を
得るために図１３に示す形態を採ることが好ましい。
１に示したような型形状からなるインクジェットヘッド
のノズル形状を除いた、ノズル壁の基板への投影形状が
ヒータ周囲を三方から実質的に囲むノズル形状を樹脂プ
レート注型法により形成する場合、液滴の良好な吐出を
得るために図１３に示す形態を採ることが好ましい。
【００８０】図１３は、ノズル壁がヒータ周囲の三方を
実質的に囲んで構成されたノズルと、オリフィスとの基
板への投影位置関係を説明するための図である。
実質的に囲んで構成されたノズルと、オリフィスとの基
板への投影位置関係を説明するための図である。
【００８１】図１３の（ａ）に示す形状ノズル９５の場
合、型部材上におけるノズルプレート部材の膜厚Ｈ
6（図６（ｄ）参照）≦0.1(mm)では、オリフィス９４と
ノズル壁の間隔Ｘo、Ｙoは、両者のアライメント公差を
含め、0.05×Ｈ6以上であることが好ましく、より好ま
しくは0.1×Ｈ6以上である。
合、型部材上におけるノズルプレート部材の膜厚Ｈ
6（図６（ｄ）参照）≦0.1(mm)では、オリフィス９４と
ノズル壁の間隔Ｘo、Ｙoは、両者のアライメント公差を
含め、0.05×Ｈ6以上であることが好ましく、より好ま
しくは0.1×Ｈ6以上である。
【００８２】またノズル９５内での型部材の溶解除去を
良好にするため、図１３の（ｂ）に示すようにノズル９
５先端付近に、液滴の吐出に用いない***９６をノズル
プレート表面からノズル９５まで貫通して設けることも
考えられる。
良好にするため、図１３の（ｂ）に示すようにノズル９
５先端付近に、液滴の吐出に用いない***９６をノズル
プレート表面からノズル９５まで貫通して設けることも
考えられる。
【００８３】本発明は上述の実施例の具体的な型材料や
ノズルプレート材料に限定する必要はない。また本発明
の思想に沿い樹脂プレート注型法を用いる製造方法であ
れば、本発明を特定の形状のインクジェットヘッドの製
造時に限定する必要はない。また本発明の方法によりノ
ズルプレート材料が局部的に薄くならず欠陥が発生しな
い程度の強度を保持するのであれば、ノズルプレート部
材のフラット性は不可欠な要因ではない。
ノズルプレート材料に限定する必要はない。また本発明
の思想に沿い樹脂プレート注型法を用いる製造方法であ
れば、本発明を特定の形状のインクジェットヘッドの製
造時に限定する必要はない。また本発明の方法によりノ
ズルプレート材料が局部的に薄くならず欠陥が発生しな
い程度の強度を保持するのであれば、ノズルプレート部
材のフラット性は不可欠な要因ではない。
【００８４】なお、感光性樹脂により型部材を形成する
とき、露光時の光量や露光パターンの合焦の具合によっ
てはパターニング後のレジスト側面に、基板への投影形
状が波型のパターンが生じる場合があるが、この場合は
本発明の方法に含めなくてもよい。これは、通常、露光
状態により自然にレジスト側面に形成される程度の大き
さの凹凸では、ノズルプレート材料を塗布したときに型
部材の凸コーナー部分において、該材料が局部的に薄く
なることを防止できないからである。
とき、露光時の光量や露光パターンの合焦の具合によっ
てはパターニング後のレジスト側面に、基板への投影形
状が波型のパターンが生じる場合があるが、この場合は
本発明の方法に含めなくてもよい。これは、通常、露光
状態により自然にレジスト側面に形成される程度の大き
さの凹凸では、ノズルプレート材料を塗布したときに型
部材の凸コーナー部分において、該材料が局部的に薄く
なることを防止できないからである。
【００８５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載するような効果を奏する。
ているので、以下に記載するような効果を奏する。
【００８６】圧力発生手段を有する基板上に、共通液室
を形成するための液室部型材とノズルを形成するための
ノズル部型材とからなる型部材と、前記液室部型材の周
辺の前記ノズル部型材が接続されていない側部より突出
する形状の周辺部型材とを設けた後、樹脂材料を塗布す
ることにより、前記型部材の基板に対して凸状のコーナ
ー部分付近に被覆された樹脂の膜厚が薄くならずフラッ
ト性を保持することができる。その結果、前記樹脂を硬
化し前記型部材を除去してできるノズルプレート部材に
クラックが発生せず、インクジェットヘッドの製造時の
歩留りも良くなる。
を形成するための液室部型材とノズルを形成するための
ノズル部型材とからなる型部材と、前記液室部型材の周
辺の前記ノズル部型材が接続されていない側部より突出
する形状の周辺部型材とを設けた後、樹脂材料を塗布す
ることにより、前記型部材の基板に対して凸状のコーナ
ー部分付近に被覆された樹脂の膜厚が薄くならずフラッ
ト性を保持することができる。その結果、前記樹脂を硬
化し前記型部材を除去してできるノズルプレート部材に
クラックが発生せず、インクジェットヘッドの製造時の
歩留りも良くなる。
【００８７】また、前記周辺部型材に代え、前記液室部
型材の周辺の前記ノズル部型材が接続されていない側部
と所定間隔を開けた位置あるいは接触する位置に孤立部
材を設けた後、樹脂材料を塗布することにより、上記と
同様の効果が得られる。
型材の周辺の前記ノズル部型材が接続されていない側部
と所定間隔を開けた位置あるいは接触する位置に孤立部
材を設けた後、樹脂材料を塗布することにより、上記と
同様の効果が得られる。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
１の実施例の特徴部である型部材の形状を示す平面図で
ある。
１の実施例の特徴部である型部材の形状を示す平面図で
ある。
【図２】本発明の製造方法の第１の実施例より得られる
液室形状を説明するための図である。
液室形状を説明するための図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
２の実施例の特徴部である型部材の周辺形状を部分的に
示す平面図である。
２の実施例の特徴部である型部材の周辺形状を部分的に
示す平面図である。
【図４】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
３の実施例の特徴部である型部材の形状を示す平面図で
ある。
３の実施例の特徴部である型部材の形状を示す平面図で
ある。
【図５】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
４の実施例の特徴部である型部材の形状を示す平面図で
ある。
４の実施例の特徴部である型部材の形状を示す平面図で
ある。
【図６】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
５の実施例を説明するための工程図である。
５の実施例を説明するための工程図である。
【図７】ノズルおよび液室となる型部材と、孤立部材と
の配置状態を示す平面図である。
の配置状態を示す平面図である。
【図８】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
６の実施例を説明するための工程図である。
６の実施例を説明するための工程図である。
【図９】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
７の実施例を説明するための工程図である。
７の実施例を説明するための工程図である。
【図１０】孤立部材の他の形状例を示す平面図である。
【図１１】孤立部材の他の形状例を示す平面図である。
【図１２】本発明のインクジェットヘッドの第８の実施
例の特徴部である型部材の形状を示す平面図である。
例の特徴部である型部材の形状を示す平面図である。
【図１３】ノズル壁がヒータ周囲の三方を実質的に囲ん
で構成されたノズルと、オリフィスとの基板への投影位
置関係を説明する図である。
で構成されたノズルと、オリフィスとの基板への投影位
置関係を説明する図である。
【図１４】いわゆるサイドシュータータイプの熱インク
ジェットヘッドの斜視図である。
ジェットヘッドの斜視図である。
【図１５】図１４に示したヘッドを構成するヒータ基板
の斜視図である。
の斜視図である。
【図１６】図１４に示したインクジェットヘッドのＡ−
Ａ線断面図である。
Ａ線断面図である。
【図１７】従来のインクジェットヘッドの製造方法を説
明するための図である。
明するための図である。
【図１８】従来のインクジェットヘッドの製造方法に用
いる型部材の平面形状を示す図である。
いる型部材の平面形状を示す図である。
【図１９】樹脂プレート注型法によって極めて薄いノズ
ルプレート部材を形成した場合のヘッドの部分断面図で
ある。
ルプレート部材を形成した場合のヘッドの部分断面図で
ある。
１，１１，２１，３１，７４，８３ ヒータ ２，１２，２２，３２，５１，６１，７２，８４，９１
基板 ３，１３，２３，３３ 液室部型材 ４，１４，２４，３４ ノズル部型材 ５，５ａ，５ｂ，１５，２５ 周辺部型材 ６ 液室 １６，８５ インク供給口 ２６ 型材パタ−ン ３５，５４，６４，７３，８１ａ，８１ｂ 孤立部材 ３６，５２，６３，７１，８２，９２ 型部材 ３７ 樹脂 ３８，５５，６５ ノズルプレ−ト部材 ３９，５６，６６ 耐酸素プラズマ材料 ４０，５７，６７，６８ 除去部 ４１，５８，６９，９４ オリフィス ５３ 材料 ６２ レジスト材 ７０ ガス抜き穴 ９３ 部材 ９５ ノズル ９６ ***
基板 ３，１３，２３，３３ 液室部型材 ４，１４，２４，３４ ノズル部型材 ５，５ａ，５ｂ，１５，２５ 周辺部型材 ６ 液室 １６，８５ インク供給口 ２６ 型材パタ−ン ３５，５４，６４，７３，８１ａ，８１ｂ 孤立部材 ３６，５２，６３，７１，８２，９２ 型部材 ３７ 樹脂 ３８，５５，６５ ノズルプレ−ト部材 ３９，５６，６６ 耐酸素プラズマ材料 ４０，５７，６７，６８ 除去部 ４１，５８，６９，９４ オリフィス ５３ 材料 ６２ レジスト材 ７０ ガス抜き穴 ９３ 部材 ９５ ノズル ９６ ***
Claims (5)
- 【請求項１】 圧力発生手段を有する基板上に、ノズル
を形成するためのノズル部型材と共通液室を形成するた
めの液室部型材とからなる型部材を形成し、該型部材上
に樹脂材料を重層して該樹脂材料を硬化した後に前記型
部材を除去することで、前記基板と前記樹脂材料の間に
ノズルおよび共通液室を形成するインクジェットヘッド
の製造方法において、 前記樹脂材料の重層時に前記型部材の端部付近における
該樹脂材料の表面の傾斜を緩和するための手段を有する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 圧力発生手段を有する基板上に、ノズル
を形成するためのノズル部型材と共通液室を形成するた
めの液室部型材とからなる型部材を形成し、該型部材上
に樹脂材料を重層して該樹脂材料を硬化した後に前記型
部材を除去することで、前記基板と前記樹脂材料の間に
ノズルおよび共通液室を形成するインクジェットヘッド
の製造方法において、 前記液室部型材の前記ノズル部型材が接続された周辺以
外の少なくとも一部に、前記液室部型材より突出する形
状の周辺部型材を設けたことを特徴とするインクジェッ
トヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 圧力発生手段を有する基板上に、ノズル
を形成するためのノズル部型材と共通液室を形成するた
めの液室部型材とからなる型部材を形成し、該型部材上
に樹脂材料を重層して該樹脂材料を硬化した後に前記型
部材を除去することで、前記基板と前記樹脂材料の間に
ノズルおよび共通液室を形成するインクジェットヘッド
の製造方法において、 前記液室部型材の前記ノズル部型材が接続された周辺以
外の少なくとも一部と所定間隔を開けた位置あるいは接
触する位置に、孤立部材を設けたことを特徴とするイン
クジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 前記の重層とは塗布工程であることを特
徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のイン
クジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の
製造方法からなるインクジェットヘッド。
Priority Applications (12)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15327095A JP3459703B2 (ja) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェットヘッド |
| AU56022/96A AU5602296A (en) | 1995-06-20 | 1996-06-17 | A method for manufacturing an ink jet head, and an ink jet head |
| CA002179239A CA2179239C (en) | 1995-06-20 | 1996-06-17 | A method for manufacturing an ink jet head, and an ink jet head |
| MXPA/A/1996/002379A MXPA96002379A (en) | 1995-06-20 | 1996-06-18 | A method for manufacturing an ink jet head and a it jet head |
| US08/665,499 US6145965A (en) | 1995-06-20 | 1996-06-18 | Method for manufacturing an ink jet head, and an ink jet head |
| AT96109867T ATE197780T1 (de) | 1995-06-20 | 1996-06-19 | Verfahren zum herstellen eines tintenstrahlkopfes und tintenstrahlkopf |
| ES96109867T ES2153515T3 (es) | 1995-06-20 | 1996-06-19 | Metodo para la fabricacion de un cabezal para chorros de tinta y cabezal para chorros de tinta. |
| EP96109867A EP0749835B1 (en) | 1995-06-20 | 1996-06-19 | A method for manufacturing an ink jet head, and an ink jet head |
| KR1019960022238A KR100202729B1 (ko) | 1995-06-20 | 1996-06-19 | 잉크 제트 헤드의 제조 방법 및 잉크 제트 헤드 |
| DE69611059T DE69611059T2 (de) | 1995-06-20 | 1996-06-19 | Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes und Tintenstrahlkopf |
| SG1996010106A SG54344A1 (en) | 1995-06-20 | 1996-06-20 | A method for manufacturing an ink jet head and an ink jet head |
| CN96108376A CN1096952C (zh) | 1995-06-20 | 1996-06-20 | 一种制造喷墨头的方法和一种喷墨头 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15327095A JP3459703B2 (ja) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH091809A true JPH091809A (ja) | 1997-01-07 |
| JP3459703B2 JP3459703B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=15558796
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15327095A Expired - Fee Related JP3459703B2 (ja) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェットヘッド |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6145965A (ja) |
| EP (1) | EP0749835B1 (ja) |
| JP (1) | JP3459703B2 (ja) |
| KR (1) | KR100202729B1 (ja) |
| CN (1) | CN1096952C (ja) |
| AT (1) | ATE197780T1 (ja) |
| AU (1) | AU5602296A (ja) |
| CA (1) | CA2179239C (ja) |
| DE (1) | DE69611059T2 (ja) |
| ES (1) | ES2153515T3 (ja) |
| SG (1) | SG54344A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1111117C (zh) * | 2000-01-12 | 2003-06-11 | 威硕科技股份有限公司 | 用于打印装置的喷墨头的制造方法 |
| US7410241B2 (en) | 2004-09-13 | 2008-08-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head, ink jet printer and method for manufacturing ink jet head |
| JP2011068129A (ja) * | 2009-08-25 | 2011-04-07 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
| JP2011212944A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
| JP2012131212A (ja) * | 2010-03-31 | 2012-07-12 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
| US8286350B2 (en) | 2009-02-25 | 2012-10-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a liquid discharge head |
| WO2013046570A1 (en) | 2011-09-29 | 2013-04-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of liquid ejection head |
| US9266331B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-02-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of substrate for liquid ejection head |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1996-06-17 AU AU56022/96A patent/AU5602296A/en not_active Abandoned
- 1996-06-17 CA CA002179239A patent/CA2179239C/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-06-18 US US08/665,499 patent/US6145965A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1142439A (zh) | 1997-02-12 |
| EP0749835B1 (en) | 2000-11-29 |
| ES2153515T3 (es) | 2001-03-01 |
| AU5602296A (en) | 1997-01-09 |
| EP0749835A3 (en) | 1997-07-30 |
| KR970000573A (ko) | 1997-01-21 |
| CA2179239C (en) | 2003-11-18 |
| JP3459703B2 (ja) | 2003-10-27 |
| MX9602379A (es) | 1998-10-31 |
| DE69611059D1 (de) | 2001-01-04 |
| CN1096952C (zh) | 2002-12-25 |
| ATE197780T1 (de) | 2000-12-15 |
| CA2179239A1 (en) | 1996-12-21 |
| DE69611059T2 (de) | 2001-05-10 |
| SG54344A1 (en) | 1998-11-16 |
| KR100202729B1 (ko) | 1999-06-15 |
| US6145965A (en) | 2000-11-14 |
| EP0749835A2 (en) | 1996-12-27 |
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